TWI567009B - Conveyor belt device - Google Patents

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TWI567009B
TWI567009B TW103136772A TW103136772A TWI567009B TW I567009 B TWI567009 B TW I567009B TW 103136772 A TW103136772 A TW 103136772A TW 103136772 A TW103136772 A TW 103136772A TW I567009 B TWI567009 B TW I567009B
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Description

輸送帶裝置
本發明係關於一種輸送帶裝置。
作為搬送被搬送物之搬送裝置，已知有輸送帶裝置。此外，半導體製造裝置、液晶製造裝置所使用之晶圓及玻璃基板等之被搬送物，有時被收容於已規格化之容器之一的FOUP(Front-Opening Unified Pod)；前開式晶圓輸送盒等內後進行搬送。於搬送此種被搬送物之搬送裝置中，為了抑制搬送途中被搬送物之破損等，要求減少搬送中之振動及晃動，於穩定之狀態下進行搬送。
例如，專利文獻1(日本專利特公平6-2527號公報)中揭示有一種為了如上述般能於穩定之狀態下搬送被搬送物而發明之輸送帶裝置。於專利文獻1中揭示有一種輸送帶裝置，其沿著搬送方向排列有複數台藉由被驅動裝置驅動旋轉之驅動帶輪而使皮帶朝一方向移行之輸送帶單元。並且，於該輸送帶裝置中，於輸送帶單元之間設置輔助輸送帶，並藉由暫時支撐被搬送物而將被搬送物對鄰接之搬送裝置進行交接。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特公平6-2527號公報
近年來，已導入一種輸送帶裝置，其係於搬送路徑上配置使輸送帶部於大致矩形之本體部上迴旋，用以改變被搬送物之行進方向之迴旋輸送帶。於此種輸送帶裝置中，要求穩定地將被搬送物對鄰接於迴旋輸送帶之部分進行交接。然而，若單純將上述習知之輔助輸送帶配置於迴旋輸送帶及與迴旋輸送帶鄰接之部分之間，因迴旋輸送帶之迴旋部分之迴旋區域的關係，無法將輔助輸送帶靠近於迴旋輸送帶而配置。因此，難以穩定地將被搬送物對鄰接於迴旋輸送帶之部分進行交接。
因此，本發明之目的在於提供一種可穩定地將被搬送物對鄰接於迴旋輸送帶之部分進行交接之輸送帶裝置。
本發明一態樣之輸送帶裝置，其具備有：第1輸送帶部，其具有第1支撐搬送部，該第1支撐搬送部係支撐被搬送物之底面，而搬送被搬送物；迴旋部，其支撐第1輸送帶部，並且使第1輸送帶部迴旋，而使被搬送物之行進方向產生變化；及第2輸送帶部，其具有一對第2支撐搬送部，該一對第2支撐搬送部係設置鄰接於第1輸送帶部，且在被搬送物之底面，支撐與搬送方向交叉之寬度方向上的兩端部，而進行搬送被搬送物。在第2輸送帶部中之一對第2支撐搬送部、及將驅動力傳遞至在第2輸送帶部中之一對第2支撐搬送部的驅動傳遞部，係設置在俯視時第1輸送帶部之迴旋半徑之外側。此外，使在第2輸送帶部中之被搬送物之搬送區域與第1輸送帶部之迴旋區域於俯視時相互地重疊之方式，配置第1輸送帶部及第2輸送帶部。
