WO2018055780A1 - 流体誘引ユニット及び真空ポンプの寿命を延ばす運用方法 - Google Patents

流体誘引ユニット及び真空ポンプの寿命を延ばす運用方法 Download PDF

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vacuum pump
attracting
cylindrical body
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上田実
小川敬弘
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株式会社テクノス
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    • F04F5/46—Arrangements of nozzles

Definitions

  • the present invention uses a fluid attraction unit that attracts and discharges by-products generated inside a vacuum pump and exhaust side piping (hereinafter referred to as “inside of a vacuum pump”) and the fluid attraction unit.
  • the present invention relates to an operation method for extending the life of a vacuum pump.
  • a device that sucks the exhaust side of the vacuum pump Conventionally, there is a device that sucks the exhaust side of the vacuum pump.
  • a device for sucking the exhaust side of the vacuum pump is one of them (Patent Document 1).
  • Patent Document 1 is an excellent device that sucks the exhaust side of a vacuum pump.
  • the ejector has a small nozzle diameter (1 mm in the operation example)
  • the gas discharged from the inside of the vacuum pump or the like is subsidized.
  • by-product powder may be clogged inside the ejector nozzle, so a clean environment where no by-product is generated inside a vacuum pump, etc. Only applicable.
  • the present invention provides a cylindrical body that is open at both ends, a fluid drive inducer provided inside the cylinder, and an air supply pipe that penetrates the cylinder and communicates with the fluid drive inducer.
  • a first flow path communicating from the air supply pipe to the downstream opening of the cylinder via the inner wall of the fluid drive inducer, and the fluid drive inducer from the upstream opening of the cylinder
  • a second flow path having a narrowest portion of 11 mm or more communicating with the downstream opening of the cylindrical body via the fluid drive when the drive gas is supplied to the first flow path
  • a fluid attraction unit that flows along an inner wall of an attracting body and in which fluid is attracted to the second channel when the driving gas in the first channel is discharged.
  • the present invention provides a cylinder having both ends opened and at least an upstream opening end provided with a flange, a fluid drive attracting body provided in the cylinder, and the cylinder
  • An air supply pipe that penetrates the body and communicates with the fluid drive attracting body, a first flow path that communicates from the air supply pipe to the downstream opening of the cylindrical body via the inner wall of the fluid drive attracting body,
  • a second flow path having a narrowest portion of 11 mm or more communicating with the downstream opening of the cylinder through the fluid-driven attracting body from the upstream opening of the cylinder.
  • a fluid attraction unit that flows along the inner wall of the fluid drive inducer when the drive gas is supplied to the flow path, and that fluid is attracted to the second flow path when the drive gas in the first flow path is discharged. I will provide a.
  • the present invention provides a cylinder having both ends opened and at least an upstream opening end provided with a flange, a fluid drive attracting body provided in the cylinder, and the cylinder
  • An air supply pipe that penetrates the body and communicates with the fluid drive attracting body, a first flow path that communicates from the air supply pipe to the downstream opening of the cylindrical body via the inner wall of the fluid drive attracting body,
  • a second flow path having a narrowest portion of 11 mm or more communicating with the downstream opening of the cylinder through the fluid-driven attracting body from the upstream opening of the cylinder.
  • the driving gas When the driving gas is supplied to the flow path, it flows along the inner wall of the fluid drive attracting body, and when the driving gas of the first flow path is discharged, fluid is attracted to the second flow path, and A gap between the outer edge of the fluid drive attracting body and the inner edge of the upstream opening of the cylinder Providing a fluid attracting unit which Lumpur.
  • the present invention provides a cylinder having both ends opened and at least an upstream opening end provided with a flange, a fluid drive attracting body provided in the cylinder, and the cylinder
  • An air supply pipe that penetrates the body and communicates with the fluid drive attracting body, a first flow path that communicates from the air supply pipe to the downstream opening of the cylindrical body via the inner wall of the fluid drive attracting body,
  • a second flow path having a narrowest portion of 11 mm or more communicating with the downstream opening of the cylinder through the fluid-driven attracting body from the upstream opening of the cylinder.
  • the driving gas When the driving gas is supplied to the flow path, it flows along the inner wall of the fluid drive attracting body, and when the driving gas of the first flow path is discharged, fluid is attracted to the second flow path, and Adhering the outer edge of the fluid driven inducer and the inner edge of the upstream opening of the cylinder Providing fluid attraction unit.
