TWI595719B - 具有含貫穿孔之多孔絕緣片的電連接裝置及其製造方法 - Google Patents

具有含貫穿孔之多孔絕緣片的電連接裝置及其製造方法 Download PDF

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Description

具有含貫穿孔之多孔絕緣片的電連接裝置及其 製造方法
本發明是有關於一種可用以檢查電氣裝置(electric device)的電連接裝置(electrical connection device)，且更特定言之，是有關於用於將檢查裝置(inspection device)電連接至檢查目標裝置(inspection target device)的電連接裝置以及所述電連接裝置的製造方法。
經配置以將檢查裝置連接至檢查目標裝置的測試插座(test socket)廣泛用於檢查諸如半導體裝置(semiconductor device)的裝置的電特性。此些測試插座經配置以將檢查裝置的襯墊連接至檢查目標裝置的連接端子，藉此允許電信號在其間的雙向傳輸。
測試插座可包含彈性導電片(elastic conductive sheet)或彈簧式頂針(pogo pin)作為觸點結構。圖1中說明包含彈性導電片的例示性電連接裝置100。
參考圖1，電連接裝置100置放於檢查裝置200上。電連 接裝置100包含：支撐片(support sheet)110，其中形成導電襯墊(conductive pad)130；以及彈性片120，安置於支撐片110的下側上。電連接裝置100與檢查裝置200對準且使用框架220以及導銷(guide pin)230固定至檢查裝置200。
彈性片120允許在其厚度方向上的電流動，但不允許在垂直於厚度方向的平面方向上的電流動。彈性片120經設計以吸收檢查目標裝置300的連接端子310在被彈性壓縮時所施加的衝擊力。彈性片120包含：導電部分121，安置於檢查目標裝置300的連接端子310與檢查裝置200的襯墊210之間；以及絕緣部分122，其絕緣且支撐導電部分121。絕緣部分122包含諸如聚矽氧橡膠的彈性材料，且導電部分121是由含於彈性材料中的許多導電粒子形成。支撐片110附接至彈性片120的上表面，且支撐導電襯墊130。支撐片110包含諸如絕緣聚醯亞胺的材料。
最近，在一些情況下使用可更牢固地附接至彈性片120的多孔絕緣片(porous insulation sheet)140，諸如網孔片或非編織品片。在此情況下，多孔絕緣片140可如圖2中所示與導電襯墊130整合，或可如圖3中所示安置在彈性片120內部。
舉例而言，韓國專利註冊號10-1151880(專利文獻1)揭露一種多孔網孔片以及與所述多孔網孔片整合的電極，且韓國專利註冊號10-1204941(專利文獻2)揭露一種導電襯墊與多孔絕緣片的一體式組合結構，導電襯墊填充在多孔絕緣片的孔中且從多孔絕緣片的上表面以及下表面突出。
儘管使用此些多孔絕緣片的習知測試插座耐久且易於製造，但多孔絕緣片很少用於要求精細間距或高電流特性的應用中。
本發明的目標是改良相關技術中包含多孔絕緣片且用於測試插座的電連接裝置的特性。為此目的，本發明提供一種包含形成有貫穿孔(penetration hole)的多孔絕緣片的電連接裝置，所述電連接裝置具有改良的電特性以及耐久性。
為解決上述技術問題，本發明可提供一種用於將檢查目標裝置電連接至檢查裝置的電連接裝置的製造方法，所述方法包含：藉由在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處在多孔絕緣片中形成多個貫穿孔而製備支撐片；將所述支撐片插入至模具(die)中；以含有導電粒子的液態彈性材料填充所述模具的內部；將磁場施加至所述模具以便將所述導電粒子成行地配置於對應於所述檢查目標裝置的所述連接端子的位置處；以及硬化所述導電粒子成行配置的所述液態彈性材料。
為解決上述技術問題，本發明可提供一種用於將檢查目標裝置連接至檢查裝置的電連接裝置，所述電連接裝置包含：支撐片，包含在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處形成有多個貫穿孔的多孔絕緣片；以及彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述支撐片的下側上，所述彈性片包含導電部分以及絕緣部分，所述導電部分是由集中在對應於所述貫穿孔的位置處的導電粒子形成，所述絕緣部分安置在所述導電部分周圍以絕緣且支撐所述導電部分。
