TWI572573B - 處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法 - Google Patents

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Description

處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法
本申請主張於2013年7月26日申請之韓國專利申請號第10-2013-0088785號之優先權，其全部內容在此係併入本文中作為參照。
本發明關於一種處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法，更具體而言，有關於一種處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法，使超薄玻璃於表面處理之前及之後容易與支持超薄玻璃的載玻璃附著及脫離，其超薄玻璃可應用於顯示面板。
目前，於顯示器產業最大的議題之一係為輕薄化。為此目的，用於液晶顯示器(LCD)之生產製程利用具有0.3毫米或以下厚度之超薄玻璃作為玻璃基板，為了使液晶顯示器之厚度最小化。
為了生產這樣的超薄玻璃，在相關技術中，將具有0.5毫米或以下厚度之玻璃板蝕刻為具有0.1毫米厚度之超薄玻璃板。然而。此相關技術之方法遭受高成本，而需要其他的改進。
近年來，響應超薄玻璃之發展，研究了能使用超薄玻璃的方法。例如，在相關技術中，超薄玻璃附著於載玻璃，超薄玻璃進行表面處理，其超 薄玻璃可應於顯示面板，接著將表面處理過之超薄玻璃自載玻璃分離。然而，由於超薄玻璃係為可撓性，超薄玻璃自載玻璃加工或分離期間經常遭遇問題，例如刮痕、變形或斷裂。亦即，難以處理超薄玻璃。
因此，在相關技術中處理超薄玻璃面臨顯著的困難，其導致瑕疵及生產成本的增加。
於先前技術部分揭露之資訊僅提供用於較佳的了解本發明之背景，且該資訊構成領域內之習知技術者已知的現有技術不應被作為承認或任何形式的建議。
相關技術文獻
專利文獻1：韓國專利第10-0590724號(2006年6月9日)。
本發明之各種態樣提供一種處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法，使超薄玻璃於表面處理之前及之後容易與支持超薄玻璃的載玻璃附著及分離，超薄玻璃可應用於顯示面板。
於本發明之一態樣，提供一種處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法。該方法包括以下之步驟：將超薄玻璃及載玻璃結合在一起，載玻璃經由相變材料以支持超薄玻璃；表面處理超薄玻璃；及將超薄玻璃自載玻璃脫離。
根據本發明之實施例，相變材料可為導電性。
相變材料可為摻雜劑添加至其中的氧化銦錫。
摻雜劑可為一或至少兩種選擇自由鎵(Ga)、鋅(Zn)、鈰(Ce)、鎂(Mg)、鋯(Zr)及鈮(Nb)所組成的元素群組的結合物。
添加至氧化銦錫的摻雜劑可包含三氧化二鎵(Ga2O3)，三氧化二鎵之含量範圍佔重量的0.5至7%。
三氧化二鎵之含量可佔重量的2.9%。
設置於超薄玻璃及載玻璃之間的相變材料之厚度可為100奈米或以下。
設置於超薄玻璃及載玻璃之間的相變材料之厚度範圍可為30至50奈米。
將超薄玻璃及載玻璃結合在一起之步驟可包含將載玻璃之結合表面塗覆相變材料。
於此情況下，超薄玻璃可自相變材料之已與超薄玻璃結合的第一表面分離，其相變材料的第一表面的粗糙度大於相變材料之與載玻璃結合的第二表面的粗糙度。
將超薄玻璃及載玻璃結合在一起之步驟可包含將超薄玻璃之結合表面塗覆相變材料。
載玻璃可自相變材料之已與載玻璃結合的第一表面分離，其相變材料的第一表面的粗糙度大於相變材料之與超薄玻璃結合的第二表面的粗糙度。
表面處理超薄玻璃可包含在等於或高於相變材料之相變溫度的溫度下熱處理。
超薄玻璃可為具有0.3毫米或以下之厚度的玻璃。
根據本發明之實施例，當載玻璃附著於超薄玻璃，使超薄玻璃可於表面處理期間在其上被操控，其超薄玻璃可應用於顯示面板，超薄玻璃及載 玻璃經由相變材料結合在一起。因此，可能實現於表面處理期間超薄玻璃及載玻璃之間的優越黏著力。表面處理之後，超薄玻璃可容易自載玻璃分離，可歸因於表面處理期間經由熱處理的相變材料的結晶化。
另外，由於超薄玻璃可容易自載玻璃分離，可能避免載玻璃的破損，因而載玻璃可再利用於另一超薄玻璃的處理，使其成本降低。
此外，超薄玻璃於附著至載玻璃之前塗覆導電的相變材料，自載玻璃分離的超薄玻璃可具有抗靜電功能。
本發明之方法及設備具有將為顯而易見的其他特徵及優點，或本文併入之附圖更詳細闡述，且於下文本發明之詳細描述，其一同用於解釋本發明之某些原理。
