TWI519771B

TWI519771B - 壓力檢測器

Info

Publication number: TWI519771B
Application number: TW102102595A
Authority: TW
Inventors: 深野喜弘; 內野正
Original assignee: Ｓｍｃ股份有限公司
Priority date: 2012-02-09
Filing date: 2013-01-24
Publication date: 2016-02-01
Also published as: JP2013160747A; US9164008B2; KR101456840B1; CN103245456A; TW201337227A; CN103245456B; DE102013100889B8; KR20130092464A; US20130205907A1; DE102013100889A1; DE102013100889B4; JP5594541B2

Description

壓力檢測器

本發明係關於一種用於檢測流經流動通道內部之流體壓力的壓力檢測器。

至目前為止，舉例來說，在半導體製造等等之製程中，會使用由化學物質與純水等等組成之液體，且壓力檢測器係被連接至經由其而使液體流動之管件，藉此可藉由該壓力檢測器對流經管件內部之液體壓力來實施測量。

此壓力檢測器之一種類型係例如揭示在日本特許公開專利公告案第11-512827號(PCT)(專利文獻1)，其中圓盤狀薄膜係設置在被安置在內部的壓力感測器與開孔部分之間，該壓力感測器係被連接至可使腐蝕性液體流經其中之流體流動迴路，且該開孔部分係可使該腐蝕性液體流入，藉此使該壓力感測器與腐蝕性液體隔開且防止與該腐蝕性液體直接接觸。在此情況中，經由該圓盤狀薄膜所傳輸之流體壓力便可以藉由該壓力感測器來予以檢測。

再者，在日本特許公開專利公告案第 09-166512號(專利文獻2)中揭示一種流體壓力感測器，其中該壓力感測器係內建於管件接頭中，且該壓力感測器係藉由隔膜而與流體隔開，該隔膜係安置在該壓力感測器與可使壓力流體流經其中之流動通道之間。

再者，在日本特許公開專利公告案第2005-207946號(專利文獻3)中所揭示之壓力感測器中，其提供凹入的上表面，該凹入的上表面係定位在連接於上游側連接埠與下游側連接埠之間之流動通道的中間部分處，且藉由將感測器主體之壓力接收表面配置成面向該流動通道之開口(其敞開於該凹入上表面之頂部部分)來實施流體壓力測量。

然而，就揭示在專利文獻1中之習知技術而言，由於該圓盤狀薄膜被配置在相對於使腐蝕性液體於其中流動之該開孔部分之向上偏移位置，因此在開孔部分與該圓盤狀薄膜之間產生閒置空間。此外，同樣地，在專利文獻2中揭示之習知技術中，在該隔膜與流體通道之間會產生閒置空間。由於此閒置空間，會阻礙到流體順暢流動，且在閒置空間內可能會發生液體蓄積或卡住碎屑等等問題。基於此一理由，若此一壓力檢測器被用於測量在半導體製造裝置中使用之流體(諸如超純水等等)之壓力，則在該閒置空間內可能會產生細菌等等。此外，氣泡(空氣)亦會很容易地附著於閒置空間內部，使得由於此空氣氣泡而出現空氣集中的現象，而無法執行高精密度的壓力測量。

在另一方面，就專利文獻3中揭示之習知技術而言，為了避免上述閒置空間的問題，而在流動通道之中心提供山形彎曲部分。然而，由於在流經該彎曲部分之流體中會出現流動通道阻力，且增加壓力損失，且進而無法確保充分的流動速率。

再者，就專利文獻1至3中揭示之壓力檢測器而言，在可使流體於其中流動之流動通道與壓力感測器本身之間的距離係極短的，且再者，由於壓力感測器係配置成例如僅藉由圓盤狀薄膜或隔膜等等而與流體隔開，在流體之溫度出現變化的情況中，存在的問題係此一變化會不利地影響由該壓力感測器所進行的壓力測量。

本發明之主要目的係要提供一種壓力檢測器，其可避免於其中產生會妨礙流體順暢流動之閒置空間，且其可藉由防止流體之溫度變化之影響而使流體之壓力測量能以高準確度來實施。

本發明係關於一種壓力檢測器，其包括：本體，其具有可供流體於其中流動之流動通道；感測器腔室，其設置在該本體中且壓力感測器被配置於其中；及穿孔，其從該流動通道延伸至該感測器腔室。壓力傳輸本體被安置在該穿孔中且可沿著軸向方向在該穿孔中位移，使得該壓力傳輸本體係可將流體之壓力傳輸至該壓力感測器。該壓力傳輸本體之一端部在該穿孔中延伸至該流動通道之側上的端部，使得該一端部係恆定地曝露於該流體。

