TWI680045B - 薄片或薄膜成形輥裝置、薄片或薄膜成形方法 - Google Patents

Abstract

依據其中一個實施形態，第2馬達之旋轉狀態，係直接被傳導至第2輥處。第2馬達之旋轉中心軸的姿勢，係被維持於一定。第2輥之變化狀態，係並不會被傳導至第2馬達處。藉由此，來使第2輥以與第2馬達之旋轉狀態相同的時序而旋轉。

Description

薄片或薄膜成形輥裝置、薄片或薄膜成形方法 關連申請案

本發明，係以日本專利申請案第2016-071980號(2016年3月31日)、第2016-176894號(2016年9月9日)、第2016-239573號(2016年12月9日)作為基礎，並主張其優先權，且藉由引用而包含該些之所有內容。

本發明，係有關於用以並不產生齒輪痕(gear mark)(亦即是，橫條紋(horizontal stripes))地來製造(成形)薄片或薄膜之薄片或薄膜製造(成形)技術。

在薄片或薄膜製造(成形)技術中，例如，係從T模(T-Die)來將熔融樹脂薄薄地擴廣並吐出。將所吐出的熔融樹脂供給至相互對向並旋轉之2個的輥之相互之間。對於輥之相互的間隔作控制。如此這般地，來連續性地製造(成形)與使用目的乃至於用途相對應的薄片或薄膜。 於此，對於與薄片或薄膜製造(成形)技術有所關連的裝置作了開示之專利文獻1~4係為周知。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開平10-249909號公報

專利文獻2：日本特開平8-25458號公報

專利文獻3：日本實開昭62-35815號公報

專利文獻4：日本特開2005-1170號公報

在專利文獻1之裝置中，基準輥以及被配置在基準輥之兩側處的從動輥，係分別透過軸接頭以及減速機而藉由精密控制電動機來被作驅動控制。各輥係安定地旋轉。如此這般，係能夠謀求薄片之光學特性的提升。換言之，薄片之遲滯(retardation)係變小。

在專利文獻2之裝置中，係將薄片狀物在相互對向並旋轉之第1輥與第2輥之間進行加壓，之後藉由第3輥來冷卻。將第1~第3輥之表面溫度和從第3輥而來之薄片的拉取速度，控制在預先所設定了的範圍內。如此這般，係能夠得到表面狀態為良好並且並不存在有彎翹(bend、curve)之在平板性上為優良的聚碳酸酯薄片。

在專利文獻3之裝置中，代替齒輪式減速機，係適用有並不需要齒輪的行星輥式減速機(planetary roller reducer)。係能夠並不產生齒輪構造所特有的齒隙 (backlash)地而製造(成形)塑膠薄片。如此這般，在薄片面上沿著橫切過該薄片之進送方向的方向而產生複數之齒輪痕(橫條紋)的情形係被作抑制。

在專利文獻4之裝置中，作為輥之驅動系，係適用有所謂的直驅方式之驅動機構。在該驅動機構中，係在將包含有齒輪式乃至於行星輥式之一切的減速機作了除外的狀態下，將馬達(轉子(rotor))對於輥(驅動軸部)而直接地作連結(亦即是，直接連結)。如此這般，而在使輥(驅動軸部)之旋轉中心軸被維持於一定之姿勢的狀態下(換言之，馬達(轉子)之旋轉中心軸被維持於一定之姿勢的狀態下)，並不會使齒輪痕(橫條紋)產生地而製造(成形)薄片或薄膜。

然而，專利文獻1、2之裝置，係在成形條件和運轉條件上有所受限。亦即是，在使用目的乃至於用途上係有所受限。因此，係缺乏該裝置之多樣性。專利文獻3之裝置，係有必要確保有較廣的行星輥式減速機之設置場所。亦即是，行星輥式減速機，其構造係為複雜。故而，係無法避免裝置全體之大型化。因此，在裝置全體之緊緻化上係有著一定的限度。

進而，關於專利文獻4之裝置，在本案發明者們努力進行研究開發的過程中，係發現到存在有下述一般之課題。專利文獻4之裝置，係成為使被與馬達直接作連結之輥作旋轉的規格。

但是，在馬達的動作中，於該馬達處，係產生有轉矩 漣波(torque ripple)。所謂轉矩漣波，係指當在馬達中流動電流並使定子與轉子進行相對旋轉時，起因於定子與轉子間之磁通量的相互作用所導致的脈動現象(ripple phenomenon)。

於此情況，當形成轉矩漣波(脈動現象)之各頻率成分(波長成分)中的某一頻率成分(波長成分)之大小例如超過臨限值時，係會有產生與該頻率成分(波長成分)之大小相對應的大小之齒輪痕(橫條紋)的情況。

在專利文獻4之規格中，係將從T模所吐出了的熔融樹脂供給至相互對向而旋轉之2個的輥之相互間。此時，例如，係對於輥相互間之間隔調整、馬達之旋轉控制等的運轉條件或成形條件作設定。如此這般，來並不使齒輪痕(橫條紋)產生地來連續性製造(成形)薄片或薄膜。

在該製造(成形)製程中，例如為了進行成形品之厚度調整或外部擾動之修正，係使相對於其中一方之輥的另外一方之輥的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)變化。此時，另外一方之輥的推壓附著狀態之影響、亦即是其中一方之輥的變化狀態，係會直接傳導至馬達處。換言之，雙方之輥的撓折狀態係改變，該作了變化的撓折狀態，係會直接傳導至馬達處。起因於此，該馬達之旋轉中心軸的姿勢係會變化。若是馬達之旋轉中心軸的姿勢有所變化，則對應於此，上述之轉矩漣波(脈動現象)的大小也會改變。

轉矩漣波(脈動現象)的大小之變化，係與從旋轉中 之馬達所產生之各種的頻率成分(波長成分)之各者的大小之變化相互對應。於此，當某一頻率成分(波長成分)之大小例如超過了臨限值時(換言之，依存於另外一方之輥的推壓附著狀態之大小的程度)，係會有產生與該大小(頻率成分(波長成分))之大小相對應之齒輪痕(橫條紋)的情況。

此時，也會有不僅是產生有基於單一之頻率成分(波長成分)所導致的齒輪痕(橫條紋)而亦產生有基於複數之頻率成分(波長成分)相互重疊之結果所導致的齒輪痕(橫條紋)的情況。如此這般，在薄片(薄膜)之表面上，係沿著橫切過該薄片(薄膜)之進送方向的方向而產生複數之齒輪痕(橫條紋)。

在圖21中，係展示有對於複數之齒輪痕(橫條紋)作了攝影的畫像資料。在畫像資料中，在薄片(薄膜)之表面上，係沿著橫切過該薄片(薄膜)之進送方向的方向而產生有複數之齒輪痕(橫條紋)。在圖21中，作為其中一例，係展示有具備特定之規則性乃至於週期性的複數之齒輪痕(橫條紋)。此些之複數之齒輪痕(橫條紋)的發生時序(週期、間隔(節距))，大致係成為30mm以下。

此種齒輪痕(橫條紋)，係成為導致薄片(薄膜)之外觀或光學性特性劣化的重要因素。因此，係對於就算是在使相對於其中一方之輥的另外一方之輥的推壓附著狀態作了改變的情況時也能夠將馬達之旋轉中心軸的姿勢維持於一定之技術(換言之，不會使另外一方之推壓附著狀態 之影響、亦即是其中一方之輥的變化狀態直接傳導至馬達處的技術)有所需求。

因此，本發明之目的，係在於提供一種：就算是在使相對於其中一方之輥的另外一方之輥的推壓附著狀態作了改變的情況時，也能夠將馬達之旋轉中心軸的姿勢維持於一定，並且成為不會使另外一方之推壓附著狀態之影響、亦即是其中一方之輥的變化狀態直接傳導至馬達處，而藉由此來防範齒輪痕(橫條紋)之產生於未然的薄片或薄膜製造(成形)技術。

1‧‧‧薄片或薄膜製造裝置

2‧‧‧吐出單元

3‧‧‧輥單元

4‧‧‧溫度調節單元

4a‧‧‧第1配管

4b‧‧‧第2配管

4c‧‧‧第3配管

5‧‧‧推拉單元

5a‧‧‧第1推拉機構

5b‧‧‧第2推拉機構

5c‧‧‧第3推拉機構

5d‧‧‧第4推拉機構

6‧‧‧驅動單元

7a‧‧‧熔融樹脂

7b‧‧‧熔融樹脂

7c‧‧‧薄片(薄膜)

8‧‧‧壓出機

9‧‧‧T模

10‧‧‧連結管

11‧‧‧斗

12‧‧‧第1輥

12a‧‧‧第1驅動軸部

12b‧‧‧第2驅動軸部

12p‧‧‧第1環狀區域

12r‧‧‧第1旋轉中心軸

12s‧‧‧第1轉印面

13‧‧‧第2輥

13a‧‧‧第3驅動軸部

13b‧‧‧第4驅動軸部

13p‧‧‧第2環狀區域

13r‧‧‧第2旋轉中心軸

13s‧‧‧第2轉印面

14‧‧‧第3輥

14a‧‧‧第5驅動軸部

14b‧‧‧第6驅動軸部

14r‧‧‧第3旋轉中心軸

14s‧‧‧進送面

15‧‧‧第1軸承機構

16‧‧‧第2軸承機構

17‧‧‧第3軸承機構

18‧‧‧第4軸承機構

19‧‧‧第5軸承機構

20‧‧‧第6軸承機構

21‧‧‧第1內筒

22‧‧‧第1外筒

23‧‧‧第2內筒

24‧‧‧第2外筒

25‧‧‧支持板

26‧‧‧線性導軌

27‧‧‧線性導軌

28‧‧‧線性導軌

29‧‧‧固定部

30‧‧‧基體

31‧‧‧安裝機構

32‧‧‧預先所設定的場所

33‧‧‧壓力作用部

34‧‧‧支持板

35‧‧‧線性導軌

36‧‧‧線性導軌

37‧‧‧線性導軌

38‧‧‧致動器

39‧‧‧控制裝置

40‧‧‧汽缸本體

41‧‧‧連結筒體

42‧‧‧支持框架

43‧‧‧活塞

44‧‧‧活塞桿

45‧‧‧汽缸

45a‧‧‧前進腔

45b‧‧‧後退腔

46‧‧‧控制器

47‧‧‧伺服馬達

48‧‧‧雙方向幫浦

49‧‧‧第1計測器

50‧‧‧第2計測器

51‧‧‧負載胞

52‧‧‧壓力感測器

53‧‧‧第1驅動機構

54‧‧‧第2驅動機構

55‧‧‧第3驅動機構

56‧‧‧第1馬達

57‧‧‧第2馬達

58‧‧‧第3馬達

59‧‧‧轉子

60‧‧‧定子

61‧‧‧永久磁石

62‧‧‧線圈

63‧‧‧中空圓筒部

64‧‧‧第1旋轉軸部

65‧‧‧第2旋轉軸部

66‧‧‧第3旋轉軸部

67‧‧‧旋轉中心軸

68‧‧‧安裝面

69‧‧‧凸緣部

70‧‧‧螺桿

71‧‧‧固定孔

72‧‧‧第1動力傳導機構

73‧‧‧固定耦合構件

74‧‧‧撓折耦合構件

75‧‧‧減速機

76‧‧‧第1轂凸緣

77‧‧‧第2轂凸緣

78‧‧‧第1凸緣部

79‧‧‧第1安裝部

80‧‧‧第2凸緣部

81‧‧‧第2安裝部

82‧‧‧連結軸

83‧‧‧第1轂凸緣

84‧‧‧第2轂凸緣

85‧‧‧板彈簧單元

86‧‧‧第1凸緣部

87‧‧‧第1安裝部

88‧‧‧第2凸緣部

89‧‧‧第2安裝部

90‧‧‧板彈簧

90h‧‧‧貫通孔

91‧‧‧螺桿

92‧‧‧墊圈

93‧‧‧螺帽

94‧‧‧間隔物(中間軸部)

94p‧‧‧中繼部

95‧‧‧第2動力傳導機構

96‧‧‧第3動力傳導機構

97‧‧‧第1凸緣部

98‧‧‧第2凸緣部

99‧‧‧連桿式耦合構件

100‧‧‧第1碟

100a‧‧‧第1面

101‧‧‧第2碟

101a‧‧‧第2面

102‧‧‧第3碟

102a‧‧‧第1中間面

102b‧‧‧第2中間面

103‧‧‧第1連桿

104‧‧‧第2連桿

105‧‧‧第3連桿

106‧‧‧第4連桿

107‧‧‧第1銷

108‧‧‧第2銷

109‧‧‧第3銷

110‧‧‧第4銷

111‧‧‧連結具

112‧‧‧連結具

113‧‧‧連結孔

114‧‧‧連結孔

115‧‧‧連結孔

116‧‧‧連結孔

117‧‧‧球形接頭

118‧‧‧軸

119‧‧‧橡膠製罩套

120‧‧‧彈性軸接頭

121‧‧‧撐桿

122‧‧‧軸承

123‧‧‧台座

124‧‧‧內軸構件

124e‧‧‧嵌合部

124p‧‧‧凸部

124r‧‧‧中心軸

125‧‧‧外軸構件

125p‧‧‧凹部

125r‧‧‧中心軸

126‧‧‧彈性體

127a‧‧‧推壓附著機構

127b‧‧‧推壓附著機構

128‧‧‧可撓軸

129‧‧‧軸承箱

130‧‧‧線性導軌

131‧‧‧活塞桿

132‧‧‧致動器

133‧‧‧推壓附著狀態

Fd‧‧‧進送方向

O₀‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₂‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₃‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₄‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₅‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₆‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₇‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₈‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₉‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁₀‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁₁‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁₂‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁₃‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁₄‧‧‧旋轉中心之軌跡

O₁₅‧‧‧旋轉中心之軌跡

以下，參照圖面，針對本發明之實施形態以及各種變形例作說明，另外，該些圖面，係僅為對於本發明之實施形態作一描述，本發明係並不被該些圖面所限定。

圖1，係為對於第1實施形態之薄片或薄膜製造裝置的基本構成作概略性展示之立體圖。

圖2，係為圖1之薄片或薄膜製造裝置之平面圖。

圖3，係為對於圖2之第1以及第3動力傳導機構的構成作展示之側面圖。

圖4，係為第2實施形態之薄片或薄膜製造裝置的平面圖。

圖5，係為第2實施形態之其他構成的薄片或薄膜製造裝置之平面圖。

圖6，係為對於圖5之第1以及第3動力傳導機構的構成 作展示之側面圖。

圖7，係為挾壓(compression)狀態下的第1以及第2輥之剖面圖。

圖8，係為推壓(press)狀態下的第1以及第2輥之剖面圖。

圖9，係為接壓(touch、contact)狀態下的第1以及第2輥之剖面圖。

圖10，係為對於油壓伺服型之推拉機構作展示之區塊圖。

圖11，係為對於使用有永久磁石的馬達之內部構成作展示之剖面圖。

圖12，係為對於可嵌合於馬達處之旋轉軸部的構成作展示之立體圖。

圖13，係為對於可安裝於馬達處之旋轉軸部的構成作展示之立體圖。

圖14，係為對於被與馬達作了一體性的構成之旋轉軸部的構成作展示之立體圖。

圖15，係為對於第2動力傳導機構的構成作展示之立體圖。

圖16，係為第3實施形態之薄片或薄膜製造裝置的平面圖。

圖17，係為對於圖16之第1以及第3動力傳導機構的構成作展示之立體圖。

圖18，係為第4實施形態之薄片或薄膜製造裝置的平 面圖。

圖19，係為對於在齒輪痕(橫條紋)之產生試驗時藉由朝向第2輥而使第1輥作往返移動來使熔融樹脂之厚度作變動的狀態作展示之圖。

圖20，係為對於圖19之熔融樹脂的厚度之變動的模樣作示意性展示之圖。

圖21，係為產生有齒輪痕(橫條紋)之先前技術之樣本的畫像圖。

圖22，係為對於齒輪痕(橫條紋)作了抑制的本發明之樣本的畫像圖。

圖23，係為對於在第5實施形態之薄片或薄膜製造裝置中的第2動力傳導機構之構成作展示之側面圖。

圖24，係為沿著圖23之F24-F24線的剖面圖。

圖25，係為圖23之內軸構件的立體圖。

圖26，係為圖23之外軸構件的立體圖。

圖27，係為第6實施形態之薄片或薄膜製造裝置的平面圖。

圖28，係為對於使圖27之第2輥作了撓折的狀態作示意性展示之圖。

圖29，係為對於藉由推壓附著機構來將第2輥之撓折作了消除的狀態作示意性展示之圖。

「直到完成本發明為止的經過」

在本發明者們針對在將全部的減速機作了除外的狀態下來將馬達(轉子)和輥(驅動軸部)作了連結的薄片或薄膜製造(成形)技術而努力進行了技術研究之後，係如同下述(1)~(6)一般地而完成了本發明之開發。

(1)在該技術研究中，係適用被直接與馬達作了連結的輥構造。亦即是，係將第1馬達直接與第1輥作連結。係將第2馬達直接與第2輥作連結。使第1輥和第2輥相互對向而作旋轉。以不會產生齒輪痕(橫條紋)的方式來對於運轉條件或成形條件作設定。在該狀態下，將熔融樹脂供給至第1輥與第2輥之相互之間。

(2)在薄片(薄膜)之製造(成形)中，例如為了進行成形品之厚度調整或外部擾動之修正，係使相對於第2輥之第1輥的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)變化。如此一來，係產生了與齒輪痕(橫條紋)相類似之複數之條紋模樣。該條紋模樣(亦即是，齒輪痕(橫條紋))的發生時序(週期、間隔(節距))，係與第2馬達之轉矩漣波的發生時序(週期、間隔(節距))略一致。於此情況，關於條紋模樣(亦即是，齒輪痕(橫條紋))的發生，第1馬達之轉矩漣波的影響相對性而言係為較小。

(3)對於條紋模樣(齒輪痕(橫條紋))的發生時序(週期、間隔(節距))，起因於齒輪效應(cogging)現象所發生的轉矩漣波之影響係為大。所謂齒輪效應現象，係指當並不在馬達中流動電流地而使定子(線圈)與轉子(永久磁石)進行相對旋轉時，起因於定 子(線圈)與轉子(永久磁石)間之磁阻的變化所產生之脈動現象。

(4)使相對於第2輥之第1輥的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)作改變。此時，第1輥的推壓附著狀態之影響、亦即是第2輥的變化狀態(例如，第2輥之旋轉中心軸之姿勢的變化狀態)，係會對於第2馬達之轉子而直接產生作用。換言之，第1以及第2輥之撓折狀態係變化，該變化了的撓折狀態係會直接傳導至第2馬達(轉子)處。如此一來，轉子之旋轉中心軸的姿勢係會變化。藉由此，在使定子與轉子作了相對旋轉時，定子與轉子之間的空隙係成為沿著周方向而並不會維持於一定的狀態，換言之，係成為沿著周方向而作不規則的變化的狀態。在此狀態下，定子與轉子之間的磁阻係會沿著周方向而作不規則的變化。其結果，係成為無法使第2馬達以一定之速度來順暢地旋轉。

如此一來，從第2馬達所產生之各種的頻率成分(波長成分)之大小(亦即是，轉矩漣波之大小)係會改變。此時，依存於某一頻率成分(波長成分)之轉矩漣波之大小的程度，係會變得容易產生與該頻率成分(波長成分)之大小相對應的齒輪痕(橫條紋)。

(5)依存於相對於第2輥之第1輥的推壓附著狀態之程度，係會發生第2輥與第2馬達之間之連結狀態變得不安定的情況，使第2輥和第2馬達直接作連結的構造，係並不能說是絕對有效。因此，係對於能夠在將第2馬達之旋轉 中心軸的姿勢維持於一定的同時亦能夠使第1輥之推壓附著狀態之影響(亦即是，第2輥之變化狀態)不會傳導至第2馬達處的技術有所需求。

(6)為了實現此技術，例如，係使用旋轉軸部和動力傳導機構。將旋轉軸部與第2馬達(轉子)作連結。將動力傳導機構，配置在輥(驅動軸部)和第2馬達(轉子)之間。亦即是，係將輥(驅動軸部)連結於動力傳導機構之其中一端側處。在動力傳導機構之另外一端側處，連結第2馬達(轉子)。

若依據此構成，則係不會有使相對於第2輥之第1輥的推壓附著狀態之影響、亦即是第2輥的變化狀態傳導至第2馬達處的情形。於此情況，被連結於第2馬達處之旋轉軸部，係恆常被維持於一定之姿勢。第2馬達(轉子)之旋轉中心軸的姿勢，亦係恆常被維持於一定。藉由此，係能夠使第2馬達(轉子)恆常以一定之速度來順暢地旋轉。其結果，係能夠將第2馬達之轉矩漣波維持於不會產生齒輪痕(橫條紋)的範圍(水準)內。

「第1實施形態之薄片或薄膜製造裝置1」

於此，參考圖面，對於本發明之各實施形態作展示，在其中一個實施形態中，如同於圖1~圖3中所示一般，薄片或薄膜製造裝置1，係具備有薄片或薄膜成形輥裝置、和吐出單元2、以及溫度調節單元4。薄片或薄膜成形輥裝置，係具備有輥單元3和推拉單元5以及驅動單元6，而構 成之。

吐出單元2，係構成為能夠將熔融樹脂7a薄薄地擴廣吐出。輥單元3，係構成為能夠將被吐出的熔融樹脂7a，藉由後述之複數之輥(第1輥12、第2輥13、第3輥14)來成形為與用途相對應的形態(例如，形狀、厚度)。溫度調節單元4，係構成為能夠對各輥12、13、14之溫度作調節。推拉單元5，係構成為能夠使相對於第2輥13之第1輥以及第3輥12、14的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)作改變。驅動單元6，係構成為能夠對各輥12、13、14之旋轉狀態作控制。以下，作具體性說明。

「吐出單元2」

如同圖1中所示一般，吐出單元2，係具備有壓出機8、和T模9。壓出機8和T模9，係通過連結管10而被相互作連結。壓出機8，係具備有汽缸(未圖示)和斗(hopper)11。另外，壓出機8、T模9、連結管10，係被加熱至預先所設定了的溫度，並且被保持於該設定溫度。設定溫度，係成為較後述之各輥12、13、14之設定溫度而更高的溫度。

汽缸，係被可旋轉地插通有1以及複數之螺桿(未圖示)。於在汽缸處被插通有1個的螺桿之規格中，係構成單軸壓出機。於在汽缸處被插通有複數(例如，2個)的螺桿之規格中，係構成2軸壓出機。

斗11，係構成為能夠對於汽缸投入樹脂原料。例如， 係從斗11而投入錠狀的樹脂原料。被投入了的樹脂原料，係在汽缸內藉由旋轉之螺桿而被熔融並混練。被作了熔融、混練的樹脂原料，係在熔融狀態下被搬送至汽缸之前端處。

被搬送至汽缸之前端處的熔融樹脂，係從連結管10而被供給至T模9處。T模9，係構成為能夠將被供給了的熔融樹脂擴廣並吐出。從T模9而被吐出了的熔融樹脂，係被供給至輥單元3處。作為熔融樹脂7a之供給方法的其中一例，在圖面中，係對於從T模9來沿著重力(垂直)方向而吐出熔融樹脂7a的規格作展示。

「輥單元3」

如同在圖1、圖2、圖7~圖9中所示一般，輥單元3，係具備有第1輥12(推壓附著輥)、和第2輥13(基準輥)、以及第3輥14(拉離輥)。第1~第3輥12~14，係構成為能夠藉由後述之溫度調節單元4，來分別個別地進行溫度調節。

第1輥12，係具備有1根的第1旋轉中心軸12r。在第1輥12之兩側處，係各設置有1個的第1驅動軸部12a和第2驅動軸部12b。第1以及第2驅動軸部12a、12b，係與第1旋轉中心軸12r構成為同心圓狀。第1驅動軸部12a，係被可旋轉地支持於第1軸承機構15處。第2驅動軸部12b，係被可旋轉地支持於第2軸承機構16處。如此這般，第1輥12，係以第1旋轉中心軸12r作為中心而被可旋轉地作支持。

進而，第1輥12，係具備有圓筒形狀之第1轉印面12s。第1轉印面12s，係成為鏡面加工面。第1輥12(第1轉印面12s)，係構成為能夠藉由推拉單元5，來推壓附著於後述之第2輥13(第2轉印面13s)處或者是從第2輥13(第2轉印面13s)而拉離。

第2輥13，係具備有1根的第2旋轉中心軸13r。在第2輥13之兩側處，係各設置有1個的第3驅動軸部13a和第4驅動軸部13b。第3以及第4驅動軸部13a、13b，係與第2旋轉中心軸13r構成為同心圓狀。第3驅動軸部13a，係被可旋轉地支持於第3軸承機構17處。第4驅動軸部13b，係被可旋轉地支持於第4軸承機構18處。如此這般，第2輥13，係以第2旋轉中心軸13r作為中心而被可旋轉地作支持。

於此，第3以及第4軸承機構17、18，係經由後述之固定部29而被固定於基體30處。藉由此，具備有藉由第3以及第4軸承機構17、18而被可旋轉地作了支持的第3以及第4驅動軸部13a、13b之第2輥13，係被維持於恆常被固定在預先所設定了的定位置處之狀態。

進而，第2輥13，係具備有圓筒形狀之第2轉印面13s。第2轉印面13s，係成為鏡面加工面。第2轉印面13s，係構成為能夠將從T模9而沿著重力(垂直)方向所吐出的熔融樹脂7a，沿著預先所設定了的薄片(薄膜)之進送方向Fd而作導引。