110‧‧‧超薄玻璃
120‧‧‧載玻璃
130‧‧‧相變材料
S1‧‧‧結合步驟
S2‧‧‧表面處理步驟
S3‧‧‧分離步驟
第1圖係為根據本發明之例示性實施例依序顯示處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法的過程流程圖；第2圖至第5圖係為根據本發明之例示性實施例依序顯示處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法的過程剖面圖；以及第6圖至第9圖係為根據本發明之其他例示性實施例依序顯示處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法的過程剖面圖。
現將詳細參照根據本發明之處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法，其實施例係顯示於下列附圖及說明中，使得與本發明相關的領域中具有通常知識者可輕易實踐本發明。
於整份文件中，應參考附圖，其中相同參考符號或編號係用於所有不同附圖中以標示相同或相似的構件。於本發明之下文中描述，當此文所納入之已知功能與構件之詳細說明可能使本發明的標的不清楚時，將會予以省略。
第1圖係為根據本發明之例示性實施例顯示處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法的流程圖，其為一種處理方法可避免當超薄玻璃進行表面處理時，超薄玻璃(見第2圖至第6圖之110)之表面形成刮痕或超薄玻璃造成斷裂，該超薄玻璃可作為在顯示面板中彼此相對的上部及下部基板之任一種基板，例如，液晶顯示器(LCD)面板。如第1圖所示，處理方法包含結合步驟S1、表面處理步驟S2及分離步驟S3。
第2圖至第5圖根據本發明之例示性實施例依序顯示處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法的過程。
首先，如第2圖及第3圖所示，結合步驟S1係藉由超薄玻璃110及載玻璃120結合在一起而執行。於結合步驟S1，可用於液晶顯示器面板之玻璃基板的超薄玻璃110可為選自下列其中的玻璃，矽酸鹽玻璃(silicate glass)、矽土玻璃(silica glass)、硼矽酸玻璃(borosilicate glass)及無鹼玻璃(alkali-free glass)，但不限於此，其厚度為0.3毫米或以下。載玻璃120可與超薄玻璃110為相同類型之玻璃。當載玻璃120作為支持當超薄玻璃110進行表面處理時的超薄玻璃110時，載玻璃120之厚度最好大於超薄玻璃110之厚度。
根據本例示性實施例之結合步驟S1，超薄玻璃110及載玻璃120係藉由相變材料130結合在一起。根據本例示性實施例，相變材料130可為一導電性材料。例如，相變材料130可為摻雜劑添加至其中的氧化銦錫(ITO)。摻雜劑可為一或至少兩種選擇自由鎵(Ga)、鋅(Zn)、鈰(Ce)、鎂(Mg)、鋯(Zr)及鈮(Nb)所組成的元素群組的結合物，但不限於此。例如，相變材料130可為三氧化二鎵(Ga2O3)添加至其中的氧化銦錫。三氧化二鎵(Ga2O3)之含量範圍佔重量之0.5至7%，且較佳為佔重量2.9%。
即使其厚度為幾十奈米，當相變材料130在等於或低於相變溫度之溫度維持非晶形時，相變材料130傾向於使超薄玻璃110及載玻璃120兩者容易附著。反之，當相變材料130於其後表面處理步驟S2期間藉由熱處理而結晶化時，其變得容易脫離。
當超薄玻璃110附著於載玻璃120時，其目的為於超薄玻璃110之表面進行其後過程的表面處理步驟S2之前，穩固地支持超薄玻璃110，相變材料130的這種特性可提供優越的黏著力。因此，其係可能以避免超薄玻璃110自載玻璃120脫離或於表面處理步驟S2期間受損。其亦可能於表面處理步驟S2之後容易將超薄玻璃110自載玻璃120脫離。
根據本例示性實施例，相變材料130可形成於超薄玻璃110及載玻璃120之間，使其厚度為100奈米或以下，且較佳地為30至50奈米的範圍。
如第2圖顯示，根據本例示性實施例，於超薄玻璃110及載玻璃120結合在一起之前，相變材料130可施加以塗覆於載玻璃120之一表面，即，載玻璃120之與超薄玻璃110結合之結合表面。根據本例示性實施例，相變材料130可 藉由塗覆方法形成於載玻璃120之結合表面，塗覆方法例如濺鍍、沉積、化學氣相沉積法(CVD)及溶膠凝膠(sol-gel)法。
之後，如第3圖所示，執行結合步驟S1，從而生產出其中超薄玻璃110及載玻璃120經由相變材料130而附著在一起的多層結構。該多層結構於之後的表面處理步驟S2完成之前，存在暫時性的結構。
