TWI606320B - Plan generating device, plan producing method, and plan producing program product - Google Patents

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TWI606320B
TWI606320B TW105105599A TW105105599A TWI606320B TW I606320 B TWI606320 B TW I606320B TW 105105599 A TW105105599 A TW 105105599A TW 105105599 A TW105105599 A TW 105105599A TW I606320 B TWI606320 B TW I606320B
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Mitsuteru Shiba
Akifumi Suzuki
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Mitsubishi Electric Corp
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Description

計劃產生裝置、計劃產生方法以及計劃產生程式產品
本發明係有關於一種以在生產設備所製造之產品的品質成為最佳之方式產生製程計劃的計劃產生裝置、計劃產生方法以及計劃產生程式產品。
在工廠運轉之生產線或生產設備係一般由複數台製造裝置所構成。複數台製造裝置分別擔任特定之加工及檢查功能。那些製造裝置係從前面之製程接受中間品或元件的中間產品，在收到中間產品之製程實施加工，再將已實施加工的中間產品交給下一個製程。一般，在製造裝置之加工，在中間產品所具有之物理性大小、電阻值之電性特性、或其他的屬性值，在每次之作業發生某程度的不均。進而，該不均本身亦即使是進行相同之加工的複數台製造裝置亦具有相異的分布。
專利文獻1之生產管理系統係預先將使在複數個加工製程之加工的成果變成最佳的產品組合資訊保存於外部記憶裝置。又，生產管理系統記憶所生產之產品之在各檢查製程的檢查及量測結果資訊。生產管理系統係根據產品組合資訊、與檢查及量測結果資訊，決定各製造裝置的組合。
又，專利文獻2之製程計劃立案系統係具備資料庫，該資料庫係對按照處理經由各台製造裝置所得之各裝置路 徑，儲存經由裝置路徑所製造之中間產品的品質資訊。製程計劃立案系統係具備品質分布推測手段，該品質分布推測手段係藉由從資料庫取得品質資訊，在統計學上推測根據製造裝置之組合而異的品質分布資訊。又，製程計劃立案系統係根據藉品質分布推測手段所得之品質分布，判定滿足品質規格之製造裝置的組合。而且，製程計劃立案系統係使用所判定之製造裝置的組合，決定裝置路徑。
又，在專利文獻3之產品品質預測，根據產品之缺點數或不良品數來定義品質，藉製造條件與將製造條件線性地組合之情況的回歸係數，將此品質公式化成線性回歸式。又，在產品品質預測，以機率密度函數表達製造條件的不均，並以具有條件之機率表達製造條件中無法動態地控制者，藉由從線性回歸式對品質進行機率計算，預測品質。
【先行專利文獻】
【專利文獻】
專利文獻1：特開平11-267952號公報
專利文獻2：特開2011-107882號公報
專利文獻3：專利第5012660號公報
在工廠之製造現場可達成相同之加工及檢查處理的複數條裝置路徑存在的情況，藉裝置路徑所含的製造裝置單體所示之品質傾向之單純的堆積，無法預測最終產品之品質。 此處，單純的堆積意指製作在各製造裝置收集作為單體裝置之品質指標值的值最佳者所組合的裝置路徑。直覺上，推測在這種裝置路徑所製造之最終產品顯示最佳的品質傾向。可是，實際上有在各檢查製程所確認之品質指標間有相關關係的情況，而有在製造裝置之單體品質上不是最佳者之組合在結果上超過最佳之製造裝置的組合的情況。像這樣只是獨立地提高各製造裝置的品質，未必有助於提高最終產品之品質。
在專利文獻1，需要對有相關關係之複數台製造裝置預先準備最佳之組合。為了該準備，需要藉產品設計者或生產設備設計者之知識或經驗掌握製造裝置間的相關關係，而難追隨從每天之改進活動所實施之製程改變的變化。又，在導入新的製造裝置的情況，為了人一面使用該製造裝置一面掌握該製造裝置之特性，需要長期間。
在專利文獻2，因為儲存並利用實際上所使用之裝置路徑的品質資訊，所以關於未被執行之裝置路徑無資訊，不會成為裝置路徑之候選對象。因此，在專利文獻2，未必選擇最佳的裝置路徑。
專利文獻3係利用回歸分析，對產品之品質進行公式化，但是因為未考慮各品質指標的相關，所以在品質指標間有強相關的情況，有所導出之品質不正確的情況。
本發明係目的在於在無關於有相關關係之製造裝置之資訊的情況，亦藉由從生產設備之測試的資訊抽出製造裝置間的相關關係，而產生使用在統計上品質成為最高之裝置路徑的製程計劃。
本發明之計劃產生裝置係在產生經由複數個製程所生產之產品的製程計劃之計劃產生裝置，其包括：相關判定部，係將是複數台裝置並各裝置屬於該複數個製程之任一個的複數台裝置中的一台裝置作為第1裝置，而且將表示藉該第1裝置所加工之中間產品之品質的品質值作為第1品質值，將該複數台裝置中屬於比該第1裝置所屬之製程前面的製程之裝置作為第2裝置，而且將藉該第2裝置所加工之中間產品的品質值作為第2品質值，並判定該第1品質值與該第2品質值是否有相關關係；組判定部，係在被判定該第1品質值與該第2品質值有相關關係的情況，使用表示中間產品之品質的品質基準值，判定該第1裝置與該第2裝置是否是將該第1品質值之與該品質基準值的第1誤差、和該第2品質值之與該品質基準值的第2誤差相抵消之裝置的組；以及製程計劃產生部，係在被判定該第1裝置與該第2裝置是該裝置之組的情況，使用該裝置的組，產生該製程計劃。
本發明之計劃產生裝置係對裝置的組合判定相關關係，再從有相關關係之裝置的組合中判定將中間產品之品質的偏差相抵消之裝置的組，並使用此裝置的組，產生製程計劃。因此，計劃產生裝置係可自動抽出生產品質的偏差小之高品質的中間產品之裝置的組，再使用所抽出之裝置的組，產生製程計劃。因此，若依據計劃產生裝置，可在短時間自動地產 生最佳的製程計劃。
31‧‧‧第1誤差
32‧‧‧第2誤差
50‧‧‧製程
50a‧‧‧製程A
50b‧‧‧製程B
50x‧‧‧製程X
50z‧‧‧製程Z
51‧‧‧原材料
52、52a、52b、52x、52z‧‧‧中間產品
53‧‧‧產品
54‧‧‧裝置
55、55a、55b、55x、55z‧‧‧檢查及搬運製程
100、100a‧‧‧計劃產生裝置
110‧‧‧品質資訊取得部
120‧‧‧相關判定部
130‧‧‧組判定部
