CN108350908B - 延长真空泵的寿命的运用方法 - Google Patents

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Abstract

提供将在真空泵等内部产生的副产物粉体引导并排出的流体引导单元等。流体引导单元(1)具备：筒体(10)，两端开口并在其开口端部附设有凸缘；流体驱动引导体(20)，设置于筒体(10)内部；供气管(30)，向流体驱动引导体(20)供给氮气等的驱动气体；第1流路(41)，从供气管(30)经由流体驱动引导体(20)的内壁而与筒体(10)的下游侧开口部(12)连通；第2流路(42)，从筒体(10)的上游侧开口部(11)经由流体驱动引导体(20)而与筒体(10)的下游侧开口部(12)连通。第2流路(42)的最窄部位的内径为11毫米。

Description

延长真空泵的寿命的运用方法
技术领域
本申请发明涉及一种延长使用了流体引导单元的真空泵的寿命的运用方法,所述流体引导单元将在真空泵的内部或其排气侧管道的内部(以下称为“真空泵等的内部”)产生的副产物引导并排出。
背景技术
一直以来,存在对真空泵的排气侧进行抽吸的装置。其中之一的装置利用与真空泵的排气侧连通连接的第1(上游侧)筒体以及第2(下游侧)筒体、介于所述第1筒体与第2筒体之间的止回阀以及喷射器来抽吸真空泵的排气侧(专利文献1)。
现有技术文献
专利文献1：日本特愿2015-096113
发明内容
发明要解决的技术问题
然而,已知若在真空泵等的内部产生的副产物粉体在真空泵等的内部滞留，则会附着并堆积于该真空泵与排气侧管道的连接部位或该排气侧管道的内周面，导致从该真空泵向下游方向的流路变小(变细)，所述现象也成为引起流路堵塞或真空泵的故障乃至缩短真空泵的寿命的主要原因。
因此，每隔一定期间，必须要进行分解并清扫真空泵或者排气侧管道这样的保养作业，从而需要相当的成本或时间。
所述专利文献1是抽吸真空泵的排气侧的优异的装置,但喷射器的喷嘴直径较细(在工作例中为1毫米)，因此在从真空泵等的内部排出的气体中混有副产物粉体的环境下,存在副产物粉体在喷射器的喷嘴的内部堵塞的可能性，因此只能应用于在真空泵等的内部不产生副产物那样的干净的环境中。
因此,技术问题在于提供一种即使在从CVD、干式蚀刻机等真空泵等的内部排出的气体中，可能会飞来而混合有1毫米以上的副产物粉体的环境下也能够应用的流体引导单元。
此外,技术问题在于提供一种在从真空泵等的内部排出的气体中，可能会飞来而混合有1毫米以上的副产物粉体的环境下延长真空泵的寿命的运用方法。
本申请发明为了解决上述技术问题，提供一种流体引导单元,具备：筒体，两端开口；流体驱动引导体，设置于所述筒体的内部；供气管,贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通；第1流路，从所述供气管经由所述流体驱动引导体的内壁而与所述筒体的下游侧开口部连通；第2流路，从所述筒体的上游侧开口部经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游侧开口部连通，其最窄部为11毫米以上，在向所述第1流路供给驱动气体时使驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁流动,在所述第1流路的驱动气体排出时使得流体被引导至所述第2流路。
此外，本申请发明为了解决上述技术问题，提供一种流体引导单元,具备：筒体，两端开口并且至少在上游侧开口端部附设有凸缘；流体驱动引导体，设置于所述筒体的内部；供气管,贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通；第1流路，从所述供气管经由所述流体驱动引导体的内壁而与所述筒体的下游侧开口部连通；第2流路，从所述筒体的上游侧开口部经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游侧开口部连通，其最窄部为11毫米以上，在向所述第1流路供给驱动气体时使驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁流动,在所述第1流路的驱动气体排出时使得流体被引导至所述第2流路。
此外，本申请发明为了解决上述技术问题，提供一种流体引导单元,具备：筒体，两端开口并且至少在上游侧开口端部附设有凸缘；流体驱动引导体，设置于所述筒体的内部；供气管,贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通；第1流路，从所述供气管经由所述流体驱动引导体的内壁而与所述筒体的下游侧开口部连通；第2流路，从所述筒体的上游侧开口部经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游侧开口部连通，其最窄部为11毫米以上，在向所述第1流路供给驱动气体时使驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁流动,在所述第1流路的驱动气体排出时使得流体被引导至所述第2流路，并且将所述流体驱动引导体的外缘部与所述筒体的上游侧开口内缘部之间的间隙密封。
