TWI680945B

TWI680945B - 矽石層的製備方法

Info

Publication number: TWI680945B
Application number: TW107146543A
Authority: TW
Inventors: 吳賢澤; 申昌訓; 朴光承; 朴文洙
Original assignee: 南韓商Ｌｇ化學股份有限公司
Priority date: 2017-12-22
Filing date: 2018-12-21
Publication date: 2020-01-01
Also published as: JP7026997B2; US12090510B2; EP3730223A1; CN111344070A; KR20190076598A; US20210178426A1; KR102267504B1; WO2019125040A1; EP3730223A4; JP2021503432A; TW201932413A

Abstract

本申請案係關於一種製備矽石層之方法。本申請案可提供一種透過在不使用昂貴設備低溫下的簡單方法能夠容易地形成矽石層作為膜的方法，於該矽石層中，在內部形成了孔且適當地控制了包括折射率等等的光學特性，該膜具有作為主要成分之矽石網絡。

Description

矽石層的製備方法

本申請案主張2017年12月22日申請的韓國專利申請案號10-2017-0178519之優先權，該專利申請案之揭示以其全文引用方式納入本文中。

本申請案係關於一種矽石層。

顯示器產品的需求不僅擴展到諸如TV、監視器或筆記型電腦的傳統產品，且亦擴展到諸如智慧型手機、汽車導航系統或儀表板、等等的行動產品。

在製造顯示器產品時所要考慮的特性之中，有產品表面的反射率。通常，將光學膜引入顯示器產品的外部，且此光學膜呈現約4%的平均反射率。此反射率降低了顯示器的可見度。

因此，應用諸如所謂的AG(抗眩光)或AR(抗反射)的技術來調節反射率。在上述技術中，AG技術不僅影響反射光且亦影響從顯示器發射的光，從可見度的觀點來看這是不合適的。另一方面，由於以沈積程序所形成的特性，AR技術難以擴大，並且單價高。

技術問題

本申請案係關於一種製備矽石層的方法。本申請案旨在提供一種能夠以簡單且有效的方式有效地形成具有所需物理性質之矽石層的製備方法。技術解決方案

在整個說明書中，當任何構件位於另一構件上時，此不僅包括當任何構件與另一構件接觸時，且亦包括當兩構件之間存在另一構件時。

在整個說明書中，當任何部件包含任何組件時，此意指其不排除有其他組件而是可進一步包括其他組件，除非另有明確說明。

在整個說明書中，“A及/或B”之描述意指“A或B，或A和B”。

在此說明書中，重量份單位可意指各個構成分之間的重量比。

在此說明書中所述物理性質之中，當測量的溫度及/或壓力影響物理性質值時，相關的物理性質意指在室溫及/或常壓下所測量的物理性質，除非另有指明。

在本申請案中，術語室溫為沒有加熱或冷卻下的自然溫度，其可意指例如在約10℃至約30℃之範圍內的任何溫度，或25℃或23℃或左右之溫度。此外，在本申請案中，除非另有指明，溫度單位為攝氏度(℃)。

在本申請案中，術語常壓為不特別加壓或減壓之自然壓力，其通常可為1大氣壓或左右，如大氣壓。

在本申請案中，術語烷基、伸烷基或烷氧基可意指具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基、伸烷基或烷氧基，或可意指具有3至20個碳原子，3至16個碳原子，3至12個碳原子，3至8個碳原子或3至6個碳原子的環狀烷基、伸烷基或烷氧基，除非另有指明。

在本申請案中，術語烯基可意指具有2至20個碳原子，2至16個碳原子，2至12個碳原子，2至8個碳原子或2至4個碳原子的直鏈或支鏈烯基，或可意指具有3至20個碳原子，3至16個碳原子，3至12個碳原子，3至8個碳原子或1至6個碳原子的環狀烯基，除非另有指明。

在本申請案中，術語芳基或伸芳基可意指具有6至24個碳原子，6至18個碳原子或6至12個碳原子的芳基或伸芳基，或可意指苯基或伸苯基，除非另有指明。

在本申請案中，術語環氧基可意指衍生自具有三個環組成原子之環狀醚或包含環狀醚之化合物的單價殘基，除非另有指明。環氧基可以環氧丙基、環氧基烷基、環氧丙氧基烷基或脂環族環氧基、等等舉例說明。在此，脂環族環氧基可意指衍生自下列化合物的單價殘基：含有脂族烴環結構且包括其中形成脂族烴環的二個碳原子也形成環氧基的結構。作為脂環族環氧基，可以具有6至12個碳的脂環族環氧基舉例說明，且例如，可以3,4-環氧基環己基乙基等等舉例說明。

烷基、伸烷基、烷氧基、烯基、芳基、伸芳基或環氧基也可隨意地經一或多個取代基取代。

本申請案係關於一種製備矽石層的方法或一種矽石層。在本申請案中，術語矽石層意指具有矽石網絡作為主要組分的層。

術語矽石網絡可意指由矽氧烷鍵聯(-Si-O-Si-)組成或包含矽氧烷鍵聯(-Si-O-Si-)之網狀物或三維籠結構的網絡。在一實例中，矽石網絡可為將描述於下的烷氧基矽烷之縮合物。矽石網絡可包含(例如)下列式A及/或B之單元，或可由該等單元組成。在此，矽石網絡由下列式A及/或B之單元組成的事實意指矽石網絡只含有下列式A之單元及/或下列式B之單元。

[式A]

R_n SiO_(4-n)/2

[式B]

SiO_3/2 L_1/2

在式A和B中，R為氫、烷基、烯基、芳基、芳基烷基、環氧基或(甲基)丙烯醯氧基烷基、n為0或1，及L為選自由下列所組成群組中的任一者之二價鍵聯基：直鏈、支鏈或環狀伸烷基和伸芳基，或其二或更多者之組合。

在式B中，作為直鏈或支鏈伸烷基，可以具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈或支鏈伸烷基舉例說明，及作為環狀伸烷基，可以具有3至20個碳原子，3至16個碳原子，3至12個碳原子，3至8個碳原子或1至6個碳原子的環狀伸烷基舉例說明。

在式B中，L為選自由下列所組成群組的任一者之二價鍵聯基：直鏈、支鏈或環狀伸烷基和伸芳基，或其二或更多者之組合的事實意指L為上述伸烷基或伸芳基，或與二或更多個選自彼等之組合形成二價鍵聯基。

在式A中，氧原子的右下標意指矽石網絡中由一個矽原子形成之矽氧烷鍵聯的數目。例如，當n為0時，式A以SiO_4/2 表示，其意指一個矽原子連接至四個氧原子以形成四個矽氧烷鍵聯。因為矽氧烷鍵聯係由二個矽原子共用一個氧原子形成，式中氧原子的右下標4/2意指四個氧原係鍵結至一個矽原子且各氧原子係鍵結至另一個矽原子。該種網絡可例如藉由在將描述於下文之製備方法中使用四官能矽烷諸如四烷氧基矽烷作為原料形成。同樣地，當n為1時，式A以RSiO_3/2 表示，其意指一個矽原子連接至三個氧原子而形成三個矽氧烷鍵聯且作為官能基之R係連接至矽原子的形式。該種網絡可例如藉由將描述於下文之製備方法使用三官能矽烷諸如三烷氧基矽烷作為原料形成。

式B意指一個矽原子係連接至三個氧原子，且該三個氧原子係各自連接另一個矽原子而形成三個矽氧烷鍵聯且同時矽原子經由L連接至另一矽原子形成-Si-L-Si-鍵聯。該種網絡可例如藉由在將描述於下文之製備方法中使用具有其中二個三烷氧矽基被二價鍵聯基連接的結構之化合物(諸如1,2-雙(三乙氧基矽烷)乙烷)作為原料形成。

本申請案之矽石層的矽石網絡可由式A或B之單元中的任一者組成，或可由上述單元的二或更多者的組合組成。在此情況下，作為式A之單元，可使用其中n為0之單元和其中n為1之單元中的任一者，或可使用這二種單元之二者。

另一方面，在矽石層中係包括該矽石網絡作為主成分的事實可意指矽石網絡在矽石層中的比率為(例如)55 wt%或更多，60 wt%或更多，65 wt%或更多，70 wt%或更多，75 wt%或更多，80 wt%或更多，85 wt%或更多，90 wt%或更多，或95 wt%或更多的情況，按照重量比計。矽石網絡在矽石層中的比率可為100 wt%或更少，或少於100 wt%。

本申請案的製備方法可為一種製造多孔矽石層的方法。因此，在一實例中，孔可存在於矽石層內。不特別限制存在於該矽石層中的孔之形狀，但是藉由本申請案可製造其中存在所謂的中孔型孔的矽石層。此矽石層可用於各種應用。在一實例中，可施加矽石層以形成控制反射率的層，例如低反射層。在本申請案中，可克服習知低反射層未克服的缺點並可製造具有改良物理性質的低反射層。因此，在一實例中，本申請案的製備方法可為低反射層的製備方法。

