TWI669745B - Recipe ID management server, recipe ID management system, and terminal device - Google Patents

Recipe ID management server, recipe ID management system, and terminal device Download PDF

Info

Publication number
TWI669745B
TWI669745B TW104137399A TW104137399A TWI669745B TW I669745 B TWI669745 B TW I669745B TW 104137399 A TW104137399 A TW 104137399A TW 104137399 A TW104137399 A TW 104137399A TW I669745 B TWI669745 B TW I669745B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
recipe
partial
unit
terminal device
user
Prior art date
Application number
TW104137399A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201630039A (zh
Inventor
坂本見恒
Original Assignee
日商東京威力科創股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商東京威力科創股份有限公司 filed Critical 日商東京威力科創股份有限公司
Publication of TW201630039A publication Critical patent/TW201630039A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI669745B publication Critical patent/TWI669745B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
    • G06F16/10—File systems; File servers
    • G06F16/17—Details of further file system functions
    • G06F16/176—Support for shared access to files; File sharing support
    • G06F16/1767—Concurrency control, e.g. optimistic or pessimistic approaches
    • G06F16/1774—Locking methods, e.g. locking methods for file systems allowing shared and concurrent access to files
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
    • G06F16/10—File systems; File servers
    • G06F16/18—File system types
    • G06F16/182—Distributed file systems
    • G06F16/1824—Distributed file systems implemented using Network-attached Storage [NAS] architecture
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04—Manufacturing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L63/00—Network architectures or network communication protocols for network security
    • H04L63/10—Network architectures or network communication protocols for network security for controlling access to devices or network resources
    • H04L63/101—Access control lists [ACL]
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L63/00—Network architectures or network communication protocols for network security
    • H04L63/08—Network architectures or network communication protocols for network security for authentication of entities
    • H04L63/083—Network architectures or network communication protocols for network security for authentication of entities using passwords
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Human Resources & Organizations (AREA)
  • Strategic Management (AREA)
  • Economics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Entrepreneurship & Innovation (AREA)
  • Databases & Information Systems (AREA)
  • Tourism & Hospitality (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • General Business, Economics & Management (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Security & Cryptography (AREA)
  • Computing Systems (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Educational Administration (AREA)
  • Development Economics (AREA)
  • Game Theory and Decision Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Primary Health Care (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

本發明之配方ID管理伺服器(20)具備：部分ID保持部(202)、配方ID保持部(203)、部分ID發送部(205)、重複判定部(206)、及可否使用通知部(207)。於部分ID發送部(205)自終端裝置接收到部分ID請求之情形時，自部分ID保持部(202)讀出作為配方ID之一部分之部分ID且發送至終端裝置。重複判定部(206)判定與由終端裝置製作之配方ID相同之配方ID是否已保持於配方ID保持部(203)。於與由終端裝置製作之配方ID相同之配方ID未保持於配方ID保持部(203)之情形時，可否使用通知部(207)將允許使用配方ID通知給終端裝置，並且使由終端裝置製作之配方ID保持於配方ID保持部(203)。

Description

配方ID管理伺服器、配方ID管理系統、及終端裝置
本發明之各種態樣及實施形態係關於一種配方ID管理伺服器、配方ID管理系統、及終端裝置。
積體電路係將基板經過各種處理步驟而製造。各個處理步驟係使用各種處理裝置並於各種處理條件下執行。處理條件被稱為配方。配方例如係將對處理裝置所應用之設定或動作指示彙總並程式化後所得之資料集。配方可藉由配備於處理裝置之配方編輯功能而製作或編輯。又，亦可藉由與處理裝置不同之另外之終端裝置內之配方編輯功能而製作或編輯配方。於與處理裝置不同之另外之終端裝置中製作或編輯之配方係藉由經網路下載至處理裝置而由處理裝置執行。各個配方係藉由配方ID而識別。
積體電路等產品經多數之處理步驟而製造，存在處理步驟之數量之配方。又，若產品之種類不同，則即便為同一步驟，配方內容不同之情形亦較多。又，即便為同一產品，亦存在因改良或規格變更等而使配方變更之情形。因此，因產品、步驟、及版本等之組合而存在多數之配方，必須於各個處理步驟中使用正確之配方。已知以下技術：例如於批次ID與其步驟內容作為生產資訊正確之情形時，藉由指示與批次ID對應之配方ID而將適當之配方應用於與批次ID對應之批次(例如，參照下述專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2012-133599號公報
且說，各個配方係藉由配方ID而識別，但若由配方之製作者任意地賦予配方ID，則存在對不同內容之配方賦予重複之配方ID之情形。若對不同內容之配方賦予重複之配方ID，則於處理步驟中，會應用與要應用之配方不同內容之配方，從而未實現意欲之處理。亦考慮制定配方ID之命名規則，但存在由配方之製作者不遵守命名規則之可能性。又，即便打算遵守命名規則，亦存在因配方製作者之人為失誤而對不同內容之配方賦予重複之配方ID的情形。