  • the present invention provides a cylinder having both ends opened and at least an upstream opening end provided with a flange, a fluid drive attracting body provided in the cylinder, and the cylinder
  • An air supply pipe that penetrates the body and communicates with the fluid drive attracting body, a first flow path that communicates from the air supply pipe to the downstream opening of the cylindrical body via the inner wall of the fluid drive attracting body,
  • a second flow path having a narrowest portion of 11 mm or more communicating with the downstream opening of the cylinder through the fluid-driven attracting body from the upstream opening of the cylinder.
  • the present invention is an operation method for extending the life of a vacuum pump by connecting the fluid attraction unit according to any one of the above to the exhaust side of the vacuum pump.
  • the first step of supplying the drive gas to the supply pipe at the above flow rate, and the drive gas supplied by the first step from the fluid drive inducer along the inner wall of the fluid drive inducer A second step that flows to the downstream opening, a third step that attracts fluid from the vacuum pump to the upstream side of the cylinder by the flow of the second step, and a fluid that is attracted in the third step.
  • the fluid attraction unit of the present invention can attract and discharge by-product powder (limited to less than 11 mm) generated inside a vacuum pump or the like. .
  • the fluid induction unit of the present invention has a flange attached to the upstream opening end (edge end) of the cylinder, it is easy to connect to the exhaust pipe of the vacuum pump, and gas is connected at the connection location. Leakage can also be suppressed and prevented.
  • the fluid attraction unit of the present invention seals the gap between the outer edge of the fluid-driven attracting body and the upstream opening inner edge of the cylinder, the efficiency of attracting from the inside of a vacuum pump or the like is further improved.
  • the outer edge portion of the fluid-driven attraction body and the upstream opening inner edge portion of the cylindrical body are bonded (fixed), so that the fluid flows stably in the second flow path.
  • the fluid attracting unit of the present invention has an inner diameter of the upstream opening of the cylindrical body of 40 millimeters, the manufacturing cost is excellent, and the difference between the fluid driven attracting body and the outer diameter is small, so that the above-described adhesion ( Easy to process) and seal.
  • the operation method for extending the life of the vacuum pump of the present invention is that the fluid induction unit is connected to the exhaust side piping of the vacuum pump, and through each step, the by-product powder generated inside the vacuum pump or the like is attracted and discharged. To extend the life of the vacuum pump.
  • FIG. 1 is an overall view of a fluid attraction unit.
  • FIG. 2 is an interior view seen from the upstream opening side of the cylinder.
  • FIG. 3 is an interior view seen from the downstream opening side of the cylinder.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing the first flow path and the second flow path.
  • FIG. 5 is an image diagram for explaining the operation of the fluid attraction unit.
  • the fluid attraction unit (1) includes a cylindrical cylindrical body (10) having both ends opened, a fluid driven attracting body (20) provided inside the cylindrical body, the fluid driven attracting body penetrating through the cylindrical body, And an air supply pipe (30) in communication (FIG. 1).
  • An upstream flange (13) is attached to the upstream end (11) of the cylinder (10) (left end shown in FIG. 1) (FIG. 1).
  • a downstream flange (14) is attached to an opening end portion (12) on the downstream side (right end side shown in FIG. 1) of the cylindrical body (10) (FIG. 1).
  • the inner diameter (L1) of the upstream opening (11) of the cylinder is 40 millimeters (FIG. 2).
  • the inner diameter of the downstream opening (12) of the cylinder (10) is also 40 millimeters (not shown).
  • the fluid-driven attracting body (20) refers to a structure in which the action of attracting fluid from the upstream side to the downstream side occurs due to the flow of the driving gas.
  • An outer diameter (L2) of one end portion of the fluid drive attracting body (20) disposed on the upstream side of the cylinder (10) is 35 mm, and the diameter is reduced toward the center side of the cylinder. (FIGS. 1 and 2).
  • the inner diameter (L3) of the other end portion of the fluid drive attracting body (20) disposed on the downstream side of the cylindrical body (10) is 16 mm, and is slightly reduced toward the central side of the cylindrical body. It has a diameter (FIG. 3).
  • the outer edge of one part of the fluid drive attracting body (20) and the inner edge of the upstream opening of the cylinder (10) are fixed by adhesion, but may be fixed by other methods.
  • the gap between one outer edge of the fluid-driven attracting body (20) and the upstream opening inner edge of the cylindrical body (10) is sealed.
  • the fluid attraction unit (1) of the present application has a first flow communicating from the air supply pipe (30) to the downstream side opening (12) of the cylindrical body via the inner wall of the fluid drive attraction body (20). There is a second flow path (42) communicating from the passage (41) and the upstream opening (11) of the cylinder to the downstream opening of the cylinder via the fluid drive attracting body (FIG. 4).
