TWI670847B - 一種柔性顯示器件 - Google Patents

Abstract

本發明公開了一種柔性顯示器件，解決了現有技術中的柔性顯示器件因無機阻隔層的平面結構使其在彎折過程中易斷裂，從而導致水氧阻隔性能低、封裝失效風險大的問題。本發明提供的柔性顯示器件包括：有機發光結構；覆蓋有機發光結構的有機層，有機層中填充有無機材料。

Description

一種柔性顯示器件

本發明屬於顯示技術領域，具體是關於一種柔性顯示器件。

柔性顯示器件通過設置在基板上的有機發光二極體(OLED,Organic Light Emitting Diode)實現顯示，由於其具有製備工藝簡單、發光效率高、對比度高、超薄超輕、功耗低、易形成柔性結構等優點，近年來已受到廣泛關注。然而，OLED器件中的有機發光結構對氧氣和水蒸氣非常敏感，即使很少量的水氧滲入到器件內部也會使器件的發光性能劣化，並且導致有機材料穩定性降低甚至發生電化學腐蝕，從而嚴重影響器件的使用壽命。因此在實際使用中需要對器件加以封裝使器件與氧氣和水蒸氣隔絕以延長OLED的使用壽命。

薄膜封裝作為OLED器件封裝中常用的一種封裝方式，能夠滿足OLED器件更輕更薄的要求，所以眾多的研究人員將目光轉向了薄膜封裝。在薄膜封裝中，為了限制或防止水氧的入侵，通常採用無機層和有機層相疊加的方式。柔軟的有機層用以覆蓋OLED表面臺階及雜質，堅硬的無機層用以阻隔水氧的入侵。但是由於無機層的斷裂應變較低，其平面的結構設計很容易在器件彎折時產生較大的應變而發生斷裂，進而導致阻隔性能的下降，增加了封裝失效的風險。

有鑑於此，本發明致力於提供一種柔性顯示器件，以解決現有技術中的柔性顯示器件因無機阻隔層的平面結構在彎折過程中易斷裂，從而導致水氧阻隔性能低、封裝失效風險大的問題。

本發明提供了一種柔性顯示器件，包括：有機發光結構；覆蓋有機發光結構的有機層，有機層中填充有無機材料。

在一個實施例中，有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，無機材料設置於第一有機層和第二有機層中的一層或兩層中。

在一個實施例中，有機層設置有溝槽，無機材料填充於溝槽中。

在一個實施例中，溝槽由多個溝槽單元連接形成且在有機層上的投影覆蓋有機層。

在一個實施例中，有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，溝槽包括第一溝槽和第二溝槽，第一溝槽的溝槽單元分佈於第一有機層中，第二溝槽的溝槽單元分佈於第二有機層中。

在一個實施例中，有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，溝槽的多個溝槽單元分佈於第一有機層和第二有機層中。

在一個實施例中，溝槽單元包括橫斷面為半圓環形的第一溝槽單元，溝槽由第一溝槽單元連接形成。

在一個實施例中，溝槽單元的橫斷面為長條形，溝槽單元包括分別與有機層平行的第二溝槽單元、成銳角的第三溝槽單元、成鈍角的 第四溝槽單元以及成直角的第五溝槽單元，溝槽由第二溝槽單元、第三溝槽單元、第四溝槽單元和第五溝槽單元中的至少兩種交替連接形成。

在一個實施例中，多個溝槽單元連接形成橫斷面為脈衝波形的溝槽。

在一個實施例中，脈衝波形為鋸齒波、矩形波或梯形波。

在一個實施例中，柔性顯示器件還包括覆蓋有機層的加強層，加強層的材料為無機材料。

在一個實施例中，有機發光結構包括至少一層金屬佈線層，金屬佈線層包括並行延伸的第一金屬線和第二金屬線，第一金屬線和第二金屬線均具有在第一方向上交替設置的凹部和凸部，第一方向是第一金屬線和第二金屬線的延伸方向。

在一個實施例中，第一金屬線的凹部和凸部在與第一方向垂直的第二方向上分別對應第二金屬線的凸部和凹部。

在一個實施例中，第一金屬線的凹部和第二金屬線的凹部均具有平坦的底面，第一金屬線的凸部和第二金屬線的凸部均具有平坦的頂面。

在一個實施例中，第一金屬線的凸部和第二金屬線的凸部中的至少一個在與第一方向垂直的第二方向上的剖面呈矩形、梯形或弧形。

在一個實施例中，第一金屬線的凹部的底面的長度等於第一金屬線的凸部的頂面的長度，第二金屬線的凹部的底面的長度等於第二金屬線的凸部的頂面的長度，並且第一金屬線的凹部的底面的長度等於第二金屬線的凸部的頂面的長度。

