KR20170085507A - 레시피 id 관리 서버, 레시피 id 관리 시스템, 그리고 단말 장치 - Google Patents

레시피 id 관리 서버, 레시피 id 관리 시스템, 그리고 단말 장치 Download PDF

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KR20170085507A
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

레시피 ID 관리 서버(20)는, 부분 ID 유지부(202), 레시피 ID 유지부(203), 부분 ID 송신부(205), 중복 판정부(206), 그리고 사용 가부 통지부(207)를 포함한다. 부분 ID 송신부(205)는, 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우, 부분 ID 유지부(202)로부터 레시피 ID의 일부인 부분 ID를 판독해서 단말 장치로 송신한다. 중복 판정부(206)는, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 유지되어 있는지의 여부를 판정한다. 사용 가부 통지부(207)는, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 유지되어 있지 않은 경우, 레시피 ID의 사용 허가를 단말 장치에 통지하고, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203)에 유지하게 한다.

Description

레시피 ID 관리 서버, 레시피 ID 관리 시스템, 그리고 단말 장치{RECIPE ID MANAGEMENT SERVER, RECIPE ID MANAGEMENT SYSTEM, AND TERMINAL DEVICE}
본 발명의 다양한 측면 및 실시형태는 레시피 ID 관리 서버, 레시피 ID 관리 시스템, 그리고 단말 장치에 관한 것이다.
집적 회로는 기판에 다양한 처리 공정을 적용함으로써 제조된다. 각각의 처리 공정은 다양한 처리 장치를 이용하여 다양한 처리 조건에서 실행된다. 처리 조건은 레시피라고 불린다. 레시피는, 예를 들면, 처리 장치에 대해 적용되는 설정이나 동작 지시를 정리해서 프로그램화한 데이터 세트(data set)이다. 레시피는 처리 장치에 구비된 레시피 편집 기능에 의해 작성 또는 편집될 수 있다. 또한, 처리 장치와는 다른 단말 장치 내의 레시피 편집 기능에 의해 레시피를 작성 또는 편집할 수도 있다. 처리 장치와는 다른 단말 장치에서 작성 또는 편집된 레시피는 네트워크를 통해 처리 장치에 다운로드됨으로써 처리 장치에 의해 실행된다. 각각의 레시피는 레시피 ID에 의해 식별된다.
집적 회로 등의 제품은 다수의 처리 공정을 거쳐 제조되며, 처리 공정의 수만큼 레시피가 존재한다. 또한, 제품의 종류가 상이하면 동일한 공정일지라도 레시피의 내용이 상이한 경우가 많다. 또한, 동일한 제품일지라도 개량이나 사양 변경 등에 의해 레시피가 변경될 경우가 있다. 이 때문에, 제품, 공정, 버전 등의 조합에 의해 다수의 레시피가 존재하므로, 각각의 처리 공정에서 올바른 레시피를 이용할 필요가 있다. 예를 들면, 로트 ID와 그 공정 내용이 생산 정보로서 올바른 경우에, 로트 ID에 대응하는 레시피 ID를 지시함으로써, 로트 ID에 대응하는 로트에 적절한 레시피를 적용하는 기술이 공지되어 있다(예를 들면, 다음의 특허문헌 1을 참조).
일본 공개특허공보 2012-133599호
그런데, 각각의 레시피는 레시피 ID에 의해 식별되지만, 레시피 ID가 레시피의 작성자에 의해 임의로 부여되면, 상이한 내용의 레시피에 대해서 중복되는 레시피 ID가 부여될 경우가 있다. 다른 내용의 레시피에 대해서 중복되는 레시피 ID가 부여되면, 처리 공정에 있어서, 적용될 레시피와는 상이한 내용의 레시피가 적용되게 되어 의도한 처리가 실현되지 않는다. 레시피 ID의 명명(命名) 규칙을 정하는 것도 생각되지만, 레시피의 작성자에 의해 명명 규칙이 준수되지 않을 가능성이 있다. 또한, 명명 규칙을 준수하였다고 하여도, 레시피 작성자의 인위적 실수에 의해 상이한 내용의 레시피에 대해 중복되는 레시피 ID가 부여될 경우도 있다.
개시하는 레시피 ID 관리 서버는, 기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID의 일부로서, 미리 정해진 명명 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 유지하는 부분 ID 유지부, 사용자가 조작하는 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 유지하는 레시피 ID 유지부, 상기 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 상기 부분 ID 유지부로부터 상기 부분 ID를 판독하고, 판독된 부분 ID를 상기 단말 장치로 송신하는 부분 ID 송신부, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 수신한 경우에, 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정하는 중복 판정부, 그리고 상기 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 유지되어 있지 않은 경우에, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 허가를 상기 단말 장치에 통지하며, 상기 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있을 경우에 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 상기 단말 장치에 통지하고, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 상기 레시피 ID 유지부에 유지하게 하는 사용 가부 통지부를 포함한다.
개시하는 레시피 ID 관리 서버의 하나의 측면에 따르면, 상이한 내용의 레시피에 동일한 레시피 ID가 부여되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 레시피 ID 관리 시스템의 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는 레시피 ID 관리 서버의 일례를 도시하는 블록도이다.
도 3은 사용자 정보 유지부가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다.
도 4는 권한 정보 유지부가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는 부분 ID 유지부가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다.
도 6은 레시피 ID 유지부가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다.
도 7은 단말 장치의 일례를 도시하는 블록도이다.
도 8은 레시피 ID의 작성 처리의 일례를 도시하는 도면이다.
도 9는 레시피의 열람 처리의 일례를 도시하는 도면이다.
도 10은 레시피의 복사 처리의 일례를 도시하는 도면이다.
도 11은 레시피의 삭제 처리의 일례를 도시하는 도면이다.
도 12는 레시피의 편집 처리의 일례를 도시하는 도면이다.
도 13은 레시피의 편집 처리의 일례를 도시하는 도면이다.
도 14는 레시피 ID 관리 서버 또는 단말 장치의 기능을 실현하는 컴퓨터의 일례를 도시하는 도면이다.
개시하는 하나의 실시형태에 따른 레시피 ID 관리 서버는, 부분 ID 유지부, 레시피 ID 유지부, 부분 ID 송신부, 중복 판정부, 그리고 사용 가부 통지부를 포함한다. 부분 ID 유지부는, 기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID의 일부로서, 미리 정해진 명명 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 유지한다. 레시피 ID 유지부는 사용자가 조작하는 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 유지한다. 부분 ID 송신부는, 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 부분 ID 유지부로부터 부분 ID를 판독하고, 판독된 부분 ID를 단말 장치로 송신한다. 중복 판정부는, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 수신한 경우에, 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정한다. 사용 가부 통지부는, 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부에 유지되어 있지 않은 경우에, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 허가를 단말 장치에 통지하며, 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있을 경우에, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 단말 장치에 통지하고, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 레시피 ID 유지부에 유지하게 한다.
또한, 개시하는 레시피 ID 관리 서버의 하나의 실시형태에 있어서, 사용 가부 통지부는, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID에, 부분 ID 송신부로부터 송신된 부분 ID의 어느 하나도 포함되어 있지 않은 경우에, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 단말 장치에 통지한다.
또한, 개시하는 레시피 ID 관리 서버의 하나의 실시형태에 있어서, 레시피 ID 유지부는 레시피 ID에 대응시켜서 로크 플래그를 유지한다. 또한, 개시하는 하나의 실시형태에 따른 레시피 ID 관리 서버는 권한 정보 유지부, 편집 가부 판정부, 로크 판정부, 그리고 레시피 관리부를 포함한다. 권한 정보 유지부는 각각의 사용자를 식별하는 사용자 ID에 대응시켜서 각각의 레시피 ID로 식별되는 레시피에 대하여 그 사용자에게 허가되어 있는 조작을 나타내는 권한 정보를 유지한다. 편집 가부 판정부는, 레시피 ID 및 사용자 ID를 포함하는 편집 요구를 단말 장치로부터 수신한 경우에, 권한 정보 유지부를 참조하여, 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응된 권한 정보에, 그 사용자 ID로 식별되는 사용자에게 허가되어 있는 조작으로서, 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 포함되어 있는지를 판정한다. 로크 판정부는, 레시피 ID 및 사용자 ID를 포함하는 편집 요구를 단말 장치로부터 수신한 경우에, 레시피 ID 유지부를 참조하여, 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응된 로크 플래그가 로크 상태 또는 비로크 상태 중 어느 쪽을 나타내는지를 판정한다. 레시피 관리부는, 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID로 식별되는 사용자에게 허가되어 있는 조작으로서, 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 포함되며 또한 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응된 로크 플래그가 비로크 상태를 나타내는 경우에, 단말 장치에 편집 요구에 포함되는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집 허가를 통지하고, 레시피 ID 유지부 내의 로크 플래그를 로크 상태로 변경하며, 로크 상태의 레시피의 편집이 종료된 경우에, 편집이 종료된 레시피의 로크 플래그를 비로크 상태로 되돌린다.