依照本發明，在該壓力檢測器中，該壓力傳輸本體係可位移地安置在穿孔中，該穿孔係在流體可於其中流動之該流動通道與該壓力感測器被安置於其中之該感測器腔室之間連通。此外，該壓力傳輸本體之一端部在該穿孔中延伸至該流動通道之側上的一端部，且該一端部係恆定地曝露於該流體。因此，可防止在穿孔中產生閒置空間，且能可靠地防止由於此閒置空間而造成液體蓄積或氣泡產生，進而能以高精確度來實施壓力檢測。此外，由於壓力感測器可被安置在與該流體隔開的位置，因此可防止由於流體之溫度而使該壓力感測器之檢測準確度變差，使得能以高準確度來執行壓力檢測。

本發明上述及其他目的、特徵及優點將可從以下的說明並配合所附圖式來獲得瞭解，其中本發明之較佳實施例係藉由圖解說明的實例展示在諸圖式中。

10、100、120‧‧‧壓力檢測器

12‧‧‧第一埠

14‧‧‧第二埠

16‧‧‧本體

18‧‧‧壓力感測器

20‧‧‧罩蓋構件

22a、22b‧‧‧緊固構件

24‧‧‧螺紋

26‧‧‧管件

28‧‧‧流動通道

30‧‧‧穿孔

32‧‧‧桿狀構件(壓力傳輸本體)

34‧‧‧感測器腔室

36‧‧‧主體部分

38‧‧‧頭部

40‧‧‧密封安裝部分

42、122‧‧‧密封構件

44‧‧‧基底區段

46‧‧‧外邊緣區段

48、124‧‧‧裙部區段

50‧‧‧第一突部(環狀突部)

51‧‧‧環狀凹槽

52a、52b‧‧‧第二突部(環形突部)

53‧‧‧開孔

54‧‧‧固持件

56‧‧‧第三突部(環狀突部)

58‧‧‧第四突部(環狀突部)

60‧‧‧感測器元件

62‧‧‧端子

64‧‧‧電路板

66‧‧‧螺栓

68‧‧‧提取孔

70‧‧‧壓迫構件

72‧‧‧螺帽

74‧‧‧導線

102‧‧‧壓力傳輸本體

104‧‧‧桿狀構件

106‧‧‧密封構件

第1圖係依照本發明之第一實施例之壓力檢測器的整體橫截面視圖；第2圖係在第1圖之壓力檢測器中從桿狀構件與一密封構件上方觀看的外部立體視圖；第3圖係在第1圖之壓力檢測器中在密封構件之外部邊緣附近的區域C的放大橫截面視圖；第4圖係在第1圖之壓力檢測器中在桿狀構件之頭部附近的區域B的放大橫截面視圖；第5圖係依照本發明之第二實施例之壓力檢測器的整體橫截面視圖；及第6圖係依照本發明之第三實施例之壓力檢測器的整體橫截面視圖。

如第1至4圖所示，該壓力檢測器10包括：本體16，其具有第一及第二埠12、14，壓力流體可經由該第一及第二埠而供應及排放；壓力感測器18，其被安置在該本體16之上方部分；及罩蓋構件20，其封閉及塞住該本體16之上方部分。針對上述壓力流體而言，例如可使用化學液體或純水，其係使用在半導體製造裝置中。

該本體16係例如由樹脂材料所製成。該第一埠12敞開於該本體16的一側，而該第二埠14敞開於該本體16之另一側。該第一及第二埠12、14係水平地敞開，且在其外周面上係刻有螺紋24，以供緊固構件22a、22b可與其相螺合。

此外，在管件26已分別被插入於該第一及第二埠12、14之外周側上之後，管件26係藉由圓柱狀緊固構件22a、22b(上述管件26已被插入其中)與螺紋24之螺合而分別地緊固且連接至第一及第二埠12、14。