在一個實施例中，第一金屬線的凹部的底面的長度大於第一金屬線的凸部的頂面的長度，第二金屬線的凹部的底面的長度大於第二金屬線的凸部的頂面的長度。

在一個實施例中，第一金屬線的凹部與第二金屬線的凹部至少部分重疊設置。

在一個實施例中，第一金屬線的凹部的底面的長度與第一金屬線的凸部的頂面的長度的比值小於10：1，第二金屬線的凹部的底面的長度與第二金屬線的凸部的頂面的長度的比值小於10：1。

在一個實施例中，第一金屬線的凸部的頂面的長度大於第一金屬線的凹部的底面的長度，第二金屬線的凸部的頂面的長度大於第二金屬線的凹部的底面的長度。

本發明實施例提供的柔性顯示器件通過在有機層中填充無機材料，使得無機材料分佈於非平面空間內與有機層形成交疊結構，此設計在保證了水氧阻隔性能的同時，降低了器件在彎折變形過程中無機材料所受最大應變，從而減小無機材料斷裂的風險，提高了封裝的可靠性。另一方面，有機發光結構中的至少一層金屬佈線層通過並行延伸至少兩條具有交替設置的凹部和凸部的金屬線，提高了金屬線的雙向耐彎折能力，使柔性顯示器件在正反面彎曲折疊時，減少了金屬線斷裂的危險。

101~103、201~205、301~306‧‧‧步驟

1a、1b、1c、1d、1f、1g、1h‧‧‧溝槽

11e‧‧‧第一溝槽

111、112‧‧‧第一溝槽單元

12‧‧‧第二溝槽單元

12e‧‧‧第二溝槽

13‧‧‧第三溝槽單元

14‧‧‧第四溝槽單元

15‧‧‧第五溝槽單元

16‧‧‧溝槽單元

2a、2b、2d、2h‧‧‧有機層

21c、21e、21f、21g‧‧‧第一有機層

22c、22e、22f、22g‧‧‧第二有機層

3‧‧‧有機發光結構

31a~31f‧‧‧第一金屬線

32a~32f‧‧‧第二金屬線

33a~33f‧‧‧凹部

34a~34f‧‧‧凸部

35a~35f‧‧‧凹部

36a~36f‧‧‧凸部

4a、4b、4c、4d、4f、4g、4h‧‧‧無機層

41e、42e‧‧‧無機層

5‧‧‧加強層

6‧‧‧柔性襯底

61、62‧‧‧交點

圖1所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖； 圖2所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖3所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖4所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖5所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖6所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖7所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖8所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖9所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖；圖10所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的結構示意圖； 圖11所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示器件的製備方法的流程圖； 圖12所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示器件的製備方法的流程圖； 圖13所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件的製備方法的流程圖；圖14a所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖；圖14b所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的俯視圖；圖15a所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖；圖15b所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的俯視圖；圖16a所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖；圖16b所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的俯視圖；圖17a所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖；圖17b所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的俯視圖；圖18a所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖；圖18b所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的俯視圖； 圖19a所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖；圖19b所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的俯視圖。

為使本發明的目的、技術手段和優點更加清楚明白，以下結合附圖對本發明作進一步詳細說明。

本發明實施例提供了一種柔性顯示器件，包括柔性襯底、設置於柔性襯底上的有機發光結構和覆蓋有機發光結構的有機層，其中該有機發光結構可包括至少一層金屬佈線層，該有機層中填充有無機材料。

本發明實施例提供的柔性顯示器件通過在有機層中填充無機材料，使得無機材料分佈於非平面空間內與有機層形成交疊結構，此設計在保證了水氧阻隔性能的同時，降低了器件在彎折變形過程中無機材料所受最大應變，從而減小無機材料斷裂的風險，提高了封裝的可靠性。

對於有機層，其既可為一層也可為層疊的多層。對於有機層為多層的情況，無機材料既可設置於其中的一層中，也可設置於多層有機層中。在一個實施例中，有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，無機材料設置於第一有機層和第二有機層中的一層或兩層中。

在一個實施例中，有機層包括溝槽，無機材料則填充於溝槽中。具體地，溝槽可由多個溝槽單元連接形成且在有機層上的投影覆蓋有機層。對於有機層為多層的情況，既可在其中一個有機層中設計溝槽，也 可在多個有機層中都設計溝槽。

對於構成溝槽的多個溝槽單元，其既可分佈於一個有機層中，也可分佈於多個有機層中，只要使溝槽的投影能夠覆蓋有機層即可，本發明對此都不做具體限定。例如，在一個實施例中，有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，溝槽的多個溝槽單元則分佈於第一有機層和第二有機層兩層有機層中。在另一個實施例中，有機層也包括層疊設置的兩個有機層，每個有機層中各包括一個溝槽，分別為第一溝槽和第二溝槽，其中第一溝槽的溝槽單元分佈於第一有機層中，第二溝槽的溝槽單元則分佈於第二有機層中。