之後，表面處理步驟S2藉由表面處理超薄玻璃110而執行。表面處理步驟S2意在促進超薄玻璃110的光學特性，當超薄玻璃110利用為玻璃基板時，例如，液晶顯示器面板。表面處理步驟S2可包含蝕刻製程及清洗製程。由於結合步驟S1能夠使超薄玻璃110經由相變材料130而穩固地支持在載玻璃120上，其係可能於表面處理期間以避免超薄玻璃110自載玻璃120脫離，使超薄玻璃110可容易被表面處理。
表面處理步驟S2需要在同等或高於相變材料130的相變溫度的溫度的熱處理。當在超薄玻璃110執行表面處理時，熱處理溫度典型為370℃。當相變材料130以鎵-摻雜氧化銦錫(Ga-doped ITO)實施時，由於氧化銦錫的結晶化溫度範圍自200至220℃，表面處理步驟S2引起相變材料130自非晶形狀態結晶的相變。
上表1顯示由於超薄玻璃110上表面處理期間的熱處理，其根據相變材料130之厚度的黏著力測試結果。其證明，於熱處理之前，相變材料130愈薄，黏著力愈佳。亦即，當相變材料130之厚度係為10或20奈米時，於熱處理之後的黏著力係增加至3牛頓(N)或更大，從而達到了永久性的黏結。此表示，於熱處理之後，超薄玻璃110及載玻璃120經由結晶的相變材料130結合在一起而無法彼此分離。於表1中的文字「損壞(Damaged)」意指相變材料130之黏著力過度。 超薄玻璃110及載玻璃120無法彼此分離，當連續地施加分離力時，包含超薄玻璃110及載玻璃120的結構被破壞。
反之，當相變材料130之厚度係為30奈米時，於熱處理之後的黏著力測量為1.25牛頓(N)，其與熱處理之前相比其黏著力增加。其表示超薄玻璃110及載玻璃120彼此分離而未被破壞。
如第4圖所示，最初為非晶形之相變材料130的相變誘導結晶化造成與超薄玻璃110結合之相變材料130表面之粗糙度增加，即，於塗覆期間面對與載玻璃120結合的相變材料130之表面的相變材料130之其他表面。換句話說，相變材料130的結晶化導致不改變其最初塗覆有相變材料130的載玻璃120之側上的相變材料130的表面狀態，使優越的黏著力繼續維持，且增加附著於相變材料130塗覆至載玻璃120之超薄玻璃110之側的相變材料130其表面粗糙度。位於超薄玻璃110之側且其粗糙度增加的相變材料130更高度的粗糙表面，於之後的分離步驟S3作為分離的邊界。
最後，如第5圖所示，分離步驟S3藉由超薄玻璃110自載玻璃120分離而執行。於分離步驟S3，表面處理步驟S2期間已穩固地支持超薄玻璃110的 載玻璃120自超薄玻璃110分離，使透過表面處理而改善的光學特性之超薄玻璃110可應用於液晶顯示器面板之玻璃基板。
具體而言，於分離步驟S3，超薄玻璃110自剩餘的結構分離係藉由作為分離介面表面的相變材料130更高度粗糙的表面，相變材料130更高度粗糙的表面係位於表面處理步驟S2期間經由熱處理而已結晶化的相變材料130的兩個表面之中的超薄玻璃110之側。相變材料130的更高度粗糙的表面因為其與玻璃緊鄰的面積相對縮減而作為分離介面表面。
因此，當超薄玻璃110容易自載玻璃120分離係基於相變材料130之特性，其係可能以避免載玻璃120於分離過程的損傷。當載玻璃120在超薄玻璃110從其分離時未損傷，載玻璃120可再利用於處理另一超薄玻璃，使其成本降低。
如上所述，根據本例示性實施例，超薄玻璃110及載玻璃120經由相變材料130結合在一起，使超薄玻璃110可於超薄玻璃110的表面處理期間容易執行，該超薄玻璃110可應用於顯示面板的玻璃基板。
第6圖至第9圖根據本發明之其他例示性實施例依序顯示處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法的過程。
如第6圖所示，根據本例示性實施例，超薄玻璃110及載玻璃120附著在一起之前，超薄玻璃110的與載玻璃120附著之結合表面可被塗覆相變材料130。相變材料130可藉由與先前之例示性實施例相同方式塗覆。
之後，如第7圖所示，執行結合步驟S1，從而生產出其中超薄玻璃110及載玻璃120經由相變材料130附著在一起的多層結構。
如第8圖顯示，當表面處理步驟S2係於其中超薄玻璃110之表面塗覆著相變材料130的狀態下執行時，相變材料130於表面處理步驟S2經由熱處理而結晶化。不同於先前之例示性實施例，其增加了位於載玻璃120之側的相變材料130之表面粗糙度。相變材料130的表面，其粗糙度以此方式增加，作為之後的分離步驟S3的分離介面表面。
如第9圖所示，於分離步驟S3，載玻璃120自剩餘結構分離係藉由相變材料130更高度粗糙的表面作為分離介面表面，相變材料130更高度粗糙的表面係位於載玻璃120之側。