170‧‧‧品質資訊判定部
180‧‧‧裝置切換部
140‧‧‧製程計劃產生部
160‧‧‧記憶部
161‧‧‧相關係數資訊
162‧‧‧組合資訊
163‧‧‧臨限值
164‧‧‧品質基準值BQ
151、151a、151b、151x、151z‧‧‧製程計劃
200‧‧‧資料庫
170‧‧‧品質資訊判定部
180‧‧‧裝置切換部
181‧‧‧切換指示
210‧‧‧品質資訊
211、211α、211a、211b、211x‧‧‧各製程品質資訊
212、213、214、215‧‧‧連結
300‧‧‧生產計劃資訊
400‧‧‧生產設備
510‧‧‧計劃產生方法
520‧‧‧計劃產生程式
540‧‧‧裝置之組
901‧‧‧處理器
902‧‧‧記憶裝置
903‧‧‧輸入界面
910‧‧‧通訊裝置
911‧‧‧接收器
912‧‧‧發射機
909‧‧‧處理電路
Q、Q1、Q2‧‧‧品質值
BQ‧‧‧品質基準值
AQ‧‧‧平均值
S100‧‧‧計劃產生處理
S110‧‧‧品質資訊取得處理
S120‧‧‧相關判定處理
S130‧‧‧組判定處理
S140‧‧‧製程計劃產生處理
ST1‧‧‧第1相關係數
ST2‧‧‧第2相關係數
ST3‧‧‧第3相關係數
T154‧‧‧第1裝置
T254‧‧‧第2裝置
T354‧‧‧第3裝置
T1Q‧‧‧第1品質值
T2Q‧‧‧第2品質值
T3Q‧‧‧第3品質值
C54‧‧‧切換裝置
D54‧‧‧判定裝置
第1圖係表示第1實施形態之計劃產生裝置100與生產設備400之關係的圖。
第2圖係表示第1實施形態之計劃產生裝置100之構成的圖。
第3圖係表示第1實施形態之品質資210之構成的圖。
第4圖係表示第1實施形態之計劃產生裝置100的計劃產生方法510及計劃產生程式520之計劃產生處理S100的流程圖。
第5圖係表示第1實施形態之相關判定部120之相關判定處理S120的流程圖。
第6圖係表示藉第1實施形態之相關判定處理S120所產生的相關係數資訊161之一例的圖。
第7圖係第1實施形態之裝置54x3的品質值Q1_x3之品質值關聯圖。
第8圖係表示第1實施形態之組判定部130之組判定處理S130的流程圖。
第9圖係表示第1實施形態之變形例的計劃產生裝置100之構成的圖。
第10圖係表示第2實施形態之計劃產生裝置100a之構成的圖。
第11圖係表示第2實施形態之品質資訊判定部170與裝置切換部180之動作的圖。
第1實施形態
***構成的說明***
使用第1圖，說明本實施形態之計劃產生裝置100與生產設備400的關係。
計劃產生裝置100產生經由複數個製程50所產生之產品53的製程。在第1圖，作為複數個製程50，製程A50a、製程B50b、...、製程Z50z存在。
計劃產生裝置100係取得生產計劃資訊300，而得到生產計劃資訊300所含的品質規格資訊及產量的計劃值。又，計劃產生裝置100係從資料庫200得到各裝置的品質資訊。計劃產生裝置100係使用所得之資訊，導出適合之裝置的指定，並對各製程提供製程計劃151。
在第1圖，表示從將原材料51投入生產設備400開始，至作為產品53輸出。產品53係亦有元件的情況。
生產設備400具備複數台裝置54。複數台裝置54係各裝置屬於複數個製程50之其中一個。此處，製程50意指加工製程或製造製程。又，裝置54亦意指加工裝置或製造裝置。
製程A50a具備從是A1號機之裝置54a1至是Ak號機之裝置54ak的裝置54。
製程B50b具備從是B1號機之裝置54b1至是Bm號機之裝置54bm的裝置54。
製程Z50z具備從是Z1號機之裝置54z1至是Zf號機之裝置54zf的裝置54。此處，k、m、f以及後述之n係任意的整數，表示設置於各製程之裝置的台數。
在檢查及搬運製程55，檢查原材料51，並搬運至製程A。
在製程A，藉從裝置54a1至裝置54ak之裝置可並列地處製程A之加工處理。對製程B、...、製程Z亦一樣。
藉製程A所加工之中間產品52a係藉檢查及搬運製程55a檢查後，從製程B之裝置54b1被搬運至裝置54bm。對製程B亦一樣。藉是最終製程之製程Z所加工之中間產品52z係藉檢查及搬運製程55z檢查後，在檢查成為合格之中間產品52z作為是最終產品的產品53被搬運。
在各個檢查及搬運製程55，對檢查及搬運對象之中間產品52，測量所預先決定之品質值。品質值係表示中間產品52之品質的指標值。品質值亦稱為品質指標值。品質值係至少一個，一般係複數個。在檢查及搬運製程55，根據所預定之品質基準值BQ，判定品質值是否是位於容許範圍的值。品質基準值BQ表示中間產品52之品質的基準。作為品質值，有中間產品之尺寸、在中間產品之傷痕的個數之具體例。
在檢查及搬運製程55中之檢查製程在檢查成為合格的中間產品52被搬運至下一個製程。在檢查製程成為不合格的中間產品52係為了判斷要丟棄或再加工成在檢查成為合格，而被搬運至別的製程。
在第1圖以雙重線所包圍之裝置54a1、裝置54b2、...、裝置54z2表示某產品或產品批之裝置路徑的一例。
此處，裝置路徑意指在各製程50所使用之裝置54的組合。在各製程50具有相同之功能的裝置54有複數台的情況， 在實際製造時選擇其中一台。即，在上述之例子，意指從製程A之裝置群選擇裝置54a1，從製程B之裝置群選擇裝置54b2，從製程Z之裝置群選擇裝置54z2，而產生一條裝置路徑。
若各裝置之加工結果係完全相同，在各製程選擇任一台裝置都應製造具有相同品質之最終的產品53。可是，一般在各檢查製程全部成為合格的情況，亦在產品53的品質發生某程度的不均。
此外，在第1圖，在圖1的表記上，記載製程Z成為最終製程，藉檢查及搬運製程55z實施最終檢查後，被搬運至保管場所。可是，不是將從A至Z的製程數限制成26，只要是複數個製程數，任意之製程數都可。
使用第2圖，說明本實施形態之計劃產生裝置100的構成。
在本實施形態，計劃產生裝置100係電腦。計劃產生裝置100包括處理器901、記憶裝置902、輸入界面903以及通訊裝置910之硬體。
又，計劃產生裝置100係作為功能構成，包括品質資訊取得部110、相關判定部120、組判定部130、製程計劃產生部140以及記憶部160。在以下之說明，將計劃產生裝置100中之品質資訊取得部110、相關判定部120、組判定部130以及製程計劃產生部140的功能稱為計劃產生裝置100之「部」的功能。計劃產生裝置100之「部」的功能係以軟體所實現。
又，記憶部160係以記憶裝置902所實現。在記憶部160，記憶品質資訊210、相關係數資訊161、組合資訊162以及品 質基準值BQ164。此外，亦可品質基準值BQ被包含於品質資訊210。
處理器901係經過信號線與其他的硬體連接，並控制這些其他的硬體。
處理器901係進行處理之IC(Integrated Circuit)。處理器901係具體而言，是CPU(Central Processing Unit)。
