CN105431393B - 处理用于显示面板的超薄玻璃的方法 - Google Patents
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Abstract
一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，该方法能够使得所述超薄玻璃被容易地附接于承载玻璃并从所述承载玻璃脱离，所述承载玻璃在所述超薄玻璃为了应用于所述显示面板而需要的表面处理之前和之后支撑所述超薄玻璃。超薄玻璃和支撑所述超薄玻璃的承载玻璃通过相变材料结合在一起。所述超薄玻璃被表面处理。所述超薄玻璃从所述承载玻璃分离。
Description
技术领域
本发明涉及一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，更具体地，涉及一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，该方法能够使得所述超薄玻璃被容易地附接于承载玻璃并从所述承载玻璃脱离，所述承载玻璃在所述超薄玻璃为了应用于所述显示面板而需要的表面处理之前和之后支撑所述超薄玻璃。
背景技术
目前，显示器工业中最大的议题之一是纤薄化。为了这个目的，用于液晶显示器(LCD)的加工工艺采用具有0.3mm或更小厚度的超薄玻璃作为玻璃基底，以最小化液晶显示器的厚度。
为了加工这种超薄玻璃，在相关领域，具有0.5mm或更小厚度的玻璃板被蚀刻成具有0.1mm厚度的超薄玻璃板。然而，由于相关领域的这种方法遭受高成本，所以需要其它改进。
近来，响应超薄玻璃的发展，研究了能够处理超薄玻璃的方法。例如，在相关领域，超薄玻璃被附接于承载玻璃，超薄玻璃经受该超薄玻璃为了应用于显示面板而需要的表面处理，然后经表面处理过的超薄玻璃与承载玻璃分离。然而，由于超薄玻璃是柔性的，所以超薄玻璃在加工或与承载玻璃分离的过程中遭受例如刮伤、翘曲或者断裂之类的常见问题。也就是说，难于处理超薄玻璃。
这样，在相关领域处理超薄玻璃遇到了巨大的困难，这导致缺陷和加工成本的增加。
相关领域文献：
专利文献1：韩国专利No.10-0590724(2006年6月9日)
发明内容
本发明的各个方面提供一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，该方法能够使得所述超薄玻璃被容易地附接于承载玻璃并从所述承载玻璃脱离，在使所述超薄玻璃能够被用于所述显示面板而进行的表面处理之前和之后，所述承载玻璃支撑所述超薄玻璃。
在本发明一方面，提供一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法。该方法包括以下步骤：通过相变材料将超薄玻璃与承载玻璃结合在一起，使得所述承载玻璃支撑所述超薄玻璃；对所述超薄玻璃进行表面处理；以及将所述超薄玻璃从所述承载玻璃分离。
根据本发明的实施例，所述相变材料可以是导电材料。
所述相变材料可以是添加有掺杂剂的氧化铟锡。
所述掺杂剂可以是从由Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb组成的元素组中选择的一个或者从该元素组中选择的至少两个的组合。
添加到氧化铟锡的所述掺杂剂可以是Ga2O3，所述Ga2O3的含量的重量百分比在0.5％至7％的范围内。
所述Ga2O3的含量的重量百分比可以为2.9％。
设置在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间的所述相变材料的厚度可以是100nm或更小。
设置在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间的所述相变材料的厚度可以在30nm至50nm的范围内。
将所述超薄玻璃与所述承载玻璃结合在一起的所述步骤可以包括用所述相变材料涂覆所述承载玻璃的结合表面。
在这种情况下，所述超薄玻璃可以从所述相变材料的已经结合到所述超薄玻璃的一个表面分离，所述相变材料的所述一个表面的粗糙度大于所述相变材料的结合到所述承载玻璃的另一表面的粗糙度。
将所述超薄玻璃与所述承载玻璃结合在一起的步骤可以包括用所述相变材料涂覆所述超薄玻璃的结合表面。
所述承载玻璃可以从所述相变材料的已经结合到所述承载玻璃的一个表面分离，所述相变材料的所述一个表面的粗糙度大于所述相变材料的结合到所述超薄玻璃的另一表面的粗糙度。