未圖示之壓力流體供應源係例如經由管件26而連接至第一埠12，而針對壓力流體所需要的單獨裝置係經由管件26而連接至第二埠14。

在第一埠12與第二埠14之間，流動通道28係形成直線以連接該兩個埠，且使得第一埠12與第二埠14處在與流動通道28相連通的狀態。

此外，在本體16中係形成有穿孔30，其沿著相對於流動通道28朝向上方向垂直地延伸，且其係形成在該流動通道28之大約中央部分。桿狀構件(壓力傳輸本體)32係可位移地插入至穿孔30中。該穿孔30係形成有沿著該軸向方向之實質上為恆定的直徑，且藉由從該流動通道28延伸至感測器腔室34(其係形成在本體16之上方部分上)，在流動通道28與感測器腔室34之間建立相互連通。

該桿狀構件32係由彈性樹脂材料形成之軸桿狀本體所構成，該軸桿狀本體形成有實質上恆定的直徑，該桿狀構件係可位移地插入於該穿孔30中。該桿狀構件32包含軸桿狀主體部分36及頭部38，該頭部係形成在主體部分36之上方部分上。該主體部分36具有外徑，其實質上與穿孔30之內徑相同，而該頭部38係形成圓盤狀，其直徑係沿著相對於主體部分36之徑向朝外方向擴大。

該主體部分36之軸向長度係被形成為略長於穿孔30之軸向長度，使得主體部分36之下端部被安置在介於穿孔30與流動通道28之間的邊界區域。因此，在穿孔30內部，並未產生可使壓力流體流入其中的閒置空間。此外，桿狀構件32之頭部38的上方部分係形成有彎曲形狀，其沿向上方向凸狀地突出。

再者，就桿狀構件32之材料而言，可相應於流經流動通道28之壓力流體的類型來使用具有防水或化學抗性之材料。

該感測器腔室34係形成為有底的形狀且朝向上方向上敞開。在其底部處係形成有密封安裝部分40，其朝向該流動通道28之側凹進。例如由彈性材料形成之密封構件42係安裝在該密封安裝部分40上。

該密封構件42係由諸如橡膠等等彈性材料所製成，且包括環形基底區段44、形成在基底區段44之外周側上且相對於基底區段44垂直地突出的外邊緣區段46、以及相對於基底區段44徑向朝內延伸之薄膜狀裙部區段48。該密封構件42可由諸如特夫綸(Teflon，註冊商標)等等之彈性材料所形成。

該基底區段44係例如形成為具有預定厚度的平板。該基底區段44抵靠於密封安裝部分40之底部表面，而壓力感測器18抵靠於基底區段44之上表面。更特定言之，該基底區段44係被夾持在壓力感測器18與密封安裝部分40之間。

此外，如第3圖所示，第一突部(環狀突部)50(其橫截面呈半圓形)係向下突出在基底區段44之下表面上且抵靠於該密封安裝部分40之底部表面。因為如此，所以可以藉由第一突部50來防止壓力流體從本體16與密封構件42之基底區段44之間洩漏。

該外邊緣區段46係插入至形成在該密封安裝部分40中之環狀凹槽51中，且在其外周面上形成有一對第二突部(環形突部)52a、52b，且抵靠於該環狀凹槽51之壁表面。第二突部52a、52b係例如呈半圓形橫截面且在相對於外邊緣區段46之外周面的徑向朝外方向上突出，且彼此相互地隔開。此外，藉由將第二突部52a、52b抵靠於環狀凹槽51，可以防止壓力流體朝向感測器腔室34之側而從環狀凹槽51與密封構件42之外邊緣區段46之間通過。

開孔53(見第4圖)係形成在裙部區段48的中心，且該桿狀構件32係插入穿過該開孔53。此外，在密封構件42被安裝在密封安裝部分40上的狀態中，該外邊緣區段46係經由稍後將說明之固持件54而相對於本體16被固定，且該裙部區段48係由於被夾持於桿狀構件32之頭部38與本體16之間而被固持。

再者，如第4圖所示，在裙部區段48中之開孔53的附近係形成有環形第三突部(環狀突部)56，其從該下表面向下突出，且形成有環形第四突部(環狀突部)58，其係從該裙部區段48之上表面向上突出。此外，該第三突部56係抵靠於本體16之密封安裝部分40，使得可以防止壓力流體從密封安裝部分40與裙部區段48之間洩漏。在另一方面，藉由將第四突部58抵靠於桿狀構件32之頭部38，可以防止壓力流體從裙部區段48與頭部38之間洩漏。