本發明揭示之配方ID管理伺服器具備：部分ID保持部，其保持按照預先制定之命名規則而製作之部分ID，該部分ID係識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID之一部分；配方ID保持部，其保持由使用者操作之終端裝置所製作之配方ID；部分ID發送部，其於自上述終端裝置接收到部分ID請求之情形時，自上述部分ID保持部讀出上述部分ID，且將所讀出之部分ID發送至上述終端裝置；重複判定部，其於接收到由上述終端裝置製作之配方ID之情形時，判定同一配方ID是否已保持於上述配方ID保持部；及可否使用通知部，其於上述同一配方ID未保持於上述配方ID保持部之情形時，將允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置，於上述同一配方ID已保持於上述配方ID保持部之情形時，將不允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置，並且使由上述終端裝置製作之配方ID保持於上述配方ID保持部。
根據揭示之配方ID管理伺服器之一態樣，可防止對不同內容之配方賦予同一配方ID。
10‧‧‧配方ID管理系統
11‧‧‧網路
12‧‧‧基板處理裝置
20‧‧‧配方ID管理伺服器
30‧‧‧終端裝置
31‧‧‧部分ID請求部
32‧‧‧部分ID顯示部
33‧‧‧配方ID製作部
34‧‧‧可否使用顯示部
35‧‧‧配方操作部
36‧‧‧輸入裝置
37‧‧‧顯示裝置
40‧‧‧電腦
41‧‧‧CPU
42‧‧‧RAM
43‧‧‧ROM
44‧‧‧輔助記憶裝置
45‧‧‧通訊介面
46‧‧‧輸入輸出介面
47‧‧‧媒體介面
48‧‧‧記錄媒體
200‧‧‧使用者資訊保持部
201‧‧‧權限資訊保持部
202‧‧‧部分ID保持部
203‧‧‧配方ID保持部
204‧‧‧認證部
205‧‧‧部分ID發送部
206‧‧‧重複判定部
207‧‧‧可否使用通知部
208‧‧‧鎖定判定部
209‧‧‧配方管理部
2000‧‧‧使用者ID
2001‧‧‧密碼
2002‧‧‧群ID
2010‧‧‧使用者ID
2011‧‧‧權限資訊表
2012‧‧‧配方ID
2013‧‧‧權限資訊
2020‧‧‧產品ID
2021‧‧‧步驟ID
2022‧‧‧群ID
2023‧‧‧部分ID
2030‧‧‧配方ID
2031‧‧‧鎖定旗標
2032‧‧‧保存場所
圖1係表示配方ID管理系統之一例之圖。
圖2係表示配方ID管理伺服器之一例之方塊圖。
圖3係表示使用者資訊保持部所保持之資料之一例之圖。
圖4係表示權限資訊保持部所保持之資料之一例之圖。
圖5係表示部分ID保持部所保持之資料之一例之圖。
圖6係表示配方ID保持部所保持之資料之一例之圖。
圖7係表示終端裝置之一例之方塊圖。
圖8係表示配方ID之製作處理之一例之圖。
圖9係表示配方之閱覽處理之一例之圖。
圖10係表示配方之拷貝處理之一例之圖。
圖11係表示配方之刪除處理之一例之圖。
圖12係表示配方之編輯處理之一例之圖。
圖13係表示配方之編輯處理之一例之圖。
圖14係表示實現配方ID管理伺服器或終端裝置之功能之電腦之一例之圖。
揭示之一實施形態之配方ID管理伺服器具備部分ID保持部、配方ID保持部、部分ID發送部、重複判定部、及可否使用通知部。部分ID保持部保持按照預先制定之命名規則而製作之部分ID，該部分ID係識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID之一部分。配方ID保持部保持由使用者操作之終端裝置所製作之配方ID。部分ID發送部於自終端裝置接收部分ID請求之情形時，自部分ID保持部讀出部分ID，且將所讀出之部分ID發送至終端裝置。重複判定部於接 收由終端裝置製作之配方ID之情形時，判定同一配方ID是否已保持於配方ID保持部。可否使用通知部於同一配方ID並未保持於配方ID保持部之情形時，將允許使用由終端裝置製作之配方ID通知給終端裝置，於同一配方ID已保持於配方ID保持部之情形時，將不允許使用由終端裝置製作之配方ID通知給終端裝置，並且使由終端裝置製作之配方ID保持於配方ID保持部。
又，於揭示之配方ID管理伺服器之一實施形態中，可否使用通知部於由終端裝置製作之配方ID中不包含自部分ID發送部發送之部分ID之任一者之情形時，將不允許使用由終端裝置製作之配方ID通知給終端裝置。
又，於揭示之配方ID管理伺服器之一實施形態中，配方ID保持部與配方ID建立對應而保持鎖定旗標。又，揭示之一實施形態之配方ID管理伺服器具備權限資訊保持部、可否編輯判定部、鎖定判定部、及配方管理部。權限資訊保持部與識別各個使用者之使用者ID建立對應而保持表示允許該使用者對由各個配方ID識別之配方執行操作之權限資訊。可否編輯判定部於自終端裝置接收包含配方ID及使用者ID之編輯請求之情形時，參照權限資訊保持部，判定於與編輯請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊中，作為允許由該使用者ID識別之使用者執行之操作，是否包含編輯由編輯請求中包含之配方ID所識別之配方。鎖定判定部於自終端裝置接收包含配方ID及使用者ID之編輯請求之情形時，參照配方ID保持部，判定與編輯請求中包含之配方ID建立對應之鎖定旗標表示鎖定狀態或非鎖定狀態之何者。關於配方管理部，作為允許由編輯請求中包含之使用者ID識別之使用者執行之操作，於包含編輯由編輯請求中包含之配方ID所識別之配方、且與編輯請求中包含之配方ID建立對應之鎖定旗標表示非鎖定狀態之情形時，該配方管理部將允許編輯由編輯請求中包含之配方ID所識別之配方通 知給終端裝置，並且將配方ID保持部內之鎖定旗標變更為鎖定狀態，於鎖定狀態之配方之編輯結束之情形時，該配方管理部將編輯結束之配方之鎖定旗標返回至非鎖定狀態。
又，揭示之一實施形態之配方ID管理伺服器具備群資訊保持部，其保持群ID，該群ID係針對每一使用者ID識別由使用者ID所識別之使用者所屬之群。又，於揭示之配方ID管理伺服器之一實施形態中，部分ID保持部與部分ID建立對應，進而保持群ID。又，部分ID請求中包含使用者ID。又，部分ID發送部於自終端裝置接收部分ID請求之情形時，參照群資訊保持部，特定出與部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之群ID，自部分ID保持部讀出與所特定出之群ID建立對應之部分ID，且將所讀出之部分ID發送至終端裝置。
又，於揭示之配方ID管理伺服器之一實施形態中，於部分ID中，包含關於藉由基於由包含該部分ID之配方ID識別之配方之處理而製造之產品之資訊、或關於使用該配方之步驟之資訊的至少任一者。
又，揭示之一實施形態之配方ID管理系統具備：配方ID管理伺服器，其對識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID進行管理；及終端裝置，其係由使用者操作。配方ID管理伺服器具備部分ID保持部、配方ID保持部、部分ID發送部、重複判定部、及可否使用通知部。部分ID保持部保持按照預先制定之命名規則而製作之部分ID，該部分ID係配方ID之一部分。配方ID保持部保持由終端裝置所製作之配方ID。部分ID發送部於自終端裝置接收部分ID請求之情形時，自部分ID保持部讀出部分ID，且將所讀出之部分ID發送至終端裝置。重複判定部於接收由終端裝置製作之配方ID之情形時，判定同一配方ID是否已保持於配方ID保持部。可否使用通知部於同一配方ID並未保持於配方ID保持部之情形時，將允許使用由終端裝置製作之配方ID通知給終端裝置，於同一配方ID已保持於配方ID保持部之情 形時，將不允許使用由終端裝置製作之配方ID通知給終端裝置，並且使由終端裝置製作之配方ID保持於配方ID保持部。終端裝置具備部分ID請求部、部分ID顯示部、配方ID製作部、及可否使用顯示部。部分ID請求部根據來自使用者之請求，將部分ID請求發送至配方ID管理伺服器。部分ID顯示部於自配方ID管理伺服器接收到部分ID之情形時，使所接收到之部分ID顯示於顯示裝置。配方ID製作部將自使用者受理之資訊附加至自配方ID管理伺服器所接收的部分ID而製作配方ID，且將所製作之配方ID發送至配方ID管理伺服器。可否使用顯示部於自配方ID管理伺服器接收到表示可否使用由配方ID製作部製作之配方ID之資訊之情形時，使表示所接收到的可否使用之資訊顯示於顯示裝置。
又，揭示之一實施形態之終端裝置具備部分ID請求部、配方ID製作部、及可否使用顯示部。部分ID請求部根據來自使用者之請求，將部分ID請求發送至配方ID管理伺服器。部分ID顯示部於自配方ID管理伺服器接收到按照預先制定之命名規則而製作之部分ID之情形時，使所接收到之部分ID顯示於顯示裝置，該部分ID係識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID之一部分。配方ID製作部將自使用者受理之資訊附加至自配方ID管理伺服器所接收到的部分ID而製作配方ID，且將所製作之配方ID發送至配方ID管理伺服器。可否使用顯示部於自配方ID管理伺服器接收到表示可否使用由配方ID製作部製作之配方ID之資訊之情形時，使表示所接收到的可否使用之資訊顯示於顯示裝置。
以下，根據圖式對揭示之配方ID管理伺服器、配方ID管理系統、及終端裝置之實施形態詳細地進行說明。再者，並不限定由本實施形態揭示之發明。各實施形態可於不使處理內容矛盾之範圍內適當組合。
(實施形態)
[配方ID管理系統10]
圖1係表示配方ID管理系統10之一例之圖。本實施形態之配方ID管理系統10具備複數個基板處理裝置12、配方ID管理伺服器20、及複數個終端裝置30。各個基板處理裝置12、配方ID管理伺服器20、及各個終端裝置30與LAN(Local Area Network，區域網路)等網路11連接。
各個基板處理裝置12係根據所設定之配方而對基板進行成膜、蝕刻、改質等處理之裝置。於本實施形態中，配方例如係將對基板處理裝置12應用之設定或動作指示彙總並程式化後所得之資料集。配方之內容大多因積體電路等產品之種類、批次、處理步驟、基板處理裝置12之機種等而不同。因此，各個配方係根據所應用之產品之種類、批次、處理步驟、基板處理裝置12之機種等而加以區別。各個配方藉由配方ID而識別。配方ID例如於包含配方之資料之檔案中，作為該檔案之檔案名稱而設定。