在這種情況下，如圖顯示，在載玻璃120分離之後，相變材料130仍保持為超薄玻璃110表面上的薄膜。因為相變材料130係為導電性，當具有相變材料130之薄膜於其上的超薄玻璃110應用於液晶顯示器面板之玻璃基板時，超薄玻璃110可具有抗靜電功能。
上述本發明之特定例示性實施例之描述已相對於附圖而呈現。其非旨在詳盡或侷限本發明於揭示之精確形式，而且鑒於以上的教示，對所屬技術領域具有通常知識者來說明顯地可能有許多修改和變化。
因此，本發明之範疇旨在不侷限於上述之實施例，而是由所附申請專利範圍及其等效配置所定義。
S1~S3‧‧‧步驟

Claims (14)

  1. 一種處理用於顯示面板之超薄玻璃之方法，該方法包含：將該超薄玻璃及一載玻璃結合在一起，經由一相變材料使該載玻璃支持該超薄玻璃；表面處理該超薄玻璃；以及將該超薄玻璃自該載玻璃分離；其中，表面處理該超薄玻璃包含熱處理，使該相變材料結晶化。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該相變材料係為導電性。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中該相變材料包含一摻雜劑添加至其中的氧化銦錫。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中該摻雜劑包含一或至少兩種選擇自由鎵(Ga)、鋅(Zn)、鈰(Ce)、鎂(Mg)、鋯(Zr)及鈮(Nb)所組成的元素群組的一結合物。
  5. 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中添加至氧化銦錫的該摻雜劑包含三氧化二鎵(Ga2O3)，三氧化二鎵之一含量範圍佔重量的0.5至7%。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之方法，其中三氧化二鎵之該含量佔重量的2.9%。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中設置於該超薄玻璃及該載玻璃之間的該相變材料之厚度為100奈米或以下。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之方法，其中設置於該超薄玻璃及 該載玻璃之間的該相變材料之厚度範圍為30至50奈米。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中將該超薄玻璃及該載玻璃結合在一起係包含將該載玻璃之一結合表面塗覆該相變材料。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該超薄玻璃自已與該超薄玻璃結合的該相變材料之一第一表面分離，該相變材料之該第一表面的粗糙度大於與該載玻璃結合的該相變材料之一第二表面的粗糙度。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中將該超薄玻璃及該載玻璃結合在一起係包含將該超薄玻璃之一結合表面塗覆該相變材料。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之方法，其中該載玻璃自已與該載玻璃結合的該相變材料之一第一表面分離，該相變材料之該第一表面的粗糙度大於與該超薄玻璃結合的該相變材料之一第二表面的粗糙度。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該熱處理在等於或高於該相變材料之相變溫度的一溫度下執行。
  14. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該超薄玻璃具有0.3毫米或以下之厚度。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107873062B (zh) * 2015-05-08 2020-10-30 应用材料公司 用于固持基板的方法和支撑件
US12109780B2 (en) 2017-04-27 2024-10-08 Nippon Electric Glass Co., Ltd. Carrier glass and method for producing same
KR102537032B1 (ko) * 2021-02-15 2023-05-26 연세대학교 산학협력단 초박막 유리 제조 방법 및 이에 의해 제조된 초박막 유리