또한, 개시하는 하나의 실시형태에 따른 레시피 ID 관리 서버는 사용자 ID마다 사용자 ID로 식별되는 사용자가 속하는 그룹을 식별하는 그룹 ID를 유지하는 그룹 정보 유지부를 포함한다. 또한, 개시하는 레시피 ID 관리 서버의 하나의 실시형태에 있어서, 부분 ID 유지부는 부분 ID에 대응시켜서 그룹 ID를 더 유지한다. 또한, 부분 ID 요구에는 사용자 ID가 포함된다. 또한, 부분 ID 송신부는, 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우에 그룹 정보 유지부를 참조하여, 부분 ID 요구에 포함된 사용자 ID에 대응된 그룹 ID를 특정하고, 특정된 그룹 ID에 대응된 부분 ID를 부분 ID 유지부로부터 판독하며, 판독된 부분 ID를 단말 장치로 송신한다.
또한, 개시하는 레시피 ID 관리 서버의 하나의 실시형태에 있어서, 부분 ID에는 그 부분 ID를 포함하는 레시피 ID로 식별되는 레시피에 기초하는 처리에 의해 제조되는 제품에 관한 정보 또는 그 레시피가 이용되는 공정에 관한 정보 중 적어도 어느 하나가 포함된다.
또한, 개시하는 하나의 실시형태에 따른 레시피 ID 관리 시스템은, 기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID를 관리하는 레시피 ID 관리 서버와 사용자가 조작하는 단말 장치를 포함한다. 레시피 ID 관리 서버는, 부분 ID 유지부, 레시피 ID 유지부, 부분 ID 송신부, 중복 판정부, 그리고 사용 가부 통지부를 포함한다. 부분 ID 유지부는 레시피 ID의 일부로서 미리 정해진 명명 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 유지한다. 레시피 ID 유지부는 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 유지한다. 부분 ID 송신부는, 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 부분 ID 유지부로부터 부분 ID를 판독하고, 판독된 부분 ID를 단말 장치로 송신한다. 중복 판정부는, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 수신한 경우에, 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정한다. 사용 가부 통지부는, 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부에 유지되어 있지 않은 경우, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 허가를 단말 장치에 통지하며, 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는 경우, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 단말 장치에 통지하고, 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 레시피 ID 유지부에 유지하게 한다. 단말 장치는, 부분 ID 요구부, 부분 ID 표시부, 레시피 ID 작성부, 그리고 사용 가부 표시부를 포함한다. 부분 ID 요구부는 사용자로부터의 요구에 따라, 부분 ID 요구를 레시피 ID 관리 서버로 송신한다. 부분 ID 표시부는, 레시피 ID 관리 서버로부터 부분 ID를 수신한 경우에, 수신된 부분 ID를 표시 장치에 표시하게 한다. 레시피 ID 작성부는 레시피 ID 관리 서버로부터 수신된 부분 ID에, 사용자로부터 접수된 정보를 부가해서 레시피 ID를 작성하고, 작성된 레시피 ID를 레시피 ID 관리 서버로 송신한다. 사용 가부 표시부는, 레시피 ID 작성부에 의해 작성된 레시피 ID에 대한 사용 가부를 나타내는 정보를 레시피 ID 관리 서버로부터 수신한 경우에, 수신된 사용 가부를 나타내는 정보를 표시 장치에 표시하게 한다.
또한, 개시하는 하나의 실시형태에 따른 단말 장치는, 부분 ID 요구부, 레시피 ID 작성부, 그리고 사용 가부 표시부를 포함한다. 부분 ID 요구부는 사용자로부터의 요구에 따라, 부분 ID 요구를 레시피 ID 관리 서버로 송신한다. 부분 ID 표시부는, 기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID의 일부로서, 미리 정해진 명명 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 레시피 ID 관리 서버로부터 수신한 경우에, 수신된 부분 ID를 표시 장치에 표시하게 한다. 레시피 ID 작성부는 레시피 ID 관리 서버로부터 수신된 부분 ID에, 사용자로부터 접수된 정보를 부가해서 레시피 ID를 작성하고, 작성된 레시피 ID를 레시피 ID 관리 서버로 송신한다. 사용 가부 표시부는, 레시피 ID 작성부에 의해 작성된 레시피 ID에 대한 사용 가부를 나타내는 정보를 레시피 ID 관리 서버로부터 수신한 경우에, 수신된 사용 가부를 나타내는 정보를 표시 장치에 표시하게 한다.
이하에, 개시하는 레시피 ID 관리 서버, 레시피 ID 관리 시스템, 그리고 단말 장치의 실시형태에 대해 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명이 이하의 실시형태에 의해 한정되는 것은 아니다. 각 실시형태는 처리 내용을 모순시키지 않는 범위에서 적당히 조합시키는 것이 가능하다.
(실시형태)
[레시피 ID 관리 시스템(10)]
도 1은 레시피 ID 관리 시스템(10)의 일례를 도시하는 도면이다. 본 실시형태에 따른 레시피 ID 관리 시스템(10)은 복수의 기판 처리 장치(12), 레시피 ID 관리 서버(20), 그리고 복수의 단말 장치(30)를 포함한다. 각각의 기판 처리 장치(12), 레시피 ID 관리 서버(20), 그리고 각각의 단말 장치(30)는 LAN 등의 네트워크(11)에 접속되어 있다.
각각의 기판 처리 장치(12)는 설정된 레시피에 기초하여 기판에 대하여 성막(成膜), 에칭, 개질(改質) 등의 처리를 수행하는 장치이다. 본 실시형태에 있어서, 레시피는, 예를 들면 기판 처리 장치(12)에 대하여 적용되는 설정이나 동작 지시를 정리해서 프로그램화한 데이터 세트이다. 레시피는 집적 회로 등의 제품의 종류, 로트, 처리 공정, 기판 처리 장치(12)의 기종 등에 따라 내용이 상이한 경우가 많다. 이 때문에, 각각의 레시피는 적용되는 제품의 종류, 로트, 처리 공정, 기판 처리 장치(12)의 기종 등에 따라 구별된다. 각각의 레시피는 레시피 ID에 의해 식별된다. 레시피 ID는, 예를 들면 레시피의 데이터를 포함하는 파일에 대해 그 파일의 파일명으로서 설정된다.
각각의 단말 장치(30)는 사용자로부터의 조작에 따라 레시피 ID의 작성, 레시피의 작성 및 편집 등의 처리를 수행한다. 각각의 단말 장치(30)는, 예를 들면 범용의 컴퓨터 등에 의해 실현될 수 있다. 단말 장치(30)에 의해 작성된 레시피는 네트워크(11)를 통해서 기판 처리 장치(12) 내의 메모리에 다운로드된다. 그리고, 기판 처리 장치(12)는 메모리 내에 보존된 레시피에 기초하여 기판에 처리를 실시한다. 또한, 각각의 기판 처리 장치(12)에도 각각의 단말 장치(30)와 마찬가지로 레시피 ID의 작성, 레시피의 작성 및 편집 등의 처리를 수행하는 기능이 설치되어 있어도 된다. 이하의 기재에 있어서, 단말 장치(30)는 기판 처리 장치(12)에 설치된 레시피 ID의 작성, 레시피의 작성 및 편집 등의 처리를 수행하는 기능부를 포함해도 된다.
레시피 ID 관리 서버(20)는, 각각의 단말 장치(30)에 의해 작성된 레시피의 레시피 ID가 이미 등록되어 있는 레시피 ID와 중복되는지의 여부를 관리하고, 작성된 레시피의 레시피 ID가 고유한 경우에 그 레시피 ID의 사용을 허가한다. 이에 따라, 레시피 ID 관리 서버(20)는 상이한 내용의 레시피에 동일한 레시피 ID가 할당되는 것을 방지한다.
또한, 레시피 ID 관리 서버(20)는 레시피의 복사를 관리하고 동일 내용의 레시피에 대해서는 동일한 레시피 ID의 할당을 허용한다. 그리고, 동일한 레시피 ID가 할당된 동일내용의 복수의 레시피 중에서 하나의 레시피의 내용이 변경되었을 경우, 레시피 ID 관리 서버(20)는 변경된 레시피의 내용을 동일한 레시피 ID가 할당된 다른 레시피에 반영시키거나 또는 내용이 변경된 레시피의 레시피 ID를 다른 레시피 ID로 변경한다. 이에 따라, 레시피 ID 관리 서버(20)는 상이한 내용의 레시피에 동일한 레시피 ID가 할당되는 것을 방지한다.
[레시피 ID 관리 서버(20)]
도 2는 레시피 ID 관리 서버(20)의 일례를 도시하는 블록도이다. 레시피 ID 관리 서버(20)는 사용자 정보 유지부(200), 권한 정보 유지부(201), 부분 ID 유지부(202), 레시피 ID 유지부(203), 인증부(204), 부분 ID 송신부(205), 중복 판정부(206), 사용 가부 통지부(207), 로크 판정부(208) , 그리고 레시피 관리부(209)를 포함한다.
도 3은 사용자 정보 유지부(200)가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다. 사용자 정보 유지부(200)는, 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이, 각각의 사용자를 식별하는 사용자 ID(2000)에 대응시켜서 패스워드(2001) 및 그룹 ID(2002)를 유지한다. 그룹 ID(2002)는 사용자 ID(2000)로 식별되는 사용자가 속하는 그룹의 식별 정보이다.
본 실시형태에서는, 그룹마다, 담당하는 제품이나 공정 등이 나누어져 있다. 이 때문에, 사용자가 어느 그룹에 속할지에 따라 그 사용자가 담당 가능한 제품이나 공정 등의 범위가 달라진다. 또한, 담당 가능한 제품이나 공정 등의 범위는 그룹 간에 일부 중복되어도 된다. 또한, 사용자 정보 유지부(200)가 유지하는 정보는, 예를 들면 레시피 ID 관리 시스템(10)의 관리자 등에 의해 미리 사용자 정보 유지부(200)에 등록된다.
도 4는 권한 정보 유지부(201)가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다. 권한 정보 유지부(201)는, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이, 사용자 ID(2010)에 대응시켜서 권한 정보 테이블(2011)을 유지한다. 각각의 권한 정보 테이블(2011)에는 레시피 ID(2012)에 대응하여 권한 정보(2013)가 저장된다. 권한 정보(2013)에는, 대응된 레시피 ID(2012)로 식별되는 레시피에 대하여 사용자 ID(2010)로 식별되는 사용자에게 허가되어 있는 조작의 정보가 포함된다.
레시피에 대한 조작에는, 예를 들면, 레시피의 열람, 복사, 편집, 그리고 삭제 등이 포함된다. 도 4에 예시한 권한 정보(2013)에서는, 레시피에 대하여 허가되어 있는 조작에, 예를 들면 1이 대응되며, 레시피에 대하여 허가되어 있지 않은 조작에, 예를 들면 0이 대응되어 있다. 권한 정보 유지부(201)가 유지하는 정보의 일부는 레시피 관리부(209)에 의해 등록된다. 또한, 권한 정보 유지부(201)가 유지하는 정보는, 예를 들면 레시피 ID 관리 시스템(10)의 관리자 등에 의해 등록된다.
도 5는 부분 ID 유지부(202)가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다. 부분 ID 유지부(202)는, 예를 들면 도 5에 나타내는 바와 같이, 각각의 제품을 식별하는 제품 ID(2020) 및 각각의 처리 공정을 식별하는 공정 ID(2021)의 조합에 대응시켜서 그룹 ID(2022) 및 부분 ID(2023)를 유지한다. 부분 ID(2023)는 제품 ID(2020)로 식별되는 제품에 대하여 공정 ID(2021)로 식별되는 처리 공정에서 적용되는 레시피의 레시피 ID에 포함되는 정보의 일부이다.
부분 ID(2023)는 미리 정해진 레시피 ID의 명명 규칙에 따라 작성된 레시피 ID의 일부이다. 본 실시형태에 따른 레시피 ID의 명명 규칙은, 예를 들면 제품 ID(2020)의 적어도 일부의 정보 및 공정 ID(2021)의 적어도 일부의 정보가 레시피 ID에 포함된다고 하는 규칙이다. 도 5에 예시한 부분 ID(2023)에는 제품 ID(2020)와 공정 ID(2021)의 일부가 포함되어 있다. 부분 ID 유지부(202)가 유지하는 정보는, 예를 들면 레시피 ID 관리 시스템(10)의 관리자 등에 의해 미리 부분 ID 유지부(202)에 등록된다.
도 6은 레시피 ID 유지부(203)가 유지하는 데이터의 일례를 도시하는 도면이다. 레시피 ID 유지부(203)는, 예를 들면 도 6에 나타내는 바와 같이, 레시피 ID(2030)에 대응시켜서 로크 플래그(2031) 및 보존 장소(2032)를 유지한다. 로크 플래그(2031)에는, 레시피 ID(2030)로 식별되는 레시피가 편집중일 경우에 로크 상태를 나타내는 값인, 예를 들면, 1이 등록되며, 그 레시피가 편집중이 아닐 경우에 비로크 상태를 나타내는 값인, 예를 들면, 0이 등록된다. 보존 장소(2032)는 레시피 ID(2030)로 식별되는 레시피가 보존되어 있는 장소를 나타내는 정보이다. 레시피 ID(2030)로 식별되는 레시피가 복사되었을 경우, 보존 장소(2032)에는 복수의 장소 정보가 저장된다.
도 2를 다시 참조하여 설명을 계속한다. 인증부(204)는 네트워크(11)를 통해서 단말 장치(30)로부터 사용자 ID와 패스워드를 포함하는 제1 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 제1 부분 ID 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 패스워드를 사용자 정보 유지부(200)로부터 추출한다. 그리고, 인증부(204)는 사용자 정보 유지부(200)로부터 추출된 패스워드와 제1 부분 ID 요구에 포함되어 있는 패스워드가 일치하는지의 여부를 판정함으로써, 제1 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다.
사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 제1 부분 ID 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 그룹 ID를 사용자 정보 유지부(200)로부터 추출한다. 그리고, 인증부(204)는 추출된 그룹 ID를 제1 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 정보와 함께 부분 ID 송신부(205)로 보낸다.
또한, 인증부(204)는 네트워크(11)를 통해서 단말 장치(30)로부터 사용자 ID, 패스워드, 및 레시피 ID를 포함하는 열람 요구를 수신한 경우에, 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 열람 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 열람 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다. 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 열람 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 열람이 허가되어 있는지의 여부를 판정한다.
열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 열람이 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다. 레시피 ID에 보존 장소의 정보가 복수 대응되어 있는 경우, 인증부(204)는 그 중의 1개를 추출하여도 되고, 전부를 추출하여도 된다. 그리고, 인증부(204)는 추출된 보존 장소의 정보를 포함하는 레시피 정보를 열람 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
또한, 인증부(204)는 네트워크(11)를 통해서 단말 장치(30)로부터 사용자 ID, 패스워드, 및 레시피 ID를 포함하는 복사 요구를 수신한 경우에, 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 복사 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 복사 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다. 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 복사 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 복사가 허가되어 있는지의 여부를 판정한다.
복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 복사가 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다. 그리고, 인증부(204)는 추출된 보존 장소의 정보를 포함하는 레시피 정보를 복사 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
또한, 인증부(204)는 네트워크(11)를 통해서 단말 장치(30)로부터 사용자 ID, 패스워드, 및 레시피 ID를 포함하는 삭제 요구를 수신한 경우에, 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 삭제 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 삭제 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다. 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 삭제 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 삭제가 허가되어 있는지의 여부를 판정한다.
삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 삭제가 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다. 그리고, 인증부(204)는 추출된 보존 장소의 정보를 포함하는 레시피 정보를 삭제 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
또한, 인증부(204)는 네트워크(11)를 통해서 단말 장치(30)로부터 사용자 ID, 패스워드, 및 레시피 ID를 포함하는 편집 요구를 수신한 경우에, 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다. 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 허가되어 있는지의 여부를 판정한다. 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID를 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 정보와 함께 로크 판정부(208)로 보낸다.
부분 ID 송신부(205)는 인증부(204) 또는 레시피 관리부(209)로부터 그룹 ID를 수신한 경우에, 그룹 ID에 대응된 부분 ID를 부분 ID 유지부(202)로부터 추출한다. 그룹 ID에 대응된 부분 ID가 부분 ID 유지부(202) 내에 복수개 존재할 경우, 부분 ID 송신부(205)는 복수의 부분 ID를 부분 ID 유지부(202)로부터 추출한다.
그리고, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID 유지부(202)로부터 추출된 부분 ID가 포함되는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다. 그룹 ID를 인증부(204)로부터 수신한 경우, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID 유지부(202)로부터 추출된 부분 ID와 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출된 레시피 ID를 포함하는 부분 ID 통지를 제1 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다. 한편, 그룹 ID를 레시피 관리부(209)로부터 수신한 경우, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID 유지부(202)로부터 추출된 부분 ID와 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출된 레시피 ID를 포함하는 부분 ID 통지를, 후술하는 제2 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다. 그리고, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID 유지부(202)로부터 추출된 부분 ID를 중복 판정부(206)로 보낸다.
중복 판정부(206)는 단말 장치(30)로부터 레시피 ID를 포함하는 판정 요구를 수신한 경우에, 레시피 ID 유지부(203)를 참조하여, 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에, 부분 ID 송신부(205)로부터 수신된 어느 부분 ID가 포함되어 있는지의 여부 및 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정한다. 그리고, 중복 판정부(206)는 판정 결과를 사용 가부 통지부(207)로 보낸다.
사용 가부 통지부(207)는, 중복 판정부(206)에 의해, 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에, 부분 ID 송신부(205)로부터 수신된 어느 부분 ID도 포함되어 있지 않다고 판정되었을 경우 또는 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 이미 유지되어 있다고 판정되었을 경우, 그 레시피 ID의 사용 불허가를 나타내는 정보를 포함하는 판정 통지를 판정 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다. 이에 따라, 사용 가부 통지부(207)는 미리 정해진 레시피 ID의 명명 규칙을 따르지 않는 부분 ID를 포함하는 레시피의 사용을 방지하고, 이미 사용되고 있는 레시피 ID와 중복되는 레시피 ID의 사용을 방지할 수 있다.
한편, 중복 판정부(206)에 의해, 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에, 부분 ID 송신부(205)로부터 수신된 어느 부분 ID가 포함되어 있으며, 또한 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 유지되어 있지 않다고 판정되었을 경우, 사용 가부 통지부(207)는 그 레시피 ID와 사용 허가를 나타내는 정보를 포함하는 판정 통지를 판정 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다. 그리고, 사용 가부 통지부(207)는 판정 요구에 포함되어 있던 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203)에 유지하게 한다. 이 때, 레시피 ID에 대응된 로크 플래그에는 비로크 상태를 나타내는 0이 저장되며, 보존 장소는 공란 그대로다.
로크 판정부(208)는 편집 요구에 포함된 레시피 ID와 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 정보를 인증부(204)로부터 수신한 경우에, 레시피 ID 유지부(203)를 참조하여 그 레시피 ID에 대응된 로크 플래그의 값이 로크 상태를 나타내는 값인지 또는 비로크 상태를 나타내는 값인지를 판정한다. 로크 플래그의 값이 로크 상태를 나타내는 값일 경우, 로크 판정부(208)는 로크중에 있음을 나타내는 정보를 포함하는 에러 통지를 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다. 한편, 로크 플래그의 값이 비로크 상태를 나타내는 값일 경우, 로크 판정부(208)는 편집 요구에 포함된 레시피 ID를 레시피 관리부(209)로 보낸다.
레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 레시피 ID, 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보, 및 사용자 ID를 포함하는 작성 완료 통지를 수신한 경우에, 작성 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응시켜서 작성 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보를 레시피 ID 유지부(203)에 등록한다.
그리고, 레시피 관리부(209)는 작성 완료 통지에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 권한 정보 테이블 내에 작성 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 등록하고, 그 레시피 ID에, 그 레시피 ID로 식별되는 레시피에 대한, 예를 들면 모든 조작을 허가한다는 취지의 권한 정보를 대응시킨다.
또한, 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 레시피 ID와 복사된 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보를 포함하는 복사 완료 통지를 수신한 경우에, 복사 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보에, 복사 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보를 추가한다.
또한, 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 레시피 ID와 삭제된 레시피가 보존되어 있던 장소를 나타내는 정보를 포함하는 삭제 완료 통지를 수신한 경우에, 삭제 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보 중에서, 삭제 완료 통지에 포함되어 있는 장소를 나타내는 정보를 삭제한다. 또한, 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소가 삭제 완료 통지에 포함되어 있는 장소의 정보만일 경우, 레시피 관리부(209)는 삭제 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 포함하는 항목을 레시피 ID 유지부(203)로부터 삭제한다.
또한, 레시피 관리부(209)는 로크 판정부(208)로부터 편집이 허가된 레시피의 레시피 ID를 수신한 경우, 그 레시피 ID에 대응된 보존 장소를 나타내는 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 추출된 보존 장소를 나타내는 정보를 포함하는 편집 허가를 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 레시피 ID 유지부(203)를 참조하여, 로크 판정부(208)로부터 수신된 레시피 ID에 대응되어 있는 로크 플래그의 값을 로크 상태를 나타내는 값으로 변경한다.
또한, 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 레시피 ID와 보존 장소를 나타내는 정보를 포함하는 편집 완료 통지를 수신한 경우에, 편집 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 로크 플래그의 값을 비로크 상태를 나타내는 값으로 되돌린다.
그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보 중에, 편집 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소 이외의 장소의 정보가 포함되어 있을 경우에, 편집 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 편집후의 레시피를 취득한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 취득된 레시피로, 편집 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 할당되어 있는 다른 레시피를 겹쳐써서 보존한다. 이에 따라, 동일한 레시피 ID가 할당되어 있는 복수의 레시피 중의 하나가 편집되었을 경우, 레시피 관리부(209)는 동일한 레시피 ID가 할당되어 있는 나머지 레시피의 내용을 편집된 레시피와 동일한 내용으로 변경할 수 있다. 이에 따라, 레시피 관리부(209)는 내용이 상이한 레시피에 동일한 레시피 ID가 할당되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 레시피 관리부(209)는 편집전의 레시피의 레시피 ID와 사용자 ID를 포함하는 제2 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 제2 부분 ID 요구에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 로크 플래그의 값을 비로크 상태를 나타내는 값으로 되돌린다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 제2 부분 ID 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 그룹 ID를 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 그룹 ID를 제2 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 정보와 함께 부분 ID 송신부(205)로 보낸다.
또한, 레시피 관리부(209)는 레시피 ID, 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보, 및 사용자 ID를 포함하는 보존 완료 통지를 수신한 경우에, 보존 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203)에 등록한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 그 레시피 ID에 대응된 로크 플래그에, 비로크 상태를 나타내는 값을 설정하고, 그 레시피 ID에 대응된 보존 장소의 정보에, 보존 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소의 정보를 등록한다.
그리고, 레시피 관리부(209)는 보존 완료 통지에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 권한 정보 테이블 내에 보존 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 등록하고, 그 레시피 ID에, 그 레시피 ID로 식별되는 레시피에 대한, 예를 들면 모든 조작을 허가한다는 취지의 권한 정보를 대응시킨다.
[단말 장치(30)]
도 7은 단말 장치(30)의 일례를 도시하는 블록도이다. 본 실시형태에 따른 단말 장치(30)는, 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이, 부분 ID 요구부(31), 부분 ID 표시부(32), 레시피 ID 작성부(33), 사용 가부 표시부(34), 그리고 레시피 조작부(35)를 포함한다.
부분 ID 요구부(31)는 키보드나 마우스 등의 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라, 그 사용자의 사용자 ID와 패스워드를 포함하는 제1 부분 ID 요구를 작성한다. 그리고, 부분 ID 요구부(31)는 작성된 제1 부분 ID 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
부분 ID 표시부(32)는 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 부분 ID와 이미 등록되어 있는 레시피 ID를 포함하는 부분 ID 통지를 수신한 경우에, 수신된 부분 ID와 이미 등록되어 있는 레시피 ID를 액정 디스플레이 등의 표시 장치(37)에 표시하게 한다. 이에 따라, 단말 장치(30)에서는, 미리 정해진 레시피 ID의 명명 규칙에 따른 레시피 ID로서 이미 사용되고 있는 레시피 ID의 어느 것과도 중복되지 않는 레시피 ID를 작성하는 것이 가능하다. 사용자는 표시된 부분 ID를 포함하며 또한 이미 등록되어 있는 레시피 ID와는 상이한 레시피 ID를 용이하게 작성할 수 있다.
레시피 ID 작성부(33)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 부분 ID에, 사용자로부터 입력된 문자, 기호, 숫자 등의 적어도 어느 하나를 부가해서 레시피 ID를 작성한다. 그리고, 레시피 ID 작성부(33)는 작성된 레시피 ID를 포함하는 판정 요구를 작성하고, 작성된 판정 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
사용 가부 표시부(34)는 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 판정 통지를 수신한 경우에, 판정 통지의 내용을 표시 장치(37)에 표시하게 한다. 작성된 레시피 ID의 사용이 허가되었을 경우, 판정 통지에는 사용 허가를 나타내는 정보와 사용이 허가된 레시피 ID가 포함된다. 사용 가부 표시부(34)는 판정 통지에, 사용 허가를 나타내는 정보와 사용이 허가된 레시피 ID가 포함되어 있을 경우, 사용이 허가된 레시피 ID를 레시피 조작부(35)로 보낸다.
레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라, 레시피에 대하여 열람, 복사, 삭제, 또는 편집의 조작을 수행한다. 레시피 조작부(35)는 사용 가부 표시부(34)로부터 사용이 허가된 레시피 ID를 수신한 경우, 그 레시피 ID로 식별되는 레시피의 작성을 시작한다. 그리고, 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라 레시피의 작성을 종료하고 작성된 레시피를 보존한 경우, 레시피 조작부(35)는 작성된 레시피의 레시피 ID, 작성된 레시피의 보존 장소의 정보, 및 사용자의 사용자 ID를 포함하는 작성 완료 통지를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
또한, 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통해서 사용자로부터 레시피의 열람을 지시받은 경우에, 열람 대상 레시피의 레시피 ID, 사용자의 사용자 ID, 및 패스워드를 포함하는 열람 요구를 작성하고, 작성된 열람 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다. 그리고, 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 레시피 정보를 수신한 경우, 레시피 조작부(35)는 레시피 정보에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 열람 대상 레시피를 취득하고, 취득된한 레시피를 표시 장치(37)에 표시하게 한다.
또한, 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통해서 사용자로부터 레시피의 복사를 지시받은 경우에, 복사 대상 레시피의 레시피 ID, 사용자의 사용자 ID, 및 패스워드를 포함하는 복사 요구를 작성하고, 작성된 복사 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다. 그리고, 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 레시피 정보를 수신한 경우, 레시피 조작부(35)는 레시피 정보에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 복사 대상 레시피를 취득한다. 그리고, 레시피 조작부(35)는 취득된 레시피의 복사본을 작성하고, 작성된 레시피의 복사본을 사용자에 의해 지시된 장소에 보존한다. 그리고, 레시피 조작부(35)는 복사된 레시피의 레시피 ID와 복사된 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보를 포함하는 복사 완료 통지를 작성하고, 작성된 복사 완료 통지를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
또한, 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통해서 사용자로부터 레시피의 삭제를 지시받은 경우에, 삭제 대상 레시피의 레시피 ID, 사용자의 사용자 ID, 및 패스워드를 포함하는 삭제 요구를 작성하고, 작성된 삭제 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다. 그리고, 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 레시피 정보를 수신한 경우, 레시피 조작부(35)는 레시피 정보에 포함된 보존 장소의 정보로 특정되는 장소에서 삭제 대상 레시피를 삭제한다. 그리고, 레시피 조작부(35)는 삭제된 레시피의 레시피 ID와 삭제된 레시피가 보존되어 있던 장소를 나타내는 정보를 포함하는 삭제 완료 통지를 작성하고, 작성된 삭제 완료 통지를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
또한, 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통해서 사용자로부터 레시피의 편집을 지시받은 경우에, 편집 대상 레시피의 레시피 ID, 사용자의 사용자 ID, 및 패스워드를 포함하는 편집 요구를 작성하고, 작성된 편집 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다. 그리고, 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 편집 허가를 수신한 경우, 레시피 조작부(35)는 편집 허가에 포함된 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 편집 대상 레시피를 취득한다. 그리고, 레시피 조작부(35)는 취득된 레시피를 표시 장치(37)에 표시하게 하고, 취득된 레시피의 편집을 시작한다.
그리고, 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라 레시피의 편집이 종료된 경우, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피의 보존 방법을 사용자에게 문의한다. 본 실시형태에 있어서, 편집된 레시피의 보존 방법에는, 예를 들면, 편집된 레시피를 편집전의 레시피에 겹쳐써서 보존하는 방법과 편집된 레시피에 다른 레시피 ID를 할당하여 다른 레시피로서 보존하는 방법이 있다.
편집된 레시피를 겹쳐써서 보존할 경우, 레시피 조작부(35)는 편집 허가에 포함된 보존 장소의 정보로 특정되는 장소에 보존되어 있는 레시피를 편집된 레시피로 겹쳐써서 보존한다. 그리고, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피의 레시피 ID와 겹쳐써서 보존된 레시피의 보존 장소의 정보를 포함하는 편집 완료 통지를 작성하고, 작성된 편집 완료 통지를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
한편, 편집된 레시피에 다른 레시피 ID를 할당해서 보존할 경우, 레시피 조작부(35)는 사용자의 사용자 ID와 편집전의 레시피의 레시피 ID를 포함하는 제2 부분 ID 요구를 작성하고, 작성된 제2 부분 ID 요구를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다. 그리고, 사용 가부 표시부(34)로부터 사용이 허가된 레시피 ID를 수신한 경우, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피에 사용 가부 표시부(34)로부터 수신된 레시피 ID를 할당하여 편집된 레시피를 보존한다. 그리고, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보와 편집된 레시피에 할당된 레시피 ID를 포함하는 보존 완료 통지를 작성하고, 작성된 보존 완료 통지를 네트워크(11)를 통해서 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다.
[레시피 ID의 작성 처리]
도 8은 레시피 ID의 작성 처리의 일례를 도시하는 도면이다. 우선, 단말 장치(30)의 부분 ID 요구부(31)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라, 그 사용자의 사용자 ID와 패스워드를 포함하는 제1 부분 ID 요구를 작성하고, 작성된 제1 부분 ID 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S100).
레시피 ID 관리 서버(20)의 인증부(204)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 제1 부분 ID 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 제1 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다(S101). 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 제1 부분 ID 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 그룹 ID를 사용자 정보 유지부(200)로부터 추출한다(S102). 그리고, 인증부(204)는 추출된 그룹 ID를 부분 ID 송신부(205)로 보낸다. 또한, 사용자의 인증에 실패한 경우, 인증부(204)는 인증에 실패한 취지를 나타내는 정보를 포함하는 에러 통지를 제1 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
다음에, 부분 ID 송신부(205)는 인증부(204)로부터 수신된 그룹 ID에 대응된 부분 ID를 부분 ID 유지부(202)로부터 추출한다(S103). 그리고, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID 유지부(202)로부터 추출된 부분 ID가 포함되는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다(S104). 그리고, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID 유지부(202)로부터 추출된 부분 ID와 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출된 레시피 ID를 포함하는 부분 ID 통지를 제1 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다(S105).
단말 장치(30)의 부분 ID 표시부(32)는 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 부분 ID 통지에 포함되어 있는 부분 ID 및 레시피 ID를 표시 장치(37)에 표시하게 한다(S106). 그리고, 레시피 ID 작성부(33)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라, 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 부분 ID에, 사용자로부터 입력된 문자, 기호, 숫자 등을 부가해서 레시피 ID를 작성한다(S107). 그리고, 레시피 ID 작성부(33)는 작성된 레시피 ID를 포함하는 판정 요구를 작성하고, 작성된 판정 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S108).
레시피 ID 관리 서버(20)의 중복 판정부(206)는 레시피 ID 유지부(203)를 참조하여, 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에, 부분 ID 송신부(205)로부터 수신된 어느 부분 ID가 포함되어 있는지의 여부 및 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정하는 중복 판정을 수행한다(S109). 그리고, 중복 판정부(206)는 판정 결과를 사용 가부 통지부(207)로 보낸다.
다음에, 사용 가부 통지부(207)는, 중복 판정부(206)에 의해, 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에, 부분 ID 송신부(205)로부터 수신된 어느 부분 ID가 포함되어 있으며, 또한 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 유지되어 있지 않다고 판정되었을 경우에, 그 레시피 ID와 사용 허가를 나타내는 정보를 포함하는 판정 통지를 판정 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다(S110). 그리고, 사용 가부 통지부(207)는 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203)에 유지하게 한다(S111).
또한, 중복 판정부(206)에 의해, 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에, 부분 ID 송신부(205)로부터 수신된 어느 부분 ID도 포함되어 있지 않다고 판정되었을 경우 또는 판정 요구에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 레시피 ID 유지부(203)에 이미 유지되어 있다고 판정되었을 경우, 사용 가부 통지부(207)는 그 레시피 ID의 사용 불허가를 나타내는 정보를 포함하는 판정 통지를 판정 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
단말 장치(30)의 사용 가부 표시부(34)는 단말 장치(30)로부터 수신된 판정 통지의 내용을 표시 장치(37)에 표시하게 한다(S112). 판정 통지에, 사용 허가를 나타내는 정보와, 사용이 허가된 레시피 ID가 포함되어 있을 경우, 사용 가부 표시부(34)는 사용이 허가된 레시피 ID를 레시피 조작부(35)로 보낸다. 레시피 조작부(35)는 사용 가부 표시부(34)로부터 수신된 레시피 ID로 식별되는 레시피의 작성을 시작한다(S113).
그리고, 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라 레시피의 작성이 종료된 경우, 작성된 레시피를 보존한다(S114). 그리고, 레시피 조작부(35)는 작성된 레시피의 레시피 ID, 작성된 레시피의 보존 장소의 정보, 및 사용자의 사용자 ID를 포함하는 작성 완료 통지를 작성하고, 작성된 작성 완료 통지를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S115).
레시피 ID 관리 서버(20)의 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 수신된 작성 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응시켜서 작성 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보를 레시피 ID 유지부(203)에 등록한다(S116).
다음에, 레시피 관리부(209)는 작성 완료 통지에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 권한 정보 테이블 내에, 작성 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 등록하고, 그 레시피 ID에, 그 레시피 ID로 식별되는 레시피에 대한, 예를 들면 모든 조작을 허가한다는 취지의 권한 정보를 대응시킨다(S117).
[레시피의 열람 처리]
도 9는 레시피의 열람 처리의 일례를 도시하는 도면이다. 우선, 단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 열람 지시에 따라, 그 사용자의 사용자 ID, 패스워드, 및 열람 대상 레시피의 레시피 ID를 포함하는 열람 요구를 작성하고, 작성된 열람 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S200).
레시피 ID 관리 서버(20)의 인증부(204)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 단말 장치(30)로부터 수신된 열람 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 열람 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다(S201). 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 열람 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 열람이 허가되어 있는지의 여부를 판정한다(S202).