為解決上述技術問題，本發明可提供一種用於將檢查目標裝置連接至檢查裝置的電連接裝置，所述電連接裝置包含：第一支撐片，包含在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處形成有多個第一貫穿孔的第一多孔絕緣片；第一彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第一支撐片的下側上，所述第一彈性片包含第一導電部分以及第一絕緣部分，所述第一導電部分是由集中在對應於所述第一貫穿孔的位置處的第一導電粒子形成，所述第一絕緣部分安置在所述第一導電部分周圍以絕緣且支撐所述第一導電部分；第二支撐片，包含在對應於所述檢查目標裝置的所述連接端子的位置處形成有多個第二貫穿孔的第二多孔絕緣片；以及第二彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第二支撐片的下側上，所述第二彈性片包含第二導電部分以及第二絕緣部分，所述第二導電部分是由集中於對應於所述第二貫穿孔的位置處的第二導電粒子形成，所述第二絕緣部分安置在所述第二導電部分周圍以絕緣且支撐所述第二導電部分，其中所述第二彈性片以所述第一支撐片的所述第一貫穿孔與所述第二支撐片的所述第二貫穿孔配置成行的方式附接至所述第一支撐片的上側。
為解決上述技術問題，本發明可提供一種用於將檢查目標裝置連接至檢查裝置的電連接裝置，所述電連接裝置包含：第一支撐片，包含在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處形成有多個第一貫穿孔的第一多孔絕緣片；第一彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第一支撐片的下側上，所述第一彈性片包含第一導電部分以及第一絕緣部分，所述第一導電部分是由集中在對應於所述第一貫穿孔的位置處的第一導電粒子形成，所述 第一絕緣部分安置在所述第一導電部分周圍以絕緣且支撐所述第一導電部分；第二支撐片，包含在對應於所述檢查目標裝置的所述連接端子的位置處形成有多個第二貫穿孔的第二多孔絕緣片；第二彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第二支撐片的下側上，所述第二彈性片包含第二導電部分以及第二絕緣部分，所述第二導電部分是由集中於對應於所述第二貫穿孔的位置處的第二導電粒子形成，所述第二絕緣部分安置在所述第二導電部分周圍以絕緣且支撐所述第二導電部分；以及第三彈性片，由彈性材料形成且包含第三導電部分以及第三絕緣部分，所述第三導電部分是由集中在對應於所述第二貫穿孔的位置處的第三導電粒子形成，所述第三絕緣部分安置在所述第三導電部分周圍以絕緣且支撐所述第三導電部分，其中以所述第一支撐片的所述第一貫穿孔、所述第二支撐片的所述第二貫穿孔與所述第三彈性片的所述第三導電部分配置成行的方式使得所述第二彈性片附接至所述第一支撐片的上側且所述第三彈性片附接至所述第二支撐片的上側。
較佳地，所述第二彈性片的所述第二導電部分具有的密度大於所述第一彈性片的所述第一導電部分的密度。
根據本發明的例示性實施例中的一或多者，用於測試插座的電連接裝置以及其製造方法可提供以下效果。
第一，由於所述電連接裝置包含形成有貫穿孔的多孔絕緣片，因此導電粒子可由於貫穿孔而對準，且可集中在貫穿孔中，且因此可提供高密度導電襯墊。因此，所述電連接裝置可具有極 佳的高電流特性。
接下來，由於支撐片是由多孔絕緣片形成，因此可增大支撐片與彈性材料之間的耦接強度，且因此即使電連接裝置用於具有配置狹窄的連接端子的檢查裝置，所述電連接裝置亦可具有高耐久性。
此外，若電連接裝置經配置以具有多個多孔絕緣片，則彈性片的導電粒子的密度根據位置而增大，電連接裝置可具有極佳的高電流特性。
100‧‧‧電連接裝置
110、410、410a、410b‧‧‧支撐片
120、420、420a、420b、420c‧‧‧彈性片
121、421、421a、421b、421c‧‧‧導電部分
122、422‧‧‧絕緣部分
130‧‧‧導電襯墊
140‧‧‧多孔絕緣片
200‧‧‧檢查裝置
210‧‧‧襯墊
220‧‧‧框架
230‧‧‧導銷
300‧‧‧檢查目標裝置
310‧‧‧連接端子
411‧‧‧貫穿孔
423‧‧‧導電粒子
424‧‧‧彈性材料
500‧‧‧模具
510‧‧‧鐵磁性材料層
圖1為說明相關技術的用於測試插座的電連接裝置的橫截面圖。
圖2為說明相關技術的用於測試插座的例示性電連接裝置的橫截面圖，所述電連接裝置包含多孔絕緣片。
圖3為說明相關技術的用於測試插座的另一例示性電連接裝置的橫截面圖，所述電連接裝置包含多孔絕緣片。
