CN110444578B - 柔性显示面板及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种柔性显示面板及其制造方法,属于显示技术领域。柔性显示面板包括衬底基板;衬底基板上具有无机层结构,无机层结构包括多个无机层,衬底基板具有弯折区域,无机层结构在弯折区域中具有凹槽;设置有无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,弯折承载结构位于凹槽中,且弯折承载结构远离衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,设置有弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线。至少一条走线在衬底基板上的正投影呈弯折状,走线与凸起结构和凹槽结构贴合形成了弯折性能较高的弯折结构,解决了现有技术中走线的弯折性能较低,容易在显示面板弯折的过程中断裂的问题,达到了提高弯折区性能的效果。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种柔性显示面板及其制造方法。
背景技术
柔性显示面板是一种柔性且具有显示功能的器件。通过其具有的柔性,能够满足各种不同场景的应用要求。
相关技术中有一种显示面板,具有衬底基板以及在衬底基板上形成的多层无机层,该多层无机层上设置有走线。显示面板具有弯折区,走线位于该弯折区的部分在无机层表面上具有一定的弯折,以避免走线在显示面板弯折的过程中断裂。
上述显示面板中走线的弯折性能较低,仍容易在显示面板弯折的过程中断裂。
发明内容
为了解决相关技术中的走线在显示面板弯折的过程中断裂的问题,本发明实施例提供了一种柔性显示面板及其制造方法。所述技术方案如下:
根据本发明的第一方面,提供一种柔性显示面板,所述柔性显示面板包括衬底基板;
所述衬底基板上具有无机层结构,所述无机层结构包括多个无机层,所述衬底基板具有弯折区域,所述无机层结构在所述弯折区域中具有凹槽;
设置有所述无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,所述弯折承载结构位于所述凹槽中,且所述弯折承载结构远离所述衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个所述凹槽结构的底部位于所述无机层结构的顶面靠近所述衬底基板的一侧,每个所述凸起结构的顶部位于所述无机层结构的顶面远离所述衬底基板的一侧,所述无机层结构的顶面为所述无机层结构远离所述衬底基板的一面所在的平面;
设置有所述弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线,所述至少一条走线经过所述弯折区域且与所述弯折承载结构远离所述衬底基板的一侧贴合,所述至少一条走线在所述衬底基板上的正投影呈弯折状。
可选的,所述至少一条走线中的任一走线在所述衬底基板上的正投影呈波浪线状,呈波浪线状的所述任一走线在所述衬底基板的正投影由多个首尾连接的弯折线构成,所述多个弯折线一一对应的位于所述凸起结构和所述凹槽结构在所述衬底基板上的正投影中。
可选的,所述弯折线为曲线,或者,所述弯折线为折线。
可选的,所述多个凸起结构中,任一凸起结构的顶部与所述顶面的垂直距离正相关于指定距离,所述指定距离为所述任一凸起结构在平行于 所述顶面的方向上与所述无机层结构的距离;
所述多个凹槽结构中,任一凹槽结构的底部与所述顶面的垂直距离正相关于所述指定距离。
可选的,所述凹槽结构顶部在平行于 所述顶面的方向上的宽度正相关于所述指定距离;
所述凸起结构的底部在平行于 所述顶面的方向上的宽度正相关于所述指定距离。
可选的,每个所述凸起结构的顶部与所述顶面的垂直距离和每个所述凹槽结构的底部与所述顶面的垂直距离相等。
可选的,每个所述凸起结构的底部位于所述无机层结构的顶面上,每个所述凹槽结构的顶部位于所述无机层结构的顶面上。
可选的,所述弯折区域为长方形;
所述多个凸起结构中,任一凸起结构被任意一个指定面所截的截面全等,所述指定面为垂直于所述长方形一条长边的面;
所述多个凹槽结构中,任一凹槽结构被任意一个所述指定面所截的截面全等。
可选的,所述弯折承载结构的材料包括绝缘有机材料。
根据本发明的第二方面,提供一种柔性显示面板的制造方法,所述方法包括:
在衬底基板上形成无机层结构,所述无机层结构包括多个无机层
在所述衬底基板的弯折区域形成凹槽;
在所述凹槽中形成弯折承载结构,所述弯折承载结构远离所述衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个所述凹槽结构的底部位于所述无机层结构的顶面靠近所述衬底基板的一侧,每个所述凸起结构的顶部位于所述无机层结构的顶面远离所述衬底基板的一侧,所述无机层结构的顶面为所述无机层结构远离所述衬底基板的一面所在的平面;