各個終端裝置30根據來自使用者之操作而進行配方ID之製作、配方之製作及編輯等之處理。各個終端裝置30例如可由通用之電腦等實現。由終端裝置30製作之配方經由網路11而下載至基板處理裝置12內之記憶體。且，基板處理裝置12根據保存於記憶體內之配方而對基板實施處理。再者，於各個基板處理裝置12中，亦可與各個終端裝置30同樣地設置有進行配方ID之製作、配方之製作及編輯等之處理之功能。於以下之記載中，終端裝置30亦可包含執行設置於基板處理裝置12之配方ID之製作、配方之製作及編輯等處理之功能部。
配方ID管理伺服器20管理由各個終端裝置30製作之配方之配方ID與已登錄之配方ID是否重複，於所製作之配方之配方ID為唯一之情形時，允許使用該配方ID。藉此，配方ID管理伺服器20防止將同一配方ID分配給內容不同之配方。
又，配方ID管理伺服器20管理配方之拷貝，對同一內容之配方允許分配同一配方ID。而且，被分配同一配方ID之同一內容之複數個配方中，於一個配方之內容變更之情形時，配方ID管理伺服器20使變更後之配方之內容反映於被分配同一配方ID之其他配方中，或將內容變更後之配方之配方ID變更為另外的配方ID。藉此，配方ID管理伺服器20防止將同一配方ID分配給內容不同之配方。
[配方ID管理伺服器20]
圖2係表示配方ID管理伺服器20之一例之方塊圖。配方ID管理伺服器20具備使用者資訊保持部200、權限資訊保持部201、部分ID保持部202、配方ID保持部203、認證部204、部分ID發送部205、重複判定部206、可否使用通知部207、鎖定判定部208、及配方管理部209。
圖3係表示使用者資訊保持部200所保持之資料之一例之圖。如圖3所示，使用者資訊保持部200例如與識別各個使用者之使用者ID2000建立對應而保持密碼2001及群ID2002。群ID2002係由使用者ID2000識別之使用者所屬之群之識別資訊。
於本實施形態中，針對每一群分配負責之產品或步驟等。因此，使用者可負責之產品或步驟等之範圍根據該使用者屬於哪一群而不同。再者，可負責之產品或步驟等之範圍於群間亦可一部分重複。又，使用者資訊保持部200所保持之資訊例如藉由配方ID管理系統10之管理者等而預先登錄至使用者資訊保持部200。
圖4係表示權限資訊保持部201所保持之資料之一例之圖。如圖4所示，權限資訊保持部201例如與使用者ID2010建立對應而保持權限資訊表2011。於各個權限資訊表2011中，與配方ID2012建立對應而儲存權限資訊2013。於權限資訊2013中，包含允許由使用者ID2010識別之使用者對由已建立對應之配方ID2012識別之配方執行操作之資訊。
於對配方之操作中，包含例如配方之閱覽、拷貝、編輯、及刪 除等。圖4中例示之權限資訊2013中，例如將1與對配方允許之操作建立對應，且例如將0與對配方不允許之操作建立對應。權限資訊保持部201所保持之資訊之一部分藉由配方管理部209而登錄。又，權限資訊保持部201所保持之資訊例如藉由配方ID管理系統10之管理者等登錄。
圖5係表示部分ID保持部202所保持之資料之一例之圖。如圖5所示，部分ID保持部202例如與識別各個產品之產品ID2020及識別各個處理步驟之步驟ID2021之組合建立對應而保持群ID2022及部分ID2023。部分ID2023係於由步驟ID2021識別之處理步驟中對由產品ID2020識別之產品應用之配方之配方ID中包含之資訊之一部分。
部分ID2023係按照預先制定之配方ID之命名規則而製作之配方ID之一部分。本實施形態之配方ID之命名規則係指例如產品ID2020之至少一部分資訊、及步驟ID2021之至少一部分資訊包含於配方ID之規則。於圖5中例示之部分ID2023中，包含產品ID2020與步驟ID2021之一部分。部分ID保持部202所保持之資訊例如藉由配方ID管理系統10之管理者等預先登錄至部分ID保持部202。
圖6係表示配方ID保持部203所保持之資料之一例之圖。如圖6所示，配方ID保持部203例如與配方ID2030建立對應而保持鎖定旗標2031及保存場所2032。於鎖定旗標2031中，於由配方ID2030識別之配方為編輯中之情形時，使作為表示鎖定狀態之值之例如1登錄，於該配方並非編輯中之情形時，使作為表示非鎖定狀態之值之例如0登錄。保存場所2032係表示保存有由配方ID2030識別之配方之場所之資訊。於由配方ID2030識別之配方已被拷貝之情形時，保存場所2032中儲存複數個場所之資訊。
返回至圖2繼續進行說明。認證部204於經網路11而自終端裝置30接收包含使用者ID與密碼之第1部分ID請求之情形時，自使用者資訊 保持部200抽取與第1部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之密碼。繼而，認證部204藉由判定自使用者資訊保持部200抽取之密碼、與第1部分ID請求中包含之密碼是否一致，而認證第1部分ID請求之發送來源之終端裝置30之使用者。
於使用者之認證成功之情形時，認證部204自使用者資訊保持部200抽取與第1部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之群ID。繼而，認證部204將所抽取之群ID、與第1部分ID請求之發送來源之終端裝置30之資訊一併發送至部分ID發送部205。
又，認證部204於經網路11而自終端裝置30接收包含使用者ID、密碼、及配方ID之閱覽請求之情形時，參照使用者資訊保持部200，根據閱覽請求中包含之使用者ID及密碼，認證閱覽請求之發送來源之終端裝置30之使用者。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與閱覽請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許閱覽由閱覽請求中包含之配方ID識別之配方。
於允許閱覽由閱覽請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204自配方ID保持部203抽取與閱覽請求中包含之配方ID建立對應之保存場所之資訊。於保存場所之資訊與配方ID建立複數個對應之情形時，認證部204可抽取其中之1個，亦可抽取全部。繼而，認證部204將包含所抽取之保存場所之資訊之配方資訊發送至閱覽請求之發送來源之終端裝置30。
又，認證部204於經網路11而自終端裝置30接收包含使用者ID、密碼、及配方ID之拷貝請求之情形時，參照使用者資訊保持部200，根據拷貝請求中包含之使用者ID及密碼，認證拷貝請求之發送來源之終端裝置30之使用者。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於 權限資訊保持部201內特定出與拷貝請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許拷貝由拷貝請求中包含之配方ID識別之配方。
於允許拷貝由拷貝請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204自配方ID保持部203抽取與拷貝請求中包含之配方ID建立對應之保存場所之資訊。繼而，認證部204將包含所抽取之保存場所之資訊之配方資訊發送至拷貝請求之發送來源之終端裝置30。
又，認證部204於經網路11而自終端裝置30接收包含使用者ID、密碼、及配方ID之刪除請求之情形時，參照使用者資訊保持部200，根據刪除請求中包含之使用者ID及密碼，認證刪除請求之發送來源之終端裝置30之使用者。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與刪除請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許刪除由刪除請求中包含之配方ID識別之配方。
於允許刪除由刪除請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204自配方ID保持部203抽取與刪除請求中包含之配方ID建立對應之保存場所之資訊。繼而，認證部204將包含所抽取之保存場所之資訊之配方資訊發送至刪除請求之發送來源之終端裝置30。
又，認證部204於經網路11而自終端裝置30接收包含使用者ID、密碼、及配方ID之編輯請求之情形時，參照使用者資訊保持部200，根據編輯請求中包含之使用者ID及密碼，認證編輯請求之發送來源之終端裝置30之使用者。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與編輯請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表 2011內之權限資訊，判定是否允許編輯由編輯請求中包含之配方ID識別之配方。於允許編輯由編輯請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204將編輯請求中包含之配方ID、與編輯請求之發送來源之終端裝置30之資訊一併發送至鎖定判定部208。
部分ID發送部205於自認證部204或配方管理部209接收群ID之情形時，自部分ID保持部202抽取與群ID建立對應之部分ID。於部分ID保持部202內存在複數個與群ID建立對應之部分ID之情形時，部分ID發送部205自部分ID保持部202抽取複數個部分ID。
繼而，部分ID發送部205自配方ID保持部203抽取包含自部分ID保持部202所抽取之部分ID之配方ID。於自認證部204接收到群ID之情形時，部分ID發送部205將包含自部分ID保持部202所抽取之部分ID、及自配方ID保持部203所抽取之配方ID之部分ID通知，發送至第1部分ID請求之發送來源之終端裝置30。另一方面，於自配方管理部209接收到群ID之情形時，部分ID發送部205將包含自部分ID保持部202所抽取之部分ID、及自配方ID保持部203所抽取之配方ID之部分ID通知，發送至下述之第2部分ID請求之發送來源之終端裝置30。繼而，部分ID發送部205將自部分ID保持部202抽取之部分ID發送至重複判定部206。
重複判定部206於自終端裝置30接收到包含配方ID之判定請求之情形時，參照配方ID保持部203，判定於判定請求所包含之配方ID中是否包含自部分ID發送部205接收到之任一部分ID、及與判定請求中包含之配方ID相同之配方ID是否已保持於配方ID保持部203。繼而，重複判定部206將判定結果發送至可否使用通知部207。