第3輥14，係具備有1根的第3旋轉中心軸14r。在第3輥14之兩側處，係各設置有1個的第5驅動軸部14a和第6驅 動軸部14b。第5以及第6驅動軸部14a、14b，係與第3旋轉中心軸14r構成為同心圓狀。第5驅動軸部14a，係被可旋轉地支持於第5軸承機構19處。第6驅動軸部14b，係被可旋轉地支持於第6軸承機構20處。如此這般，第3輥14，係以第3旋轉中心軸14r作為中心而被可旋轉地作支持。

進而，第3輥14，係具備有圓筒形狀之進送面14s。進送面14s，係並非絕對需要成為鏡面加工面。進送面14s，係構成為能夠將後述的熔融樹脂7b沿著進送方向Fd而作導引。

作為第1~第3輥12、13、14之佈局的其中一例，在圖面中，係對於將第1~第3輥12、13、14作橫向配置的規格作展示。在橫向配置中，第1~第3輥12、13、14(亦即是，第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r)，係沿著水平方向而相互平行地配置在同一高度上。

進而，第1~第3輥12、13、14，係可構成為相互具備有相同的直徑，或者是亦可構成為具備有互為相異之直徑。在構成具備有互為相異之直徑之第1~第3輥12、13、14的情況時，較理想，係將第1輥12之直徑設定為較第2輥13之直徑而更小。藉由此，係能夠使該第1輥12之回應性乃至於追隨性提昇或者是維持於一定。

於此，所謂第1輥12之回應性，例如，係指當將第1輥12推壓附著於第2輥13處時的反應速度。所謂第1輥12之追隨性，例如，係指在將第1輥12推壓附著於第2輥13上的狀態下之該第1輥12的旋轉追隨速度。

在該構成中，從吐出單元2(T模9)而沿著重力(垂直)方向來薄薄地擴廣吐出的熔融樹脂7a，係通過第1輥12與第2輥13之間(接地點)。通過了接地點之後的熔融樹脂7a，係在沿著第2輥13之第2轉印面13s而被壓出的期間中被冷卻，並成為僅有其之表面作了固化的熔融樹脂7b。熔融樹脂7b，係在通過了第2輥12和第3輥13之間(接地點)之後，成為其之全體具有可撓性的固化狀態之薄片(薄膜)7c。如此這般，薄片(薄膜)7c，係沿著箭頭方向Fd而被作進送。此時，薄片(薄膜)7c，係成為與用途相對應的形態(例如，形狀、厚度)。

進而，第1~第3輥12、13、14之全長，係相互被設定為相同的尺寸。所謂輥12、13、14之全長，係規定為沿著與第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r相平行之方向(長邊方向)的長度。換言之，所謂輥12、13、14之全長，係規定為輥12、13、14之兩端的相互間之距離。於此情況，在將第1~第3輥12、13、14作了橫向配置的狀態下，輥12、13、14之兩端，係沿著與第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r相互正交之方向(寬幅方向)而被整列為直線狀。

於此，在將第1~第3輥12、13、14之第1~第6驅動軸部12a、12b、13a、13b、14a、14b可旋轉地作支持的第1~第6軸承機構15、16、17、18、19、20處，第1軸承機構15和第3軸承機構17以及第5軸承機構19，係沿著與第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r相互正交之方向而被整列為直線狀。同樣的，第2軸承機構和第4軸承機構以及第6軸 承機構，係沿著與第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r相互正交之方向而被整列為直線狀。也就是說，將輥12、13、14可旋轉地作支持的位置，係沿著與第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r相互正交之方向(寬幅方向)而相互被設定於同一位置處。

另外，作為第1~第3輥12、13、14之佈局，雖並未特別作圖示，但是，代替上述之橫向配置，係亦可適用縱向配置或傾斜配置。在縱向配置中，第1~第3輥12、13、14(亦即是，第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r)，係沿著重力(垂直)方向而相互平行地作配置。又，在傾斜配置中，係以第2輥13(第2旋轉中心軸13r)作為中心，而將其之兩側的第1輥12(第1旋轉中心軸12r)以及第3輥14(第3旋轉中心軸14r)傾斜地作配置。

進而，係亦能夠以不會使第3旋轉中心軸14r被定位在與第1以及第2旋轉中心軸12r、13r同一平面上的方式，來配置第1~第3輥12、13、14。又，係亦能夠以使第1以及第3輥12、14成為能夠沿著第2輥13之外周作移動的方式，來配置第1~第3輥12、13、14。

進而，例如，係亦可為了對於熔融樹脂之冷卻不足作補救，而在第3輥14之下游側處，設置第4輥(未圖示)。又，關於第3輥14，雖係設為本實施形態之輥單元3的構成品，但是，例如，係亦可因應於使用目的或使用環境，而將該第3輥14設為其他之單元(未圖示)的構成品。

另外，在圖7~圖9中，係針對與第1輥12(第1轉印面 12s)和第2輥13(第2轉印面13s)之間的接觸狀態(例如，接觸壓力)相對應的各輥12、13、14之內部構造作展示。該接觸狀態(接觸壓力)，例如，係因應於樹脂之種類、薄片(薄膜)之厚度或用途等而被作設定。在接觸狀態(接觸壓力)之設定時，例如，係藉由後述之推拉單元5，來使相對於第2輥13之第1輥12的推壓附著狀態被作調節。

在圖7中，係對於挾壓(compression)狀態下的第1以及第2輥12、13之內部構造作展示。第1輥12，係在第1內筒21之外側處配置第1外筒22，而構成之。第2輥13，係在第2內筒23之外側處配置第2外筒24，而構成之。第1外筒22以及第2外筒24之厚度t1，係均被設定為30mm≦t1≦60mm。挾壓狀態之接觸壓力(線壓力)，係被設定為30kgf/cm~100kgf/cm之範圍內。

在圖8中，係對於推壓(press)狀態下的第1以及第2輥12、13之內部構造作展示。第1輥12，係在第1內筒21之外側處配置第1外筒22，而構成之。第2輥13，係在第2內筒23之外側處配置第2外筒24，而構成之。第1外筒22以及第2外筒24之厚度t2，係均被設定為10mm≦t2≦50mm。推壓狀態之接觸壓力(線壓力)，係被設定為20kgf/cm~60kgf/cm之範圍內。

在圖9中，係對於接壓(touch、contact)狀態下的第1以及第2輥12、13之內部構造作展示。第1輥12，係在第1內筒21之外側處配置第1外筒22，而構成之。第2輥13，係 在第2內筒23之外側處配置第2外筒24，而構成之。

於此，當第1外筒22為具有彈性的情況時，第1外筒22之厚度t3，係被設定為1mm≦t3≦10mm，第2外筒24之厚度t4，係被設定為10mm≦t4≦60mm。接壓狀態之接觸壓力(線壓力)，係被設定為5kgf/cm~50kgf/cm之範圍內。

又，當第1外筒22為薄壁的情況時，第1外筒22之厚度t3，係被設定為0.1mm≦t3≦1mm，第2外筒24之厚度t4，係被設定為10mm≦t4≦60mm。接壓狀態之接觸壓力(線壓力)，係被設定為1kgf/cm~10kgf/cm之範圍內。

「溫度調節單元4」

如同圖2、圖7~圖9中所示一般，溫度調節單元4，係構成為能夠將第1~第3輥12、13、14分別個別地調節為預先所設定了的溫度並將該設定溫度作維持。作為第1~第3輥12、13、14之設定溫度，例如，係想定為並不會使熔融樹脂熔融並且能夠使該熔融樹脂固化且同時維持柔軟性的溫度。

溫度調節單元4，係具備有第1配管4a、和第2配管4b、和第3配管4c。在第1~第3配管4a、4b、4c處，係成為從供給源(未圖示)而被供給有溫度調節媒體。作為溫度調節媒體之其中一例，係可想定為液體(例如，水、油)或冷媒等。

第1配管4a，例如，係從第2驅動軸部12b起涵蓋至第1 輥12之內部地而被構成。在第1輥12之內部，第1配管4a，係與第1環狀區域12p相連續。第1環狀區域12p，係於第1內筒21和第1外筒22之間沿著周方向而連續地被構成。在該構成中，被供給至第1配管4a處之溫度調節媒體，係從第1輥12之內部而在第1環狀區域12p中流動，之後再度通過第1配管4a而被作回收。藉由此，第1輥12(第1轉印面12s)之溫度係被調節為預先所設定了的溫度，並被維持於該設定溫度。

第2配管4b，例如，係從第4驅動軸部13b起涵蓋至第2輥13之內部地而被構成。在第2輥13之內部，第2配管4b，係與第2環狀區域13p相連續。第2環狀區域13p，係於第2內筒23和第2外筒24之間沿著周方向而連續地被構成。在該構成中，被供給至第2配管4b處之溫度調節媒體，係從第2輥13之內部而在第2環狀區域13p中流動，之後再度通過第2配管4b而被作回收。藉由此，第2輥13(第2轉印面13s)之溫度係被調節為預先所設定了的溫度，並被維持於該設定溫度。

第3配管4c，例如，係從第6驅動軸部14b起涵蓋至第3輥14之內部地而被構成。在第3輥14之內部，第3配管4c，係與第3環狀區域(未圖示)相連續。第3環狀區域，係於未圖示之第3內筒和第3外筒之間沿著周方向而連續地被構成。在該構成中，被供給至第3配管4c處之溫度調節媒體，係從第3輥14之內部而在第3環狀區域中流動，之後再度通過第3配管4c而被作回收。藉由此，第3輥14(進送面 14s)之溫度係被調節為預先所設定了的溫度，並被維持於該設定溫度。

「推拉單元5」

如同在圖2~圖3、圖10中所示一般，推拉單元5，係具備有第1~第4推拉機構5a、5b、5c、5d，和支持板25、34，和線性導軌26~28、35~37。

「第1以及第2推拉機構5a、5b」

第1推拉機構5a以及第2推拉機構5b，例如，係在第1輥12之兩側處各被配置有1個。

第1推拉機構5a，係構成為能夠對於第1軸承機構15而作用推壓力以及牽引力。第1軸承機構15，係被支持於支持板25處。在支持板25處，係被搭載有後述之第1驅動機構53(驅動單元6)。支持板25，例如，係構成為能夠沿著2個的線性導軌26、27而移動。2個的線性導軌26、27，係相互平行地而被作對向配置。該線性導軌26、27，係沿著與第2輥13之第2旋轉中心軸13r(參考圖1)相正交的方向而被構成。

第2推拉機構5b，係構成為能夠對於第2軸承機構16而作用推壓力以及牽引力。第2軸承機構16，例如，係構成為能夠沿著1個的線性導軌28而移動。該線性導軌28，係沿著與第2輥13之第2旋轉中心軸13r相正交的方向而被構成。

於此情況，上述之3個的線性導軌26、27、28，係相互平行地而被作對向配置。此些之3個的線性導軌26、27、28，例如，係在3個的固定部29處而1個1個地被固定。各個的固定部29，係被設置在基體30處。基體30，係藉由安裝機構(參考圖3)，而構成為能夠安裝在預先所設定的場所32處。另外，所謂預先所設定的場所32，係想定為能夠將第1~第3輥12、13、14佈局為上述之橫向配置、縱向配置、傾斜配置的場所。

在該構成中，係使推壓力或牽引力作用於第1軸承機構15處。此時之作用力，係從該第1軸承機構15而被傳導至支持板25處。藉由該作用力，支持板25，係沿著線性導軌26、27而移動。追隨於支持板25之移動，第1軸承機構15，係與第1驅動機構53(驅動單元6)一同移動。另一方面，係使推壓力或牽引力作用於第2軸承機構16處。藉由此時之作用力，該第2軸承機構16，係沿著線性導軌28而移動。

另外，作為藉由第1以及第2推拉機構5a、5b來使推壓力或牽引力作用於第1以及第2軸承機構15、16處的部份(亦即是，壓力作用部33)，例如，係以設定於會與第1輥12之第1旋轉中心軸12r相交叉乃至於正交，並且位置在與線性導軌26之正上方相對向的部份(位置)處為理想。

例如，若是身為使第1~第3輥12、13、14沿著水平方向而相互平行地配置在同一高度上(亦即是，橫向配置)的規格(參考圖2)，則係只要沿著與第1旋轉中心軸12r 相正交之方向來從水平方向而使推壓力或牽引力作用在第1以及第2軸承機構15、16處即可。另外，在圖3中，係對於第1軸承機構15之壓力作用部33作展示。

如同上述一般，在第1軸承機構15處，係支持有第1輥12之第1驅動軸部12a。在第2軸承機構16處，係支持有第1輥12之第2驅動軸部12b。故而，若是使第1以及第2軸承機構15、16移動，則追隨於該移動，第1以及第2驅動軸部12a、12b係移動。此時，與該第1以及第2驅動軸部12a、12b一同地，第1輥12係移動。如此這般，係能夠使第1輥12朝向第2輥13作接近或者是遠離。

此時，係對於使推壓力或牽引力作用於第1以及第2軸承機構15、16處之時序作控制。例如，係使推壓力作用於第1軸承機構15處，並使牽引力作用於第2軸承機構16處。係使牽引力作用於第1軸承機構15處，並使推壓力作用於第2軸承機構16處。係使牽引力作用於第1軸承機構15以及第2軸承機構16處，或者是使牽引力作用於第1軸承機構15以及第2軸承機構16處。藉由此，係能夠將相對於第2輥13之第1輥12的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)以高精確度以及高精細度來作調節。

「第3以及第4推拉機構5c、5d」

第3推拉機構5c以及第4推拉機構5d，例如，係在第3輥14之兩側處各被配置有1個。

第3推拉機構5c，係構成為能夠對於第5軸承機構19而 作用推壓力以及牽引力。第5軸承機構19，係被支持於支持板34處。在支持板34處，係被搭載有後述之第3驅動機構55(驅動單元6)。支持板34，例如，係構成為能夠沿著2個的線性導軌35、36而移動。2個的線性導軌35、36，係相互平行地而被作對向配置。該線性導軌35、36，係沿著與第2輥13之第2旋轉中心軸13r(參考圖1)相正交的方向而被構成。

第4推拉機構5d，係構成為能夠對於第6軸承機構20而作用推壓力以及牽引力。第6軸承機構20，例如，係構成為能夠沿著1個的線性導軌37而移動。該線性導軌37，係沿著與第2輥13之第2旋轉中心軸13r相正交的方向而被構成。

於此情況，上述之3個的線性導軌35、36、37，係相互平行地而被作對向配置。此些之3個的線性導軌35、36、37，係在上述之3個的固定部29處而1個1個地被固定。

在該構成中，係使推壓力或牽引力作用於第5軸承機構19處。此時之作用力，係從該第5軸承機構19而被傳導至支持板34處。藉由該作用力，支持板34，係沿著線性導軌35、36而移動。追隨於支持板34之移動，第5軸承機構19，係與第3驅動機構55(驅動單元6)一同移動。另一方面，係使推壓力或牽引力作用於第6軸承機構20處。藉由此時之作用力，該第6軸承機構20，係沿著線性導軌37而移動。

另外，作為藉由第3以及第4推拉機構5c、5d來使推壓力或牽引力作用於第5以及第6軸承機構19、20處的部份(亦即是，壓力作用部)，雖並未特別作圖示，但是，例如，係以設定於會與第3輥14之第3旋轉中心軸14r相交叉乃至於正交，並且位置在與線性導軌35之正上方相對向的部份(位置)處為理想。

例如，若是身為使第1~第3輥12、13、14沿著水平方向而相互平行地配置在同一高度上(亦即是，橫向配置)的規格(參考圖2)，則係只要沿著與第3旋轉中心軸14r相正交之方向來從水平方向而使推壓力或牽引力作用在第5以及第6軸承機構19、20處即可。

如同上述一般，在第5軸承機構19處，係支持有第3輥14之第5驅動軸部14a。在第6軸承機構20處，係支持有第3輥14之第6驅動軸部14b。故而，若是使第5以及第6軸承機構19、20移動，則追隨於該移動，第5以及第6驅動軸部14a、14b係移動。此時，與該第5以及第6驅動軸部14a、14b一同地，第3輥14係移動。如此這般，係能夠使第3輥14朝向第2輥13作接近或者是遠離。

此時，係對於使推壓力或牽引力作用於第5以及第6軸承機構19、20處之時序作控制。例如，係使推壓力作用於第5軸承機構19處，並使牽引力作用於第6軸承機構20處。係使牽引力作用於第5軸承機構19處，並使推壓力作用於第6軸承機構20處。係使牽引力作用於第5軸承機構19以及第6軸承機構20處，或者是使牽引力作用於第5軸承機構19 以及第6軸承機構20處。藉由此，係能夠將相對於第2輥13之第3輥14的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)以高精確度以及高精細度來作調節。

「第1~第4推拉機構5a、5b、5c、5d之裝置構成」

上述之第1~第4推拉機構5a、5b、5c、5d，係可相互適用相同之裝置構成。在圖10中，作為其中一例，對於第2推拉機構5b之裝置構成作展示。該推拉機構5b，係具備有油壓伺服方式之致動器38、和控制裝置39。致動器38，係構成為能夠對於第2軸承機構16而作用推壓力以及牽引力。控制裝置39，係構成為能夠對於致動器38作控制。以下，作具體性說明。

如同圖10中所示一般，致動器38，係具備有汽缸本體40、和連結筒體41、和支持框架42、和活塞43、以及活塞桿44。在汽缸本體40處，係於其之內部構成有汽缸45。在汽缸本體40處，係被連結有連結筒體41。連結筒體41，係被支持於支持框架42處。亦即是，汽缸本體40，係經由連結筒體41，而被支持於支持框架42處。

在汽缸本體40之汽缸45中，係收容有活塞43。活塞43，係構成為能夠沿著汽缸45而作往返移動。在汽缸45中，係於活塞43之兩側處，構成有前進腔45a和後退腔45b。

活塞桿44，係從後退腔45b來貫通汽缸本體40以及連結筒體41而被構成。活塞桿44之基端，係被與活塞43作連 接，活塞桿44之前端，係被與上述之壓力作用部(參考圖3)作連接。

於此，係藉由控制裝置39，而將前進腔45a作加壓，同時將後退腔45b作減壓。此時，活塞43係前進。推壓力係從活塞桿44之前端而作用於壓力作用部33處。推壓力係作用於第2軸承機構16處。藉由此，係能夠使第2軸承機構16沿著線性導軌28而前進移動。

相對於此，係藉由控制裝置39，而將前進腔45a作減壓，同時將後退腔45b作加壓。此時，活塞43係後退。牽引力係從活塞桿44之前端而作用於壓力作用部33處。牽引力係作用於第2軸承機構16處。藉由此，係能夠使第2軸承機構16沿著線性導軌28而後退移動。

進而，控制裝置39，係具備有控制器46、和伺服馬達47、和雙方向幫浦48、和第1計測器49、和第2計測器50、和負載胞(load cell)51、以及壓力感測器52。於此，作為其中一例，針對藉由油壓來使致動器38動作的控制裝置39作考慮。

控制器46，係構成為能夠基於後述之輸出訊號(計測結果)，來對於伺服馬達47作控制。伺服馬達47，係構成為能夠藉由驅動雙方向幫浦48，來對於作用在前進腔45a以及後退腔45b處的壓力選擇性地作控制。

在油壓伺服方式中，在對於前進腔45a加壓的情況時，係從雙方向幫浦48來對於前進腔45a供給油，並使該前進腔45a內的油壓上升。如此這般，係能夠如同上述一 般地來使推壓力作用於第2軸承機構16處。相對於此，在對於後退腔45b加壓的情況時，係從雙方向幫浦48來對於後退腔45b供給油，並使該後退腔45b內的油壓上升。如此這般，係能夠如同上述一般地來使牽引力作用於第2軸承機構16處。

在使推壓力或牽引力作用於第2軸承機構16處時，基於從第1計測器49、第2計測器50、負載胞(load cell)51、壓力感測器52而來之輸出訊號(計測結果)，控制器46，係藉由伺服馬達47來對於雙方向幫浦48作控制。例如，係對於將油供給至前進腔45a或後退腔45b處之時序、油壓之增加量等作控制。

於此，第1計測器49，係構成為能夠對於汽缸本體40(汽缸45)內之活塞43的位置作計測並將該計測結果輸出。第2計測器50，係構成為能夠對於第2軸承機構16的位置作計測並將該計測結果輸出。負載胞51，係構成為能夠對作用於連結筒體41處之荷重作計測並將該計測結果輸出。壓力感測器52，係構成為能夠對於前進腔45a以及後退腔45b內之油壓作計測並將該計測結果輸出。

藉由此，係能夠使推壓力以及牽引力以良好精確度來對於第2軸承機構16而作用。其結果，係能夠將相對於第2輥13之第1輥12的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)以高精確度來作變化。

另外，作為第1~第4推拉機構5a、5b、5c、5d，係亦可代替上述之油壓伺服方式，而例如適用並未特別作圖示 之藉由使螺絲或楔前進或後退而使相對於第2輥13之第1輥以及第3輥12、14的推壓附著狀態(例如，姿勢、角度)作改變的方式。又，上述之支持板25、34，係並非為絕對必要的構成。只要是能夠使後述之第1以及第3驅動機構53、55(驅動單元6)追隨於第1以及第5軸承機構15、19的移動之構造即可。

「驅動單元6」

如同在圖1~圖3、圖11~圖14中所示一般，驅動單元6，係具備有第1驅動機構53、和第2驅動機構54、和第3驅動機構55。另外，驅動單元6，係具備有對於後述之第1~第3馬達56、57、58作控制的控制器(未圖示)。藉由此，係能夠對於第1~第3輥12、13、14之旋轉狀態(例如，旋轉數、旋轉速度)作整批乃至於個別的控制。以下，作具體性說明。

「第1~第3馬達56、57、58」

作為第1~第3馬達56、57、58，係適用使用有複數之永久磁石的多極馬達。於此情況，係亦可適用內轉子(inner rotor)型態或者是外轉子(outer rotor)型態之其中一種型態的馬達。在內轉子型態中，係於定子之內側可旋轉地配置轉子。在外轉子型態中，係於定子之外側可旋轉地配置轉子。不論是何種之型態的馬達，均同樣的，例如，係可在定子處配置複數之線圈，並在轉子處配置複數 之永久磁石，而構成之。

在圖11中，作為第1~第3馬達56、57、58的其中一例，係展示有極數為8而槽數為15之內轉子型態的多極馬達。多極馬達，係構成為能夠使轉子59(旋轉部)在定子60之內側而旋轉。在轉子59(旋轉部)之外周處，係沿著周方向而被配置有複數之永久磁石61。沿著轉子59(旋轉部)之外周，而將S極和N極交互作配列。在定子60之內周處，係沿著周方向而被配置有複數之線圈62。在此構成中，係藉由控制器來對於多極馬達作控制。如此這般，係能夠使轉子59(旋轉部)在定子60之內側而旋轉。

於此，關於對於第2輥13之旋轉直接有所助益的第2馬達57，係以設為能夠以低速旋轉來產生高轉矩的規格為理想。於此情況，較理想，係將第2馬達57，設定為極數為8以上且槽數為15以上。更理想，係將第2馬達57，設定為極數為20以上且槽數為24以上。藉由此，在特定之電源規格下，第2馬達57，係隨著極數的增加而成為作低速旋轉，並成為產生高轉矩。

另外，關於第1馬達56以及第3馬達58，係可設為能夠以高速旋轉來產生低轉矩的第1規格，或者是，亦能夠與第2馬達57相同的，設為能夠以低速旋轉來產生高轉矩之第2規格。另外，在第1規格中，係需要另外設置減速機。

在本實施形態之薄片或薄膜製造裝置1中，第2輥13之實用旋轉數，係為0rpm~100rpm之範圍。在此低速旋轉區域中，使熔融樹脂7a(參考圖1)通過第1輥12與第2輥13 之間(接地點)而朝向箭頭Fd方向作進送。因此，係有必要對於第2輥13而賦予對於此進送而言為充分的旋轉轉矩。作為用以回應此要求的第2馬達57之構造上的要件，較理想，永久磁石61之極數，係設定為20以上。

於此情況，槽數，較理想係設定為24以上。另外，作為槽數之算出方法，例如，在WO2011/114574「永久磁石馬達」(申請人：三菱電機)中，係開示有由Z/{3(相)×2P}=2/5(或者是2/7)

Z：槽數

2P：極數(P：自然數)所成的關係式。在該關係式中，將極數20代入。如此一來，係算出槽數為24。藉由此，係能夠在第2輥13之實用旋轉數(0~100rpm)的範圍中，產生最適當的旋轉轉矩。

「第1~第3旋轉軸部64、65、66之配置規格」

於此，在圖12~圖14中，係對於將後述之第1~第3旋轉軸部64、65、66配置在第1~第3馬達56、57、58之旋轉部(轉子59)處的規格作展示。

在圖12之規格中，旋轉部，係作為中空圓筒部63而被構成。中空圓筒部63，係使轉子59(參考圖11)之旋轉中心以同心圓狀來凹陷，而構成之。在此中空圓筒部63(旋轉部)處，嵌合第1~第3旋轉軸部64、65、66。

在此狀態下，第1~第3旋轉軸部64、65、66以及旋轉 部(轉子59)之旋轉中心，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。如此這般，第1~第3旋轉軸部64、65、66，係成為能夠與旋轉部(轉子59)一同旋轉。故而，係能夠透過第1~第3旋轉軸部64、65、66，來將第1~第3馬達56、57、58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)傳導至外部。

在圖13之規格中，旋轉部，係作為圓環狀之安裝面68(參考圖12、14)而被作設定。安裝面68，係構成為從轉子59之旋轉中心軸67而以同心圓狀來擴廣，而構成之。將第1~第3旋轉軸部64、65、66，以同心圓狀來安裝在該安裝面68(旋轉部)處。作為安裝方法，係可想定為藉由螺桿來作締結的方法等。

在圖面中，作為其中一例，對於螺桿締結方法作展示。例如，在第1~第3旋轉軸部64、65、66之其中一端處，設置圓板狀凸緣部69。在凸緣部69和安裝面68(旋轉部)之雙方處，構成能夠使螺桿70作插通之複數的固定孔71(參考圖12、圖14)。使凸緣部69與安裝面68(旋轉部)相對向並作接觸。從凸緣部69來通過螺桿70而固定在安裝面68(旋轉部)處。

在此狀態下，第1~第3旋轉軸部64、65、66以及旋轉部(轉子59)之旋轉中心，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。如此這般，第1~第3旋轉軸部64、65、66，係成為能夠與旋轉部(轉子59)一同旋轉。

在圖14之規格中，第1~第3旋轉軸部64、65、66，係被與旋轉部(轉子59)作一體性的構成。在此狀態下，第 1~第3旋轉軸部64、65、66以及旋轉部(轉子59)之旋轉中心，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。如此這般，第1~第3旋轉軸部64、65、66，係成為能夠與旋轉部(轉子59)一同旋轉。

「第1驅動機構53」

如同圖1~圖3中所示一般，第1驅動機構53，係被連結於第1輥12之第1驅動軸部12a處。第1驅動機構53，係構成為能夠對第1輥12之旋轉狀態作控制。第1驅動機構53，係具備有第1旋轉軸部64、和第1馬達56、和第1動力傳導機構72。

第1旋轉軸部64，係被配置於第1馬達56之旋轉部處。旋轉部，係構成為能夠與轉子59(參考圖11)一同旋轉。第1旋轉軸部64之旋轉中心、和旋轉部之旋轉中心、以及第1馬達56(轉子59)之旋轉中心，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。在此狀態下，第1馬達56之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係成為能夠無損失地而透過第1旋轉軸部64來傳導至外部。

第1動力傳導機構72，係使輸入部被構成於動力傳導方向之其中一側處，並使輸出部被構成於動力傳導方向之另外一側處。第1動力傳導機構72，係被配置在第1馬達56和第1輥12之間。在第1動力傳導機構72之其中一側(輸入部)處，係被連結有第1馬達56之第1旋轉軸部64。在第1動力傳導機構72之另外一側(輸出部)處，係被連結有第 1輥12之第1驅動軸部12a。

第1動力傳導機構72，係具備有固定耦合構件73、和撓折耦合構件74、以及減速機75。在支持板25處，固定耦合構件73和撓折耦合構件74，係在減速機75之兩側處而各被配置有1個。在圖面中，作為其中一例，固定耦合構件73，係被配置在第1馬達56和減速機75之間，撓折耦合構件74，係被配置在減速機75和第1軸承機構15之間。

固定耦合構件73，係具備有第1轂凸緣(hub flange)76、和第2轂凸緣77。第1以及第2轂凸緣76、77，係相互具備有相同之形狀以及大小。

第1轂凸緣76，係具備有圓板狀之第1凸緣部78、和圓筒狀之第1安裝部79。第1凸緣部78，係被一體性地構成於第1安裝部79之單端處。第1凸緣部78和第1安裝部79，係被配置為同心圓狀。

第2轂凸緣77，係具備有圓板狀之第2凸緣部80、和圓筒狀之第2安裝部81。第2凸緣部80，係被一體性地構成於第2安裝部81之單端處。第2凸緣部80和第2安裝部81，係被配置為同心圓狀。

於此情況，例如，在使雙方之凸緣部78、80相對向並作了接觸的狀態下，藉由複數之螺桿(未圖示)來將凸緣部78、80相互作固定。如此這般，係構成使第1安裝部79以及第2安裝部81於兩側而作了突出的固定耦合構件73。在第1安裝部79處，係被連結有第1旋轉軸部64。第2安裝部81和減速機75，係藉由連結軸82而被相互作連結。

撓折耦合構件74，係具備有第1轂凸緣83、和第2轂凸緣84、以及板彈簧單元85。第1以及第2轂凸緣83、84，係相互具備有相同之形狀以及大小。

第1轂凸緣83，係具備有圓板狀之第1凸緣部86、和圓筒狀之第1安裝部87。第1凸緣部86，係被一體性地構成於第1安裝部87之單端處。第1凸緣部86和第1安裝部87，係被配置為同心圓狀。

第2轂凸緣84，係具備有圓板狀之第2凸緣部88、和圓筒狀之第2安裝部89。第2凸緣部88，係被一體性地構成於第2安裝部89之單端處。第2凸緣部88和第2安裝部89，係被配置為同心圓狀。

板彈簧單元85，係將複數之板彈簧90作層積而構成之(參考圖15)。在圖面中，作為其中一例，板彈簧90，係為平板狀且具備有矩形狀。板彈簧90，係於其之中央部分處，被構成有圓形之貫通孔90h。藉由此，而構成輕量且在彈簧性上為優良之板彈簧90。

於此情況，例如，係將雙方之凸緣部86、88相對向地作配置，並且在凸緣部86、88之相互間配置板彈簧單元85。藉由複數之螺桿91、墊圈92、螺帽93(參考圖15)，來與板彈簧單元85一同地而將凸緣部86、88相互作固定。如此這般，係構成使第1安裝部87以及第2安裝部89於兩側而作了突出的撓折耦合構件74。第1安裝部87和減速機75，係藉由連結軸82而被相互作連結。在第2安裝部89處，係被連結有被支持於第1軸承機構15處之第1驅動軸部 12a。

另外，例如在圖15中，係對於具備有間隔物94(中間軸部)之撓折耦合構件74的其中一例作展示。於此情況，在將間隔物94作了除去的狀態下，係藉由兩側之轂凸緣83、84(凸緣部86、88)來將板彈簧單元85作挾入。與板彈簧單元85一同地，而將凸緣部86、88相互藉由螺桿91等來作固定。藉由此，係能夠構成該撓折耦合構件74。

若依據此種構成，則第1馬達56，係從第1旋轉軸部64來經由第1動力傳導機構72乃至於第1驅動軸部12a，而被與第1輥12作連結。於此，係藉由控制器(未圖示)來對於第1馬達56作控制。第1馬達56之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係從第1旋轉軸部64來透過第1動力傳導機構72而被傳導至第1驅動軸部12a處。第1驅動軸部12a係旋轉，與此一同地，第2驅動軸部12b係旋轉。如此這般，係成為能夠對於第1輥12之旋轉狀態(例如，旋轉數、旋轉速度)作控制。於此情況，第1馬達56之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係在藉由第1動力傳導機構72(減速機75)而使旋轉速度被作減速並且使轉矩作了增加的狀態下，而被傳導至第1輥12處。

「第2驅動機構54」

如同圖1~圖3中所示一般，第2驅動機構54，係被連結於第2輥13之第3驅動軸部13a處。第2驅動機構54，係構成為能夠對第2輥13之旋轉狀態作控制。第2驅動機構54， 係具備有第2旋轉軸部65、和第2馬達57、和第2動力傳導機構95。

第2旋轉軸部65，係被配置於第2馬達57之旋轉部處。旋轉部，係構成為能夠與轉子59(參考圖11)一同旋轉。第2旋轉軸部65之旋轉中心、和旋轉部之旋轉中心、以及第2馬達57(轉子59)之旋轉中心，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。在此狀態下，第2馬達57之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係成為能夠無損失地而透過第2旋轉軸部65來傳導至外部。

第2動力傳導機構95，係使輸入部被構成於動力傳導方向之其中一側處，並使輸出部被構成於動力傳導方向之另外一側處。第2動力傳導機構95，係被配置在第2馬達57和第2輥13之間。在第2動力傳導機構95之其中一側(輸入部)處，係被連結有第2馬達57之第2旋轉軸部65。在第2動力傳導機構95之另外一側(輸出部)處，係被連結有第2輥13之第3驅動軸部13a。

第2動力傳導機構95，係具備有撓折耦合構件74。撓折耦合構件74，係被配置在第2馬達57和第3軸承機構17之間。撓折耦合構件74，係具備有第1轂凸緣83、和第2轂凸緣84、以及板彈簧單元85。第1以及第2轂凸緣83、84，係相互具備有相同之形狀以及大小。

在第2動力傳導機構95之撓折耦合構件74處，係因應於第2馬達57和第3軸承機構17之間之距離，而將第1安裝部87以及第2安裝部89作了長條化。在第1安裝部87處，係 被連結有第2旋轉軸部65。在第2安裝部89處，係被連結有被支持於第3軸承機構17處之第3驅動軸部13a。除此之外的構成，係與上述之第1動力傳導機構72之撓折耦合構件74相同。故而，對於相同之構成，係附加相同之元件符號，並省略其說明。

若依據此種構成，則第2馬達57，係從第2旋轉軸部65來經由第2動力傳導機構95乃至於第3驅動軸部13a，而被與第2輥13作連結。於此，係藉由控制器(未圖示)來對於第2馬達57作控制。第2馬達57之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係從第2旋轉軸部65來透過第2動力傳導機構95而被傳導至第3驅動軸部13a處。第3驅動軸部13a係旋轉，與此一同地，第4驅動軸部13b係旋轉。如此這般，係成為能夠對於第2輥13之旋轉狀態(例如，旋轉數、旋轉速度)作控制。

於此情況，第2馬達57之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係藉由第2動力傳導機構95，而使該旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)並不產生變化地(例如，並不將旋轉速度作減速地)來維持原樣地被傳導至第2輥13處。其結果，係能夠使第2輥13以與第2馬達57之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)相同的時序而旋轉。另外，在本說明書中，所謂相同的時序，係指相同之旋轉數、相同之旋轉速度、相同之角速度、相同之角加速度等的上位概念。

「第3驅動機構55」

如同圖1~圖3中所示一般，第3驅動機構55，係被連結於第3輥14之第5驅動軸部14a處。第3驅動機構55，係構成為能夠對第3輥14之旋轉狀態作控制。第3驅動機構55，係具備有第3旋轉軸部66、和第3馬達58、和第3動力傳導機構96。

第3旋轉軸部66，係被配置於第3馬達58之旋轉部處。旋轉部，係構成為能夠與轉子59(參考圖11)一同旋轉。第3旋轉軸部66之旋轉中心、和旋轉部之旋轉中心、以及第3馬達58(轉子59)之旋轉中心，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。在此狀態下，第3馬達58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係成為能夠無損失地而透過第3旋轉軸部66來傳導至外部。

第3動力傳導機構96，係使輸入部被構成於動力傳導方向之其中一側處，並使輸出部被構成於動力傳導方向之另外一側處。第3動力傳導機構96，係被配置在第3馬達58和第3輥14之間。在第3動力傳導機構96之其中一側(輸入部)處，係被連結有第3馬達58之第3旋轉軸部66。在第3動力傳導機構96之另外一側(輸出部)處，係被連結有第3輥14之第5驅動軸部14a。

第3動力傳導機構96，係具備有固定耦合構件73、和撓折耦合構件74、以及減速機75。於此情況，第3動力傳導機構96之構成，係與上述之第1動力傳導機構72相同。故而，對於相同之構成，係附加相同之元件符號，並省略其說明。

在此構成中，第3馬達58，係從第3旋轉軸部66來經由第3動力傳導機構96乃至於第5驅動軸部14a，而被與第3輥14作連結。於此，係藉由控制器(未圖示)來對於第3馬達58作控制。第3馬達58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係從第3旋轉軸部66來透過第3動力傳導機構96而被傳導至第5驅動軸部14a處。第5驅動軸部14a係旋轉，與此一同地，第6驅動軸部14b係旋轉。如此這般，係成為能夠對於第3輥14之旋轉狀態(例如，旋轉數、旋轉速度)作控制。於此情況，第3馬達58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係在藉由第3動力傳導機構96(減速機75)而使旋轉速度被作減速並且使轉矩作了增加的狀態下，而被傳導至第3輥處。

「第1實施形態之效果」

若依據本實施形態，則係將具備有撓折耦合構件74之第2動力傳導機構95，配置在第2馬達57和第2輥13之間。亦即是，係經由具備有撓折耦合構件74之第2動力傳導機構95，來將第2馬達57和第2輥13相互作連結。藉由此，在使相對於第2輥13之第1輥12的推壓附著狀態作了改變時，於第2輥13處所產生的變化狀態，係全部藉由撓折構件74而被完全地吸收並除去。

於此，所謂在第2輥13處所產生的變化狀態，係為在使第1輥12朝向第2輥13作接近或者是遠離時所產生的第2輥13之旋轉軸之變化狀態，例如，係想定為第2旋轉中心 軸13r之偏心或偏角等的「角度偏移」。就算是在產生了該角度偏移(偏心、偏角)的情況時，因應於該角度偏移(偏心、偏角)之大小的程度，撓折耦合構件74(板彈簧單元85)也會作彈性變形。藉由此，該角度偏移(偏心、偏角)，係使其之全部被完全地吸收並除去。如此一來，係不會有使相對於第2輥13之第1輥12的推壓附著狀態之影響、亦即是第2輥13的變化狀態傳導至第2馬達57(第2旋轉軸部65)處的情形。

進而，藉由使撓折耦合構件74(板彈簧單元85)作彈性變形，第2馬達57(轉子59)乃至第2旋轉軸部65之姿勢、亦即是旋轉中心軸67之姿勢，係恆常被維持於一定。同時地，第2馬達57之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係藉由第2動力傳導機構95，而使該旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)並不產生變化地(例如，並不將旋轉速度作減速地)來維持原樣地被傳導至第2輥13處。其結果，係能夠使第2輥13以與第2馬達57之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)相同的時序而旋轉。

此時，係能夠將第2馬達57之轉矩漣波(脈動現象)維持於不會產生齒輪痕(橫條紋)的水準內。其結果，係能夠防範齒輪痕(橫條紋)之發生於未然。如此這般，係能夠並不使齒輪痕(橫條紋)產生地來製造(成形)薄片(薄膜)。

進而，若依據本實施形態，則在從沿著第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r而相平行之方向(長邊方向)來觀察 時，係在輥單元3(第1~第3輥12、13、14)之其中一側處配置溫度調節單元4，並在另外一側處配置驅動單元6。藉由此，係能夠使對於雙方之單元4、6的維修之容易性提昇。進而，在進行溫度調節單元4之各配管4a、4b、4c之維修時，例如，就算是當液體或冷媒等漏卸或滴下的情況時，亦不會有對於驅動單元6之電路等造成影響的情形。

進而，若依據本實施形態，則針對對於第2輥13之旋轉直接有所助益的第2馬達57，係設定為極數為8以上且槽數為15以上較理想，係設定為極數為20以上且槽數為24以上。藉由此，係能夠在第2輥13之實用旋轉數(0~100rpm)的範圍中，產生最適當的旋轉轉矩。亦即是，係可實現能夠以低速旋轉來產生高轉矩的第2馬達57。其結果，係能夠防止起因於第2馬達57之過負載而導致成為無法形成薄片(薄膜)7c的事態之發生於未然。

「齒輪痕(橫條紋)之發生試驗」

在圖21~圖22中，係對於本實施形態之薄片或薄膜製造裝置1的試驗結果作展示。在試驗中，係準備2種類的薄片或薄膜製造裝置。將雙方之裝置的規格設定為相同。於此情況，在其中一方之裝置的驅動單元處，係適用具備有撓折耦合構件74之第2動力傳導機構95，並將此設為本案發明之裝置。在另外一方之裝置的驅動單元處，係適用並未具備有撓折耦合構件之動力傳導機構，並將此設為先前技術之裝置。將裝置之動作時序設定為相同，而進行了試 驗。

如同根據試驗結果而可清楚得知一般，在先前技術之樣本(參考圖21)處，係發生了齒輪痕(橫條紋)，但是，在本案發明之樣本(參考圖22)處，齒輪痕(橫條紋)之發生係被作抑制。另外，圖中之箭頭，係為薄片(薄膜)之進送方向Fd。

進而，在此發生試驗中，係設定有用以滿足後述之關係式(M≧π×D/T)之波長T(mm)的範圍。在該設定方法中，係如同圖19中所示一般，藉由朝向第2輥13而使第1輥12作往返移動，來使薄片(薄膜)狀之熔融樹脂之厚度作變動。

此時，將使第1輥12作往返移動的推壓周期設為H，並將通過第1輥12與第2輥13之間的熔融樹脂之通過速度(周速度)設為S。如此一來，在熔融樹脂處，係沿著該熔融樹脂之流動方向，而以成為P=S×H之時序(波長、節距)來出現周期性的變化。亦即是，在熔融樹脂處，係以成為P=S×H之時序(波長、節距)來產生厚度變動。

在圖20中，係對於在熔融樹脂處所產生的厚度變動之發生模型作展示。在該發生模型中，係對於藉由使第1馬達56之旋轉轉矩在△ Tmax~△ Tmin之間而作周期性的變動來使第1輥12作了周期性之變動的結果作展示。

當旋轉轉距為高時(△ Tmax)，每單位旋轉△ θ之熔融樹脂的推壓量乃至於進送量係變大(△ Vmax)。藉由此，熔融樹脂之厚度係變厚。相對於第1輥12之熔融樹 脂的反作用力係變大。其結果，如同根據旋轉中心之軌跡(O₃、O₇、O₁₁、O₁₅)而可清楚得知一般，第1輥12，係作些許的後退(位移乃至於變形)。

當旋轉轉距為低時(△ Tmin)，每單位旋轉△ θ之熔融樹脂的推壓量乃至於進送量係變小(△ Vmin)。藉由此，熔融樹脂之厚度係變薄。相對於第1輥12之熔融樹脂的反作用力係變小。其結果，如同根據旋轉中心之軌跡(O₁、O₅、O₉、O₁₃)而可清楚得知一般，第1輥12，係作些許的前進(位移乃至於變形)。

本發明者們，係針對熔融樹脂之厚度變動的時序(波長、節距)(亦即是，P=S×H)，而進行了苦心研究。於此，例如，係在第1輥12作1個旋轉的期間中，沿著熔融樹脂之流動方向，而以成為P(=S×H)之時序≦5mm之時序(波長、節距)來使厚度變動作了產生。此時，厚度變動之寬幅，係為0.3μm以下。此厚度變動，係藉由熔融樹脂之黏彈性特性而被吸收並除去。其結果，係確認到，係能夠並不使齒輪痕(橫條紋)產生地，來製造(成形)薄片(薄膜)。

進而，在本發明者們進行了苦心研究之後，係確認到，當以會成為P(=S×H)≦3mm之時序(波長、節距)來使厚度變動作了產生的情況時，係能夠更有效地對於齒輪痕(橫條紋)之發生作抑制。

此種厚度變動，係與起因於第2馬達57之齒槽效應轉矩(cogging)現象所產生的短周期震動之發生時序相互 一致。而，此種短周期震動，係沿著以與第2馬達相同之時序而旋轉的第2輥之外周面而在同一時序處產生。如此一來，後述之波長T(mm)的範圍，係可作為能夠滿足會成為P≦5mm(較理想，係為3mm)之關係的震動發生時序、亦即是作為將相位設為相等之2點間的距離，來規定之。

另外，當後述之波長T(mm)之範圍係為P>5mm的情況時，係會產生無法藉由熔融樹脂之黏彈性特性而吸收的「厚度變動」。例如，當P=13mm時，厚度變動之寬幅，係成為10μm。於此情況，係無法對於齒輪痕(橫條紋)之發生作抑制，其結果，在所製造(成形)的薄片(薄膜)處，係會殘留有齒輪痕(橫條紋)。

「基於熔融樹脂之特性所得之第2馬達57之規格」

在薄片或薄膜製造裝置1之啟動後(開始後)的直到完成品之製造(成形)為止的前一階段處，係會有在該薄片(薄膜)7c(參考圖1)之表面上而產生有齒輪痕(橫條紋)的情況。此時，例如，就算是對於成形條件或運轉條件作調整，也無法對於該齒輪痕(橫條紋)之發生作抑制。

於此情況，若依據本發明者們之苦心技術研究，則在對於沿著上述之輥單元3而送來的熔融樹脂而以特定之周期來賦予了變動時，係得知了：對於在薄片(薄膜)上所發生的厚度變動之節距、換言之，對於在薄片(薄膜)上 之波長會成為5mm以下的短周期震動，藉由熔融樹脂之黏彈性特性，變動係會被吸收，該熔融樹脂之變動的影響係並不會出現。

藉由此，係得知了，當在輥進行1個旋轉的期間中之短周期震動的次數係為將輥之外周長除以波長5mm之後所得的值以上之次數時，係不會有短周期震動所對於該熔融樹脂造成的影響。

齒槽效應轉矩現象，在馬達(轉子)作1個旋轉的期間中，係會發生相當於極數和槽數之最小公倍數的次數。

因此，若是將第2馬達57之極數與槽數之最小公倍數設為M，並將第2輥13之直徑設為D(mm)，並將上述之波長設為T(mm)，則下述之關係式係成立。

M=π×D/T (π：圓周率)

如同上述一般，係得知了：對於在薄片(薄膜)上之波長會成為5mm以下(T≦5)的短周期震動，藉由熔融樹脂之黏彈性特性，變動係被吸收，該熔融樹脂之變動的影響係並不會出現。因此，係構成為會使第2馬達57之極數與槽數之最小公倍數M會滿足下述之關係式。

M≧π×D/T (T=5)

亦即是，M≧π×D/5

藉由此，基於齒槽效應轉矩現象所導致的轉矩漣波(脈動現象)，係藉由熔融樹脂之黏彈性特性而被吸收。其結果，係能夠並不使齒輪痕(橫條紋)產生地，來製造(成形)薄片(薄膜)。

「第2實施形態之薄片或薄膜製造裝置1(圖4~圖6)」

在驅動單元6(第2驅動機構54)之第2馬達57處，為了以低速旋轉來產生高轉矩，係使極數作了增加。伴隨該極數之增加，第2馬達57之外形尺寸係變大。此時，依存於極數之增加的程度，第2馬達57之外形尺寸，係會有變得較第2輥13之直徑而更大的情形。如此一來，想要將第2馬達57配置在第1馬達56與第3馬達58之間一事，係會變得困難。

若是作具體性說明，則例如，在為了進行成形品之厚度調整或外部擾動之修正而將第1輥12朝向第2輥13作推壓附著時，追隨於第1輥12，第1馬達56係朝向第2馬達57而移動。此時，依存於第2輥13之直徑的程度乃至於第2馬達57之外形尺寸的程度，第1馬達56係會與第2馬達57相接觸。如此一來，係會變得無法進行成形品之厚度調整或外部擾動之修正。其結果，係會變得無法將作為完成品之薄片(薄膜)的品質維持於一定。

作為解決此種問題的對策，例如，係只要將第2馬達57配置在對於第1馬達56作了迴避的位置處即可。作為此種配置方法的其中一例，係可考慮有將第1馬達56和第1輥12之間的間隔設為較第2馬達57和第2輥13之間的間隔而更小之第1方法、或者是將第2馬達57和第2輥13之間的間隔設為較第1馬達56和第1輥12之間的間隔而更大之第2方法。

又，如同上述一般，第1軸承機構15和第3軸承機構17以及第5軸承機構19，係沿著與第1~第3旋轉中心軸12r、13r、14r相互正交之方向而被整列為直線狀。於此，係以該軸承機構15、17、19作為基準而對於上述之配置方法作考慮。

例如，係可考慮將第1馬達56和第1軸承機構15之間之間隔設為較第2馬達57和第3軸承機構17之間之間隔而更小的第1方法、或者是考慮將第2馬達57和第3軸承機構17之間之間隔設為較第1馬達56和第1軸承機構15之間之間隔而更大的第2方法。

在圖4中，作為其中一例，對於上述之第1方法的配置作展示。亦即是，係將第1馬達56和第1輥12(第1軸承機構15)之間之間隔，設定為較第2馬達57和第2輥13(第3軸承機構17)之間之間隔而更小。另外，第1馬達56和第1輥12(第1軸承機構15)之間之間隔、以及第3馬達58和第3輥14(第5軸承機構19)之間之間隔，係相互設定為相同的間隔。又，被配置在第1以及第3馬達56、58和第1以及第3輥12、14之間之第1以及第3動力傳導機構72、96，由於係為與第1實施形態(參考圖2~圖3)相同，因此，對於相同之構成，係附加相同的元件符號，並省略其說明。

於此，在第2馬達57和第2輥13(第3軸承機構17)之間，係被配置有第2動力傳導機構95。第2動力傳導機構95，係具備有2個的撓折耦合構件74、和間隔物94(中間軸部)。間隔物94之全長，係因應於第2馬達57和第2輥13 (第3軸承機構17)之間的距離而被作設定。例如，藉由對於後述之間隔物94之中繼部94p的長度作調節，係能夠將第2動力傳導機構95以高精確度來配置在第2馬達57和第2輥13(第3軸承機構17)之間。

如同圖15中所示一般，間隔物94，係具備有圓筒狀之中繼部94p、和圓板狀之第1凸緣部97、和圓板狀之第2凸緣部98。第1凸緣部97，係以同心圓狀而被一體性地構成於中繼部94p之其中一端處。第2凸緣部98，係以同心圓狀而被一體性地構成於中繼部94p之另外一端處。第1凸緣部97和第2凸緣部98，係相互平行地而被作對向配置。

進而，第1凸緣部97和第2凸緣部98，係相互具備有相同之形狀以及大小。於此情況，該間隔物94之第1以及第2凸緣部97、98，和第1以及第2撓折耦合構件74之第1以及第2凸緣部86、88，係相互具備有相同之形狀以及大小。

2個的撓折耦合構件74，係在間隔物94之兩側處各被設置有1個。在間隔物94(第1凸緣部97)和第2馬達57(第1旋轉軸部65)之間，係被配置有其中一方之第1撓折耦合構件74。在間隔物94(第2凸緣部98)和第2輥13(第3驅動軸部13a)之間，係被配置有另外一方之第2撓折耦合構件74。

其中一方之第1撓折耦合構件74，係在上述之第1轂凸緣83和上述之間隔物94(第1凸緣部97)之間，具備有上述之板彈簧單元85，而構成之。於此情況，係在第1轂凸緣83之第1凸緣部86和間隔物94之第1凸緣部97的相互間， 配置板彈簧單元85。藉由複數之螺桿91等，來將凸緣部86、97相互作固定。如此這般，係能夠構成其中一方之第1撓折耦合構件74。

另外一方之第2撓折耦合構件74，係在上述之第2轂凸緣84和上述之間隔物94(第2凸緣部98)之間，具備有上述之板彈簧單元85，而構成之。於此情況，係在第2轂凸緣84之第2凸緣部88和間隔物94之第2凸緣部98的相互間，配置板彈簧單元85。藉由複數之螺桿91等，來將凸緣部88、98相互作固定。如此這般，係能夠構成另外一方之第2撓折耦合構件74。

於此，在圖15中，作為其中一例，中間軸部(間隔物)94，係藉由被作了一體化之1個(1根)的軸構件(亦即是，中繼部94p)而被構成。然而，該中間軸部(間隔物)94之構成，係並不被限定於此。例如，係亦可設為藉由將複數之軸構件(中繼部94p)相互作了連結者，來構成1個(1根)的中間軸部(間隔物)94。

具體而言，係準備複數之軸構件(中繼部94p)，並將此些之軸構件(中繼部94p)互相藉由第1撓折耦合構件74來可撓折地作連結。如此這般，係能夠構成使複數之軸構件(中繼部94p)相互作了連結之1個(1根)的中間軸部(間隔物)94。

若依據此種構成，則在使第1輥12朝向第2輥13作接近或者是遠離時所產生的第2輥13之旋轉軸之變化狀態、例如第2旋轉中心軸13r之偏心或偏角等的「角度偏移」，係 能夠藉由以其中一方之軸接頭(靠近第2馬達57之軸接頭74)作為基點並使中間軸部(間隔物)94乃至中繼部94p傾斜，而被作吸收並除去。藉由此，第2馬達57之旋轉軸(旋轉中心)的姿勢，係恆常被維持於一定。

另外，在圖5~圖6中，係對於上述之第2實施形態之其他構成的薄片或薄膜製造裝置1作展示。第1以及第3動力傳導機構72、96，係具備有與上述之第2動力傳導機構95相同的構成。第1以及第3動力傳導機構72、96，係使第2動力傳導機構95之間隔物94(中繼部94p)的長度作縮短而構成之。若依據此種構成，則係能夠更加確實地來並不使齒輪痕(橫條紋)產生地而製造(成形)薄片(薄膜)。

「第2實施形態之效果」

若是第1馬達56和第1輥12(第1軸承機構15)之間之間隔變長，則不僅是扭轉剛性會降低，並且，因應於間隔的變長，相應於此，重量(質量)也會增加。如此一來，如同上述一般，係會有使第1輥12之回應性乃至於追隨性降低之虞。

然而，如同本實施形態一般，係將第1馬達56和第1輥12(第1軸承機構15)之間之間隔，設定為較第2馬達57和第2輥13(第3軸承機構17)之間之間隔而更小。如此一來，係能夠將扭轉剛性作維持乃至於提昇，並且也能夠將重量(質量)作與間隔之縮短相應之量的減輕。

藉由此，係能夠使第1輥12之回應性乃至於追隨性提昇或者是維持於一定。其結果，係能夠將作為完成品之薄片(薄膜)的品質維持於一定。另外，關於其他之效果，由於係與上述之第1實施形態之效果相同，因此，係省略其說明。

「第3實施形態之薄片或薄膜製造裝置1(圖16~圖17)」

本實施形態，係為上述之第2實施形態(圖4~圖6)的改良。作為第1以及第3動力傳導機構72、96，係適用有市面販賣之連桿式耦合構件99(施密特(schmidt)耦合構件)。該耦合構件99，不論是對於第1~第3動力傳導機構72、95、96之任一者均可作適用，但是，以下係針對對於第1以及第3動力傳導構件72、96作適用的情況作說明。

如同圖16~圖17中所示一般，對於第1以及第3動力傳導機構72、96作了適用的耦合構件99，係相互具備有相同的構成。耦合構件99，係具備有第1碟100、和第2碟101、和中間碟102、和連桿機構(第1~第4連桿103~106、第1~第4銷107~110)。耦合構件99，係被配置並構成於第1連結具111與第2連結具112的相互之間。

第1動力傳導機構72之兩側的連結具111、112，係在第1馬達56之第1旋轉軸部64以及第1輥12之第1驅動軸部12a處，分別各被安裝有1個。亦即是，第1碟100，係經由連結具111而被連結於第1旋轉軸部64處。進而，第2碟101，係經由連結具112而被連結於第1驅動軸部12a處。

第3動力傳導機構96之兩側的連結具111、112，係在第3馬達58之第3旋轉軸部66以及第3輥14之第5驅動軸部14a處，分別各被安裝有1個。亦即是，第1碟100，係經由連結具111而被連結於第3旋轉軸部66處。進而，第2碟101，係經由連結具112而被連結於第5驅動軸部14a處。

第1碟100和第2碟101以及中間碟102，係相互具備有相同之形狀以及大小。第1碟100、第2碟101、中間碟102，係具備有中空之圓板形狀。第1碟100和第2碟101以及中間碟102，係相互平行地被作對向配置。中間碟102，係被配置在第1碟100和第2碟101之間。

在中間碟102之兩側處，係構成有相互平行地而作對向的第1以及第2中間面102a、102b。第1碟100，係與中間碟102之第1中間面102a相對向地而被作配置。在第1碟100處，係具備有與第1中間面102a平行地而相對向之第1面100a。

連桿機構，係被構成於第1面100a與第1中間面102a之間。亦即是，在第1面100a處，係被設置有2個的第1銷107。2個的第1銷107，係朝向第1中間面102a而相互平行地突出。在第1中間面102a處，係被設置有2個的第2銷108。2個的第2銷108，係朝向第1面100a而相互平行地突出。

第1銷107與第2銷108，係經由第1以及第2連桿103、104而被相互作連結。在第1以及第2連桿103、104處，係分別被構成有2個的連結孔113、114。在連結孔113、114 中，係收容有軸承(未圖示)。在第1以及第2連桿103、104處，第1銷107，係被可旋轉地與其中一方之連結孔113作連結。第2銷108，係被可旋轉地與另外一方之連結孔114作連結。

另一方面，第2碟101，係與中間碟102之第2中間面102b相對向地而被作配置。在第2碟101處，係具備有與第2中間面102b平行地而相對向之第2面101a。

連桿機構，係被構成於第2面101a與第2中間面102b之間。亦即是，在第2中間面102b處，係被設置有2個的第3銷109。2個的第3銷109，係朝向第2面101a而相互平行地突出。在第2面101a處，係被設置有2個的第4銷110。2個的第4銷110，係朝向第2中間面102b而相互平行地突出。

第3銷109與第4銷110，係經由第3以及第4連桿105、106而被相互作連結。在第3以及第4連桿105、106處，係分別被構成有2個的連結孔115、116。在連結孔115、116中，係收容有軸承(未圖示)。在第3以及第4連桿105、106處，第3銷109，係被可旋轉地與其中一方之連結孔115作連結。第4銷110，係被可旋轉地與另外一方之連結孔116作連結。

另外，當將上述之耦合構件99適用於第2動力傳導機構95處的情況時，係將第1碟110經由連結具111來與第2旋轉軸部65作連結，並且將第2碟101經由連結具112來與第3驅動軸部13a作連結。當然的，藉由此，係能夠得到與上述之第1實施形態相同的效果。

「第3實施形態之效果」

若依據本實施形態，則第1以及第3馬達56、58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)，係從第1以及第3旋轉軸部64、66來經由連結具111而被傳導至第1碟100處。此時，第1碟100之旋轉運動，係在從第1以及第2連桿103、104而傳導至中間碟102處之後，從第3以及第4連桿105、106來傳導至第2碟101處。此時，第2碟101之旋轉運動，係從連結具112來經由第1以及第5驅動軸部12a、14a而被傳導至第1以及第3輥12、14處。如此這般，係能夠使第1以及第3輥12、14以與第1以及第3馬達56、58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)相同的時序而旋轉。

進而，在使第1輥12朝向第2輥13而作接近或者是遠離時所產生的第2輥13之變化狀態，係藉由上述之連桿機構而被吸收並除去。藉由此，係能夠將第1以及第3旋轉軸部64、66之姿勢恆常維持為一定。另外，其他之構成，由於係為與第2實施形態相同，因此，針對相同之構成，係附加相同的元件符號，並省略其說明。進而，關於其他之效果，由於係與上述之第1以及第2實施形態之效果相同，因此，係省略其說明。

「第4實施形態之薄片或薄膜製造裝置1(圖18)」

本實施形態，係為上述之第2實施形態(圖4~圖6)的改良。作為第1以及第3動力傳導機構72、96，係適用有 市面販賣之球形接頭117。球形接頭117，係在軸118之兩側處具備有被橡膠製罩套(boots)119所覆蓋的接頭機構(未圖示)，而被構成。接頭機構，雖並未特別圖示，但是，係具備有被形成有球面狀之平滑面的插座、和能夠沿著插座(平滑面)而旋轉的金屬球。又，在金屬球處，係連結有第1以及第3馬達56、58之第1以及第3旋轉軸部64、66(參考圖4)、和第1以及第3輥12、14之第1驅動軸部12a以及第5驅動軸部14a。

「第4實施形態之效果」

若依據本實施形態，則藉由使金屬球沿著插座(平滑面)而旋轉以及迴旋，係能夠使第1以及第3輥12、14以與第1以及第3馬達56、58之旋轉狀態(馬達輸出、旋轉運動)相同的時序而旋轉。另外，其他之構成，由於係為與第2實施形態相同，因此，針對相同之構成，係附加相同的元件符號，並省略其說明。進而，本實施形態之效果，由於係與上述之第1以及第2實施形態之效果相同，因此，係省略其說明。

另外，於此，作為其中一例，雖係針對作為第1以及第3動力傳導機構72、96之軸接頭而適用了球形接頭117的規格來作了說明，但是，係並不被限定於此，亦可將該球形接頭117，作為上述之第2動力傳導機構95之軸接頭來適用。例如，在上述之圖2之實施形態中，作為第2動力傳導機構95之軸接頭，雖係適用有撓折耦合構件74，但是，係 亦可代替此，而適用球形接頭117。

「第5實施形態之薄片或薄膜製造裝置1(圖23~圖26)」

在圖23~圖26中，係對於上述之第1~第4實施形態以外之其他的態樣之第2動力傳導機構95之具體性的構成作展示。本實施形態之第2動力傳導機構95，係具備有彈性軸接頭120、和撐桿(stay)121、以及被配置在撐桿121處之軸承122。

於此情況，彈性軸接頭120，係經由軸承122而被可旋轉地支持於撐桿121處。撐桿121，係從台座123而被立起。台座123，係被固定在基體30處。如此這般，彈性軸接頭120，係經由撐桿121而被可旋轉地固定在台座123(基體30)處。在圖面中，作為其中一例，彈性軸接頭120，係藉由2個的撐桿121而被可旋轉地作支持。

在彈性軸接頭120之其中一側(後述之內軸構件124之另外一端)處，係被連結有第2馬達57之第2旋轉軸部65。在彈性軸接頭120之另外一側(後述之外軸構件125之另外一端)處，係被連結有第2輥13之第3驅動軸部13a。

作為連結方法的其中一例，在圖面中，係將第2旋轉軸部65嵌合(壓入)至彈性軸接頭120之其中一側(內軸構件124之另外一端)處的嵌合部124e中而使其作連結。該連結方法，雖並未特別圖示，但是，係亦可對於使第3驅動軸部13a作連結的彈性軸接頭120之另外一側(外軸構件125之另外一端)作適用。

彈性軸接頭120，係具備有內軸構件124、和外軸構件125、以及彈性體126。作為彈性體126，例如，係可適用橡膠、合成樹脂等。彈性體126，係構成為能夠在後述之凸部124p與凹部125p之間而無空隙地中介存在(被插入)。

內軸構件124，係具備有兩端，並且相對於中心軸124r而被構成為同心圓狀。上述之2個的撐桿121，係在內軸構件124之兩端側處各被配置有1個。內軸構件124，係使其之兩端側藉由撐桿121而被作支持。

在內軸構件124之其中一端處，係被設置有凸部124p。凸部124p，係從內軸構件124之其中一端起沿著中心軸124r來以同心狀突出地而被構成。在圖面中，作為其中一例，雖係展示有矩形狀之凸部124p，但是，除此之外，例如係亦可適用三角形、多角形等之各種的形狀。

在內軸構件124之另外一端處，係被構成有上述之嵌合部124e。嵌合部124e，係使內軸構件124之另外一端沿著中心軸124r而以同心狀作一部分之凹陷地而被構成。嵌合部124e之形狀，係對應於第2旋轉軸部65之形狀地而被作設定。

外軸構件125，係具備有兩端，並且相對於中心軸125r而被構成為同心圓狀。在外軸構件125之其中一端處，係被設置有凹部125p。凹部125p，係使外軸構件125之其中一端沿著中心軸125r來以同心狀作一部分之凹陷地而被構成。在圖面中，作為其中一例，雖係展示有矩形狀 之凹部125p，但是，除此之外，例如係亦可適用三角形、多角形等之各種的形狀。

在外軸構件125之端部處，例如，係被設置有具備與上述之嵌合部124e相同之構成的嵌合部(未圖示)。藉由將第3驅動軸部13a嵌合(壓入)至該嵌合部中，係能夠將第3驅動軸部13a連結於該外軸構件125之另外一端(彈性軸接頭120之另外一側)處。

在上述之彈性軸接頭120處，將被連結有第2旋轉軸部65之內軸構件124的凸部124p，插入至被連結有第3驅動軸部13a之外軸構件125的凹部125p中。使彈性體126，在凸部124p與凹部125p之間而中介存在(被插入)。該中介存在(插入)方法，雖並未特別圖示，但是，例如，係預先沿著凸部124p之外面全體而敷設彈性體126。接著，藉由將該凸部124p與彈性體126一同地而推入(插入)至凹部125p中，係能夠使彈性體126在凸部124p與凹部125p之間而無空隙地中介存在(被插入)。

在該狀態下，第2旋轉軸部65以及旋轉部(轉子59)之旋轉中心、以及上述之中心軸124r、125r，係在1根的旋轉中心軸67上而相互一致。第2旋轉軸部65、以及彈性軸接頭120(內軸構件124、外軸構件125)，係成為能夠與旋轉部(轉子59)一同旋轉。

「第5實施形態之效果」

若依據本實施形態，則內軸構件124之兩端側，係藉 由撐桿121而被作支持。因此，例如，就算是在使相對於第2輥13之第1輥12(參考圖1~圖2)的推壓附著狀態作了改變時而在第2輥13處產生有變化狀態(例如，第2旋轉中心軸13r之角度偏移(偏心、偏角))的情況時，內軸構件124也不會有受到該變化狀態之影響的情形。換言之，內軸構件124，係恆常被維持於不會撓折的狀態。

此時，在第2輥13處所產生了的變化狀態(例如，第2旋轉中心軸13r之角度偏移(偏心、偏角))，係藉由使彈性軸接頭120(彈性體126)作彈性變形，而使其之全部被完全地吸收並除去。因此，係不會有使第2輥13之變化狀態傳導至第2馬達57(第2旋轉軸部65)處的情形。同時，第2馬達57(轉子59)乃至第2旋轉軸部65之姿勢、亦即是旋轉中心軸67之姿勢，係恆常被維持於一定。

如此這般，藉由使第2馬達57之旋轉狀態並不產生變化地來維持原樣地被傳導至第2輥13處，係實現使第2輥13以與第2馬達57之旋轉狀態相同的時序來旋轉之第2動力傳導機構95。另外，關於其他之效果，由於係與第1實施形態之效果相同，因此，係省略其說明。

「第6實施形態之薄片或薄膜製造裝置1(圖27~圖29)」

在圖27中，係對於上述之第1~第5實施形態以外之其他的態樣之第2動力傳導機構95之具體性的構成作展示。本實施形態之第2動力傳導機構95，係除了上述之彈性軸接頭120以外，更進而具備有推壓附著機構127a、127b。 推壓附著機構127a、127b，係在第2輥13之兩側處各被設置有1個。

其中一側之推壓附著機構127a，係被配置在彈性軸接頭120(具體而言，外軸構件125之另外一端)和第3軸承機構17之間。另外一側之推壓附著機構127b，係被配置在上述之第2配管4b和第4軸承機構18之間。雙方之推壓附著機構127a、127b，係具備有可撓軸128、和軸承箱129、和線性導軌130、和活塞桿131、以及致動器132。

在其中一側之推壓附著機構127a處，可撓軸128，係被設置在第3驅動軸部13a和外軸構件125之另外一端(彈性軸接頭120之另外一側)之間。可撓軸128，係與第3驅動軸部13a相連續，並且沿著旋轉中心軸67而被構成為同心圓狀。在圖面中，作為其中一例，可撓軸128，係從第3驅動軸部13a起而一直被構成至即將到達外軸構件125之另外一端之前處。

在另外一側之推壓附著機構127b處，可撓軸128，係被設置在第4驅動軸部13b和第2配管4b之間。可撓軸128，係與第4驅動軸部13b相連續，並且沿著第2旋轉中心軸13r而被構成為同心圓狀。

在雙方之推壓附著機構127a、127b處，可撓軸128係成為容易使其之全體作彈性變形。作為用以實現該效果之方法，例如，係可使用將可撓軸128相較於第3驅動軸部13a(第4驅動軸部13b)而更細徑化的方法。

軸承箱129，係將可撓軸128可旋轉地作支持。軸承箱 129，係構成為能夠沿著線性導軌130而移動。線性導軌130，係沿著橫斷可撓軸128(旋轉中心軸67)(相正交)的方向而被作配置。

活塞桿131，係具備有兩端(基端、前端)。活塞桿131之基端，係被與致動器132作連結。活塞桿131之前端，係被與軸承箱129作連結。致動器132，係構成為能夠使活塞桿131作往返動作。在此構成中，係使活塞桿131作往返動作(突出、陷入)。藉由此，係能夠使軸承箱129沿著線性導軌130而前進以及後退。

於此情況，藉由使活塞桿131作突出以及陷入(使軸承箱129前進以及後退)，係能夠使推壓力以及拉張力作用於可撓軸128處。推壓力，係能夠因應於使軸承箱129前進之距離(活塞桿131之突出量)來作增減變更。拉張力，係能夠因應於使軸承箱129後退之距離(活塞桿131之陷入量)來作增減變更。

在該構成中，係能夠因應於推壓力以及拉張力而使可撓軸128作彈性變形。藉由將推壓力以及拉張力增大，係能夠將可撓軸128之變形量(變形之比例、程度)增大。於此情況，推壓力以及拉張力之大小，係被設定為當起因於在第2輥13處所產生的變化狀態(例如，第2旋轉中心軸13r之角度偏移(偏心、偏角))而導致可撓軸128作了撓折時，能夠將此撓折消除的程度。

「推壓附著機構127a、127b之動作」

例如，如同圖28中所示一般，對於在使相對於第2輥13之第1輥12(參考圖1~圖2)的推壓附著狀態133作了改變時，起因於在第2輥13處產生有變化狀態(例如，第2旋轉中心軸13r之角度偏移(偏心、偏角))一事，雙方的可撓軸128係作了撓折的狀態作考慮。

在該狀態下，如同圖29中所示一般，係使活塞桿131突出而使軸承箱129前進。藉由此，來使推壓力作用於可撓軸128處。此時，係使活塞桿131突出(使軸承箱129前進)，直到可撓軸128之撓折消除為止。

於此情況，在其中一側之推壓附著機構127a處，係使活塞桿131突出(使軸承箱129前進)，直到可撓軸128之旋轉中心與旋轉中心軸67相互一致為止。同時地，在另外一側之推壓附著機構127b處，係使活塞桿131突出(使軸承箱129前進)，直到可撓軸128之旋轉中心與第2旋轉中心軸13r相互一致為止。

藉由此，第2輥13，係被維持於使其之兩側藉由第3軸承機構17以及第4軸承機構18而被以良好平衡來作了支持的狀態。

進而，在其中一側之推壓附著機構127a處，作用於可撓軸128處之推壓力，係藉由使彈性軸接頭120(具體而言，彈性體126)作彈性變形，而使其之全部被完全地吸收並除去。因此，係不會有使第2輥13之變化狀態傳導至第2馬達57(第2旋轉軸部65)處的情形。

「第6實施形態之效果」

若依據本實施形態，則除了彈性軸接頭120以外，係更進而具備有推壓附著機構127a、127b。藉由此，在第2輥13處所產生了的變化狀態(例如，第2旋轉中心軸13r之角度偏移(偏心、偏角))，係使其之全部被完全地吸收並除去。因此，係不會有使第2輥13之變化狀態傳導至第2馬達57(第2旋轉軸部65)處的情形。同時，第2馬達57(轉子59)乃至第2旋轉軸部65之姿勢、亦即是旋轉中心軸67之姿勢，係恆常被維持於一定。

如此這般，藉由使第2馬達57之旋轉狀態並不產生變化地來維持原樣地被傳導至第2輥13處，係實現使第2輥13以與第2馬達57之旋轉狀態相同的時序來旋轉之第2動力傳導機構95。另外，關於其他之效果，由於係與第1實施形態之效果相同，因此，係省略其說明。

「第6實施形態之變形例」

作為上述之第1驅動機構53，在對於第1輥12之旋轉直接有所助益的第1馬達56係為能夠以低速旋轉來產生高轉矩的規格中，係亦可代替第1動力傳導機構72，而使用第6實施形態之第2動力傳導機構95。

在上述之第6實施形態中，針對彈性軸接頭120之支持構造，雖並未特別作提及，但是，例如，係亦可構成為藉由上述之第5實施形態之撐桿121(軸承122)來將彈性軸接頭120可旋轉地作支持。於此情況，撐桿121之配置，係 從基體30而被立起。

以上，雖係針對本發明之具體性的實施形態作了說明，但是，此些實施形態係僅為例示，而並非為對於本發明作限定者，同時，於此所說明之實施形態，係可作各種之變形，進而，在不脫離本發明之趣旨的範圍內，係可對於上述實施形態作各種之省略、置換或改變，該些變形，係亦被包含在本發明之申請專利範圍以及其之同等構成中。

Claims (4)

1. 一種薄片或薄膜成形輥裝置，係具備有相互對向且構成為可旋轉的第1輥以及第2輥，並藉由對於前述第1輥和前述第2輥之間供給熔融樹脂，而成形薄片或薄膜，該薄片或薄膜成形輥裝置，其特徵為，係具備有：第1馬達，係用以使前述第1輥旋轉；和第2馬達，係具備有被配置有複數之永久磁石的旋轉部，並用以使前述第2輥旋轉；和推拉單元，係能夠使前述第1輥朝向前述第2輥而接近或遠離；和動力傳導機構，係將前述第2馬達和前述第2輥作連結，前述動力傳導機構，係具備有中間軸部、和2個的軸接頭，其中一方之前述軸接頭，係將前述第2馬達和前述中間軸部作連接，另外一方之前述軸接頭，係將前述第2輥和前述中間軸部作連接，在使前述第1輥朝向前述第2輥而作接近或遠離時所產生的前述第2輥之旋轉軸之變化狀態，係藉由以其中一方之前述軸接頭作為基點並使前述中間軸部傾斜一事，而被作吸收並除去，藉由此，前述第2馬達之旋轉軸之姿勢係恆常被維持於一定。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之薄片或薄膜成形輥裝置，其中，前述中間軸部，係藉由被作了一體化之1個的軸構件、或者是藉由將複數之軸構件相互作了連結者，來構成之。
3. 如申請專利範圍第1項所記載之薄片或薄膜成形輥裝置，其中，前述軸接頭，係為撓折耦合構件、或者是球形接頭。
4. 一種薄片或薄膜成形方法，係使用有薄片或薄膜成形輥裝置，該薄片或薄膜成形輥裝置，係具備有相互對向且構成為可旋轉的第1輥以及第2輥，並藉由對於前述第1輥和前述第2輥之間供給熔融樹脂，而成形薄片或薄膜，該薄片或薄膜成形方法，其特徵為，係具備有：藉由第1馬達，而使前述第1輥旋轉之步驟；和藉由具備有中間軸部和2個的軸接頭之動力傳導機構，來將具備被配置有複數之永久磁石的旋轉部之第2馬達的旋轉狀態傳導至前述第2輥處之步驟；和藉由推拉單元，來使前述第1輥朝向前述第2輥而接近或遠離之步驟；和將在使前述第1輥朝向前述第2輥而作接近或遠離時所產生的前述第2輥之旋轉軸之變化狀態，藉由以其中一方之前述軸接頭作為基點並使前述中間軸部傾斜一事，而作吸收並除去，藉由此，來將前述第2馬達之旋轉軸之姿勢恆常維持於一定之步驟。