圖4為說明根據本發明的例示性實施例的形成有貫穿孔的多孔絕緣片的平面圖。
圖5至圖7為說明根據本發明的例示性實施例的使用模具製造電連接裝置的製程的橫截面圖。
圖8為說明根據本發明的例示性實施例的電連接裝置的橫截面圖。
圖9為說明根據本發明的另一例示性實施例的電連接裝置的 修改的橫截面圖。
圖10為說明根據本發明的另一例示性實施例的電連接裝置的另一修改的橫截面圖。
下文中，現將參考隨附圖式描述本發明的例示性實施例。
圖4至圖6說明根據本發明的例示性實施例的製造用於測試插座的電連接裝置的方法。
首先，參考圖4，藉由在對應於檢查目標裝置300的連接端子310的位置處在多孔絕緣片中形成多個貫穿孔411而製備支撐片410。可使用雷射或機械加工方法形成貫穿孔411。
所述多孔絕緣片可為較佳由絕緣有機纖維或多孔聚矽氧膜形成的多孔網孔片。有機纖維的實例可包含諸如聚四氟乙烯樹脂纖維(polytetrafluoroethylene resin fiber)的氟化樹脂纖維(fluorine resin fiber)、醯胺纖維(aramid fiber)、聚乙烯纖維(polyethylene fiber)、聚芳酯纖維(polyarylate fiber)、耐綸纖維(nylon fiber)以及聚酯纖維(polyester fiber)。
接下來，如圖5中所示，將支撐片410插入至具有腔體的模具500中。將鐵磁性材料層510在對應於檢查目標裝置300的連接端子310的位置處配置於模具500的上側以及下側上，且將支撐片410的貫穿孔411配置在對應於鐵磁性材料層510的位置處。
接下來，如圖6中所示，以含有導電粒子423的液態彈性材料424填充模具500。較佳地，彈性材料424可為耐熱性交聯 聚合物。彈性材料424的實例可包含液態聚矽氧橡膠(silicone rubber)、環氧樹脂(epoxy resin)、丙烯酸樹脂(acrylic resin)以及具有高硬度的胺基甲酸酯樹脂(urethane resin)。
接下來，將磁場在模具500的厚度方向上施加於鐵磁性材料層510之間，以便將導電粒子423配置在模具500的厚度方向上，如圖7中所示。意即，使導電粒子423移動至對應於鐵磁性材料層510的位置且由於磁場而配置成行。此時，圖4中所示的支撐片410的貫穿孔411對準導電粒子423，且因此導電粒子423密集地集中，與貫穿孔411對準。
接下來，藉由諸如加熱方法的方法硬化彈性材料424。以此方式，可製造包含形成有貫穿孔411的支撐片410的電連接裝置。
圖8說明根據本發明的例示性實施例的方法製造的用於測試插座的電連接裝置。如圖8中所示，根據本發明的例示性實施例，所述電連接裝置包含：支撐片410，其為形成有貫穿孔411的多孔薄片；以及彈性片420，安置於支撐片410下側上且由彈性材料形成。支撐片410的貫穿孔411形成於對應於檢查目標裝置300的連接端子310的位置處。
彈性片420包含：導電部分421，由集中在對應於貫穿孔411的位置處的導電粒子形成；以及絕緣部分422，形成於導電部分421周圍以絕緣且支撐導電部分421。
如上文所描述，由於本發明的電連接裝置包含多孔絕緣片，因此儘管導電部分421之間的距離小，電連接裝置仍可具有足夠的耐久性。此外，由於導電粒子集中在貫穿孔411中，因此 可提供高密度的導電襯墊。
可藉由修改根據本發明的例示性實施例製造的電連接裝置而提供電連接裝置。
首先，如圖9中所示，可將兩個根據例示性實施例而製造的電連接裝置附接在一起以形成具有兩個支撐片410a及410b以及兩個彈性片420a及420b的結構。在此情況下，彈性片420a(第一彈性片420a)的導電部分421a具有的導電粒子密度可不同於彈性片420b(第二彈性片420b)的導電部分421b的導電粒子密度。舉例而言，第二彈性片420b的導電部分421b具有的密度可大於第一彈性片420a的導電部分421a的密度。在此情況下，可由於改良的導電率而提供增強的電連接。為此目的，較之於填充在第一彈性片420a的導電部分421a中的導電粒子，可以相對較小導電粒子填充第二彈性片420b的導電部分421b，以便增大第二彈性片420b的導電部分421b的密度。意即，第二彈性片420b的導電部分421b可藉由減小導電部分421b的孔而密集地形成。
在另一例示性實施例中，可將不包含為多孔絕緣片的支撐片的彈性片420c附接至圖9中所示的兩個電連接裝置的上側。此說明於圖10中。圖10中所說明的電連接裝置包含藉由多孔絕緣片(支撐片410a以及410b)劃分出的三層導電部分421a、421b以及421c，且導電部分421b具有的密度大於導電部分421a以及421c的密度。