此外，本申请发明为了解决上述技术问题，提供一种流体引导单元,具备：筒体，两端开口并且至少在上游侧开口端部附设有凸缘；流体驱动引导体，设置于所述筒体的内部；供气管,贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通；第1流路，从所述供气管经由所述流体驱动引导体的内壁而与所述筒体的下游侧开口部连通；第2流路，从所述筒体的上游侧开口部经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游侧开口部连通，其最窄部为11毫米以上，在向所述第1流路供给驱动气体时使驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁流动,在所述第1流路的驱动气体排出时使得流体被引导至所述第2流路，并且粘接所述流体驱动引导体的外缘部与所述筒体的上游侧开口内缘部。
此外，本申请发明为了解决上述技术问题，提供一种流体引导单元,具备：筒体，两端开口并且至少在上游侧开口端部附设有凸缘；流体驱动引导体，设置于所述筒体的内部；供气管,贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通；第1流路，从所述供气管经由所述流体驱动引导体的内壁而与所述筒体的下游开口部连通；第2流路，从所述筒体的上游侧开口部经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游开口部连通，其最窄部为11毫米以上，在向所述第1流路供给驱动气体时使驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁流动,在所述第1流路的驱动气体排出时使得流体被引导至所述第2流路，并且所述筒体的上游侧开口部的内径为40毫米。
此外，本申请发明为了解决上述技术问题，提供一种延长真空泵的寿命的运用方法，是将所述任一方案所述的流体引导单元连接至真空泵的排气侧而延长真空泵的寿命的运用方法，通过如下工序将在真空泵以及其排气侧管道的内部产生的副产物粉体引导并排出：第1工序，以20升/分以上的流量向供气管供给驱动气体；第2工序，通过所述第1工序而供给的驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁从所述流体驱动引导体内向所述筒体的下游侧开口部流动；第3工序，通过所述第2工序的流动将流体从该真空泵向所述筒体的上游侧引导；第4工序，将在所述第3工序中引导来的流体向所述筒体的下游侧开口部排出。
发明效果
本申请发明的流体引导单元的第2流路的最窄部的内径在11毫米以上，因此能够引导并排出在真空泵等的内部产生的副产物粉体(限于小于11毫米的副产物粉体)。
本申请发明的流体引导单元将凸缘附设于筒体的上游侧开口端部(边缘端部)，因此易于连接到真空泵的排气侧管道,并且还能够抑制并防止气体在连接部位泄漏。
本申请发明的流体引导单元将所述流体驱动引导体的外缘部与所述筒体的上游侧开口内缘部之间的间隙密封，因此对于真空泵等内部的引导效率进一步提高。
本申请发明的流体引导单元粘接(固定)所述流体驱动引导体的外缘部与所述筒体的上游侧开口内缘部，因此流体在第2流路中稳定地流动。
本申请发明的流体引导单元由于所述筒体的上游侧开口部的内径为40毫米，所以制造成本优异，并且与流体驱动引导体的外径的差较小，因此容易进行如所述那样的粘接(固定)或密封的加工。
本申请发明的延长真空泵的寿命的运用方法通过将所述流体引导单元连接至真空泵的排气侧管道并经过各工序，引导并排出在真空泵等的内部产生的副产物粉体，从而延长真空泵的寿命。
附图说明
图1是示出流体引导单元的整体图。
图2是从筒体的上游开口部侧观察的内观图。
图3是从筒体的下游开口部侧观察的内观图。
图4是示出第1流路以及第2流路的说明图。
图5是说明流体引导单元的动作的示意图。
具体实施方式
将本申请的流体引导单元(上游侧)连接于真空泵的排气侧管道并使用。
实施例1
根据图1～图4对流体引导单元的构成进行说明。
流体引导单元(1)由两端开口的圆筒形状的筒体(10)、设置于所述筒体的内部的流体驱动引导体(20)、贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通的供气管(30)构成(图1)。
所述筒体(10)的上游侧(图1所示左端侧)开口端部(11)附设有上游侧凸缘(13)(图1)。
