CN112080348A - 硅片清洗用添加剂及其应用 - Google Patents
硅片清洗用添加剂及其应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112080348A CN112080348A CN202011047269.7A CN202011047269A CN112080348A CN 112080348 A CN112080348 A CN 112080348A CN 202011047269 A CN202011047269 A CN 202011047269A CN 112080348 A CN112080348 A CN 112080348A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cleaning
- silicon wafer
- alkali
- additive
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 102
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 64
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 64
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 239000000654 additive Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 title claims abstract description 48
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 65
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 58
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 57
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 229920001661 Chitosan Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229940051841 polyoxyethylene ether Drugs 0.000 claims abstract description 15
- 229920000056 polyoxyethylene ether Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims abstract description 15
- WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M sodium benzoate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 15
- 235000010234 sodium benzoate Nutrition 0.000 claims abstract description 15
- 239000004299 sodium benzoate Substances 0.000 claims abstract description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 68
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical group [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 51
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 24
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 9
- 150000007529 inorganic bases Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 abstract description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000004945 emulsification Methods 0.000 description 1
- 230000001804 emulsifying effect Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 238000005063 solubilization Methods 0.000 description 1
- 230000007928 solubilization Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D1/00—Detergent compositions based essentially on surface-active compounds; Use of these compounds as a detergent
- C11D1/66—Non-ionic compounds
- C11D1/72—Ethers of polyoxyalkylene glycols
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/02—Inorganic compounds ; Elemental compounds
- C11D3/04—Water-soluble compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/02—Inorganic compounds ; Elemental compounds
- C11D3/04—Water-soluble compounds
- C11D3/044—Hydroxides or bases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
- C11D3/2003—Alcohols; Phenols
- C11D3/2065—Polyhydric alcohols
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
- C11D3/2075—Carboxylic acids-salts thereof
- C11D3/2079—Monocarboxylic acids-salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/20—Organic compounds containing oxygen
- C11D3/22—Carbohydrates or derivatives thereof
- C11D3/222—Natural or synthetic polysaccharides, e.g. cellulose, starch, gum, alginic acid or cyclodextrin
- C11D3/227—Natural or synthetic polysaccharides, e.g. cellulose, starch, gum, alginic acid or cyclodextrin with nitrogen-containing groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/37—Polymers
- C11D3/3746—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C11D3/3753—Polyvinylalcohol; Ethers or esters thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Emergency Medicine (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
本发明公开了一种硅片清洗用添加剂,其各组分的质量百分含量为:苯甲酸钠2%~5%,壳聚糖1%~2%,脂肪醇聚氧乙烯醚0.5%~1%,丙三醇1%~3%,聚乙烯醇1%~3%,余量为水。在制绒工序前段进行前清洗操作时,在硅片的清洗液中加入本发明的添加剂,能减少清洗液中双氧水和碱的用量,在实际生产中,能达到降低两者原始用量的80%的水平,并且使电池效率略有提升,还能有效去除硅片表面残留的油污、手指印、粉尘等脏污,提升硅片外观洁净度和电池片良率。
Description
技术领域
本发明涉及光伏领域,具体涉及一种硅片清洗用添加剂及其应用。
背景技术
在太阳能电池的生产过程中,为了提高光的转换效率,需要对硅片进行制绒,而为了获得外观均匀干净无脏污、绒面大小规整排列整齐的硅片,需要在制绒工序前段进行前清洗操作,通过前清洗操作去除硅片表面残留的油污、粉尘、粘棒胶、手指印等影响制绒的物质。
在目前的前清洗操作中,硅片的清洗液一般采用添加了双氧水的碱溶液(如氢氧化钠溶液)。为了达到清洗效果,需要采用大量的双氧水和碱对硅片进行清洗操作,这提高了前清洗操作的成本。而且清洗液所用的碱为强碱,双氧水为强氧化剂,故清洗后的废水需要多步处理,清洗液中双氧水和碱的含量大,这也增加了废水处理的成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片清洗用添加剂及其应用,在硅片的清洗液中加入本发明的添加剂,可减少清洗液中双氧水和碱的用量,降低清洗成本,还能有效去除硅片表面残留的油污、手指印、粉尘等脏污,提升硅片外观洁净度和电池片良率。
为实现上述目的,本发明提供一种硅片清洗用添加剂,其各组分的质量百分含量为:苯甲酸钠2%~5%,壳聚糖1%~2%,脂肪醇聚氧乙烯醚0.5%~1%,丙三醇1%~3%,聚乙烯醇1%~3%,余量为水。
优选的,所述的硅片清洗用添加剂,其各组分的质量百分含量为:苯甲酸钠3%~4%,壳聚糖1%~1.5%,脂肪醇聚氧乙烯醚0.5%~0.8%,丙三醇1%~2%,聚乙烯醇2%~3%,余量为水。
本发明还提供一种硅片清洗用清洗液,其含有碱溶液和上述的添加剂,添加剂与碱溶液的质量比为0.1~2:100;碱溶液为无机碱的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水。
优选的,所述碱溶液中含有0.06~0.1wt%的无机碱以及0.9~1.5wt%的双氧水。
优选的,所述无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾。
本发明还提供一种硅片清洗方法,利用上述的清洗液对硅片进行清洗。
优选的,所述的硅片清洗方法,其具体步骤包括:
1)配制添加剂:将质量百分含量为2%~5%的苯甲酸钠、1%~2%的壳聚糖、0.5%~1%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%~3%的丙三醇、1%~3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
2)配制清洗液:将步骤1)制成的添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成清洗液;添加剂与碱溶液的质量比为0.1~2:100;碱溶液为无机碱的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水;无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾;
3)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于50~70℃清洗100~200s。
优选的,步骤1)中,将质量百分含量为3%~4%的苯甲酸钠、1%~1.5%的壳聚糖、0.5%~0.8%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%~2%的丙三醇、2%~3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂。
优选的,步骤2)中,所述碱溶液中含有0.06~0.1wt%的氢氧化钠或氢氧化钾以及0.9~1.5wt%的双氧水。
优选的,步骤3)中,将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于60~65℃清洗100~150s。
本发明的优点和有益效果在于:提供一种硅片清洗用添加剂及其应用,在硅片的清洗液中加入本发明的添加剂,可减少清洗液中双氧水和碱的用量,降低清洗成本,还能有效去除硅片表面残留的油污、手指印、粉尘等脏污,提升硅片外观洁净度和电池片良率。
脂肪醇聚氧乙烯醚能降低清洗液的表面张力,使溶液对脏污具有良好的润湿和渗透效果,将吸附在硅片表面的脏污能够有效剥离,并且通过乳化和增溶作用提高脏污在清洗液中的溶解和稳定状态,防止脏污在硅片表面的二次吸附,影响清洗效果。
苯甲酸钠具有良好的杀菌防腐效果,能够有效提高提高添加剂/清洗液的稳定性,延长添加剂/清洗液的保质期。
壳聚糖能通过分子中的氨基、羟基与金属离子形成稳定的螯合物,可用于硅片表面金属离子的去除,降低硅片表面杂质金属含量,减少杂质金属离子对电池的影响,并且壳聚糖本身无毒,可生物降解,在废水处理过程中,不会造成二次污染。
丙三醇具有一定的扩散和渗透作用,能够促进清洗液对脏污的清洗力,加强脏污在硅片表面的剥离程度。
聚乙烯醇具有乳化作用,降低溶液中各组分的界面张力,阻止脏污颗粒的彼此团聚现象的发生,提高溶液对脏污的分散作用。
在制绒工序前段进行前清洗操作时,在硅片的清洗液中加入本发明的添加剂,能减少清洗液中双氧水和碱的用量,可将清洗液中碱(氢氧化钠或氢氧化钾)的含量降低至0.06wt%,双氧水的含量降低至0.9wt%,在实际生产中,能达到降低两者原始用量的80%的水平,并且使电池效率略有提升,还能有效去除硅片表面残留的油污、手指印、粉尘等脏污,提高硅片的外观洁净度的良率。
附图说明
图1是实施例1对手指印去除效果的示图;
图2是对比例1对手指印去除效果的示图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
本发明在制绒工序前段对硅片进行前清洗操作,具体步骤包括:
1)配制添加剂:将质量百分含量为2%~5%的苯甲酸钠、1%~2%的壳聚糖、0.5%~1%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%~3%的丙三醇、1%~3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
2)配制清洗液:将步骤1)制成的添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成清洗液;添加剂与碱溶液的质量比为0.1~2:100;碱溶液为无机碱的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水;碱溶液中含有0.06~0.1wt%的无机碱以及0.9~1.5wt%的双氧水;无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾;
3)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于50~70℃清洗100~200s。
优选的,步骤1)中,将质量百分含量为3%~4%的苯甲酸钠、1%~1.5%的壳聚糖、0.5%~0.8%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%~2%的丙三醇、2%~3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂。
优选的,步骤3)中,将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于60~65℃清洗100~150s。
本发明的具体实施例如下:
实施例1
在制绒工序前段对有手指印的硅片进行前清洗操作,具体步骤包括:
1)配制添加剂:将质量百分含量为3.5%的苯甲酸钠、1.2%的壳聚糖、0.5%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1.8%的丙三醇、2.2%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
2)配制清洗液:将步骤1)制成的添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成清洗液;添加剂与碱溶液的质量比为0.5:100;碱溶液为氢氧化钠的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水;碱溶液中含有0.06wt%的氢氧化钠以及0.9wt%的双氧水;
3)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于60℃清洗120s。
实施例2
在制绒工序前段对有手指印的硅片进行前清洗操作,具体步骤包括:
1)配制添加剂:将质量百分含量为5%的苯甲酸钠、2%的壳聚糖、1%的脂肪醇聚氧乙烯醚、3%的丙三醇、1%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
2)配制清洗液:将步骤1)制成的添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成清洗液;添加剂与碱溶液的质量比为2:100;碱溶液为氢氧化钠的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水;碱溶液中含有0.1wt%的氢氧化钠以及1.5wt%的双氧水;
3)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于68℃清洗100s。
实施例3
在制绒工序前段对有手指印的硅片进行前清洗操作,具体步骤包括:
1)配制添加剂:将质量百分含量为2%的苯甲酸钠、1%的壳聚糖、0.5%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%的丙三醇、3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
2)配制清洗液:将步骤1)制成的添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成清洗液;添加剂与碱溶液的质量比为0.1:100;碱溶液为氢氧化钠的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水;碱溶液中含有0.08wt%的氢氧化钠以及1wt%的双氧水;
3)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于68℃清洗120s。
对比例1
在制绒工序前段对有手指印的硅片进行前清洗操作,具体步骤包括:
1)配制清洗液:将双氧水加入碱溶液中,混合均匀配成清洗液;碱溶液为氢氧化钠的水溶液,清洗液中含有0.5wt%的氢氧化钠以及10wt%的双氧水;
2)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于68℃清洗120s。
在硅片脏污的去除性能比较中,通过人为按压手指印来进行去污能力的比较。图1为实施例1清洗后的硅片外观(实施例2和实施例3对手指印去除效果,与实施例1基本相当,故不再另外给出实施例2和实施例3清洗后的硅片外观示图),图2为对比例1清洗后的硅片外观。从图1中可以发现,清洗液中加入本发明的添加剂,清洗后硅片中间按压过的手指印基本消失。从图2中可以发现,清洗液中未加入本发明的添加剂,清洗后硅片手指印明显发白,去除效果不明显。
另外,将实施例1至3和对比例1清洗后的硅片制成电池片,性能对比如下表:
通过外观和性能对比可知,在制绒工序前段进行前清洗操作时,在硅片的清洗液中加入本发明的添加剂,能减少清洗液中双氧水和碱的用量,且本发明最终所得电池片的电池效率不低于传统清洗方式的电池效率,并且在效率不受影响的同时,本发明有效降低了清洗成本,将成本降到了原有的25%的水平,降低了原料消耗,减少了污水排放对环境造成的影响。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.硅片清洗用添加剂,其特征在于,其各组分的质量百分含量为:苯甲酸钠2%~5%,壳聚糖1%~2%,脂肪醇聚氧乙烯醚0.5%~1%,丙三醇1%~3%,聚乙烯醇1%~3%,余量为水。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗用添加剂,其特征在于,其各组分的质量百分含量为:苯甲酸钠3%~4%,壳聚糖1%~1.5%,脂肪醇聚氧乙烯醚0.5%~0.8%,丙三醇1%~2%,聚乙烯醇2%~3%,余量为水。
3.硅片清洗用清洗液,其特征在于,其含有碱溶液和权利要求1所述的添加剂,添加剂与碱溶液的质量比为0.1~2:100;碱溶液为无机碱的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水。
4.根据权利要求3所述的硅片清洗用清洗液,其特征在于,所述碱溶液中含有0.06~0.1wt%的无机碱以及0.9~1.5wt%的双氧水。
5.根据权利要求4所述的硅片清洗用清洗液,其特征在于,所述无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾。
6.硅片清洗方法,其特征在于,利用权利要求3、4或5所述的清洗液对硅片进行清洗。
7.根据权利要求6所述的硅片清洗方法,其特征在于,其具体步骤包括:
1)配制添加剂:将质量百分含量为2%~5%的苯甲酸钠、1%~2%的壳聚糖、0.5%~1%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%~3%的丙三醇、1%~3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂;
2)配制清洗液:将步骤1)制成的添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成清洗液;添加剂与碱溶液的质量比为0.1~2:100;碱溶液为无机碱的水溶液,且碱溶液中配入了双氧水;无机碱为氢氧化钠或氢氧化钾;
3)将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于50~70℃清洗100~200s。
8.根据权利要求7所述的硅片清洗方法,其特征在于,步骤1)中,将质量百分含量为3%~4%的苯甲酸钠、1%~1.5%的壳聚糖、0.5%~0.8%的脂肪醇聚氧乙烯醚、1%~2%的丙三醇、2%~3%的聚乙烯醇加入到余量的水中,混合均匀配成添加剂。
9.根据权利要求7所述的硅片清洗方法,其特征在于,步骤2)中,所述碱溶液中含有0.06~0.1wt%的氢氧化钠或氢氧化钾以及0.9~1.5wt%的双氧水。
10.根据权利要求7所述的硅片清洗方法,其特征在于,步骤3)中,将硅片置入步骤2)制得的清洗液中,于60~65℃清洗100~150s。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011047269.7A CN112080348A (zh) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 硅片清洗用添加剂及其应用 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011047269.7A CN112080348A (zh) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 硅片清洗用添加剂及其应用 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112080348A true CN112080348A (zh) | 2020-12-15 |
Family
ID=73739076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011047269.7A Pending CN112080348A (zh) | 2020-09-29 | 2020-09-29 | 硅片清洗用添加剂及其应用 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112080348A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114854501A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-05 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅片清洗用添加剂及其应用 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101735903A (zh) * | 2008-11-04 | 2010-06-16 | 江阴市润玛电子材料有限公司 | 一种太阳能光伏专用电子清洗剂 |
CN103451739A (zh) * | 2013-09-04 | 2013-12-18 | 常州时创能源科技有限公司 | 单晶硅片制绒添加剂及其使用方法 |
CN106833954A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-06-13 | 常州时创能源科技有限公司 | 单晶硅片制绒预清洗液的添加剂及其应用 |
-
2020
- 2020-09-29 CN CN202011047269.7A patent/CN112080348A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101735903A (zh) * | 2008-11-04 | 2010-06-16 | 江阴市润玛电子材料有限公司 | 一种太阳能光伏专用电子清洗剂 |
CN103451739A (zh) * | 2013-09-04 | 2013-12-18 | 常州时创能源科技有限公司 | 单晶硅片制绒添加剂及其使用方法 |
CN106833954A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-06-13 | 常州时创能源科技有限公司 | 单晶硅片制绒预清洗液的添加剂及其应用 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
陆婉珍: "《工业水处理技术 第3册》", 30 June 2000, 中国石化出版社 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114854501A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-05 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅片清洗用添加剂及其应用 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102304444B (zh) | 环保型太阳能级硅片水基清洗剂 | |
CN111509077B (zh) | 单晶硅片制绒方法 | |
CN105039006B (zh) | 一种用于太阳能级硅片的清洗剂及其制备方法 | |
CN102343352B (zh) | 一种太阳能硅片的回收方法 | |
CN102181935B (zh) | 一种制作单晶硅绒面的方法及腐蚀液 | |
CN103426744A (zh) | 用于硅片制绒的组合物和方法 | |
CN110922970A (zh) | 一种perc电池背抛光添加剂及工艺 | |
CN101935884A (zh) | 一种制备绒面多晶硅片的方法 | |
CN102403251B (zh) | 一种晶体硅片预清洗液及其预清洗工艺 | |
CN114317135B (zh) | 一种太阳能硅片制绒后的清洗剂及其清洗工艺 | |
CN111560249A (zh) | 一种perc电池碱抛光添加剂制备方法 | |
CN114292708A (zh) | 用于太阳能电池制绒前清洗的硅片清洗剂及使用方法 | |
CN110828299A (zh) | 一种制绒清洗方法及异质结电池 | |
CN112080348A (zh) | 硅片清洗用添加剂及其应用 | |
CN112940875A (zh) | 太阳能电池硅片清洗剂和太阳能电池硅片清洗方法 | |
CN109537058A (zh) | 湿法黑硅制备工艺 | |
CN106833954B (zh) | 单晶硅片制绒预清洗液的添加剂及其应用 | |
CN110165018A (zh) | 一种下降漏电提升效率的多晶清洗工艺 | |
CN111105995A (zh) | 一种单晶硅片的清洗及制绒方法 | |
CN107516693A (zh) | 一种晶硅太阳能电池抛光片的加工方法 | |
CN107275423B (zh) | 一种提升黑硅电池转换效率的处理方法 | |
CN112143573B (zh) | 硅片碱抛后清洗用添加剂及其应用 | |
CN111117623A (zh) | 一种酸性刻蚀辅助剂及其制备方法 | |
CN105505643A (zh) | 一种硅片清洗剂及硅片清洗方法 | |
CN109148262A (zh) | 一种太阳能多晶黑硅片的清洗方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |