TWI545021B - 滾筒印刷裝置、滾筒印刷方法、印刷物及觸控面板 - Google Patents

Description

滾筒印刷裝置、滾筒印刷方法、印刷物及觸控面板

本申請案優先權主張於2012年11月6日向韓國專利局提出之韓國專利第10-2012-0125068號及第10-2012-0125071號申請案之優先權，其中該些案所揭露之內容全部併入本案參考。

本發明係關於一種滾筒印刷裝置及使用其之滾筒印刷方法。更具體地，本發明係關於一種滾筒印刷裝置及使用其之滾筒印刷方法，可進行連續滾筒印刷，從而降低工站時間(tack time)並提高產率。

一般而言，用於半導體線路元件及如LCD及PDP之顯示裝置中之微型圖案係藉由使用光阻之光刻法所形成，且通常透過執行塗佈步驟、曝光步驟、顯影步驟、清洗步驟及固化步驟而製造。

然而，即便光刻法在獲得所需及精確圖案上有優勢，光刻法具有需執行複數個製程、需使用多種種類材料以最大化光阻效果、及在如塗佈製程之製程中消耗大量光阻之缺點。

近年來，為了解決光刻法之缺點，係於獲得微型 圖案的技術上進行研究及發展，而建議使用滾筒印刷方法。

該用以形成圖案之滾筒印刷裝置可用於各種方法，例如平版印刷(offset printing)、反轉平版印刷(reverse offset printing)、及卷對卷印刷(roll-to-roll printing)，並且可應用於廣泛領域以轉移圖案，例如用以形成薄膜電晶體(thin film transistor，TFT)或電漿顯示面板(plasma display panel，PDP)之電極圖案、及隔板材料圖案與彩色濾光片組成元件之紅(R，Red)、綠(G，Green)、藍(B，Blue)顏色、與黑色矩陣(black matrix，BM)圖案。

該滾筒印刷裝置通常包括一塗佈機、一印刷滾筒、一印刷滾筒驅動裝置、一印刷版、或一用於基板載台及載台排列之驅動裝置作為主要基本組成元件，且可額外包括一印刷版及/或管路清洗裝置、一藉由吸收吸附於橡皮布(blanket)之溶劑以乾燥該橡皮布之乾燥裝置、以及各種類型之感測器。

透過滾筒印刷方法形成圖案之精確度及圖案轉移效率很大程度取決於製程條件，例如從該塗佈機至該滾筒或該滾筒橡皮布之塗佈狀態、溶劑揮發量、及於塗佈製程後直到圖案轉移至印刷版或基板之待機時間、以及當轉移該圖案時，藉由載台與滾筒或橡皮布間之間距形成之印刷壓力。

具體而言，藉由在滾筒印刷製程第一步驟中塗 佈該滾筒或該橡皮布之塗佈階段時，確認是否形成具有各種形狀之汙漬以及整體圖案的均勻性。

一般而言，根據上述滾筒印刷裝置，有以下缺點：於使用印刷滾筒進行一印刷製程後，由於再次準備該印刷滾筒及塗佈該印刷滾筒以進行一印刷製程，不可避免地需要一工站時間。

於此，該工站時間意指於一產品卸載後，直到載入一後續玻璃基板所需花費的時間，當製造該液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)時，基於該玻璃基板載入該光刻設備後，直到該玻璃基板自光刻法設備卸載所花費時間，該工站時間藉由調整其他裝置數量而設定，而在印刷滾筒的情況中，該工站時間類似意指當一印刷滾筒移動進出所花費的時間。在滾筒印刷之情況中，相較於光刻設備，因工站時間而有製造速度相對較低之限制。

本發明係提供一滾筒印刷裝置及一使用其之滾筒印刷方法，其可透過連續進行滾筒印刷而改善一工站時間及產率。

本發明係提供一滾筒印刷裝置，包括：一印刷滾筒支架；一印刷滾筒；一橡皮布，其設於該印刷滾筒之一外表面；一塗佈機，其將一墨水塗佈於該橡皮布之一表面；一印刷版；以及一印刷主體；其中，該印刷滾筒係固 定設置於該印刷滾筒支架，從而執行旋轉運動，以及該印刷版藉由該印刷滾筒之旋轉運動而輸送。

此外，本發明係提供一滾筒印刷方法，包括：1)準備一固定設置於一印刷滾筒支架以執行旋轉運動之印刷滾筒、一設置於該印刷滾筒之外表面上之橡皮布、一將一墨水塗佈於該橡皮布之一表面之塗佈機、一印刷版、一設置於該印刷版下端之空轉滾筒、以及一印刷主體；2)使該印刷滾筒執行旋轉運動並將該墨水塗佈於該橡皮布之表面；3)當藉由該具有塗佈有該墨水之橡皮布之印刷滾筒之旋轉運動同步化該印刷版之移動速度時，將該墨水轉移至該印刷版；以及4)將該未轉移至該印刷版並存在於該橡皮布上之墨水印刷至該印刷主體上。