此外，所述筒体(10)的下游侧(图1所示右端侧)开口端部(12)附设有下游侧凸缘(14)(图1)。
所述筒体的上游侧开口端部(11)的内径(L1)为40毫米(图2)。
另外，所述筒体(10)的下游侧开口端部(12)的内径也同样为40毫米(未图示)。
所述流体驱动引导体(20)是指产生因驱动气体的流动而从上游侧向下游侧引导流体的作用的结构体。
配置于所述筒体(10)的上游侧的所述流体驱动引导体(20)的一端部的外径(L2)为35毫米，朝向所述筒体中央侧直径缩小(缩径)(图1以及图2)。
此外，配置于所述筒体(10)的下游侧的所述流体驱动引导体(20)的另一端部的内径(L3)为16毫米，朝向所述筒体中央侧直径稍微缩小(图3)。
所述流体驱动引导体(20)的一侧部的外缘部与所述筒体(10)的上游侧开口内缘部通过粘接而固定,但也可以用其他方法固定。
此外，所述流体驱动引导体(20)的一侧部的外缘部与所述筒体(10)的上游侧开口内缘部的间隙，优选实施密封加工。
在本申请的流体引导单元(1)中存在从所述供气管(30)经由所述流体驱动引导体(20)的内壁而与所述筒体的下游侧开口部(12)连通的第1流路(41)以及从所述筒体的上游侧开口部(11)经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游侧开口部连通的第2流路(42)(图4)。
在所述第2流路(42)中，最狭窄的部分即最窄部的内径(L4)为11毫米(图2)。
接着，根据图5，对将流体引导单元连接至真空泵的排气侧管道，以30升/分的流量供给驱动气体即氮气时的动作进行说明。
若从供气管(30)供给氮气，则所述氮气从流通驱动引导体(20)的环状间隙因附壁效应沿着内壁向下游侧流动，从所述筒体的下游侧开口部(12)被排出。即，通过第1流路(41)被排出。
通过所述氮气的流动,浮游于真空泵(P)等内部的流体(包括混合有副产物粉体的情况)被引导至构成所述筒体的第2流路(42)的所述筒体的上游侧开口部。
被引导至所述第2流路(42)的流体从所述筒体的下游侧开口部(12)被排出。
另外，所述第2流路(42)的最窄部的内径为11毫米，因此即使流体中混合有不会堵塞该最狭窄部的程度的副产物粉体，该流体也能够通过所述第2流路而不会产生堵塞。
设想混合有副产物粉体的流体，在滞留了直径为3毫米的树脂珠的管道直径为40毫米的第1假想环境以及管道直径为68毫米的第2假想环境下，使驱动气体流量变化而进行了实验。
在所有的假想环境的情况下,直径3毫米的树脂珠以20升/分开始流动,以30升/分顺畅地流动。
另外，在本实施例中使用氮气作为驱动气体，但也可以允许使用其他驱动气体(例如压缩空气等)。
工业实用性
本申请发明的流体诱导单元是引导并排出在真空泵等内部产生的副产物粉体的性能优异的单元,因此具有工业实用性。
本申请发明的延长真空泵的寿命的运用方法是引导并排出在真空泵等内部产生的副产物粉体而延长真空泵的寿命的优异的运用方法,因此具有工业实用性。
附图标记说明
1 流体引导单元
10 筒体
11 上游侧开口部、上游侧开口端部
12 下游侧开口部、下游侧开口端部
13 上游侧凸缘
14 下游侧凸缘
20 流体驱动引导体
30 供气管
41 第1流路
42 第2流路
P 真空泵
L1 筒体的上游侧的缘端部内径
L2 流体驱动引导体的一端部的边缘端部的外径
L3 流体驱动引导体的另一端部的边缘端部的内径
L4 第2流路的最窄部的内径

Claims (1)

1.一种延长真空泵的寿命的运用方法，将流体引导单元连接至真空泵的排气侧，
所述流体引导单元具备：
筒体，两端开口；
流体驱动引导体，设置于所述筒体的内部；
供气管,贯通所述筒体并与所述流体驱动引导体连通；
第1流路，从所述供气管经由所述流体驱动引导体的内壁而与所述筒体的下游侧开口部连通；
第2流路，从所述筒体的上游侧开口部经由所述流体驱动引导体而与所述筒体的下游侧开口部连通，其最窄部为11毫米以上，
在向所述第1流路供给驱动气体时使驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁流动,
在所述第1流路的驱动气体排出时使得流体被引导至所述第2流路，
通过以下工序将在真空泵及其排气侧管道的内部产生的副产物粉体引导并排出：
第1工序，以20升/分以上的流量向所述供气管供给所述驱动气体；
第2工序，通过所述第1工序而供给的所述驱动气体沿着所述流体驱动引导体的内壁从所述流体驱动引导体内向所述筒体的下游侧开口部流动；
第3工序，通过所述第2工序的流动将流体从该真空泵向所述筒体的上游侧引导；
第4工序，将在所述第3工序中引导来的流体向所述筒体的下游侧开口部排出。
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