KR20150012783A - 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 디스플레이 패널로의 적용을 위한 표면 처리 공정 전, 후에 이를 지지하는 캐리어 유리와의 탈, 부착을 용이하게 할 수 있는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 초 박판 유리 및 상기 초 박판 유리를 지지하는 캐리어 유리를 상전이 물질을 매개로 접합하는 접합단계; 상기 초 박판 유리의 표면을 표면처리 하는 표면처리단계; 및 상기 캐리어 유리로부터 상기 초 박판 유리를 분리시키는 분리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법을 제공한다.

Description

디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법{METHOD OF ULTRA HANDLING THIN GLASS FOR DISPLAY PANEL}
본 발명은 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 디스플레이 패널로의 적용을 위한 표면 처리 공정 전, 후에 이를 지지하는 캐리어 유리와의 탈, 부착을 용이하게 할 수 있는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법에 관한 것이다.
현재, 디스플레이 산업의 최대 화두 중 하나는 슬림화이다. 이의 일환으로, 예컨대, LCD 공정에서는 LCD 모듈의 두께를 최소화하기 위해 기판 유리로 두께 0.3㎜ 이하의 초 박판 유리를 사용하고 있다.
종래에는 이러한 초 박판 유리를 제조하기 위해, 두께 0.5㎜ 유리를 에칭하여 두께 0.1㎜의 초 박판 유리로 만들어 사용하였다. 하지만, 이와 같은 종래의 방법은 비용적인 부담이 상당히 크므로, 다른 개선안이 요구되었다.
최근에는 초 박판 유리가 개발되면서 이를 활용할 수 있는 방법들이 강구되고 있다. 예를 들어, 종래에는 캐리어 유리에 초 박판 유리를 붙인 다음 디스플레이 패널로의 적용을 위해 초 박판 유리를 표면 처리하고, 표면 처리된 초 박판 유리를 캐리어 유리로부터 분리시켰다. 하지만, 초 박판 유리는 플렉서블(flexible)하기 때문에 공정 중이나 캐리어 유리로부터 분리 시 스크래치나 처짐 혹은 깨짐 등이 빈번히 발생하는 문제, 즉, 취급에 어려움이 있었다.
즉, 종래의 방법을 통해서는 초 박판 유리를 핸들링 하는데 상당한 어려움이 있었고, 이에 따라, 불량 발생률이 증가되었으며, 이는 결국, 제조 비용의 증가로 이어지게 되었다.
대한민국 등록특허공보 제10-0590724호(2006.06.09.)
본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 디스플레이 패널로의 적용을 위한 표면 처리 공정 전, 후에 이를 지지하는 캐리어 유리와의 탈, 부착을 용이하게 할 수 있는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법을 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은, 초 박판 유리 및 상기 초 박판 유리를 지지하는 캐리어 유리를 상전이 물질을 매개로 접합하는 접합단계; 상기 초 박판 유리의 표면을 표면처리 하는 표면처리단계; 및 상기 캐리어 유리로부터 상기 초 박판 유리를 분리시키는 분리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법을 제공한다.
여기서, 상기 상전이 물질은 전도성을 가질 수 있다.
이때, 상기 상전이 물질로는 도펀트가 도핑된 ITO를 사용할 수 있다.
또한, 상기 도펀트는 Ga, Zn, Ce, Mg, Zr 및 Nb를 포함하는 물질군 중 선택된 어느 하나 또는 둘 이상의 조합일 수 있다.
그리고 상기 상전이 물질로는 Ga2O3가 0.5~7wt% 도핑된 ITO를 사용할 수 있다.
바람직하게는, 상기 상전이 물질로는 Ga2O3가 2.9wt% 도핑된 ITO를 사용할 수 있다.
그리고 상기 초 박판 유리 및 상기 캐리어 유리 사이에 상기 상전이 물질을 100㎚ 이하의 두께로 형성할 수 있다.
이때, 상기 초 박판 유리 및 상기 캐리어 유리 사이에 상기 상전이 물질을 30~50㎚ 두께로 형성할 수 있다.
