TWI643428B - 真空泵用馬達轉子及具備該馬達轉子之馬達以及真空泵 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種永久磁鐵不會腐蝕的馬達轉子。
本發明係提供一種馬達轉子，其係在用以驅動真空泵之泵轉子旋轉軸之馬達所使用者，其特徵為具備：在軸線方向疊層具有穴部之複數個鋼板的轉子鐵芯；設置於前述穴部的永久磁鐵；及安裝在前述轉子鐵芯之軸線方向兩端部的側板；在前述鋼板的整面係塗佈有黏接劑，前述複數個鋼板彼此及側板係透過該黏接劑進行面接合。

Description

真空泵用馬達轉子及具備該馬達轉子之馬達以及真空泵
本發明係關於一種馬達轉子(motor rotor)，尤有關於真空泵用馬達轉子及具備該馬達轉子之馬達以及真空泵(pump)。
例如，在半導體製程中，係於各種的步驟中利用真空技術。茲舉數例，有用來形成金屬薄膜的真空蒸鍍法、供光阻劑(resist)去除或蝕刻步驟用的電漿蝕刻法、供雜質擴散步驟用的離子注入法、供形成矽氧化膜或氮化膜步驟用的減壓CVD(Chemical Vapor Deposition，化學氣相沉積)或電漿CVD法等。此等製程均係在真空(或減壓)環境下進行，在半導體製程中，真空所達成的作用非常大。
以使用於半導體製造裝置等的真空泵而言，係有第6圖所示之多段魯式(roots)型容積式的真空泵101。該圖所示者係3段真空泵101。亦即，具備有合計共6個泵轉子103(但在第6圖(A)中係因對應的泵轉子重疊， 因此各段都只能看見1個泵轉子103)。該真空泵101的泵轉子旋轉軸105係藉由一對齒輪(gear)107彼此朝相反方向以相同的周期旋轉。相互對向的泵轉子103彼此及泵轉子103與殼體(casing)108在未接觸下，一邊保持些微的間隙一邊旋轉而得以將氣體排出至外部。
在該第6圖(A)中，設置在右端的是馬達M。在該馬達M中，馬達轉子109係安裝於泵轉子旋轉軸105，而在該馬達轉子109的周圍，則隔著預定間隙而設置有馬達定子111。在該構造的馬達M中，馬達轉子109與馬達定子111係存在於相同空間內。第6圖(B)係垂直於該真空泵101之泵轉子旋轉軸105的剖面圖。從該圖可明瞭，三葉狀的泵轉子103係安裝在彼此平行的2個泵轉子旋轉軸105。
另一方面，第7圖所示的真空泵121，係具備有提升馬達之耐腐蝕性的罐封馬達(canned motor)M3。所謂罐封馬達M3係以圓筒狀罐(can)141覆蓋馬達轉子129之構造的馬達，具有即使不具備軸封(seal)構造亦可保持氣密性的構造。亦即，其係一種以將馬達轉子129與馬達定子131之間隔離的方式，介設圓筒狀罐141的構造。在罐141的開口端，係形成有預定的凸緣(flange)部，而該凸緣部係固定於泵轉子側的泵外殼(housing)。因此，馬達轉子129與馬達定子131之間係維持完全的氣密性。
即使是罐封馬達M3的情形下，馬達轉子129所存在的空間係與真空泵的內部空間直接連通。因 此，其係一種會直接曝露於在半導體製程中所排氣的氣體的構造。在半導體製程中使用或所產生的氣體中，係包含有腐蝕性氣體，而罐封馬達M3的構成要素，需要耐腐蝕性高的材料或構造。尤其是，在使用永久磁鐵類型的馬達中，由於永久磁鐵本身具有容易腐蝕的特徵，因此需要提升耐生鏽及耐腐蝕性的技術。
就提升馬達轉子之耐腐蝕性的技術而言，已有多種技術被提出。例如，在第1例中，係在疊層圓環狀多數個鐵芯板材所形成的轉子鐵芯的磁鐵插入孔部，插入固定有永久磁鐵。此時，永久磁鐵係將複數組在軸線方向排成列的二個單位磁鐵，以樹脂塗覆(coating)而形成為棒狀。該發明之目的係以樹脂來塗覆永久磁鐵，藉此來抑制永久磁鐵表面所產生的渦電流，防止永久磁鐵的溫度上升，藉以防止永久磁鐵的特性劣化，來防止旋轉電機的性能降低(請參照專利文獻1的摘要)。