CN113372018B (zh) * 2021-06-18 2022-12-02 江西沃格光电股份有限公司 超薄玻璃及其表面处理方法和显示装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030008437A1 (en) * 1998-02-25 2003-01-09 Seiko Epson Corporation Method of separating thin film device, method of transferring thin film device, thin film device, active matrix substrate and liquid crystal display device

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3081122B2 (ja) 1994-07-18 2000-08-28 シャープ株式会社 基板搬送用治具及びそれを用いた液晶表示素子の製造方法
JP3203166B2 (ja) 1995-10-13 2001-08-27 シャープ株式会社 液晶表示素子製造用治具及びそれを用いた液晶表示素子の製造方法
JP2002020143A (ja) * 2000-06-30 2002-01-23 Canon Inc 接合方法
US7056810B2 (en) * 2002-12-18 2006-06-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor apparatus, and semiconductor apparatus and electric appliance
KR100590724B1 (ko) 2004-10-08 2006-06-19 재단법인 포항산업과학연구원 비정질 합금의 코팅 방법
EP2025650A1 (en) 2006-05-08 2009-02-18 Asahi Glass Company, Limited Thin-sheet glass laminate, process for manufacturing display apparatus using the laminate, and supporting glass substrate
JP4930161B2 (ja) * 2006-05-08 2012-05-16 旭硝子株式会社 薄板ガラス積層体、薄板ガラス積層体を用いた表示装置の製造方法および、支持ガラス基板
KR100947435B1 (ko) * 2008-03-25 2010-03-12 삼성모바일디스플레이주식회사 플렉서블 디스플레이 및 그 제조 방법
KR20090112824A (ko) * 2008-04-25 2009-10-29 주식회사 이 월드 적층 접합방식 박판유리 가공방법
KR101149433B1 (ko) * 2009-08-28 2012-05-22 삼성모바일디스플레이주식회사 플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법
KR101147988B1 (ko) * 2010-07-13 2012-05-24 포항공과대학교 산학협력단 물리적 박리 방법을 이용한 플렉서블 전자소자의 제조방법, 플렉서블 전자소자 및 플렉서블 기판
KR101702943B1 (ko) 2010-10-29 2017-02-22 엘지이노텍 주식회사 발광소자의 제조방법
US20120280368A1 (en) * 2011-05-06 2012-11-08 Sean Matthew Garner Laminated structure for semiconductor devices
KR20140023142A (ko) * 2012-08-17 2014-02-26 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 방법 및 표시 장치를 제조하기 위한 캐리어 기판

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030008437A1 (en) * 1998-02-25 2003-01-09 Seiko Epson Corporation Method of separating thin film device, method of transferring thin film device, thin film device, active matrix substrate and liquid crystal display device

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