아울러, 상기 접합단계에서는 상기 상전이 물질을 상기 캐리어 유리의 접합면에 코팅할 수 있다.
이때, 상기 분리단계에서는 상기 캐리어 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 일측면과 상기 초 박판 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 타측면 중 표면 거칠기가 상대적으로 큰 상기 상전이 물질의 타측면으로부터 상기 초 박판 유리가 분리될 수 있다.
또한, 상기 접합단계에서는 상기 상전이 물질을 상기 초 박판 유리의 접합면에 코팅할 수 있다.
이때, 상기 분리단계에서는 상기 캐리어 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 일측면과 상기 초 박판 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 타측면 중 표면 거칠기가 상대적으로 큰 상기 상전이 물질의 일측면으로부터 상기 캐리어 유리가 분리될 수 있다.
아울러, 상기 표면처리단계는 상기 상전이 물질의 상전이 온도 이상의 온도에서 열처리하는 공정을 수반할 수 있다.
또한, 상기 초 박판 유리로는 두께가 0.3㎜ 이하인 유리를 사용할 수 있다.
본 발명에 따르면, 디스플레이 패널로의 적용을 위한 초 박판 유리의 표면 처리 공정 시 초 박판 유리 핸들링을 위해, 초 박판 유리에 캐리어 유리를 부착시키는 경우, 상전이 물질을 매개로 초 박판 유리와 캐리어 유리를 접합시킴으로써, 표면 처리 공정 중 초 박판 유리와 캐리어 유리 간의 우수한 부착력을 확보할 수 있고, 초 박판 유리에 대한 표면 처리 공정 후, 표면 처리 공정 중 수반되는 열처리를 통해 상전이 물질이 결정화되어 캐리어 유리로부터 초 박판 유리를 용이하게 분리시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 캐리어 유리로부터 초 박판 유리를 용이하게 분리시킴으로써, 캐리어 유리의 손상을 방지할 수 있고, 이를 통해, 분리된 캐리어 유리를 다른 초 박판 유리의 핸들링에 재사용할 수 있는데, 이는 원가 절감으로 이어지게 된다.
또한, 본 발명에 따르면, 전도성이 있는 상전이 물질을 초 박판 유리에 코팅한 다음 이에 캐리어 유리를 부착시킴으로써, 정전기 방지 기능을 갖는 초 박판 유리를 캐리어 유리로부터 분리시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 다른 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법을 공정 순으로 나타낸 공정 순서도.
도 2 내지 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법을 나타낸 공정 모식도.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법을 나타낸 공정 모식도.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법에 대해 상세히 설명한다.
아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법은, 초 박판 유리(110)를 디스플레이 패널, 예컨대, LCD 패널의 서로 대향되는 상, 하부 기판으로 사용하기 위해, 이의 표면을 표면처리 하는 과정에서, 표면에 스크래치가 발생하거나 처짐 혹은 깨지는 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 핸들링 방법으로, 접합단계(S1), 표면처리단계(S2) 및 분리단계(S3)를 포함한다.
먼저, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 접합단계(S1)는 초 박판 유리(110) 및 이를 지지하는 캐리어 유리(120)를 접합하는 단계이다. 여기서, LCD 패널의 기판유리로 사용되는 초 박판 유리(110)로는 두께가 0.3㎜ 이하인 규산염 유리, 실리카 유리, 붕규산 유리, 무알칼리 유리 등을 사용할 수 있다. 또한, 캐리어 유리(120)로는 초 박판 유리(110)와 동일한 유리를 사용할 수 있다. 이때, 캐리어 유리(120)는 초 박판 유리(110)에 대한 표면처리 시 이를 지지하는 역할을 하므로, 공정 중 안정적인 지지를 위해, 초 박판 유리(110)보다는 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 유리를 캐리어 유리(120)로 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 접합단계(S1)에서는 상전이 물질(130)을 매개로 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)를 접합한다. 여기서, 본 발명의 실시 예에서는 전도성을 갖는 상전이 물질(130)을 사용할 수 있다. 예를 들어, 상전이 물질(130)로는 도펀트가 도핑된 ITO(indium tin oxide)를 사용할 수 있다. 이때, 도펀트는 Ga, Zn, Ce, Mg, Zr 및 Nb를 포함하는 물질군 중 선택된 어느 하나 또는 둘 이상의 조합일 수 있다. 일례로, Ga2O3가 0.5~7wt%, 바람직하게는 2.9wt% 첨가된 상전이 ITO를 상전이 물질(130)로 사용할 수 있다.