  • the inner diameter (L4) of the narrowest part which is the narrowest part in the second flow path (42), is 11 millimeters (FIG. 2).
  • the nitrogen gas flows from the annular gap of the fluid drive attracting body (20) to the downstream side along the inner wall by the Coanda effect, and the downstream opening (12 ). That is, it is discharged through the first flow path (41).
  • Fluid that floats inside the vacuum pump (P) or the like by the flow of the nitrogen gas (including a case where a by-product powder is mixed) is the cylinder that forms the second flow path (42) of the cylinder. Is attracted to the upstream opening.
  • the fluid attracted to the second flow path (42) is discharged from the downstream opening (12) of the cylindrical body.
  • the inner diameter of the narrowest part of the second flow path (42) is 11 millimeters, even if a fluid containing a by-product powder that does not clog the narrowest part passes through the second flow path. It will not clog.
  • the flow rate of the driving gas is changed in a first virtual environment with a pipe diameter of 40 mm and a second virtual environment with a pipe diameter of 68 mm in which resin beads with a diameter of 3 mm are retained. And tested.
  • resin beads with a diameter of 3 millimeters started flowing at 20 liters / minute and flowed smoothly at 30 liters / minute.
  • nitrogen gas is used as the driving gas.
  • other driving gas for example, compressed air
  • the fluid attraction unit of the present invention has industrial applicability because it is an excellent unit that attracts and discharges by-product powder generated inside a vacuum pump or the like.
  • the operation method for extending the life of the vacuum pump of the present invention is an excellent operation method for attracting and discharging by-product powder generated inside a vacuum pump or the like to extend the life of the vacuum pump. Have.
  • Fluid attracting unit 10 Cylindrical body 11 Upstream opening part, Upstream side opening edge part 12 Downstream side opening part, Downstream side opening edge part 13 Upstream side flange 14 Downstream side flange 20 Fluid drive attracting body 30 Air supply pipe 41 1st flow path 42 Second flow path P Vacuum pump L1 Inner diameter of the upstream edge of the cylinder L2 Outer diameter of one edge of the fluid-driven attracting body L3 Inner diameter of the far end of the other part of the fluid-driven attracting body L4 Inner diameter of the narrowest part of two channels