本發明的電連接裝置以及製造方法可有益地應用於用於檢查諸如半導體裝置的裝置的測試插座。然而，電連接裝置以及製造方法不限於此。舉例而言，電連接裝置以及製造方法可用於 任何技術領域中以提供元件或裝置之間的電連接。
雖然已參考隨附圖式描述本發明的較佳實施例以及其修改，但可在不脫離本發明的精神及範疇的情況下提供其他實施例。
本發明的範疇由以下申請專利範圍判定且不受限於本發明中所闡述的例示性實施例。
410‧‧‧支撐片
411‧‧‧貫穿孔

Claims (11)

  1. 一種電連接裝置的製造方法，其用於將檢查目標裝置電連接至檢查裝置，所述電連接裝置的製造方法包括：藉由在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處在多孔絕緣片中形成多個貫穿孔而製備支撐片；將所述支撐片插入至模具中；以含有導電粒子的液態彈性材料填充所述模具的內部；將磁場施加至所述模具以便將所述導電粒子成行地配置於對應於所述檢查目標裝置的所述連接端子的位置處；以及硬化所述導電粒子成行配置的所述液態彈性材料。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的電連接裝置的製造方法，其中在製備所述支撐片時，所述貫穿孔是使用雷射形成於所述多孔絕緣片中。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的電連接裝置的製造方法，其中所述多孔絕緣片包括絕緣有機纖維或多孔聚矽氧膜。
  4. 一種電連接裝置，其用於將檢查目標裝置連接至檢查裝置，所述電連接裝置包括：支撐片，包括在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處形成有多個貫穿孔的多孔絕緣片；以及彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述支撐片的下側上，所述彈性片包括導電部分以及絕緣部分，所述導電部分是由集中在對應於所述貫穿孔的位置處的導電粒子形成，所述絕緣部分安置在所述導電部分周圍以絕緣且支撐所述導電部分。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的電連接裝置，其中所述多 孔絕緣片包括絕緣有機纖維或多孔聚矽氧膜。
  6. 一種電連接裝置，其用於將檢查目標裝置連接至檢查裝置，所述電連接裝置包括：第一支撐片，包括在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處形成有多個第一貫穿孔的第一多孔絕緣片；第一彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第一支撐片的下側上，所述第一彈性片包括第一導電部分以及第一絕緣部分，所述第一導電部分是由集中在對應於所述第一貫穿孔的位置處的第一導電粒子形成，所述第一絕緣部分安置在所述第一導電部分周圍以絕緣且支撐所述第一導電部分；第二支撐片，包括在對應於所述檢查目標裝置的所述連接端子的位置處形成有多個第二貫穿孔的第二多孔絕緣片；以及第二彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第二支撐片的下側上，所述第二彈性片包括第二導電部分以及第二絕緣部分，所述第二導電部分是由集中在對應於所述第二貫穿孔的位置處的第二導電粒子形成，所述第二絕緣部分安置在所述第二導電部分周圍以絕緣且支撐所述第二導電部分，其中所述第二彈性片以所述第一支撐片的所述第一貫穿孔與所述第二支撐片的所述第二貫穿孔配置成行的方式附接至所述第一支撐片的上側。
  7. 一種電連接裝置，其用於將檢查目標裝置連接至檢查裝置，所述電連接裝置包括：第一支撐片，包括在對應於所述檢查目標裝置的連接端子的位置處形成有多個第一貫穿孔的第一多孔絕緣片； 第一彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第一支撐片的下側上，所述第一彈性片包括第一導電部分以及第一絕緣部分，所述第一導電部分是由集中在對應於所述第一貫穿孔的位置處的第一導電粒子形成，所述第一絕緣部分安置在所述第一導電部分周圍以絕緣且支撐所述第一導電部分；第二支撐片，包括在對應於所述檢查目標裝置的所述連接端子的位置處形成有多個第二貫穿孔的第二多孔絕緣片；第二彈性片，藉由使用彈性材料而形成於所述第二支撐片的下側上，所述第二彈性片包括第二導電部分以及第二絕緣部分，所述第二導電部分是由集中在對應於所述第二貫穿孔的位置處的第二導電粒子形成，所述第二絕緣部分安置在所述第二導電部分周圍以絕緣且支撐所述第二導電部分；以及第三彈性片，由彈性材料形成且包括第三導電部分以及第三絕緣部分，所述第三導電部分是由集中在對應於所述第二貫穿孔的位置處的第三導電粒子形成，所述第三絕緣部分安置在所述第三導電部分周圍以絕緣且支撐所述第三導電部分，其中以所述第一支撐片的所述第一貫穿孔、所述第二支撐片的所述第二貫穿孔與所述第三彈性片的所述第三導電部分配置成行的方式使得所述第二彈性片附接至所述第一支撐片的上側且所述第三彈性片附接至所述第二支撐片的上側。