이와 같이, 상전이 물질(130)은 형성 두께가 수십 ㎚가 되더라도 상전이 온도 이하에서는 비정질 상태를 유지하게 되어 양측, 초 박판 유리(110) 및 캐리어 유리(120)와 잘 붙는 특성을 갖는다. 또한, 이러한 상전이 물질(130)은 후속 표면처리단계(S2) 시 수반되는 열처리 공정을 통해 결정화되면, 반대로 잘 떨어지는 특성을 갖는다.
이와 같은 상전이 물질(130)의 특성을 통해, 후속 공정으로 진행되는 초 박판 유리(110)의 표면에 대한 표면처리단계(S2) 전, 이를 안정적으로 지지하기 위한 캐리어 유리(120)와의 부착 시 우수한 부착력을 확보할 수 있어, 표면처리단계(S2) 중, 초 박판 유리(110)가 캐리어 유리(120)로부터 이탈되어 손상되는 것을 방지할 수 있고, 표면처리단계(S2) 후, 캐리어 유리(120)로부터 초 박판 유리(110)를 용이하게 분리시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예에서는 이러한 상전이 물질(130)을 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120) 사이에 100㎚ 이하의 두께, 바람직하게는 30~50㎚ 두께로 형성할 수 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에서는 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120) 합착 전, 상전이 물질(130)을 캐리어 유리(120)의 표면, 즉, 초 박판 유리(110)와 접합되는 캐리어 유리(120)의 접합면에 코팅할 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에서는 스퍼터링, 증착, CVD 및 졸겔법 등과 같은 코팅 방법을 통해 상전이 물질(130)을 캐리어 유리(120)의 접합면에 코팅할 수 있다.
그 다음, 도 3에 도시한 바와 같이, 접합단계(S1)를 진행하면, 상전이 물질(130)을 매개로 하는 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)의 적층체가 만들어진다. 이러한 적층체는 후속 공정으로 진행되는 표면처리단계(S2)가 완료될 때까지 한시적인 구조를 이룬다.
다음으로, 표면처리단계(S2)는 초 박판 유리(110)의 표면을 표면처리 하는 단계이다. 표면처리단계(S2)는 초 박판 유리(110)가 예컨대, LCD 패널의 기판유리로 사용됨에 따라, 이의 광학적 특성을 향상시키기 위한 공정이다. 이러한 표면처리단계(S2)는 에칭 공정 및 세정 공정을 포함할 수 있다. 여기서, 접합단계(S1)를 통해, 초 박판 유리(110)가 상전이 물질(130)을 매개로 캐리어 유리(120)에 안정적으로 지지됨에 따라, 초 박판 유리(110)에 대한 표면처리 중 초 박판 유리(110)가 캐리어 유리(120)로부터 이탈되는 것을 방지하여, 안정적으로 초 박판 유리(110)에 대한 표면처리를 실시할 수 있다.
여기서, 이와 같은 표면처리단계(S2)는 상전이 물질(130)의 상전이 온도 이상의 온도에서 열처리하는 공정을 수반한다. 통상, 초 박판 유리(110)에 대한 표면처리 시 수반되는 열처리 온도는 대략 370℃이다. 이때, 상전이 물질(130)로 Ga이 도핑된 ITO가 사용된 경우, ITO의 결정화 온도가 200~220℃이므로, 표면처리단계(S2)를 진행하게 되면, 상전이 물질(130)이 비정질 상태에서 결정화되는 상전이가 일어나게 된다.