對於溝槽單元的形狀，其橫斷面具體可為長條形或彎折的長條形，其中該橫斷面為垂直於有機層所剖切的面，長條形具體指其在該面上的投影為長寬比較大的長方形或類似長方形(如兩相對長邊為鋸齒形等)。對於彎折的長條形，如可彎折形成半圓環形、類似半圓環形、半橢圓環形等，本發明對此不做具體限定。

下面將以半圓環形為例，具體介紹當溝槽單元的橫斷面為彎折的長條形時其形成的溝槽結構。

在本發明一實施例中，橫斷面呈半圓環形的溝槽單元為第一溝槽單元，其中橫斷面為垂直於有機層所剖切的面，溝槽由該第一溝槽單元連接形成。對於第一溝槽單元的彎折方向，其既可向下彎折形成開口向上的半圓環形，也可向上彎折形成開口向下的半圓環形，本發明對此不做限定。

在一實施例中，如圖1所示，柔性顯示器件包括柔性襯底6、 設置於柔性襯底6上的有機發光結構3以及覆蓋有機發光結構3的有機層2a，溝槽1a由開口向上的第一溝槽單元111連接形成。在另一實施例中，如圖2所示，溝槽1b由開口向下的第一溝槽單元112連接形成。可以看出，只要將這些第一溝槽單元111(或112)設置於一個有機層2a(或2b)中並將其連接形成一個其投影可覆蓋有機層2a(或2b)的溝槽1a(或1b)，再在溝槽1a(或1b)中填充無機材料即可形成覆蓋有機層2a(或2b)的無機層4a(或4b)。本實施例提供的器件結構只需要將無機材料填充於一個有機層中即可形成彎曲結構的無機層4a(或4b)，減小了斷裂發生的可能性，其在提升了水氧阻隔性能的同時，也節省了材料成本。

在本發明另一實施例中，溝槽1c由若干開口向上的第一溝槽單元111和若干開口向下的第一溝槽單元112交替連接形成，這就需要將這些溝槽單元分佈於至少兩個有機層中。在一個實施例中，如圖3所示，兩種溝槽單元交替連接的數量各為一個，即形成類似於正弦波形狀的溝槽1c。則需要先在有機發光結構3上製備第一有機層21c，在該第一有機層21c上預設位置向內開設多個開口向上的第一溝槽單元111，然後在第一有機層21c上繼續製備第二有機層22c，在該第二有機層22c上預設位置再向內開設多個開口向下的第一溝槽單元112，使其與第一溝槽單元111連接形成一個連續的投影可覆蓋第二有機層22c的溝槽1c，然後在溝槽1c中填充無機材料，也就形成了可覆蓋有機層的無機層4c。

當然也可將上述兩種溝槽單元交替連接的數量設置成任意多個，各溝槽單元開口的寬度可相同，也可不同，本發明對此都不做具體限定。

另外，也可將上述任一實施例中的第一溝槽單元111(或112)設置於更多個有機層中使其構成更多種結構的溝槽，只要使它們連接後形成的溝槽的投影能夠覆蓋有機層即可，本發明對溝槽單元的分佈形式不做限定。

下面將具體介紹當溝槽單元的橫斷面為長條形時其形成的溝槽的結構。

參考圖4至圖8所示，橫斷面為長條形的溝槽單元可包括分別與有機層平行的第二溝槽單元12、成銳角的第三溝槽單元13、成鈍角的第四溝槽單元14以及成直角的第五溝槽單元15。以圖4為例，銳角指第三溝槽單元13與交點61右側的有機層2d底面所成的角度，該交點61即為第三溝槽單元13與有機層2d的底面相交的點；鈍角指第四溝槽單元14與交點62右側的有機層2d底面所成的角度，該交點62即為第四溝槽單元14與有機層2d的底面相交的點。溝槽則可由上述第二溝槽單元12、第三溝槽單元13、第四溝槽單元14和第五溝槽單元15中的至少兩種交替連接形成。例如，對於一個溝槽中的多個溝槽單元可分佈於一個有機層中的結構，如可通過將第三溝槽單元13和第四溝槽單元14交替連接，將第三溝槽單元13和第五溝槽單元15交替連接，或將第四溝槽單元14和第五溝槽單元15交替連接實現；對於一個溝槽的溝槽單元需要分佈於多個有機層中的結構，如可通過將第二溝槽單元12和第五溝槽單元15交替連接，將第三溝槽單元13、第二溝槽單元12及第四溝槽單元14交替連接，或將第三溝槽單元13、第二溝槽單元12及第五溝槽單元15交替連接實現。