根據該輸送帶裝置，由於第2輸送帶部之一對第2支撐搬送部、與將驅動力傳遞至第2輸送帶部之一對第2支撐搬送部之驅動傳遞部，係設於以俯視時第1輸送帶部之迴旋區域之外側，因此第2輸送帶部不會阻礙第1輸送帶部之迴旋。此外，第2輸送帶部之第2支撐搬送部並非設為可支撐被搬送物之搬送區域之全面，而是設為僅可支撐搬送區域寬度方向之兩側部分。因此，可以一面避免以俯視時第1輸送帶部之迴旋區域與第2支撐搬送部重疊，一面使第1輸送帶部之迴旋區域重疊於第2輸送帶部之被搬送物之搬送區域之方式，配置第1輸送帶部及第2輸送帶部。藉此，於將被搬送物自第1輸送帶部朝鄰接之部分送出時，可使第2輸送帶部之第2支撐搬送部與第1輸送帶部之第1支撐搬送部接近。其結果，由於可經由不是迴旋輸送帶之第2輸送帶部對鄰接於作為迴旋輸送帶之第1輸送帶部之部分送出被搬送物，因此可穩定地交接被搬送物。
此外，於一實施形態中，第1輸送帶部亦可具有一對第1支撐搬送部，該一對第1支撐搬送部係在被搬送物之底面，支撐與搬送方向交叉之寬度方向上的兩端部，而進行搬送被搬送物。
此外，於一實施形態中，第1輸送帶部亦可相對於設置在第1輸送帶部之下方之本體部而進行迴旋，第2輸送帶部亦可設置在基部之上方，並且配置在於俯視時與本體部產生重疊，而該基部係設置鄰接於本體部。
根據該輸送帶裝置，由於可使基部及第2輸送帶部成為獨立於輸送帶裝置或第1輸送帶部之構件，因此作為輸送帶裝置其可容易地進行配置變更及維護。
此外，於一實施形態中，第2支撐搬送部亦可具有與被 搬送物之搬送面大致呈平行之被搬送物支撐面。
根據該輸送帶裝置，由於可確保第2支撐搬送部與被搬送物之接觸面積，因此可進行穩定之被搬送物之搬送。
根據本發明，可穩定地將被搬送物對鄰接於迴旋輸送帶之部分進行交接。
1‧‧‧搬送系統
5‧‧‧FOUP(被搬送物)
10‧‧‧階層間搬送裝置
20‧‧‧搬送輸送帶
21‧‧‧輸送帶部
30‧‧‧旋轉輸送帶
31‧‧‧本體部
33‧‧‧旋轉機構
39‧‧‧輸送帶部
50‧‧‧輸送帶裝置
51‧‧‧第1輸送帶部
53‧‧‧第1皮帶(第1支撐搬送部)
55‧‧‧滾輪
61‧‧‧迴旋部
63‧‧‧本體部
71‧‧‧第2輸送帶部
73‧‧‧第2皮帶(第2支撐搬送部)
73A‧‧‧支撐面(被搬送物支撐面)
75‧‧‧驅動滾輪
77‧‧‧從動滾輪
79‧‧‧搬送滾輪(第2支撐搬送部)
81‧‧‧驅動部
83‧‧‧驅動軸(驅動傳遞部)
85‧‧‧基部
91‧‧‧高架移行車
93‧‧‧移行軌道
A1‧‧‧迴旋區域
A2‧‧‧搬送區域
P1~P4‧‧‧移載部位
圖1為具備一實施形態之輸送帶裝置之搬送系統之構成圖。
圖2為表示圖1所包含第1輸送帶部之俯視圖。
圖3為沿著圖2所示第1輸送帶部之III-III線之剖視圖。
圖4為表示圖1所包含第2輸送帶部之俯視圖。
圖5為沿著圖4所示第2輸送帶部之V-V線之剖視圖。
以下，參照圖式對一實施形態進行說明。於圖式之說明中，對相同元件賦予相同之符號，並省略重複之說明。圖式之尺寸比例並不一定一致。
圖1為使用一實施形態之輸送帶裝置50之搬送系統1之構成圖。搬送系統1係將自階層間搬送裝置10搬送來之FOUP(Front-Opening Unified Pod)(被搬送物)5搬送至對高架移行車91交接之部位即移載部位P1~P4之任一者之系統。如圖1所示，於本實施形態之搬送系統1中，於4個部位設置有移載部位P1~P4。FOUP5例如為收容半導體製造裝置、液晶製造裝置所使用之晶圓及玻璃基板等之容器，為一種已規格化之容器。
