TWI655372B - How to extend the life of the vacuum pump - Google Patents
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Abstract
提供一種將真空泵等的內部產生的副產物粉體誘引排出的流體誘引單元等。流體誘引單元具備：筒體，兩端有開口且在其開口端部附設凸緣；流體驅動誘引體，設置於筒體的內部；供氣管，將氮氣等驅動氣體對流體驅動誘引體供氣；第1流路，從供氣管經由流體驅動誘引體的內壁與筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從筒體的上游開口部經由流體驅動誘引體與筒體的下游側開口部連通。第2流路的最狹窄處的內徑是作成為11公厘。
Description
本案發明是有關於一種將真空泵的內部或其排氣側配管的內部(以下稱為「真空泵等的內部」)產生的副產物誘引排出的流體誘引單元、及使用該流體誘引單元的延長真空泵之壽命的運用方法。
從過去就存在吸引真空泵的排氣側的裝置。藉由連通地連接在真空泵的排氣側的第1(上游側)筒體及第2(下游側)筒體、以及介於前述第1筒體與第2筒體之間的止逆承件及噴射器(ejector)，來吸引真空泵的排氣側的裝置也是其中之一(專利文獻1)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：特願2015-096113
[發明的概要]
[發明欲解決之課題]
不過，已知當真空泵等的內部產生的副產物粉體滯留在真空泵等的內部時，會附著、堆積在該真空泵與排氣側配管之間的連接處或是該排氣側配管的內周面，導致從該真空泵朝下游方向的流路變小(細)，前述現象也是成為引起流路堵塞或真空泵故障，進而縮減真空泵之壽命的主要原因。
因此，變得每隔一段期間就必須要有將真空泵或排氣側配管分解進行清掃之維護作業，需要相當的成本或時間。
前述的專利文獻1雖然是會吸引真空泵的排氣側的優秀裝置，但因為噴射器的噴嘴徑很細(動作例中為1公厘)，在從真空泵等的內部所排出的氣體中混有副產物粉體的環境下，存在著副產物粉體堵塞在噴射器的噴嘴的內部之可能性，因此只能適用在真空泵等的內部不會產生副產物的各種清潔環境化。
在此，以提供一種流體誘引單元作為課題，該流體誘引單元即使是在CVD、乾蝕刻器等，存在著從真空泵等的內部所排出的氣體中混有1公厘以上的副產物粉體而飛來之可能性的環境化也能適用。
又，以提供一種延長真空泵之壽命的運用方法作為課題，該運用方法可在存在著從真空泵等的內部所排出的氣體中混有1公厘以上的副產物粉體而飛來之可能性的環境化延長真空泵之壽命。
本案發明為了解決上述課題，而提供一種流體誘引單元，具備：筒體，兩端有開口；流體驅動誘引體，設置於前述筒體的內部；供氣管，貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通；第1流路，從前述供氣管經由前述流體驅動誘引體的內壁朝前述筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從前述筒體的上游側開口部經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通，且最狹窄部為11公厘以上，又，將驅動氣體對前述第1流路供氣時，沿前述流體驅動誘引體的內壁流動，前述第1流路的驅動氣體排出時，流體被誘引至前述第2流路。
又，本案發明為了解決上述課題，而提供一種流體誘引單元，具備：筒體，兩端有開口，並且至少在上游側開口端部附設凸緣；流體驅動誘引體，設置於前述筒體的內部；供氣管，貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通；第1流路，從前述供氣管經由前述流體驅動誘引體的內壁朝前述筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從前述筒體的上游側開口部經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通，且最狹窄部為11公厘以上，又，將驅動氣體對前述第1流路供氣時，沿前述流體驅動誘引體的內壁流動，前述第1流路的驅動氣體排出時，流體被誘引至前述第2流路。
又，本案發明為了解決上述課題，而提供一種流體誘引單元，具備：筒體，兩端有開口，並且至少在上游側開口端部附設凸緣；流體驅動誘引體，設置於前述筒體的內部；供氣管，貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通；第1流路，從前述供氣管經由前述流體驅動誘引體的內壁朝前述筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從前述筒體的上游側開口部經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通，且最狹窄部為11公厘以上，又，將驅動氣體對前述第1流路供氣時，沿前述流體驅動誘引體的內壁流動，前述第1流路的驅動氣體排出時，流體被誘引至前述第2流路，並且將前述流體驅動誘引體的外緣部與前述筒體的上游側開口內緣部之間的間隙密封。