下面將以第三溝槽單元13和第四溝槽單元14交替連接為例， 具體介紹當溝槽單元的橫斷面為長條形時其形成的溝槽可位於一個有機層內部的情形。如圖4所示，第三溝槽單元13和第四溝槽單元14交替，形成由多個V形結構構成的溝槽1d，在溝槽1d內部填充有無機材料即形成了投影覆蓋有機層2d的無機層4d。本實施例通過將無機層設置成彎折的結構，有效地阻隔了水氧的同時，更利於應力的釋放，從而減小了無機層斷裂的風險，保證了封裝的可靠性。此種單層的有機層和無機材料相交疊的方式，其結構簡單，也節約了成本。

為了進一步提高無機材料阻隔水氧的性能，使封裝的可靠性更高，完全可設置兩個以上的溝槽，然後在每個溝槽中填充無機材料，從而形成多個無機層。以圖4所示的實施例為例，可繼續在有機層上方製備另一有機層，然後再在該有機層中開設溝槽單元形成如圖5所示的溝槽結構。參見圖5，該柔性顯示器件包括疊層設置的兩個有機層，其中第一有機層21e覆蓋有機發光結構3，第二有機層22e覆蓋第一有機層21e。兩個有機層21e和22e中設置有結構相同的溝槽，都是連續的V形結構溝槽，其中第一溝槽11e的投影覆蓋第一有機層21e，第二溝槽12e的投影覆蓋第二有機層22e。這就使得兩個溝槽內部的無機層41e和42e具有相同的形狀，同時其投影可覆蓋各自所在的有機層。

當然在其他實施例中，也可將上、下層中的溝槽設置成不同的形狀，如在下層的有機層中開設多個開口向上的第一溝槽單元111，形成溝槽1a，在上層的有機層中開設第三溝槽單元13和第四溝槽單元14交替連接的溝槽1d，形成如圖6所示的結構。多個溝槽(即多層無機層)的設置使得器件對水氧阻隔的能力更強，進一步減小了封裝失效的可能性，延 長了器件的使用壽命。

在本發明一實施例中，柔性顯示器件進一步包括覆蓋有機層的加強層，該加強層由無機材料構成。如圖7所示，第二有機層22e的上方設有加強層5，能夠覆蓋下方的第一有機層21e和第二有機層22e。該加強層5可以由無機材料構成，具體地，其材料可為氧化鋁、氧化鋯、氧化矽、氧化鎵、氧化錫、氮化矽、氮化鋁、氮化鈦和氮化鉭中的一種或多種。該加強層5能夠進一步保證其下方的有機層和無機材料不被水氧侵襲，從而進一步增加器件封裝的可靠性。

下面將具體介紹當溝槽單元的橫斷面為長條形時，這些溝槽單元需要分佈於至少兩個有機層中的情形。

在一個實施例中，如圖8所示，第二溝槽單元12和第五溝槽單元15交替連接形成上方開口的矩形和下方開口的矩形相交替的溝槽1f，在溝槽1f內部填充有無機材料即可形成投影覆蓋第二有機層22f的無機層4f。其中，第五溝槽單元15形成於第二有機層22f中，第二溝槽單元12需要形成於第一有機層21f和第二有機層22f兩個有機層中。

在另一個實施例中，如圖9所示，第三溝槽單元13、第二溝槽單元12及第四溝槽單元14交替連接則形成上方開口的梯形和下方開口的梯形相交替的溝槽1g，在溝槽1g內部填充有無機材料即可形成投影覆蓋第二有機層22g的無機層4g。

對於無機層4g的形成過程，可先在有機發光結構3上製備第一有機層21g，在該第一有機層21g預設位置開設第二溝槽單元12，然後在第一有機層21g上繼續製備第二有機層22g，再在該第二有機層22g上預 設位置設置第三溝槽單元13、第二溝槽單元12和第四溝槽單元14，使其與第一有機層21g上部的第二溝槽單元12連接形成投影覆蓋第二有機層22g的溝槽1g，最後在溝槽1g中填充無機材料即可形成覆蓋第二有機層22g的無機層4g。

當然，也可將上述第三溝槽單元13、第二溝槽單元12及第四溝槽單元14設置於兩個以上的有機層中使其構成更多種結構的溝槽，只要使其連接後形成的溝槽投影能夠覆蓋最上層的有機層即可，本發明對溝槽單元的分佈形式不做限定。

在本發明一實施例中，溝槽單元設置於有機層的上部，這些溝槽單元連接形成橫斷面為脈衝波形的溝槽，其中該橫斷面為垂直於有機層所剖切的面。該脈衝波形如可為鋸齒波、矩形波或梯形波等。即這些溝槽單元形成於有機層的上表面，其連接形成高低起伏的曲面結構，也就形成了橫斷面為上下波動的脈衝波形或類似於脈衝波形的溝槽。