階層間搬送裝置10係藉由未圖示之移載裝置，於相互不同之階層間進行搬送。高架移行車91係於移載部位P1~P4與例如未圖示之裝載埠之間搬送FOUP5。高架移行車91可為OHT(Overhead Hoist Transport；懸吊式搬運車)，其係於移載部位P1~P4與裝載埠之間，於懸吊FOUP5之狀態下把持FOUP5並進行搬送。高架移行車91係沿著設置於無塵室之天花板等較地板高之位置之移行軌道93移行。
以下，對使用一實施形態之輸送帶裝置50之搬送系統1進行說明。如圖1所示，搬送系統1具備有階層間搬送裝置10、搬送輸送帶20、旋轉輸送帶30及輸送帶裝置50。
搬送輸送帶20具有支撐FOUP5底部寬度方向之兩端部而進行搬送之一對輸送帶部21。FOUP5係藉由該輸送帶部21支撐底面而被搬送。本實施形態之搬送輸送帶20，例如藉由未圖示之控制裝置而分別獨立地進行搬送控制。搬送輸送帶20係配置於階層間搬送裝置10與旋轉輸送帶30之間、及旋轉輸送帶30與輸送帶裝置50之間。
旋轉輸送帶30係改變FOUP5之搬送方向之朝向的部分，如圖1所示，其具有支撐FOUP5底部寬度方向之兩端部而進行搬送之一對輸送帶部39、支撐一對輸送帶部39並且可旋轉地設置之旋轉機構33、及支撐旋轉機構33之本體部31。例如，旋轉輸送帶30係將自圖1所示之上方搬送來之FOUP5朝配置於圖1所示右側方向之搬送輸送帶20送出。
輸送帶裝置50係於搬送輸送帶20與移載部位P1~P4之間搬送FOUP5之裝置。如圖1所示，輸送帶裝置50主要具備有第1輸送帶部51、迴旋部61、及第2輸送帶部71。以下，參照圖2~圖4對輸送帶裝置50詳細地進行說明。
圖2為表示第1輸送帶部51之俯視圖。圖3為沿著圖2所示第1輸送帶部51之III-III線之剖視圖。圖4為表示第2輸送帶部71之俯視圖，且針對第1輸送帶部51，表示在與第2輸送帶部71之間交接FOUP5時之狀態。圖5為沿著圖4所示第2輸送帶部71之V-V線之剖視圖，且針對第1輸送帶部51，顯示在與第2輸送帶部71之間交接FOUP5時之狀態。
如圖2及圖3所示，第1輸送帶部51具有支撐FOUP5底部寬度方向之兩端部而進行搬送之一對第1皮帶(第1支撐搬送部)53。一對第1皮帶53係環狀之循環皮帶，第1皮帶53各自繞掛於2個滾輪55、55上。各個第1皮帶53係藉由未圖示之驅動部對至少一側之滾輪55、55進行驅動而朝一方向旋轉，而搬送所支撐之FOUP5。
迴旋部61係支撐第1輸送帶部51，並且使第1輸送帶部51迴旋而改變FOUP5之行進方向。迴旋部61係藉由未圖示之驅動部而旋轉，從而使所支撐之第1輸送帶部51迴旋。迴旋部61係支撐於本體部63之上面。換言之，支撐於迴旋部61之第1輸送帶部51係相對於本體部63可迴旋地設置。
如圖5所示，第2輸送帶部71係設在與第1輸送帶部51之本體部63鄰接而設之基部85之上方。此外，如圖4所示，第2輸送帶部71係設為以俯視時與本體部63重疊。如圖4及圖5所示，第2輸送帶部71具有於FOUP5之底面支撐與搬送方向交叉之寬度方向的兩端部而搬送FOUP5之一對第2皮帶(第2支撐搬送部)73、驅動滾輪75、從動滾輪77、及搬送滾輪(第2支撐搬送部)79。
如圖4及圖5所示，一對第2皮帶73係環狀之循環皮帶，第2皮帶73各自繞掛於2個滾輪(驅動滾輪75及從動滾輪77)上。 驅動滾輪75係經由驅動軸(驅動傳遞部)83而藉由驅動部81所驅動。第2皮帶73具有大致平行於FOUP5之搬送面之支撐面(被搬送物支撐面)73A。搬送滾輪79係無驅動力傳遞之自由滾輪，且形成FOUP5之搬送面之一部分。
於本實施形態中，如圖4所示，第2輸送帶部71之一對第2皮帶73與將驅動力傳遞至第2皮帶73之驅動軸83，係設置於以俯視時第1輸送帶部51之迴旋區域A1(圖4所示之斜剖面線)之外側，換言之，係設置於與迴旋區域A1不重疊之位置。
此外，於本實施形態中，如圖4所示，以俯視時使第2輸送帶部71之FOUP5之搬送區域A2(圖4所示之著色部)與第1輸送帶部51之迴旋區域A1(圖4所示之斜剖面線)相互重疊之方式，配置第1輸送帶部51及第2輸送帶部71。
其次，對將FOUP5自階層間搬送裝置10搬送至移載部位P2之情形時之搬送系統1之動作進行說明。於該情形時之輸送帶裝置50之FOUP5係依照以下之路徑。亦即，如圖1所示，FOUP5係依照第1輸送帶部51A→第2輸送帶部71A→第1輸送帶部51B→第2輸送帶部71B→第1輸送帶部51C之順序進行搬送。其中，將階層間搬送裝置10側作為上游側，並將移載部位P2作為下游側進行說明。
首先，自階層間搬送裝置10交接到FOUP5之搬送輸送帶20，係對輸送帶部21施加驅動，而朝下游方向搬送FOUP5。若FOUP5被搬送至鄰接於上游側之搬送輸送帶20，下游側之搬送輸送帶20就會對輸送帶部21施加驅動。下游側之旋轉輸送帶30係於使輸送帶部39面向FOUP5被搬送來之側的狀態下，等待FOUP5被搬送而來。
若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之搬送輸送帶 20，旋轉輸送帶30就會對輸送帶部39施加驅動。自搬送輸送帶20交接到FOUP5之旋轉輸送帶30，係於將FOUP5搬送至輸送帶部39之中央部後，暫時停止對輸送帶部39提供驅動。接著，旋轉輸送帶30係對旋轉機構33施加驅動，使輸送帶部39繞逆時針方向旋轉，而成為使輸送帶部39面向鄰接於下游側之搬送輸送帶20之狀態。然後再次對輸送帶部39施加驅動，而朝搬送輸送帶20送出FOUP5。
若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之旋轉輸送帶30，搬送輸送帶20就會對輸送帶部21施加驅動。自旋轉輸送帶30交接到FOUP5之搬送輸送帶20，係將FOUP5朝鄰接於下游側之輸送帶裝置50搬送。
輸送帶裝置50之第1輸送帶部51A，係對迴旋部61A施加驅動，而成為使第1皮帶53面向FOUP5被搬送來之側的狀態，等待FOUP5被搬送而來。若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之搬送輸送帶20，第1輸送帶部51A就會對第1皮帶53施加驅動。自搬送輸送帶20交接到FOUP5之第1輸送帶部51A，係將FOUP5搬送至與下游側鄰接而配置之第2輸送帶部71A。
若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之第1輸送帶部51A，第2輸送帶部71A就會對第2皮帶73施加驅動。自第1輸送帶部51A交接到FOUP5之第2輸送帶部71，係將FOUP5搬送至與下游側鄰接而配置之第1輸送帶部51B。下游側之第1輸送帶部51B係對迴旋部61B施加驅動，而成為使第1皮帶53面向FOUP5被搬送來之側的狀態，等待FOUP5被搬送而來。
