KR101869813B1 - 컨베이어 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 선회 컨베이어에 인접하는 부분에 안정적으로 피반송물을 전달할 수 있는 컨베이어 장치를 제공한다. 컨베이어 장치(50)는, 피반송물(5)의 바닥면을 지지하여 피반송물을 반송하는 제 1 지지 반송부(53)를 갖는 제 1 컨베이어부(51)와, 제 1 컨베이어부를 선회시켜 피반송물의 진행 방향을 변화시키는 선회부(61)와, 제 1 컨베이어부에 인접하여 설치되는 동시에, 피반송물의 바닥면에 있어서의 양단부를 지지하여 피반송물을 반송하는 한 쌍의 제 2 지지 반송부(73, 79)를 갖는 제 2 컨베이어부(71)를 구비한다. 한 쌍의 제 2 지지 반송부와, 한 쌍의 제 2 지지 반송부에 구동력을 전달하는 구동 전달부(83)가, 평면 시점으로 볼 때 제 1 컨베이어부의 선회 영역(A1)의 외측에 설치되고, 제 2 컨베이어부에 있어서의 피반송물의 반송 영역(A2)과 제 1 컨베이어부의 선회 영역이 평면 시점으로 볼 때 서로 겹치도록, 제 1 컨베이어부 및 제 2 컨베이어부가 배치된다.

Description

컨베이어 장치{CONVEYOR DEVICE}
[0001] 본 발명은, 컨베이어 장치에 관한 것이다.
[0002] 피(被)반송물을 반송하는 반송 장치로서, 컨베이어 장치가 알려져 있다. 또, 반도체 제조장치, 액정 제조장치에서 이용되는 웨이퍼 및 유리 기판 등의 피반송물은, 규격화된 용기의 하나인 FOUP(Front-Opening Unified Pod) 등에 수용되어 반송되는 경우가 있다. 이러한 피반송물을 반송하는 반송 장치에서는, 반송중인 피반송물의 파손 등을 억제하기 위하여, 반송중의 진동이나 덜거덕거림 등을 적게 하여, 안정된 상태로 반송할 것이 요구되고 있다.
[0003] 이와 같이 피반송물을 안정된 상태로 반송하기 위한 연구가 이루어진 컨베이어 장치가, 예컨대, 특허문헌 1(일본 특허공고 공보 H06-2527호)에 개시되어 있다. 특허문헌 1에는, 구동장치에 의해 회전되는 구동 풀리에 의해 벨트가 한 방향으로 주행하는 유닛 컨베이어가 반송 방향을 따라 복수 대(台) 배열되어 있는 컨베이어 장치가 개시되어 있다. 그리고, 상기 컨베이어 장치에서는, 유닛 컨베이어 사이에 보조 컨베이어를 설치하여, 피반송물을 일시적으로 지지함으로써 인접하는 반송 장치에 전달하고 있다.
[0004] 일본 특허공고 공보 H06-2527호
[0005] 최근, 대략 직사각형인 본체부 위를 컨베이어부가 선회하여, 피반송물의 진행 방향을 바꾸기 위한 선회 컨베이어가 반송 경로 상에 배치된 컨베이어 장치가 도입되고 있다. 이러한 컨베이어 장치에 있어서, 선회 컨베이어에 인접하는 부분에 안정적으로 피반송물을 전달할 것이 요구되고 있다. 그러나, 상기 종래의 보조 컨베이어를, 단순히, 선회 컨베이어와 선회 컨베이어에 인접하는 부분 간의 사이에 배치하였다 하더라도, 선회 컨베이어의 선회 부분에 있어서의 선회 영역의 관계로부터, 보조 컨베이어를 선회 컨베이어에 근접시켜 배치할 수가 없다. 이 때문에, 선회 컨베이어에 인접하는 부분에 안정적으로 피반송물을 전달하기가 곤란해진다.
[0006] 이에, 본 발명의 목적은, 선회 컨베이어에 인접하는 부분에 안정적으로 피반송물을 전달할 수 있는 컨베이어 장치를 제공하는 데에 있다.
[0007] 본 발명의 일 측면에 관한 컨베이어 장치는, 피반송물의 바닥면을 지지하여 피반송물을 반송하는 제 1 지지 반송부를 갖는 제 1 컨베이어부와, 제 1 컨베이어부를 지지하는 동시에 제 1 컨베이어부를 선회시켜 피반송물의 진행 방향을 변화시키는 선회부와, 제 1 컨베이어부에 인접하여 설치되는 동시에, 피반송물의 바닥면에 있어서 반송 방향과 교차하는 폭 방향에 있어서의 양단부를 지지하여 피반송물을 반송하는 한 쌍의 제 2 지지 반송부를 갖는 제 2 컨베이어부를 구비하고 있다. 제 2 컨베이어부에 있어서의 한 쌍의 제 2 지지 반송부와, 제 2 컨베이어부에 있어서의 한 쌍의 제 2 지지 반송부에 구동력을 전달하는 구동 전달부가, 평면 시점으로 볼 때(平面視) 제 1 컨베이어부의 선회 반경의 외측에 설치되어 있다. 또, 제 2 컨베이어부에 있어서의 피반송물의 반송 영역과 제 1 컨베이어부의 선회 영역이 평면 시점으로 볼 때 서로 겹치도록, 제 1 컨베이어부 및 제 2 컨베이어부가 배치되어 있다.
[0008] 상기 컨베이어 장치에 의하면, 제 2 컨베이어부에 있어서의 한 쌍의 제 2 지지 반송부와, 제 2 컨베이어부에 있어서의 한 쌍의 제 2 지지 반송부에 구동력을 전달하는 구동 전달부가, 평면 시점으로 볼 때 제 1 컨베이어부의 선회 영역의 외측에 설치되어 있기 때문에, 제 1 컨베이어부의 선회를 제 2 컨베이어부가 저해하는 일은 없다. 또, 제 2 컨베이어부에 있어서의 제 2 지지 반송부는, 피반송물의 반송 영역에 있어서의 전면(全面)을 지지할 수 있도록 설치되어 있는 것이 아니라, 반송 영역의 폭 방향에 있어서의 양측 부분만을 지지할 수 있도록 설치되어 있다. 이 때문에, 평면 시점으로 볼 때 제 2 지지 반송부에 제 1 컨베이어부의 선회 영역이 겹치는 것을 회피하면서, 제 2 컨베이어부에 있어서의 피반송물의 반송 영역에 제 1 컨베이어부의 선회 영역을 겹치도록, 제 1 컨베이어부와 제 2 컨베이어부를 배치할 수가 있다. 이로써, 제 1 컨베이어부로부터 인접하는 부분으로 피반송물을 송출할 때에, 제 2 컨베이어부의 제 2 지지 반송부와 제 1 컨베이어부의 제 1 지지 반송부를 근접시킬 수가 있다. 그 결과, 선회 컨베이어로서의 제 1 컨베이어부에 인접하는 부분으로, 선회 컨베이어가 아닌 제 2 컨베이어부를 통해 피반송물을 송출할 수 있으므로, 안정적으로 피반송물을 전달할 수가 있다.
[0009] 또, 일 실시형태에 있어서, 제 1 컨베이어부는, 피반송물의 바닥면(底面)에 있어서 반송 방향과 교차하는 폭 방향에 있어서의 양단부를 지지하여 피반송물을 반송하는 한 쌍의 제 1 지지 반송부를 가지고 있어도 무방하다.
[0010] 또, 일 실시형태에 있어서, 제 1 컨베이어부는, 제 1 컨베이어부의 하방에 설치된 본체부에 대해 선회하고, 제 2 컨베이어부는, 본체부에 인접하여 설치되는 베이스부(基部)의 상방에 설치되는 동시에, 평면 시점으로 볼 때 본체부와 겹치도록 배치되어 있어도 무방하다.
[0011] 상기 컨베이어 장치에 의하면, 베이스부 및 제 2 컨베이어부를, 컨베이어 장치 또는 제 1 컨베이어부로부터 독립된 부재로 할 수 있기 때문에, 컨베이어 장치로서의 레이아웃(layout) 변경이나 유지관리(maintenance)를 용이하게 행할 수가 있다.