在一個實施例中，如圖10所示，有機層2h設置於有機發光結構3上，其上部開設有多個溝槽單元16，該多個溝槽單元16連接形成一個覆蓋有機層2h的鋸齒形溝槽1h。在該溝槽1g中填充無機材料即可形成覆蓋有機層2h的無機層4h。也就是說，本實施例通過將有機層和無機層的接觸面設計成交錯配合的曲面結構，使累積在無機層中的應力得以釋放，減小了其斷裂的風險。

在另一實施例中，為了進一步促進無機層中應力的釋放，也可進一步將無機層的上表面也設置成多個溝槽或多個凸起相連接的結構，並且可在其上進一步疊加設置有機層和無機層，這樣的設計能夠進一步保 證封裝的可靠性。

對於上述實施例中的溝槽單元，可通過鐳射法或刻蝕法製成。如對於第一溝槽單元111(或112)、第二溝槽單元12可採用鐳射法燒製形成；對於溝槽單元16，可採用刻蝕法製成。

對於無機層，其可通過化學氣相沉積法或原子層沉積法形成，其材料如可為氧化鋁、氧化鋯、氧化矽、氧化鎵、氧化錫、氮化矽、氮化鋁、氮化鈦和氮化鉭中的一種或多種。

對於有機層，其材料可為環氧樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸酯、聚對二甲苯、聚脲、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯和聚苯乙烯中的一種或多種。

本發明實施例還提供了一種柔性顯示器件的製備方法，如圖11所示，該方法包括：步驟101：在有機發光結構的上方製備有機層並使該有機層覆蓋有機發光結構；步驟102：在該有機層中製備溝槽，具體地，溝槽可由多個溝槽單元連接形成且在有機層上的投影覆蓋有機層；步驟103：在溝槽中填充無機材料。

在本發明實施例提供的製備方法中，通過在有機層中設置溝槽並在溝槽中填充無機材料，使得無機材料分佈於溝槽所形成的非平面空間內與有機層形成交疊結構，此設計在保證了水氧阻隔性能的同時，有利於器件在彎折時無機材料中應力的釋放，從而減小無機材料結構斷裂的風 險，提高了封裝的可靠性。

在本發明一實施例中，如圖12所示，該方法具體包括：步驟201：在有機發光結構的上方製備第一有機層並使第一有機層覆蓋該有機發光結構；步驟202：在該第一有機層預設位置開設多個溝槽單元；步驟203：在第一有機層的上表面製備第二有機層並使該第二有機層覆蓋第一有機層；步驟204：在該第二有機層預設位置上開設多個溝槽單元，並將這些第二溝槽單元與第一有機層中的溝槽單元連接形成溝槽，使溝槽在第二有機層上的投影覆蓋第二有機層；步驟205：在溝槽中填充無機材料。

其中，溝槽單元如可通過鐳射法進行定向燒製而成。無機材料如可為氧化鋁、氧化鋯、氧化矽、氧化鎵、氧化錫、氮化矽、氮化鋁、氮化鈦和氮化鉭中的一種或多種。

對於有機層，其材料可為環氧樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸酯、聚對二甲苯、聚脲、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯和聚苯乙烯中的一種或多種。

本實施例提供的製備方法適合溝槽需要形成於兩個有機層的情況，如前述實施例中第三溝槽單元13、第二溝槽單元12及第四溝槽單元14交替連接形成溝槽1g的結構。利用本實施例提供的方法將無機材料設計成彎折結構分佈於上、下兩層有機層中，促進了脆性無機材料中應力的釋放，保證了水氧阻隔性能的同時，減小了斷裂的可能性，延長了器件的 使用壽命。

在本發明另一實施例中，如圖13所示，該方法具體包括：步驟301：在有機發光結構的上方製備第一有機層並使第一有機層覆蓋有機發光結構；步驟302：在第一有機層預設位置開設多個溝槽單元，並將這些溝槽單元連接形成第一溝槽使其在第一有機層上的投影覆蓋該第一有機層；步驟303：在第一溝槽中填充無機材料；步驟304：在第一有機層的上表面製備第二有機層並使該第二有機層覆蓋第一有機層；步驟305：在第二有機層預設位置開設多個溝槽單元，並將這些溝槽單元連接形成第二溝槽使其在第二有機層上的投影覆蓋該第二有機層；步驟306：在第二溝槽中填充無機材料。

本實施例提供的製備方法適合溝槽可形成於一個有機層內部的情況，如前述實施例中第三溝槽單元13和第四溝槽單元14交替連接形成溝槽1d的結構。同時，利用本實施例提供的方法可形成分別分佈於上、下兩層有機層內部的兩個無機材料結構，進一步提高了水氧阻隔能力，增強了器件封裝的可靠性。