若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之第2輸送帶部71A，第1輸送帶部51B就會對第1皮帶53施加驅動。自第2輸送帶 部71A交接到FOUP5之第1輸送帶部51B，係於將FOUP5搬送至第1皮帶53之中央部後，暫時停止對第1皮帶53提供驅動。接著，第1輸送帶部51B係對迴旋部61B施加驅動，使第1皮帶53繞逆時針方向旋轉，而成為使第1皮帶53面向鄰接於下游側之第2輸送帶部71B之狀態。然後再次對第1皮帶53施加驅動，而朝第2輸送帶部71B送出FOUP5。
其中，如圖4所示，由於鄰接於下游側之第2輸送帶部71B之第2皮帶73、搬送滾輪79及驅動軸83，係配置於第1輸送帶部51之搬送區域A2之外側，因此不會阻礙第1皮帶53逆時針旋轉時之旋轉。又，於第1輸送帶部51B中，在成為使第1皮帶53面向鄰接於下游側之第2輸送帶部71B之狀態時，如圖4所示，可使第1皮帶53靠近第2輸送帶部71B之第2皮帶73及搬送滾輪79。因此，可穩定地朝第2輸送帶部71B送出FOUP5。
若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之第1輸送帶部51B，第2輸送帶部71B就會對第2皮帶73施加驅動。自第1輸送帶部51B交接到FOUP5之第2輸送帶部71B，係將FOUP5搬送至鄰接於下游側之第1輸送帶部51C。下游側之第1輸送帶部51C係對迴旋部61C施加驅動，而成為使第1皮帶53面向FOUP5被搬送而來之側，等待FOUP5被搬送而來。
若FOUP5被搬送而來到鄰接於上游側之第2輸送帶部71B，第1輸送帶部51C就會對第1皮帶53施加驅動。自第2輸送帶部71B交接到FOUP5之第1輸送帶部51C，係於將FOUP5搬送至第1皮帶53之中央部、即移載部位P2後，暫時停止朝第1皮帶53提供驅動。停止於移載部位P2之FOUP5係藉由高架移行車91把持而被朝 既定之裝載埠搬送。
根據以上所說明上述實施形態之輸送帶裝置50，如圖4所示，由於第2輸送帶部71之一對第2皮帶73及搬送滾輪79、與用以將驅動力傳遞至第2皮帶73之驅動軸83，係設於以俯視時第1輸送帶部51之迴旋區域A1(圖4所示之斜剖面線)之外側，因此第2輸送帶部71不會阻礙第1輸送帶部51之迴旋。此外，第2輸送帶部71之第2皮帶73並非設為可支撐FOUP5之搬送區域A2(圖4所示之著色部)之全面，而是設為僅可支撐搬送區域A2寬度方向上之兩側部分。因此，可以一面避免以俯視時第1輸送帶部51之迴旋區域A1與第2皮帶73及搬送滾輪79重疊，一面使第1輸送帶部51之迴旋區域A1重疊於第2輸送帶部71之FOUP5之搬送區域A2之方式，配置第1輸送帶部51及第2輸送帶部71。藉此，於將FOUP5自第1輸送帶部51對鄰接之部分送出時，可使第2輸送帶部71之第2皮帶73及搬送滾輪79與第1輸送帶部51之第1皮帶53接近。其結果，由於可經由不是迴旋輸送帶之第2輸送帶部71而對鄰接於作為迴旋輸送帶之第1輸送帶部51之部分送出FOUP5，因此可穩定地交接FOUP5。
此外，如圖5所示，上述實施形態之第1輸送帶部51係相對於設在第1輸送帶部51之下方之本體部63進行迴旋，第2輸送帶部71係設置於與本體部63相鄰而設置之基部85之上方，並且以俯視時與本體部63重疊之方式配置。因此，由於可使基部及第2輸送帶部71成為獨立於輸送帶裝置50或第1輸送帶部51之構件，因此作為輸送帶裝置而可容易地進行配置變更及維護。
此外，由於上述實施形態之第2輸送帶部71具有與FOUP5之搬送面大致平行之支撐面73A，因此可確保第2輸送帶部71 與FOUP5之接觸面積，從而可進行穩定之FOUP5之搬送。