[0012] 또, 일 실시형태에 있어서, 제 2 지지 반송부는, 피반송물의 반송면에 대략 평행한 피반송물 지지면을 가지고 있어도 무방하다.
[0013] 상기 컨베이어 장치에 의하면, 제 2 지지 반송부와 피반송물간의 접촉 면적을 확보할 수 있기 때문에, 안정된 피반송물의 반송이 가능해진다.
[0014] 본 발명에 의하면, 선회 컨베이어에 인접하는 부분에 안정적으로 피반송물을 전달할 수가 있다.
[0015] 도 1은, 일 실시형태에 관한 컨베이어 장치를 구비하는 반송 시스템의 구성도이다.
도 2는, 도 1에 포함되는 제 1 컨베이어부를 나타내는 평면도이다.
도 3은, 도 2에 나타내는 제 1 컨베이어부의 III－III 선에 있어서의 단면도이다.
도 4는, 도 1에 포함되는 제 2 컨베이어부를 나타내는 평면도이다.
도 5는, 도 4가 나타내는 제 2 컨베이어부의 V－V 선에 있어서의 단면도이다.
[0016] 이하, 도면을 참조하여 일 실시형태에 대해 설명한다. 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다. 도면의 치수 비율은, 반드시 일치하고 있는 것은 아니다.
[0017] 도 1은, 일 실시형태에 관한 컨베이어 장치(50)가 이용되는 반송 시스템(1)의 구성도이다. 반송 시스템(1)은, 층간(階間, between floors) 반송 장치(10)로부터 반송되어 오는 FOUP(Front-Opening Unified Pod, 피반송물; 5)를, 천정 주행차(91)로의 전달 개소(箇所)인 이재(移載) 장소(P1~P4) 중의 어느 곳으로까지 반송하는 시스템이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 반송 시스템(1)에서는, 4개소에 이재 장소(P1~P4)가 설치되어 있다. FOUP(5)는, 예컨대, 반도체 제조장치, 액정 제조장치에서 이용되는 웨이퍼 및 유리 기판 등을 수용하는 용기로서, 규격화된 용기의 하나이다.
[0018] 층간 반송 장치(10)는, 서로 다른 층간을, 도시되지 않은 이재 장치에 의해 반송한다. 천정 주행차(91)는, 이재 장소(P1~P4)와, 예컨대 도시되지 않은 로드 포트(load port)와의 사이에서, FOUP(5)를 반송한다. 천정 주행차(91)는, 이재 장소(P1~P4)와 로드 포트의 사이를, FOUP(5)를 매단 상태로 파지(把持)하여 반송하는 OHT(Overhead Hoist Transport)로 할 수 있다. 천정 주행차(91)는, 클린 룸(clean room)의 천정 등, 바닥면보다 높은 위치에 설치되는 주행 레일(93)을 따라 주행한다.
[0019] 이하, 일 실시형태에 관한 컨베이어 장치(50)가 이용되는 반송 시스템(1)에 대해 설명한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 반송 시스템(1)은, 층간 반송 장치(10)와, 반송 컨베이어(20)와, 회전 컨베이어(30)와, 컨베이어 장치(50)를 구비하고 있다.
[0020] 반송 컨베이어(20)는, FOUP(5)의 바닥부에 있어서의 폭 방향의 양단부를 지지하여 반송하는 한 쌍의 컨베이어부(21)를 가지고 있다. FOUP(5)는, 상기 컨베이어부(21)에 의해 바닥면이 지지되어 반송된다. 본 실시형태의 반송 컨베이어(20)는, 예컨대, 도시되지 않은 제어장치에 의해 각각 독립된 반송 제어가 이루어진다. 반송 컨베이어(20)는, 층간 반송 장치(10)와 회전 컨베이어(30)의 사이, 및, 회전 컨베이어(30)와 컨베이어 장치(50)의 사이에 배치되어 있다.
[0021] 회전 컨베이어(30)는, FOUP(5)의 반송 방향의 방향(orientation)을 바꾸는 부분이며, 도 1에 나타내는 바와 같이, FOUP(5)의 바닥부에 있어서의 폭 방향의 양단부를 지지하여 반송하는 한 쌍의 컨베이어부(39)와, 한 쌍의 컨베이어부(39)를 지지하는 동시에 회전 가능하게 설치된 회전 기구(33)와, 회전 기구(33)를 지지하는 본체부(31)를 가지고 있다. 예컨대, 회전 컨베이어(30)는, 도 1에 나타내는 상방향으로부터 반송되어 온 FOUP(5)를, 도 1에 나타내는 우(右)방향으로 배치된 반송 컨베이어(20)를 향해 송출한다.
[0022] 컨베이어 장치(50)는, 반송 컨베이어(20)와 이재 장소(P1~P4)의 사이에서 FOUP(5)를 반송하는 장치이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 컨베이어 장치(50)는, 제 1 컨베이어부(51)와, 선회부(61)와, 제 2 컨베이어부(71)를 주로 구비하고 있다. 이하, 도 2~도 4를 참조하면서, 컨베이어 장치(50)에 대해 상세히 기술한다.
[0023] 도 2는, 제 1 컨베이어부(51)를 나타내는 평면도이다. 도 3은, 도 2에 나타내는 제 1 컨베이어부(51)에 있어서의 III－III 선에 있어서의 단면도이다. 도 4는, 제 2 컨베이어부(71)를 나타내는 평면도이며, 제 1 컨베이어부(51)에 대해서는, 제 2 컨베이어부(71)와의 사이에서 FOUP(5)를 받아 건넬 때의 상태를 나타내고 있다. 도 5는, 도 4에 나타내는 제 2 컨베이어부(71)의 V－V 선에 있어서의 단면도이며, 제 1 컨베이어부(51)에 대해서는, 제 2 컨베이어부(71)와의 사이에서 FOUP(5)를 받아 건넬 때의 상태를 나타내고 있다.
[0024] 제 1 컨베이어부(51)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, FOUP(5)의 바닥부에 있어서의 폭 방향의 양단부를 지지하여 반송하는 한 쌍의 제 1 벨트(제 1 지지 반송부; 53)를 가지고 있다. 한 쌍의 제 1 벨트(53)는, 링형상의 무단(無端) 벨트이며, 제 1 벨트(53)의 각각이 2개의 롤러(55, 55)에 감겨져 있다. 각각의 제 1 벨트(53)는, 적어도 일방(一方)의 롤러(55, 55)가 도시되지 않은 구동부에 의해 구동됨에 따라 한 방향으로 회전하여, 지지하는 FOUP(5)를 반송한다.
[0025] 선회부(61)는, 제 1 컨베이어부(51)를 지지하는 동시에, 제 1 컨베이어부(51)를 선회시켜 FOUP(5)의 진행 방향을 변화시킨다. 선회부(61)는, 도시되지 않은 구동부에 의해 회전되어, 지지하는 제 1 컨베이어부(51)를 선회시킨다. 선회부(61)는, 본체부(63)의 상면에 지지되어 있다. 바꾸어 말하면, 선회부(61)에 지지되는 제 1 컨베이어부(51)는, 본체부(63)에 대해 선회 가능하게 설치되어 있다.
[0026] 제 2 컨베이어부(71)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 1 컨베이어부(51)의 본체부(63)에 인접하여 설치되는 베이스부(85)의 상방에 설치된다. 또, 제 2 컨베이어부(71)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 평면 시점으로 볼 때, 본체부(63)와 겹치도록 설치되어 있다. 제 2 컨베이어부(71)는, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, FOUP(5)의 바닥면에 있어서 반송 방향과 교차하는 폭 방향에 있어서의 양단부를 지지하여 FOUP(5)를 반송하는 한 쌍의 제 2 벨트(제 2 지지 반송부; 73)와, 구동 롤러(75)와, 종동 롤러(77)와, 반송 롤러(제 2 지지 반송부; 79)를 가지고 있다.
[0027] 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 제 2 벨트(73)는, 링형상의 무단 벨트이며, 제 2 벨트(73)의 각각이 2개의 롤러(구동 롤러(75) 및 종동 롤러(77))에 감겨져 있다. 구동 롤러(75)는, 구동축(구동 전달부; 83)을 통해 구동부(81)에 의해 구동된다. 제 2 벨트(73)는, FOUP(5)의 반송면에 대략 평행한 지지면(피반송물 지지면; 73A)을 가지고 있다. 반송 롤러(79)는, 구동력이 전달되지 않는 프리 롤러(free roller)이며, FOUP(5)의 반송면의 일부를 형성한다.