又，本案發明為了解決上述課題，而提供一種流體誘引單元，具備：筒體，兩端有開口，並且至少在上游側開口端部附設凸緣；流體驅動誘引體，設置於前述筒體的內部；供氣管，貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通；第1流路，從前述供氣管經由前述流體驅動誘引體的內壁朝前述筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從前述筒體的上游側開口部經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通，且最狹窄部為11公厘以上，又，將驅動氣體對前述第1流路供氣時，沿前述流體驅動誘引體的內壁流動，前述第1流路的驅動氣體排出時，流體被誘引至前述第2流路，並且將前述流體驅動誘引體的外緣部與前述筒體的上游側開口內緣部黏著。
又，本案發明為了解決上述課題，而提供一種流體誘引單元，具備：筒體，兩端有開口，並且至少在上游側開口端部附設凸緣；流體驅動誘引體，設置於前述筒體的內部；供氣管，貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通；第1流路，從前述供氣管經由前述流體驅動誘引體的內壁朝前述筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從前述筒體的上游側開口部經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通，且最狹窄部為11公厘以上，又，將驅動氣體對前述第1流路供氣時，沿前述流體驅動誘引體的內壁流動，前述第1流路的驅動氣體排出時，流體被誘引至前述第2流路，並且前述筒體的上游側開口部的內徑為40公厘。
又，本案發明為了解決上述課題，而提供一種延長真空泵之壽命的運用方法，是將前述任一項記載之流體誘引單元連接在真空泵的排氣側來延長真空泵之壽命的運用方法，該運用方法是藉由如下之步驟將真空泵及其排氣側配管的內部產生的副產物粉體誘引排出，從而延長真空泵之壽命，該等步驟為：第1步驟，將驅動氣體以20公升/分以上的流量對供氣管供氣；第2步驟，藉由前述第1步驟所供氣的驅動氣體沿前述流體驅動誘引體的內壁，從前述流體驅動誘引體內朝前述筒體的下游側開口部流動；第3步驟，藉由前述第2步驟的流動，將流體從該真空泵朝前述筒體的上游側誘引；及第4步驟，將在前述第3步驟中誘引的流體朝前述筒體的下游側開口部排出。 [發明效果]
本案發明的流體誘引單元因為第2流路的最狹窄部的內徑為11公厘以上，所以可將真空泵等的內部產生的副產物粉體(限於未達11公厘)誘引排出。
本案發明的流體誘引單元因為在筒體的上游側開口端部(端緣部)附設凸緣，所以對真空泵的排氣側配管的連接變得容易，並且也可抑制、防止氣體在連接處洩漏。
本案發明的流體誘引單元因為將前述流體驅動誘引體的外緣部與前述筒體的上游側開口內緣部之間的間隙密封，所以來自真空泵等的內部的誘引效率會變得更佳。
本案發明的流體誘引單元因為將前述流體驅動誘引體的外緣部與前述筒體的上游側開口內緣部黏著(固著)，所以流體會在第2流路穩定流動。
本案發明的流體誘引單元因為將前述筒體的上游側開口部的內徑作成為40公厘，所以有優秀的製造成本，並且因為與流體驅動誘引體的外徑之間的差較小，所以易於進行如前述之黏著(固著)或密封的加工。
本案發明的延長真空泵之壽命的運用方法是將前述流體誘引單元連接在真空泵的排氣側配管並經過各步驟，藉此將真空泵等的內部產生的副產物粉體誘引排出，從而延長真空泵之壽命。
[用以實施發明之形態] 在真空泵的排氣側配管連接本案的流體誘引單元(上游側)來使用。 [實施例1]
針對流體誘引單元的構成，依照圖1至圖4來說明。
流體誘引單元(1)是由筒體(10)、流體驅動誘引體(20)、及供氣管(30) 所構成，該筒體(10)呈圓筒形狀且兩端有開口，該流體驅動誘引體(20)設置於前述筒體的內部，該供氣管(30)貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通(圖1)。
前述筒體(10)的上游側(圖1所示的左端側)開口端部(11)中，附設有上游側凸緣(13)(圖1)。
又，前述筒體(10)的下游側(圖1所示的右端側)開口端部(12)中，附設有下游側凸緣(14)(圖1)。
前述筒體的上游側開口部(11)的內徑(L1)是作成為40公厘(圖2)。
另外，前述筒體(10)的下游側開口部(12)的內徑也同樣是作成為40公厘(圖未示)。
所謂前述流體驅動誘引體(20)是指一種會產生如下之作用的構造體，即，藉由驅動氣體的流動，將流體從上游側朝下游側誘引之作用。
配置在前述筒體(10)的上游側的前述流體驅動誘引體(20)的一端部的外徑(L2)為35公厘，且朝向前述筒體的中央側縮徑(圖1及圖2)。
又，配置在前述筒體(10)的下游側的前述流體驅動誘引體(20)的另一端部的內徑(L3)為16公厘，且朝向前述筒體的中央側稍微縮徑(圖3)。
前述流體驅動誘引體(20)的一部的外緣部與前述筒體(10)的上游側開口內緣部是藉由黏著而固著，但也可用別的方法固著。
又，對前述流體驅動誘引體(20)的一部的外緣部與前述筒體(10)的上游側開口內緣部之間的間隙施以密封加工為佳。
本案的流體誘引單元(1)中，存在第1流路(41)及第2流路(42)，該第1流路(41)是從前述供氣管(30)經由前述流體驅動誘引體(20)的內壁朝前述筒體的下游側開口部(12)連通，該第2流路(42)是從前述筒體的上游側開口部(11)經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通(圖4)。
前述第2流路(42)中最狹窄的部分，即最狹窄部的內徑(L4)是作成為11公厘(圖2)。
接下來，針對將流體誘引單元連接在真空泵的排氣側配管，且將作為驅動氣體之氮氣以30公升/分的流量供氣時的動作，依照圖5來說明。
將氮氣從供氣管(30)供氣時，前述氮氣會藉由附壁效應(coanda effect)而從流體驅動誘引體(20)的環狀間隙沿內壁朝下游側流動，並從前述筒體的下游側開口部(12)排出。也就是通過第1流路(41)而排出。
藉由前述氮氣的流動，浮游在真空泵(P)等的內部的流體(包含混有副產物粉體的情況)會被誘引至構成前述筒體的第2流路(42)之前述筒體的上游側開口部。
被誘引至前述第2流路(42)的流體會從前述筒體的下游側開口部(12)排出。
再者，因為前述第2流路(42)的最狹窄部的內徑為11公厘，所以混有不會堵塞在該最狹窄部之程度的副產物粉體的流體即使通過前述第2流路也不會堵塞。
假設一種混有副產物粉體的流體，在滯留有直徑3公厘的樹脂粒之配管徑40公厘的第1假想環境及配管徑68公厘的第2假想環境下，使驅動氣體的流量變化來進行實驗。
不論是哪種假想環境的情況，直徑3公厘的樹脂粒都會以20公升/分開始流動，且會以30公升/分順暢地流動。
再者，本實施例中將氮氣作為驅動氣體使用，但也可容許使用其他的驅動氣體(例如壓縮空氣等)。 [產業上的可利用性]
本案發明的流體誘引單元因為是將真空泵等的內部產生的副產物粉體誘引排出的優秀單元，所以具有產業上的可利用性。
本案發明的延長真空泵之壽命的運用方法因為是將真空泵等的內部產生的副產物粉體誘引、排出，從而延長真空泵之壽命的優秀運用方法，所以具有產業上的可利用性。
1‧‧‧流體誘引單元
10‧‧‧筒體
11‧‧‧上游側開口部、上游側開口端部
12‧‧‧下游側開口部、下游側開口端部
13‧‧‧上游側凸緣
14‧‧‧下游側凸緣
20‧‧‧流體驅動誘引體
30‧‧‧供氣管
41‧‧‧第1流路
42‧‧‧第2流路
P‧‧‧真空泵
L1‧‧‧筒體的上游側的端緣部內徑
L2‧‧‧流體驅動誘引體的一部的端緣部的外徑
L3‧‧‧流體驅動誘引體的另一部的遠端部的內徑
L4‧‧‧第2流路的最狹窄部的內徑
圖1是流體誘引單元的全體圖。 圖2是從筒體的上游開口部側觀看的內部圖。 圖3是從筒體的下游開口部側觀看的內部圖。 圖4是表示第1流路及第2流路的說明圖。 圖5是說明流體誘引單元的動作的示意圖。
Claims (1)
- 一種延長真空泵之壽命的運用方法，是將流體誘引單元連接在真空泵的排氣側來延長真空泵之壽命的運用方法，前述流體誘引單元具備：筒體，兩端有開口；流體驅動誘引體，設置於前述筒體的內部；供氣管，貫通前述筒體且與前述流體驅動誘引體連通；第1流路，從前述供氣管經由前述流體驅動誘引體的內壁朝前述筒體的下游側開口部連通；及第2流路，從前述筒體的上游側開口部經由前述流體驅動誘引體朝前述筒體的下游側開口部連通，且最狹窄部為11公厘以上，又，將驅動氣體對前述第1流路供氣時，沿前述流體驅動誘引體的內壁流動，前述第1流路的驅動氣體排出時，流體被誘引至前述第2流路，前述運用方法是藉由如下之步驟將真空泵及其排氣側配管的內部產生的副產物粉體誘引排出，從而延長真空泵之壽命，該等步驟為：第1步驟，將驅動氣體以20公升/分以上的流量對前述供氣管供氣；第2步驟，藉由前述第1步驟所供氣的驅動氣體沿前述流體驅動誘引體的內壁，從前述流體驅動誘引體內朝前述筒體的下游側開口部流動；第3步驟，藉由前述第2步驟的流動，將流體從該真空泵朝前述筒體的上游側誘引；及第4步驟，將在前述第3步驟中誘引的流體朝前述筒 體。
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