CN210006697U - 腐蚀清洗机抛动行程机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种腐蚀清洗机抛动行程机构，解决了现有技术中去应力腐蚀机的芯片腐蚀不均匀的缺陷，其上下滑动轴固定在运行连接件上，连接杆的一端与上下滑动轴固定连接，另一端与转动传导件固定连接，转动传导件轮芯与转动轴固定连接；导向轴支座固定在运行连接件上，直线轴承固定座固定在支架上，导向轴承主体位于直线轴承固定座的通道内。本实用新型结构可以控制芯片在转动的过程中上下抛动，便于芯片更好的处理，且该结构密封效果好，动力部分不会遭到腐蚀，使用寿命长。

Description

腐蚀清洗机抛动行程机构

技术领域

本实用新型属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种腐蚀清洗机抛动行程机构。

背景技术

在半导体集成电路的制造工艺过程中，半导体晶圆通常都会经过诸如薄膜沉积、刻蚀、抛光等多道工艺步骤。而这些工艺步骤就成为沾污物产生的重要场所。为了保持晶圆表面的清洁状态,消除在各个工艺步骤中沉积在晶圆表面的沾污物,必须对经受了每道工艺步骤后的晶圆表面进行清洗处理。因此,清洗工艺成为集成电路制作过程中最普遍的工艺步骤,其目的在于有效地控制各步骤的沾污水平，以实现各工艺步骤的目标。

在湿法腐蚀和湿法清洗工艺过程中,会用到大量的化学药液,利用化学药液的腐蚀特性，实现去除特定材料或者去除污染物的目的。在单片湿法设备上,是利用喷淋臂结构喷射化学药液至旋转的晶圆表面，实现腐蚀或清洗的目的。

晶圆在腐蚀、清洗时都是将晶圆直接放在不流动的腐蚀液中进行腐蚀，通过人工晃动片篮来使芯片均匀腐蚀，这种方法做出的产品合格率不稳定，而且酸液容易溅出，安全性低。因此,解决芯片腐蚀自动化的问题，就成为本领域技术人员亟待解决的课题。

实用新型内容

为了解决现有技术中去应力腐蚀机的芯片腐蚀不均匀、产品合格率不稳定的缺陷，本实用新型提供一种自动化的腐蚀清洗机抛动行程机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案如下：一种腐蚀清洗机抛动行程机构，包括支架、连接杆、上下滑动轴、转动传导件、运行连接件、转动轴、导向轴承、导向轴支座；所述上下滑动轴固定在运行连接件上，连接杆的一端与上下滑动轴固定连接，另一端与转动传导件固定连接，转动传导件轮芯与转动轴固定连接；所述导向轴支座固定在运行连接件上，直线轴承固定座固定在支架上，所述直线轴承固定座为带有圆柱形通道的块状，导向轴承顶端嵌套并固定在导向轴支座内，导向轴承主体位于直线轴承固定座的通道内。

所述连接杆上下两端各带有通孔，上下滑动轴穿过连接杆上端的通孔，并通过直径大于通孔的螺丝，固定在连接杆上；转动传导件包括轮体、轮芯、转动传导件固定轴，轮芯、转动传导件固定轴位于轮体上，转动传导件固定轴远离轮芯；转动传导件通过位于转动传导件远离轮芯的转动传导件固定轴与连接杆转动连接。

所述转动传导件为偏心轮，或，圆轮。

所述的固定连接为铆接、螺纹连接、嵌套固定连接、转动连接中的任意一种或多种。

所述转动连接是指通过轴穿过通孔，且与通孔固定，如通过螺丝等在通孔外进行限位固定，使得轴能在通孔内进行转动的连接方式。

还包括抛动连接件，所述抛动连接件与运行连接件固定连接，位于运行连接件上与连接杆相对的面；所述抛动连接件包括固定连接杆，密封件；密封件固定在支架上，固定连接杆一端与运行连接件连接，穿过密封件，另一端与晶片装载机构连接。抛动连接件结构不在本专利保护范围内，故此不做赘述。

所述转动轴用于跟动力部分连接，所述动力部分为电机或电机和支架的组合结构。

还包括下带座轴承，上带座轴承；所述下带座轴承位于转动传导件与连接杆之间；上带座轴承位于连接杆与传动连接件之间。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型腐蚀清洗机抛动行程机构中，电机旋转带动传转动轴转动，使得，转动传导件固定轴绕轮芯做圆周运动，带动连接杆的一端绕轮芯做圆周运动，从而使得连接杆的垂直高度进行改变，连接杆另一端连接上下滑动轴，上下滑动轴连接运行连接件，运行连接件又通过导向轴承的限位，只能做上下运动，从而，在连接杆的作用下，运行连接件上下运行，与运行连接件固定连接的抛动连接件与腐蚀清洗机的晶片装载机构连接，从而带动芯片在清洗液内运动；本实用新型采用改进机械结构替代人工，使片篮作平滑的间歇运动，从而使芯片作速度变化相对均匀的上下抛动运动，使芯片在抛动的不同位置都有较为一致的运动速度，以保证芯片化镀的均匀。

本实用新型新型腐蚀清洗机抛动行程机构中，采用运行连接件带动晶片装载机构，从而带动晶片运动的方式进行工作，这样的结构使得动力机构和主要部件可以远离带有腐蚀性的液体，保证整体机构的顺畅运行及保证整体机构的使用寿命。