[0028] 본 실시형태에서는, 제 2 컨베이어부(71)에 있어서의 한 쌍의 제 2 벨트(73)와, 제 2 벨트(73)에 구동력을 전달하는 구동축(83)이, 도 4에 나타내는 바와 같이, 평면 시점으로 볼 때, 제 1 컨베이어부(51)의 선회 영역(A1, 도 4에 나타내는 사선(斜線)으로 빗금 친(hatching) 부분)의 외측, 바꾸어 말하면, 선회 영역(A1)과 겹치지 않는 위치에 설치되어 있다.
[0029] 또, 본 실시형태에서는, 제 2 컨베이어부(71)에 있어서의 FOUP(5)의 반송 영역(A2,도 4에 나타내는 착색부)과 제 1 컨베이어부(51)의 선회 영역(A1, 도 4에 나타내는 사선으로 빗금 친 부분)이, 도 4에 나타내는 바와 같이, 평면 시점으로 볼 때, 서로 겹치도록, 제 1 컨베이어부(51) 및 제 2 컨베이어부(71)가 배치되어 있다.
[0030] 다음으로, FOUP(5)가 층간 반송 장치(10)로부터 이재 장소(P2)까지 반송되는 경우의, 반송 시스템(1)의 동작을 설명한다. 이 경우의 컨베이어 장치(50)에 있어서의 FOUP(5)는, 이하의 경로를 밟는다. 즉, FOUP(5)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 컨베이어부(51A)→제 2 컨베이어부(71A)→제 1 컨베이어부(51B)→제 2 컨베이어부(71B)→제 1 컨베이어부(51C)의 순서로 반송된다. 여기에서는, 층간 반송 장치(10)측을 상류측, 이재 장소(P2)측을 하류측으로 하여 설명한다.
[0031] 우선, 층간 반송 장치(10)로부터 FOUP(5)를 전달받은 반송 컨베이어(20)는, 컨베이어부(21)에 구동을 부여하여, 하류 방향으로 FOUP(5)를 반송한다. 하류측의 반송 컨베이어(20)는, 상류 측에 인접하는 반송 컨베이어(20)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면 컨베이어부(21)에 구동을 부여한다. 하류측의 회전 컨베이어(30)는, FOUP(5)가 반송되어 오는 쪽으로 컨베이어부(39)를 향하게 한 상태에서, FOUP(5)가 반송되어 오는 것을 대기한다.
[0032] 상류 측에 인접하는 반송 컨베이어(20)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 회전 컨베이어(30)는 컨베이어부(39)에 구동을 부여한다. 반송 컨베이어(20)로부터 FOUP(5)를 전달받은 회전 컨베이어(30)는, FOUP(5)를 컨베이어부(39)의 중앙부까지 반송한 후, 컨베이어부(39)에 대한 구동의 제공을 일시 정지한다. 다음으로, 회전 컨베이어(30)는, 회전 기구(33)에 구동을 부여하여, 컨베이어부(39)를 반(反)시계방향으로 회전시켜, 하류 측에 인접하는 반송 컨베이어(20)에 컨베이어부(39)를 향하게 한 상태로 한다. 그리고, 다시 컨베이어부(39)에 구동을 부여하여, 반송 컨베이어(20)를 향해 FOUP(5)를 송출한다.
[0033] 상류 측에 인접하는 회전 컨베이어(30)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 반송 컨베이어(20)는 컨베이어부(21)에 구동을 부여한다. 회전 컨베이어(30)로부터 FOUP(5)가 전달된 반송 컨베이어(20)는, 하류 측에 인접하는 컨베이어 장치(50)를 향해 FOUP(5)를 반송한다.