通常，為了形成低反射層，已應用的是使用氟基聚合物之具有低折射率的塗層或中空矽石粒子引入其中的層。然而，當施加氟基聚合物時，物理性質諸如膜的機械強度劣化，且難以確保所需的最小表面硬度。此外，在使用中空矽石粒子之方法中，存在缺點為：中空矽石粒子在使用程序或耐久性評估程序中從膜中消除，及其製備方法複雜。

然而，本申請案中所製造之矽石層具有能夠呈現出低反射效果的適當折射率特性且同時呈現出適當的物理強度，以及亦沒有消除中空矽石粒子的問題。

特別地，根據本申請案，可在沒有昂貴設備或複雜程序下簡單地製造該種矽石層，且在該程序期間不需要高溫處理。因此，根據本申請案的方法，如果需要，該種矽石層可在耐熱性差的材料(例如聚合物膜)的表面上直接形成。因此，根據本申請案的方法，矽石層可在光學膜上直接形成。

另一方面，矽石層可與矽石網絡一起包含氮或磷原子。本發明人已經證實：在形成矽石層時，藉由應用稱為所謂的溶膠-凝膠程序，但施加特定觸媒，且如果需要的話控制程序條件之方法，即使在低溫程序中也可形成具有上述特性的多孔矽石層。此方法與例如施加矽氮烷的方法(其通常已知形成高密度矽石層)的方法或在高溫下進行膠凝而導致不同的膜品質的方法完全不同。

例如，矽石層可與矽石網絡一起包含氮原子或磷原子，彼等為衍生自特定觸媒的組分。

例如，藉由使用矽氮烷的方法(其為形成矽石層的方法之一)所形成之矽石層含有衍生自矽氮烷的氮原子，但相關氮原子以鍵結至矽原子的形式存在。即，藉由施加矽氮烷的方法所形成之矽石層包含矽原子和氮原子的鍵聯(Si-N)。然而，本申請案之矽石層中的氮原子不以此狀態存在，並因此本申請案之矽石層或矽石網絡不含有矽原子和氮原子的鍵聯(Si-N)。另一方面，透過高溫膠凝程序獲得之矽石層也不含氮原子或類似者。

在一實例中，矽石層中所含之氮原子或磷原子可為特定胺化合物、磷化合物或咪唑化合物中其為路易斯鹼所含或由其衍生之氮或磷原子。即，該胺化合物或類似者在將描述於下文之矽石層形成程序中係用作為觸媒，且因此氮或磷原子可含在此胺化合物或類似者中或由其衍生。

在此，氮原子或磷原子係衍生自作為觸媒之胺化合物或類似者的事實可意指當胺化合物或類似者在進行催化作用的同時被改質為另一種化合物時，經改質之化合物中含有相關的氮原子或磷原子。

胺化合物或類似者可具有8或更少之pKa。在另一實例中，pKa可為7.5或更少，7或更少，6.5或更少，6或更少，5.5或更少，5或更少，4.5或更少或約4或更少或左右，或可為約1或更多，1.5或更多，2或更多，2.5或更多，3或更多或左右。

胺化合物或類似者可具有在80℃至500℃之範圍內的沸點。在另一實例中，沸點可為90℃或更高，100℃或更高，110℃或更高，120℃或更高，130℃或更高，140℃或更高，150℃或更高，160℃或更高，170℃或更高，180℃或更高，190℃或更高，200℃或更高，210℃或更高，220℃或更高，230℃或更高，240℃或更高，250℃或更高，260℃或更高，270℃或更高，280℃或更高，290℃或更高，300℃或更高，310℃或更高，320℃或更高，330℃或更高，340℃或更高，或350℃或更高，或可為1,000℃或更低，900℃或更低，800℃或更低，700℃或更低，600℃或更低，500℃或更低，400℃或更低，或300℃或更低或左右。

在一實例中，觸媒可為具有沸點在上述範圍內的酸酐。該類觸媒可有效地進行描述於下的膠凝程序，以形成具有密集交聯結構的矽石網絡。在一實例中，觸媒可為具有沸點在上述範圍內的液相酸酐。

胺化合物或類似者可具有80℃或更高之閃點。在另一實例中，閃點可為90℃或更高，100℃或更高，110℃或更高，120℃或更高，130℃或更高，140℃或更高，150℃或更高，或155℃或更高，或可為600℃或更低，500℃或更低，300℃或更低，200℃或更低，190℃或更低，180℃或更低，或170℃或更少或左右。

胺化合物或類似者可具有10,000 Pa或更少之常溫蒸氣壓。在另一實例中，常溫蒸氣壓可為9,000Pa或更低，8,000Pa或更低，7,000Pa或更低，6,000Pa或更低，5,000Pa或更低，4,000Pa或更低，3,000Pa或更低，2,000Pa或更低，1,000Pa或更低，900Pa或更低，800Pa或更低，700Pa或更低，600Pa或更低，500Pa或更低，400Pa或更低，300Pa或更低，200Pa或更低，100Pa或更低，90Pa或更低，80Pa或更低，70Pa或更低，60Pa或更低，50Pa或更低，40Pa或更低，30Pa或更低，20Pa或更低，10Pa或更低，9, 8Pa或更低，7Pa或更低，6Pa或更低，5Pa或更低，4Pa或更低，3Pa或更低，2Pa或更低，1Pa或更低，0.9Pa或更低，0.8Pa或更低，0.7Pa或更低，0.6Pa或更低，0.5Pa或更低，0.4Pa或更低，0.3Pa或更低，0.2Pa或更低，0.1Pa或更低，0.09Pa或更低，0.08Pa或更低，0.07Pa或更低，0.06Pa或更低，0.05Pa或更低，0.04Pa或更低，0.03Pa或更低，0.02Pa或更低，0.01Pa或更低，0.009Pa或更低，0.008Pa或更低，0.007Pa或更低，0.006Pa或更低，0.005Pa或更低，0.004Pa或更低，或0.003Pa或更低，或可為0.0001Pa或更高，0.0002Pa或更高，0.0003Pa或更高，0.0004Pa或更高，0.0005Pa或更高，0.0006Pa或更高，0.0007Pa或更高，0.0008Pa或更高，0.0009Pa或更高，0.001Pa或更高，0.0015Pa或更高，或0.002Pa或更高或左右。

藉由施加具有如上所述的特性之胺化合物或類似者，可有效地獲得具有所欲物理性質的矽石層。具有該物理性質的胺化合物或磷化合物具有下列次要優點：其為熱穩定、具有低火災風險、及由於低蒸氣壓而具有低氣味和爆炸風險。

可使用胺化合物或類似者而不特別限制，只要其具有上述特性。

例如，作為胺化合物，可使用以下列式1至4中的任一者表示之化合物，及作為磷化合物，可使用以下列式5至10中的任一者表示之化合物。

[式1]

[式2]

[式3]

[式4]

在式1至4中，R₁ 至R₁₅ 可各自獨立地為氫或烷基。另一方面，在式2中，R₆ 和R₇ 可各自以一個或二或更多個存在，當以二或更多個存在時，R₆ 和R₇ 各個可為相同或不同。

在式1至4中，烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至15個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子，或具有4至20個碳原子，8至20個碳原子，4至16個碳原子，6至16個碳原子，8至16個碳原子，4至12個碳原子，6至12個碳原子或8至10個碳原子的直鏈、支鏈或環狀烷基。

胺化合物也可為(例如)下列式1-1、2-1、3-1和4-1之化合物中任一者。

[式1-1]

[式2-1]

[式3-1]

[式4-1]

在上述式4-1中，C₈ H₁₇ 為直鏈辛基。

在一適當實例中，胺化合物可為其中在式4中，R₁₃ 至R₁₅ 為烷基之化合物。在此，烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至15個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子，或具有的4至20個碳原子，6至20個碳原子，8至20個碳原子，4至16個碳原子，6至16個碳原子，8至16個碳原子，4至12個碳原子，6至12個碳原子或8至10個碳原子的直鏈、支鏈或環狀烷基。

另一方面，作為上述磷化合物或咪唑化合物，可使用以下列式5至10表示之化合物中的任一者。

[式5]

[式6]

[式7]

[式8]

[式9]

[式10]

在式5至10中，R₁₆ 至R₃₂ 可各自獨立地為氫；烷基或芳基，x可為1至3的任何數目，o至q可各自為1至4的任何數目，和r至w可各自為1至5的任何數目。當o到x各自為複數時，具有由各自所定義的數目之取代基彼此可為相同或不同。

因此，當o為2或更大時，R₁₆ 可為相同或不同；當p為2或更大時，R₁₇ 可為相同或不同；當q為2或更大時，R₁₈ 可為相同或不同；當r為2或更大時，R₁₉ 可為相同或不同；當s為2或更大時，R₂₀ 可為相同或不同；當t為2或更大時，R₂₁ 可為相同或不同；當u為2或更大時，R₂₂ 可為相同或不同；當v為2或更大時，R₂₃ 可為相同或不同；當w為2或更大時，R₂₅ 可為相同或不同；及當x為2或更大時，R₃₂ 可為相同或不同。