此外，本發明係提供一使用該滾筒印刷裝置印刷之印刷物。

此外，本發明係提供一包含該印刷物之觸控面板。

根據本發明，可藉由該印刷滾筒之旋轉運動輸送該印刷版，並可藉由該印刷滾筒之旋轉運動同步化該印刷版之移動速度。因此，根據本發明之該滾筒印刷裝置及該滾筒印刷方法可連續進行滾筒印刷，並可減少一工站時間，從而顯著提高產率。此外，可完整印刷於印刷主體上且可有效替換待接序印刷之印刷主體，從而提高產率。

60‧‧‧靜止滾筒

70‧‧‧自由轉動滾筒

80‧‧‧多孔板

90‧‧‧靜止滾筒之真空洞形成區域

100‧‧‧自由轉動滾筒之真空洞形成區域

110‧‧‧橡皮布

120‧‧‧膜狀基板

圖1至圖4係根據習知之示例型實施例之滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法之示意圖。

圖5及圖6係根據習知之示例型實施例之滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法之示意圖。

圖7及圖8係根據本發明之示例型實施例之滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法之示意圖。

圖9係根據本發明之示例型實施例以輸送件型平板印刷裝置作為該滾筒印刷裝置之示意圖。

圖10係根據本發明之示例型實施例以輸送件型卷對卷印刷裝置作為該滾筒印刷裝置之示意圖。

圖11係根據本發明示例型實施例之一包括印刷設備及清潔設備之裝置作為滾筒印刷裝置之示意圖。

圖12係為根據本發明示例型實施例之滾筒印刷裝置之印刷滾筒及印刷主體支撐單元。

圖13係為於根據本發明示例型實施例之在滾筒印刷裝置之印刷主體支撐單元中形成真空之方法示意圖。

圖14係於單一蝕刻製程中根據初始圖案線寬之蝕刻深度及最終蝕刻線寬間之關係式結果圖。

圖15係於單一蝕刻製程中對應用於平板印刷之印刷版之印刷方向之線性圖案之底部接觸隨蝕刻深度變化之結果圖。

圖16於單一蝕刻製程時對應用於平板印刷之印刷版之方形圖案之底部接觸隨蝕刻深度變化之結果圖。

圖17係根據本發明示例型實施例之用於平版印刷之印刷版之製造流程圖。

圖18係根據本發明示例型實施例之用於平版印刷之印刷版之顯微圖。

圖19係根據本發明示例型實施例之用於平版印刷之印刷版之剖面之電子顯微鏡圖。

圖20係在僅存在Cr之情況及存在CrOx之情況間之HF滲透之相對差異示意圖。

以下，將具體描述本發明。

本領域一般滾筒印刷裝置基本上包括一塗佈機、一印刷滾筒、一印刷滾筒驅動裝置、一印刷版載台、及一基板載台。一橡皮布係圍繞於該印刷滾筒上，且一印刷版及一基板係分別放置於該印刷版載台與該基板載台上。該印刷滾筒可形成為一圓柱狀，且該橡皮布係設於該印刷滾筒之一外表面上。該橡皮布可由對墨水具有黏性並且具有彈性之橡膠所製成。

該印刷滾筒可相對於該印刷版及該基板設置以往復運動，從而該印刷滾筒由該印刷版接收一圖案並再將該圖案轉移至該基板。

該印刷版載台及該基板載台可裝設於一下框架上，且該印刷版載台及該基板載台係可由該下框架裝卸，因而根據各種目標圖案採用具有各種圖案之印刷版。

該印刷滾筒係藉由如印刷滾筒驅動馬達之驅 動裝置所驅動，並於該下框架上方轉動及移動(往復移動)，在此情況下，當該印刷滾筒轉動時，設於該印刷滾筒外表面上之橡皮布接觸該印刷版及該基板之上表面，從而將一圖案由該印刷版轉移至該基板。

意即，如圖1至圖4所示，本領域之滾筒印刷裝置具有一製造流程，其中，於將墨水塗佈於該印刷滾筒之橡皮布之製程後，透過該印刷滾筒之移動及上下運動進行將墨水轉移至該印刷版之製程(平版製程)及將該墨水印刷至該基板上之製程，並且於完成一印刷製程後，該印刷滾筒返回至一墨水塗佈位置。然而，就需要該印刷主要元件之印刷滾筒移動並且該印刷滾筒於完成該印刷製程後需回到初始待機位置之事實而言，由單元製程需要獨立分離之觀點，該製造流程有處理效能上之缺點。

此外，如圖5及圖6所示，即便在一可撓性膜上進行一印刷製程的情況下，本領域之滾筒印刷裝置具有需伴隨該印刷滾筒之移動的相同問題。

因此，為了解決本領域上述問題，解決該問題之核心可為發展一用於最小化該印刷主要元件之印刷滾筒之移動之製程。

根據本發明之滾筒印刷裝置包括一印刷滾筒支架、一印刷滾筒、一設於該印刷滾筒外表面之橡皮布、一用以將墨水塗佈於該橡皮布表面之塗佈機、一印刷版、以及一印刷主體，其中，該印刷滾筒係固定設置於該印刷滾筒支架以進行旋轉運動，且該印刷版係藉由該印刷滾筒 之旋轉運動而輸送。