記憶裝置902包含輔助記憶裝置及記憶體。輔助記憶裝置係具體而言，是ROM(Read Only Memory)、快閃記憶體、或HDD(Hard Disk Driver)。記憶體係具體而言，是RAM(Random Access Memory)記憶部160係藉記憶裝置902所實現。記憶部160係具體而言，藉記憶體所實現，但是亦可藉輔助記憶裝置及記憶體之雙方所實現。
通訊裝置910包括接收器911與發射機912。具體而言，通訊裝置910係通訊晶片或NIC(Network Interface Card)。通訊裝置910作用為對資料進行通訊的通訊部。接收器911作用為接收資料的接收部，發射機912作用為傳送資料的傳送部。
輸入界面903係與滑鼠、鍵盤、觸控面板之輸入裝置連接的埠。輸入界面903係具體而言，是USB(Universal Serial Bus)端子。此外，亦可輸入界面903係與LAN(Local Area Network)連接的埠。
又，亦可計劃產生裝置100具備輸出界面。輸出界面係與顯示器之輸出裝置的電纜連接之埠。輸出界面係例如是USB端子或HDMI(登錄商標)(High Definition Multimedia Interface) 端子。顯示器係具體而言，是LCD(Liquid Crystal Display)
在輔助記憶裝置，記憶實現「部」之功能的程式。此程式係被下載至記憶體，再被處理器901讀入，並藉處理器901所執行。在輔助記憶裝置，亦記憶OS(Operating System)。OS之至少一部分被下載至記憶體，處理器901係一面執行OS，一面執行實現「部」之功能的程式。
計劃產生裝置100係亦可僅具備一個處理器901，亦可具備複數個處理器901。亦可複數個處理器901合作地執行實現「部」之功能的程式。
表示「部」之處理結果的資訊、資料、信號值以及變數值被記憶於輔助記憶裝置、記憶體、或處理器901內之暫存器或快閃記憶體。
亦可實現「部」之功能的程式被記憶於磁碟、軟碟、光碟、CD(Compact Disc)、藍光(登錄商標)光碟、DVD(Digital Versatile Disc)之可攜帶式記錄媒體。
此外，實現「部」之功能的計劃產生程式520係實現作為計劃產生裝置100之「部」所說明之功能的程式。又，被稱為製程計劃產生程式產品者係已記錄實現作為「部」所說明之功能之程式的記憶媒體及記憶裝置，與外觀之形式無關，係下載電腦可讀取之程式。
使用第3圖，說明本實施形態之品質資訊210的構成。
如第3圖所示，在資料庫200之品質資訊210，儲存表示藉生產設備400之各製程50的各裝置54所加工之中間產品52 的品質之品質值。在第3圖，表示製程A、製程B、製程B與最終的製程Z之間的製程X。從裝置54x1至裝置54xn之n台裝置屬於製程X。
品質資訊210係資料庫200所保存之資訊，包含在各製程50之後的檢查製程所檢查之品質值及各品質值的分布資訊。
各製程品質資訊211被記憶於品質資訊210。即，前製程之各製程品質資訊211α、製程A之各製程品質資訊211a、製程B之各製程品質資訊211b、...、製程X之各製程品質資訊211x被保存。在各個各製程品質資訊211，被設定屬於各製程50之各裝置54的品質值。
在本實施形態，作為品質值，記憶品質值Q1與品質值Q2。品質值Q1與品質值Q2係種類不同的品質值。作為具體例，品質值Q1係中間產品52的尺寸，品質值Q2係中間產品52之傷痕的個數。亦可品質值係其他的種類的品質指標值。
又，在各製程品質資訊211，包含關於屬於對應的製程50之複數台裝置54的資訊。
在製程A之前階段的各製程品質資訊211α，被設定品質值Q1α與品質值Q2α。品質值Q1α保存比是最初之加工製程的製程A前面之階段的檢查結果。一般，在材料或元件之原材料51被投入生產設備400的情況，為了確認各個的品質而實施檢查。因此，需要在比製程A前面之階段的各製程品質資訊211α。又，各製程品質資訊211α之品質值係不受裝置54之影響的品質值。在原材料51係購入品之元件的情況，各製程品質資訊211α係因為是無法藉生產設備400直接控制的 品質資訊，所以區分地處理。
在製程A之各製程品質資訊211a，對屬於製程A之各裝置被設定品質值Q1與品質值Q2。即，關於品質值Q1，被設定品質值Q1_a1、品質值Q1_a2、品質值Q1_a3、...、品質值Q1_ak。關於品質值Q2，被設定品質值Q2_a1、品質值Q2_a2、品質值Q2_a3、...、品質值Q2_ak。例如，品質值Q1_a1表示是藉裝置54a2所加工之中間產品52a的品質值Q1。
關於在製程B之各製程品質資訊211b及在製程X之各製程品質資訊211x，亦與該各製程品質資訊211a的構成一樣。
即，在製程B之各製程品質資訊211b，被設定品質值Q1_b1、品質值Q1_b2、品質值Q1_b3、...、品質值Q1_bm。又，被設定品質值Q2_b1、品質值Q2_b2、品質值Q2_b3、...、品質值Q2_am。又，在製程X之各製程品質資訊211x，被設定品質值Q1_x1、品質值Q1_x2、品質值Q1_x3、...、品質值Q1_xn。又，被設定品質值Q2_x1、品質值Q2_x2、品質值Q2_x3、...、品質值Q2_xn。
此外，因為在檢查製程成為不合格的中間產品52不會被交給下一個製程，所以品質資訊210係僅包含關於在檢查成為合格之中間產品52的品質值，而關於成為不合格之中間產品52的品質值係不包含。
***動作的說明***
使用第4圖，說明本實施形態之計劃產生裝置100的計劃產生方法510及計劃產生程式520的計劃產生處理S100。
在品質資訊取得處理S110，品質資訊取得部110係使用接收器911，從資料庫200接收品質資訊210。品質資訊取得部110係將所接收之品質資訊210記憶於記憶裝置902的記憶部160。品質資訊210的構成係如第3圖之說明所示。
在相關判定處理S120，相關判定部120係將生產設備400之複數台裝置54中的一台裝置作為第1裝置T154，而且將表示藉第1裝置T154所加工之中間產品52之品質的品質值作為第1品質值T1Q。而且，相關判定部120係將複數台裝置54中屬於比第1裝置T154所屬之製程50前面的製程50之裝置作為第2裝置T254，而且將表示藉第2裝置T254所加工之中間產品52之品質的品質值作為第2品質值T2Q。而且，相關判定部120判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q是否有相關關係。
使用第5圖，詳細說明本實施形態1120的相關判定處理S120。