在形成有所述弯折承载结构的衬底基板上形成至少一条走线,所述至少一条走线经过所述弯折区域且与所述多个凸起结构贴合,所述至少一条走线在所述衬底基板上的正投影呈弯折状。
本发明实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果:
提供了一种包括衬底基板的柔性显示面板,该衬底基板上具有无机层结构,无机层结构包括多个无机层,衬底基板具有弯折区域,无机层结构在弯折区域中具有凹槽;设置有无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,弯折承载结构位于凹槽中,且弯折承载结构远离衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个凹槽结构的底部位于无机层结构的顶面靠近衬底基板的一侧,每个凸起结构的顶部位于无机层结构的顶面远离衬底基板的一侧,无机层结构的顶面为无机层结构远离衬底基板的一面所在的平面;设置有弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线,至少一条走线经过弯折区域且与弯折承载结构远离衬底基板的一侧贴合,至少一条走线在衬底基板上的正投影呈弯折状。通过在无机层结构的凹槽中设置弯折承载结构,并在弯折承载结构的一侧设置多个交替的凸起结构和凹槽结构,走线与该多个交替的凸起结构和凹槽结构贴合形成了弯折性能较高的弯折结构,解决了现有技术中走线的弯折性能较低,容易在显示面板弯折的过程中断裂的问题,达到了提高弯折区性能的效果。
应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本发明。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。
图1是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图;
图2是图1所示的一种柔性显示面板的俯视图;
图3为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图;
图4为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图;
图5为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图;
图6为本发明实施提供的柔性显示面板中另一种凸起结构和凹槽结构的结构示意图;
图7为本发明实施提供的柔性显示面板中弯折区域的俯视图;
图8为本发明实施提供的柔性显示面板中截面的结构示意图;
图9为图4所示的柔性显示面板中走线在衬底基板上的正投影的结构示意图;
图10为图6所示的柔性显示面板中走线在衬底基板上的正投影的结构示意图;
图11为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程图;
图12为步骤1101结束时衬底基板的结构示意图;
图13为其为步骤1103结束时凹槽的结构示意图;
图14为在凹槽中形成弯折承载结构的流程图;
图15为步骤11031结束时衬底结构的结构示意图;
图16为步骤11032结束时凸起结构和凹槽结构的结构示意图;
图17为在凹槽中形成弯折承载结构的另一种流程图;
图18为另一种衬底结构的结构示意图;
图19为步骤11034结束时第二层绝缘有机层的结构示意图;
图20为步骤11035结束时在上表面形成多个凸起的结构示意图;
图21为步骤11036结束时在上表面形成多个凹槽结构的结构示意图;
图22为步骤1104结束时走线的结构示意图。
通过上述附图,已示出本发明明确的实施例,后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本发明构思的范围,而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明,其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时,除非另有表示,不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反,它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。
目前,在显示技术领域,可以通过在柔性显示面板上设置弯折区,以达到柔性显示面板形成窄边框或无边框的技术。现有技术中的一种显示面板,是在显示面板的无机层区域上铺设金属走线,该金属走线可以直接平铺在无机层区域上,也可以在无机层区域上以小的弯折形式铺设。