根據本發明，該印刷版之移動速度可透過該印刷滾筒之旋轉運動而同步。如上所述，該印刷版之移動速度可透過該印刷滾筒之旋轉運動而自動同步，因此不需一用以同步該印刷版之控制裝置。

此外，該滾筒印刷裝置可額外包括一空轉滾筒，且該空轉滾筒可設於該印刷版之下端。

根據本發明，該空轉滾筒係指不被供給動力且可不需使用動力而自動旋轉之滾筒。意即，該空轉滾筒係指當任何動力傳至該滾筒時可旋轉而當動力不傳至該滾筒時可不旋轉之滾筒。由於軸承連接至該空轉滾筒之兩側，該空轉滾筒可旋轉，且一鋼滾筒、一橡膠滾筒、一塑膠滾筒等可適用於使用該空轉滾筒之位置。

可設置複數個空轉滾筒，且可透過該印刷版之操作而自由地旋轉。

根據本發明，該空轉滾筒可形成為一輸送帶之形式。在此情況中，可額外設置一引導滾筒及其類似物以防止當藉由該印刷滾筒進行關閉及開啟製程時，該印刷版受損及抬起。

該空轉滾筒可由對應技術領域習知之材料所製。更具體地，該空轉滾筒可由橡膠、鋼、或其類似物所製成，但其材料並不以此為限。

此外，可設置或可不設置用以驅動該空轉滾筒之分離構件。

根據本發明，該印刷版可加載至該空轉滾筒上以便與該印刷滾筒下部接觸，以使該印刷版之移動速度可被該印刷滾筒之旋轉運動同步化。

根據本發明，該印刷主體可為一平坦板狀基板，且該平坦板狀基板可設於該空轉滾筒上。該平坦板狀基板可為一玻璃、一塑膠膜、或其類似物，但並不以此為限。

根據本發明，該滾筒印刷裝置可額外包括一用以支撐該印刷主體之滾筒狀支撐單元，且該印刷主體可為一膜狀基板。該膜狀基板可為一塑膠膜或其類似物，但並不以此為限。

該滾筒印刷裝置可額外包括一連續供給該膜狀基板之印刷主體供給單元以及一連續收集該膜狀基板之印刷主體收集單元。在此情況中，該滾筒狀支撐單元可設於該印刷主體供給單元及該印刷主體收集單元之間，且該膜狀基板可設於該滾筒狀支撐單元上。

根據本發明，只要可透過該印刷主體供給單元及該印刷主體收集單元連續供給該膜狀基板，且所欲印刷之印刷物圖案可轉移至該膜狀基板上，該膜狀基板之材料或厚度並不特別受限。

根據本發明，該印刷主體供給單元及該印刷主體收集單元可連續供給該膜狀基板，以使該膜狀基板於一方向移動。根據本發明，該印刷主體供給單元可為一開捲件，而該印刷主體收集單元可為一回捲件。以下，該印刷主體供給單元係例示為該開捲件，而該印刷主體收集單元 可例示為一回捲件，然而，只要該配置可連續供給該膜狀基板，該配置並不特別受限。

如有所需，可間歇性地控制該開捲件及該回捲件之操作。因此，根據本發明，間歇性連續印刷是可能的。於本說明書中，術語「間歇性連續印刷」可理解為一製程，其中，當在一印刷過程中，於一必需步驟中間歇性控制該開捲件及該回捲件之操作時，設置於該開捲件及該回捲件上之膜狀基板係連續供給於該滾筒狀支撐單元，以使一印刷圖案轉移至該膜狀基板上。為了進行前述間歇性連續印刷，該滾筒印刷裝置可更包括一間歇性控制該開捲件及該回捲件操作之控制單元。

根據本發明之滾筒印刷裝置可更包括一控制該膜狀基板及該回捲件位置之位置控制單元，以使該膜狀基板捲撓於該回捲件時捲撓於該回捲件之適當位置上。該位置控制單元可為一電子位置控制器(electronic position controller，EPC)。

根據本發明之滾筒印刷裝置可額外包括一控制單元，當該膜狀基板之印刷目標區域位於該滾筒狀支撐單元上時，該控制單元停止該開捲件及該回捲件之操作，並於完成該印刷物圖案轉移製程後重新開啟該開捲件及該回捲件之操作。

在施加張力至該膜狀基板的情況中，本發明之滾筒印刷裝置利於將一精確圖案印刷至該膜狀基板上。舉例而言，施加至該膜狀基板之張力較佳為1Kgf/m(膜寬度) 以上、3Kgf/m(膜寬度)以上、或5至10Kgf/m(膜寬度)以上。可藉由調整該開捲件及該回捲件之操作或如下所述之夾持單元(nipping unit)施加該張力至該膜狀基板。在此，根據本發明之滾筒印刷裝置可額外包括一控制該膜狀基板張力之張力控制單元。