烷基可經取代或未經取代，且可為直鏈、支鏈或環狀，並不特別限制碳原子之數目，但可以在1至40，1至36，1至32，1至28，1至24，20，1至16，1至12，1至8或1至4之範圍內。

在此說明書中，取代意指與化合物的碳原子鍵結之氫原子經置換為另一個取代基，其中經取代的位置，即其中氫原子可經取代的位置不受限制，只要其為其中取代基可經置換的位置，且當二或更多個經置換時，二或更多個取代基彼此可為相同或不同。

在此說明書中，術語經取代或未經取代意指其已經一個或二或更多個選自由下列所組成群組之取代基取代：氘；鹵素基；腈基；硝基；羥基；羰基；酯基；醯亞胺基；胺基；烷基；環烷基；烷氧基；芳氧基；烷硫氧基；芳硫氧基；烷基亞碸基(sulfoxy)；烯基；矽基；硼基；膦氧化物基；胺基；芳胺基；芳基；及含有N、O、S、Se和Si原子中的一或多者之雜芳基，或經鍵聯之上述例舉的取代基中之二或更多者取代，或者其沒有任何取代基。

芳基可經取代或未經取代，且當芳基為單環芳基時，不特別限制碳原子數，但可為6至50，6至44，6至38，6至32，6至26，6至20，6至14或6至12。在多環芳基的情況下，也不特別限制碳原子數，其可為例如12至50，12至44，12至38，12至32，12至26，12至20或12至14或左右。

在一實例中，作為磷化合物或咪唑化合物，可使用彼等以下列式表示者。

[式5-1]

[式6-1]

[式7-1]

[式8-1]

[式9-1]

[式10-1]

[式10-2]

[式10-3]

在另一實例中，氮原子可包含在稱為所謂的潛在性鹼產生劑的化合物中，或者可由其衍生。此時，衍生的意義係如上所述。術語潛在性鹼產生劑意指在正常環境諸如室溫和常壓下不顯示鹼性但藉由適當加熱或用光諸如紫外線照射顯示鹼性的化合物、或具有鹼性的化合物或轉化為觸媒的化合物。

例如，潛在性鹼產生劑可為以下列式11表示之化合物。以下列式11表示之化合物可充當熱鹼產生劑。

[式11]

在式11中，R₉ 可為氫、具有1至20個碳原子的烷基或具有6至12個碳原子的芳基，R₁₁ 和R₁₂ 可各自獨立地為氫或具有1至4個碳原子的烷基，及R₁₀ 可為氫、具有1至4個碳原子的烷基、具有7至16個碳原子的芳基烷基或下列式12之取代基。

[式12]

在式12中，L₁ 可為具有1至4個碳原子的伸烷基，其可為(例如)亞甲基或伸乙基、等等。

在式11中，在一實例中，R₉ 之烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基，或可為具有1至20個碳原子，4至20個碳原子，8至20個碳原子，12至20個碳原子或16至20個碳原子的直鏈或支鏈烷基。

在式11中，R₉ 之芳基可為具有6至12個碳原子的芳基或苯基。

在式11中，R₁₀ 之芳基烷基可為含有具有1至4個碳原子之烷基且具有7至16個碳原子的芳基烷基，其可為(例如)具有烷基的苯基烷基，該烷基具有1至4個碳原子。

在此，烷基、芳基、芳基烷基、等等可隨意地經一或多個取代基取代，且在此情況下，取代基可以羥基、硝基或氰基、等等舉例說明，但不限於此。

在另一實例中，鹼產生劑可為具有以下列式13表示之陽離子的離子性化合物。具有以下列式13表示之陽離子的離子性化合物可充當光鹼產生劑。

[式13]

在式13中，R₁₃ 至R₂₀ 可各自獨立地為氫或具有1至20個碳原子的烷基。

烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基，其可為(例如)甲基、乙基或支鏈丙基、等等。

在另一實例中，烷基可為具有3至20個碳原子，3至16個碳原子，3至12個碳原子，3至8個碳原子或4至8個碳原子的環狀烷基，其可為(例如)環己基等等。

式13之烷基可隨意地經一或多個取代基取代，且在此情況下，取代基可以羥基、硝基或氰基、等等舉例說明，但不限於此。

在一實例中，鹼產生劑可為具有以下列式14或15表示之陽離子的離子性化合物。具有以下列式14或15表示之陽離子的離子性化合物可充當光鹼產生劑。

[式14]

在式14中，R₂₁ 至R₂₄ 可各自獨立地為氫或具有1至20個碳原子的烷基。

[式15]

在式15中，R₂₅ 至R₃₀ 可各自獨立地為氫或具有1至20個碳原子的烷基。

在式14或15中，烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基，其可為(例如)甲基、乙基或支鏈丙基、等等。

在另一實例中，在式14或15中之烷基可為具有3至20個碳原子，3至16個碳原子，3至12個碳原子，3至8個碳原子或4至8個碳原子的環狀烷基，其可為(例如)環己基等等。

在式14或15中，烷基可隨意地經一或多個取代基取代，且在此情況下，取代基可以羥基、硝基或氰基、等等舉例說明，但不限於此。

不特別限制與陽離子諸如式13至15一起包括在離子性化合物中之陰離子的種類，且可使用適當的陰離子。

例如，陰離子可為以下列式16或17表示之陰離子。

[式16]

在式16中，L₆ 可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的伸烷基，或可為具有相同碳原子數的亞烷基。

[式17]

在式17中，R₃₅ 至R₃₈ 可各自獨立地為氫、烷基或芳基。

在式16或17中，烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈、支鏈或環狀烷基。

在式16或17中，芳基可為具有6至30個碳原子，6至24個碳原子，6至18個碳原子或6至12個碳原子的芳基，或可為苯基。

在一實例中，鹼產生劑可為以下列式18表示之化合物。以下列式18表示之化合物可充當光鹼產生劑。

[式18]

在式18中，R₃₁ 和R₃₂ 可各自獨立地為氫、直鏈、支鏈或環狀烷基。在另一實例中，R₃₁ 和R₃₂ 可彼此鍵聯而與R₃₁ 和R₃₂ 所鍵聯的氮原子一起以形成含氮雜環結構。

在式18中，Ar可為芳基、L₂ 可為-L₃ -O-或具有2至4個碳原子的伸烯基，其中L₃ 可為具有1至4個碳原子的伸烷基或具有1至4個碳原子的亞烷基。

在式18中，R₃₁ 和R₃₂ 之烷基可為具有1至20個碳原子，1至16個碳原子，1至12個碳原子，1至8個碳原子或1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基，其可為(例如)甲基、乙基或支鏈丙基、等等。

在另一實例中，在式18中的R₃₁ 和R₃₂ 之烷基可為具有3至20個碳原子，3至16個碳原子，3至12個碳原子，3至8個碳原子或4至8個碳原子的環狀烷基，其可為(例如)環己基等等。

在另一實例中，R₃₁ 和R₃₂ 可彼此鍵聯而與R₃₁ 和R₃₂ 所鍵聯的氮原子一起以形成含氮雜環結構。環結構可為藉由包括與R₃₁ 和R₃₂ 所鍵聯的氮原子而包括一或多個(例如，一或二個)氮原子且亦具有3至20，3至16，3至12或3至8個碳原子的結構。

含氮雜環結構可以哌啶結構或咪唑結構、等等舉例說明，但不限於此。

當含氮雜環結構為哌啶結構時，式18之化合物可以下列式19表示；及當其為咪唑結構時，其可為以下列式20表示。

[式19]

[式20]

在式19和20中，Ar可為芳基，其可為(例如)具有6至30個碳原子，6至30個碳原子或6至18個碳原子的芳基。

芳基的一實例可以苯基、萘基、蒽基或蒽醌基、等等舉例說明，且特別地，可以9-蒽基，或蒽醌-1-基或蒽醌-2-基、等等舉例說明，但不限於此。

在式19和20中，L₂ 可為-L₃ -O-或具有2至4個碳原子的伸烯基。在此，在-L₃ -O-的情況下，可衍生L₃ 鍵聯至Ar及O鍵聯至式19和20之羰基的碳原子之結構，或O鍵聯至Ar和L₃ 鍵聯至式8之羰基的碳原子之結構。

L₃ 可為具有1至4個碳原子的伸烷基或具有1至4個碳原子的亞烷基。

式18至20之烷基、含氮雜環結構、芳基、烯基、伸烷基及/或亞烷基可隨意地經一或多個取代基取代，且取代基的實例可以鹵素原子、羥基、氰基、硝基、丙烯醯基、甲基丙烯醯基、丙烯醯氧基及/或甲基丙烯醯氧基、等等舉例說明，但不限於此。

作為潛在性鹼產生劑，可獲得及使用藉由已知的物質合成方法或該項技術中已知產物所合成之具有上述結構的化合物。該種產品包括來自WAKO的WPBG系列或來自Shikoku Chemical的Curezol產品，但不限於此。

在本申請案中，不特別限制矽石層中所含之氮或磷原子的比率。也就是說，如已經描述的，氮或磷原子可衍生自在製造程序中用作為觸媒的材料，且在此情況下，氮或磷原子的比率根據所使用之觸媒的量來確定。