열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 열람이 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다(S203). 그리고, 인증부(204)는 추출된 보존 장소의 정보를 포함하는 레시피 정보를 열람 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다(S204). 또한, 열람 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 열람이 허가되어 있지 않은 경우, 인증부(204)는 열람 권한이 없다는 취지를 나타내는 정보를 포함하는 에러 통지를 열람 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 레시피 정보에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 열람 대상 레시피를 취득한다(S205). 그리고, 레시피 조작부(35)는 취득된 레시피를 표시 장치(37)에 표시하게 한다(S206).
[레시피의 복사 처리]
도 10은 레시피의 복사 처리의 일례를 도시하는 도면이다. 우선, 단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 복사 지시에 따라, 그 사용자의 사용자 ID, 패스워드, 및 복사 대상 레시피의 레시피 ID를 포함하는 복사 요구를 작성하고, 작성된 복사 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S300).
레시피 ID 관리 서버(20)의 인증부(204)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 단말 장치(30)로부터 수신된 복사 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 복사 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다(S301). 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 복사 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 복사가 허가되어 있는지의 여부를 판정한다(S302).
복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 복사가 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다(S303). 그리고, 인증부(204)는 추출된 보존 장소의 정보를 포함하는 레시피 정보를 복사 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다(S304). 또한, 복사 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 복사가 허가되어 있지 않은 경우, 인증부(204)는 복사 권한이 없다는 취지를 나타내는 정보를 포함하는 에러 통지를 복사 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 레시피 정보에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 복사 대상 레시피를 취득한다(S305). 그리고, 레시피 조작부(35)는 취득된 레시피의 복사본을 작성하고, 작성된 레시피의 복사본을 사용자에 의해 지시된 장소에 보존한다(S306). 그리고, 레시피 조작부(35)는 복사된 레시피의 레시피 ID와 복사된 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보를 포함하는 복사 완료 통지를 작성하고, 작성된 복사 완료 통지를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S307).
레시피 ID 관리 서버(20)의 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 수신된 복사 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보에, 복사 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보를 추가하여 등록한다(S308).
[레시피의 삭제 처리]
도 11은 레시피의 삭제 처리의 일례를 도시하는 도면이다. 우선, 단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 삭제 지시에 따라, 그 사용자의 사용자 ID, 패스워드, 및 삭제 대상 레시피의 레시피 ID를 포함하는 삭제 요구를 작성하고, 작성된 삭제 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S400).
레시피 ID 관리 서버(20)의 인증부(204)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 단말 장치(30)로부터 수신된 삭제 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 삭제 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다(S401). 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 삭제 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 삭제가 허가되어 있는지의 여부를 판정한다(S402).
삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 삭제가 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다(S403). 그리고, 인증부(204)는 추출된 보존 장소의 정보를 포함하는 레시피 정보를 삭제 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다(S404). 또한, 삭제 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 삭제가 허가되어 있지 않은 경우, 인증부(204)는 삭제 권한이 없다는 취지를 나타내는 정보를 포함하는 에러 통지를 삭제 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 레시피 정보에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소에서 삭제 대상 레시피를 삭제한다(S405). 그리고, 레시피 조작부(35)는 삭제된 레시피의 레시피 ID와 삭제된 레시피가 보존되어 있던 장소를 나타내는 정보를 포함하는 삭제 완료 통지를 작성하고, 작성된 삭제 완료 통지를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S406).
레시피 ID 관리 서버(20)의 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 수신된 삭제 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보 중에서 삭제 완료 통지에 포함되어 있는 장소를 나타내는 정보를 삭제한다(S407).
[레시피의 편집 처리]
도 12 및 도 13은 레시피의 편집 처리의 일례를 도시하는 도면이다. 도 12는 편집된 레시피를 겹쳐써서 보존할 경우의 레시피의 편집 처리의 일례를 나타낸다. 우선, 단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 편집 지시에 따라, 그 사용자의 사용자 ID, 패스워드, 및 편집 대상 레시피의 레시피 ID를 포함하는 편집 요구를 작성하고, 작성된 편집 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S500).
레시피 ID 관리 서버(20)의 인증부(204)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여, 단말 장치(30)로부터 수신된 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID 및 패스워드에 기초해서 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 사용자를 인증한다(S501). 사용자의 인증에 성공한 경우, 인증부(204)는 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블(2011)을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 인증부(204)는 특정된 권한 정보 테이블(2011) 내의 권한 정보를 참조하여, 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 허가되어 있는지의 여부를 판정한다(S502).
편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 허가되어 있을 경우, 인증부(204)는 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID를 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 정보와 함께 로크 판정부(208)로 보낸다. 로크 판정부(208)는 레시피 ID 유지부(203)를 참조하여, 인증부(204)로부터 수신된 레시피 ID에 대응된 로크 플래그의 값이 로크 상태를 나타내는 값인지 또는 비로크 상태를 나타내는 값인지를 판정하는 로크 판정을 수행한다(S503). 로크 플래그의 값이 로크 상태를 나타내는 값일 경우, 로크 판정부(208)는 로크중에 있음을 나타내는 정보를 포함하는 에러 통지를 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다.
한편, 로크 플래그의 값이 비로크 상태를 나타내는 값일 경우, 로크 판정부(208)는 인증부(204)로부터 수신된 레시피 ID를 레시피 관리부(209)로 보낸다. 레시피 관리부(209)는 로크 판정부(208)로부터 수신된 레시피 ID에 대응된 보존 장소를 나타내는 정보를 레시피 ID 유지부(203)로부터 추출한다(S504). 그리고, 레시피 관리부(209)는 추출된 보존 장소를 나타내는 정보를 포함하는 편집 허가를 편집 요구의 송신원인 단말 장치(30)로 송신한다(S505). 그리고, 레시피 관리부(209)는 레시피 ID 유지부(203)를 참조하여, 로크 판정부(208)로부터 수신된 레시피 ID에 대응되어 있는 로크 플래그의 값을 로크 상태를 나타내는 값으로 변경한다(S506).
단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 편집 허가에 포함된 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 편집 대상 레시피를 취득한다(S507). 그리고, 레시피 조작부(35)는 취득된 레시피를 표시 장치(37)에 표시하게 하고(S508), 취득된 레시피의 편집을 시작한다(S509).
그리고, 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라 레시피의 편집이 종료된 경우, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피의 보존 방법을 사용자에게 문의한다. 도 12에 나타낸 예에서는, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피를 편집전의 레시피에 겹쳐써서 보존하는 방법을 사용자로부터 지시받는다. 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피로, 편집 허가에 포함된 보존 장소의 정보로 특정되는 장소에 보존되어 있는 레시피를 겹쳐써서 보존한다(S510). 그리고, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피의 레시피 ID와 겹쳐써서 보존된 레시피의 보존 장소의 정보를 포함하는 편집 완료 통지를 작성하고, 작성된 편집 완료 통지를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S511).
레시피 ID 관리 서버(20)의 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 수신된 편집 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 로크 플래그의 값을 비로크 상태를 나타내는 값으로 되돌린다(S512).
다음에, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 보존 장소의 정보 중에, 편집 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소 이외의 장소 정보가 포함되어 있을 경우에, 편집 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소의 정보로 특정되는 장소로부터 편집후의 레시피를 취득한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 편집 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID와 동일한 레시피 ID가 할당되어 있는 다른 레시피를 취득된 레시피로 겹쳐써서 보존함으로써, 편집된 레시피의 내용을 동일한 레시피 ID가 할당되어 있는 다른 레시피에 반영시킨다(S513).
도 13은 편집된 레시피에 다른 레시피 ID를 할당해서 보존할 경우의 레시피의 편집 처리의 일례를 나타낸다. 단계 S500∼S509의 처리는 도 12에서 설명한 처리와 마찬가지이므로 설명을 생략한다.
단말 장치(30)의 레시피 조작부(35)는 입력 장치(36)를 통한 사용자의 조작에 따라 레시피의 편집이 종료된 경우, 편집된 레시피의 보존 방법을 사용자에게 문의한다. 도 13에 나타낸 예에서는, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피에 다른 레시피 ID를 할당해서 보존하는 방법을 사용자로부터 지시받는다. 레시피 조작부(35)는 사용자의 사용자 ID와 편집전의 레시피의 레시피 ID를 포함하는 제2 부분 ID 요구를 작성하고, 작성된 제2 부분 ID 요구를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S520).
레시피 ID 관리 서버(20)의 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 수신된 제2 부분 ID 요구에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응되어 있는 로크 플래그의 값을 비로크 상태를 나타내는 값으로 되돌린다(S521). 그리고, 레시피 관리부(209)는 사용자 정보 유지부(200)를 참조하여 제2 부분 ID 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 그룹 ID를 추출한다(S522). 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 그룹 ID를 제2 부분 ID 요구의 송신원인 단말 장치(30)의 정보와 함께 부분 ID 송신부(205)로 보낸다.
그리고, 레시피 ID 관리 서버(20) 및 단말 장치(30)는 도 8에서 설명한 단계 S103∼S112의 처리를 실행한다. 그리고, 단말 장치(30)의 사용 가부 표시부(34)는 레시피 ID 관리 서버(20)로부터 수신된 판정 통지에 포함되어 있는, 사용이 허가된 레시피 ID를 레시피 조작부(35)로 보낸다. 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피에 사용 가부 표시부(34)로부터 수신된 레시피 ID를 할당하여 편집된 레시피를 보존한다(S523). 그리고, 레시피 조작부(35)는 편집된 레시피의 보존 장소를 나타내는 정보, 편집된 레시피에 할당된 레시피 ID, 및 사용자 ID를 포함하는 보존 완료 통지를 작성하고, 작성된 보존 완료 통지를 레시피 ID 관리 서버(20)로 송신한다(S524).
레시피 ID 관리 서버(20)의 레시피 관리부(209)는 단말 장치(30)로부터 수신된 보존 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 레시피 ID 유지부(203) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 레시피 ID에 대응시켜서, 보존 완료 통지에 포함되어 있는 보존 장소를 나타내는 정보를 레시피 ID 유지부(203)에 등록한다(S525).
다음에, 레시피 관리부(209)는 보존 완료 통지에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응되어 있는 권한 정보 테이블을 권한 정보 유지부(201) 내에서 특정한다. 그리고, 레시피 관리부(209)는 특정된 권한 정보 테이블 내에 보존 완료 통지에 포함되어 있는 레시피 ID를 등록하고, 그 레시피 ID에, 그 레시피 ID로 식별되는 레시피에 대한, 예를 들면 모든 조작을 허가한다는 취지의 권한 정보를 대응시킨다(S526).
[하드웨어]
도 14는 레시피 ID 관리 서버(20) 또는 단말 장치(30)의 기능을 실현하는 컴퓨터(40)의 일례를 도시하는 도면이다. 컴퓨터(40)는 CPU(Central Processing Unit: 41), RAM(Random Access Memory: 42), ROM(Read Only Memory: 43), 보조 기억 장치(44), 통신 인터페이스(Communication I/F: 45), 입출력 인터페이스(Input-output I/F: 46), 그리고 미디어 인터페이스(Media I/F: 47)를 포함한다.
CPU(41)는 ROM(43) 또는 보조 기억 장치(44)에 저장된 프로그램에 기초하여 동작하며 각 부의 제어를 수행한다. ROM(43)은 컴퓨터(40)의 기동시에 CPU(41)에 의해 실행되는 기동 프로그램, 컴퓨터(40)의 하드웨어에 의존하는 프로그램 등을 저장한다.
보조 기억 장치(44)는, 예를 들면 HDD(Hard Disk Drive) 또는 SSD(Solid State Drive) 등이며, CPU(41)에 의해 실행되는 프로그램 및 그 프로그램에 의해 사용되는 데이터 등을 저장한다. CPU(41)는 그 프로그램을, 예를 들면 보조 기억 장치(44)로부터 판독해서 RAM(42) 상에 로드하고, 로드된 프로그램을 실행한다. 통신 I/F(45)는 네트워크(11)를 통해서 다른 기기로부터 데이터를 수신해서 CPU(41)로 보내고, CPU(41)가 생성한 데이터를 네트워크(11)를 통해서 다른 기기로 송신한다.
CPU(41)는 입출력 I/F(46)를 통해 디스플레이나 프린터 등의 출력 장치와 키보드나 마우스 등의 입력 장치를 제어한다. CPU(41)는 입출력 I/F(46)를 통해 입력 장치로부터 데이터를 취득한다. 또한, CPU(41)는 생성된 데이터를 입출력 I/F(46)를 통해서 출력 장치에 출력한다.
미디어 I/F(47)는 기록 매체(48)에 저장된 프로그램 또는 데이터를 읽어내서 보조 기억 장치(44)에 저장한다. 기록 매체(48)는, 예를 들면 DVD(Digital Versatile Disc), PD(Phase change rewritable Disk) 등의 광학 기록 매체, MO(Magneto-Optical disk) 등의 광자기 기록 매체, 테이프 매체, 자기 기록 매체, 또는 반도체 메모리 등이다.
컴퓨터(40)가 레시피 ID 관리 서버(20)로서 기능할 경우, 컴퓨터(40)의 CPU(41)는 RAM(42) 상에 로드된 프로그램을 실행함으로써, 인증부(204), 부분 ID 송신부(205), 중복 판정부(206), 사용 가부 통지부(207), 로크 판정부(208), 그리고 레시피 관리부(209)의 각 기능을 실현한다. 또한, ROM(43) 또는 보조 기억 장치(44)에는 사용자 정보 유지부(200), 권한 정보 유지부(201), 부분 ID 유지부(202), 그리고 레시피 ID 유지부(203) 내의 데이터가 저장된다.
또한, 컴퓨터(40)가 단말 장치(30)로서 기능할 경우, 컴퓨터(40)의 CPU(41)는 RAM(42) 상에 로드된 프로그램을 실행함으로써, 부분 ID 요구부(31), 부분 ID 표시부(32), 레시피 ID 작성부(33), 사용 가부 표시부(34), 그리고 레시피 조작부(35)의 각 기능을 실현한다.
컴퓨터(40)의 CPU(41)는 이들 프로그램을 기록 매체(48)로부터 읽어내서 보조 기억 장치(44)에 저장하지만, 다른 예로서는 다른 장치로부터 네트워크(11)를 통해서 이들 프로그램을 취득해서 보조 기억 장치(44)에 저장해도 된다.
이상, 하나의 실시형태에 대해서 설명하였다. 본 실시형태의 레시피 ID 관리 시스템(10)에 의하면, 상이한 내용의 레시피에 동일한 레시피 ID가 부여되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되지 않으며, 그 요지의 범위 내에서 수 많은 변형이 가능하다.
예를 들면, 상기한 실시형태에 있어서, 부분 ID 유지부(202)에는, 그룹 ID마다, 그 그룹 ID로 식별되는 그룹에 속하는 사용자가 담당가능한 제품 및 처리 공정의 조합마다, 그 처리 공정에 적용되는 레시피의 레시피 ID에 포함되는 부분 ID가 미리 유지되어 있지만, 개시하는 기술은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 부분 ID 송신부(205)는 단말 장치(30)를 통해서 사용자와의 사이에서 부분 ID를 특정하기 위해서 필요한 정보를 대화 형식의 통신에 의해 특정하도록 해도 된다. 예를 들면, 부분 ID 송신부(205)는 사용자가 담당하는 제품의 제품 ID를 단말 장치(30)를 통해서 사용자에게 문의하여 단말 장치(30)로부터 제품 ID를 수신하고, 사용자가 담당하는 처리 공정의 공정 ID를 단말 장치(30)를 통해서 사용자에게 문의하여 단말 장치(30)로부터 제품 ID를 수신한다. 그리고, 부분 ID 송신부(205)는 단말 장치(30)로부터 수신된 제품 ID 및 공정 ID에 기초하여 부분 ID를 작성하여도 된다.
또한, 상기한 실시형태에서는, 부분 ID 송신부(205)가 부분 ID를 단말 장치(30)를 통해서 사용자에게 제시하고, 제시된 부분 ID를 포함하는 레시피 ID를 사용자에게 작성하게 하지만, 개시하는 기술은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 부분 ID 송신부(205)는 사용자가 임의로 작성한 문자, 기호, 숫자 등의 조합에 대하여, 소정의 부분 ID를 부가해서 레시피 ID를 작성하여도 된다. 또한, 부분 ID 송신부(205)는 부분 ID에, 고유한 레시피 ID가 되는 정보를 부가한 몇 가지 레시피 ID 후보를 작성하고, 작성된 레시피 ID의 후보를 사용자에게 제시하여도 된다. 이에 따라, 사용자는 제시된 레시피 ID의 후보를 선택함으로써, 소정의 부분 ID를 포함하는 고유한 레시피 ID를 작성할 수 있으므로, 사용자의 부담을 경감시킬 수 있다. 고유한 레시피 ID가 되도록 부분 ID에 부가하는 정보는, 예를 들면 일련번호, 날짜와 시간, 레시피 ID를 요구한 사용자의 정보(사용자 ID, 그룹 ID 등) 등이 고려된다.
이상, 본 발명을 실시형태를 이용해서 설명하였지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시형태에 기재된 범위에 한정되지는 않는다. 상기 실시형태에 다양한 변경 또는 개량을 추가할 수 있다는 것이 당업자에게는 명확하다. 또한, 그러한 변경 또는 개량을 추가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이 특허청구범위의 기재로부터 명확하다.