可否使用通知部207在藉由重複判定部206判定出於判定請求所包含之配方ID中不包含自部分ID發送部205接收之任一部分ID之情形時，或判定出與判定請求中包含之配方ID相同之配方ID已保持於配方 ID保持部203之情形時，將包含表示不允許使用該配方ID之資訊之判定通知發送至判定請求之發送來源之終端裝置30。藉此，可否使用通知部207可防止使用到包含未遵從預先制定之配方ID之命名規則之部分ID之配方，且可防止使用到與已使用之配方ID重複之配方ID。
另一方面，於藉由重複判定部206判定出於判定請求所包含之配方ID中包含自部分ID發送部205接收到之任一部分ID，且與判定請求中包含之配方ID相同之配方ID未保持於配方ID保持部203之情形時，可否使用通知部207將包含該配方ID及表示允許使用之資訊之判定通知發送至判定請求之發送來源之終端裝置30。繼而，可否使用通知部207使判定請求中包含之配方ID保持於配方ID保持部203。此時，於與配方ID建立對應之鎖定旗標中儲存表示非鎖定狀態之0，保存場所維持空欄之狀態。
鎖定判定部208於自認證部204接收到編輯請求中包含之配方ID、及編輯請求之發送來源之終端裝置30之資訊之情形時，參照配方ID保持部203，判定與該配方ID建立對應之鎖定旗標之值為表示鎖定狀態之值、抑或為表示非鎖定狀態之值。於鎖定旗標之值為表示鎖定狀態之值之情形時，鎖定判定部208將包含表示鎖定中之資訊之錯誤通知發送至編輯請求之發送來源之終端裝置30。另一方面，於鎖定旗標之值為表示非鎖定狀態之值之情形時，鎖定判定部208將編輯請求中包含之配方ID發送至配方管理部209。
配方管理部209於自終端裝置30接收到包含配方ID、表示配方之保存場所之資訊、及使用者ID之製作完成通知之情形時，於配方ID保持部203內特定出製作完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209與所特定出之配方ID建立對應，將製作完成通知中包含之表示保存場所之資訊登錄至配方ID保持部203。
繼而，配方管理部209於權限資訊保持部201內特定出與製作完 成通知中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表。繼而，配方管理部209將製作完成通知中包含之配方ID登錄至已特定出之權限資訊表內，並且將例如允許對由該配方ID識別之配方執行全部操作之意旨之權限資訊與該配方ID建立對應。
又，配方管理部209於自終端裝置30接收包含配方ID、及表示已拷貝之配方之保存場所之資訊之拷貝完成通知之情形時，於配方ID保持部203內特定出拷貝完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209將拷貝完成通知中包含之表示保存場所之資訊追加至表示與所特定出之配方ID建立對應之保存場所之資訊。
又，配方管理部209於自終端裝置30接收包含配方ID、及表示保存已刪除之配方之場所之資訊之刪除完成通知之情形時，於配方ID保持部203內特定出刪除完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209自表示與所特定出之配方ID建立對應之保存場所之資訊中，刪除包含於刪除完成通知中包之表示場所之資訊。再者，於與配方ID建立對應之保存場所僅為刪除完成通知中包含之場所之資訊之情形時，配方管理部209將包含刪除完成通知所含之配方ID之項自配方ID保持部203刪除。
又，配方管理部209於自鎖定判定部208接收編輯允許之配方之配方ID之情形時，自配方ID保持部203抽取表示與該配方ID建立對應之保存場所之資訊。繼而，配方管理部209將包含表示所抽取之保存場所之資訊之編輯允許發送至編輯請求之發送來源之終端裝置30。繼而，配方管理部209參照配方ID保持部203，將與自鎖定判定部208接收之配方ID建立對應之鎖定旗標之值變更為表示鎖定狀態之值。
又，配方管理部209於自終端裝置30接收包含配方ID與表示保存場所之資訊之編輯完成通知之情形時，於配方ID保持部203內特定出編輯完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209將與所特定出 之配方ID建立對應之鎖定旗標之值返回至表示非鎖定狀態之值。
繼而，於與所特定出之配方ID建立對應之保存場所之資訊中包含除編輯完成通知中所含之保存場所以外之場所之資訊之情形時，配方管理部209自由編輯完成通知中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得編輯後之配方。繼而，配方管理部209利用所取得之配方將被分配與編輯完成通知中包含之配方ID相同之配方ID之其他配方覆寫保存。藉此，於被分配同一配方ID之複數個配方中之一個被編輯之情形時，配方管理部209可將被分配同一配方ID之剩餘之配方之內容變更為與所編輯之配方相同之內容。藉此，配方管理部209可防止將同一配方ID分配給內容不同之配方。
又，配方管理部209於接收包含編輯前之配方之配方ID與使用者ID之第2部分ID請求之情形時，於配方ID保持部203內特定出第2部分ID請求中包含之配方ID。繼而，配方管理部209將與所特定出之配方ID建立對應之鎖定旗標之值返回至表示非鎖定狀態之值。繼而，配方管理部209參照使用者資訊保持部200，特定出與第2部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之群ID。繼而，配方管理部209將所特定出之群ID、與第2部分ID請求之發送來源之終端裝置30之資訊一併發送至部分ID發送部205。
又，配方管理部209於接收包含配方ID、表示配方之保存場所之資訊、及使用者ID之保存完成通知之情形時，將保存完成通知中包含之配方ID登錄至配方ID保持部203。繼而，配方管理部209對與該配方ID建立對應之鎖定旗標設定表示非鎖定狀態之值，且將保存完成通知中包含之保存場所之資訊登錄至與該配方ID建立對應之保存場所之資訊。
繼而，配方管理部209於權限資訊保持部201內特定出與保存完成通知中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表。繼而，配方管理部 209將保存完成通知中包含之配方ID登錄至已特定出之權限資訊表內，並且將例如允許對由該配方ID識別之配方執行全部操作之意旨之權限資訊與該配方ID建立對應。
[終端裝置30]
圖7係表示終端裝置30之一例之方塊圖。如圖7所示，本實施形態之終端裝置30例如具備部分ID請求部31、部分ID顯示部32、配方ID製作部33、可否使用顯示部34、及配方操作部35。
部分ID請求部31根據使用者之經由鍵盤或滑鼠等輸入裝置36之操作，製作包含該使用者之使用者ID與密碼之第1部分ID請求。繼而，部分ID請求部31將所製作之第1部分ID請求經網路11發送至配方ID管理伺服器20。
部分ID顯示部32於經網路11而自配方ID管理伺服器20接收包含部分ID、及已登錄之配方ID之部分ID通知之情形時，使所接收的部分ID、與已登錄之配方ID顯示於液晶顯示器等顯示裝置37。藉此，終端裝置30可製作與已使用之配方ID之任一者均不重複之配方ID，其係遵從預先制定之配方ID之命名規則之配方ID。使用者可容易地製作包含所顯示之部分ID、且與已登錄之配方ID不同之配方ID。
配方ID製作部33根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作，將由使用者輸入之文字、記號、或數字等至少任一者附加至自配方ID管理伺服器20所接收的部分ID而製作配方ID。繼而，配方ID製作部33製作包含已製作之配方ID之判定請求，且將所製作之判定請求經網路11而發送至配方ID管理伺服器20。
可否使用顯示部34於經網路11而自配方ID管理伺服器20接收判定通知之情形時，使判定通知之內容顯示於顯示裝置37。於允許使用所製作之配方ID之情形時，判定通知中包含表示允許使用之資訊、與允許使用之配方ID。於判定通知中包含表示允許使用之資訊、與允許 使用之配方ID之情形時，可否使用顯示部34將允許使用之配方ID發送至配方操作部35。
配方操作部35根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作，對配方進行閱覽、拷貝、刪除、或編輯之操作。配方操作部35於自可否使用顯示部34接收允許使用之配方ID之情形時，開始製作由該配方ID識別之配方。繼而，結束根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作而製作配方，且於保存有所製作之配方之情形時，配方操作部35將包含所製作之配方之配方ID、所製作之配方之保存場所之資訊、及使用者之使用者ID之製作完成通知發送至配方ID管理伺服器20。
又，配方操作部35於經輸入裝置36而由使用者指示閱覽配方之情形時，製作包含閱覽對象之配方之配方ID、使用者之使用者ID、及密碼之閱覽請求，且將所製作之閱覽請求經網路11發送至配方ID管理伺服器20。繼而，於自配方ID管理伺服器20接收配方資訊之情形時，配方操作部35自由配方資訊中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得閱覽對象之配方，且使所取得之配方顯示於顯示裝置37。
又，配方操作部35於經輸入裝置36而由使用者指示拷貝配方之情形時，製作包含拷貝對象之配方之配方ID、使用者之使用者ID、及密碼之拷貝請求，且將所製作之拷貝請求經網路11發送至配方ID管理伺服器20。繼而，於自配方ID管理伺服器20接收配方資訊之情形時，配方操作部35自由配方資訊中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得拷貝對象之配方。繼而，配方操作部35製作所取得之配方之副本，且將所製作之配方之副本保存於由使用者指示之場所。繼而，配方操作部35製作包含已拷貝之配方之配方ID、及表示已拷貝之配方之保存場所之資訊之拷貝完成通知，且將所製作之拷貝完成通知經網路11發送至配方ID管理伺服器20。