[0034] 컨베이어 장치(50)의 제 1 컨베이어부(51A)는, 선회부(61A)에 구동을 부여하여, FOUP(5)가 반송되어 오는 쪽으로 제 1 벨트(53)를 향하게 한 상태로 하고, FOUP(5)가 반송되어 오는 것을 대기한다. 상류 측에 인접하는 반송 컨베이어(20)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 제 1 컨베이어부(51A)는, 제 1 벨트(53)에 구동을 부여한다. 반송 컨베이어(20)로부터 FOUP(5)를 전달받은 제 1 컨베이어부(51A)는, 하류 측에 인접하여 배치된 제 2 컨베이어부(71A)에까지 FOUP(5)를 반송한다.
[0035] 제 2 컨베이어부(71A)는, 상류 측에 인접하는 제 1 컨베이어부(51A)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 제 2 벨트(73)에 구동을 부여한다. 제 1 컨베이어부(51A)로부터 FOUP(5)를 전달받은 제 2 컨베이어부(71)는, 하류 측에 인접하여 배치된 제 1 컨베이어부(51B)에까지 FOUP(5)를 반송한다. 하류측의 제 1 컨베이어부(51B)는, 선회부(61B)에 구동을 부여하여, FOUP(5)가 반송되어 오는 쪽으로 제 1 벨트(53)를 향하게 한 상태로 하고, FOUP(5)가 반송되어 오는 것을 대기한다.
[0036] 제 1 컨베이어부(51B)는, 상류 측에 인접하는 제 2 컨베이어부(71A)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 제 1 벨트(53)에 구동을 부여한다. 제 2 컨베이어부(71A)로부터 FOUP(5)를 전달받은 제 1 컨베이어부(51B)는, FOUP(5)를 제 1 벨트(53)의 중앙부까지 반송한 후, 제 1 벨트(53)에 대한 구동의 제공을 일시 정지한다. 다음으로, 제 1 컨베이어부(51B)는, 선회부(61B)에 구동을 부여하여, 제 1 벨트(53)를 반시계방향으로 회전시켜, 하류 측에 인접하는 제 2 컨베이어부(71B)에 제 1 벨트(53)를 향하게 한 상태로 한다. 그리고, 다시 제 1 벨트(53)에 구동을 부여하여, 제 2 컨베이어부(71B)를 향해 FOUP(5)를 송출한다.
[0037] 여기서, 하류 측에 인접하는 제 2 컨베이어부(71B)의 제 2 벨트(73), 반송 롤러(79) 및 구동축(83)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 컨베이어부(51)의 반송 영역(A2)의 외측에 배치되어 있기 때문에, 제 1 벨트(53)가 반시계방향으로 회전할 때의 회전을 저해하는 일은 없다. 또한, 제 1 컨베이어부(51B)에 있어서, 하류 측에 인접하는 제 2 컨베이어부(71B)에 제 1 벨트(53)를 향하게 한 상태로 했을 때는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 벨트(53)를, 제 2 컨베이어부(71B)의 제 2 벨트(73) 및 반송 롤러(79)에 근접시킬 수가 있다. 따라서, 제 2 컨베이어부(71B)를 향해 안정적으로 FOUP(5)를 송출할 수가 있다.
[0038] 제 2 컨베이어부(71B)는, 상류 측에 인접하는 제 1 컨베이어부(51B)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 제 2 벨트(73)에 구동을 부여한다. 제 1 컨베이어부(51B)로부터 FOUP(5)를 전달받은 제 2 컨베이어부(71B)는, 하류 측에 인접하여 배치된 제 1 컨베이어부(51C)에까지 FOUP(5)를 반송한다. 하류측의 제 1 컨베이어부(51C)는, 선회부(61C)에 구동을 부여하여, FOUP(5)가 반송되어 오는 쪽으로 제 1 벨트(53)를 향하게 한 상태로 하고, FOUP(5)가 반송되어 오는 것을 대기한다.
[0039] 제 1 컨베이어부(51C)는, 상류 측에 인접하는 제 2 컨베이어부(71B)에까지 FOUP(5)가 반송되어 오면, 제 1 벨트(53)에 구동을 부여한다. 제 2 컨베이어부(71B)로부터 FOUP(5)를 전달받은 제 1 컨베이어부(51C)는, FOUP(5)를 제 1 벨트(53)의 중앙부, 즉 이재 장소(P2)까지 반송한 후, 제 1 벨트(53)에 대한 구동의 제공을 일시 정지한다. 이재 장소(P2)에 정지된 FOUP(5)는, 천정 주행차(91)에 의해 파지(把持)되어 소정의 로드 포트로 반송된다.
[0040] 이상으로 설명한, 상기 실시형태의 컨베이어 장치(50)에 의하면, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 2 컨베이어부(71)에 있어서의 한 쌍의 제 2 벨트(73) 및 반송 롤러(79)와, 제 2 벨트(73)에 구동력을 전달하기 위한 구동축(83)이, 평면 시점으로 볼 때 제 1 컨베이어부(51)의 선회 영역(A1, 도 4에 나타내는 사선으로 빗금 친 부분)의 외측에 설치되어 있기 때문에, 제 1 컨베이어부(51)의 선회를 제 2 컨베이어부(71)가 저해하는 일은 없다. 또, 제 2 컨베이어부(71)에 있어서의 제 2 벨트(73)는, FOUP(5)의 반송 영역(A2, 도 4에 나타내는 착색부)에 있어서의 전면(全面)을 지지할 수 있도록 설치되어 있는 것은 아니며, 반송 영역(A2)의 폭 방향에 있어서의 양측 부분만을 지지할 수 있도록 설치되어 있다. 이 때문에, 평면 시점으로 볼 때 제 2 벨트(73) 및 반송 롤러(79)에 제 1 컨베이어부(51)의 선회 영역(A1)이 겹치는 것을 회피하면서, 제 2 컨베이어부(71)에 있어서의 FOUP(5)의 반송 영역(A2)에 제 1 컨베이어부(51)의 선회 영역(A1)을 겹치도록, 제 1 컨베이어부(51)와 제 2 컨베이어부(71)를 배치할 수 있다. 이로써, 제 1 컨베이어부(51)로부터 인접하는 부분으로 FOUP(5)를 송출할 때에, 제 2 컨베이어부(71)의 제 2 벨트(73) 및 반송 롤러(79)와 제 1 컨베이어부(51)의 제 1 벨트(53)를 근접시킬 수가 있다. 그 결과, 선회 컨베이어로서의 제 1 컨베이어부(51)에 인접하는 부분으로, 선회 컨베이어가 아닌 제 2 컨베이어부(71)를 통해 FOUP(5)를 송출할 수 있으므로, 안정적으로 FOUP(5)를 전달할 수가 있다.
[0041] 또, 상기 실시형태의 제 1 컨베이어부(51)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 1 컨베이어부(51)의 하방에 설치된 본체부(63)에 대해 선회하고, 제 2 컨베이어부(71)는, 본체부(63)에 인접하여 설치되는 베이스부(85)의 상방에 설치되는 동시에, 평면 시점으로 볼 때 본체부(63)와 겹치도록 배치되어 있다. 이 때문에, 베이스부 및 제 2 컨베이어부(71)를, 컨베이어 장치(50) 또는 제 1 컨베이어부(51)로부터 독립된 부재로 할 수 있기 때문에, 컨베이어 장치로서의 레이아웃 변경이나 유지관리를 용이하게 행할 수가 있다.
[0042] 또, 상기 실시형태의 제 2 컨베이어부(71)는, FOUP(5)의 반송면에 대략 평행한 지지면(73A)을 가지고 있기 때문에, 제 2 컨베이어부(71)와 FOUP(5)의 접촉 면적을 확보할 수 있어, 안정된 FOUP(5)의 반송이 가능해진다.
[0043] 이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되지 않고, 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
[0044] 상기 실시형태의 컨베이어 장치(50)에서는, 제 2 컨베이어부(71)의 제 2 지지부가 제 2 벨트(73) 및 반송 롤러(79)로 구성되는 예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예컨대, 도 4에 나타내는 평면 시점으로 볼 때, 반송 롤러(79)가 FOUP(5)를 반송하는 부분을 제 2 벨트(73)에 의해 반송하는 구성으로 하여도 무방하다.
[0045] 상기 실시형태의 컨베이어 장치(50)에서는, 제 1 컨베이어부(51)로서, 한 쌍의 제 1 벨트(53)가 설치된 예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 예컨대, FOUP(피반송물; 5)의 바닥면 전체를 지지할 수 있는 1개의 벨트가 설치되어도 무방하다.
[0046] 상기 실시형태의 컨베이어 장치(50)에서는, 도 1에 나타내는 상하방향으로 3개의 제 1 컨베이어부(51) 및 선회부(61), 2개의 제 2 컨베이어부(71)가 배치되고, 이러한 조합이 좌우 방향으로 2열 배치되며, 또한 이들 조합 사이에 제 2 컨베이어부(71)가 배치되어 있는 예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 컨베이어 장치(50)는, 적어도 1개의 제 1 컨베이어부(51)와, 그 제 1 컨베이어부(51)를 선회시키는 선회부(61)와, 제 1 컨베이어부에 인접하여 배치되는 적어도 1개의 제 2 컨베이어부(71)를 구비하는 구성이면 된다.
[0047] 1; 반송 시스템
5; FOUP(피반송물)
10; 층간(階間) 반송 장치
20; 반송 컨베이어
21; 컨베이어부
30; 회전 컨베이어
31; 본체부
33; 회전 기구
39; 컨베이어부
50; 컨베이어 장치
51; 제 1 컨베이어부
53; 제 1 벨트(제 1 지지 반송부)
55; 롤러
61; 선회부
63; 본체부
71; 제 2 컨베이어부
73; 제 2 벨트(제 2 지지 반송부)
73A; 지지면(피반송물 지지면)
75; 구동 롤러
77; 종동(從動) 롤러
79; 반송 롤러(제 2 지지 반송부)
81; 구동부
83; 구동축(구동 전달부)
85; 베이스부(基部)
91; 천정 주행차
93; 주행 레일
A1; 선회 영역
A2; 반송 영역
P1~P4; 이재(移載) 장소

Claims (4)

  1. 피(被)반송물의 바닥면을 지지하여 상기 피반송물을 반송하는 제 1 지지 반송부를 갖는 한 쌍의 제 1 컨베이어부와,
    상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부를 지지하는 동시에 상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부의 각각을 선회시켜 상기 피반송물의 진행 방향을 변화시키는 선회부와,
    상기 피반송물의 반송 방향에 있어서 상기 한 쌍의 컨베이어부에 의해 끼워져 있는 동시에, 상기 피반송물의 바닥면에 있어서 반송 방향과 교차하는 폭 방향에 있어서의 양단부를 지지하여 상기 피반송물을 반송하는 한 쌍의 제 2 지지 반송부와, 상기 한 쌍의 제 2 지지 반송부의 사이에 구동력을 전달하는 구동축을 갖는 제 2 컨베이어부를 구비하며,
    상기 제 2 컨베이어부에 있어서의 상기 한 쌍의 상기 제 2 지지 반송부와 상기 구동축이, 상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부의 사이에 그리고 평면 시점으로 볼 때(平面視) 상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부의 선회 영역의 사이에 설치되고,
    평면 시점으로 볼 때, 상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부의 선회 영역이, 상기 반송 방향의 양방(兩方)으로부터 상기 제 2 컨베이어부에 있어서의 상기 피반송물의 반송 영역에 들어가도록, 상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부 및 상기 제 2 컨베이어부가 배치되며,
    상기 피반송물의 반송 방향에 있어서, 상기 한 쌍의 제 1 컨베이어부의 선회 영역의 사이의 거리는 상기 제 2 지지 반송부의 폭보다 좁은, 컨베이어 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 컨베이어부는, 상기 피반송물의 바닥면에 있어서 반송 방향과 교차하는 폭 방향에 있어서의 양단부를 지지하여 상기 피반송물을 반송하는 한 쌍의 상기 제 1 지지 반송부를 가지고 있는, 컨베이어 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 컨베이어부는, 상기 제 1 컨베이어부의 하방에 설치된 본체부에 대해서 선회 가능하게 설치되고,
    상기 제 2 컨베이어부는, 상기 본체부에 인접하여 설치되는 베이스부(基部)의 상방에 설치되는 동시에, 평면 시점으로 볼 때 상기 본체부와 겹치도록 설치되는, 컨베이어 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 2 지지 반송부는, 상기 피반송물의 반송면에 평행한 피반송물 지지면을 가지고 있는, 컨베이어 장치.
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