TWI532824B - Single crystal silicon chip velvet additive, velveteen and its velvet method - Google Patents

Single crystal silicon chip velvet additive, velveteen and its velvet method Download PDF

Info

Publication number
TWI532824B
TWI532824B TW102148005A TW102148005A TWI532824B TW I532824 B TWI532824 B TW I532824B TW 102148005 A TW102148005 A TW 102148005A TW 102148005 A TW102148005 A TW 102148005A TW I532824 B TWI532824 B TW I532824B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
single crystal
additive
texturing
crepe
liquid
Prior art date
Application number
TW102148005A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201416417A (zh
Inventor
Li-Ming Fu
Pei-Liang Chen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of TW201416417A publication Critical patent/TW201416417A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI532824B publication Critical patent/TWI532824B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0236Special surface textures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/12Liquid-phase epitaxial-layer growth characterised by the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02Elements
    • C30B29/06Silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/54Organic compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B33/00After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • C30B33/08Etching
    • C30B33/10Etching in solutions or melts
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Weting (AREA)

Description

單晶矽片制絨添加劑、制絨液及其制絨方法
本發明涉及一種單晶矽片制絨添加劑、制絨液及其制絨方法。
太陽電池片製備過程中,為了提高太陽電池的性能和效率,需要在矽片表面製作絨面,有效的絨面結構可以使得入射太陽光在矽片表面進行多次反射和折射,改變入射光在矽中的前進方向。一方面,延長了光程,從而增加了矽片對紅外光的吸收率;另一方面,使得更多的光子在靠近pn結附近的區域被吸收產生光生載流子,這些光生載流子更容易被收集,因此增加了光生載流子的收集效率。
目前一般制絨技術係採用氫氧化鈉或氫氧化鉀,並添加適當異丙醇和矽酸鈉的混合溶液進行制絨。其缺點是:制絨時間較長,制絨金字塔大而不均勻,對原始矽片表面狀態要求高,化學品消耗也比較大,並且溶液壽命短,制絨重複性差,異丙醇等揮發量很大,需要不斷調液,操作難度高,從而帶來制絨外觀不良率很高,電池片轉換效率較低等問題。
為了解決一般制絨既有的技術難題,需要尋找一種輔助制絨用的催化劑,使得化學反應均勻進行,溶液濃度和反應速度可控性更好。
本發明的目的在於提供一種單晶矽片制絨添加劑及其使用方法,該單晶矽片制絨添加劑應用於單晶矽片的絨面製作時,不需要使用大量的異丙醇或乙醇,大量降低制絨液的化學需氧量,並且可以獲得均勻、細小、密集的絨面金字塔,因此,可以降低制絨成本,減少環境污染,有利於晶體矽太陽電池的製作穩定,具有較好的實用價值。