在一實例中，矽石層中所含之氮或磷原子的比率可在0.0001至6 wt%的範圍內。比率可為約0.0005 wt%或更多或左右，0.001 wt%或更多或左右，0.005 wt%或更多或左右，0.1 wt%或更多或左右，0.15 wt%或更多或左右，0. wt%或更多或左右，0.25 wt%或更多或左右，0.3 wt%或更多或左右，0.35 wt%或更多或左右，0.4 wt%或更多或左右，0.45 wt%或更多或左右，0.5 wt%或更多或左右，0.55 wt%或更多或左右，或0.6 wt%或更多或左右，或亦可為5.8 wt%或更少或左右，5 wt%或更少或左右，6 wt%或更少或左右，5.4 wt%或更少或左右，5.2 wt%或更少或左右，5 wt%或更少或左右，4.8 wt%或更少或左右，4.6 wt%或更少或左右，4.4 wt%或更少或左右，4.2 wt%或更少或左右，4 wt%或更少或左右，3.8 wt%或更少或左右，3.6 wt%或更少或左右，3.4 wt%或更少或左右，3.2 wt%或更少或左右，3 wt%或更少或左右，2.8 wt%或更少或左右，2.6 wt%或更少或左右，2.4 wt%或更少或左右，2.2 wt%或更少或左右，2.0 wt%或更少或左右，1.8 wt%或更少或左右，1.6 wt%或更少或左右，1.4 wt%或更少或左右，1.2 wt%或更少或左右，1 wt%或更少或左右，0.8 wt%或更少或左右，0.6 wt%或更少或左右，0.4%或更少或左右，0.2 wt%或更少或左右，0.1 wt%或更少或左右，0.08 wt%或更少或左右，0.06 wt%或更少或左右，0.04 wt%或更少或左右，0.02 wt%或更少或左右，0.01 wt%或更少或左右，0.008 wt%或更少或左右，或0.006 wt%或更少或左右。

如上所述之氮或磷原子的比率可為衍生自上述觸媒之氮或磷原子的比率。

這種氮或磷原子的比例可藉由X射線光電子光譜法(XPS)測量。該方法係根據光電效應，且藉由測量由於表面與高能光的相互作用而由光電效應發射之電子的動能來進行分析。結合能可藉由使用X射線作為光源發射分析樣品之元素的核心電子，並測量所發射之電子的動能來測量。可藉由分析所測量的結合能來確定構成樣品之元素，且可透過化學位移獲得關於化學結合狀態等等的信息。例如，矽石層在矽晶圓上形成至適當的厚度(例如，約0.5μm至3μm)之後，可以上述方式測量氮或磷原子的比率。在此情況下，不特別限制所應用的測量設備之具體種類，只要其能夠測量光電子光譜即可。

矽石層除了包含上述者之外也可進一步隨意地包含其他必要組分。該種組分的實例可以(奈米)粒子列舉，例如矽石、氧化鈰、氧化鈦及/或氧化鋯)、氟系或矽系增滑劑及/或乾燥延遲劑、等等，但不限於此。考慮到目的，可隨意地地添加這些添加劑，且可根據目的調整其具體種類和比率。

該種矽石層可根據所需的物理性質而具有適當厚度。例如，矽石層的厚度可在大約50 nm至200μm之範圍。在另一實例中，厚度可為1μm或更大，2μm或更大，3μm或更大，4μm或更大，5μm或更大，6μm或更大，7μm或更大，8μm或更大，9μm或更大，或10μm或更大，或可為19μm或更小，18μm或更小，17μm或更小，16μm或更小，15μm或更小，14μm或更小，13μm或更小，12μm或更小，或11μm或更小。

可根據應用控制本申請案之矽石層的厚度。例如，當施加矽石層作為低反射層時，該厚度可確定在從施加有矽石層的光學構件(例如，光學膜)的表面反射的光之範圍內且從矽石層反射的光可藉由破壞性干擾現象或類似者防止。因此，可考慮所施加的光學構件之表面反射率等等來調整該種厚度。

可使用由包含矽石前驅物和酸觸媒之前驅物組成物所形成的前驅物層製造矽石層。

前驅物層可或可不包含潛在性鹼產生劑，即，上述化學結構之化合物，作為額外組分。當包括潛在性鹼產生劑時，該鹼可藉由施加適當熱於矽石前驅物或者用光照射矽石前驅物而產生，且可進行膠凝以形成矽石層。當不包括潛在性鹼產生劑時，製備方法可包含使前驅物層與路易斯鹼接觸的步驟。此時，作為路易斯鹼，可使用如上所述之胺化合物或磷化合物(式2至10之化合物)。

在本申請案中，術語前驅物組成物為所謂的溶膠-凝膠法之原料或在處理溶膠-凝膠法期間的中間物，其可意指包含呈縮合矽烷化合物之縮合物的矽石溶膠之組成物。因此，矽石前驅物可為包含矽石前驅物的組成物，矽石前驅物可意指縮合矽烷化合物，其為所施加的原料，及/或由縮合矽烷化合物的縮合所形成的矽石溶膠。

本申請案之前驅物組成物可為藉由用酸觸媒處理包含矽烷化合物作為原料的組成物而獲得之組成物。因此，前驅物組成物可具有至少5或更小的pH。當使用觸媒進行原料的縮合反應以使具有在上述範圍之pH內時，其有效地在後續程序中形成具有所需物理性質的矽石層。在另一實例中，pH可為4.5或更小，4或更小，或3.5或更小或左右，或可為0或更大，大於0，0.5或更大，或大約1或更大或左右。

矽石前驅物可包含縮合矽烷化合物作為原料、縮合矽烷化合物的水解物及/或縮合矽烷化合物的縮合反應產物。

此時，作為原料的矽烷化合物，例如，可使用下列式D或E之化合物。

[式D]

SiR¹ _(4-n) (OR² )_n

在式D中，R¹ 係與式A中之R的定義相同，R² 可為具有1至4個碳原子的烷基、具有6至12個碳原子的芳基或氫原子、等等，及n為3或4。

在此，烷基可為具有1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基，且可隨意地經一或多個取代基取代。烷基可為(例如)甲基或乙基。

烷基、烷氧基或芳基可隨意地經取代，且在此情況下，取代基包括環氧丙基、鹵素原子、脂環族環氧基、丙烯醯基、甲基丙烯醯基、丙烯醯氧基或甲基丙烯醯氧基、等等，但不限於此。

[式E]

在式E中，L係與如上所述的式B中之L相同。在一實例中，L可為具有1至4個碳原子的伸烷基，或可為上述式C之二價鍵聯基。在式E中，R₃ 至R₈ 各自獨立地為具有1至4個碳原子的烷基、具有1至4個碳原子的烷氧基、具有6至12個碳原子的芳基或氫原子。在此，伸烷基可為具有1至4個碳原子的直鏈或支鏈伸烷基，且可隨意地經一或多個取代基取代。伸烷基可為(例如)亞甲基或伸乙基。且，在式E中，烷基可為具有1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷基，且可隨意地經一或多個取代基取代。烷基可為(例如)甲基或乙基。在此，烷氧基可為具有1至4個碳原子的直鏈或支鏈烷氧基，且可隨意地經一或多個取代基取代。烷氧基可為(例如)甲氧基或乙氧基。在此，芳基可為具有6至12個碳原子的芳基或苯基、等等。

前驅物組成物可包含上述矽石前驅物(即，矽烷化合物作為原料，其之水解產物及/或其之縮合物、等等)，例如，在約5至60 wt%之範圍。在另一實例中，比率可為約6%或更多，7%或更多，8%或更多，9%或更多，10%或更多，11%或更多，12%或更多，13%或更多，14 wt%或更多，15 wt%或更多，16 wt%或更多，17 wt%或更多，18 wt%或更多，19 wt%或更多，20 wt%或更多，21 wt%或更多，22 wt%或更多，23%或更多，24 wt%或更多，25 wt%或更多，26 wt%或更多，27 wt%或更多，28 wt%或更多，29 wt%或更多，30 wt%或更多，31 wt%或更多，32 wt%或更多，33 wt%或更多，34 wt%或更多，35 wt%或更多，36 wt%或更多，37 wt%或更多，38 wt%或更多，或39 wt%或更多，或亦可為約59 wt%或更少，58 wt%或更少，57 wt%或更少，56 wt%或更少，55 wt%或更少，54 wt%或更少，53 wt%或更少，52 wt%或更少，51 wt%或更少，50 wt%或更少，49 wt%或更少，48 wt%或更少，47 wt%或更少，46 wt%或更少，45 wt%或更少，44 wt%或更少，43 wt%或更少，42 wt%或更少，41 wt%或更少，40 wt%或更少，39 wt%或更少，38 wt%或更少，37 wt%或更少，36 wt%或更少，35 wt%或更少，34 wt%或更少，33 wt%或更少，32 wt%或更少，31 wt%或更少，30 wt%或更少，29 wt%或更少，28 wt%或更少，27 wt%或更少，26 wt%或更少，25 wt%或更少，24 wt%或更少，23 wt%或更少，22 wt%或更少，21 wt%或更少，20 wt%或更少，19 wt%或更少，18 wt%或更少，17 wt%或更少，16 wt%或更少，或15 wt%或更少或左右。