在步驟S151，相關判定部120係對各製程實施以後的處理。首先，相關判定部120係選擇一個製程50，再從屬所選擇之製程50的複數台裝置54選擇一台裝置54，作為第1裝置T154。第1裝置T154係處理對象之裝置。具體而言，相關判定部120係從記憶部160所記憶之品質資訊210取得所選擇之製程50的各製程品質資訊211，再根據各製程品質資訊211所含的關於屬於製程50之複數台裝置54的資訊，選擇第1裝置T154。
在步驟S152，相關判定部120係將藉第1裝置T154所加工之中間產品52的品質值作為第1品質值T1Q，並從記憶部 160所記憶之品質資訊210取得。第1品質值T1Q係處理對象的品質值。具體而言，相關判定部120係選擇品質資訊210之各製程品質資訊211所含之對應於第1裝置T154的品質值之一，作為第1品質值T1Q。
作為具體例，相關判定部120係將製程X之裝置54x2作為第1裝置T154，並將品質值Q1_x2作為第1品質值T1Q。
在步驟S153，相關判定部120係將複數台裝置54中屬於比第1裝置T154所屬之製程前面的製程之裝置作為第2裝置T254，而且將表示藉第2裝置T254所加工之中間產品52的品質值作為第2品質值T2Q。具體而言，相關判定部120係從記憶部160所記憶之品質資訊210依序取得比製程X前面之製程的各製程品質資訊211，並依序取得所取得之各製程品質資訊211所含的裝置54，作為第2裝置T254。又，相關判定部120係依序取得所取得之第2裝置T254的品質值，作為第2品質值T2Q。
作為具體例，相關判定部120係將製程B之裝置54b2作為第2裝置T254，並將品質值Q2_b2作為第2品質值T2Q。
在步驟S154，相關判定部120係計算第1品質值T1Q與第2品質值T2Q的相關係數，作為第1相關係數ST1。
在步驟S155，相關判定部120判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q是否有相關關係。相關判定部120係使用第1相關係數ST1，判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q是否有相關關係。
作為具體例，相關判定部120係算出是第1品質值T1Q 之品質值Q1_x2與是第2品質值T2Q之品質值Q2_b2的相關係數，作為第1相關係數ST1。在此時，相關判定部120係根據所預設之顯著水準，確認是否是有相關，是否是有顯著差，在p值未滿顯著水準的情況，無顯著差，而判定無相關。顯著水準係具體而言，是5%。例如，相關判定部120係對p值是5%以下、相關係數未滿0.2%的第2品質值T2Q，當作在與第1品質值T1Q之間無相關關係。
在步驟S155，在判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q有相關關係的情況，移至步驟S156a。
在步驟S156a，相關判定部120係將第1品質值T1Q與第2品質值T2Q之第1相關係數ST1作為相關係數資訊161，記憶於記憶部160。
在步驟S155，在判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q無相關關係的情況，移至步驟S157。
在步驟S156，相關判定部120係若在時間序列順序位於比第2品質值T2Q前面的品質值群有與第2品質值T2Q相關的第3品質值T3Q，則使用第3品質值T3Q，算出偏相關係數，並作為第1相關係數ST1。具體而言，相關判定部120係使用者記憶部160所記憶之相關係數資訊161，檢測出屬於比第2裝置T254所屬的製程前面之製程的裝置中與第2裝置T254有相關關係而且與第1裝置T154亦有相關關係的裝置，作為第3裝置T354。而且，相關判定部120係將第3裝置T354的品質值作為第3品質值T3Q，根據是第3品質值T3Q與第2品質值T2Q之相關係數的第2相關係數ST2、及是第3品質值 T3Q與第1品質值T1Q之相關係數的第3相關係數ST3，算出第1品質值T1Q與第2品質值T2Q的偏相關係數。相關判定部120係根據所算出之偏相關係數，判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q是否有相關關係。相關判定部120係在判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q有相關關係的情況，將在相關係數資訊161之第1相關係數ST1替換成所算出之偏相關係數。
在步驟S157，相關判定部120係對比第1品質值T1Q前面之全部的品質值判定是否已處理。在有不是已處理之品質值的情況，回到步驟S153，選擇不是已處理之品質值，作為第2品質值T2Q。在無不是已處理之品質值的情況，移至步驟S158。
在步驟S158，相關判定部120係將第1裝置T154之全部的品質值作為第1品質值T1Q，判定是否已處理。在有不是已處理之品質值的情況，回到步驟S152，選擇不是已處理之品質值，作為第1品質值T1Q。在無不是已處理之品質值的情況，移至步驟S159。
在步驟S159，相關判定部120係將生產設備400所含之全部的複數台裝置54作為第1裝置T154，判定是否已處理。在有不是已處理之裝置的情況，回到步驟S151，選擇不是已處理之裝置，作為第1裝置T154。在無不是已處理之裝置的情況，結束處理。
在以上，相關判定部120係對與全部的裝置被賦予關聯之全部的品質值，計算與在時間序列比處理對象之品質值前面之全部的品質值的相關係數。
使用第6圖，說明藉本實施形態之相關判定處理S120所產生之相關係數資訊161。
在第6圖，表示相關係數資訊161，相關係數資訊161係表示對是製程X之X3號機的裝置54x3之品質值Q1_x3及品質值Q2_x3的相關係數。
在以下，以第3圖所示之製程X之各製程品質資訊211x的品質值Q1_x3為例，說明處理。藉上述之相關判定處理S120算出相關係數，藉此，可抽出與品質值Q1_x3具有相關關係的品質值群。
相關判定部120係藉由執行相關判定處理S120，從品質資訊210抽出與品質值Q1_x3具有相關關係之在時間序列比品質值Q1_x3前面的品質值，並以與相關係數賦予對應的方式記憶於相關係數資訊161。
在第6圖，從在時間序列之前面依序排列品質值，並設定相關係數，但是亦可按照相關係數之下降順序變更排列，作為相關係數資訊161。
在相關係數資訊161，對p值是5%以下、無顯著差、相關係數未滿0.2%的品質值，可當作無相關關係。此處，只要無在所製造之產品或製程所特殊化特殊的理由，利用上述之一般的值，作為臨限值，判定相關關係。對無相關關係之品質值，因為在產生製程計劃時不需要特殊的考量，所以不儲存於相關係數資訊161。
