TWI675432B - 測試位置對位校正裝置 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種測試位置對位校正裝置，其係一底座上設有彼此電性連接之校正探針、至少一被動元件及一發光元件，並利用水平移動平台及垂直移動平台帶動一待對位裝置及其一側之影像擷取裝置進行移動，當校正探針接觸待對位裝置時，校正探針、被動元件、 發光元件、待對位裝置之間形成一電迴路，使發光元件亮起，以取得一實際測試位置；另外，利用水平移動平台移動使影像擷取裝置得以對準校正探針，以取得一影像感測位置；因此藉由影像感測位置與實際測試位置間之差值，即可得到一準確的位移距離，表示待對位裝置與影像擷取裝置之間的實際間距，以供後續測試時校正位置使用，提供更精準之整體定位精度。

Description

測試位置對位校正裝置

本發明係有關一種位置校正裝置，特別是關於一種可確定影像感測位置與實際測試位置間之位移距離的測試位置對位校正裝置。

在半導體或積體電路（IC）產業中，為了確保元件良率與品質，不管在製程階段或是組裝階段，在不同階段都會對元件各自進行測試作業，以確保元件可以正常運作。

一般工業自動化測試設備中，裝載在水平移動平台與垂直移動平台上的測試頭或是取放裝置，在測試時，通常會先透過水平移動平台移動至待測元件上方，測試頭或取放裝置再透過垂直移動平台向下移動接觸到待測元件，以進行測試；但在這測試過程中，裝設在垂直移動平台上的測試頭或取放裝置之中心點無法對應於影像擷取裝置的中心位置，亦即影像擷取裝置之影像感測位置與測試頭或取放裝置之實際測試位置之間會存在一個位移距離，在實際應用上，這個位移距離的實際偏移數值實際上是多少是需要進一步確定的，目前為了得知此位移距離的實際數值，通常都是採用手工量測方式來量測此位移距離，此種方式不但費時而且準確度亦不足，再者，實際操作時也存在機械安裝定位問題，使得間距的實際數值用手工量測方式存在相當大的不準確性，進而影響到整體定位精度。

有鑑於此，本發明遂提出一種測試位置對位校正裝置，以改善存在於先前技術中之該些缺失，以提供更為準確的定位精度。

本發明之主要目的係在提供一種測試位置對位校正裝置，其係利用接觸式點亮發光元件的方式，更精準的取得影像感測位置與實際測試位置間的位移距離，故可提供更為準確的定位精度。

本發明之另一目的係在提供一種測試位置對位校正裝置，其係可定期取得更新實際的位移距離，以利長時間維持測試的定位準確度。

為達到上述目的，本發明提出之測試位置對位校正裝置係裝設在一垂直移動平台下方，且垂直移動平台安裝於一水平移動平台上，在垂直移動平台上則裝設一待對位裝置及其一側之影像擷取裝置，此測試位置對位校正裝置包括有一底座，其上安裝有一校正探針，水平移動平台及垂直移動平台可以帶動待對位裝置位移，使待對位裝置得以接觸校正探針；至少一被動元件及一發光元件安裝於底座上且電性連接校正探針，使校正探針接觸待對位裝置時，校正探針、被動元件、 發光元件、待對位裝置之間形成一電迴路，使發光元件亮起，以取得一實際測試位置；另有一電源模組電性連接發光二極體，以提供上述各元件所需之電力。其中水平移動平台移動使影像擷取裝置得以對準校正探針，藉此可取得一影像感測位置，因此藉由計算影像感測位置與實際測試位置之間的一差值，即可得到一準確的位移距離，以供後續測試時使用，提高整體之定位精度。

其中，上述之底座底部係具有一金屬負電極導板，用以作為接地；另有一導電夾係電性連接待對位裝置及金屬路負電極導板，以導通電迴路，且導電夾之一端更設有一插頭，對應於底座上則設有一插座，插座電性連接金屬負電極導板，當插頭插接在插座上，且導電夾電連接待對位裝置時，使待對位裝置與金屬路負電極導板之間導通，以利發光元件發光。

底下藉由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當更容易瞭解本發明之目的、技術內容及其所達成的功效。

本發明之測試位置對位校正裝置可以配合水平移動平台搭配垂直移動平台精確的確認出影像感測位置及實際測試位置，故可以得到明確的位移距離，達到更精確的定位。

第1圖為本發明之結構示意圖，第2圖為本發明之結構俯視圖，第3圖為本發明之電路示意圖，請參閱第1、2、3圖所示，並同時參閱第4A圖及第4B圖所示，本發明之測試位置對位校正裝置10，其係裝設在一測試平台上38之一垂直移動平台30下方，且垂直移動平台30安裝於一水平移動平台32上，水平移動平台32即為常見的X-Y軸移動平台，以利用水平移動平台32帶動垂直移動平台30於機台上進行X軸或Y軸的水平位移；在垂直移動平台30上裝設有一待對位裝置及其一側之影像擷取裝置36，待對位裝置係可為測試頭或取放頭，在此係以測試頭34為實施例來說明本創作之技術。此測試位置對位校正裝置10係包括有一底座12，底座12的底部係具有一金屬負電極導板122，以作為接地，當其安裝測試平台38上時，則與測試平台38共接地。在底座12上安裝有一校正探針14，使測試頭34可以利用水平移動平台32及垂直移動平台30帶動而進行位移，以供接觸校正探針14；至少一被動元件，例如電阻16，安裝於底座12上且電性連接校正探針14；一發光元件，例如發光二極體18，其係電性連接電阻16及校正探針14，使校正探針14得以在接觸測試頭34時形成一電迴路，使發光二極體18亮起，以取得對應測試頭34的一實際測試位置；另有一電源模組20係電性連接發光二極體18，並提供上述元件所需之電力，其中電源模組20可以使用鋰電池或其他等效電池。

其中，本發明之測試位置對位校正裝置10更可選擇性使用一導電夾22，其係電性連接測試頭34及金屬負電極導板122，用來導通前述之電迴路，當然，此導電夾22之一端係設有一插頭24，且底座12上則對應設有一插座26，且插座26電性連接至金屬負電極導板122，當插頭24插接在插座26上，且導電夾22固定在測試頭34上之測試探針342上方時，即可電性連接測試頭34及金屬負電極導板122，以導通整個電迴路。

在使用本發明之測試位置對位校正裝置10，請同時參閱第1、4A、4B圖所示，首先，將測試位置對位校正裝置10放置於水平移動平台32行程可達之工作範圍內的測試平台38上，平置並避免滑移，必要時可以在測試位置對位校正裝置10背面利用貼膠固定於測試平台38上。再者，由於測試位置對位校正裝置10底部具有金屬負電極導板122，測試平台38與測試位置對位校正裝置10之導電阻抗在500歐姆以上者，則需要再使用導電夾22，將插頭24插接在插座26上，且導電夾22固定在測試頭34上之測試探針342上方，使測試頭34及金屬負電極導板122之間導電，以供導通整個電迴路。完成初步安裝後，接著，移動水平移動平台32，連同影像擷取裝置36會一起移動，使影像擷取裝置36中心對準測試位置對位校正裝置10之校正探針14，此時記錄水平移動平台32的位置數值，即可取得一影像感測位置。然後，請同時參閱第1、5A、5B圖所示，再次移動水平移動平台32，連同測試頭34也會一起移動，使測試位置對位校正裝置10位於測試頭34正下方，接著利用垂直移動平台30帶動測試頭34向下移動，直至測試頭34之對位用的測試探針342與校正探針14接觸，如第6圖所示，此時會導通整個電迴路而使發光二極體18亮起，表示接觸完成，此時記錄水平移動平台32的位置數值，即可取得實際測試位置。最後，利用影像感測位置與實際測試位置之間的差值，即可得到一位移距離，此位移距離即為影像擷取裝置36與探測頭34之測試探針342之間的實際間距，以供後續進行測試時校正位置使用。