此外，在第2例中，係一種複數個圓盤狀的轉子鐵芯(rotor core)疊層的轉子，固設於旋轉軸，該轉子具備：具有穴部的轉子鐵芯；插入於穴部的磁鐵；注入於穴部內的樹脂部；及設在轉子鐵芯之軸線方向之兩端部的端板(end plate)，而磁鐵與端板係相接觸之構造(請參照專利文獻2的摘要)。此例尤其著眼於穴部與磁鐵之間之空間的密封。
再者，在第3例中，穿設於轉子鐵芯之磁鐵插入孔的磁鐵插入空間，其長、寬、及高的各尺寸係設定 為大於永久磁鐵的長、寬、及高的各尺寸之尺寸。因此，藉由間隙嵌合而插入於磁鐵插入孔的永久磁鐵，會成為完全埋沒於磁鐵插入孔內的形態，而在磁鐵插入空間的內壁面與永久磁鐵周圍之間形成空間，此外，也在轉子鐵芯的兩端面側形成空間。在永久磁鐵插入後的磁鐵插入孔中，於覆蓋永久磁鐵所有表面的空間，充填非磁性體的樹脂。藉此，以防止永久磁鐵的腐蝕(請參照專利文獻3的摘要)。
如上所述，專利文獻1至3的發明，係謀求使用於馬達轉子之永久磁鐵之耐生鏽性的提升者。亦即，係作成一種具備疊層複數個鋼板所構成的轉子鐵芯；及插入於以軸線方向貫通該轉子鐵芯的穴部中的永久磁鐵，且在該永久磁鐵表面的塗覆層與插入穴部的間隙介設樹脂，以使成為腐蝕原因的水分不會侵入的方式而構成。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2005-94845號公報
專利文獻2：日本特許第4685661號公報
專利文獻3：日本特開2012-213310號公報
然而，在上述各專利文獻的發明中，會有以下的問題。亦即，在任一個引用文獻中，所疊層的圓盤狀轉子鐵芯材料均係矽鋼板。矽鋼板以微觀方式來觀看， 會因為表面的波紋等，在鄰接的矽鋼板彼此之間產生間隙。水分或腐蝕性氣體等會通過該間隙，而侵入至永久磁鐵所插入的穴部。
只要在永久磁鐵的表面施以耐腐蝕性處理而且在永久磁鐵與插入穴部的間隙充填樹脂，永久磁鐵就不會直接曝露在水分或腐蝕性氣體。然而，永久磁鐵的耐腐蝕性膜或樹脂的膜厚非常地薄，因此，在永久磁鐵的表面或樹脂有傷痕或針孔(pinhole)等時，水分或腐蝕性氣體就會通過，而導致永久磁鐵素材的生鏽或腐蝕。就此點而言，永久磁鐵的耐生鏽性及耐腐蝕性並不足夠。
本發明係有鑑於上述問題而研創者，在第1手段中，係採用以下的構成：一種馬達轉子，其係在用以驅動真空泵之泵轉子旋轉軸之馬達所使用者，其特徵為具備：在軸線方向疊層具有穴部之複數個鋼板的轉子鐵芯；設置於前述穴部的永久磁鐵；及安裝在前述轉子鐵芯之軸線方向兩端部的側板，在前述鋼板的整面係塗佈有黏接劑，前述複數個鋼板彼此及側板係透過該黏接劑進行面接合。藉由採用此種構成，於所疊層的鋼板之間，會因為所塗佈的黏接劑，而不會再有鋼板間的間隙。與此同時，馬達轉子之兩端部的側板也藉由黏接劑進行面黏接，使得永久磁鐵所插入的穴部，會因為所疊層的鋼板而成為完全密閉的構造。藉此，穴部的永久磁鐵即完全與外部的環境(水分或腐蝕性的氣體)隔離，而使耐生鏽性及耐腐蝕性的效果 更確實地提升。
此外，在第2手段中，係採用以下的構成：在前述側板之接合面的整面，也於接合前塗佈有前述黏接劑。藉由採用此種構成，除了上述作用外，還在轉子鐵芯之兩端部的鋼板與側板之間也介設確實的黏接劑。
此外，在第3手段中，係採用以下的構成：前述轉子鐵芯用的鋼板係矽鋼板。藉由採用此種構成，除上述作用外，還可在不損及純鐵的高透磁率下，降低比電導率，而可實現作為電磁鋼板所需的低鐵損。