又，配方操作部35於經輸入裝置36而由使用者指示刪除配方之 情形時，製作包含刪除對象之配方之配方ID、使用者之使用者ID、及密碼之刪除請求，且將所製作之刪除請求經網路11發送至配方ID管理伺服器20。繼而，於自配方ID管理伺服器20接收配方資訊之情形時，配方操作部35於由配方資訊中包含之保存場所之資訊所特定出之場所，將刪除對象之配方刪除。繼而，配方操作部35製作包含已刪除之配方之配方ID、及表示保存已刪除之配方之場所之資訊之刪除完成通知，且將所製作之刪除完成通知經網路11發送至配方ID管理伺服器20。
又，配方操作部35於經輸入裝置36而由使用者指示編輯配方之情形時，製作包含編輯對象之配方之配方ID、使用者之使用者ID、及密碼之編輯請求，且將所製作之編輯請求經網路11發送至配方ID管理伺服器20。繼而，於自配方ID管理伺服器20接收編輯允許之情形時，配方操作部35自由編輯允許中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得編輯對象之配方。繼而，配方操作部35使所取得之配方顯示於顯示裝置37，開始編輯所取得之配方。
繼而，於結束根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作而編輯配方之情形時，配方操作部35向使用者詢問已編輯之配方之保存方法。於本實施形態中，已編輯之配方之保存方法中，例如有將已編輯之配方覆寫保存至編輯前之配方上之方法、及對已編輯之配方分配另外的配方ID並作為另外的配方而保存之方法。
於覆寫保存已編輯之配方之情形時，配方操作部35利用已編輯之配方將由編輯允許中包含之保存場所之資訊所特定出之場所中保存之配方覆寫保存。繼而，配方操作部35製作包含已編輯之配方之配方ID、及已覆寫保存之配方之保存場所之資訊之編輯完成通知，且將所製作之編輯完成通知經網路11發送至配方ID管理伺服器20。
另一方面，於對已編輯之配方分配另外的配方ID並保存之情形 時，配方操作部35製作包含使用者之使用者ID、及編輯前之配方之配方ID之第2部分ID請求，且將所製作之第2部分ID請求經網路11發送至配方ID管理伺服器20。繼而，於自可否使用顯示部34接收允許使用之配方ID之情形時，配方操作部35將自可否使用顯示部34所接收之配方ID分配給已編輯之配方，且保存已編輯之配方。繼而，配方操作部35製作包含表示已編輯之配方之保存場所之資訊、與對已編輯之配方所分配之配方ID之保存完成通知，且將所製作之保存完成通知經網路11發送至配方ID管理伺服器20。
[配方ID之製作處理]
圖8係表示配方ID之製作處理之一例之圖。首先，終端裝置30之部分ID請求部31根據使用者之經由輸入裝置36之操作，製作包含該使用者之使用者ID與密碼之第1部分ID請求，且將所製作之第1部分ID請求發送至配方ID管理伺服器20(S100)。
配方ID管理伺服器20之認證部204參照使用者資訊保持部200，根據第1部分ID請求中包含之使用者ID及密碼，認證第1部分ID請求之發送來源之終端裝置30之使用者(S101)。於使用者之認證成功之情形時，認證部204自使用者資訊保持部200抽取與第1部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之群ID(S102)。繼而，認證部204將所抽取之群ID發送至部分ID發送部205。再者，於使用者之認證失敗之情形時，認證部204將包含表示認證失敗之意旨之資訊之錯誤通知發送至第1部分ID請求之發送來源之終端裝置30。
其次，部分ID發送部205自部分ID保持部202抽取與自認證部204所接收之群ID建立對應之部分ID(S103)。繼而，部分ID發送部205自配方ID保持部203抽取包含有自部分ID保持部202抽取之部分ID之配方ID(S104)。繼而，部分ID發送部205將包含自部分ID保持部202抽取之部分ID、與自配方ID保持部203抽取之配方ID之部分ID通知發送至 第1部分ID請求之發送來源之終端裝置30(S105)。
終端裝置30之部分ID顯示部32使自配方ID管理伺服器20所接收之部分ID通知中包含之部分ID及配方ID顯示於顯示裝置37(S106)。繼而，配方ID製作部33根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作，將由使用者輸入之文字、記號、數字等附加至自配方ID管理伺服器20所接收的部分ID而製作配方ID(S107)。繼而，配方ID製作部33製作包含已製作之配方ID之判定請求，且將所製作之判定請求發送至配方ID管理伺服器20(S108)。
配方ID管理伺服器20之重複判定部206參照配方ID保持部203而進行以下之重複判定，即，判定於判定請求所包含之配方ID中是否包含自部分ID發送部205所接收之任一部分ID、及與判定請求中包含之配方ID相同之配方ID是否已保持於配方ID保持部203(S109)。繼而，重複判定部206將判定結果發送至可否使用通知部207。
其次，可否使用通知部207在藉由重複判定部206判定為，於判定請求中包含之配方ID中包含自部分ID發送部205所接收之任一部分ID，且與判定請求中包含之配方ID相同之配方ID並未保持於配方ID保持部203之情形時，將包含該配方ID與表示允許使用之資訊之判定通知發送至判定請求之發送來源之終端裝置30(S110)。繼而，可否使用通知部207使判定請求中包含之配方ID保持於配方ID保持部203(S111)。
再者，於藉由重複判定部206判定為於判定請求所包含之配方ID中不包含自部分ID發送部205所接收之任一部分ID之情形時，或判定為與判定請求中包含之配方ID相同之配方ID已保持於配方ID保持部203之情形時，可否使用通知部207將包含表示不允許使用該配方ID之資訊之判定通知發送至判定請求之發送來源之終端裝置30。
終端裝置30之可否使用顯示部34使自終端裝置30所接收的判定 通知之內容顯示於顯示裝置37(S112)。於判定通知中包含表示允許使用之資訊、與允許使用之配方ID之情形時，可否使用顯示部34將允許使用之配方ID發送至配方操作部35。配方操作部35開始製作由自可否使用顯示部34接收的配方ID所識別之配方(S113)。
繼而，於結束根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作而製作配方之情形時，配方操作部35保存所製作之配方(S114)。繼而，配方操作部35製作包含已製作之配方之配方ID、已製作之配方之保存場所之資訊、及使用者之使用者ID之製作完成通知，且將所製作之製作完成通知發送至配方ID管理伺服器20(S115)。
配方ID管理伺服器20之配方管理部209於配方ID保持部203內特定出自終端裝置30所接收之製作完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209與所特定出之配方ID建立對應，將製作完成通知中包含之表示保存場所之資訊登錄至配方ID保持部203(S116)。
其次，配方管理部209於權限資訊保持部201內特定出與製作完成通知中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表。繼而，配方管理部209將製作完成通知中包含之配方ID登錄至已特定出之權限資訊表內，並且將例如允許對由該配方ID識別之配方執行全部操作之意旨之權限資訊與該配方ID建立對應(S117)。
[配方之閱覽處理]
圖9係表示配方之閱覽處理之一例之圖。首先，終端裝置30之配方操作部35根據來自使用者之經由輸入裝置36之閱覽指示，製作包含該使用者之使用者ID、密碼、及閱覽對象之配方之配方ID之閱覽請求，且將所製作之閱覽請求發送至配方ID管理伺服器20(S200)。
配方ID管理伺服器20之認證部204參照使用者資訊保持部200，根據自終端裝置30所接收之閱覽請求中包含之使用者ID及密碼，認證閱覽請求之發送來源之終端裝置30之使用者(S201)。於使用者之認證 成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與閱覽請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許閱覽由閱覽請求中包含之配方ID識別之配方(S202)。
於允許閱覽由閱覽請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204自配方ID保持部203抽取與閱覽請求中包含之配方ID建立對應之保存場所之資訊(S203)。繼而，認證部204將包含所抽取之保存場所之資訊之配方資訊發送至閱覽請求之發送來源之終端裝置30(S204)。再者，於不允許閱覽由閱覽請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204將包含表示無閱覽權限之意旨之資訊之錯誤通知發送至閱覽請求之發送來源之終端裝置30。
終端裝置30之配方操作部35自由自配方ID管理伺服器20接收的配方資訊中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得閱覽對象之配方(S205)。繼而，配方操作部35使所取得之配方顯示於顯示裝置37(S206)。
[配方之拷貝處理]
圖10係表示配方之拷貝處理之一例之圖。首先，終端裝置30之配方操作部35根據來自使用者之經由輸入裝置36之拷貝指示，製作包含該使用者之使用者ID、密碼、及拷貝對象之配方之配方ID之拷貝請求，且將所製作之拷貝請求發送至配方ID管理伺服器20(S300)。
配方ID管理伺服器20之認證部204參照使用者資訊保持部200，根據自終端裝置30所接收之拷貝請求中包含之使用者ID及密碼，認證拷貝請求之發送來源之終端裝置30之使用者(S301)。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與拷貝請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許拷貝由拷 貝請求中包含之配方ID識別之配方(S302)。
於允許拷貝由拷貝請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204自配方ID保持部203抽取與拷貝請求中包含之配方ID建立對應之保存場所之資訊(S303)。繼而，認證部204將包含所抽取之保存場所之資訊之配方資訊發送至拷貝請求之發送來源之終端裝置30(S304)。再者，於不允許拷貝由拷貝請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204將包含表示無拷貝權限之意旨之資訊之錯誤通知發送至拷貝請求之發送來源之終端裝置30。