根據本發明之滾筒印刷裝置可額外包括一驅動馬達，以於旋轉該滾筒狀支撐單元時，在該印刷滾筒方向中朝上及朝下移動該滾筒狀支撐單元。

根據本發明，一用以阻斷施加於該膜狀基板之張力之夾持單元可更包含於該開捲件及該印刷主體支撐單元間、於該回捲件及該滾筒狀支撐單元間、或於該開捲件及該滾筒狀支撐單元間與該回捲件及該滾筒狀支撐單元間。

該夾持單元係固定於該滾筒狀支撐單元，從而當對準該滾筒狀支撐單元時，該夾持單元可與該滾筒狀支撐單元一起移動。該夾持單元可與該滾筒狀支撐單元於上或下之方向一起移動。

根據本發明，如上所述，由於可透過該開捲件及該回捲件連續供給該膜狀基板，需調整該膜狀基板之位置，從而於該印刷製程中可將一圖案印刷於一準確位置，且在此情況中，為調整該膜狀基板之位置，需阻斷施加於該膜之張力。根據本發明，施加於該膜狀基板之張力可透過該夾持單元阻斷。此外，該夾持單元也可用於施加一預定量以上之張力至該膜狀基板。

較佳地，當該印刷物圖案轉移至在該滾筒狀支撐單元上之膜狀基板上時，該夾持單元固定該膜狀基板，並於操作該開捲件及該回捲件時移動而不阻擋該膜狀基板之移動。據此，可更包括一用以控制該夾持單元之控制單元。

該夾持單元可朝下移動以使該印刷滾筒之移動路徑不受阻礙，或於該印刷過程中透過該滾筒狀支撐單元之真空吸引單元有效進行真空吸引。此外，該夾持單元可朝上移動，從而於該膜狀基板之下表面上不形成刮痕。因此，根據本發明之滾筒印刷裝置可包括一用以朝上或朝下移動該夾持單元之驅動單元。

為了不阻礙該印刷滾筒之移動路徑，或為了防止於該膜狀基板之下表面形成刮痕，該滾筒狀支撐單元可朝上或朝下移動。

可更包含一輔助固定單元以穩定地提供一印刷膜至該夾持單元。較佳地，該輔助固定單元可設於該開捲件及該夾持單元之間。

根據本發明之滾筒印刷裝置可更包括一滾筒狀支撐單元之位置控制單元以對準該印刷主體。該滾筒狀支撐單元之位置控制單元可設置為連接該滾筒狀支撐單元。於該印刷物圖案轉移至該膜狀基板之前，該滾筒狀支撐單元之位置控制單元可對準該滾筒狀支撐單元，從而該印刷物圖案係透過該印刷滾筒轉移至該膜狀基板上之一適當位置。此外，如上所述，可藉由該滾筒狀支撐單元之位置控 制單元將該膜狀基板朝上或朝下移動，因此，可防止刮痕形成於該膜狀基板之下表面。

根據本發明之滾筒印刷裝置可更包括一乾燥或固化單元，其設於該滾筒狀支撐單元及該回捲件之間。該乾燥或固化單元可乾燥或固化該轉移於該膜狀基板上之印刷物圖案。該乾燥或固化單元可包括一控制構件以於適當條件下乾燥或固化該印刷物圖案。根據本發明，由於該印刷主體可為膜形式，其較佳係依據膜材料調整乾燥或固化溫度。

根據本發明之滾筒印刷裝置可更包括一第二開捲件，其設於該滾筒狀支撐單元及該回捲件之間，且供給一欲與該膜狀基板層合之膜。只要該膜可與該膜狀基板層合，由該第二開捲件供給之膜之類型並不特別受限。就此層合而言，於該膜狀基板及該由第二開捲件供給之膜被捲撓於該回捲件之前，可更包括一層合構件。舉例而言，可更包括一加壓構件。該加壓構件可設置為具有兩個滾筒之結構。透過前述加壓構件可層合該兩膜。

該滾筒狀支撐單元之驅動速度可與轉移印刷物圖案之印刷滾筒之驅動速度同步化。換言之，較佳地，在操作該滾筒狀支撐單元之線性速度與在操作該印刷滾筒之線性速度相匹配。據此，可轉移一精確圖案。在此情況中，當計算該印刷滾筒之驅動速度時，較佳係基於包含該橡皮布之整個印刷滾筒來計算該驅動速度。

可調整介於該滾筒狀支撐單元及該印刷滾筒 間之壓力，從而可轉移一精確圖案。

根據本發明之滾筒印刷裝置，該滾筒狀支撐單元可為一空轉滾筒。在此情況中，該滾筒狀支撐單元之旋轉速度可藉由該印刷滾筒之旋轉運動而同步。

此外，該滾筒狀支撐單元可包括：一靜止滾筒；一自由轉動滾筒，設於該靜止滾筒之外表面上；以及一多孔板，設於該自由轉動滾筒之外表面上。於該滾筒狀支撐單元中，複數個真空洞可形成於該靜止滾筒之一區域中，其具有一與該膜狀基板及該印刷滾筒相接觸之區域對應之角度。於此，基於該滾筒狀印刷膜支撐單元之轉軸，該角度可為0.1°至180°，但並不以此為限。此外，複數個真空洞可形成於該自由轉動滾筒之整個區域中。