此外，在第4手段中，係採用以下的構成：前述馬達轉子係安裝於泵轉子旋轉軸的端部。藉由採用此種構成，除上述作用外，還可藉由馬達使泵轉子旋轉軸直接旋轉，因此構造變得簡易。
此外，在第5手段中，係採用以下的構成：前述側板係非磁性的金屬板或樹脂板。藉由採用此種構成，除上述作用外，還由於側板係以非磁性體構成，因此不會因為永久磁鐵的磁場而往側板內部形成磁路，而可有效率地在轉子鐵芯進行磁路形成，而不會損及馬達特性。
此外，在第6手段中，係採用以下的構成：前述永久磁鐵的軸線方向長度係短於前述轉子鐵芯的軸線方向長度，在前述永久磁鐵與各側板之間係形成有預定的兩端部間隙，在該間隙間則充填有前述黏接劑。此外，在第7手段中，係採用以下的構成：在前述穴部與永久磁鐵之間的間隙係充填有前述黏接劑。藉由採用此種構成，除 上述作用外，還將黏接劑充填於前述轉子鐵芯的穴部與永久磁鐵的間隙、及永久磁鐵與兩側板的間隙，而將空間密封。再者，即使因為某種理由而在所疊層的鋼板本體產生了針孔(pinhole)等，水分或腐蝕性的氣體侵入了轉子鐵芯的內部，永久磁鐵周圍的黏接劑也會隔離水分或腐蝕性的氣體。因此，可獲得不會產生永久磁鐵之生鏽或腐蝕的效果。此外，藉由封入黏接劑而非樹脂，矽鋼板與永久磁鐵的間隙就會因為黏接劑的性質而被牢固地結合。
此外，在第8手段中，係採用以下的構成：前述黏接劑係嫌氣性黏接劑、加熱硬化型黏接劑或二液反應硬化型黏接劑。藉由採用此種構成，除上述作用外，在將永久磁鐵插入於轉子鐵芯的穴部時，黏接劑尚未硬化，而還可在插入後使之硬化，而可在間隙充分充填黏接劑。此外，由於嫌氣性黏接劑係在空氣被隔離的狀態下，因有鐵系構件存在而硬化，因此不會如充填樹脂時曝露在高溫的熔融溫度(數百度左右)，而不會對永久磁鐵造成影響。此外，由於加熱硬化型黏接劑的硬化溫度也為100℃左右，因此同樣也不會對永久磁鐵造成影響。而2液硬化型也藉由硬化劑硬化，因此同樣地也不會因溫度對永久磁鐵造成影響。
此外，在第9手段中，係採用以下的構成：於前述鋼板疊層之後而硬化的黏接劑，係藉由樹脂浸漬劑而予以封孔處理。藉由採用此種構成，除上述作用外，雖有因為某種理由在前述鋼板的黏接疊層時產生針孔等的情 形，但還可藉由浸漬液狀的樹脂而將針孔等予以密封處理。
此外，在第10手段中，係採用以下的構成：在前述馬達轉子之表面的至少一部分，係塗覆有腐蝕防止膜。藉由採用此種構成，除上述作用外，還可防止鋼板自身的生鏽或腐蝕。
此外，在第11手段中，係採用以下的構成：在前述永久磁鐵的表面，係塗覆有生鏽防止膜或腐蝕防止膜。藉由採用此種構成，除上述作用外，還可謀求耐生鏽性、耐腐蝕性更進一步的提升。
此外，在第12手段中，係採用以下的構成：前述塗覆係複數層的塗覆，且至少1層係藉由使用耐腐蝕性樹脂之CVD法進行製膜來施以無針孔塗覆(non pinhole coating)。藉由採用此種構成，除上述作用外，即使水分或腐蝕性氣體侵入於轉子鐵芯內部，永久磁鐵也不會與該等接觸，而還可防止生鏽或腐蝕的產生。
此外，在第13手段中，係採用以下的構成：一種馬達，其係具備上述手段中任一手段的馬達轉子、及隔著預定間隙設置在該馬達轉子周圍的馬達定子(stator)。藉由採用此種構成，馬達轉子即使設置在例如腐蝕性氣體環境中，也具有高的耐腐蝕性。
此外，在第14手段中，係採用以下的構成：一種罐封馬達，其係具備上述馬達、及配置在前述馬達轉子與馬達定子之間的罐。藉由採用此種構成，馬達轉子與馬達定子的設置區域就彼此分離，而不再需要對馬達定子 施以耐腐蝕性處理。
再者，在第15手段中，係採用以下的構成：一種真空泵，其係具備上述馬達或罐封馬達。藉由採用此種構成，即實現耐生鏽性、耐腐蝕性優異的真空泵。
4A、4B、4C‧‧‧放大部分
11、109、129‧‧‧馬達轉子
13‧‧‧貫通穴部
15‧‧‧側板
17‧‧‧穴部
19‧‧‧永久磁鐵
19a‧‧‧永久磁鐵本體
19b‧‧‧鎳鍍覆層
19c‧‧‧腐蝕防止膜(薄膜樹脂層)
21‧‧‧矽鋼板
23‧‧‧黏接劑
25‧‧‧腐蝕防止膜(環氧樹脂膜)
31、105‧‧‧泵轉子旋轉軸
33、141‧‧‧罐
35‧‧‧馬達外殼
37、111、131‧‧‧馬達定子
101、121‧‧‧真空泵
103‧‧‧泵轉子
107‧‧‧齒輪
108‧‧‧外殼
L‧‧‧軸線
M‧‧‧馬達
M2、M3‧‧‧罐封馬達
第1圖(A)至(C)係顯示本發明之一實施型態之馬達轉子的圖。在此，第1圖(A)係第1圖(B)之A-A線的剖面圖，第1圖(B)係第1圖(A)之B-B線的剖面圖，而第1圖(C)係C-C線的左側面圖。
第2圖係配置在第1圖所示之馬達轉子之穴部之永久磁鐵的剖面圖。
第3圖係第1圖所示之馬達轉子的分解斜視圖。
第4圖(A)至(C)係第1圖之馬達轉子之各部的放大剖面圖，第4圖(A)係顯示第1圖中的4A部分、第4圖(B)係顯示第1圖中的4B部分、第4圖(C)係顯示第1圖中的4C部分。
第5圖(A)及(B)係具備第1圖所示之馬達轉子的罐封馬達，第5圖(A)係沿著泵轉子旋轉軸之軸線方向的剖面圖，第5圖(B)係第5圖(A)之VI-VI線的剖面圖。
第6圖(A)及(B)係一般之多段魯式型容積式真空泵的剖面圖，第6圖(A)係沿著泵轉子旋轉軸之軸線方向的剖面圖，第6圖(B)係第6圖(A)之B-B線的剖面圖。
第7圖係搭載有罐封馬達之真空泵之沿著泵轉子旋轉 軸之軸線方向的剖面圖。
第1圖係顯示本發明之一實施型態之馬達轉子11的圖。在此，第1圖(A)係第1圖(B)之A-A線的剖面圖，第1圖(B)係第1圖(A)之B-B線的剖面圖，而第1圖(C)係第1圖(B)之C-C線的側面圖。馬達轉子11係整體具有圓筒形狀，而內部則形成有剖面呈圓形的貫通穴部13。該貫通穴部13係用以供後述的泵轉子旋轉軸插入者。在馬達轉子11之軸線方向的兩端部，係安裝有環狀的側板15。該側板15係具有與馬達轉子11之剖面形狀大致相同的形狀。
此外，在馬達轉子11內，係沿著軸線方向形成有剖面呈矩形的穴部17。該穴部17係跨軸線方向全長而形成。在穴部17中，係插入配置有剖面呈矩形的永久磁鐵19。用來供永久磁鐵19插入之穴部17之剖面的尺寸，在寬、高方向都形成為較永久磁鐵19的尺寸稍大，而得以在穴部17與永久磁鐵19之間形成預定的間隙。再者，在此間隙中，係充填黏接劑並經硬化。另外，永久磁鐵19的剖面形狀並未特別限定，可為正方形、圓形、橢圓形、三角形等之任何的形狀。
在本實施型態中，係設置有4組永久磁鐵19。具體而言，如第1圖(A)或(C)所示，設置成等角度間隔(90°)的配置，剖面呈矩形的長邊方向係對於馬達轉子11的半徑方向成為朝向直角的方向。因此，相鄰的永久磁鐵 19之剖面的長邊方向係彼此垂直，另一方面，以軸線L為中心而彼此相對向之永久磁鐵19之剖面的長邊，則配置成相互平行。另外，永久磁鐵19的數量係為一例，其數量可為2個，亦可為較4個更多的數量。此外，本實施型態的永久磁鐵19，係具有與馬達轉子11之軸線方向長度大致相同的長度，但本發明並不限定於此。具體而言，也可沿著軸線方向將永久磁鐵19分割成複數個。舉例而言，將永久磁鐵19之軸線方向的長度，作成馬達轉子11之軸線方向長度的1/4左右，針對1個位置的穴部17配置4個永久磁鐵。因此，在適用於本實施型態的馬達轉子11時，合計將使用分割為16個的永久磁鐵19。