11 : 네트워크 20 : 레시피 ID 관리 서버
200 : 사용자 정보 유지부 201 : 권한 정보 유지부
202 : 부분 ID 유지부 203 : 레시피 ID 유지부
204 : 인증부 205 : 부분 ID 송신부
206 : 중복 판정부 207 : 사용 가부 통지부
208 : 로크 판정부 209 : 레시피 관리부

Claims (7)

  1. 기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID의 일부로서, 미리 정해진 명명(命名) 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 유지하는 부분 ID 유지부,
    사용자가 조작하는 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 유지하는 레시피 ID 유지부,
    상기 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 상기 부분 ID 유지부로부터 부분 ID를 판독하고, 판독된 부분 ID를 상기 단말 장치로 송신하는 부분 ID 송신부,
    상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 수신한 경우에, 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정하는 중복 판정부, 그리고
    상기 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 유지되어 있지 않은 경우에, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 허가를 상기 단말 장치에 통지하며, 상기 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있을 경우에, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 상기 단말 장치에 통지하고, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 상기 레시피 ID 유지부에 유지하게 하는 사용 가부 통지부
    를 포함하는 레시피 ID 관리 서버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 사용 가부 통지부는, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID에, 상기 부분 ID 송신부로부터 송신된 상기 부분 ID의 어느 하나도 포함되어 있지 않은 경우에, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 상기 단말 장치에 통지하는, 레시피 ID 관리 서버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 레시피 ID 유지부는 상기 레시피 ID에 대응시켜서, 로크 플래그를 유지하며,
    상기 레시피 ID 관리 서버는,
    각각의 사용자를 식별하는 사용자 ID에 대응시켜서 각각의 레시피 ID로 식별되는 레시피에 대하여 그 사용자에게 허가되어 있는 조작을 나타내는 권한 정보를 유지하는 권한 정보 유지부,
    레시피 ID 및 사용자 ID를 포함하는 편집 요구를 상기 단말 장치로부터 수신한 경우에, 상기 권한 정보 유지부를 참조하여, 상기 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID에 대응된 상기 권한 정보에, 그 사용자 ID로 식별되는 사용자에게 허가되어 있는 조작으로서, 상기 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 포함되어 있는지를 판정하는 편집 가부 판정부,
    레시피 ID 및 사용자 ID를 포함하는 편집 요구를 상기 단말 장치로부터 수신한 경우에, 상기 레시피 ID 유지부를 참조하여, 상기 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응된 로크 플래그가 로크 상태 또는 비로크 상태 중 어느 쪽을 나타내는지를 판정하는 로크 판정부, 그리고
    상기 편집 요구에 포함되어 있는 사용자 ID로 식별되는 사용자에게 허가되어 있는 조작으로서, 상기 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집이 포함되며, 또한 상기 편집 요구에 포함되어 있는 레시피 ID에 대응된 로크 플래그가 비로크 상태를 나타내는 경우에, 상기 단말 장치에 상기 편집 요구에 포함되는 레시피 ID로 식별되는 레시피의 편집 허가를 통지하고, 상기 레시피 ID 유지부 내의 상기 로크 플래그를 로크 상태로 변경하며, 상기 로크 상태의 레시피의 편집이 종료된 경우에, 편집이 종료된 레시피의 상기 로크 플래그를 비로크 상태로 되돌리는 레시피 관리부
    를 더 포함하는, 레시피 ID 관리 서버.
  4. 제3항에 있어서,
    사용자 ID마다, 사용자 ID로 식별되는 사용자가 속하는 그룹을 식별하는 그룹 ID를 유지하는 그룹 정보 유지부를 더 포함하며,
    상기 부분 ID 유지부는 상기 부분 ID에 대응시켜서, 상기 그룹 ID를 또한 유지하며,
    상기 부분 ID 요구에는 사용자 ID가 포함되며,
    상기 부분 ID 송신부는, 상기 단말 장치로부터 상기 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 상기 그룹 정보 유지부를 참조하여, 상기 부분 ID 요구에 포함된 사용자 ID에 대응된 그룹 ID를 특정하고, 특정된 그룹 ID에 대응된 상기 부분 ID를 상기 부분 ID 유지부로부터 판독하며, 판독된 상기 부분 ID를 상기 단말 장치로 송신하는, 레시피 ID 관리 서버.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 부분 ID에는, 그 부분 ID를 포함하는 레시피 ID로 식별되는 레시피에 기초하는 처리에 의해 제조되는 제품에 관한 정보, 또는 그 레시피가 이용되는 공정에 관한 정보 중 적어도 어느 하나가 포함되는, 레시피 ID 관리 서버.
  6. 기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID를 관리하는 레시피 ID 관리 서버와, 사용자가 조작하는 단말 장치를 포함하며,
    상기 레시피 ID 관리 서버는,
    상기 레시피 ID의 일부인 부분 ID로서, 미리 정해진 명명 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 유지하는 부분 ID 유지부,
    상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 유지하는 레시피 ID 유지부,
    상기 단말 장치로부터 부분 ID 요구를 수신한 경우에, 상기 부분 ID 유지부로부터 상기 부분 ID를 판독하고, 판독된 부분 ID를 상기 단말 장치로 송신하는 부분 ID 송신부,
    상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 수신한 경우에, 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는지의 여부를 판정하는 중복 판정부, 그리고
    상기 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 유지되어 있지 않은 경우, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 허가를 상기 단말 장치에 통지하며, 상기 동일한 레시피 ID가 상기 레시피 ID 유지부에 이미 유지되어 있는 경우, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID의 사용 불허가를 상기 단말 장치에 통지하고, 상기 단말 장치에 의해 작성된 레시피 ID를 상기 레시피 ID 유지부에 유지하게 하는 사용 가부 통지부
    를 포함하며,
    상기 단말 장치는,
    사용자로부터의 요구에 따라, 상기 부분 ID 요구를 상기 레시피 ID 관리 서버로 송신하는 부분 ID 요구부,
    상기 레시피 ID 관리 서버로부터 상기 부분 ID를 수신한 경우에, 수신된 부분 ID를 표시 장치에 표시하게 하는 부분 ID 표시부,
    상기 레시피 ID 관리 서버로부터 수신된 부분 ID에, 사용자로부터 접수된 정보를 부가해서 레시피 ID를 작성하고, 작성된 레시피 ID를 상기 레시피 ID 관리 서버로 송신하는 레시피 ID 작성부, 그리고
    상기 레시피 ID 작성부에 의해 작성된 레시피 ID에 대한 사용 가부를 나타내는 정보를 상기 레시피 ID 관리 서버로부터 수신한 경우에, 수신된 사용 가부를 나타내는 정보를 상기 표시 장치에 표시하게 하는 사용 가부 표시부
    를 포함하는 레시피 ID 관리 시스템.
  7. 사용자로부터의 요구에 따라, 부분 ID 요구를 레시피 ID 관리 서버로 송신하는 부분 ID 요구부,
    기판 처리 장치에 의해 수행되는 처리를 기술한 레시피를 식별하는 레시피 ID의 일부로서, 미리 정해진 명명 규칙에 따라 작성된 부분 ID를 상기 레시피 ID 관리 서버로부터 수신한 경우에, 수신된 부분 ID를 표시 장치에 표시하게 하는 부분 ID 표시부,
    상기 레시피 ID 관리 서버로부터 수신된 부분 ID에, 사용자로부터 접수된 정보를 부가해서 레시피 ID를 작성하고, 작성된 레시피 ID를 상기 레시피 ID 관리 서버로 송신하는 레시피 ID 작성부, 그리고
    상기 레시피 ID 작성부에 의해 작성된 레시피 ID에 대한 사용 가부를 나타내는 정보를 상기 레시피 ID 관리 서버로부터 수신한 경우에, 수신된 사용 가부를 나타내는 정보를 상기 표시 장치에 표시하게 하는 사용 가부 표시부
    를 포함하는 단말 장치.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7227588B2 (ja) * 2018-05-23 2023-02-22 ｉ Ｓｍａｒｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ株式会社 生産管理システム及び生産管理方法
JP2020204919A (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 オルガノプラントサービス株式会社 設備管理支援システム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3128854B2 (ja) * 1991-05-14 2001-01-29 富士通株式会社 半導体製造装置制御システム
JP3934172B2 (ja) * 1996-02-20 2007-06-20 株式会社日立国際電気 半導体製造装置のプロセス管理装置
JP4839101B2 (ja) * 2006-03-08 2011-12-21 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理条件検討方法及び記憶媒体
JP5077992B2 (ja) * 2006-11-06 2012-11-21 東京エレクトロン株式会社 サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム
US8510790B2 (en) * 2007-03-12 2013-08-13 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus
JP5275641B2 (ja) * 2007-03-12 2013-08-28 株式会社日立国際電気 基板処理装置、基板処理装置の表示方法、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法
US7813828B2 (en) * 2007-04-02 2010-10-12 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing system and group management system
US8527080B2 (en) * 2008-10-02 2013-09-03 Applied Materials, Inc. Method and system for managing process jobs in a semiconductor fabrication facility
JP2010170368A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Seiko Instruments Inc 生産管理実行支援システム、生産管理実行支援方法、生産管理実行支援プログラムおよび生産管理実行支援プログラム記録媒体
US9542235B2 (en) * 2010-12-14 2017-01-10 Appsense, Limited Process-safe read/write locks

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