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Abstract

【課題】真空ポンプ等の内部で発生する副生成物紛体を誘引し排出する流体誘引ユニット等を提供すること。 【解決手段】流体誘引ユニット１は、両端が開口しその開口端部にフランジを付設した筒体１０と、筒体１０の内部に設ける流体駆動誘引体２０と、流体駆動誘引体２０に窒素ガスなどの駆動気体を給気する給気管３０と、給気管３０から流体駆動誘引体２０の内壁を経由して筒体１０の下流側開口部１２と連通する第１流路４１と、筒体１０の上流開口部１１から流体駆動誘引体２０を経由して筒体１０の下流側開口部１２と連通する第２流路４２と、を備える。第２流路４２の最も狭い箇所の内径は、１１ミリメートルとしている。

Description

流体誘引ユニット及び真空ポンプの寿命を延ばす運用方法
　本願発明は、真空ポンプの内部やその排気側配管の内部（以下、「真空ポンプ等の内部」という。）で発生する副生成物を誘引し排出する流体誘引ユニット及び当該流体誘引ユニットを使用した真空ポンプの寿命を延ばす運用方法に関するものである。
　従来から、真空ポンプの排気側を吸引する装置は存在する。真空ポンプの排気側に連通接続する第１（上流側）筒体及び第２（下流側）筒体と、前記第１筒体と第２筒体との間に介在させる逆止支及びエゼクターと、により真空ポンプの排気側を吸引する装置もその１つである（特許文献１）。
特願２０１５－０９６１１３
　ところで、真空ポンプ等の内部で発生した副生成物紛体が真空ポンプ等の内部で滞留すると、当該真空ポンプと排気側配管との接続箇所あるいは当該排気側配管の内周面に付着・堆積し、当該真空ポンプから下流方向の流路が小さく（細く）なってしまうことが知られており、前記現象は、流路詰まりや真空ポンプの故障を引き起こし、引いては真空ポンプの寿命を縮める要因ともなっていた。
　そのため、一定期間毎に、真空ポンプあるいは排気側配管を分解し、清掃を行うといったメンテナンス作業が必須となっており、相当のコストや時間を要していた。
　前述の特許文献１は、真空ポンプの排気側を吸引する優れた装置であるがエゼクターのノズル径が細い（作動例では１ミリメート。）ため、真空ポンプ等の内部から排出されるガス中に副生成物粉体が混在する環境下ではエゼクターのノズルの内部で副生成物粉体が詰まってしまう可能性があるため、真空ポンプ等の内部で副生成物が発生しない様なクリーンな環境化でしか適用できなかった。
　そこで、ＣＶＤ、ドライエッチャーなど真空ポンプ等の内部から排出されるガス中に１ミリメートル以上の副生成物粉体が混在されて飛来してくる可能性がある環境化であっても適用できる流体誘引ユニットを提供することを課題とした。
　また、真空ポンプ等の内部から排出されるガス中に１ミリメートル以上の副生成物粉体が混在されて飛来してくる可能性がある環境化で真空ポンプの寿命を延ばす運用方法を提供することを課題とした。
　本願発明は、上述の課題を解決するために、両端が開口した筒体と、前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体と、前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管と、前記給気管から前記流体駆動誘引体の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第１流路と、前記筒体の上流側開口部から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する最狭部が１１ミリメートル以上である第２流路と、を備え、前記第１流路に駆動気体を給気した際に前記流体駆動誘引体の内壁に沿って流れ、前記第１流路の駆動気体が排出する際に前記第２流路に流体が誘引される流体誘引ユニットを提供する。
　また、本願発明は、上述の課題を解決するために、両端が開口するとともに少なくとも上流側開口端部にフランジを付設した筒体と、前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体と、前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管と、前記給気管から前記流体駆動誘引体の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第１流路と、前記筒体の上流側開口部から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する最狭部が１１ミリメートル以上である第２流路と、を備え、前記第１流路に駆動気体を給気した際に前記流体駆動誘引体の内壁に沿って流れ、前記第１流路の駆動気体が排出する際に前記第２流路に流体が誘引される流体誘引ユニットを提供する。
　また、本願発明は、上述の課題を解決するために、両端が開口するとともに少なくとも上流側開口端部にフランジを付設した筒体と、前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体と、前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管と、前記給気管から前記流体駆動誘引体の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第１流路と、前記筒体の上流側開口部から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する最狭部が１１ミリメートル以上である第２流路と、を備え、前記第１流路に駆動気体を給気した際に前記流体駆動誘引体の内壁に沿って流れ、前記第１流路の駆動気体が排出する際に前記第２流路に流体が誘引されるとともに、前記流体駆動誘引体の外縁部と前記筒体の上流側開口内縁部との隙間をシールした流体誘引ユニットを提供する。