但是,由于金属走线弯折的半径较小,弯折区在受力的过程中金属走线频繁拉伸易造成断裂,且无机层区域脆性较大,无机层区域受力也易断裂,从而造成显示面板的显示不良。
图1是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图。该柔性显示面板可以包括:
柔性显示面板包括衬底基板11。
衬底基板上具有无机层结构12,无机层结构12包括多个无机层,衬底基板 11具有弯折区域,无机层结构12在弯折区域中具有凹槽。
设置有无机层结构12的衬底基板11上设置有弯折承载结构14,弯折承载结构14位于凹槽中,且弯折承载结构14远离衬底基板11的一侧具有多个交替设置的凸起结构141和凹槽结构142,每个凹槽结构142的底部位于无机层结构 12的顶面靠近衬底基板11的一侧,每个凸起结构141的顶部位于无机层结构 12的顶面远离衬底基板11的一侧,无机层结构12的顶面为无机层结构12远离衬底基板11的一面所在的平面。
设置有弯折承载结构14的衬底基板11上具有至少一条走线15,至少一条走线15经过弯折区域且与弯折承载结构15远离衬底基板11的一侧贴合,至少一条走线15在衬底基板11上的正投影呈弯折状。图2是图1所示的一种柔性显示面板的俯视图,走线15在衬底基板11上的正投影也呈弯折状。
综上所述,本发明实施例提供了一种包括衬底基板的柔性显示面板,该衬底基板上具有无机层结构,无机层结构包括多个无机层,衬底基板具有弯折区域,无机层结构在弯折区域中具有凹槽;设置有无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,弯折承载结构位于凹槽中,且弯折承载结构远离衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个凹槽结构的底部位于无机层结构的顶面靠近衬底基板的一侧,每个凸起结构的顶部位于无机层结构的顶面远离衬底基板的一侧,无机层结构的顶面为无机层结构远离衬底基板的一面所在的平面;设置有弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线,至少一条走线经过弯折区域且与弯折承载结构远离衬底基板的一侧贴合,至少一条走线在衬底基板上的正投影呈弯折状。通过在无机层结构的凹槽中设置弯折承载结构,并在弯折承载结构的一侧设置多个交替的凸起结构和凹槽结构,走线与该多个交替的凸起结构和凹槽结构贴合形成了弯折性能较高的弯折结构,解决了现有技术中走线的弯折性能较低,容易在显示面板弯折的过程中断裂的问题,达到了提高弯折区性能的效果。
请参考图3,其示出了本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图。
可选的,弯折承载结构14的材料包括绝缘有机材料。现有技术中,无机层结构脆性大,在受力时易产生断裂,从而导致产品损坏,因此在本发明实施例中,使用绝缘有机材料填充凹槽以形成弯折承载结构14。绝缘有机材料韧性好,在受力时不易断裂。其中弯折承载结构14的材料可以是光刻胶,也可以是聚酰亚胺等其他材料,本发明实施例对此并不做限定。
当弯折承载结构14的材质为光刻胶时,采用不同透光率的掩模版对弯折承载结构14进行不同程度的曝光,显影形成间距相等的凸起结构141和凹槽结构 142,当弯折承载结构14的材质为其他有机绝缘材质时,在弯折承载结构14上涂覆一层光刻胶,通过曝光和显影工艺,使光刻胶形成具有特定图案的掩模板,采用刻蚀方式在弯折承载结构14上形成间距相等的凸起结构141和凹槽结构 142。
可选的,每个凸起结构141的底部a位于无机层结构12的顶面16上,每个凹槽结构142的顶部b位于无机层结构12的顶面16上。顶面16为凹槽两端的无机层结构12与走线接触的水平面。
可选的,每个凸起结构141的顶部c与顶面16的垂直距离1411和每个凹槽结构142的底部d与顶面16的垂直距离1421相等。垂直距离1411和1421相等时,凸起结构141和凹槽结构142上的走线15的弧度基本相等。同样的,每个凸起结构141和凹槽结构142平行与顶面16的方向e上的宽度也相等。在弯折区受力时,弧度相等的走线可以平均承受外部的力,不易断裂。
在垂直距离和宽度方向e上的距离均相等的每个凸起结构141和凹槽结构 142设置有至少一条走线15,至少一条走线15的两端延伸至无机层结构12远离衬底基板的一端上。走线15与每个凸起结构141和凹槽结构142均紧密贴合,形成类似弹簧结构,增加了走线15的抗拉伸和抗弯折性能。在受力过程中,每个凸起结构141和凹槽结构142可以给走线15反向支撑力,降低了弯折区处的走线15的受力,从而降低了走线15的断裂风险。其中,走线15可以为金属走线,也可以为其他材质的走线,本发明实施例对此并不做限定。走线的厚度可以大于多个凸起结构141和凹槽结构142的垂直距离,当多个凸起结构141和凹槽结构142的垂直距离越深时,走线的总长度越长,可以经受更大的拉伸力。走线的厚度也可以小于多个凸起结构141和凹槽结构142的垂直距离,本发明实施例在此不作限定。