終端裝置30之配方操作部35自由自配方ID管理伺服器20接收的配方資訊中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得拷貝對象之配方(S305)。繼而，配方操作部35製作所取得之配方之副本，且將所製作之配方之副本保存於由使用者指示之場所(S306)。繼而，配方操作部35製作包含已拷貝之配方之配方ID、及表示已拷貝之配方之保存場所之資訊之拷貝完成通知，且將所製作之拷貝完成通知發送至配方ID管理伺服器20(S307)。
配方ID管理伺服器20之配方管理部209於配方ID保持部203內特定出自終端裝置30所接收之拷貝完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209將拷貝完成通知中包含之表示保存場所之資訊追加登錄至表示與所特定出之配方ID建立對應之保存場所之資訊(S308)。
[配方之刪除處理]
圖11係表示配方之刪除處理之一例之圖。首先，終端裝置30之配方操作部35根據來自使用者之經由輸入裝置36之刪除指示，製作包含該使用者之使用者ID、密碼、及刪除對象之配方之配方ID之刪除請求，且將所製作之刪除請求發送至配方ID管理伺服器20(S400)。
配方ID管理伺服器20之認證部204參照使用者資訊保持部200，根據自終端裝置30所接收之刪除請求中包含之使用者ID及密碼，認證 刪除請求之發送來源之終端裝置30之使用者(S401)。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與刪除請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許刪除由刪除請求中包含之配方ID識別之配方(S402)。
於允許刪除由刪除請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204自配方ID保持部203抽取與刪除請求中包含之配方ID建立對應之保存場所之資訊(S403)。繼而，認證部204將包含所抽取之保存場所之資訊之配方資訊發送至刪除請求之發送來源之終端裝置30(S404)。再者，於不允許刪除由刪除請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204將包含表示無刪除權限之意旨之資訊之錯誤通知發送至刪除請求之發送來源之終端裝置30。
終端裝置30之配方操作部35於由自配方ID管理伺服器20接收的配方資訊中包含之保存場所之資訊所特定出之場所，將刪除對象之配方刪除(S405)。繼而，配方操作部35製作包含已刪除之配方之配方ID、及表示保存已刪除之配方之場所之資訊之刪除完成通知，且將所製作之刪除完成通知發送至配方ID管理伺服器20(S406)。
配方ID管理伺服器20之配方管理部209於配方ID保持部203內特定出自終端裝置30所接收之刪除完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209自表示與所特定出之配方ID建立對應之保存場所之資訊中，將刪除完成通知中包含之表示場所之資訊刪除(S407)。
[配方之編輯處理]
圖12及圖13係表示配方之編輯處理之一例之圖。圖12表示覆寫保存已編輯之配方之情形時之配方之編輯處理之一例。首先，終端裝置30之配方操作部35根據來自使用者之經由輸入裝置36之編輯指示，製作包含該使用者之使用者ID、密碼、及編輯對象之配方之配方ID之 編輯請求，且將所製作之編輯請求發送至配方ID管理伺服器20(S500)。
配方ID管理伺服器20之認證部204參照使用者資訊保持部200，根據自終端裝置30所接收之編輯請求中包含之使用者ID及密碼，認證編輯請求之發送來源之終端裝置30之使用者(S501)。於使用者之認證成功之情形時，認證部204於權限資訊保持部201內特定出與編輯請求中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表2011。繼而，認證部204參照已特定出之權限資訊表2011內之權限資訊，判定是否允許編輯由編輯請求中包含之配方ID識別之配方(S502)。
於允許編輯由編輯請求中包含之配方ID識別之配方之情形時，認證部204將編輯請求中包含之配方ID、與編輯請求之發送來源之終端裝置30之資訊一併發送至鎖定判定部208。鎖定判定部208參照配方ID保持部203而進行以下之鎖定判定，即，判定與自認證部204所接收之配方ID建立對應之鎖定旗標之值為表示鎖定狀態之值、抑或為表示非鎖定狀態之值(S503)。於鎖定旗標之值為表示鎖定狀態之值之情形時，鎖定判定部208將包含表示鎖定中之資訊之錯誤通知發送至編輯請求之發送來源之終端裝置30。
另一方面，於鎖定旗標之值為表示非鎖定狀態之值之情形時，鎖定判定部208將自認證部204接收之配方ID發送至配方管理部209。配方管理部209自配方ID保持部203抽取表示與自鎖定判定部208所接收之配方ID建立對應之保存場所之資訊(S504)。繼而，配方管理部209將包含表示所抽取之保存場所之資訊之編輯允許發送至編輯請求之發送來源之終端裝置30(S505)。繼而，配方管理部209參照配方ID保持部203，將與自鎖定判定部208所接收之配方ID建立對應之鎖定旗標之值變更為表示鎖定狀態之值(S506)。
終端裝置30之配方操作部35自由自配方ID管理伺服器20接收的 編輯允許中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得編輯對象之配方(S507)。繼而，配方操作部35使所取得之配方顯示於顯示裝置37(S508)，開始編輯所取得之配方(S509)。
繼而，於結束根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作而編輯配方之情形時，配方操作部35向使用者詢問已編輯之配方之保存方法。於圖12所示之例中，配方操作部35由使用者指示將已編輯之配方覆寫保存至編輯前之配方上之方法。配方操作部35利用已編輯之配方將由編輯允許中包含之保存場所之資訊所特定出之場所中保存之配方覆寫保存(S510)。繼而，配方操作部35製作包含已編輯之配方之配方ID、及已覆寫保存之配方之保存場所之資訊之編輯完成通知，且將所製作之編輯完成通知發送至配方ID管理伺服器20(S511)。
配方ID管理伺服器20之配方管理部209於配方ID保持部203內特定出自終端裝置30所接收之編輯完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209將與所特定出之配方ID建立對應之鎖定旗標之值返回至表示非鎖定狀態之值(S512)。
其次，於與所特定出之配方ID建立對應之保存場所之資訊中包含除編輯完成通知中所含之保存場所以外之場所之資訊之情形時，配方管理部209自由編輯完成通知中包含之保存場所之資訊所特定出之場所取得編輯後之配方。繼而，配方管理部209利用所取得之配方將被分配與編輯完成通知中包含之配方ID相同之配方ID之其他配方覆寫保存，藉此，使已編輯之配方之內容反映於被分配同一配方ID之其他配方(S513)。
圖13係表示將其他配方ID分配給已編輯之配方並保存之情形時的配方之編輯處理之一例。步驟S500~S509之處理與圖12中說明之處理相同，故而省略說明。
於結束根據來自使用者之經由輸入裝置36之操作而編輯配方之 情形時，終端裝置30之配方操作部35向使用者詢問已編輯之配方之保存方法。於圖13所示之例中，配方操作部35由使用者指示對已編輯之配方分配另外的配方ID並保存之方法。配方操作部35製作包含使用者之使用者ID、及編輯前之配方之配方ID之第2部分ID請求，且將所製作之第2部分ID請求發送至配方ID管理伺服器20(S520)。
配方ID管理伺服器20之配方管理部209於配方ID保持部203內特定出自終端裝置30接收之第2部分ID請求中包含之配方ID。繼而，配方管理部209將與所特定出之配方ID建立對應之鎖定旗標之值返回至表示非鎖定狀態之值(S521)。繼而，配方管理部209參照使用者資訊保持部200，抽取與第2部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之群ID(S522)。繼而，配方管理部209將所特定出之群ID、與第2部分ID請求之發送來源之終端裝置30之資訊一併發送至部分ID發送部205。
繼而，配方ID管理伺服器20及終端裝置30執行圖8中說明之步驟S103~S112之處理。繼而，終端裝置30之可否使用顯示部34將自配方ID管理伺服器20所接收之判定通知中包含之允許使用之配方ID發送至配方操作部35。配方操作部35對已編輯之配方分配自可否使用顯示部34所接收之配方ID，且保存已編輯之配方(S523)。繼而，配方操作部35製作包含表示已編輯之配方之保存場所之資訊、對已編輯之配方分配之配方ID、及使用者ID之保存完成通知，且將所製作之保存完成通知發送至配方ID管理伺服器20(S524)。
配方ID管理伺服器20之配方管理部209於配方ID保持部203內特定出自終端裝置30所接收之保存完成通知中包含之配方ID。繼而，配方管理部209與所特定出之配方ID建立對應，將保存完成通知中包含之表示保存場所之資訊登錄至配方ID保持部203(S525)。
其次，配方管理部209於權限資訊保持部201內特定出與保存完成通知中包含之使用者ID建立對應之權限資訊表。繼而，配方管理部 209將保存完成通知中包含之配方ID登錄至已特定出之權限資訊表內，並且將例如允許對由該配方ID識別之配方執行全部操作之意旨之權限資訊與該配方ID建立對應(S526)。
[硬體]
圖14係表示實現配方ID管理伺服器20或終端裝置30之功能之電腦40之一例之圖。電腦40具備CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)41、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)42、ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)43、輔助記憶裝置44、通訊介面(I/F)45、輸入輸出介面(I/F)46、及媒體介面(I/F)47。