另一方面，柔性顯示器件在使用時需要撓曲一定曲率半徑，甚至正反面頻繁彎折。柔性顯示器件發生形變時產生的應力會施加於金屬佈線層中的金屬線，使金屬線面臨斷裂的危險。

為了提供柔性顯示器件的可靠性，延長其使用壽命，可以考慮對金屬線的設計加以改進，比如在金屬線上設置孔洞、使用較細或柔性 較好的導線材料、或者使用突起與彎折交替的結構來釋放應力，從而延長金屬線的使用壽命。上述方法雖然在一定程度上能夠釋放累積在金屬線上的應力，但是這些方法要麼對於光刻設備的要求比較高，加大了工藝和操作的難度，要麼所使用的材料或加工設備成本較高。另外，隨著彎折次數的增加，金屬線容易出現多處微連接，並且金屬線的電阻會發生巨大變化，導致柔性顯示器件無法正常顯示。

基於此，本發明實施例對柔性顯示器件中的至少一層金屬佈線層做了改進，圖14a和圖14b分別是本發明一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖和俯視圖。如圖14a和圖14b所示，該金屬佈線層包括：並行延伸且具有相同或相近延伸方向的第一金屬線31a和第二金屬線32a，其中，第一金屬線31a具有在第一方向上交替設置的凹部33a和凸部34a，第二金屬線32a具有在第一方向上交替設置的凹部35a和凸部36a，第一方向可以是第一金屬線和第二金屬線的延伸方向。例如，第一方向可以是沿柔性顯示器件的顯示面板的縱向延伸的方向。

需要說明的是，第一金屬線和第二金屬線可以並排佈置在同一層內(即同一層內的第一金屬線與第二金屬線不交織)，也可以在同一層內上下佈置，或者還可以將第一金屬線的兩端分別與第二金屬線的兩端連接，本發明對此不作限制。另外，本發明的金屬佈線層中至少需要佈置兩條金屬線，當然，金屬線的數量也可以是三條、四條、五條等，本發明對此不作限制。

在本發明實施例提供的柔性顯示器件中，其至少一層金屬佈線層通過並行延伸兩條具有交替設置的凹部和凸部的金屬線，提高了金屬 線的雙向耐彎折能力，使柔性顯示器件在正反面彎曲折疊時，減少了金屬線斷裂的危險。

在本發明一實施例中，第一金屬線31a的凹部33a和凸部34a可以在與第一方向垂直的第二方向上分別對應第二金屬線32a的凸部36a和凹部35a，也就是說，第一金屬線31a的凹部33a和凸部34a與第二金屬線32a的凸部36a和凹部35a錯位設置，即，第一金屬線31a的凹部33a對應於第二金屬線32a的凸部36a設置，第一金屬線31a的凸部34a對應於第二金屬線32a的凹部35a設置。這裡，第二方向可以是與第一金屬線和第二金屬線的延伸方向垂直的方向，例如，第二方向可以是柔性顯示器件的顯示面板的橫向延伸的方向，即與柔性顯示器件的顯示面板垂直的方向。在本實施例中，通過將第一金屬線的凹部和凸部分別與第二金屬線的凸部和凹部對應設置，可以更好地應對內彎折和外彎折的複雜折疊情況，因此，增強了金屬線的抗彎折能力。

在本發明一實施例中，第一金屬線31a的凹部33a和第二金屬線32a的凹部35a均具有平坦的底面，第一金屬線31a的凸部34a和第二金屬線32a的凸部36a均具有平坦的頂面。

此外，第一金屬線31a的凸部34a可在與第一方向垂直的第二方向上的剖面呈矩形或梯形或弧形。第二金屬線32a的凸部36a也可在與第一方向垂直的第二方向上的剖面呈矩形或梯形或弧形。需要說明的是，第一金屬線31a的凸部34a和/或第二金屬線32a的凸部36a在與第一方向垂直的第二方向上的剖面也可以呈其它形狀，例如不規則形狀，本發明對此不作限制。

進一步地，在一個實施例中，第一金屬線31a的凹部33a的底面的長度等於第一金屬線31a的凸部34a的頂面的長度，第二金屬線32a的凹部35a的底面的長度等於第二金屬線32a的凸部36a的頂面的長度，並且第一金屬線31a的凹部33a的底面的長度也等於第二金屬線32a的凸部36a的頂面的長度。也就是說，第一金屬線31a的凹部33a的底面的長度與第一金屬線31a的凸部34a的頂面的長度的比值為1：1，第二金屬線32a的凹部35a的底面的長度和第二金屬線32a的凸部36a的頂面的長度的比值為1：1，並且第一金屬線31a的凹部33a的底面的長度和第二金屬線32a的凸部36a的頂面的長度比值也為1：1。