該壓力感測器18係例如可以將來自於外部之壓迫力轉換成電信號且輸出該電信號。該壓力感測器18係具有被安置在密封構件42之上方部分與該桿狀構件32上的感測器腔室34中之感測器元件60及被連接至感測器元件60的端子62。端子62亦被電連接至電路板64。導線74係連接至電路板64以將藉由壓力感測器18所檢測之壓力值輸出至外部。

該感測器元件60係被安置成使得該桿狀構件32之頭部38抵靠於其下表面之中央部分，其用以作為壓力接收表面以接收壓迫力，而該密封構件42之基底區段44係抵靠於其周邊部分。此外，該感測器元件60係藉由固持件54而固定在感測器腔室34的內部，該電路板64係藉由螺栓66而被緊固至該固持件。

該罩蓋構件20係連接至本體16之上方部分以覆蓋該感測器腔室34，且在其中央部分係形成有提取孔68，導線74係可穿過該提取孔而插入。藉由導線74插入穿過提取孔68，且藉由將其上之螺帽72與壓迫構件70緊固在一起，該導線74可相對於罩蓋構件20而被固定。

依照本發明之第一實施例之壓力檢測器10基本上係如上述建構而成。接下來，將說明該壓力檢測器10之操作與優點。

首先，在壓力流體未流經本體16之流動通道28的初始狀態中，由於來自於壓力流體之壓迫力未施加在桿狀構件32之下端部上，因此該桿狀構件32並未受到壓迫且位移朝向該壓力感測器18之側，且該壓力感測器18係處在未受到該頭部38壓迫的狀態中。因此，壓力感測器18並未檢測出任何壓力。

接下來，當壓力流體被供應至在上游側的第一埠12且該壓力流體通過流動通道28且流動至第二埠14時，由於在流動通道28內部的壓力流體之壓力，該桿狀構件32之下端部會被向上壓迫，且該桿狀構件32在軸向方向沿該穿孔30被壓縮。因此，該壓力感測器18之感測器元件60受到桿狀構件32之頭部38所壓迫，且基於該壓迫力(壓力量)，電信號係藉由該感測器元件60而從端子62被輸出至電路板64。因此，壓力流體之壓力便在壓力感測器18中被檢測，且經由導線74而輸出至外部。

在另一方面，從上述的狀態，在壓力流體之壓力減小的情況中，由流體壓抵於該桿狀構件32之壓迫力會減小。由於此一減小，該桿狀構件32之向上壓縮狀態會被釋放，且在壓力感測器18上的壓迫力(壓力量)會降低。因此，基於該壓迫力之電信號便從壓力感測器18被輸出，藉此便可確認壓力流體之壓力已被降低。

更特定言之，該桿狀構件32被安置成沿穿孔30位移一對應於在流動通道28中流動之壓力流體的壓力之位移量。

此外，在此情況中，雖然壓力流體從該流動通道28流動至介於桿狀構件32之外周面與穿孔30之間的空間中，但由於密封構件42(其係由彈性材料所製成)係安置於壓力感測器18之桿狀構件32與感測器元件60之間，因此便可防止壓力流體流至壓力感測器18之側(流入該感測器腔室34中)。

更詳言之，在密封構件42上，由於第一突部50被設置於抵靠該本體16之基底區段44上，因此可以防止壓力流體洩漏至密封安裝部分40之環狀凹槽51之側。再者，由於該對第二突部52a、52b被設置在外邊緣區段46上，因此可防止壓力流體從環狀凹槽51洩漏至該感測器腔室34之側。又再者，由於第三及第四突部56、58係分別設置在裙部區段48之下表面與上表面上，因此可防止壓力流體從密封構件42與桿狀構件32之間洩漏至該感測器腔室34之側。

在上述方式中，依照第一實施例，在壓力檢測器10中，該桿狀構件32係可位移地安置在連通於感測器腔室34(於其中配置有壓力感測器18)與流動通道28(壓力流體流經其間)之間的穿孔30中。此外，該桿狀構件32之下端部係配置成可延伸至該穿孔30之端部。因此，由於壓力流體之壓力經由該桿狀構件32被傳輸至壓力感測器18，所以藉由將桿狀構件32安置在穿孔30的內部，便可避免在穿孔30中產生閒置空間。因此，可以輕易地防止液體蓄積或出現細菌或產生氣泡(這係在產生閒置空間的情況下所會出現的問題)，且壓力流體之壓力能以高準確度來予以檢測。