CPU41根據儲存於ROM43或輔助記憶裝置44中之程式而動作，進行各部之控制。ROM43中儲存有於電腦40啟動時由CPU41執行之啟動程式、或依存於電腦40之硬體之程式等。
輔助記憶裝置44例如為HDD(Hard Disk Drive，硬碟驅動機)或SSD(Solid State Drive，固態磁碟機)等，其儲存由CPU41執行之程式及由該程式使用之資料等。CPU41例如自輔助記憶裝置44讀出該程式並載入至RAM42上，執行所載入之程式。通訊介面45經網路11自其他機器接收資料並發送至CPU41，且將CPU41產生之資料經網路11發送至其他機器。
CPU41經輸入輸出介面46而控制顯示器或印表機等輸出裝置、及鍵盤或滑鼠等輸入裝置。CPU41經輸入輸出介面46自輸入裝置取得資料。又，CPU41將所產生之資料經輸入輸出介面46而輸出至輸出裝置。
媒體介面47讀取儲存於記錄媒體48中之程式或資料，且儲存至輔助記憶裝置44。記錄媒體48例如為DVD(Digital Versatile Disc，數位多功能光碟)、PD(Phase change rewritable Disk，相變式可重寫磁碟)等光學記錄媒體、MO(Magneto-Optical disk，磁光碟)等磁光記錄媒體、磁帶媒體、磁性記錄媒體、或半導體記憶體等。
於電腦40作為配方ID管理伺服器20而發揮功能之情形時，電腦40之CPU41藉由執行載入至RAM42上之程式而實現認證部204、部分ID發送部205、重複判定部206、可否使用通知部207、鎖定判定部208、及配方管理部209之各功能。又，於ROM43或輔助記憶裝置44中儲存有使用者資訊保持部200、權限資訊保持部201、部分ID保持部202、及配方ID保持部203內之資料。
又，於電腦40作為終端裝置30而發揮功能之情形時，電腦40之CPU41藉由執行載入至RAM42上之程式而實現部分ID請求部31、部分ID顯示部32、配方ID製作部33、可否使用顯示部34、及配方操作部35之各功能。
電腦40之CPU41自記錄媒體48讀取該等程式並儲存至輔助記憶裝置44，但作為其他例，亦可自其他裝置經網路11取得該等程式並儲存至輔助記憶裝置44。
以上，對一實施形態進行了說明。根據本實施形態之配方ID管理系統10，可防止對內容不同之配方賦予同一配方ID。
再者，本發明並不限定於上述實施形態，於其要旨之範圍內可進行種種變化。
例如，於上述實施形態中，於部分ID保持部202中，對於針對每一群ID屬於由該群ID識別之群之使用者可負責之產品及處理步驟之每一組合，預先保持應用於該處理步驟之配方之配方ID中包含之部分ID，但揭示之技術並不限於此。例如，部分ID發送部205亦可經終端裝置30而與使用者之間藉由對話形式之通訊特定出用以特定出部分ID之必要之資訊。例如，部分ID發送部205經終端裝置30向使用者詢問使用者負責之產品之產品ID，且自終端裝置30接收產品ID，經終端裝置30向使用者詢問使用者負責之處理步驟之步驟ID，且自終端裝置30接收產品ID。繼而，部分ID發送部205亦可根據自終端裝置30所接收 之產品ID及步驟ID而製作部分ID。
又，於上述實施形態中，部分ID發送部205將部分ID經終端裝置30而向使用者呈現，讓使用者製作包含所呈現之部分ID之配方ID，但揭示之技術並不限於此。例如，部分ID發送部205亦可對使用者任意製作之文字、記號、數字等之組合附加特定之部分ID而製作配方ID。又，部分ID發送部205亦可製作將成為唯一之配方ID之資訊附加至部分ID後之若干配方ID之候補，且向使用者呈現所製作之配方ID之候補。藉此，使用者可藉由選擇所呈現之配方ID之候補而製作包含特定之部分ID之唯一之配方ID，從而可減輕使用者之負擔。所謂為成為唯一之配方ID而附加至部分ID之資訊，考慮例如請求連號、日期、配方ID之使用者之資訊(使用者ID、群ID等)等。
以上，使用實施形態對本發明進行了說明，但本發明之技術範圍並不限定於上述實施形態中記載之範圍。本業者明確瞭解，可對上述實施形態施以多種變更或改良。又，自申請專利範圍之記載而明確瞭解，施以上述變更或改良後之形態亦可包含於本發明之技術範圍。

Claims (7)

  1. 一種配方ID管理伺服器，其特徵在於具備：部分ID保持部，其保持按照預先制定之命名規則而製作之部分ID，該部分ID係識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID之一部分；配方ID保持部，其保持由使用者操作之終端裝置所製作之配方ID；部分ID發送部，其於自上述終端裝置接收到部分ID請求之情形時，自上述部分ID保持部讀出上述部分ID，且將所讀出之部分ID發送至上述終端裝置；重複判定部，其於接收到由上述終端裝置製作之配方ID之情形時，判定同一配方ID是否已保持於上述配方ID保持部；及可否使用通知部，其於上述同一配方ID未保持於上述配方ID保持部之情形時，將允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置，於上述同一配方ID已保持於上述配方ID保持部之情形時，將不允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置，並且使由上述終端裝置製作之配方ID保持於上述配方ID保持部。
  2. 如請求項1之配方ID管理伺服器，其中上述可否使用通知部係於由上述終端裝置製作之配方ID中不包含自上述部分ID發送部發送之上述部分ID之任一者之情形時，將不允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置。
  3. 如請求項1之配方ID管理伺服器，其中上述配方ID保持部係 與上述配方ID建立對應而保持鎖定旗標，上述配方ID管理伺服器具備：權限資訊保持部，其與識別各個使用者之使用者ID建立對應而保持表示允許該使用者對由各個配方ID識別之配方執行操作之權限資訊；可否編輯判定部，其於自上述終端裝置接收到包含配方ID及使用者ID之編輯請求之情形時，參照上述權限資訊保持部，判定於與上述編輯請求中包含之使用者ID建立對應之上述權限資訊中，作為允許由該使用者ID識別之使用者執行之操作，是否包含編輯由上述編輯請求中包含之配方ID所識別之配方；鎖定判定部，其於自上述終端裝置接收到包含配方ID及使用者ID之編輯請求之情形時，參照上述配方ID保持部，判定與上述編輯請求中包含之配方ID建立對應之鎖定旗標表示鎖定狀態或非鎖定狀態之何者；及配方管理部，其作為允許由上述編輯請求中包含之使用者ID識別之使用者執行之操作，於包含編輯由上述編輯請求中包含之配方ID所識別之配方、且與上述編輯請求中包含之配方ID建立對應之鎖定旗標表示非鎖定狀態之情形時，將允許編輯由上述編輯請求中包含之配方ID所識別之配方通知給上述終端裝置，並且將上述配方ID保持部內之上述鎖定旗標變更為鎖定狀態，於上述鎖定狀態之配方之編輯結束之情形時，將編輯結束之配方之上述鎖定旗標返回至非鎖定狀態。
  4. 如請求項3之配方ID管理伺服器，其具備：群資訊保持部，其保持群ID，該群ID係針對每一使用者ID識別由使用者ID所識別之使用者所屬之群，上述部分ID保持部係 與上述部分ID建立對應，進而保持上述群ID，上述部分ID請求中包含使用者ID，上述部分ID發送部係於自上述終端裝置接收到上述部分ID請求之情形時，參照上述群資訊保持部，特定出與上述部分ID請求中包含之使用者ID建立對應之群ID，自上述部分ID保持部讀出與所特定出之群ID建立對應之上述部分ID，且將所讀出之上述部分ID發送至上述終端裝置。
  5. 如請求項1之配方ID管理伺服器，其中於上述部分ID中，包含關於藉由基於由包含該部分ID之配方ID識別之配方之處理而製造之產品之資訊、或關於使用該配方之步驟之資訊的至少任一者。
  6. 一種配方ID管理系統，其特徵在於具備：配方ID管理伺服器，其對識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID進行管理；及終端裝置，其係由使用者操作；上述配方ID管理伺服器包含：部分ID保持部，其保持按照預先制定之命名規則而製作之部分ID，該部分ID為上述配方ID之一部分，配方ID保持部，其保持由上述終端裝置所製作之配方ID；部分ID發送部，其於自上述終端裝置接收到部分ID請求之情形時，自上述部分ID保持部讀出上述部分ID，且將所讀出之部分ID發送至上述終端裝置；重複判定部，其於接收到由上述終端裝置製作之配方ID之情形時，判定同一配方ID是否已保持於上述配方ID保持部；及可否使用通知部，其於上述同一配方ID未保持於上述配方ID 保持部之情形時，將允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置，於上述同一配方ID已保持於上述配方ID保持部之情形時，將不允許使用由上述終端裝置製作之配方ID通知給上述終端裝置，並且使由上述終端裝置製作之配方ID保持於上述配方ID保持部；上述終端裝置包含：部分ID請求部，其根據來自使用者之請求，將上述部分ID請求發送至上述配方ID管理伺服器；部分ID顯示部，其於自上述配方ID管理伺服器接收到上述部分ID之情形時，使所接收到之部分ID顯示於顯示裝置；配方ID製作部，其將自使用者受理之資訊附加至自上述配方ID管理伺服器接收到之部分ID而製作配方ID，且將所製作之配方ID發送至上述配方ID管理伺服器；及可否使用顯示部，其於自上述配方ID管理伺服器接收到表示可否使用由上述配方ID製作部製作之配方ID之資訊之情形時，使表示所接收到的可否使用之資訊顯示於上述顯示裝置。
  7. 一種終端裝置，其特徵在於具備：部分ID請求部，其根據來自使用者之請求，將部分ID請求發送至配方ID管理伺服器；部分ID顯示部，其於自上述配方ID管理伺服器接收到按照預先制定之命名規則而製作之部分ID之情形時，使所接收到之部分ID顯示於顯示裝置，該部分ID係識別描述有由基板處理裝置執行之處理之配方之配方ID之一部分；配方ID製作部，其將自使用者受理之資訊附加至自上述配方ID管理伺服器接收之部分ID而製作配方ID，且將所製作之配方ID發送至上述配方ID管理伺服器；及 可否使用顯示部，其於自上述配方ID管理伺服器接收到表示可否使用由上述配方ID製作部製作之配方ID之資訊之情形時，使表示所接收到的可否使用之資訊顯示於上述顯示裝置。