為實現上述目的,本發明提供一種單晶矽片制絨添加劑,其成分包括:聚乙二醇、苯甲酸鈉、檸檬酸、水解聚馬來酸酐(Hydrolyzed polymaleic anhydride)、乙酸鈉和餘量的水。較佳地,所述水為去離子水。
本發明還提供一種用於單晶矽片制絨的制絨液,其含有鹹溶液和上述單晶矽片制絨添加劑,所述單晶矽片制絨添加劑與鹹溶液的質量比為0.2~5:100,所述鹹溶液為無機鹹或有機鹹的水溶液。較佳地,所述鹹溶液為0.5~3wt%的氫氧化鈉或氫氧化鉀水溶液。
本發明還提供一種單晶矽片的制絨方法,利用上述制絨液對單晶矽片進行表面制絨。較佳地,所述表面制絨的制絨溫度為75~90℃,制絨時間為500~1500秒。
上述單晶矽片的制絨方法的具體步驟包括:1)配置制絨添加劑:將質量百分比為1%~20%的聚乙二醇、0.1%~2.0%的苯甲酸鈉、1.0%~5.0%的檸檬酸、1.0%~5.0%的水解聚馬來酸酐、0.1%~1.0%的乙酸鈉加入到餘量的水中,混合均勻配成制絨添加劑;其中水以去離子水為佳;2)配置制絨液:將步驟1)製成的制絨添加劑加到鹹溶液中,混合均勻配成制絨液;所述制絨添加劑與鹹溶液的質量比為0.2~5:100;所述鹹溶液為無機鹹有機鹹水溶液,優選為0.5~3wt%的氫氧化鈉或氫氧化鉀水溶液;3)將單晶矽片浸入步驟2)制得的制絨液中進行表面制絨,制絨溫度為75~90℃,制絨時間為500~1500秒。
採用上述制絨添加劑和上述制絨方法對矽片表面進行制絨後,矽片整面色澤均勻,在矽片表面形成均勻覆蓋的金字塔,尺寸約為1~6μm。
本發明的優點和有益效果在於:提供一種單晶矽片制絨添加劑及其使用方法,該單晶矽片制絨添加劑應用於單晶矽片的絨面製作時,不需要使用大量的異丙醇或乙醇,大量降低制絨液的化學需氧量,並且可以獲得均勻、細小、密集的絨面金字塔,因此, 可以降低制絨成本,減少環境污染,有利於晶體矽太陽電池製程的穩定,具有較好的實用價值。
採用本制絨添加劑及使用方法制絨後,絨面金字塔尺寸細小,分佈均勻,提高了電池片的成品率並增大了電池片的填充因數,提高了太陽電池片的光電轉換效率。此外,本發明的制絨添加劑不含異丙醇或乙醇,無毒性,無腐蝕性,無刺激性,無燃燒和爆炸危險,還可以避免環境污染;並且,制絨添加劑的製造和使用技術簡單,設備低廉,重複性好。
圖1是本發明實施例3得到的矽片表面絨面的掃描電子顯微鏡平面圖。
為使 貴審查委員能對本發明之特徵、目的及功能有更進一步的認知與瞭解,以下實施例特將本發明之系統的相關細部結構以及設計的理念原由進行說明,以使得 審查委員可以了解本發明之特點。
以下依實施例配合圖式,對本發明的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用於更加清楚地說明本發明的技術方案,而不能以此來限制本發明的保護範圍。
本發明具體實施的技術方案是:
實施例1
一種單晶矽片的制絨方法,採取如下製程步驟:
1)配置制絨添加劑:將1g聚乙二醇-600、0.1g苯甲酸鈉、1g檸檬酸、1g水解聚馬來酸酐、0.1g乙酸鈉,加入去離子水中,得到100g制絨添加劑溶液。
2)配置制絨液:將250g的NaOH溶于去離子水中,得到50kg鹹溶液;將步驟1)製成的100g制絨添加劑溶於鹹溶液中,得到制絨液。
3)制絨:將單晶矽片浸入步驟2)制得的制絨液中進行表面制絨,制絨溫度為75℃,制絨時間為1500秒。
實施例2
一種單晶矽片的制絨方法,採取如下製程步驟:
1)配置制絨添加劑:將20g聚乙二醇-200、2g苯甲酸鈉、5g檸檬酸、5g水解聚馬來酸酐、1g乙酸鈉,加入去離子水中,得到100g制絨添加劑溶液。
2)配置制絨液:將60g的NaOH溶于去離子水中,得到2kg鹹溶液;將步驟1)製成的100g制絨添加劑溶於鹹溶液中,得到制絨液。
3)制絨:將單晶矽片浸入步驟2)制得的制絨液中進行表面制絨,制絨溫度為90℃,制絨時間為500秒。
實施例3
一種單晶矽片的制絨方法,採取如下製程步驟:
1)配置制絨添加劑:將15g聚乙二醇-400、1g苯甲酸鈉、2.5g檸檬酸、3g水解聚馬來酸酐、0.5g乙酸鈉,加入去離子水,得到100g制絨添加劑溶液。
2)配置制絨液:將100g的KOH溶于去離子水中,得到10kg鹹溶液;將步驟1)製成的100g制絨添加劑溶於鹹溶液中,得到制絨液。
3)制絨:將單晶矽片浸入步驟2)制得的制絨液中進行表面制絨,制絨溫度為80℃,制絨時間為700秒。
圖1為本實施例3得到的矽片表面絨面的掃描電子顯微鏡平面照片,從圖中可以看到矽片表面形成了均勻覆蓋的金字塔,金字塔覆蓋率高,尺寸較小,大約為1~4μm。
以上所述僅是本發明的較佳實施例,對於本技術領域具有通常知識的技術人員來說,在不脫離本發明技術原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本發明的保護範圍。

Claims (8)

  1. 一種單晶矽片制絨添加劑,其特徵在於,其組分包括:聚乙二醇、苯甲酸鈉、檸檬酸、水解聚馬來酸酐、乙酸鈉和餘量的水。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之單晶矽片制絨添加劑,其特徵在於,所述單晶矽片制絨添加劑中各組分的質量百分含量為:聚乙二醇1%~20%,苯甲酸鈉0.1%~2.0%,檸檬酸1.0%~5.0%,水解聚馬來酸酐1.0%~5.0%,乙酸鈉0.1%~1.0%,餘量為水。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之單晶矽片制絨添加劑,其特徵在於,所述水為去離子水。
  4. 一種用於單晶矽片制絨的制絨液,其特徵在於,其含有鹼溶液和申請專利範圍第3項中的單晶矽片制絨添加劑,所述單晶矽片制絨添加劑與鹼溶液的質量比為0.2~5:100,所述鹼溶液為無機鹼或有機鹼的水溶液。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之用於單晶矽片制絨的制絨液,其特徵在於,所述鹼溶液為0.5~3wt%的氫氧化鈉或氫氧化鉀水溶液。
  6. 一種單晶矽片的制絨方法,其特徵在於,利用請求項4或5所述的制絨液對單晶矽片進行表面制絨。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之單晶矽片的制絨方法,其特徵在於,所述表面制絨的制絨溫度為75~90℃,制絨時間為500~1500秒。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之單晶矽片的制絨方法,其特徵在於,其具體步驟包括:1)配置制絨添加劑:將質量百分比為1%~20%的聚乙二醇、0.1%~2.0%的苯甲酸鈉、1.0%~5.0%的檸檬酸、1.0%~5.0%的水解聚馬來酸酐、0.1%~1.0%的乙酸鈉加入到餘量的水中,混合均勻配成制絨添加劑;2)配置制絨液:將步驟1)製成的制絨添加劑加到鹼溶液中,混合均勻配成制絨液;所述制絨添加劑與鹼溶液的質量比為0.2~ 5:100;所述鹼溶液為無機鹼或有機鹼的水溶液;3)將單晶矽片浸入步驟2)製得的制絨液中進行表面制絨,制絨溫度為75~90℃,制絨時間為500~1500秒。
TW102148005A 2013-09-04 2013-12-24 Single crystal silicon chip velvet additive, velveteen and its velvet method TWI532824B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310394735.2A CN103451739B (zh) 2013-09-04 2013-09-04 单晶硅片制绒添加剂及其使用方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201416417A TW201416417A (zh) 2014-05-01
TWI532824B true TWI532824B (zh) 2016-05-11

Family

ID=49734557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102148005A TWI532824B (zh) 2013-09-04 2013-12-24 Single crystal silicon chip velvet additive, velveteen and its velvet method

Country Status (11)

Country Link
US (1) US9705016B2 (zh)
EP (1) EP2891637B1 (zh)
JP (1) JP2016532305A (zh)
KR (1) KR101613541B1 (zh)
CN (1) CN103451739B (zh)
ES (1) ES2584983T3 (zh)
LT (1) LT2891637T (zh)
MY (1) MY170623A (zh)
SG (1) SG11201405971YA (zh)
TW (1) TWI532824B (zh)
WO (1) WO2015032153A1 (zh)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103710705B (zh) * 2013-12-23 2016-01-20 北京合德丰材料科技有限公司 一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用
CN104576831B (zh) * 2014-12-31 2016-10-12 江苏顺风光电科技有限公司 一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂
CN104651949B (zh) * 2015-02-11 2017-09-29 常州君合科技股份有限公司 一种多晶硅片制绒添加剂
CN104988581A (zh) * 2015-08-04 2015-10-21 绍兴拓邦电子科技有限公司 一种高沸点单晶硅片喷洒制绒添加剂
CN105113009A (zh) * 2015-08-21 2015-12-02 合肥中南光电有限公司 一种环保型单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105133027A (zh) * 2015-08-21 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种小绒面单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105133023A (zh) * 2015-08-21 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种低挥发性单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105133026A (zh) * 2015-08-21 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种低损伤单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105154984A (zh) * 2015-08-21 2015-12-16 合肥中南光电有限公司 一种易清洗的单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105113016A (zh) * 2015-08-21 2015-12-02 合肥中南光电有限公司 一种去油去蜡单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105040108B (zh) * 2015-08-21 2017-11-17 浙江启鑫新能源科技股份有限公司 多晶硅太阳能电池的制绒方法
CN105133025A (zh) * 2015-08-21 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种高效单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105113014A (zh) * 2015-08-21 2015-12-02 合肥中南光电有限公司 一种除异味单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105113013A (zh) * 2015-08-21 2015-12-02 合肥中南光电有限公司 一种高效环保单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105113015A (zh) * 2015-08-21 2015-12-02 合肥中南光电有限公司 一种低反射率单晶硅片制绒液及其制备方法
CN105133030A (zh) * 2015-08-25 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种长效硅片制绒剂及其制备方法
CN105133031A (zh) * 2015-08-25 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种竹叶提取液硅片制绒剂及其制备方法
CN105133028A (zh) * 2015-08-25 2015-12-09 合肥中南光电有限公司 一种抗菌防霉硅片制绒剂及其制备方法
CN108630786A (zh) * 2016-06-27 2018-10-09 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法
CN106835288A (zh) * 2016-12-30 2017-06-13 德清丽晶能源科技有限公司 一种单晶硅片的制绒方法
CN106521636A (zh) * 2016-12-30 2017-03-22 德清丽晶能源科技有限公司 一种单晶硅片制绒添加剂
CN106833954B (zh) * 2017-01-23 2020-08-11 常州时创能源股份有限公司 单晶硅片制绒预清洗液的添加剂及其应用
CN109427930B (zh) * 2017-09-04 2022-02-25 苏州易益新能源科技有限公司 一种在晶体硅片表面选择性制备绒面的方法
CN107805845B (zh) * 2017-10-23 2020-06-09 常州时创能源股份有限公司 多晶黑硅的扩孔工艺
CN107964685A (zh) * 2017-10-27 2018-04-27 德清丽晶能源科技有限公司 一种单晶硅片的制绒方法
CN107964686A (zh) * 2017-10-27 2018-04-27 德清丽晶能源科技有限公司 一种用于单晶硅片制绒的制绒液
CN107955973A (zh) * 2017-10-27 2018-04-24 德清丽晶能源科技有限公司 一种电池用单晶硅片的制绒方法
CN107747131A (zh) * 2017-10-27 2018-03-02 德清丽晶能源科技有限公司 一种单晶硅片制绒添加剂
CN107747132A (zh) * 2017-10-27 2018-03-02 德清丽晶能源科技有限公司 一种太阳能电池单晶硅片的制绒方法
CN107964684A (zh) * 2017-10-27 2018-04-27 德清丽晶能源科技有限公司 一种太阳能电池用单晶硅片的制绒方法
CN107747126A (zh) * 2017-11-03 2018-03-02 通威太阳能(安徽)有限公司 一种单晶硅无醇制绒添加剂、制绒液及其使用方法
CN107955974B (zh) * 2018-01-09 2020-06-09 常州时创能源股份有限公司 倒金字塔绒面单晶硅片的制绒添加剂及其应用
CN108221057B (zh) * 2018-01-18 2020-05-08 西安润威光电科技有限公司 利用氧化石墨烯基晶硅制绒添加剂制备硅太阳能电池绒面的方法
CN108250363B (zh) * 2018-01-19 2020-04-10 温岭汉德高分子科技有限公司 一种单晶硅制绒添加剂
CN108219071B (zh) * 2018-01-19 2020-03-10 温岭汉德高分子科技有限公司 一种单晶硅片制绒用的硫酸软骨素-聚(乙烯基吡咯烷酮-乙烯基吡啶)共聚物的制备方法
CN108221050B (zh) * 2018-01-19 2019-12-31 温岭汉德高分子科技有限公司 一种具有双峰金字塔绒面结构的单晶硅片
CN108360071B (zh) * 2018-02-25 2020-11-20 温岭汉德高分子科技有限公司 一种低反射率单晶硅片的制绒方法
CN108660510A (zh) * 2018-05-10 2018-10-16 天津赤霄科技有限公司 一种新型单晶硅片制绒添加剂的制造及简单制绒方法
CN110042474A (zh) * 2019-05-18 2019-07-23 上海汉遥新材料科技有限公司 一种单晶硅太阳能电池制绒添加剂及其应用
CN110257072A (zh) * 2019-06-13 2019-09-20 常州时创能源科技有限公司 硅片单面制绒与边缘刻蚀用添加剂及其应用
CN110528086A (zh) * 2019-08-31 2019-12-03 绍兴拓邦电子科技有限公司 用于硅异质结太阳能电池的制绒添加剂及其制绒方法
CN111139531A (zh) * 2020-03-18 2020-05-12 常州时创能源股份有限公司 单晶硅片的制绒添加剂及其应用
CN111455467A (zh) * 2020-04-09 2020-07-28 中国科学院微电子研究所 单晶硅制绒添加剂、制绒方法以及绒面单晶硅片制备方法
CN111354840B (zh) * 2020-04-22 2020-11-03 一道新能源科技(衢州)有限公司 一种选择性发射极双面perc太阳能电池的制备方法
CN111593412B (zh) * 2020-05-25 2021-03-30 常州时创能源股份有限公司 单晶硅片链式制绒用添加剂及其应用
CN111593413A (zh) * 2020-06-30 2020-08-28 常州时创能源股份有限公司 单晶硅片链式机台制绒用添加剂及其应用
CN112080348A (zh) * 2020-09-29 2020-12-15 常州时创能源股份有限公司 硅片清洗用添加剂及其应用
CN113668066A (zh) * 2021-08-19 2021-11-19 常州时创能源股份有限公司 一种用于快速制绒的制绒添加剂及应用
CN114318549A (zh) * 2021-11-30 2022-04-12 嘉兴市小辰光伏科技有限公司 一种用于弱粗抛工艺的单晶硅制绒添加剂及使用方法
CN114318550A (zh) * 2021-12-15 2022-04-12 嘉兴市小辰光伏科技有限公司 一种单晶硅二次制绒的添加剂及其制绒工艺
CN115216301B (zh) * 2022-06-23 2023-08-29 嘉兴学院 一种用于单晶硅的制绒液及制绒方法
CN115478327B (zh) * 2022-09-23 2024-02-27 浙江奥首材料科技有限公司 一种单晶硅蚀刻制绒添加剂、及包含其的单晶硅蚀刻制绒液、其制备方法及应用
CN115820256B (zh) * 2022-11-25 2024-05-24 嘉兴市小辰光伏科技有限公司 用于提升太阳能电池绒面均匀性的添加剂及其使用工艺
CN116004233A (zh) * 2022-12-12 2023-04-25 嘉兴市小辰光伏科技有限公司 一种提升硅片绒面均整度的刻蚀添加剂及使用方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3901565B2 (ja) * 2002-04-15 2007-04-04 富士フイルム株式会社 感熱性平版印刷版用原板
DE102007058829A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Textur- und Reinigungsmedium zur Oberflächenbehandlung von Wafern und dessen Verwendung
JP2011515872A (ja) * 2008-03-25 2011-05-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 結晶太陽電池の表面クリーニング及び凹凸形成プロセス
US8329046B2 (en) 2009-02-05 2012-12-11 Asia Union Electronic Chemical Corporation Methods for damage etch and texturing of silicon single crystal substrates
US20120295447A1 (en) 2010-11-24 2012-11-22 Air Products And Chemicals, Inc. Compositions and Methods for Texturing of Silicon Wafers
CN102010796B (zh) * 2010-12-25 2012-02-15 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 太阳能多晶硅片清洗液
WO2013100318A1 (ko) * 2011-12-26 2013-07-04 동우화인켐 주식회사 결정성 실리콘 웨이퍼의 텍스쳐 에칭액 조성물 및 텍스쳐 에칭방법
US8986559B2 (en) * 2012-02-29 2015-03-24 Avantor Performance Materials, Inc. Compositions and methods for texturing polycrystalline silicon wafers
CN102586888A (zh) * 2012-03-15 2012-07-18 苏州先拓光伏科技有限公司 一种无醇单晶硅制绒添加剂
CN102978710A (zh) * 2012-08-13 2013-03-20 杭州道乐太阳能技术有限公司 一种硅太阳电池表面陷光结构及制备方式
CN102839427B (zh) * 2012-08-28 2015-01-21 揭阳中诚集团有限公司 单晶硅片制绒无醇添加剂及其使用方法
CN102888657B (zh) * 2012-10-22 2015-04-15 江苏荣马新能源有限公司 一种晶体硅太阳能电池片制绒剂用添加剂
CN102952650B (zh) * 2012-11-16 2014-07-02 绍兴拓邦电子科技有限公司 一种太阳能电池硅片清洗剂及其清洗工艺
CN102912451B (zh) * 2012-11-21 2016-01-20 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司 一种单晶硅片制绒添加剂
CN103132079B (zh) * 2013-02-07 2015-07-08 睿纳能源科技(上海)有限公司 一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及使用方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103451739B (zh) 2016-01-20
MY170623A (en) 2019-08-21
WO2015032153A1 (zh) 2015-03-12
ES2584983T3 (es) 2016-09-30
US9705016B2 (en) 2017-07-11
EP2891637A4 (en) 2015-08-26
KR20150056748A (ko) 2015-05-27
US20160284880A1 (en) 2016-09-29
JP2016532305A (ja) 2016-10-13
EP2891637B1 (en) 2016-06-01
SG11201405971YA (en) 2015-04-29
EP2891637A1 (en) 2015-07-08
TW201416417A (zh) 2014-05-01
LT2891637T (lt) 2016-10-10
KR101613541B1 (ko) 2016-04-19
CN103451739A (zh) 2013-12-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI532824B (zh) Single crystal silicon chip velvet additive, velveteen and its velvet method
CN104576831B (zh) 一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂
TWI526522B (zh) Polycrystalline silicon wafer velvet additive, velveteen and its velvet method
CN106222756A (zh) 用于金刚线切割单晶硅片制绒的添加剂及其应用方法
CN102912451A (zh) 一种低成本单晶硅片制绒添加剂
TWI612128B (zh) 紋理蝕刻液組成物及結晶矽晶圓紋理蝕刻方法
CN103774239B (zh) 一种单晶硅硅片清洗制绒工艺
CN102787361B (zh) 一种用于单晶硅制绒液的添加剂
CN104120495A (zh) 一种用于单晶硅表面织构化的制绒液及其制备方法
CN101950780B (zh) 选择性发射极太阳电池的制备方法
CN110534595A (zh) 一种perc双面太阳能电池及其制备方法
CN106277822A (zh) 硅纳米柱状阵列材料及其制备方法
CN102888657B (zh) 一种晶体硅太阳能电池片制绒剂用添加剂
TW201249964A (en) Texture etching solution composition and texture etching method of crystalline silicon wafers
CN103643289A (zh) 基于化学刻蚀的单晶硅表面结构及其制备及应用
CN103594556B (zh) 在硅基材表面形成二氧化硅薄膜的方法、晶体硅电池的制备方法及晶体硅电池
CN107359213B (zh) 光伏电池光电转换效率综合提高方法
TWI589655B (zh) 結晶矽鹼性拋光液的添加劑及其應用
CN102912450B (zh) 一种单晶硅制绒添加剂
CN102732886A (zh) 太阳能单晶硅片的制绒液及其制备方法
CN106810082A (zh) 一种太阳能薄膜增透膜的制备方法
CN102330155B (zh) 一种单晶硅片制绒助剂及制造和使用方法
CN106299137A (zh) 一种全固态钙钛矿太阳能电池的制备方法
CN104393067B (zh) 一种纳米结构太阳电池及其制备方法
Cao et al. Antireflection effect of SiO2 thin film on the pyramidal textured surface of monocrystalline silicon