因此，本發明提出之測試位置對位校正裝置，其係利用接觸式點亮發光元件的方式，可以更精準的取得影像感測位置與實際測試位置之間的位移距離，故可提供更為準確的定位精度。且因本發明安裝方便，檢測容易，可以定期進行位置校正，以定期取得更新實際的位移距離，以利長時間維持測試的定位準確度，避免機械誤差。

以上所述之實施例僅係為說明本發明之技術思想及特點，其目的在使熟悉此項技術者能夠瞭解本發明之內容並據以實施，當不能以之限定本發明之專利範圍，即大凡依本發明所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本發明之專利範圍內。

10‧‧‧測試位置對位校正裝置

12‧‧‧底座

122‧‧‧金屬負極導板

14‧‧‧校正探針

16‧‧‧電阻

18‧‧‧發光二極體

20‧‧‧電源模組

22‧‧‧導電夾

24‧‧‧插頭

26‧‧‧插座

30‧‧‧垂直移動平台

32‧‧‧水平移動平台

34‧‧‧測試頭

342‧‧‧測試探針

36‧‧‧影像擷取裝置

38‧‧‧測試平台

第1圖為本發明之結構示意圖。 第2圖為本發明之結構俯視圖。 第3圖為本發明之電路示意圖。 第4A圖為本發明安裝於測試平台上並對準影像擷取裝置的結構示意圖。 第4B圖為本發明之校正探針對準影像擷取裝置的局部結構示意圖。 第5A圖為本發明安裝於測試平台上並對測試頭的結構示意圖。 第5B圖為本發明之校正探針對準測試頭的局部結構示意圖。 第6圖為本發明之校正探針與測試探針接觸時的結構示意圖。

Claims (9)

1. 一種測試位置對位校正裝置，其係裝設在一垂直移動平台下方，且該垂直移動平台安裝於一水平移動平台上，在該垂直移動平台上裝設有一待對位裝置及其一側之影像擷取裝置，該測試位置對位校正裝置包括：一底座；一校正探針，安裝於該底座上，利用該水平移動平台及該垂直移動平台帶動該待對位裝置位移，以接觸該校正探針；至少一被動元件，安裝於該底座上且電性連接該校正探針；一發光元件，電性連接該被動元件及該校正探針，使該校正探針接觸該待對位裝置時形成一電迴路，該發光元件亮起，以取得一實際測試位置，該水平移動平台移動使該影像擷取裝置中心對準該校正探針，以取得一影像感測位置，進而獲得該影像感測位置與該實際測試位置之間的一位移距離；以及一電源模組，電性連接該發光元件，以提供所需之電力。
2. 如請求項1所述之測試位置對位校正裝置，其中該待對位裝置係可為測試頭或取放頭。
3. 如請求項1所述之測試位置對位校正裝置，其中該水平移動平台係為X-Y軸移動平台。
4. 如請求項1所述之測試位置對位校正裝置，其中該被動元件係為一電阻。
5. 如請求項1所述之測試位置對位校正裝置，其中該電源模組係為鋰電池。
6. 如請求項1所述之測試位置對位校正裝置，其中該底座底部係具有一 金屬負電極導板，以作為接地。
7. 如請求項6所述之測試位置對位校正裝置，更包括一導電夾，其係電性連接該待對位裝置及該金屬負電極導板，以導通該電迴路。
8. 如請求項7所述之測試位置對位校正裝置，其中該導電夾之一端更設有一插頭，且該底座上設有一插座，該插座電性連接該金屬負電極導板，以電性連接該待對位裝置及該金屬負電極導板。
9. 如請求項1所述之測試位置對位校正裝置，其中該發光元件係為一發光二極體。