此外，第一金屬線31a的凸部34a的寬度和第二金屬線32a的凸部36a的寬度可以根據需要設置。例如，第一金屬線31a的凸部34a的寬度可以等於第二金屬線32a的凸部36a的寬度，或者第一金屬線31a的凸部34a的寬度可以大於第二金屬線32a的凸部36a的寬度，或者第一金屬線31a的凸部34a的寬度還可以小於第二金屬線32a的凸部36a的寬度，本發明對此不作限制。

本實施例的第一金屬線31a可由鋁、鈦、鉬或者鋁合金、鈦合金、鉬合金中的一種材料製成，第二金屬線32a可由鋁、鈦、鉬或者鋁合金、鈦合金、鉬合金中的一種材料製成。進一步地，第一金屬線31a的密度和第二金屬線32a的密度可以相同，也可以不同，本發明對此不作限制。

在本發明實施例提供的柔性顯示器件中，其至少一層金屬佈線層通過並行延伸兩條具有交替設置的凹部和凸部的金屬線，並使兩條金屬線的凹部和凸部錯位設置，提高了金屬線的雙向耐彎折能力，使柔性顯 示器件在正反面彎曲折疊時，減少了金屬性發生斷裂的危險。

另外，由於在金屬線多次彎折的情況下，金屬線的阻值也不會發生太大變化，因此，提升了柔性顯示器件的顯示效果和性能。

圖15a和圖15b分別是本發明另一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖和俯視圖。如圖15a和圖15b所示，本實施例提供的金屬佈線層與圖14a和圖14b基本相同，不同的是，本實施例的第一金屬線31b的凹部33b的底面的長度大於第一金屬線31b的凸部34b的頂面的長度，第二金屬線32b的凹部35b的底面的長度大於第二金屬線32b的凸部36b的頂面的長度。

具體地，第一金屬線31b的凹部33b的底面的長度可與第一金屬線31b的凸部34b的頂面的長度的比值小於10：1，第二金屬線32b的凹部35b的底面的長度可與第二金屬線32b的凸部36b的頂面的長度的比值小於10：1。優選地，第一金屬線31b的凹部33b的底面的長度與第一金屬線31b的凸部34b的頂面的長度的比值為3：2，第二金屬線32b的凹部35b的底面的長度與第二金屬線32b的凸部36b的頂面的長度的比值為3：2。

在本發明實施例提供的柔性顯示器件中，增加了金屬線的凹部的底面的長度，延長了在空間縱向分佈的金屬線的長度，因此，增強了金屬線的雙向抗彎折能力。

在一個實施例中，第一金屬線31b的凹部33b與第二金屬線32b的凹部35b至少部分重疊設置，也就是說，第一金屬線31b的凹部33b的底面的一部分與第二金屬線32b的凹部35b的底面的一部分直接相連。在本實施例中，通過將第一金屬線的凹部的底面與第二金屬線的凹部的底面 部分重疊設置，能夠增加金屬線的凹部的底面的寬度，使柔性顯示器件在多次雙向彎折時，金屬線不易發生斷裂，因此，增強了金屬線的抗彎折能力。

圖16a和圖16b分別是本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖和俯視圖。如圖16a和圖16b所示，在與圖15a和圖15b所示實施例的金屬佈線層相同的基礎上，本實施例的第一金屬線31c的凹部33c的底面的長度比第二實施例的第一金屬線31c的凹部33c的底面的長度更長。

具體地，第一金屬線31c的凹部33c的底面的長度與第一金屬線31c的凸部34c的頂面的長度的比值為3：1，第二金屬線32c的凹部35c的底面的長度與第二金屬線32c的凸部36c的頂面的長度的比值為3：1。

圖17a和圖17b分別是本發明再一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖和俯視圖。如圖17a和圖17b所示，本實施例提供的金屬佈線層與圖14a和圖14b基本相同，不同的是，本實施例的第一金屬線31d的凸部34d的頂面的長度大於第一金屬線31d的凹部33d的底面的長度，第二金屬線32d的凸部36d的頂面的長度大於第二金屬線32d的凹部35d的底面的長度。

具體地，第一金屬線31d的凸部34d的頂面的長度可與第一金屬線31d的凹部33d的底面的長度的比值小於10：1，第二金屬線32d的凸部36d的頂面的長度可與第二金屬線32d的凹部35d的底面的長度的比值小於10：1。優選地，第一金屬線31d的凸部34d的頂面的長度與第一金屬線31d的凹部33d的底面的長度的比值為3：2，第二金屬線32d的凸部36d的頂 面的長度與第二金屬線32d的凹部35d的底面的長度的比值為3：2。

本發明實施例提供的柔性顯示器件增加了金屬線的凸部的頂面的長度，延長了在空間縱向分佈的金屬線的長度，因此，增強了金屬線的雙向抗彎折能力。

在本發明實施例中，第一金屬線和第二金屬線可以是如上述的具有相同結構的金屬線，也可以是如下文所述的具有不同結構的金屬線。

圖18a和圖18b分別是本發明一實施例提供的一種柔性顯示器件中的金屬佈線層的剖視圖和俯視圖。如圖18a和圖18b所示，與上述實施例不同的是，本實施例的第一金屬線31e的凹部33e可以與第二金屬線32e的一個凹部35e和兩個凸部36e對應設置。

具體地，第一金屬線31e的凹部33e的底面的長度可與第一金屬線31e的凸部34e的頂面的長度的比值小於5：1，第二金屬線32e的凹部35e的底面的長度可與第二金屬線32e的凸部36e的頂面的長度的比值小於3：2。優選地，第一金屬線31e的凹部33e的底面的長度與第二金屬線32e的凹部35e的底面的長度的比值為3：1，第一金屬線31e的凸部34e的頂面的長度與第二金屬線32e的凸部36e的頂面的長度的比值為1：1。

本發明實施例提供的柔性顯示器件分別增加了第一金屬線的凹部的底面的長度和第二金屬線的凸部的頂面的長度，延長了第一金屬線和第二金屬線在空間縱向分佈的長度，因此，增強了金屬線的雙向抗彎折能力。

圖19a和圖19b分別是本發明另一實施例提供的一種柔性顯 示器件中的金屬佈線層的剖視圖和俯視圖。如圖19a和圖19b所示，與圖18a和圖18b所示實施例不同的是，本實施例的第一金屬線31f的凸部34f可以與第二金屬線32f的兩個凹部35f和一個凸部36f對應設置。

具體地，第一金屬線31f的凸部34f的頂面的長度可與第一金屬線31f的凹部33f的底面的長度的比值小於5：1，第二金屬線32f的凸部36f的頂面的長度可與第二金屬線32f的凹部35f的底面的長度的比值小於3：2。優選地，第一金屬線31f的凸部34f的頂面的長度與第二金屬線32f的凸部36f的頂面的長度的比值為3：1，第一金屬線31f的凹部33f的底面的長度與第二金屬線32f的凹部35f的底面的長度的比值為1：1。

本發明實施例提供的柔性顯示器件分別增加了第一金屬線的凸部的頂面的長度和第二金屬線的凹部的底面的長度，延長了第一金屬線和第二金屬線在空間縱向分佈的長度，因此，增強了金屬線的雙向抗彎折能力。

在本發明實施例提供的柔性顯示器件中，通過在有機層中填充無機材料，使得無機材料分佈於非平面空間內與有機層形成交疊結構，此設計在保證了水氧阻隔性能的同時，降低了器件在彎折變形過程中無機材料所受最大應變，從而減小無機材料斷裂的風險，提高了封裝的可靠性。另一方面，有機發光結構中的至少一層金屬佈線層通過並行延伸兩條具有交替設置的凹部和凸部的金屬線，提高了金屬線的雙向耐彎折能力，使柔性顯示器件在正反面彎曲折疊時，減少了金屬線斷裂的危險。

以上僅為本發明的較佳實施例而已，並不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換等，均應包含 在本發明的保護範圍之內。

Claims (9)

1. 一種柔性顯示器件，其特徵在於，包括：有機發光結構；覆蓋該有機發光結構的有機層，該有機層中填充有無機材料；其中，該有機層設置有溝槽，該無機材料填充於該溝槽中。
2. 如請求項1所述的柔性顯示器件，其中，該有機層為一層或多層，該無機材料設置於該一層或多層有機層中的至少一層中。
3. 如請求項2所述的柔性顯示器件，其中，該有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，該無機材料設置於該第一有機層和該第二有機層中的一層或兩層中。
4. 如請求項1所述的柔性顯示器件，其中，該溝槽由多個溝槽單元連接形成且在該有機層上的投影覆蓋該有機層。
5. 如請求項4所述的柔性顯示器件，其中，該有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，該溝槽包括第一溝槽和第二溝槽，該第一溝槽的溝槽單元分佈於該第一有機層中，該第二溝槽的溝槽單元分佈於該第二有機層中。
6. 如請求項4所述的柔性顯示器件，其中，該有機層包括層疊設置的第一有機層和第二有機層，該溝槽的該多個溝槽單元分佈於該第一有機層和該第二有機層中。
7. 如請求項1至6中任一項所述的柔性顯示器件，其中，還包括覆蓋該有機層的加強層，該加強層的材料為無機材料。
8. 如請求項1所述的柔性顯示器件，其中，該有機發光結構包括至少一層金屬佈線層，該金屬佈線層包括並行延伸的至少兩條金屬線，該至少兩條金屬線具有在第一方向上交替設置的凹部和凸部。
9. 一種柔性顯示器的製備方法，包括：在有機發光結構的上方製備有機層並使該有機層覆蓋有機發光結構；在該有機層中製備溝槽；在該溝槽中填充無機材料。