在第6圖之相關係數資訊161，表示將製程X之裝置54x3作為第1裝置T154、將品質值Q1_x3作為第1裝置 T154的情況之相關係數的值。在此相關係數資訊161所記載之品質值是比製程X更前面的製程之品質值的一覽。在上述所說明之相關判定處理S120，相關判定部120係僅將被判定與第1裝置T154之第1品質值T1Q有相關關係的品質值設定於相關係數資訊161。
可是，亦可相關判定部120係將已算出與第1裝置T154的相關係數之品質值的全部設定於相關係數資訊161。在此情況，相關判定部120係從被設定於相關係數資訊161的品質值之中判定與第1品質值T1Q(在具體例，品質值Q1_x3)有相關關係的品質值。
在第6圖，表示將已算出與裝置54x3之品質值Q1_x3的相關係數之品質值的全部設定於相關係數資訊161的例子。
使用第7圖，說明關於本實施形態之裝置54x3的品質值Q1_x3之品質值關聯圖的一例。
在第7圖，表示在算出對品質值Q1_x3之相關係數時，被判斷對Q1、Q2、Q1_a1係有相關關係，但是對除此以外之品質值係無相關關係的情況之品質值關聯圖。對有相關關係之組合，以箭號記載連結212、213、215。但，在第7圖有連結214，這表示在Q1與Q1_a2之間有相關關係。在這種情況，對對於Q1_x3之Q1_a2的連結212所計算之相關係數成為包含Q1之影響的值。因此，需要算出已除去此影響之偏相關係數。因此，在相關判定處理S120的步驟S156，算出考慮到現在欲算出之製程的前製程所含之品質值間的相關關係的第1相關係數。
一般藉相關係數之算出來判斷各變數的相關關 係，亦哪個是原因哪個表示結果係不是明確。可是，在本實施形態，在計算製程X之品質值時，因為採取對製程X之前之製程的品質值計算相關係數的方法，所以在計算相關係數時之輸入值係全部是在時間序列上在製程X之前面所檢查的品質值。因此，因果關係必然變得明確。但，在作為由未測量之別的要因所引起的結果，在製程X之前面的某品質值與製程X之品質值具有相關關係的情況亦有被算出成有相關關係的可能性。因此，對影響檢查結果之要因係選為品質值較佳。實際上對檢查結果有重大影響之要因係假設常在前製程的檢查製程成為確認對象亦無問題。由於這種理由，對生產線分叉的情況，需要僅選擇在欲算出相關係數的製程提供中間產品的製程，計算相關係數。這是由於對分叉之製程，至生產線再匯流，對該製程無影響。
其次，說明第4圖之組判定處理S130。
在組判定處理S130，組判定部130係使用記憶部160所記憶之相關係數資訊161，執行處理。
組判定處理S130係在被判定第1品質值T1Q與第2品質值T2Q有相關關係的情況被執行。具體而言，組判定部130係使用者是被判定有相關關係之品質值之資訊的相關係數資訊161，執行組判定處理S130。組判定處理S130係使用者由相關判定部120所產生之相關係數資訊161，從複數台裝置54中抽出想儘量固定地組合之裝置的組540的一覽，並將裝置的組540儲存於記憶部160之組合資訊162的處理。藉由利用所抽出之裝置的組540，可減輕各品質值之不均的影響。此外， 如上述所示，與生產線所含的各裝置54結合的品質值中與其他的品質值具有相關關係的品質值被儲存於相關係數資訊161。
組判定部130係使用者表示中間產品52之品質基準的品質基準值BQ，判定第1裝置T154與第2裝置T254是否是裝置的組540。將第1品質值T1Q與品質基準值BQ的誤差作為第1誤差31。又，將第2品質值T2Q與品質基準值BQ的誤差作為第2誤差32。將在品質值之與品質基準值BQ的誤差亦稱為品質值的偏差。
是裝置的組540，意指將在第1品質值T1Q之與品質基準值BQ的第1誤差31與在第2品質值T2Q之與品質基準值BQ的第2誤差32相抵消之裝置的組。
使用第8圖，說明本實施形態之組判定部130的組判定處理S130。
在步驟S141，組判定部130係對品質資訊210所含的品質值，按照與品質基準值BQ之偏差之大小的下降順序進行分類處理。具體而言，組判定部130係對各個品質值，將在所預設之執行履歷次數份量或所預設之期間製造之中間產品52的製造實績資訊作為輸入，對各品質值計算平均值。組判定部130係藉由求得所算出之平均值與對應之品質基準值BQ的差，算出與品質基準值BQ之偏差。組判定部130係按照在上述之步驟所算出之偏差之絕對值的下降順序對各品質值進行分類。
在步驟S142，組判定部130係從品質值之分類結果的前頭進行處理。分類結果之前頭所儲存的品質值係關於與品質基準值BQ之偏差的絕對值最大之裝置的品質值。組判定 部130係將處理對象之品質值作為Q，並從分類結果的前頭選擇。對Q係對應之裝置唯一。在以下，組判定部130係判定對Q之裝置的組540，並設定於記憶部160的組合資訊162。在現在時間點，組合資訊162成為空之狀態。
在步驟S143，組判定部130係將Q作為第1品質值T1Q，並使用相關係數資訊161，按照相關係數之下降順序選擇與第1品質值T1Q有相關關係的品質值。組判定部130係將所選擇之品質值作為第2品質值T2Q。
在步驟S144，組判定部130判定對應於第1品質值T1Q之第1裝置T154、與對應於第2品質值T2Q之第2裝置254是否是將第1品質值T1Q與第2品質值T2Q之偏差相抵消之裝置的組540。
具體而言，組判定部130係在第1品質值T1Q與第2品質值T2Q有負的相關關係，而且第1誤差31與第2誤差32之正負相同的情況，判定第1裝置T154與第2裝置T254是裝置的組540。組判定部130係將此裝置的組540儲存於記憶部160的組合資訊162。又，組判定部130係在第1品質值T1Q與第2品質值T2Q有正的相關關係，而且第1誤差31與第2誤差32之正負相異的情況，判定第1裝置T154與第2裝置T254是裝置的組540。組判定部130係將此裝置的組540儲存於記憶部160的組合資訊162。
此外，第1誤差31與第2誤差32之正負相同的情況係第1誤差31是正數而且第2誤差32亦是正數的情況，或者第1誤差31是負數而且第2誤差32亦是負數的情況。又，第1誤 差31與第2誤差32之正負相異的情況係第1誤差31是負數而且第2誤差32是正數的情況，或者第1誤差31是正數而且第2誤差32是負數的情況。
在從步驟S142至步驟S144，組判定部130係從對Q具有強相關(具體而言，相關係數>0.7)之品質值依序逐漸進行以後的處理。組判定部130係從是步驟S141的輸出之分類結果的前頭開始搜索品質值，選擇有相反之相關並在相同之方向(+-)具有偏差的品質值，或有正之相關並在相反之方向(+-)具有偏差的品質值。組判定部130係對組合資訊162追加與所選擇之品質值對應之裝置的組540。藉由從品質值之分類結果的前頭依序確認，而從在屬於相同的製程之複數台裝置中偏差的絕對值大者逐漸地先選擇。因此，組合資訊162所儲存之裝置的組540的順序係可消除更大的偏差之裝置的組540係從優先順序高之裝置的組540依序被儲存。
在步驟S145，組判定部130係從品質值之分類結果刪除在步驟S142所選擇之品質值。這是為了避免將相同之品質值作為Q，選擇複數次。
在步驟S146，組判定部130係判定在品質資訊210是否未處理之品質值存在，在未處理之品質值不存在的情況，結束處理。組判定部130係判定未處理之品質值存在時，回到步驟S142。對品質值之分類結果所含之全部的品質值之處理結束時，得到已儲存應固定地指定之裝置的組540的組合資訊162。
以上，結束組判定處理S130的說明。
其次，說明第4圖之製程計劃產生處理S140。
在製程計劃產生處理S140，製程計劃產生部140係在判定第1裝置T154與第2裝置T254是應組合之裝置的組540的情況，使用裝置的組540，產生製程計劃。具體而言，製程計劃產生部140係使用者由組判定部130所產生之組合資訊162，從品質觀點決定被判定最佳之裝置路徑，並產生製程計劃151。
在製程計劃產生處理S140，製程計劃產生部140係進行以下的處理。
製程計劃產生部140係從記憶部160取得組合資訊162。又，製程計劃產生部140係取得從輸入裝置所輸入之生產計劃資訊300。在組合資訊162，按照`優先順序儲存應固定地作為裝置路徑之裝置的組540。製程計劃產生部140係根據組合資訊162所儲存之裝置的組540與生產計劃資訊300，產生製程計劃151。
具體而言，製程計劃產生部140係首先，不使用組合資訊162，而僅根據生產計劃資訊300來製作裝置路徑案。
然後，製程計劃產生部140係將組合資訊162所儲存之優先順序之裝置的組540之一覽作為輸入，從裝置路徑案產生裝置路徑。製程計劃產生部140係從優先順序高之裝置的組540，將包含裝置的組540的裝置路徑案作為裝置路徑，指定製造指示，即製程計劃151。藉由從包含優先順序高之裝置的組540的裝置路徑先特定，可製作被設想產品品質比使用相同之生產設備400的情況更高的製程計劃151。
此外，亦可在製程計劃產生處理S140，核對所產生之製程計劃151是否滿足預先算出之最終品質的推測結果。
在以下，說明藉製程計劃產生部140統計式地推測產品53 之最終品質的方法。
製程計劃產生部140係使用品質資訊210，進行將最終品質之品質值作為反應變數，並將生產線所含之其他的品質值作為說明變數之重回歸分析，算出最終品質。在此時，在成為各說明變數的品質值之間有強相關的情況係未正確地算出回歸係數。因此，製程計劃產生部140係使用相關係數資訊161，對有強相關(具體而言，相關係數之絕對值為0.7以上的品質值)之品質值係從說明變數除去後進行重回歸分析。藉此處理，以除去相關關係之雜訊的形式算出最終產品之品質值。又，在藉重回歸分析預測最終產品之品質值或其他的值的情況，未必僅在各製程之後所實施之檢查製程所檢查的品質值，亦可對說明變數加上包含各裝置之設定值之值的製造條件。但，在增加說明變數的情況，需要核對在與所選擇之其他的說明變數之間無強的相關關係。
在計劃產生處理S100所利用之品質資訊210係根據生產設備400的利用狀況，具體而言，可選擇利用最近一個月、或利用更長的期間。又，即使製造設備係相同，亦藉設置變更之操作，而可能有變更所製造之中間產品的情況。即使是相同的製造設備亦製造相異之中間產品或產品的情況係一般即使檢查製程相同亦區別地處理。可是，在更實施設置變更，而製造原本之中間產品的情況，尤其設置變更作業是在物理上替換製造裝置之一部分之作業的情況，根據設置變更之作業本身，有品質指標值之分布成為與至目前為止相異之狀況的可能性。亦可這種情況係即使是製造相同之中間產品的製造裝置，亦每當設置變更實施區別的資料收集，並作為算出分布時之資料加以區別。又，對被供 給之元件，因為在批單位有品質值相異的情況，所以與對設置變更作業的應付相同，在作為算出分布時之資料批相異的情況，亦可加上區別地處之應付。若品質值之分布1不會受到設置變更之有無或批之差異的影響，而與之前無變化，就可判斷是與裝置相依的變化。若是有影響，使用僅根據同系列之資料所算出之分布或相關係數的應付亦可能。
***其他的構成***
在本實施形態，係在計劃產生裝置100的外部具備資料庫200的構成，但是在計劃產生裝置100的內部具備資料庫200的構成亦可。即，生產設備400之檢查製程將品質資訊210設定於計劃產生裝置100之內部的資料庫200的構成亦可。
又，在本實施形態，以軟體實現計劃產生裝置100的功能，但是作為變形例，亦可以硬體實現計劃產生裝置100的功能。
使用第9圖，說明本實施形態的變形例之計劃產生裝置100的構成。
如第9圖所示，計劃產生裝置100包括處理電路909、通訊裝置910、以及輸入界面903之硬體。
處理電路909係實現上述之「部」的功能及記憶部160之專用的電子電路。處理電路909係具體而言，是單一電路、複合電路、程式化之處理器、並列程式化之處理器、邏輯IC、GA(Gate Array)、ÁSIC(Application Specific Integrated Circuit)、或FPGA(Field Programmable Gate Array)。
「部」之功能係亦可以一個處理電路909實現， 亦可分散至複數個處理電路909來實現。
作為別的變形例，亦可以軟體與硬體之組合來實現計劃產生裝置100的功能。即，亦可以專用之硬體實現計劃產生裝置100之一部分的功能，以軟體實現剩下的功能。
將處理器901、記憶裝置902以及處理電路909總稱為「處理電路」。即，計劃產生裝置100的構成係第2圖及第10圖之任一圖所示的構成，亦藉處理電路實現「部」之功能。
亦可將「部」解讀為「製程」、「步驟」或「處理」。又，亦可以韌體實現「部」之功能。
***本實施形態之效果的說明***
在上述之實施形態之效果的說明，說明了一種計劃產生裝置，係提示生產線之製程計劃的計劃產生裝置，在有可按照製程選擇之複數台裝置的情況，具備已儲存按照製程經由各台裝置得到之品質資訊的資料庫。計劃產生裝置係從資料庫取得該品質資訊，並包括：相關關係分析功能，係判定該生產裝置間的製造條件，即品質指標之相關關係；及品質分布推測功能，係根據相關係數資訊，判斷抵消生產裝置之不均的組合。又，計劃產生裝置包括：品質推測功能，係從該功能所提供之資訊，推測所生產之產品的品質；及生產裝置組合判定功能，係判定生產裝置之組合。又，計劃產生裝置係具備製程計劃決定功能，該製程計劃決定功能係根據所判定之生產裝置的組合，決定經由可按照製程選擇之複數台生產裝置所得的裝置路徑，並提示製程計劃。
若依據本實施形態之計劃產生裝置，在無關於有相關關係之製造裝置的資訊，亦可提供推薦功能，該推薦功能係從生產設備之測試的資訊抽出製造裝置間的相關關係，並推薦在製作製程計劃時在統計上品質成為最高的裝置路徑。
又，若依據本實施形態之計劃產生裝置，藉由不僅考慮各裝置所產生之中間產品的品質而且考慮裝置路徑之製造指示的指定，即使使用相同之生產設備，亦可製作所製造之產品品質變成更高的製程計劃。一般為了製作這種製程計劃，需要仰賴充分理解各裝置所具有之特性之技術員的經驗。 又，若欲統計性地判斷，對全部之裝置路徑實際上發出製造指示，並在那些裝置路徑製造，結果需要嘗試充分的次數至可對所測量之品質指標值進行統計性的判斷。依據本實施形態之計劃產生裝置，不仰賴製造現場技術員的經驗與技術能力，而自動地算出各裝置間的相關關係，並可提示具有儘量抵消各個裝置之與品質基準值的偏差之裝置的組合的裝置路徑。
又，若依據本實施形態之計劃產生裝置，因為具備從自各裝置所得之品質指標值分析相關關係的功能，所以即使不是以前所執行之裝置路徑，亦從各個裝置單體之品質實績算出裝置間的相關係數，並考慮有相關關係之裝置的組合，藉此，可自動地判斷將任意的裝置路徑作為對象之最佳的裝置路徑。
此外，為了產生製程計劃，有需要以在作為回歸分析的說明變數所選擇之品質指標或製造條件之間無強的相關關係之方式選擇的情況。即，有需要預先掌握複數個品質指標或製造條件之關係性的情況。若依據本實施形態之計劃產生裝置，因 為具備從自各裝置所得之品質指標值分析相關關係的功能，所以在無這種預備知識、專業知識或經驗的情況，亦可使回歸分析之說明變數的選擇自動化，可用作裝置路徑之判斷基準。
一般在各加工製程之後設置檢查製程，檢查所製造之中間產品是否達到如設計的品質指標。即使是檢查上容許範圍之品質的不均，亦在組合多個所製造之中間產品或元件，或組合後進行加工的情況，因為各裝置之品質的不均累積，而有最終產品之品質的不均相加而變大的情況。根據情況，有在最終檢查成為不合格的情況。
因為在各檢查製程所檢查之品質指標不全是各完全獨立而無關係者，當然亦可能有具有相關關係者，所以在實現相同之製程的裝置有複數台的情況，藉由在所使用之裝置的組合下工夫，亦可能組合成品質之不均相抵消，藉此，可使品質之不均變小。在極單純之事例，若將組合元件之大小為大與小的組合，所組合之中間產品的大小不是各個不均的和，而可能相抵消後不均變小。
若依據本實施形態之計劃產生裝置，因為可利用如上述所示之現象，自動地抽出可使品質值之偏差變小之裝置的組，並使用所抽出裝置的組，再使用所抽出之裝置的組，產生製程計劃，所以可在短時間產生最佳的製程計劃。
又，可提供推薦裝置，該推薦裝置係藉由考慮在各製造製程可選擇之裝置的組合，推薦可提高從相同之裝置資產所製造的產品品質之既有裝置資產的最佳組合。
第2實施形態
在本實施形態，主要說明與第1實施形態之相異點。
在本實施形態，生產設備採用在執行生產時可動態地選擇下一製程的裝置。在本實施形態，說明具有自動變更功能的計劃產生裝置100a，該自動變更功能係根據在現在動作中之檢查製程所檢查的品質值，動態地推測消除所產生之不均的可能性最高之下一個製程的裝置，並自動地變更成所推測之裝置。
***構成的說明***
使用第10圖，說明本實施形態之計劃產生裝置100a。
在本實施形態，對具有與第1實施形態一樣之功能的構成部附加相同的符號，並有省略其說明的情況。
計劃產生裝置100a係除了在第1實施形態所說明之計劃產生裝置100的功能構成以外，還包括品質資訊判定部170與裝置切換部180。又，在記憶部160，除了在第1實施形態所說明記憶部160記憶的資訊以外，還記憶臨限值163。將在計劃產生裝置100a之品質資訊取得部110、相關判定部120、組判定部130、製程計劃產生部140、品質資訊判定部170以及裝置切換部180的功能稱為計劃產生裝置100a之「部」的功能。計劃產生裝置100a之「部」的功能係以軟體所實現。
***動作的說明***
使用第11圖，說明本實施形態之品質資訊判定部170與裝置切換部180的動作。
在步驟S161，品質資訊判定部170係根據包含由複數台裝置54之各裝置所加工的中間產品52之品質值的品質資訊 210，算出複數台裝置54之各裝置之品質值的平均值AQ。又，品質資訊判定部170判定複數台裝置54之各裝置之現在的品質值與平均值AQ的差分是否比臨限值大。
具體而言，品質資訊判定部170係從記憶部160接收自品質資訊取得部110即使地取得之是檢查製程的結果之品質資訊210。品質資訊判定部170係使用所接收之品質資訊210，根據裝置54之過去的品質分布狀況，算出裝置54之品質值的平均值AQ。又，品質資訊判定部170係從所接收之品質資訊210取得裝置54之現在的品質值，並算出與平均值AQ的差分。
臨限值163係預先被記憶於記憶部160。
在步驟S162，品質資訊判定部170係判定是否差分比臨限值163大。在差分比臨限值163大的情況，品質資訊判定部170係使處理移至步驟S163。在差分是臨限值163以下的情況，品質資訊判定部170係回到步驟S161，對別的裝置進行處理。
在步驟S163，裝置切換部180係將被判定差分比臨限值大的裝置作為判定裝置D54，從判定裝置D54所屬之製程選擇具有與平均值AQ之差分為臨限值以下之品質值的裝置，作為切換裝置C54。而且，裝置切換部180係對生產設備400傳送將路徑從判定裝置D54切換成切換裝置C54的切換指示181。
在以上，結束關於品質資訊判定部170與裝置切換部180之動作的說明。
又，亦可裝置切換部180係計算最終品質值之期待值，並比較此最終品質值之期待值與根據現行之裝置路徑所 製造之產品的品質值，再根據比較結果，判斷是否切換裝置路徑。具體而言，裝置切換部180係在最終品質值之期待值與根據現行之裝置路徑所製造之產品的品質值之差分位於所預設之最終品質臨限值以內的情況，判斷為將裝置路徑從現行者自動地切換成其他的裝置路徑。
在以下，說明藉裝置切換部180計算最終品質值之期待值的方法。裝置切換部180係藉將最終品質之品質值作為反應變數並將生產線所含之其他的品質值作為說明變數的重回歸分析算出。在此情況，因為在成為各說明變數的品質值之間有強相關的情況係不會正確地算出回歸係數，所以與第1實施形態之製程計劃產生部140的選擇一樣地從相關係數資訊161對有強相關之品質值係從說明變數除去。
在第1實施形態，說明從相關關係與各裝置之品質值的統計性分布資訊提供提高品質之裝置路徑的方法。在本實施形態，因為設想即時地處理，所以採用根據各品質值對最終品質之品質值進行公式化的方式。在此情況，最終品質係以各品質值或製造條件之線性結合所表達，各個回歸係數係藉重回歸分析之分析手法預先求得。因為在各條裝置路徑保存品質值之統計性分布資訊，所以可即時地偵測某品質值係偏離在現在選擇之裝置路徑所設想之品質值的值。因此，可判定是否接近該製程之其他的哪台裝置之品質值的平均值。
結果，將至目前為止所測量之比現在製程前面之製程的品質值作為最終品質之說明變數代入，因為對今後之製程係可從至目前為止所儲存的統計資訊採用平均值，所以代入這些值， 就可預測最終品質值。