在一實例中，矽石前驅物的比率可為藉由計算在乾燥和脫水程序後所確定的固體含量之量相對於前驅物組成物在乾燥和脫水前之量而獲得的百分比值。在一實例中，乾燥程序可在約80℃下進行約1小時左右，及脫水程序可在約200℃下進行約24小時。在另一實例中，矽石前驅物的比率可為製備組成物所施加的矽烷化合物之量，或者也可為基於計算所施加的矽烷化合物於100%反應和溶膠化之量的計算結果所獲得之值。

因此，在下文中，在定義本說明書中所述前驅物組成物的組分之間的比率時，矽石前驅物的比率或重量可基於在乾燥和脫水程序後剩餘組分的比率或重量計，或者也可基於製備組成物所施加的矽烷化合物之量或所施加的矽烷化合物於100%反應和溶膠化之量計。

藉由如上控制矽石前驅物在前驅物組成物中的比率，可適當地控制前驅物組成物的黏度，並且可適當地保持塗布時的處理性質。此外，在該程序期間可縮短乾燥時間，可防止在矽石層中能夠發生之著色，及亦可均勻地保持矽石層的厚度。

不特別限制將矽石前驅物的含量保持在上述範圍內的方法，且藉由控制所施加的觸媒之種類或在溶膠化程序中的程序時間以及其他程序條件可達到該含量。

前驅物組成物可為使用酸觸媒衍生的組成物。例如，藉由使矽烷化合物與適當酸觸媒接觸以溶膠化可形成前驅物組成物。不特別限制上述程序中所施加的酸酸觸媒之種類及其比率，及可使用彼等能夠引起適當的縮合反應且可確保pH在上述範圍內者。

酸觸媒的實例可以選自鹽酸、硫酸、氟代硫酸、硝酸、磷酸、乙酸、六氟磷酸、對甲苯磺酸和三氟甲磺酸、等等的一者或二或更多者的混合物，但不限於此。

不特別限制用於形成前驅物組成物之酸觸媒的量，可控制該量以使得可確保pH在上述範圍內及/或矽石前驅物的含量。

在一實例中，可使用酸觸媒以使前驅物組成物包含相對於100重量份的矽石前驅物為0.01至50重量份的酸觸媒。在另一實例中，比率可為0.03重量份或更多，0.1重量份或更多，0.5重量份或更多，1重量份或更多，5重量份或更多，10重量份或更多，15重量份或更多，20重量份或更多，或25重量份或更多，或亦可為45重量份或更少，40重量份或更少，35重量份或更少，30重量份或更少，25重量份或更少，20重量份或更少，15重量份或更少，10重量份或更少，5重量份或更少，或3重量份或更少或左右。

前驅物組成物除包含上述組分外可進一步包含隨意的組分。例如，前驅物組成物可進一步包含溶劑。

在此情況下，可藉由將酸觸媒加至包含溶劑和作為原料之矽烷化合物的混合物中來製備前驅物組成物。

作為溶劑，例如，可使用具有沸點在約50℃至150℃之範圍的溶劑。該種溶劑可以水性溶劑諸如水或有機溶劑舉例說明，其中該有機溶劑可以醇、酮或乙酸酯溶劑、等等舉例說明。醇溶劑的實例可以乙醇、正丙醇、異丙醇、異丁醇、正丁醇及/或三級丁醇、等等舉例說明；酮溶劑可以丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、二甲基酮、甲基異丙基酮及/或乙醯基丙酮、等等舉例說明；及乙酸酯溶劑可以乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯及/或乙酸丁酯舉例說明，但不限於此。

在一實例中，組成物可包含水性溶劑和有機溶劑之混合溶劑，其中水係用作為水性溶劑，及上述醇、酮及/或乙酸酯溶劑可用作為有機溶劑，但不限於此。

不特別限制溶劑在前驅物組成物中之量，但例如可使用莫耳數為用作原料的矽烷化合物的莫耳數之約2至8倍的溶劑。

在一實例中，前驅物組成物可包含相對於100重量份的矽石前驅物量為40至2,000重量份之溶劑。在另一實施態樣中，該比率可為45重量份或更多，50重量份或更多，55重量份或更多，60重量份或更多，65重量份或更多，70重量份或更多，75重量份或更多，80重量份或更多，85重量份或更多，90重量份或更多或左右，95重量份或更多或左右，100重量份或更多或左右，150重量份或更多或左右，200重量份或更多或左右，250重量份或更多或左右，300重量份或更多或左右，350重量份或更多或左右，400重量份或更多或左右，450重量份或更多或左右，500重量份或更多或左右，550重量份或更多或左右，600重量份或更多或左右，650重量份或更多或左右，700重量份或更多或左右，或750重量份或更多或左右，或也可為1,800重量份或更少，1,600重量份或更少，1,400重量份或更少，或1,300重量份或更少或左右。

當施加水性溶劑和有機溶劑之混合物作為溶劑時，該水性溶劑可使用於相對於100重量份的有機溶劑為約5至200重量份或左右之量，但不限於此。在另一實例中，該比率可為約10重量份或更多，15重量份或更多，20重量份或更多，25重量份或更多或30重量份或更多，35重量份或更多或左右，40重量份或更多或左右，45重量份或更多或左右，50重量份或更多或左右，55重量份或更多或左右，60重量份或更多或左右，65重量份或更多或左右，70重量份或更多或左右，75重量份或更多或左右，80重量份或更多或左右，85重量份或更多或左右，90重量份或更多或左右，或95重量份或更多或左右，或亦可為約180重量份或更少或左右，160重量份或更少或左右，140重量份或更少或左右，120重量份或更少或左右，或約110重量份或更少或左右。

前驅物組成物也可包含上述潛在性鹼產生劑。在此情況下，可包括的潛在性鹼產生劑之具體類型係如上所述。

當包括潛在性鹼產生劑時，該比率相對於100重量份的矽石前驅物可為約0.01至50重量份或左右。在另一實例中，潛在性鹼產生劑的比率可為大約0.05重量份或更多，0.1重量份或更多，0.5重量份或更多，1重量份或更多，1.5重量份或更多，2重量份或更多，2.5重量份或更多，3重量份或更多，或3.5重量份或更多，或亦可為45重量份或更少，40重量份或更少，35重量份或更少，30重量份或更少，25重量份或更少，20重量份或更少，15重量份或更少，10重量份或更少，或5重量份或更少或左右。

前驅物組成物進一步包含界面活性劑。該種界面活性在前驅物組成物中形成所謂的微胞，其中此等微胞可在矽石層中形成上述孔。該種界面活性可在上述酸觸媒之前或之後添加，或可與酸觸媒同時添加，並不特別限制其添加順序。

微胞可在該種前驅物組成物中形成，其中微胞可形成矽石層的孔。界面活性劑可均勻且規則地在前驅物組成物中形成微胞。

作為界面活性劑，可選擇和使用適當種類的一般陰離子性、陽離子性或非離子性界面活性劑而沒有特別限制。

在此，作為陰離子性界面活性劑，可使用一種或二或更多種選自由下列所組成之群組：月桂酸鉀、三乙醇胺硬脂酸鹽、硫酸月桂酯銨、硫酸十二烷酯鋰、硫酸月桂酯鈉、硫酸十二烷酯鈉、烷基聚氧乙烯硫酸酯(alkyl polyoxyethylene sulfate)、海藻酸鈉、磺基琥珀酸二辛酯鈉、磷脂甘油、磷脂肌醇、磷脂絲胺酸、磷脂酸及其鹽、甘油酯、羧甲基纖維素鈉、膽汁酸及其鹽、膽酸、去氧膽酸、甘膽酸、牛膽酸、葡萄糖去氧膽酸(glucodeoxycholic acid)、磺酸烷酯、磺酸芳酯、磷酸烷酯、膦酸烷酯、硬脂酸及其鹽、硬脂酸鈣、磷酸鹽、羧甲基纖維素鈉、磺琥珀酸二辛酯、磺基琥珀酸鈉的二烷酯、磷脂和羧基甲基纖維素鈣。

作為陽離子性界面活性劑，可使用一種或二或更多種選自由下列所組成之群組：四級銨化合物、氯化烷基二甲基苄基銨、溴化鯨蠟基三甲基銨、聚葡萄胺糖、氯化月桂基二甲基苯甲基銨、醯基肉鹼鹽酸鹽、鹵化烷基吡錠、氯化鯨蠟基吡錠、陽離子性脂質、溴化聚甲基丙烯酸甲酯三甲基銨、鋶化合物、聚乙烯基吡咯啶酮-2-二甲胺基乙基甲基丙烯酸酯硫酸二甲酯、溴化十六烷基三甲基銨、鏻化合物、溴化苯甲基-二(2-氯乙基)乙基銨、氯化椰子三甲基銨、溴化椰子三甲基銨、氯化椰子甲基二羥乙基銨、溴化椰子甲基二羥乙基銨、氯化癸基三乙基銨、氯化溴化癸基二甲基羥乙基銨、氯化C12-15二甲基羥乙基銨、氯化溴化C12-15二甲基羥乙基銨、氯化椰子二甲基羥乙基銨、溴化椰子二甲基羥乙基銨、肉豆蔻基三甲基銨甲基硫酸鹽、氯化月桂基二甲基苯甲基銨、溴化月桂基二甲基苯甲基銨、氯化月桂基二甲基(乙烯氧基)4銨、溴化月桂基二甲基(乙烯氧基)4銨、氯化N-烷基(C12-18)二甲基苯甲基銨、氯化N-烷基(C12-18)二甲基苯甲基銨、氯化N-烷基(C14-18)二甲基苯甲基銨、氯化N-十四基二甲基苯甲基銨單水合物、氯化二甲基二癸基銨、氯化N-烷基(C12-14)二甲基1-萘基甲基銨、鹵化三甲基銨烷基-三甲基銨鹽、二烷基-二甲基銨鹽、氯化月桂基三甲基銨、乙氧基化烷基醯胺基烷基二烷基銨鹽、乙氧基化三烷基銨鹽、氯化二烷基苯二烷基銨、氯化N-二癸基二甲基銨、氯化N-十四基二甲基苯甲基銨單水合物、氯化N-烷基(C12-14)二甲基1-萘基甲基銨、氯化十二基二甲基苯甲基銨、氯化二烷基苯烷基銨、氯化月桂基三甲基銨、氯化烷基苯甲基甲基銨、溴化烷基苯甲基二甲基銨、溴化C12三甲基銨、溴化C15三甲基銨、溴化C17三甲基銨、氯化十二基苯甲基三乙基銨、氯化聚二烯丙基二甲基銨、氯化二甲基銨、鹵化烷基二甲基銨、氯化三鯨蠟基甲基銨、溴化癸基三甲基銨、溴化十二基三乙基銨、溴化十四基三甲基銨、氯化甲基三辛基銨、POLYQUAT 10、溴化四丁基銨、溴化苯甲基三甲基銨、膽鹼酯、氯化烷基二甲基苄基銨、司拉氯銨(stearalkonium chloride)、溴化鯨蠟基吡錠、氯化鯨蠟基吡錠、四級化聚氧乙基烷基胺之鹵化物鹽、“MIRAPOL”(聚四級銨鹽(polyquaternium)-2)、“Alkaquat”(氯化烷基二甲基苯甲基銨，由Rhodia製造)、烷基吡錠鹽、胺、胺鹽、咪銼鹽、質子化四級丙烯醯胺；甲基化四級聚合物、及陽離子瓜爾膠、氯化烷基二甲基苄基銨、溴化十二基三甲基銨、三乙醇胺和泊洛沙胺(poloxamne)。

作為非離子性界面活性劑，可使用一種或二或更多種選自由下列所組成之群組：聚氧乙烯脂肪醇醚、聚氧乙烯山梨醇酯脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯蓖麻油衍生物、山梨糖醇酯、甘油酯、甘油單硬脂酸酯、聚乙二醇、聚丙二醇、聚丙二醇酯、鯨蠟醇、鯨蠟硬脂醇、硬脂醇、芳烷基聚醚醇、聚氧乙烯聚氧丙烯共聚物、泊洛沙姆(poloxamer)、泊洛沙胺(poloxamine)、甲基纖維素、羥甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥丙基纖維素、羥丙基甲基纖維素、羥丙基甲基纖維素酞酸酯、非晶形纖維素、多醣、澱粉、澱粉衍生物、羥乙基澱粉、聚乙烯醇、三乙醇胺硬脂酸酯、氧化胺、葡聚醣、甘油、阿拉伯膠、膽固醇、黃蓍膠和聚乙烯吡咯啶酮。

作為非離子性界面活性劑，也可使用聚環氧丙烷(PPO)和聚環氧乙烷(PEO)之嵌段共聚物。

在一實例中，作為界面活性劑，可使用陰離子性界面活性劑及/或陽離子性界面活性劑，且在此情況下，可形成直徑較小的微胞。

在另一實例中，作為界面活性劑，可使用僅含有碳(C)、氫(H)和氧(O)的非離子性界面活性劑。在此情況下，有一個優點為：因為不會產生由於陽離子或陰離子之殘餘物，所以後處理和環境污染的負擔很小。

界面活性劑可使用於微胞可以所需含量在前驅物組成物中形成之比率，及在一實例中，可使用每莫耳矽烷化合物(其為原料)，或矽石前驅物約0.05莫耳至0.25莫耳的界面活性劑。

在另一實例中，界面活性劑的濃度可控制在施加至前驅物組成物的溶劑之臨界微胞濃度(CMC)的1至5倍之範圍內。藉由將界面活性劑的濃度設定為臨界微胞濃度的至少1倍，可在矽石層或前驅物層中形成適量的微胞，且藉由將其設定為最多5倍臨界微胞濃度以最小化或防止殘餘界面活性劑的量而可將矽石層的物理性質保持極佳。

在另一實例中，界面活性劑相對於100重量份的矽石前驅物可在30重量份至150重量份之範圍內，及在另一實例中，其可在50重量份至100重量份之範圍內。在此範圍內，可實現所需程度的折射率，且可穩定地保持矽石層的強度。

例如，最終矽石層的折射率(基於550 nm的波長)可透過如上所述之界面活性劑的含量而控制在約1.2至1.3的範圍內，且此折射率可透過在具有折射率為大約1.55或左右(基於550 nm的波長)的光學基材上光之破壞性干擾或類似者而實現低反射率。

然而，含量範圍和折射率範圍為本申請案的一個實例，且考慮所欲用途或類似者改變相關含量或折射率。

除了包含上述組分之外，如果需要，前驅物組成物可包含各種添加劑，及其實例可包括與彼等示例為矽石層的隨意組分者相同的組分。

然而，在前驅物組成物不含潛在性鹼產生劑並因此進行與下述路易斯鹼的接觸程序的情況下，前驅物組成物可僅包含上述酸觸媒作為觸媒且可不包含其他鹼觸媒。也就是說，與路易斯鹼接觸的前驅物層可僅包含上述酸觸媒作為觸媒，並且可不包含任何鹼觸媒。

前驅物組成物可例如透過使矽烷化合物與酸觸媒接觸的程序及/或添加界面活性劑的程序來製備。在一實例中，可藉由混合溶劑和矽烷化合物以製備矽石前驅物分散液及接著將酸觸媒加至分散液中，隨後添加界面活性劑來製備前驅物組成物。此外，如果需要，可在適當時間進一步混合上述潛在性鹼產生劑。

在此，所施加的矽烷化合物、溶劑、酸觸媒和界面活性劑、等等的類型與上述相同，且彼等的比率也可根據上述範圍進行調整。在此，酸觸媒及/或潛在性鹼產生劑的添加也可藉由僅將酸觸媒及/或潛在性鹼產生劑本身添加至分散液中或藉由混合酸觸媒及/或潛在性鹼產生劑與適當溶劑及接著添加混合物之方法進行。

如上所述，可進行形成前驅物組成物的步驟，使得該組成物具有5或更低的pH。

透過如上所述的矽烷化合物和酸催化劑之間的接觸形成前驅物組成物及添加界面活性劑的步驟可在80℃或更低的溫度下進行。例如，該步驟可以在大約室溫至80℃或更低的溫度下進行。

在本申請案中，使如上所述之前驅物組成物膠凝以形成矽石層。當前驅物組成物包含潛在性鹼產生劑時，可藉由活化鹼產生劑以產生鹼來進行該種膠凝步驟，及當不包括潛在性鹼產生劑時，也可藉由使前驅物組成物與適當鹼接觸來進行。此膠凝程序可在基底材料上進行。在此情況下，基底材料可為適當程序基底材料或選自由下列所組成群組之任一種功能層：有機膜、高折射層、硬塗層和抗反射層，彼等係描述於下；偏光膜、偏光膜之保護膜、亮度增強膜、延遲膜、顯示面板或觸控面板、等等。

此膠凝程序也可在根據需要將前驅物組成物模製成適當形狀之後進行。

例如，可在膠凝程序之前進行將前驅物組成物施加至適當基底材料上以形成前驅物層的步驟。在此，施加可以已知的方式諸如棒塗布、缺角輪塗布(comma coating)、端緣塗布(lip coating)，旋轉塗布，浸塗及/或凹版塗布(gravure coating)來進行。

在此，不特別限制其上形成前驅物層的基底材料之類型，其可為適當程序基底材料或光學膜。在本申請案的方法中，所需的矽石層可在沒有高溫處理下形成，且因此矽石層可直接在通常由耐熱性差的聚合物材料或類似者製成的光學膜上形成。不特別限制作為作為基底材料的光學膜之種類，其可為(例如)偏光膜、偏光膜之保護膜、亮度增強膜及/或延遲膜。此外，在另一實例中，基底材料也可為顯示面板或觸控面板。

在一實例中，基底材料可為在一側上具有高折射層、硬塗層和抗反射層的至少一個功能層之光學膜。特別地，矽石層可在基底材料的功能層上形成。

在一實例中，基底材料可為聚合物膜，且可為(例如)其中膜(諸如PET(聚對酞酸乙二酯)膜、PEN(聚萘二甲酸乙二酯)膜、PEEK(聚醚醚酮)膜和PI (聚醯亞胺)膜)以單層或多層的形式存在之基底材料。

此外，作為聚合物膜，例如，也可施加TAC (三乙醯基纖維素)膜；COP (環烯烴共聚物)膜諸如降莰烯衍生物；丙烯酸系膜諸如PMMA(聚(甲基丙烯酸甲酯)；PC(聚碳酸酯)膜；PE(聚乙烯)膜；PP(聚丙烯)膜；PVA(聚乙烯醇)膜；DAC(二乙醯基纖維素)膜；Pac(聚丙烯酸酯)膜；PES(聚醚醚碸)膜、PEI(聚醚醯亞胺)膜；PEN(聚萘二甲酸乙二酯)膜；PET(聚對酞酸乙二酯)膜；PI(聚醯亞胺)膜；PSF(聚碸)膜；PAR(聚芳酯(polyarylate))膜或或氟樹脂膜、等等。

如果需要，也可對基底材料進行適當的表面處理。

如果需要，基底材料也可為光學功能膜諸如適當功能膜，例如，延遲膜、偏光膜、亮度增強膜、或高折射或低折射膜。

在上述程序中，塗層的厚度，即前驅物層的厚度取決於所需矽石層的厚度，其沒有特別限制，例如，且其可以大約200 nm至2 μm之厚度施加。

如果需要，在形成前驅物層的程序中，可在施加前驅物組成物之後進行額外的處理，例如乾燥。例如，可進行乾燥所施加的前驅物組成物以除去一些或所有溶劑的步驟。乾燥程序可在例如大約120℃或更低，100℃或更低，或80℃或更低的溫度下進行。在另一實例中，乾燥步驟中的溫度可為大約20℃或更高，40℃或更高，50℃或更高，或60℃或更高。根據一實例，乾燥步驟可在大約120℃或更低的溫度下進行。在另一實例中，乾燥溫度可在大約50℃或更高，55℃或更高，60℃或更高，65℃或更高，70℃或更高，或75℃或更高下進行，或也可在約110℃或更低，100℃或更低，90℃或更低，或85℃或更低或左右下進行。此外，乾燥時間可在約30秒至1小時的範圍內調整，且時間也可為55分鐘或更少，50分鐘或更少，45分鐘或更少，40分鐘或更少，35分鐘或更少，30分鐘或更少，25分鐘或更少，20分鐘或更少，15分鐘或更少，10分鐘或更少，5分鐘或更少，3分鐘或更少，或2分鐘或更少或左右。

在該程序中，如果需要，也可隨意地在前驅物層上進行適當的預處理。例如，前驅物組成物及/或前驅物層也可進行表面改性程序，諸如電漿處理或類似者。此時，電漿處理可為大氣電漿處理，其可藉由直接方法或間接方法進行。此電漿處理可幫助改良矽石層的強度。

透過上述程序形成的前驅物組成物或前驅物層可進行膠凝以形成矽石層。在此，膠凝為固化前驅物的程序，且藉由此方法可形成上述矽石網絡。在該種矽石網絡中，可存在由於上述界面活性劑所致微胞形成的孔。

當前驅物組成物或前驅物層不包含潛在性鹼產生劑時，膠凝程序可透過使前驅物組成物或前驅物層與胺化合物(其為上述路易斯鹼)或類似者接觸的步驟進行。術語路易斯鹼係指能夠產生非共價電子對的材料，如已知的。在本申請案中，使上述特定前驅物組成物或前驅物層與路易斯鹼接觸並使膠凝以形成矽石層，藉此即使在低溫下也可形成具有所需物理性質的矽石層。

不特別限使前驅物層或類似者與路易斯鹼接觸的方法。例如，可應用將前驅物層浸漬在路易斯鹼中，或者將路易斯鹼塗布、噴塗及/或滴加在前驅物層上、等等的方法。

作為路易斯鹼，可使用具有如上所述之pKa、沸點、閃點及/或常溫蒸氣壓的胺化合物。

該種胺化合物在120℃或120℃或更低的溫度下可為液相。即，胺化合物也可以本身使用，或也可以與水性溶劑諸如水或有機溶劑、等等混合及施加。例如，當化合物在120℃或更低的溫度下為固相時，可將其溶解在水性或有機溶劑中並使用。在此，可用的有機溶劑可以下列中一或多者舉例說明：N,N-二甲基乙醯胺(DMAc)、N-甲基吡咯啶酮(NMP)、N,N-二甲基甲醯胺(DMF)、1,3-二甲基-2-咪唑啶酮、N,N-二乙基乙醯胺(DEAc)、N,N-二甲基甲氧基乙醯胺、二甲亞碸、吡啶、二甲碸、六甲基磷醯胺、四甲脲、N-甲基己內醯胺、四氫呋喃、間-二㗁烷、對-二㗁烷、1,2-二甲氧基乙烷、雙(2-甲氧基乙基)醚、1,2-雙(2-(甲氧基乙氧基)乙烷、雙[2-(2-甲氧基乙氧基)]醚、聚(乙二醇)甲基丙烯酸酯(PEGMA、γ-丁內酯(GBL)和呃奎醯胺(equamide)(Equamide M100，Idemitsu Kosan)，但不限於此。

如上所述，使路易斯鹼與上述特定前驅物組成物接觸以進行膠凝，藉此可有效地獲得具有所需物理性質的矽石層。

也就是說，前驅物層的膠凝或固化反應可藉由與路易斯鹼接觸來誘發。

即使在低溫條件下也可進行該膠凝或固化且可在沒有任何特殊處理下有效地進行，以形成具有所需物理性質的矽石層。在一實例中，該膠凝或固化反應，即與路易斯鹼接觸，可在低溫下進行，例如在約120℃或更低或左右的溫度下進行。在一實例中，該接觸也可在110℃或更低，100℃或更低，90℃或更低，或85℃或更低下進行且也可在60℃或更高，65℃或更高，70℃，或75℃或更高或左右下進行。

該膠凝或固化可進行適當的時間，且例如，可進行大約1分鐘至20分鐘或3分鐘至10分鐘或左右，但不限於此。

當包括潛在性鹼產生劑時，矽石前驅物可藉由熱或用光照射而不進行接觸程序施加，以產生鹼，從而進行膠凝或固化並形成矽石層。

當已包括潛在性鹼產生劑時，膠凝程序可藉由活化鹼產生劑的步驟進行。活化步驟統稱為將相關的產生劑轉化為鹼性化合物或觸媒，或製造該化合物或觸媒的步驟。

可考慮所使用的鹼產生劑之種類來調整鹼產生劑的活化步驟之具體條件。例如，當施加熱鹼產生劑時，活化步驟可藉由施加熱而使得矽石層保持在約50℃至250℃的溫度範圍內，在50℃至200℃的溫度範圍內或在約50℃至150℃的範圍內來進行，且當施加光鹼產生劑時，其可藉由用具有大約300nm至450nm波長的光照射矽石層來進行。在此，熱施加可進行例如大約1分鐘至1小時範圍內的時間，且光照射可在大約200mJ/cm² 至3J/cm² 的強度下進行。

在本申請案中，矽石層可以與上述相同的方式形成。在本申請案中，在以此方式形成矽石層之後，也可進行另一額外程序諸如隨意地的清潔程序。

例如，在膠凝步驟之後，也可進行除去殘餘界面活性劑的程序。不特別限制進行上述步驟的方法，及例如，上述步驟可藉由用適當水性溶劑(水、等等)及/或有機溶劑洗滌矽石層的方法進行。在一實例中，除去殘餘界面活性劑的步驟可使用超音波清洗以水性溶劑(水、等等)及/或有機溶劑進行，其中可藉由在大約100℃內的溫度下加熱水性溶劑(水、等等)及/或有機溶劑時將其洗滌的方法來調整程序溫度。

在獲得低折射率的情況下，可使用有機溶劑，例如醇，酮溶劑或乙酸酯溶劑進行該除去。因此，可更有效地達到所需的折射率。在此情況下，醇溶劑的實例可以乙醇、正丙醇、異丙醇、異丁醇、正丁醇及/或三級丁醇、等等舉例說明；酮溶劑可以丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、二甲基酮、甲基異丙酮及/或鯨蠟基丙酮、等等舉例說明；及乙酸酯溶劑可以乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯及/或乙酸丁酯、等等舉例說明，但不限於此。

不特別限制洗滌程序的溫度。例如，程序可在大約20℃至100℃之範圍內的溫度下進行。在另一實例中，溫度可為約25℃或更高，30℃或更高，35℃或更高，40℃或更高，45℃或更高，或55℃或更高，或可為90℃或更低，80℃或更低，70℃或更低，或60℃或更低。

此外，不限制洗滌時間，其可進行(例如)約1至100小時。在另一實例中，時間可為約2小時或更多，3小時或更多，4小時或更多，5小時或更多，6小時或更多，7小時或更多，8小時或更多，9小時或更多，10小時或更多，11小時或更多，12小時或更多，13小時或更多，14小時或更多，15小時或更多，或16小時或更多，或亦可為90小時或更少，80小時或更少，70小時或更少，60小時或更少，50小時或更少，40小時或更少，30小時或更少，或20小時或更少。

在本申請案的方法中，所有程序都可以低溫程序進行。也就是說，本申請案的所有程序可在將描述於下的低溫程序之溫度下進行。在本申請案中，術語低溫程序意指具有約350℃或更低，約300℃或更低，約250℃或更低，約200℃或更低，約150℃或更低，或約120℃或更低之程序溫度的程序。在本申請案之矽石層的製造程序中，所有程序均可在上述溫度範圍內進行。

在本申請案中，因為可有效地形成(即使藉由如上所述之低溫程序亦然)具有所欲物理性質之矽石層，例如，高密度和高硬度矽石層，例如，大量的具有所欲物理性質之矽石層可藉由連續且廉價的程序形成，及即使在弱抗熱的基底材料(諸如聚合物膜)上也可直接有效地形成矽石層。不特別限制低溫程序中的程序溫度的下限，例如，低溫程序可在約10℃或更高，15℃或更高，20℃或更高，或25℃或更高下進行。

即使在藉由所謂的輥對輥(roll-to-roll)程序或類似者的連續程序中，也可有效地進行本申請案的矽石層之該種製造程序。

此外，本申請案之矽石層藉由其中包含的孔而具有適當的折射率特性，因此，其可有效地用於例如低反射層等等的應用。

本申請案亦關於包含矽石層的層合物。層合物可包含例如矽石層和與矽石層接觸的有機膜。在此，矽石層可在有機膜上直接形成，且因此，在矽石層和有機膜之間可不存在任何種類的層。此時，不特別限制所施加的有機膜之類型，其可為(例如)稱為高折射層、硬塗層或抗反射層、等等的功能層、或其中功能層隨意地在表面上形成之光學膜、偏光膜、偏光膜之保護膜、亮度增強膜及/或延遲膜、或其他聚合物膜、或顯示面板或觸控面板、等等，但不限於此。有利效果

本申請案可提供一種透過在不使用昂貴設備低溫下的簡單方法能夠容易地形成矽石層作為膜的方法，於該矽石層中，在內部形成了孔且適當地控制了包括折射率等等的光學特性，該膜具有作為主要成分之矽石網絡。

發明模式

在下文中，將經由實施例更詳細地描述本申請案的範圍，但本申請案的範圍不受下列實施例的限制。

1. 鋼絲絨測試

藉由用鋼絲絨摩擦下列所形成的矽石層同時將其保持在25℃的溫度和50%相對濕度下來評估耐鋼絲絨性。在評估程序中，在逐漸增加負荷的同時進行評估，直到目視觀察到諸如刮痕的缺陷為基，並且將負荷描述為評估結果。在此，作為鋼絲絨，使用歐洲Briwax銷售的＃0000等級的鋼絲絨。

2. 反射率的評估

將所形成的矽石層層合在PET(聚(對酞酸乙二酯))膜上後，在25℃的溫度和50%的相對濕度下使用測量儀器(分光光度計，Konica-Minolta，CM-2600D)而基於具有550 nm波長的光評估反射率。

實施例1。

將TEOS(四乙氧基矽烷)與作為溶劑的乙醇(EtOH)混合並攪拌10分鐘左右。隨後，其中混合蒸餾水(H₂ O)和鹽酸(HCl)的觸媒溶液以約5分鐘緩慢滴加至混合物中並攪拌。滴加後，將混合物進一步攪拌大約18小時，無需單獨冷卻或恆溫保持。攪拌後，pH為大約2至5之程度。在此，混合組分的比例為大約36.14：92.14：104.17：3.65(重量比：蒸餾水：TEOS：乙醇：鹽酸)。

當假定全部所添加的TEOS為100%反應來計算混合物中矽石固體的含量時，可計算為約11.25 wt%左右。將所得混合物與作為界面活性劑之CTAB(溴化鯨蠟基三銨，C16；Aldrich)以CTAB相對於100重量份所計算固體含量為50重量份的比率混合，以獲得前驅物組成物。

之後，藉由棒塗布法將前驅物組成物塗覆在玻璃基底材料上至大約1 μm左右的厚度，並在烘箱中於80℃左右下乾燥1分鐘左右以形成前驅物層。

將所得前驅物層在約80℃下浸漬在三辛胺(TOA)中約5分鐘左右，以形成具有約120 nm的厚度之矽石層。將所形成的矽石層用約40℃左右之流水洗滌3分鐘左右，並在烘箱中於80℃下左右乾燥2分鐘左右，及接著測量反射率(下表1中的反射率1)，並為了除去殘餘的界面活性劑，使用50℃的乙醇洗滌1小時，並接著再次測定反射率(下表1中的反射率2)。所形成的矽石層之物理性質評估結果係總結在下表1中。

實施例2至11

以與實施例1相同的方式製備矽石層，不同之處在於如下表1中所示控制界面活性劑的種類和比例，及結果亦總結於下表1中。

實施例12至20

以與實施例1相同的方式製備矽石層，不同之處在於如下表1中所示控制界面活性劑的種類和比例、矽石層的厚度和界面活性劑的清潔條件，及結果係總結於下表2中。

Claims

一種製備矽石層的方法，其包含使由前驅物組成物形成之前驅物層膠凝的步驟，該前驅物組成物包含矽石前驅物、酸觸媒和界面活性劑，其中該界面活性劑在該前驅物層或該前驅物組成物中形成微胞。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該矽石前驅物為下列式D或E之矽烷化合物、該矽烷化合物之水解物或該矽烷化合物之縮合反應產物：[式D]SiR¹ _(4-n)(OR²)_n其中，R¹為氫、烷基、烯基、芳基、芳基烷基、環氧基或(甲基)丙烯醯氧基烷基，R²為具有1至4個碳原子的烷基、具有6至12個碳原子的芳基或氫原子，及n為3或4：
其中，L為選自由下列所組成群組的任一者之二價鍵聯基：伸烷基和伸芳基，或其二或更多者之組合，及R₃至 R₈各自獨立地為具有1至4個碳原子的烷基、具有1至4個碳原子的烷氧基、具有6至12個碳原子的芳基或氫原子。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該前驅物組成物包含比率範圍從5至60wt%之矽石前驅物。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該前驅物組成物進一步包含溶劑。
根據申請專利範圍第4項之製備矽石層的方法，其中該溶劑為水性溶劑和有機溶劑之混合溶劑。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該前驅物組成物進一步包含溶劑且該界面活性劑的濃度係調整為在1至5倍該溶劑之臨界微胞濃度的範圍。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該界面活性劑為陽離子性界面活性劑、陰離子性界面活性劑或非離子性界面活性劑。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該膠凝係藉由使該前驅物層與具有pKa為8或更小的胺化合物接觸來進行。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該前驅物組成物進一步包含潛在性鹼產生劑及該膠凝係藉由從該潛在性鹼產生劑產生鹼進行。
根據申請專利範圍第9項之製備矽石層的方法，其中該潛在性鹼產生劑為以下列式11表示之化合物；或具有以下列式13至15中之一者表示之陽離子性化合物或包含在下列式16化合物中或由其衍生者的離子性化合物：
其中，R₉為氫、具有1至20個碳原子的烷基或具有6至12個碳原子的芳基，R₁₁和R₁₂可各自獨立地為氫或具有1至4個碳原子的烷基，及R₁₀可為氫、具有1至4個碳原子的烷基、具有7至16個碳原子的芳基烷基或下列式12之取代基：
其中，L₁為具有1至4個碳原子的伸烷基，
其中，R₁₃至R₂₀各自獨立地為氫或具有1至20個碳原子的烷基，
其中，R₂₁至R₂₄各自獨立地為氫或具有1至20個碳原子的烷基，
其中，R₂₅至R₃₀各自獨立地為氫或具有1至20個碳原子的烷基，
其中，L₆為具有1至20個碳原子的伸烷基。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，在該膠凝程序之後進一步進行除去界面活性劑的程序。
根據申請專利範圍第11項之製備矽石層的方法，其中該界面活性劑之除去係使用醇溶劑、酮溶劑或乙酸酯溶劑進行。
根據申請專利範圍第1項之製備矽石層的方法，其中該前驅物層的膠凝在基底材料上進行。
根據申請專利範圍第13項之製備矽石層的方法，其中該基底材料為選自由下列所組成群組之任一種功能層：高折射層、硬塗層和抗反射層；偏光膜、偏光膜之保護膜、亮度增強膜、延遲膜、顯示面板或觸控面板。