　また、本願発明は、上述の課題を解決するために、両端が開口するとともに少なくとも上流側開口端部にフランジを付設した筒体と、前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体と、前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管と、前記給気管から前記流体駆動誘引体の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第１流路と、前記筒体の上流側開口部から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する最狭部が１１ミリメートル以上である第２流路と、を備え、前記第１流路に駆動気体を給気した際に前記流体駆動誘引体の内壁に沿って流れ、前記第１流路の駆動気体が排出する際に前記第２流路に流体が誘引されるとともに、前記流体駆動誘引体の外縁部と前記筒体の上流側開口内縁部とを接着した流体誘引ユニットを提供する。
　また、本願発明は、上述の課題を解決するために、両端が開口するとともに少なくとも上流側開口端部にフランジを付設した筒体と、前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体と、前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管と、前記給気管から前記流体駆動誘引体の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第１流路と、前記筒体の上流側開口部から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する最狭部が１１ミリメートル以上である第２流路と、を備え、前記第１流路に駆動気体を給気した際に前記流体駆動誘引体の内壁に沿って流れ、前記第１流路の駆動気体が排出する際に前記第２流路に流体が誘引されるとともに、前記筒体の上流側開口部の内径が４０ミリメートルである流体誘引ユニットを提供する。
　また、本願発明は、上述の課題を解決するために、前記いずれかに記載の流体誘引ユニットを真空ポンプの排気側に接続して真空ポンプの寿命を延ばす運用方法であって、２０リットル／分以上の流量で駆動気体を給気管に給気する第１工程と、前記第１工程により給気された駆動気体が前記流体駆動誘引体の内壁に沿って前記流体駆動誘引体内から前記筒体の下流側開口部へと流れる第２工程と、前記第２工程の流れにより当該真空ポンプから前記筒体の上流側へ流体を誘引する第３工程と、前記第３工程で誘引した流体を前記筒体の下流側開口部へ排出する第４工程と、により真空ポンプ及びその排気側配管の内部で発生する副生成物紛体を誘引し排出して真空ポンプの寿命を延ばす運用方法を提供する。
　本願発明の流体誘引ユニットは、第２流路の最狭部の内径が１１ミリメートル以上であるため、真空ポンプ等の内部で発生した副生成物紛体（１１ミリメートル未満に限る）を誘引し排出できる。
　本願発明の流体誘引ユニットは、筒体の上流側開口端部（縁端部）にフランジを付設しているため、真空ポンプの排気側配管への接続が容易となるとともに、接続箇所で気体が漏れることも抑止・防止できる。
　本願発明の流体誘引ユニットは、前記流体駆動誘引体の外縁部と前記筒体の上流側開口内縁部との隙間をシールしているため、真空ポンプ等の内部からの誘引効率がさらによくなる。
　本願発明の流体誘引ユニットは、前記流体駆動誘引体の外縁部と前記筒体の上流側開口内縁部とを接着（固着）しているため、第２流路に安定して流体が流れる。
　本願発明の流体誘引ユニットは、前記筒体の上流側開口部の内径を４０ミリメートルとしているため、製造コストに優れるとともに、流体駆動誘引体の外径との差が小さいため前述したような接着（固着）やシールの加工がしやすい。
　本願発明の真空ポンプの寿命を延ばす運用方法は、前記流体誘引ユニットを真空ポンプの排気側配管に接続し各工程を経ることにより、真空ポンプ等の内部で発生する副生成物紛体を誘引し排出して真空ポンプの寿命を延ばす。
図１は流体誘引ユニットの全体図である。 図２は筒体の上流開口部側からみた内観図である。 図３は筒体の下流開口部側からみた内観図である。 図４は第１流路及び第２流路を示す説明図である。 図５は流体誘引ユニットの作動を説明するイメージ図である。
　真空ポンプの排気側配管に本願の流体誘引ユニット（上流側）を接続して使用する。
　流体誘引ユニットの構成について、図１から図４に従い説明する。
　流体誘引ユニット（１）は、両端が開口した円筒形状の筒体（１０）と、前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体（２０）と、前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管（３０）と、で構成する（図１）。
　前記筒体（１０）の上流側（図１で示す左端側）開口端部（１１）には、上流側フランジ（１３）を付設している（図１）。
　また、前記筒体（１０）の下流側（図１で示す右端側）開口端部（１２）には、下流側フランジ（１４）を付設している（図１）。
　前記筒体の上流側開口部（１１）の内径（Ｌ１）は、４０ミリメートルとしている（図２）。
　なお、前記筒体（１０）の下流側開口部（１２）の内径も同様に４０ミリメートルとしている（図示せず）。
　前記流体駆動誘引体（２０）とは、駆動気体の流れによって上流側から下流側へ流体を誘引する作用が生じる構造体のことを指す。
　前記筒体（１０）の上流側に配置される前記流体駆動誘引体（２０）の一方端部の外径（Ｌ２）は３５ミリメートルであり、前記筒体の中央側に向かって縮径している（図１及び図２）。