***本實施形態之效果的說明***
如以上所示，本實施形態之計劃產生裝置係具備品質資訊判定部，該品質資訊判定部係在執行製造時即使地接收在各檢查製程所測量之品質值的值，並與過去之品質值的分布狀況比較，判斷是否需要切換裝置。又，本實施形態之計劃產生裝置具備動態地切換在下一個製程所使用之裝置的裝置切換部。因此，若依據本實施形態之計劃產生裝置，可根據在現在動作中之檢查製程所檢查的品質值，動態地推測消除所產生之不均的可能性最高之下一個製程的裝置，並自動地變更成所推測的裝置路徑。
又，如以上所示，若依據本實施形態，藉由預先監視各檢查製程的品質值，可在所監視之值發生與統計上所設想之最終品質的期待值有固定偏差時自動地切換裝置路徑。即使與平均值AQ之差分不是達到檢查不合格的位準，亦在判斷與裝置之傾向相異的情況，切換裝置路徑。認為指定即時所得之品質值接近平均值之別的裝置來製造，在統計上品質成為比較高。
以上，說明了本發明之實施形態，在此實施形態之說明，作為「部」所說明的之中，亦可僅用其中一個，亦可採用幾個之任意的組合。即，計劃產生裝置之功能方塊係只要可實現在上述之實施形態所說明的功能，係任意。對這些功能方塊以哪種組合或任意的方塊構成來構成計劃產生裝置都可。又，亦可計劃產生裝置係不是一台裝置，而是由複數台裝置所構成之計劃產生系統。
又，說明了第1及第2實施形態，在這2個實施形態中將複數個局部地組合後實施亦可。或者，在這2個實施形態中，局部地實施一個實施形態亦可。此外，將整體上或局部地如何地組合後實施亦可。
此外，上述之實施形態係本質上較佳的舉例，不是想用以限制本發明之應用對象或用途的範圍，可因應於需要進行各種變更。
100‧‧‧計劃產生裝置
110‧‧‧品質資訊取得部
120‧‧‧相關判定部
130‧‧‧組判定部
140‧‧‧製程計劃產生部
151‧‧‧製程計劃
160‧‧‧記憶部
161‧‧‧相關係數資訊
162‧‧‧組合資訊
164‧‧‧品質基準值BQ
200‧‧‧資料庫
300‧‧‧生產計劃資訊
901‧‧‧處理器
902‧‧‧記憶裝置
903‧‧‧輸入界面
910‧‧‧通訊裝置
911‧‧‧接收器
912‧‧‧發射機

Claims (7)

  1. 一種計劃產生裝置，產生經由複數個製程所生產之產品的製程計劃，其包括：相關判定部，係將是複數台裝置並各裝置屬於該複數個製程之任一個的複數台裝置中的一台裝置作為第1裝置，而且將表示藉該第1裝置所加工之中間產品之品質的品質值作為第1品質值，將該複數台裝置中屬於比該第1裝置所屬之製程前面的製程之裝置作為第2裝置，而且將藉該第2裝置所加工之中間產品的品質值作為第2品質值，並判定該第1品質值與該第2品質值是否有相關關係；組判定部，係在被判定該第1品質值與該第2品質值有相關關係的情況，使用表示中間產品之品質的品質基準值，判定該第1裝置與該第2裝置是否是將該第1品質值之與該品質基準值的第1誤差、和該第2品質值之與該品質基準值的第2誤差相抵消之裝置的組；以及製程計劃產生部，係在被判定該第1裝置與該第2裝置是該裝置的組的情況，使用該裝置的組，產生該製程計劃。
  2. 如申請專利範圍第1項之計劃產生裝置，其中該組判定部係在該第1品質值與該第2品質值有負的相關關係，而且該第1誤差與該第2誤差之正負相同的情況，判定該第1裝置與該第2裝置是該裝置的組，在該第1品質值與該第2品質值有正的相關關係，而且該第1誤差與該第2誤差之正負相異的情況，判定該第1裝置與該第2裝置是該裝置的組。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之計劃產生裝置，其中該相關判定部係將該第1品質值與該第2品質值之相關係數作為第1相關係數，並根據該第1相關係數，判定該第1品質值與該第2品質值是否有相關關係。
  4. 如申請專利範圍第1項之計劃產生裝置，其中該相關判定部係檢測出在屬於比該第2裝置所屬之製程前面的製程之裝置中與該第2裝置有相關關係而且與該第1裝置亦有相關關係的裝置，作為第3裝置，將該第3裝置之品質值作為第3品質值，並根據是該第3品質值與該第2品質值之相關係數的第2相關係數、及是該第3品質值與該第1品質值之相關係數的第3相關係數，算出該第1品質值與該第2品質值之偏相關係數，再根據所算出之該偏相關係數，判定該第1品質值與該第2品質值是否有相關關係。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之計劃產生裝置，其中更包括：品質資訊判定部，係根據包含藉該複數台裝置之各裝置所加工之中間產品的品質值之品質資訊，算出該複數台裝置之各裝置之品質值的平均值，並判定該複數台裝置之各裝置之現在的品質值與該平均值的差分是否比臨限值大；及裝置切換部，係將被判定該差分比臨限值大之裝置作為判定裝置，從該判定裝置所屬之製程選擇具有與該平均值之差分為臨限值以下的品質值之裝置，作為切換裝置，並將路徑從該判定裝置切換成該切換裝置。
  6. 一種計劃產生方法，係產生經由複數個製程所生產之產品的製程計劃之計劃產生裝置的計劃產生方法， 相關判定部將是複數台裝置並各裝置屬於該複數個製程之任一個的複數台裝置中的一台裝置作為第1裝置，而且將表示藉該第1裝置所加工之中間產品之品質的品質值作為第1品質值，將該複數台裝置中屬於比該第1裝置所屬之製程前面的製程之裝置作為第2裝置，而且將藉該第2裝置所加工之中間產品的品質值作為第2品質值，並判定該第1品質值與該第2品質值是否有相關關係；組判定部在被判定該第1品質值與該第2品質值有相關關係的情況，使用表示中間產品之品質的品質基準值，判定該第1裝置與該第2裝置是否是將該第1品質值之與該品質基準值的第1誤差、和該第2品質值之與該品質基準值的第2誤差相抵消之裝置的組；製程計劃產生部在被判定該第1裝置與該第2裝置是該裝置的組的情況，使用該裝置的組，產生該製程計劃。
  7. 一種計劃產生程式產品，係產生經由複數個製程所生產之產品的製程計劃之計劃產生裝置的計劃產生程式產品，使電腦執行以下之處理：相關判定處理，係將是複數台裝置並各裝置屬於該複數個製程之任一個的複數台裝置中的一台裝置作為第1裝置，而且將表示藉該第1裝置所加工之中間產品之品質的品質值作為第1品質值，將該複數台裝置中屬於比該第1裝置所屬之製程前面的製程之裝置作為第2裝置，而且將藉該第2裝置所加工之中間產品的品質值作為第2品質值，並判定該第1品質值與該第2品質值是否有相關關係； 組判定處理，係在被判定該第1品質值與該第2品質值有相關關係的情況，使用表示中間產品之品質的品質基準值，判定該第1裝置與該第2裝置是否是將該第1品質值之與該品質基準值的第1誤差、和該第2品質值之與該品質基準值的第2誤差相抵消之裝置的組；以及製程計劃產生處理，係在被判定該第1裝置與該第2裝置是該裝置的組的情況，使用該裝置的組，產生該製程計劃。
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