每个凸起结构141和凹槽结构142的形状可以是方形的,也可以是圆弧形,还可以是方形与圆弧形的结合,本发明实施例在此不作限定。图3为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图。如图4所示,每个凸起结构141 和凹槽结构142的形状为圆弧形,圆弧形的凸起结构141的顶部与顶面16的垂直距离和每个凹槽结构142的底部与顶面16的垂直距离相等,每个凸起结构141 和凹槽结构142平行于顶面的方向上的宽度也相等。
图5为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图。每个凸起结构141的形状为圆弧形,每个凹槽结构142的形状为方形,每个凸起结构141 的顶部与顶面16的垂直距离和每个凹槽结构142的底部与顶面16的垂直距离相等,每个凸起结构141和凹槽结构142平行与顶面的方向上的宽度也相等。上述多种结构的柔性显示面板均为本申请实施例的多种表现形式,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的计数范围内,可轻易想到变化的结构,都应涵盖在本发明的保护范围之内,因此不再赘述。
如图6所示,其为本发明实施提供的柔性显示面板中另一种凸起结构和凹槽结构的结构示意图。可选的,多个凸起结构141中,任一凸起结构的顶部与顶面的垂直距离正相关于指定距离,指定距离为任一凸起结构在平行于 顶面的方向上与无机层结构的距离。多个凹槽结构142中,任一凹槽结构的底部与顶面的垂直距离正相关于指定距离。可选的,凹槽结构顶部在平行于 顶面的方向上的宽度正相关于指定距离;凸起结构的底部在平行于顶面的方向上的宽度正相关于指定距离。即凸起结构的顶部与顶面的垂直距离与越大,其与在平行于 顶面的方向上与无机层结构的距离越大。同样的,凹槽结构的底部与顶面的垂直距离越小,其与在平行于 顶面的方向上与无机层结构的距离越小。也即是越靠近无机结构层12的凸起结构和凹槽结构的幅度越小。此时与无机结构层12 两端靠近的走线和铺设在无机结构层12上的走线的在受力的过程中的应力和应变较小,不易断裂。
可选的,弯折区域为长方形;多个凸起结构中,任一凸起结构被任意一个指定面所截的截面全等,指定面为垂直于长方形一条长边的面;多个凹槽结构中,任一凹槽结构被任意一个指定面所截的截面全等。图7为本发明实施提供的柔性显示面板中弯折区域的俯视图。柔性显示面板的弯折区域17的长度稍短于衬底基板的长方形区域(宽度可以约为1毫米)。图8为本发明实施提供的柔性显示面板中截面的结构示意图,多个凸起结构141与多个凹槽结构142组成了一个波浪形尺带。该波浪形尺带上铺设走线后,走线的最大应力比现有技术中走线的最大应力小约100MPa。
可选的,至少一条走线在衬底基板上的正投影呈弯折状。至少一条走线为螺旋结构的走线。其在衬底基板上的正投影的形状与多个凸起结构和凹槽结构的形状相同。图2为图1所示的柔性显示面板中走线在衬底基板上的正投影的结构示意图。当多个凸起结构和凹槽结构的形状为如图1所示的方形时,走线在衬底基板上的正投影也成方形。图9为图4所示的柔性显示面板中走线在衬底基板上的正投影的结构示意图。当多个凸起结构和凹槽结构的形状为如图4 所示的圆弧形时,走线在衬底基板上的正投影也成圆弧形。图10为图6所示的柔性显示面板中走线在衬底基板上的正投影的结构示意图。当多个凸起结构和凹槽结构的形状为如图6所示的由中心向两端的幅度越小时,走线在衬底基板上的正投影也由中心向两端的幅度逐渐减小。走线可以由构图工艺形成。综上所述,本发明实施例提供了一种包括衬底基板的柔性显示面板,该衬底基板上具有无机层结构,无机层结构包括多个无机层,衬底基板具有弯折区域,无机层结构在弯折区域中具有凹槽;设置有无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,弯折承载结构位于凹槽中,且弯折承载结构远离衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个凹槽结构的底部位于无机层结构的顶面靠近衬底基板的一侧,每个凸起结构的顶部位于无机层结构的顶面远离衬底基板的一侧,无机层结构的顶面为无机层结构远离衬底基板的一面所在的平面;设置有弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线,至少一条走线经过弯折区域且与弯折承载结构远离衬底基板的一侧贴合,至少一条走线在衬底基板上的正投影呈弯折状。通过在无机层结构的凹槽中设置弯折承载结构,并在弯折承载结构的一侧设置多个交替的凸起结构和凹槽结构,走线与该多个交替的凸起结构和凹槽结构贴合形成了弯折性能较高的弯折结构,解决了现有技术中走线的弯折性能较低,容易在显示面板弯折的过程中断裂的问题,达到了提高弯折区性能的效果。