第2圖係將永久磁鐵19朝與軸線方向垂直的方向切割時的剖面圖。如該圖所示，在最內側具有永久磁鐵本體19a，而在其外側施有預定的表面處理。具體而言，在永久磁鐵本體19a的表面，首先形成鎳鍍覆層19b，且在該鎳鍍覆層19b上，進一步形成有薄膜樹脂層19c，作為藉由CVD法進行的針孔密封處理。此係樹脂層本身中未產生針孔即所謂的無針孔塗覆。綜上所述，該表面處理僅只是一例，也可以完全不進行表面處理，也可僅施以一層或三層以上的表面處理。
第3圖係本實施型態之馬達轉子11的分解斜視圖。在該第3圖中，為了便於說明而僅顯示用以形成轉子鐵芯的環狀鋼板21的一部分。實際上，係疊層有多數個鋼板21，形成為如上所述的圓筒狀轉子鐵芯。補充說 明，在第3圖中，係於轉子鐵芯之軸線方向的兩端部揭示有3片或4片鋼板21。環狀鋼板21的材料，其中一例係矽鋼板。矽鋼板21在用來作為轉子鐵芯的材料時，可適當地形成磁路。然而，只要是可適當形成磁路的材料，並不限定於矽鋼板21。另外，在矽鋼板21間硬化的黏接劑中，會有產生針孔的情形。在此情形下，也可使用樹脂浸漬材料來進行針孔的封孔處理。
第4圖係第1圖之各部分中的放大剖面圖，第4圖(A)係顯示第1圖中的4A部分、第4圖(B)係顯示第1圖中的4B部分、第4圖(C)係顯示第1圖中的4C部分。首先，在第4圖(A)中，係揭示有馬達轉子之軸線方向的端部與側板15。在矽鋼板21之兩面的整面，係於疊層前預先塗佈有黏接劑23。再者，在將該矽鋼板21疊層於軸線方向之後，一邊於軸線方向施加荷重一邊加熱。藉此，黏接劑23即硬化而形成轉子鐵芯。結果，如第4圖(A)所示，即使在矽鋼板21產生波紋等，相鄰接之矽鋼板21之間的間隙中，也完全地充填黏接劑23而面接觸。因此，在各矽鋼板21的彼此間，不會有水分或腐蝕性氣體等侵入的情形。
在轉子鐵芯之端部的矽鋼板21與側板15之間亦存在有黏接劑23。此係塗佈於矽鋼板21之表面的黏接劑23。因此，即使因為波紋等在矽鋼板21與側板15之間產生間隙的情形下，也會在該間隙存在有黏接劑23而將間隙填埋。另外，在組裝轉子鐵芯之前，也可在側板 之黏接面的整面塗佈黏接劑。此外，在轉子鐵芯的外周面，係形成有由樹脂而成的腐蝕防止膜25。以所使用的樹脂而言雖可考慮各種樹脂，但在本實施型態中係使用環氧(epoxy)樹脂。另外，由環氧樹脂而成的腐蝕防止膜並不限定於轉子鐵芯的外周面。亦即，也可形成在用來供泵轉子旋轉軸插入之貫通穴部13(參照第1圖)的內周面或側板15的表面。再者，也可在轉子鐵芯的表面整體而非一部分形成腐蝕防止膜。
此外，在本實施型態中，永久磁鐵19係形成為稍短於轉子鐵芯之軸線方向的長度。再者，如第4圖(A)所示，以在永久磁鐵19之端部與側板15之間形成些微間隙之方式，將永久磁鐵19定位於轉子鐵芯的穴部17內。再者，在該間隙也存在有黏接劑23。在本實施例中，係在該間隙充填有嫌氣性黏接劑並經硬化。然而，只要可確保各側板15與永久磁鐵19之兩端部之間的間隙的密封，也可為將永久磁鐵19的長度設為與轉子鐵芯之軸線方向長度大致相等，而不形成上述間隙的構成。
此外，在第4圖(B)中，係顯示設置在轉子鐵芯之穴部17的永久磁鐵19。如該圖所示，在永久磁鐵本體19a的外側，形成有鎳鍍覆層19b，並且在鎳鍍覆層19b的更外側，形成有屬於腐蝕防止膜的薄膜樹脂層19c。再者，如上所述，在永久磁鐵19(實際上係薄膜樹脂層)與穴部17之間的間隙，係充填有黏接劑23並經硬化。因此，永久磁鐵19的周圍或通往永久磁鐵19的間隙等，均充填 有黏接劑，而將水分或腐蝕性氣體完全地隔離。