該靜止滾筒及該自由轉動滾筒之真空洞可透過垂直打孔(punching holes)形成，且可僅於該靜止滾筒之真空洞及該自由轉動滾筒之真空洞相聚時形成真空。

圖13示意性地示出上述當該靜止滾筒之真空洞及該自由轉動滾筒之真空洞相聚時，形成於該滾筒狀印刷膜支撐單元中之真空的狀態。

意即，於根據本發明之滾筒印刷裝置中，該真空洞僅形成於該靜止滾筒對應與該膜狀基板及該印刷滾筒相接觸區域之區域，從而當於整個滾筒狀支撐單元時形成真空，該真空可僅形成於與該膜狀基板及該印刷滾筒相接觸之區域，且該真空可不形成於與該膜狀基板及該印刷滾筒不接觸之區域。據此，在透過由聚二甲基矽烷 (polydimethylsiloxane，PDMS)製成之印刷滾筒之橡皮布進行一圖案轉移時，能夠防止因該膜狀基板之抬起之圖案轉移之缺陷。

圖12示出了如上所述之該包含靜止滾筒、自由轉動滾筒、及多孔板之滾筒狀支撐單元之示例型實施例。

於根據本發明之滾筒印刷裝置中，可使用一狹縫式塗佈機或一滾筒狀塗佈機作為該塗佈機，但並不以此為限。

可使用用以精密加工之不鏽鋼製造該印刷滾筒，其具有藉由電解拋光處理之表面。作為一具體例，該印刷滾筒可使用表面經電解拋光處理之SUS304不鏽鋼、SUS305不鏽鋼、或SUS316不鏽鋼製造。當該不鏽鋼之表面使用如鎳之金屬處理，可防止該不鏽鋼之腐蝕及氧化。

該印刷滾筒可包括單一滾筒，且可具有一橡皮布捲撓於兩個以上滾筒之形式。

此外，根據本發明之該滾筒印刷裝置可額外包括一驅動裝置，以允許該印刷滾筒支撐或該印刷滾筒執行朝上或下移動或朝左或右直線運動。

於根據本發明之滾筒印刷裝置中，由於印刷組成物等之含量與對應技術領域之習知相同，將省略其知具體描述。

根據本發明之滾筒印刷裝置可應用於該反轉平版印刷。

根據本發明之滾筒印刷裝置可用於客種領域，例如製造彩色濾光片圖案、半導體、及導體之製程、或組成使用絕緣材料膜之閘極-閘極絕緣膜-主動層-鈍化層-像素之薄膜電晶體(TFT)基板。

此外，本發明提供一使用該滾筒印刷裝置之滾筒印刷方法。

此外，根據本發明之滾筒印刷方法包括1)準備一固定設置於一印刷滾筒支架以執行旋轉運動之印刷滾筒、一設置於該印刷滾筒之外表面上之橡皮布、一將一墨水塗佈於該橡皮布之一表面之塗佈機、一印刷版、一設置於該印刷版下端之空轉滾筒、以及一印刷主體；2)使該印刷滾筒執行旋轉運動並將該墨水塗佈於該橡皮布之該表面；3)當藉由該具有塗佈有該墨水之橡皮布之印刷滾筒之旋轉運動同步化該印刷版之移動速度時，將該墨水轉移至該印刷版；以及4)將該未轉移至該印刷版並存在於該橡皮布上之墨水印刷至該印刷主體上。

根據本發明，該印刷主體可為一平坦板狀基板或一膜狀基板。由於該平坦板狀基板及該膜狀基板與上述相同，將省略其之詳細描述。

根據本發明，2)於該橡皮布表面之該墨水塗佈及3)該墨水至該印刷版之轉移可同時進行。

此外，3)該墨水至該印刷版之轉移及4)於該印刷主體上之墨水印刷可同時進行。

再者，2)於該橡皮布表面之該墨水塗佈、3) 該墨水至該印刷版之轉移及4)於該印刷主體上之墨水印刷可同時進行。

更具體地，圖7示出該根據本發明示例型實施例之滾筒印刷裝置極滾筒印刷方法。圖7示出在印刷主體為平坦板狀基板情況中之滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法。

如圖7所示，於該裝置右側載入之該印刷版通 過該印刷滾筒及面向該印刷滾筒之空轉滾筒之間，且在此情況中，該印刷滾筒及該空轉滾筒旋轉以調整該印刷滾筒及該空轉滾筒間之差距，從而使用所需印刷壓力進行該平版製程。之後，該平版圖案係轉移至該連續載入之印刷主體，於載入一額外印刷版前，該墨水係再塗佈於該印刷滾筒之橡皮布，然後，再透過一新載入之印刷版進行該平版製程。