请参考图11,其示出了本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程图,该柔性显示面板的制造方法的步骤如下:
步骤1101、在衬底基板上形成无机层结构。
无机层结构包括多个无机层,如图12所示,其为步骤1101结束时,衬底基板的结构示意图。其中,衬底基板11上形成有无机层结构12,无机层结构 12包括缓冲层121,第一栅极绝缘层122,第二栅极绝缘层123和层间介电层 124,其中无机层结构12也可以包括其他多个无机层,本发明实施例在此不作限定。
步骤1102、在衬底基板的弯折区域形成凹槽。
弯折区域为铺设走线的区域,如图13所示,其为步骤1102结束时,凹槽的结构示意图。其中,在无机层结构12在弯折区域中挖出凹槽13,凹槽13的底部与衬底基板11连接,凹槽13的侧面与无机层结构12接触,凹槽13的侧面可以垂直于凹槽13的底部,也可以在一定程度上倾斜,本发明实施例在此不作限定。本发明实施例中,构图工艺可以包括涂覆光刻胶,曝光、显影,刻蚀和剥离光刻胶等工艺。凹槽13可以通过构图工艺实现。
步骤1103、在凹槽中形成弯折承载结构。
本步骤在凹槽中形成弯折承载结构的方式可以包括下面两种:
第一种方式:如图14所示,该方式包括下面几个步骤:
步骤11031、在凹槽中形成衬底结构,衬底结构远离衬底基板的一侧高于无机结构层。
弯折承载结构可以是绝缘有机材料,在凹槽中填充绝缘有机材料形成弯折承载结构,如图15所示,其为步骤11031结束时,衬底结构的结构示意图。其中,衬底结构位于凹槽13中,即衬底结构143填充整个凹槽13中,可选的,衬底结构143可以高于凹槽13,也即是衬底结构143远离衬底基板11的一侧高于无机层结构12远离衬底基板11的一侧。
步骤11032、在衬底结构远离衬底基板的一侧设置多个交替的凸起结构和凹槽结构。
当衬底结构的材质为光刻胶时,采用不同透光率的掩模版对衬底结构进行不同程度的曝光,显影形成间距相等的凸起结构和凹槽结构,当衬底结构的材质为其他有机绝缘材质时,在衬底结构上涂覆一层光刻胶,通过曝光和显影工艺,使光刻胶形成具有特定图案的掩模板,采用刻蚀方式在衬底结构上形成间距相等的凸起结构和凹槽结构。如图16所示,其为步骤11032结束时,凸起结构和凹槽结构的结构示意图。每个凹槽结构142的底部d位于无机层结构12的顶面16靠近衬底基板11的一侧,每个凸起结构141的顶部c位于无机层结构12的顶面16远离衬底基11板的一侧,无机层结构12的顶面16为无机层结构 12远离衬底基板11的一面所在的平面。
第二种方式:如图17所示,该方式包括下面几个步骤:
步骤11033、在凹槽中形成衬底结构,衬底结构远离衬底基板的一侧具有上表面,上表面与顶面共面。
在凹槽中填充衬底结构,衬底结构的材料为绝缘有机材料。图18为另一种衬底结构的结构示意图,衬底结构143远离衬底基板11的一侧的上表面与凹槽的顶面共面,即无机结构层12远离衬底基板11的一面与衬底结构143远离衬底基板11的一侧的上表面平齐。
步骤11034、在衬底结构上形成第二层绝缘有机层。
在衬底结构上形成第二层绝缘有机层,第二层绝缘有机层的材料可以是光刻胶。如图19所示,其为步骤11034结束时,第二层绝缘有机层的结构示意图,第二层绝缘有机层144具有一定厚度,覆盖在无机结构层和衬底结构上方,其中第二层绝缘有机层144也可以仅覆盖在衬底结构上方,这是不同工艺的选择,本发明实施例在此不作限定。
步骤11035、将第二层绝缘有机层处理为多个凸起结构。
在形成第二层绝缘有机层后,可以将第二层绝缘有机层处理为多个凸起结构。其中,当第二层绝缘有机层为光刻胶时,可以通过曝光、显影等工艺将第二层绝缘有机层处理为多个凸起结构。当第二层绝缘有机层为其他材料时,可以通过构图工艺形成多个凸起结构。如图20所示,其为步骤11035结束时,在上表面形成多个凸起结构的结构示意图,其中凸起结构141可以是形状大小均相同的凸起结构,也可以是形状相同但大小不同的凸起结构,即越靠近无机结构层两端的凸起结构越小。凸起结构141的底面与衬底结构143的上表面接触。
步骤11036、在多个凸起结构之间形成多个凹槽结构。
在已形成的多个凸起结构之间,形成多个凹槽结构。其中多个凹槽结构的形状可以与多个凸起结构一样,如图21所示,其为步骤11036结束时,在上表面形成多个凹槽结构的结构示意图,将已形成的多个凸起结构作为掩膜板,刻蚀出多个间隔的凹槽结构142,其中如图4所示,多个间隔的凹槽结构也可以与多个凸起结构的形状不同。
可选的,步骤11031-11032为形成弯折承载结构的第一种方式,步骤 11033-11036为形成弯折承载结构的第二种方式。
步骤1104、在形成有弯折承载结构的衬底基板上形成至少一条走线。
如图22所示,其为步骤1104结束时,走线的结构示意图。走线15经过弯折区域且与多个凸起结构141和凹槽结构142贴合,走线15延伸至凹槽两端的无机结构层12的表面。
综上所述,本发明实施例提供了一种柔性显示面板的制造方法,该衬底基板上具有无机层结构,无机层结构包括多个无机层,衬底基板具有弯折区域,无机层结构在弯折区域中具有凹槽;设置有无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,弯折承载结构位于凹槽中,且弯折承载结构远离衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个凹槽结构的底部位于无机层结构的顶面靠近衬底基板的一侧,每个凸起结构的顶部位于无机层结构的顶面远离衬底基板的一侧,无机层结构的顶面为无机层结构远离衬底基板的一面所在的平面;设置有弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线,至少一条走线经过弯折区域且与弯折承载结构远离衬底基板的一侧贴合,至少一条走线在衬底基板上的正投影呈弯折状。通过在无机层结构的凹槽中设置弯折承载结构,并在弯折承载结构的一侧设置多个交替的凸起结构和凹槽结构,走线与该多个交替的凸起结构和凹槽结构贴合形成了弯折性能较高的弯折结构,解决了现有技术中走线的弯折性能较低,容易在显示面板弯折的过程中断裂的问题,达到了提高弯折区性能的效果。
在本申请的附图中,为了图示的清晰可能夸大了层和区的尺寸。而且可以理解,当元件或层被称为在另一元件或层“上”时,它可以直接在其他元件上,或者可以存在中间的层。另外,可以理解,当元件或层被称为在另一元件或层“下”时,它可以直接在其他元件下,或者可以存在一个以上的中间的层或元件。另外,还可以理解,当层或元件被称为在两层或两个元件“之间”时,它可以为两层或两个元件之间惟一的层,或还可以存在一个以上的中间层或元件。通篇相似的参考标记指示相似的元件。
以上所述仅为本发明可选的实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板包括衬底基板;
所述衬底基板上具有无机层结构,所述无机层结构包括多个无机层,所述衬底基板具有弯折区域,所述无机层结构在所述弯折区域中具有凹槽;
设置有所述无机层结构的衬底基板上设置有弯折承载结构,所述弯折承载结构位于所述凹槽中,且所述弯折承载结构远离所述衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个所述凹槽结构的底部位于所述无机层结构的顶面靠近所述衬底基板的一侧,每个所述凸起结构的顶部位于所述无机层结构的顶面远离所述衬底基板的一侧,所述无机层结构的顶面为所述无机层结构远离所述衬底基板的一面所在的平面;
设置有所述弯折承载结构的衬底基板上具有至少一条走线,所述至少一条走线经过所述弯折区域且与所述弯折承载结构远离所述衬底基板的一侧贴合,所述至少一条走线在所述衬底基板上的正投影呈弯折状;
所述多个凸起结构中,任一凸起结构的顶部与所述顶面的垂直距离正相关于指定距离,所述指定距离为所述任一凸起结构在平行于所述顶面的方向上与所述无机层结构的距离;
所述多个凹槽结构中,任一凹槽结构的底部与所述顶面的垂直距离正相关于所述指定距离。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述至少一条走线中的任一走线在所述衬底基板上的正投影呈波浪线状,呈波浪线状的所述任一走线在所述衬底基板的正投影由多个首尾连接的弯折线构成,所述多个弯折线一一对应的位于所述凸起结构和所述凹槽结构在所述衬底基板上的正投影中。
3.根据权利要求2所述的柔性显示面板,其特征在于,所述弯折线为曲线,或者,所述弯折线为折线。
4.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述凹槽结构顶部在平行于所述顶面的方向上的宽度正相关于所述指定距离;
所述凸起结构的底部在平行于所述顶面的方向上的宽度正相关于所述指定距离。
5.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,每个所述凸起结构的顶部与所述顶面的垂直距离和每个所述凹槽结构的底部与所述顶面的垂直距离相等。
6.根据权利要求1-5任一所述的柔性显示面板,其特征在于,每个所述凸起结构的底部位于所述无机层结构的顶面上,每个所述凹槽结构的顶部位于所述无机层结构的顶面上。
7.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述弯折区域为长方形;
所述多个凸起结构中,任一凸起结构被任意一个指定面所截的截面全等,所述指定面为垂直于所述长方形一条长边的面;
所述多个凹槽结构中,任一凹槽结构被任意一个所述指定面所截的截面全等。
8.根据权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述弯折承载结构的材料包括绝缘有机材料。
9.一种柔性显示面板的制造方法,其特征在于,所述方法包括:
在衬底基板上形成无机层结构,所述无机层结构包括多个无机层;
在所述衬底基板的弯折区域形成凹槽;
在所述凹槽中形成弯折承载结构,所述弯折承载结构远离所述衬底基板的一侧具有多个交替设置的凸起结构和凹槽结构,每个所述凹槽结构的底部位于所述无机层结构的顶面靠近所述衬底基板的一侧,每个所述凸起结构的顶部位于所述无机层结构的顶面远离所述衬底基板的一侧,所述无机层结构的顶面为所述无机层结构远离所述衬底基板的一面所在的平面;
在形成有所述弯折承载结构的衬底基板上形成至少一条走线,所述至少一条走线经过所述弯折区域且与所述多个凸起结构贴合,所述至少一条走线在所述衬底基板上的正投影呈弯折状,所述多个凸起结构中,任一凸起结构的顶部与所述顶面的垂直距离正相关于指定距离,所述指定距离为所述任一凸起结构在平行于所述顶面的方向上与所述无机层结构的距离;所述多个凹槽结构中,任一凹槽结构的底部与所述顶面的垂直距离正相关于所述指定距离。
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CN114267250B (zh) * | 2021-12-14 | 2023-11-17 | 合肥维信诺科技有限公司 | 柔性显示面板及其制造方法、显示装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107068862A (zh) * | 2017-03-06 | 2017-08-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置、载体基板 |
WO2019041966A1 (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-07 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种柔性显示器件 |
CN109461764A (zh) * | 2018-11-01 | 2019-03-12 | 昆山国显光电有限公司 | 一种柔性显示面板及显示装置 |
WO2019064534A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | シャープ株式会社 | 可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法 |
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Family Cites Families (2)
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107068862A (zh) * | 2017-03-06 | 2017-08-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置、载体基板 |
WO2019041966A1 (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-07 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种柔性显示器件 |
WO2019064534A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | シャープ株式会社 | 可撓性表示装置及び可撓性表示装置の製造方法 |
CN109461764A (zh) * | 2018-11-01 | 2019-03-12 | 昆山国显光电有限公司 | 一种柔性显示面板及显示装置 |
CN110071124A (zh) * | 2019-04-22 | 2019-07-30 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及其制作方法 |
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