  8. 如申請專利範圍第6項或第7項所述的電連接裝置，其中所述第一多孔絕緣片或所述第二多孔絕緣片包括絕緣有機纖維或多孔聚矽氧膜。
  9. 如申請專利範圍第6項或第7項所述的電連接裝置，其 中所述第二彈性片的所述第二導電部分具有的密度大於所述第一彈性片的所述第一導電部分的密度。
  10. 如申請專利範圍第6項或第7項所述的電連接裝置，其中形成所述第二彈性片的所述第二導電部分的所述第二導電粒子具有的直徑小於形成所述第一彈性片的所述第一導電部分的所述第一導電粒子的直徑。
  11. 一種測試插座，包括如申請專利範圍第4項、第6項或第7項所述的電連接裝置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101739536B1 (ko) * 2016-05-11 2017-05-24 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101739537B1 (ko) * 2016-05-11 2017-05-25 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101970697B1 (ko) * 2017-03-31 2019-04-22 주식회사 이노글로벌 레이저 가공 기술이 적용된 탄소 섬유를 이용한 양방향 도전성 패턴 모듈 및 그 제조방법, 이를 이용한 양방향 도전성 소켓
KR101985445B1 (ko) * 2018-07-25 2019-06-04 주식회사 아이에스시 검사용 도전 시트
KR102139946B1 (ko) * 2019-01-23 2020-08-12 주식회사 이노글로벌 테스트 소켓 및 이의 제조방법
KR102139945B1 (ko) * 2019-01-23 2020-08-03 주식회사 이노글로벌 테스트 소켓 및 이의 제조방법
KR102175797B1 (ko) * 2019-03-25 2020-11-06 주식회사 아이에스시 검사용 소켓
KR102046283B1 (ko) * 2019-07-29 2019-11-18 주식회사 새한마이크로텍 이방 전도성 시트
KR102597496B1 (ko) * 2021-09-07 2023-11-02 주식회사 아이에스시 전기접속용 소켓

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000243485A (ja) * 1999-02-17 2000-09-08 Jsr Corp 異方導電性シート

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3257433B2 (ja) * 1997-03-05 2002-02-18 ジェイエスアール株式会社 異方導電性シートの製造方法および異方導電性シート
JP3589228B2 (ja) 2002-04-04 2004-11-17 Ｊｓｒ株式会社 異方導電性シートの製造方法
JP4793203B2 (ja) * 2006-09-28 2011-10-12 Ｊｓｒ株式会社 異方導電性コネクターおよびこの異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法
KR101266124B1 (ko) * 2012-04-03 2013-05-27 주식회사 아이에스시 고밀도 도전부를 가지는 테스트용 소켓 및 그 제조방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000243485A (ja) * 1999-02-17 2000-09-08 Jsr Corp 異方導電性シート

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