附图说明

图1是实施例1结构示意图；

图2是本专利实施例1与整机部件连接结构示意图；

图3实施例1侧面结构示意图

图4是本实用新型腐蚀清洗机抛动行程机构运行原理示意图；

图5是实施例2的转动传导件结构示意图。

附图中：

1-支架，2-运行连接件，3-抛动连接件，4-直线轴承固定座，5-转动轴，6-导向轴承，7-导向轴支座,8-下带座轴承，9-上带座轴承，10-固定连接杆，11-密封件，12-连接杆，13-上下滑动轴，14-转动传导件，15-抛动支架，16-抛动电机，17-抛动机构，19-腐蚀清洗机抛动行程机构；20-运行连接支座。

具体实施方式

下面参照附图详细描述本实用新型的实施方式。

实施例1：

参见图1-4本实施例腐蚀清洗机抛动行程机构结构示意图：

一种腐蚀清洗机抛动行程机构19，一端通过转动轴5与设置在抛动支架15上的抛动电机16连接，另一端通过抛动连接件3与抛动机构17连接。

腐蚀清洗机抛动行程机构19，包括支架1、连接杆12、上下滑动轴13、转动传导件14、运行连接件2、转动轴5、导向轴承6、导向轴支座7；所述上下滑动轴13固定在运行连接件2上，连接杆12的一端与上下滑动轴13固定连接，另一端与转动传导件14固定连接，转动传导件14轮芯与转动轴5固定连接；所述导向轴支座7固定在运行连接件2上，直线轴承固定座4固定在支架上，所述直线轴承固定座4为带有圆柱形通道的块状，导向轴承6顶端嵌套并固定在导向轴支座7内，导向轴承6主体位于直线轴承固定座4的通道内。

所述连接杆12上下两端各带有通孔，上下滑动轴13穿过连接杆12上端的通孔，并通过直径大于通孔的螺丝，固定在连接杆12上；转动传导件14包括轮体14.1、轮芯14.2、转动传导件固定轴14.3，轮芯、转动传导件固定轴位于轮体上，转动传导件固定轴远离轮芯；转动传导件通过位于转动传导件远离轮芯的转动传导件固定轴与连接杆12转动连接。

所述转动传导件14为偏心轮，或，圆轮。

还包括抛动连接件3，所述抛动连接件3与运行连接件2固定连接，位于运行连接件2上与连接杆12相对的面。

还包括下带座轴承8，上带座轴承9；所述下带座轴承位于转动传导件14与连接杆12之间；上带座轴承9位于连接杆12与传动连接件2之间。

参见图4本实用新型的运行原理：

如图所示，本实用新型腐蚀清洗机抛动行程机构中，电机旋转带动传转动轴转动，使得，转动传导件固定轴绕轮芯做圆周运动，带动连接杆12的一端绕轮芯做圆周运动，从而使得连接杆12的垂直高度进行改变，连接杆12另一端连接上下滑动轴13，上下滑动轴13连接运行连接件2，运行连接件2又通过导向轴承6的限位，只能做上下运动，从而，在连接杆12的作用下，运行连接件2上下运行，运行连接件2与抛动连接件连接，抛动连接件连接与腐蚀清洗机的晶片装载机构连接，从而带动芯片在清洗液内运动，当然，不设有抛动连接件的结构也能实现本实用新型的功能，抛动连接件的增加是为了避免运行连接件直接与晶片装载机构连接，在运行过程中造成损耗，使得本设备使用寿命更长；本实用新型采用改进机械结构替代人工，使片篮作平滑的间歇运动，从而使芯片作速度变化相对均匀的上下抛动运动，使芯片在抛动的不同位置都有较为一致的运动速度，以保证芯片化镀的均匀。

本实用新型采用改进机械结构替代人工，使片篮作平滑的间歇运动，从而使芯片作速度变化相对均匀的上下抛动运动，使芯片在抛动的不同位置都有较为一致的运动速度，以保证芯片化镀的均匀。本实施例结构的抛动幅度为30mm，抛动频率可根据腐蚀液不同进行调整。

本实用新型中晶片装载部分非本专利保护的内容，故此不做赘述。本实用新型中所述电机为本领域在现有技术中的常见设备，在此不做赘述。带座轴承是现有技术领域中的常用部件，内设轴承，轴承没有轴销连接，实现轴销的转动功能。本领域技术人员不需创造性劳动即可选用。在此不做赘述。本实用新型中所使用的带座轴承为现有技术产品，本领域技术人员不需任何创造性劳动即可选用，故此不做赘述。

实施例2，

参见图5的转动传导件14结构，其余同实施例1。

当然，以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.一种腐蚀清洗机抛动行程机构，用于处理芯片，其特征在于：包括支架、连接杆、上下滑动轴、转动传导件、运行连接件、转动轴、导向轴承、导向轴支座；所述上下滑动轴固定在运行连接件上，连接杆的一端与上下滑动轴固定连接，另一端与转动传导件固定连接，转动传导件轮芯与转动轴固定连接；所述导向轴支座固定在运行连接件上，直线轴承固定座固定在支架上，所述直线轴承固定座为带有圆柱形通道的块状，导向轴承顶端嵌套并固定在导向轴支座内，导向轴承主体位于直线轴承固定座的通道内。

2.根据权利要求1所述的腐蚀清洗机抛动行程机构，其特征在于：所述连接杆上下两端各带有通孔，上下滑动轴穿过连接杆上端的通孔，并通过直径大于通孔的螺丝，固定在连接杆上；转动传导件包括轮体、轮芯、转动传导件固定轴，轮芯、转动传导件固定轴位于轮体上，转动传导件固定轴远离轮芯；转动传导件通过位于转动传导件远离轮芯的转动传导件固定轴与连接杆转动连接。

3.根据权利要求1所述的腐蚀清洗机抛动行程机构，其特征在于：所述转动传导件为偏心轮，或，圆轮。

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