对所述超薄玻璃进行表面处理可以伴随有在等于或高于所述相变材料的相变温度的温度的热处理。
所述超薄玻璃可以是具有0.3mm或更小的厚度的玻璃。
根据本发明的实施例，当承载玻璃被附接于超薄玻璃使得在对所述超薄玻璃进行使得所述超薄玻璃能够用于显示面板的表面处理过程中所述超薄玻璃被处理时，所述超薄玻璃和所述承载玻璃通过相变材料附接在一起。因此，能够在表面处理过程中在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间获得较高的附着力。在该表面处理之后，由于所述相变材料通过表面处理过程中的热处理而结晶，所述超薄玻璃能够容易地从所述承载玻璃分离。
此外，由于所述超薄玻璃能够容易地从所述承载玻璃分离，所以能够防止所述承载玻璃被损坏，从而所述承载玻璃能够被重新用于处理另外的超薄玻璃，其带来成本的降低。
此外，所述超薄玻璃在被附接到所述承载玻璃之前被涂覆导电的相变材料，从而从所述承载玻璃分离的所述超薄玻璃可以具有抗静电功能。
附图说明
图1是顺序显示根据本发明的示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法的工序的流程图；
图2至图5是顺序显示根据本发明的示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法的工序的剖视图；以及
图6至图9是顺序显示根据本发明的另一示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法的工序的剖视图。
具体实施方式
现在将详细参考根据本发明的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，其实施例被例示在附图中并在下面进行描述，从而本发明所涉及领域中的技术人员能够容易地实现本发明。
贯穿该文献，应当参考附图，在附图中，相同的附图标记和符号在不同的附图中使用以表示相同或相似的部件。在本发明的以下描述中，当本文包含的已知功能和部件的详细描述可能使得本发明的主题不清楚时，将省略该详细描述。
如图1所示，根据本发明的示例性实施例的处理用于显示面板的超薄玻璃的方法是一种在对超薄玻璃110进行表面处理时能够防止超薄玻璃110的表面被刮伤或者能够防止超薄玻璃断裂的处理方法，该表面处理使得超薄玻璃能够用作例如液晶显示(LCD)面板之类的显示面板中的相互面对的上基底和下基底中的任意一个。如图1所示，该处理方法包括结合步骤S1、表面处理步骤S2以及分离步骤S3。
首先，如图2和图3所示，结合步骤S1通过将超薄玻璃110与承载玻璃120结合在一起而被执行。在结合步骤S1，能够用于液晶显示面板的玻璃基底的超薄玻璃110可以是从硅酸盐玻璃、石英玻璃、硼硅酸盐玻璃以及无碱玻璃中选择的玻璃但是不限于此，其厚度为0.3mm或更小。承载玻璃120可以与超薄玻璃110为相同类型的玻璃。由于承载玻璃120用于在超薄玻璃110进行表面处理时支撑超薄玻璃110，所以承载玻璃120的厚度优选大于超薄玻璃110的厚度。
在根据该示例性实施例的结合步骤S1，超薄玻璃110和承载玻璃120通过相变材料130结合在一起。根据该示例性实施例，相变材料130可以是导电材料。例如，相变材料130可以是添加有掺杂剂的氧化铟锡(ITO)。掺杂剂可以是从Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb组成的元素组中选择的一个或者从该元素组中选择的至少两个的组合，但是不限于此。例如，相变材料130可以是添加有Ga2O3的ITO。Ga2O3的含量的重量百分比在0.5％至7％的范围内，优选为2.9％。
由于即使相变材料130的厚度为几十纳米，相变材料130在低于其相变温度的温度下仍然保持非晶态，所以相变材料130常常容易附接于超薄玻璃110和承载玻璃120。相比之下，当相变材料130通过随后的表面处理步骤S2过程中的热处理而结晶时，相变材料130变得可容易脱离。
相变材料130的这些特性可在超薄玻璃110附接于承载玻璃120时提供较高的附着力，承载玻璃120旨在在表面处理步骤S2之前牢固地支撑超薄玻璃110，表面处理步骤S2是将在超薄玻璃110的表面上实施的随后的工序。因此，能够防止超薄玻璃110在表面处理步骤S2中从承载玻璃120脱离或者被损坏。也能够在表面处理步骤S2之后使超薄玻璃110从承载玻璃120容易地脱离。