　また、前記筒体（１０）の下流側に配置される前記流体駆動誘引体（２０）の他方端部の内径（Ｌ３）は１６ミリメートルであり、前記筒体の中央側に向かって僅かに縮径している（図３）。
　前記流体駆動誘引体（２０）の一方部の外縁部と前記筒体（１０）の上流側開口内縁部とは接着により固着しているが、その他の方法で固着してもよい。
　また、前記流体駆動誘引体（２０）の一方部の外縁部と前記筒体（１０）の上流側開口内縁部との隙間は、シール加工を施している方が好ましい。
　本願の流体誘引ユニット（１）には、前記給気管（３０）から前記流体駆動誘引体（２０）の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部（１２）へと連通する第１流路（４１）及び前記筒体の上流側開口部（１１）から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第２流路（４２）が存在する（図４）。
　前記第２流路（４２）の中で最も狭い部分である最狭部の内径（Ｌ４）は、１１ミリメートルとしている（図２）。
　次に、流体誘引ユニットを真空ポンプの排気側配管に接続し、駆動気体である窒素ガスを３０リットル／分の流量で給気した際の作動について図５に従い説明する。
　窒素ガスを給気管（３０）から給気すると前記窒素ガスは、流体駆動誘引体（２０）の環状隙間からコアンダ効果により内壁に沿って下流側へ流れ、前記筒体の下流側開口部（１２）から排出される。つまり、第１流路（４１）を通って排出される。
　前記窒素ガスの流れによって、真空ポンプ（Ｐ）等の内部に浮遊する流体（副生成物紛体が混在する場合を含む）は、前記筒体の第２流路（４２）を構成する前記筒体の上流側開口部に誘引される。
　前記第２流路（４２）に誘引された流体は、前記筒体の下流側開口部（１２）から排出される。
　なお、前記第２流路（４２）の最狭部の内径が１１ミリメートルであるため、前記第２流路に当該最狭部に詰まらない程度の副生成物紛体が混在する流体が通っても詰まることはない。
　副生成物紛体が混在する流体を想定して、直径３ミリメートルの樹脂ビーズを滞留させた配管径４０ミリメートルの第１仮想環境及び配管径６８ミリメートルの第２仮想環境で、駆動気体の流量を変化させて試験を行った。
　いずれの仮想環境の場合も、直径３ミリメートルの樹脂ビーズは２０リットル／分で流れ始め、３０リットル／分でスムーズに流れた。
　なお、本実施例では駆動気体として窒素ガスを用いたが、その他の駆動気体（例えば、圧搾空気など）を用いることも許容し得るものとする。
　本願発明の流体誘引ユニットは、真空ポンプ等の内部で発生する副生成物紛体を誘引し排出する優れたユニットであるから産業上の利用可能性を有する。
　本願発明の真空ポンプの寿命を延ばす運用方法は、真空ポンプ等の内部で発生する副生成物紛体を誘引・排出し真空ポンプの寿命を延ばす優れた運用方法であるから産業上の利用可能性を有する。
　１　　　　流体誘引ユニット
　１０　　　筒体
　１１　　　上流側開口部、上流側開口端部
　１２　　　下流側開口部、下流側開口端部
　１３　　　上流側フランジ
　１４　　　下流側フランジ
　２０　　　流体駆動誘引体
　３０　　　給気管
　４１　　　第１流路
　４２　　　第２流路
　Ｐ　　　　真空ポンプ
　Ｌ１　　　筒体の上流側の縁端部内径
　Ｌ２　　　流体駆動誘引体の一方部の縁端部の外径
　Ｌ３　　　流体駆動誘引体の他方部の遠端部の内径
　Ｌ４　　　第２流路の最狭部の内径

Claims (6)

  1. 　両端が開口した筒体と、
    前記筒体の内部に設ける流体駆動誘引体と、
    前記筒体を貫通し前記流体駆動誘引体と連通する給気管と、
    前記給気管から前記流体駆動誘引体の内壁を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する第１流路と、
    前記筒体の上流側開口部から前記流体駆動誘引体を経由して前記筒体の下流側開口部へと連通する最狭部が１１ミリメートル以上である第２流路と、
    を備え、
    前記第１流路に駆動気体を給気した際に前記流体駆動誘引体の内壁に沿って流れ、
    前記第１流路の駆動気体が排出する際に前記第２流路に流体が誘引される流体誘引ユニット。
  2. 　少なくとも前記筒体の上流側開口端部にフランジを付設した請求項１の流体誘引ユニット。
  3. 　前記流体駆動誘引体の外縁部と前記筒体の上流側開口内縁部との隙間をシールした請求項１又は請求項２に記載の流体誘引ユニット。
  4. 　前記流体駆動誘引体の外縁部と前記筒体の上流側開口内縁部とを接着した請求項１から請求項３いずれかに記載の流体誘引ユニット。
  5. 　前記筒体の上流側開口部の内径（Ｌ１）が４０ミリメートルである請求項１から請求項４いずれかに記載の流体誘引ユニット。
  6. 　請求項１から請求項５いずれかに記載の流体誘引ユニットを真空ポンプの排気側に接続して真空ポンプの寿命を延ばす運用方法であって、
    ２０リットル／分以上の流量で駆動気体を給気管に給気する第１工程と、
    前記第１工程により給気された駆動気体が前記流体駆動誘引体の内壁に沿って前記流体駆動誘引体内から前記筒体の下流側開口部へと流れる第２工程と、
    前記第２工程の流れにより当該真空ポンプから前記筒体の上流側へ流体を誘引する第３工程と、
    前記第３工程で誘引した流体を前記筒体の下流側開口部へ排出する第４工程と、
    により真空ポンプ及びその排気側配管の内部で発生する副生成物紛体を誘引し排出して真空ポンプの寿命を延ばす運用方法。
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