再者，第4圖(C)係分別顯示永久磁鐵19的剖面、矽鋼板21的表面及環氧樹脂膜25的剖面。在矽鋼板21之表面的整面，係塗佈有黏接劑23，而接合相鄰接之矽鋼板21彼此時，彼此的黏接劑23會充填於間隙。另外，將黏接劑23塗佈於矽鋼板21的整面並非必要條件，只要塗佈成至少包圍永久磁鐵19的周圍部，就可防止永久磁鐵19的生鏽或腐蝕。本實施型態中所使用的黏接劑，係嫌氣性黏接劑。嫌氣性黏接劑係在空氣被隔離的狀態下，於存在鐵系材料的環境中硬化者。因此，藉由疊層矽鋼板彼此來隔離空氣，以開始嫌氣性黏接劑的硬化。
黏接劑23並不限定於嫌氣性黏接劑，也可以是加熱硬化型黏接劑或二液反應硬化型黏接劑。此等黏接劑均為可在疊層矽鋼板21之後開始硬化的黏接劑。因此，將會確實地充填於疊層後之矽鋼板21的彼此間。除以上的特徵以外，相較於習知技術中使用熔融樹脂的情形(必須加熱至數百度左右)，加熱硬化型黏接劑可藉由100℃左右的加熱硬化。因此，可防止因為加熱對於永久磁鐵造成的不良影響。此外，在嫌氣性黏接劑或二液反應硬化型黏接劑的情形下，由於不需要加熱，因此不需考慮因為加熱對於永久磁鐵造成的不良影響。另外，也可視場所而區分使用黏接劑。例如，使用黏接力高的加熱硬化型黏接劑來將矽鋼板21予以進行面黏接，另一方面，在永久磁鐵的周圍則使用嫌氣性黏接劑的方法。
第5圖係罐封馬達M2的剖面圖。如該圖所示，在泵轉子旋轉軸31的端部，安裝有馬達轉子11。再者，設有圓筒狀的罐33，以覆蓋馬達轉子11。罐33的一端(在圖中係為左端)係呈封閉，而另一端(在圖中係為右端)則呈開放。在罐33的另一端，係形成有朝向半徑方向外側的凸緣部。該凸緣部係固定於馬達外殼35。在馬達轉子11與罐33之間，係形成有預定的間隙。藉由以上的構成，設置有馬達轉子11的空間(罐33的內部)，與設置有馬達定子37的空間(罐33的外側)，即被罐33與馬達外殼35完全隔離。
馬達定子37係由定子鐵芯與定子線圈所構成。再者，馬達轉子11係藉由馬達定子37所產生的磁力而旋轉。如顯示第5圖(A)之VI-VI線之剖面的第5圖(B)所示，馬達定子37係於罐33的外周面設置有6組。然而，馬達定子37的數量係為一例，也可設為少於6組的數量，或可設為多於6組的數量。另外，即使腐蝕性氣體等侵入於設置有馬達轉子11的空間，該氣體也會因為罐33而不會到達馬達定子37。因此，在罐封馬達M2的情形下，對於馬達定子37之防生鏽、耐腐蝕性的要求，係低於馬達轉子與馬達定子存在於相同空間的馬達。
[產業上的可利用性]
本發明的一例而言，係可利用於在半導體製造裝置等中用來產生真空的真空泵。

Claims (18)

  1. 一種馬達轉子，其係在用以驅動使用於半導體製程之真空泵之泵轉子旋轉軸之罐封馬達所使用者，其特徵為具備：在軸線方向疊層具有穴部之複數個鋼板的轉子鐵芯；設置於前述穴部的永久磁鐵；及安裝在前述轉子鐵芯之軸線方向兩端部的側板，在前述鋼板的整面係塗佈有黏接劑，前述複數個鋼板彼此及側板係透過該黏接劑進行面接合，於前述鋼板疊層之後而硬化的黏接劑，係藉由樹脂浸漬劑而予以封孔處理，在前述馬達轉子之表面的至少一部分，係塗覆有腐蝕防止膜。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之馬達轉子，其中，在前述側板之接合面的整面，也於接合前塗佈有前述黏接劑。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，前述轉子鐵芯用的鋼板係矽鋼板。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，前述馬達轉子係安裝於泵轉子旋轉軸的端部。