以上，雖然已對本發明之一實施形態進行說明，惟本發明並不限定於上述實施形態，可於未超出發明主旨之範疇內進行各種變更。
於上述實施形態之輸送帶裝置50中，雖然已以第2輸送帶部71之第2支撐部係由第2皮帶73及搬送滾輪79構成為例進行說明，惟本發明並不限定於此。例如，也可構成為於圖4所示之俯視時，藉由第2皮帶73搬送由搬送滾輪79搬送FOUP5之部分。
於上述實施形態之輸送帶裝置50中，雖然已以設置一對第1皮帶53作為第1輸送帶部51為例進行說明，惟本發明並不限定於此，例如，也可設置可支撐FOUP(被搬送物)5之底面整體之一條皮帶。
於上述實施形態之輸送帶裝置50中，雖然已以於圖1所示之上下方向配置3個第1輸送帶部51及迴旋部61、與2個第2輸送帶部71，並於左右方向配置2列該等之組合，再於該等之組合間配置第2輸送帶部71為例進行說明，惟本發明並不限定於此。例如，也可為輸送帶裝置50具備至少1個第1輸送帶部51、使該第1輸送帶部51迴旋之迴旋部61、及與第1輸送帶部鄰接而配置之至少1個第2輸送帶部71之構成。
51‧‧‧第1輸送帶部
53‧‧‧第1皮帶(第1支撐搬送部)
55‧‧‧滾輪
63‧‧‧本體部
71‧‧‧第2輸送帶部
73‧‧‧第2皮帶(第2支撐搬送部)
73A‧‧‧支撐面(被搬送物支撐面)
75‧‧‧驅動滾輪
77‧‧‧從動滾輪
79‧‧‧搬送滾輪(第2支撐搬送部)
83‧‧‧驅動軸(驅動傳遞部)
85‧‧‧基部

Claims (4)

  1. 一種輸送帶裝置，其具備有：第1輸送帶部，其具有第1支撐搬送部，該第1支撐搬送部係支撐被搬送物之底面，而搬送上述被搬送物；迴旋部，其支撐上述第1輸送帶部，並且使上述第1輸送帶部迴旋，而使上述被搬送物之行進方向產生變化；及第2輸送帶部，其具有一對第2支撐搬送部，該一對第2支撐搬送部係設置鄰接於上述第1輸送帶部，且在上述被搬送物之底面，支撐與搬送方向交叉之寬度方向上的兩端部，而進行搬送上述被搬送物，在上述第2輸送帶部中之上述一對第2支撐搬送部、及將驅動力傳遞至在上述第2輸送帶部中之上述一對第2支撐搬送部的驅動傳遞部，係設置在以俯視時上述第1輸送帶部之迴旋區域之外側，且以使在上述第2輸送帶部中之上述被搬送物之搬送區域與上述第1輸送帶部之迴旋區域於俯視時相互重疊之方式，配置上述第1輸送帶部及上述第2輸送帶部，鄰接於上述第2輸送帶之上游側及下游側，設有一對之上述第1輸送帶部，在上述一對第1輸送帶部彼此間的上述寬度方向上之上述一對第2支撐搬送部彼此之間，未設有支撐上述被搬送物之構成。
  2. 如申請專利範圍第1項之輸送帶裝置，其中，上述第1輸送帶部係具有一對上述第1支撐搬送部，該一對上述第1支撐搬送部係在上述被搬送物之底面，支撐與搬送方向交叉之寬度方向上的兩端部，而進行搬送上述被搬送物。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之輸送帶裝置，其中，上述第1輸送帶部係相對於設在上述第1輸送帶部之下方之本體部以可迴旋之方式設置，上述第2輸送帶部係設置在設於鄰接上述本體部的基部之上方，並且在俯視時與上述本體部產生重疊。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之輸送帶裝置，其中，上述第2支撐搬送部係具有與上述被搬送物之搬送面大致平行之被搬送物支撐面。
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