根据该示例性实施例，相变材料130可在超薄玻璃110与承载玻璃120之间被形成为使得其厚度为100nm或者更小，并且优选地，在30nm至50nm的范围内。
如图2所示，根据该示例性实施例，在超薄玻璃110和承载玻璃120结合在一起之前，相变材料130可被应用于涂覆承载玻璃120的一个表面，即承载玻璃120的将被结合到超薄玻璃110的结合表面。根据该示例性实施例，相变材料130可通过例如溅射方法、沉积方法、化学汽相淀积(CVD)方法和溶胶-凝胶方法之类的涂覆方法形成在承载玻璃120的结合表面上。
此后，如图3所示，实施结合步骤S1，从而产生超薄玻璃110和承载玻璃120通过相变材料130附接在一起的多层结构。该多层结构在表面处理步骤S2的随后的工序完成之前作为临时结构存在。
之后，通过对超薄玻璃110进行表面处理而实施表面处理步骤S2。表面处理步骤S2旨在提高超薄玻璃110的光学特性，由于超薄玻璃110将被用于例如液晶显示面板的玻璃基底。表面处理步骤S2可以包括蚀刻工序和清洁工序。由于结合步骤S1能够使得超薄玻璃110通过相变材料130被牢固地支撑在承载玻璃120上，所以能够防止超薄玻璃110在表面处理过程中从承载玻璃120脱离，从而超薄玻璃110能够被可靠地进行表面处理。
表面处理步骤S2伴随有在等于或高于相变材料130的相变温度的温度的热处理。当表面处理在超薄玻璃110上实施时，热处理温度典型地为370℃。当相变材料130为掺杂Ga的ITO时，表面处理步骤S2引起相变材料130从非晶态结晶的相变，因为ITO的结晶温度在200℃至220℃的范围内。
表1
上述表1呈现取决于相变材料130的厚度的附着力测试的结果，可归因于对超薄玻璃110进行表面处理的过程中的热处理。其证明，相变材料130越薄，在热处理之前的附着力越好。然而，这种趋势在热处理之后被保持。也就是说，当相变材料130的厚度为10nm或20nm时，热处理之后的附着力被提高到3N或更大，从而实现了永久性的结合。这表明，在热处理之后，通过结晶的相变材料130结合在一起的超薄玻璃110和承载玻璃120不能彼此脱离。表1中的词语“被损坏”表明以下状态：由于相变材料130的附着力过大，所以超薄玻璃110和承载玻璃120不会彼此分离，相反，当分离力持续施加时，包括超薄玻璃110和承载玻璃120的结构被损坏。
相比之下，当相变材料130的厚度为30nm时，热处理之后的附着力经过测量为1.25N，其高于热处理之前的附着力，但是这表明超薄玻璃110与承载玻璃120彼此分离，而没有被损坏。
如图4所示，最初为非晶态的相变材料130的相变引起的结晶使得相变材料130的结合到超薄玻璃110的表面的粗糙度增加，即相变材料130的面向相变材料130的在涂覆过程中结合到承载玻璃120的一个表面的另一个表面的粗糙度增加。换句话说，相变材料130的结晶没有引起相变材料130的与承载玻璃120的最初涂覆有相变材料130的表面邻接的表面的表面状态的变化，从而较高的附着力被持续地保持。然而，该结晶增加相变材料130的与超薄玻璃110的附接于相变材料130的表面邻接的表面的粗糙度。相变材料130的邻接超薄玻璃110并且粗糙度被增加的更加粗糙的表面在随后的分离步骤S3中用作分离边界。
最后，如图5所示，通过将超薄玻璃110从承载玻璃120分离而实施分离步骤S3。在该分离步骤S3，在表面处理步骤S2中牢固地支撑超薄玻璃110的承载玻璃120与超薄玻璃110分离，从而光学特性通过表面处理得以提高的超薄玻璃110能够被应用于液晶显示面板的玻璃基底。
特别地，在分离步骤S3，超薄玻璃110从剩余结构分离，其中相变材料130的更加粗糙的表面用作分离边界表面，相变材料130的更加粗糙的表面为相变材料130的两个表面中邻接超薄玻璃110的表面，相变材料130在表面处理步骤S2中已经通过热处理结晶。相变材料130的更加粗糙的表面用作分离边界表面，由于相变材料130与玻璃的接触面积被相对减少。
这样，当超薄玻璃110基于相变材料130的特性容易地从承载玻璃120分离时，能够防止承载玻璃120在分离工序中被损坏。当承载玻璃120在超薄玻璃110被从承载玻璃120分离时未被损坏时，承载玻璃120能够被重新用于处理另一超薄玻璃，其带来成本的降低。
如上所述，根据该示例性实施例，超薄玻璃110和承载玻璃120通过相变材料130结合在一起，使得在对超薄玻璃110进行表面处理的过程中超薄玻璃110能够被可靠地处理，该表面处理使得超薄玻璃110能够用作用于显示面板的玻璃基底。
如图6所示，根据该示例性实施例，在超薄玻璃110和承载玻璃120被附接在一起之前，超薄玻璃110的将被附接到承载玻璃120的结合表面可以被涂覆相变材料130。相变材料130可以通过以与在前的示例性实施例中的方式相同的方式涂覆而被施加。
之后，如图7所示，实施结合步骤S1，从而产生超薄玻璃110和承载玻璃120通过相变材料130附接在一起的多层结构。
如图8所示，当表面处理步骤S2在超薄玻璃110的表面涂覆有相变材料130的状态下实施时，相变材料130通过表面处理步骤S2中的热处理而结晶。与在前的示例性实施例中的不同，这增加了相变材料130的邻接承载玻璃120的表面的粗糙度。粗糙度通过这种方式增加的相变材料130的表面在随后的分离步骤S3中用作分离边界表面。
如图9所示，承载玻璃120在分离步骤S3从剩余结构分离，其中相变材料130的更加粗糙的表面用作分离边界表面，相变材料130的更加粗糙的表面为邻接承载玻璃120的表面。
在这种情况下，如图所示，在承载玻璃120被分离之后，相变材料130仍然作为薄膜保留在超薄玻璃110的表面上。由于相变材料130为导电的，所以当具有相变材料130薄膜的超薄玻璃110作为用于液晶显示面板的玻璃基底应用时，超薄玻璃110可以具有抗静电功能。
已经参考附图呈现了本发明的特定示例性实施例的前面的描述。它们不旨在详尽或者将本发明限制到公开的精确形式，并且显然地，本领域普通技术人员根据上述教导能够进行许多更改和变化。
因此，其旨在本发明的范围不被限制于前面的具体实施例，而是由这里所附的权利要求书和其等同物限定。
Claims (14)
1.一种处理用于显示面板的超薄玻璃的方法，该方法包括：
通过相变材料将超薄玻璃与承载玻璃结合在一起，使得所述承载玻璃支撑所述超薄玻璃，所述相变材料的一个表面被结合到所述超薄玻璃，并且所述相变材料的另一表面被结合到所述承载玻璃；
通过对所述超薄玻璃进行表面处理使所述相变材料结晶；以及
将所述超薄玻璃从所述承载玻璃分离。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述相变材料具有导电性。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述相变材料包括添加有掺杂剂的氧化铟锡。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述掺杂剂包括从由Ga、Zn、Ce、Mg、Zr和Nb组成的元素组中选择的一个或者从该元素组中选择的至少两个的组合。
5.根据权利要求3所述的方法，其中添加到所述氧化铟锡的所述掺杂剂包括Ga2O3，所述Ga2O3的含量的重量百分比在0.5％至7％的范围内。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述Ga2O3的含量的重量百分比为2.9％。
7.根据权利要求1所述的方法，其中设置在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间的所述相变材料的厚度为100nm或更小。
8.根据权利要求7所述的方法，其中设置在所述超薄玻璃和所述承载玻璃之间的所述相变材料的厚度在30nm至50nm的范围内。
9.根据权利要求1所述的方法，其中将所述超薄玻璃与所述承载玻璃结合在一起包括用所述相变材料涂覆所述承载玻璃的结合表面。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，在所述分离步骤中，所述超薄玻璃从所述相变材料的已经结合到所述超薄玻璃的所述一个表面分离，所述相变材料的所述一个表面的粗糙度大于所述相变材料的结合到所述承载玻璃的所述另一表面的粗糙度。
11.根据权利要求1所述的方法，其中将所述超薄玻璃与所述承载玻璃结合在一起包括用所述相变材料涂覆所述超薄玻璃的结合表面。
12.根据权利要求11所述的方法，其中，在所述分离步骤中，所述承载玻璃从所述相变材料的已经结合到所述承载玻璃的所述另一表面分离，所述相变材料的所述另一表面的粗糙度大于所述相变材料的结合到所述超薄玻璃的所述一个表面的粗糙度。
13.根据权利要求1所述的方法，其中对所述超薄玻璃进行表面处理包括在等于或高于所述相变材料的相变温度的温度的热处理。
14.根据权利要求1所述的方法，其中所述超薄玻璃具有0.3mm或更小的厚度。
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