在此情況中，已通過該印刷滾筒及該空轉滾筒間之該印刷版及該印刷主體可能因抬起而受損，且為了防止受損，可使用一較該印刷滾筒具有黏性之滾筒作為該空轉滾筒(較下方的滾筒)或可使用一安裝防止該印刷版及該印刷主體被抬起之輔助滾筒於該印刷版或該印刷主體邊緣之方法。

再者，圖8示出根據本發明之滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法。圖8示例性地示出該印刷主體為一膜狀基板之情況。

於圖8中，當最初載入之印刷版自該印刷滾筒之右側線性移動至左側時，可進行該墨水塗佈及平版製程。 之後，於設於該滾筒狀支撐單元上之膜狀基板上可進行該設置製程。

當需要較快製程速度時，可同時進行該平版製程及設置製程。此可為根據本發明之印刷滾筒之旋轉方向在製程條件過程中不需改變之特徵而能獲得之優點，且該印刷滾筒可於單一方向中旋轉。

於根據本發明之滾筒印刷裝置中，該空轉滾筒可形成為一輸送帶之形式。在此情況中，當藉由該印刷滾筒進行該平版及設置製程時，為防止該印刷版受損及抬起，可額外設置一導引滾筒及其類似物。

作為根據本發明示例型實施例之滾筒印刷裝置，一輸送件型平板印刷裝置係示例地示於圖9，且一輸送件型卷對卷印刷裝置係示例地示於圖10。

再者，作為根據本發明示例行實施例之滾筒印刷裝置，包含一印刷設備及一清潔設備之裝置係示例地示於圖11。如上所述，在根據本發明之裝置與該清潔設備一起配置的情況中，可顯著地改善產率，而在該裝置與設備一起配置於一多層形式的形況中，可獲得一更為優異之效果。

根據本發明，該印刷版可具有一凹槽圖案，且該凹槽圖案之至少一部份區域之深度可與其他區域之深度不同。該印刷版可控制於相關技術領域中實現一寬線寬時所引起之底部接觸現象之問題，且可具有各種線寬及蝕刻深度。

於該印刷版中，具有不同凹槽圖案深度之區域可包括具有不同線寬之凹槽圖案。為了防止該印刷版之底部接觸現象，相較於具有相對較小線寬之區域，具有相對較大線寬之凹槽圖案之區域較佳可包括具有較大深度之區域。

如圖14所示，在單蝕刻之情況中，可藉由一圖案線寬W0及一蝕刻前蝕刻深度D之關係式決定最小線寬W，且僅當該線寬W對應一圖案中之可印刷區域，該印刷可能無底部接觸。因此，在單一蝕刻的情況中，可印刷線寬及間距係受限於該蝕刻深度。為了克服該限制，本發明導入雙蝕刻製程，從而可製造該具有各種蝕刻深度及線寬之印刷版，且可使用該印刷版形成具有各種線寬及間距之印刷物。

該凹槽圖案可同時包含至少兩種具有不同線寬之圖案，且該至少兩種圖案間之線寬差異可為15μm以上。該具有15μm以上線寬差異之至少兩種圖案可彼此連接。意即，該凹槽圖案可包含一具有微小線寬區域連接具有透過雙蝕刻製程形成之新線寬區域之圖案。

該凹槽圖案可包括兩種以上具有15μm以上線寬差異之圖案，且該凹槽圖案可額外包括一具有與最小線寬差500μm以上之線寬之圖案。

對準關鍵可為額外包含於該不具有凹槽圖案之印刷版之一區域。

此外，製造該印刷版之方法之示例型實施例包 括：1)於一基板上形成一第一遮罩圖案；2)於該基板及該第一遮罩圖案上形成一第二遮罩圖案；3)使用該第二遮罩圖案蝕刻該基板；4)移除該第二遮罩圖案；以及5)使用該第一遮罩圖案以不同於3)使用第二遮罩圖案蝕刻該基板之蝕刻深度蝕刻該基板。

此外，製造該印刷版之方法之另一示例型實施例包括：1)於一基板上形成一第一遮罩圖案；2)於該基板及該第一遮罩圖案上形成作為一第二遮罩圖案之一前置層；3)於做為該第二遮罩圖案之前置層上形成一第三遮罩圖案；4)使用該第三遮罩圖案形成該第二遮罩圖案；5)使用該第二遮罩圖案蝕刻該基板；6)移除該第二遮罩圖案；及7)使用第一遮罩圖案以不同於該與5)使用該第二遮罩圖案蝕刻該基板蝕刻深度之蝕刻深度蝕刻該基板。

根據該製造印刷版之方法，可使用一透明玻璃基板、一塑膠膜基板、或其類似物作為該基板，但該基板並不以此為限。

根據該製造印刷版之方法，該第一遮罩圖案及該第二遮罩圖案較佳包括具有對該基板有優異黏著力之材料，且當以其形成該第二遮罩圖案時，該第一遮罩圖案不被蝕刻。

更具體地，該第一遮罩圖案可包括一種以上選自由鉻(chromium)、鎳(nickel)、其氧化物、及其氮化物所組成之群組之材料，且該第二遮罩圖案可包括一種以上選自由包含鉬(molybdenum)、及氧化鉬(molybdenum oxide)所組成 之群組之材料。

根據該製造印刷版之方法，於對應技術領域中習知之方法可使用作為該基板之蝕刻製程，更具體地，可使用採用HF溶液之濕式蝕刻製程，但該方法並不以此為限。

為了解決上述所建議之問題，本發明製備使用透過應用以現有單一蝕刻製程製造印刷版之方法獲得之雙蝕刻製程所製造之印刷板。至此，本發明導入包含一對準製程之雙圖案化製程，並於濕式蝕刻製程時連續執行一深溝槽區之蝕刻製程及一淺溝槽區之蝕刻製程。

更具體地，本發明首先於一CrOx/Cr沉積玻璃上執行整個圖面區域之圖案化(包含作為二次曝光之對準關鍵)，執行該CrOx/Cr之圖案化(執行CrOx/Cr蝕刻及PR分離)，並於其上整個表面再次沉積Mo。在此情況中，使用雙層CrOx/Cr之理由為Cr之高錐角使得後續沉積之材料(Mo)之堆疊覆蓋不規則地形成，且當執行一第一HF蝕刻製程時，氫氟酸液體(hydrofluoric acid liquid)可能滲透一縫隙，因此，為了防止該滲透，導入錐角相對於Cr較低之CrOx是有利的，且其具有較Cr低之蝕刻速度，從而形成一末尾。圖20為一僅有Cr之情況及CrOx存在之情況間之HF滲透之相對差異之示意圖。

於該CrOx/Cr圖案化製程後，執行一開口該先圖案化之對準關鍵區域之製程。之後，再塗佈一光阻於其上二次沉積Mo之玻璃上，進行對應具有不同蝕刻深度區域 之Mo之圖案化製程，然後，透過前述方法製造之第一主要印刷版載入該玻璃蝕刻製程。根據該玻璃蝕刻製程，該第一蝕刻製程基本上透過HF濃度及溫度之最佳化進行一蝕刻程序以蝕刻出一深的蝕刻深度。然後，於移除該光阻及Mo之後，可進行一用以實現一淺溝槽玻璃蝕刻深度之第二蝕刻程序。

該製程可進行之理由為CrOx/Cr並非主要由Mo蝕刻劑蝕刻，且具有蝕刻製程選擇比之金屬結合物可易於應用至本製程中。

根據本發明，為了確保相較於單蝕刻製程有較精確之蝕刻深度及雙蝕刻製程之印刷版，使用將於下描述之方法確認一底部接觸區域。首先，為了確認於單一蝕刻製程時對應一平行印刷方向排列之線性圖案之底部接觸現象，將確認用於對應各種蝕刻深度之每一印刷壓力之線寬及間距之開口率(透過線寬定義之一溝槽)與蝕刻深度間之相互關係。於此，如圖15所示，可確認該底部接觸區域並無顯著取決於該印刷壓力，而是隨著該開口率而顯著變化。在此情況中，於該變化曲線圖中，使用線寬及間距定義之開口率，該可印刷區域可以下列關係式1表示。

於關係式1中，D係指一蝕刻深度，P係指一間距，W係指一圖案線寬，且所有單位係為微米。

此外，於本發明中，針對不同於前述二維線性 圖案之封閉圖案，例如網格及方形圖案，也可進行相同測試。於此，可獲得如圖16之曲線圖，並且在該變化曲線圖中，使用線寬及間距定義之開口率，該可印刷區域可以下列關係式2表示。

於關係式2中，D係指一蝕刻深度，P係指一間距，W係指一圖案線寬，且所有單位係為微米。

因此，在用於不滿足有預定蝕刻深度之該關係式之區域之圖案化之情況中，透過再定義一對應該區域之蝕刻深度D以額外確保該可印刷區域之方法被認定為有效的方法，並且為了形成該蝕刻深度，使用如圖17所示方法製造一雙蝕刻印刷版，且在此情況中，證實能夠確保一種藉由圖15虛線指出之新的可印刷區域。

圖18示出用於根據本發明示例型實施例之平版印刷之印刷版以及使用該印刷版所印刷之印刷物之顯微圖；圖19示出用於根據本發明示例型實施例之平版印刷之印刷版之剖面之SEM影像。

如上所述，當製造該印刷版時本發明包括該雙蝕刻製程，從而當實施一寬線寬時，控制一本技術領域問題之底部接觸現象，並且可製造用於具有各種線寬及蝕刻深度之平版印刷之印刷版。

此外，本發明提供一使用該滾筒印刷裝置印刷之印刷物。

該印刷物可包括至少兩種具有不同線寬之圖案，且該至少兩種圖案間之線寬差異係為15μm以上。

此外，本發明提供一包含該印刷物之觸控面板。

除了該觸控面板包括使用根據本發明之該滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法印刷之印刷物之外，可使用相對應技術領域習知之材料、製造方法等製造該觸控面板。

根據本發明，可藉由該印刷滾筒之旋轉運動輸送該印刷版，且可透過該印刷滾筒之旋轉運動同步化該印刷版之移動速度。因此，根據本發明之滾筒印刷裝置及滾筒印刷方法可減少工站時間，從而顯著提高產率。此外，印刷其上之該印刷主體並且可有效率地替換依序印刷之印刷主體，從而提高產率。

(該圖為一流程圖故無元件代表符號)

Claims (19)

1. 一種滾筒印刷裝置，包括：一印刷滾筒支架；一印刷滾筒；一橡皮布，其設於該印刷滾筒之一外表面；一塗佈機，其將一墨水塗佈於該橡皮布之一表面；一印刷版；一空轉滾筒，其中該空轉滾筒係設於該印刷版之下端；以及一印刷主體；其中，該印刷滾筒係固定設置於該印刷滾筒支架，從而執行旋轉運動，以及該印刷版係藉由該印刷滾筒之旋轉運動而輸送。
2. 如申請專利範圍第1項所述之滾筒印刷裝置，其中，該印刷版之移動速度係同步於該印刷滾筒之旋轉運動。
3. 如申請專利範圍第1項所述之滾筒印刷裝置，其中，該印刷主體係為一平坦板狀基板，且該平坦板狀基板係設於該空轉滾筒上。
4. 如申請專利範圍第1項所述之滾筒印刷裝置，更包括：一滾筒狀支撐單元，其係支撐該印刷主體，其中，該印刷主體係為一膜狀基板。
5. 如申請專利範圍第4項所述之滾筒印刷裝置，更包括：一印刷主體供給單元，係連續供給該膜狀基板；以及一印刷主體收集單元，係連續收集該膜狀基板。
6. 如申請專利範圍第5項所述之滾筒印刷裝置，其中，該滾筒狀支撐單元係設於該印刷主體供給單元及該印刷主體收集單元之間。
7. 如申請專利範圍第4項所述之滾筒印刷裝置，其中， 該滾筒狀支撐單元包括：一靜止滾筒；一自由轉動滾筒，係設於該靜止滾筒之一外表面上；以及一多孔板，係設於該自由轉動滾筒之一外表面上。
8. 如申請專利範圍第7項所述之滾筒印刷裝置，其中，複數個真空洞係設於該自由轉動滾筒之整個區域。
9. 如申請專利範圍第7項所述之滾筒印刷裝置，其中，複數個真空洞係設於該靜止滾筒之一區域，其對應至與該膜狀基板及該印刷滾筒接觸之一區域。
10. 如申請專利範圍第1項所述之滾筒印刷裝置，其中，該滾筒印刷裝置係用於反轉平版印刷。
11. 一種滾筒印刷方法，係使用如申請專利範圍第1至10項任一項所述之滾筒印刷裝置。
12. 一種滾筒印刷方法，包括：1)準備一固定設置於一印刷滾筒支架以執行旋轉運動之印刷滾筒、一設置於該印刷滾筒之一外表面上之橡皮布、一將一墨水塗佈於該橡皮布之一表面之塗佈機、一印刷版、一設置於該印刷版下端之空轉滾筒、以及一印刷主體；2)使該印刷滾筒執行旋轉運動並將該墨水塗佈於該橡皮布之該表面；3)當藉由該具有塗佈有該墨水之該橡皮布之印刷滾筒之旋轉運動同步化該印刷版之移動速度時，將該墨水轉移至該印刷版；以及4)將該未轉移至該印刷版並存在於該橡皮布上之墨水印刷至該印刷主體上。
13. 如申請專利範圍第12項所述之滾筒印刷方法，其中，該印刷主體係為一平坦板狀基板或一膜狀基板。
14. 如申請專利範圍第12項所述之滾筒印刷方法，其中，2)於該橡皮布之該表面之該墨水塗佈及3)該墨水至該印刷版之轉移係同時進行。
15. 如申請專利範圍第12項所述之滾筒印刷方法，其中，3)該墨水至該印刷版之轉移及4)於該印刷主體上之墨水印刷係同時進行。
16. 如申請專利範圍第12項所述之滾筒印刷方法，其中，2)該於該橡皮布之該表面之該墨水塗佈、3)該墨水至該印刷版之轉移及4)於該印刷主體上之墨水印刷係同時進行。
17. 一種印刷物，係使用如申請專利範圍第1至10項任一項所述之滾筒印刷裝置所印刷之。
18. 如申請專利範圍第17項所述之印刷物，其中，該印刷物包括至少兩種具有不同線寬之圖案，以及該至少兩種圖案間之線寬差異係為15μm以上。
19. 一種觸控面板，係包括如申請專利範圍第17項所述之印刷物。