  5. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，前述側板係非磁性的金屬板或樹脂板。
  6. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，前述永久磁鐵的軸線方向長度係短於前述轉子鐵芯的軸線方向長度，在前述永久磁鐵與各側板之間係形成有預定的兩端部間隙，在該間隙間則充填有前述黏接劑。
  7. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，在前述穴部與永久磁鐵之間的間隙係充填有前述黏接劑。
  8. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，前述黏接劑係嫌氣性黏接劑、加熱硬化型黏接劑或二液反應硬化型黏接劑。
  9. 如申請專利範圍第1或2項所述之馬達轉子，其中，在前述永久磁鐵的表面，係塗覆有生鏽防止膜或腐蝕防止膜。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之馬達轉子，其中，前述塗覆係複數層的塗覆，且至少1層係藉由使用耐腐蝕性樹脂之CVD法進行製膜來施以無針孔塗覆(non pinhole coating)。
  11. 一種罐封馬達，其係具備上述申請專利範圍第1至10項中任一項的馬達轉子；隔著預定間隙設置在該馬達轉子周圍的馬達定子(stator)；及配置在前述馬達轉子與前述馬達定子之間的罐。
  12. 一種真空泵，其係具備申請專利範圍第11項的罐封馬達。
  13. 一種馬達轉子，其係在用以驅動真空泵之泵轉子旋轉軸之馬達所使用者，其特徵為具備：在軸線方向疊層具有穴部之複數個鋼板的轉子鐵芯；設置於前述穴部的永久磁鐵；及安裝在前述轉子鐵芯之軸線方向兩端部的側板，在前述鋼板的整面係塗佈有黏接劑，前述複數個鋼板彼此及側板係透過該黏接劑進行面接合，在前述複數個鋼板彼此之間係使用加熱硬化型黏接劑，而在前述穴部與永久磁鐵之間的間隙係使用嫌氣性黏接劑，在前述永久磁鐵的表面，係施有藉由使用耐腐蝕性樹脂之CVD法而進行之製膜。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之馬達轉子，其中，前述製膜係無針孔塗覆。
  15. 如申請專利範圍第13或14項所述之馬達轉子，其中，在前述永久磁鐵與前述製膜之間，更塗覆有生鏽防止膜或腐蝕防止膜。
  16. 如申請專利範圍第13或14項所述之馬達轉子，其中，於前述鋼板疊層之後而硬化的黏接劑，係藉由樹脂浸漬劑而予以封孔處理。
  17. 如申請專利範圍第13或14項所述之馬達轉子，其中，在前述馬達轉子之表面的至少一部分，係塗覆有腐蝕防止膜。
  18. 一種馬達轉子，其係在用以驅動真空泵之泵轉子旋轉軸之馬達所使用者，其特徵為具備：在軸線方向疊層具有穴部之複數個鋼板的轉子鐵芯；設置於前述穴部的永久磁鐵；及安裝在前述轉子鐵芯之軸線方向兩端部的側板，在前述鋼板的整面係塗佈有黏接劑，前述複數個鋼板彼此及側板係透過該黏接劑進行面接合，前述永久磁鐵係沿著軸線方向分割成複數個。
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