상전이 물질 형성 두께 열처리 전 부착력 열처리 후 부착력
10㎚ 0.73N 파손
20㎚ 0.83N 파손
30㎚ 0.58N 1.25N
상기 표 1은 초 박판 유리(110)에 대한 표면 처리 시 수반되는 열처리에 따른 상전이 물질(130)의 형성 두께 별 부착력을 테스트한 결과를 나타낸 것으로, 상전이 물질(130)의 형성 두께가 얇을수록 열처리 전 부착력이 우수한 것으로 확인되었다. 하지만, 상전이 물질(130)의 이러한 특성은 열처리 후에도 그대로 유지되는 것으로 확인되었다. 즉, 상전이 물질(130)의 두께가 10㎚, 20㎚인 경우에는 열처리 후 부착력이 3N 이상으로 증가되어 영구 접합 상태를 나타내게 된다. 이는, 열처리 후 상전이 물질(130)의 결정화를 이용한 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)의 분리가 불가능함을 의미한다. 여기서, 표 1의 "파손"은 상전이 물질(130)의 부착력이 너무 커, 테스트 시 지속적인 힘이 가해졌을 경우, 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)가 분리되지 않고 종국에는 파손되었다는 결과를 나타낸 것이다.
이에 반해, 상전이 물질(130)의 형성 두께가 30㎚인 경우, 열처리 전보다 열처리 후 부착력은 증가되었지만, 열처리 후 부착력이 1.25N으로 측정되었다는 것은 결국, 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)가 파손되지 않고, 분리되었음을 의미한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 최초 비정질 상태의 상전이 물질(130)이 상전이되어 결정질 상태가 되면, 코팅 시 캐리어 유리(120)와 접합되어 있는 일측면과 대응되는 타측면, 즉, 초 박판 유리(110)와 접합되어 있는 면의 표면 거칠기가 증가된다. 다시 말해, 상전이 물질(130)이 결정화되면, 최초 상전이 물질(130)이 코팅된 캐리어 유리(120) 측의 상전이 물질(130) 표면 상태에는 변화가 없어, 캐리어 유리(120)와의 우수한 부착력은 계속적으로 유지되고, 캐리어 유리(120)에 코팅되어 있는 상전이 물질(130) 상에 부착된 초 박판 유리(110) 측의 상전이 물질(130)의 표면은 거칠기가 증가되는 특성을 나타내게 된다. 이와 같이, 표면 거칠기가 증가된 초 박판 유리(110) 측의 상전이 물질(130)의 표면은 후속 분리단계(S3) 시 분리 경계면으로 작용하게 된다.
마지막으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 분리단계(S3)는 캐리어 유리(120)로부터 초 박판 유리(110)를 분리시키는 단계이다. 즉, 분리단계(S3)에서는 표면처리되어 광학적 특성이 향상된 초 박판 유리(110)를 LCD 패널의 기판유리로 적용하기 위해, 표면처리단계(S2) 진행 시 초 박판 유리(110)를 안정적으로 지지한 캐리어 유리(120)를 초 박판 유리(110)로부터 분리시킨다.
구체적으로, 분리단계(S3)에서는 표면처리단계(S2) 시 수반되는 열처리에 의해 결정화된 상전이 물질(130)의 양측 표면 중 표면 거칠기가 증가된 초 박판 유리(110) 측의 표면을 분리 경계면으로 하여 초 박판 유리(110)가 분리된다. 여기서, 표면 거칠기가 증가된 상전이 물질(130)의 표면이 분리 경계면이 되는 이유는 유리와의 접촉 면적이 상대적으로 좁아지기 때문이다.
이와 같이, 상전이 물질(130)의 특성을 이용하여 캐리어 유리(120)로부터 초 박판 유리(110)를 용이하게 분리시키면, 분리 과정에서 캐리어 유리(120)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 캐리어 유리(120)가 초 박판 유리(110)를 분리시키는 과정에서 손상되지 않으면, 다른 초 박판 유리의 핸들링에 재사용할 수 있는데, 이는 원가 절감으로 이어지게 된다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시 예에서는 상전이 물질(130)을 매개로 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)를 접합하여, LCD 패널의 기판유리로 적용을 위한 초 박판 유리(110)에 대한 표면처리 시 안정적으로 초 박판 유리(110)를 핸들링할 수 있게 된다.
한편, 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에서는 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120) 합착 전, 상전이 물질(130)을 초 박판 유리(110)의 표면, 즉, 캐리어 유리(120)와 접합되는 초 박판 유리(110)의 접합면에 코팅할 수 있다. 이러한 상전이 물질(130)은 본 발명의 일 실시 예와 동일한 방법을 통해 코팅할 수 있다.
그 다음, 도 7에 도시한 바와 같이, 접합단계(S1)를 진행하면, 상전이 물질(130)을 매개로 하는 초 박판 유리(110)와 캐리어 유리(120)의 적층체가 만들어진다.
이때, 도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따라 초 박판 유리(110)의 표면에 상전이 물질(130)을 코팅하면, 표면처리단계(S2) 시 수반되는 열처리에 의해 상전이 물질(130)의 결정화가 일어난다. 여기서, 본 발명의 다른 실시 예는 본 발명의 일 실시 예와 달리, 캐리어 유리(120) 측의 상전이 물질(130)의 표면의 거칠기가 증가되고, 이와 같이, 표면 거칠기가 증가된 상전이 물질(130)의 표면이 후속 분리단계(S3) 시 분리 경계면으로 작용하게 된다.
즉, 도 9에 도시한 바와 같이, 분리단계(S3)에서는 표면 거칠기가 증가된 캐리어 유리(120) 측의 상전이 물질(130) 표면을 분리 경계면으로 하여 캐리어 유리(120)가 분리된다.
이 경우, 도시한 바와 같이, 캐리어 유리(120) 분리 후에도 초 박판 유리(110)의 표면에는 상전이 물질(130)이 박막 형태로 부착되어 있다. 이때, 상전이 물질(130)은 전도성을 가지고 있으므로, 박막형의 상전이 물질(130)을 구비하는 초 박판 유리(110)를 LCD 패널의 기판 유리로 적용하는 경우, 초 박판 유리(110)는 정전기 방지 기능을 구현할 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110: 초 박판 유리 120: 캐리어 유리
130: 상전이 물질

Claims (14)

  1. 초 박판 유리 및 상기 초 박판 유리를 지지하는 캐리어 유리를 상전이 물질을 매개로 접합하는 접합단계;
    상기 초 박판 유리의 표면을 표면처리 하는 표면처리단계; 및
    상기 캐리어 유리로부터 상기 초 박판 유리를 분리시키는 분리단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상전이 물질은 전도성을 갖는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상전이 물질로는 도펀트가 도핑된 ITO를 사용하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 도펀트는 Ga, Zn, Ce, Mg, Zr 및 Nb를 포함하는 물질군 중 선택된 어느 하나 또는 둘 이상의 조합인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 상전이 물질로는 Ga2O3가 0.5~7wt% 도핑된 ITO를 사용하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 상전이 물질로는 Ga2O3가 2.9wt% 도핑된 ITO를 사용하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 초 박판 유리 및 상기 캐리어 유리 사이에 상기 상전이 물질을 100㎚ 이하의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 초 박판 유리 및 상기 캐리어 유리 사이에 상기 상전이 물질을 30~50㎚ 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 접합단계에서는 상기 상전이 물질을 상기 캐리어 유리의 접합면에 코팅하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 분리단계에서는 상기 캐리어 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 일측면과 상기 초 박판 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 타측면 중 표면 거칠기가 상대적으로 큰 상기 상전이 물질의 타측면으로부터 상기 초 박판 유리가 분리되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 접합단계에서는 상기 상전이 물질을 상기 초 박판 유리의 접합면에 코팅하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 분리단계에서는 상기 캐리어 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 일측면과 상기 초 박판 유리와 접합되어 있는 상기 상전이 물질의 타측면 중 표면 거칠기가 상대적으로 큰 상기 상전이 물질의 일측면으로부터 상기 캐리어 유리가 분리되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 표면처리단계는 상기 상전이 물질의 상전이 온도 이상의 온도에서 열처리하는 공정을 수반하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 초 박판 유리로는 두께가 0.3㎜ 이하인 유리를 사용하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 초 박판 유리 핸들링 방법.
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