TW104137399A 2014-11-19 2015-11-12 Recipe ID management server, recipe ID management system, and terminal device TWI669745B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014234722A JP6133832B2 (ja) 2014-11-19 2014-11-19 レシピｉｄ管理サーバ、レシピｉｄ管理システム、および端末装置
JP2014-234722 2014-11-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201630039A TW201630039A (zh) 2016-08-16
TWI669745B true TWI669745B (zh) 2019-08-21

Family

ID=56013761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104137399A TWI669745B (zh) 2014-11-19 2015-11-12 Recipe ID management server, recipe ID management system, and terminal device

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20170301574A1 (zh)
JP (1) JP6133832B2 (zh)
KR (1) KR20170085507A (zh)
CN (1) CN106471601B (zh)
TW (1) TWI669745B (zh)
WO (1) WO2016080215A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7227588B2 (ja) * 2018-05-23 2023-02-22 ｉ Ｓｍａｒｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ株式会社 生産管理システム及び生産管理方法
JP2020204919A (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 オルガノプラントサービス株式会社 設備管理支援システム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04336410A (ja) * 1991-05-14 1992-11-24 Fujitsu Ltd 半導体製造装置制御システム
JPH09232201A (ja) * 1996-02-20 1997-09-05 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置のプロセス管理装置
JP2008258583A (ja) * 2007-03-12 2008-10-23 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4839101B2 (ja) * 2006-03-08 2011-12-21 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理条件検討方法及び記憶媒体
JP5077992B2 (ja) * 2006-11-06 2012-11-21 東京エレクトロン株式会社 サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム
US8510790B2 (en) * 2007-03-12 2013-08-13 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus
US7813828B2 (en) * 2007-04-02 2010-10-12 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing system and group management system
US8527080B2 (en) * 2008-10-02 2013-09-03 Applied Materials, Inc. Method and system for managing process jobs in a semiconductor fabrication facility
JP2010170368A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Seiko Instruments Inc 生産管理実行支援システム、生産管理実行支援方法、生産管理実行支援プログラムおよび生産管理実行支援プログラム記録媒体
US9542235B2 (en) * 2010-12-14 2017-01-10 Appsense, Limited Process-safe read/write locks

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04336410A (ja) * 1991-05-14 1992-11-24 Fujitsu Ltd 半導体製造装置制御システム
JPH09232201A (ja) * 1996-02-20 1997-09-05 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置のプロセス管理装置
JP2008258583A (ja) * 2007-03-12 2008-10-23 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106471601A (zh) 2017-03-01
TW201630039A (zh) 2016-08-16
KR20170085507A (ko) 2017-07-24
CN106471601B (zh) 2019-10-29
US20170301574A1 (en) 2017-10-19
JP2016100405A (ja) 2016-05-30
JP6133832B2 (ja) 2017-05-24
WO2016080215A1 (ja) 2016-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9202025B2 (en) Enterprise-specific functionality watermarking and management
JPWO2013011902A1 (ja) ライセンス管理装置、ライセンス管理システム、ライセンス管理方法、及びプログラム
JP2011128952A (ja) 情報処理装置およびプログラム
TWI669745B (zh) Recipe ID management server, recipe ID management system, and terminal device
US9672383B2 (en) Functionality watermarking and management
WO2016080268A1 (ja) 処理条件管理システムおよび生産システム
JP2006048527A (ja) ライセンス管理システム、ライセンス管理方法、ライセンス管理サーバ、及びライセンス管理ソフトウェア
JP5350644B2 (ja) データ管理システム、データ管理装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム
JP6391143B2 (ja) アクセス制御装置、情報共有システム、プログラム及びアクセス制御方法
JP2017216530A (ja) 情報処理装置、情報処理方法、情報処理プログラムおよび情報処理システム
JP2008186315A (ja) データの入出力制御方法
US9552463B2 (en) Functionality watermarking and management
JP4946726B2 (ja) 文書操作システムおよび管理装置およびプログラム
JP2019128867A (ja) 設計情報管理システム、設計情報管理方法およびプログラム
JP2009053771A (ja) 電子文書管理サーバ
JP2009157422A (ja) 操作制限情報管理システムおよびプログラム
US20230344633A1 (en) Information processing apparatus, information processing system, non-transitory computer readable medium, and information processing method
US20210294779A1 (en) Information processing apparatus and non-transitory computer readable medium
JP6536265B2 (ja) 画像送信装置
JP2007172021A (ja) ファイル操作装置、ファイル操作方法、およびプログラム
JP2010176281A (ja) 文書管理システム、その方法及びそのプログラム
JP2010152463A (ja) ポリシーサーバ、アクセス管理システム及びポリシー管理プログラム
JP2008077246A (ja) アクセス制御システム、およびアクセス制御方法
JP2015011562A (ja) 電子メール送信装置、電子メール送信システム、電子メール送信装置の制御方法、およびプログラム
JP2016167770A (ja) 情報処理装置及び情報処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees