CN208528831U - 一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，包括：治具本体，在治具本体内部设有一圈凹台a，在凹台a内部设有一圈凹台b，所述凹台a与凹台b之间设有限位凹槽a，限位凹槽b位于凹台b内部，在凹台a上设有定位孔，在凹台b的两端设有排水槽，所述排水槽的底部设有排水孔，在限位凹槽b上设有转台固定孔。本申请结构简单、设计新颖，实现治具与打磨部件同步转动，降低了作业强度，缩短作业时间。

Description

一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具

技术领域

本实用新型涉及一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，具体说是一种半导体设备化学气相沉积装置的金属面板部件洗净旋转打磨治具。

背景技术

目前在对半导体设备部件进行洗净再生过程中，需要采用打磨的作业方式去除部件表面残膜及其他杂质，通常是采用人工打磨，做法是将待打磨部件放置在旋转平台，转动旋转平台，作业人员使用菜瓜布将部件表面打磨区域逐步打磨，反复打磨，为防止部件从旋转平台上脱落，转速很慢，且打磨表面不均匀，易造成印痕。

实用新型内容

为解决现有技术存在的上述问题，本申请提出一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，其结构简单、设计新颖，实现治具与打磨部件同步转动，降低了作业强度，缩短作业时间。

为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，包括：治具本体，在治具本体内部设有一圈凹台a，在凹台a内部设有一圈凹台b，所述凹台a与凹台b之间设有限位凹槽a，限位凹槽b位于凹台b内部，在凹台a上设有定位孔，在凹台b的两端设有排水槽，所述排水槽的底部设有排水孔，在限位凹槽b上设有转台固定孔。

进一步的，在凹台a上设有多个定位孔。

进一步的，在限位凹槽b上设有多个转台固定孔。

进一步的，部件取出槽设置在治具本体的两侧。

进一步的，所述治具本体的材质选用聚甲醛树脂。

本实用新型由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：该治具结构简单，易于操作；实现治具与打磨部件同步转动，提高了转速且不会脱落，降低了作业强度，缩短作业时间，节约人工成本。

附图说明

图1为一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具结构示意图；

图2为一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具俯视图；

图3为图2的剖视图；

图中序号说明：1、排水孔；2、转台固定孔；3、限位凹槽b；4、排水槽；5、部件取出槽；6、限位凹槽a；7、凹台a；8、凹台b；9、定位孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的描述：以此为例对本申请做进一步的描述说明。

如图1-3所示，本实施例提供一种治具，该治具是专门为英特尔公司使用的半导体设备化学气相沉积装置的金属面板部件洗净旋转打磨的专用治具，具体包括：治具本体，在治具本体内部设有一圈凹台a，在凹台a内部设有一圈凹台b，所述凹台a与凹台b之间设有限位凹槽a，限位凹槽b位于凹台b内部，在凹台a上设有定位孔，在凹台b的两端设有排水槽，所述排水槽的底部设有排水孔，在限位凹槽b上设有转台固定孔。

上述治具的工作方法为：将本治具通过转台固定孔用螺栓与旋转平台连接固定，将待洗净打磨部件边缘凸出部分与部件取出槽对齐，平放入限位凹槽b内，待洗净打磨部件上的凸起小圆柱位于限位凹槽a内，即可固定部件打磨，开启自动旋转，作业人员在打磨表面用手固定好打磨菜瓜布不动，通过二者的相对运动，即可完成打磨作业，冲洗后的水流可以流经部件孔径从治具下部排水孔流出。

以上所述，仅为本实用新型创造较佳的具体实施方式，但本实用新型创造的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型创造披露的技术范围内，根据本实用新型创造的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型创造的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，其特征在于，包括：治具本体，在治具本体内部设有一圈凹台a，在凹台a内部设有一圈凹台b，所述凹台a与凹台b之间设有限位凹槽a，限位凹槽b位于凹台b内部，在凹台a上设有定位孔，在凹台b的两端设有排水槽，所述排水槽的底部设有排水孔，在限位凹槽b上设有转台固定孔。

2.根据权利要求1所述一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，其特征在于，在凹台a上设有多个定位孔。

3.根据权利要求1所述一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，其特征在于，在限位凹槽b上设有多个转台固定孔。

4.根据权利要求1所述一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，其特征在于，部件取出槽设置在治具本体的两侧。

5.根据权利要求1所述一种金属面板部件洗净旋转打磨专用治具，其特征在于，所述治具本体的材质选用聚甲醛树脂。