此外，由於壓力感測器18之感測器元件60係配置在距壓力流體可流經之流動通道28一預定距離處，因此可防止由於壓力流體之溫度而降低壓力感測器18之檢測準確度，且能以高準確度來執行壓力的檢測。

再者，由於桿狀構件32被構造成用以接收壓力流體之壓力，該密封構件42並不會直接接收該壓力，因此可避免降低耐用性，這係在若密封構件42過度變形的情況下可能會發生的問題。

又再者，該流動通道28係形成在沿軸向方向的直線，且因此不需要在流動通道28中提供彎曲部分及一突部(如在依照習知技術的壓力檢測器中所具有的)，因此該壓力流體可以更順暢地流動，且因此能夠更可靠地檢測壓力流體之壓力。

又再者，藉由分開地建構該桿狀構件32(其係直接接觸該壓力流體)及密封構件42(其並未直接接觸該壓力流體)，使得該桿狀構件32與密封構件42可由不同材料來形成。因此，舉例來說，在壓力流體為化學液體等等的情況中，相當具有優點的是僅有桿狀構件32需要由具有化學抗性的材料製成，而密封構件42則可由具有彈性之材料(諸如特夫綸(Teflon，註冊商標)等等)來形成。

此外，由於桿狀構件32之頭部38係形成有向上突出的彎曲形狀，該壓力感測器18之感測器元件60能夠可靠地受到頭部38之中心部分壓迫。

接下來，依照第二實施例之壓力檢測器100係展示在第5圖中。其構成元件與依照第一實施例之壓力檢測器10相同者係以相同的元件符號予以標示，且省略此等特徵的詳細說明。

依照第二實施例之壓力檢測器100與依照第一實施例之壓力檢測器10的不同處在於其提供壓力傳輸本體102，其中依照第一實施例之桿狀構件32與密封構件42係共同一體成型。

如第5圖所示，該壓力檢測器100係配備有壓力傳輸本體102。該壓力傳輸本體102具有接收壓力流體之壓力的桿狀構件104，及用以在本體16之穿孔30與感測器腔室34之間保持液密狀態的密封構件106。該密封構件106係與桿狀構件104之上方部分一體成型。此外，該桿狀構件104係可位移地插入在本體16之穿孔30中，而該密封構件106係安裝在被形成於感測器腔室34中之密封安裝部分40上。

該桿狀構件104包括軸桿狀主體部分36，且當被插入至穿孔30中時，其下端部係配置成面向流動通道28。相反地，組成密封構件106之該裙部區段48係結合在主體部分36之上方部分上。關於桿狀構件104之結構，其係與依照第一實施例之壓力檢測器10的桿狀構件32相同，所以省略此等特徵之詳細說明。

裙部區段48係形成為薄膜形狀而大致上位在密封構件106的中心，且其中心部分係整體地結合至桿狀構件104之上方部分。關於密封構件106之結構，其係與依照第一實施例之壓力檢測器10的密封構件42相同，所以省略此等特徵之詳細說明。

由桿狀構件104與密封構件106構成之壓力傳輸本體102係由彈性樹脂材料(例如聚丙烯或特夫綸(Teflon，註冊商標)等等)所製成。該桿狀構件104之上端部係被抵靠於壓力感測器18之感測器元件60。

額外地，藉由使壓力流體流經本體16之流動通道28，在壓力傳輸本體102上之桿狀構件104的下端部係藉由壓力流體之壓力而被向上壓迫，且該桿狀構件104係沿著穿孔30而略微地位移。因此，該壓力感測器18之感測器元件60係受到壓力傳輸本體102之桿狀構件104所壓迫，且基於該壓迫力(壓力值)，電信號係藉由感測器元件60而從端子62被輸出至電路板64。因此，壓力流體之壓力便可在壓力感測器18中被檢測，且經由導線74而被輸出至外部。

此時，在壓力傳輸本體102中，密封構件106之裙部區段48係與桿狀構件104一起位移，因此該裙部區段48係藉由圍繞其鄰接區域撓曲而與該桿狀構件104一起變形。

在上述方式中，藉由依照第二實施例之壓力檢測器100，該壓力傳輸本體102之桿狀構件104係藉由流經本體16之流動通道28的壓力流體之壓力而被壓迫，藉此該壓力感測器18之感測器元件60係受到桿狀構件104之上端部部分所壓迫，而檢測該壓力流體之壓力。因為如此，藉由將壓力傳輸本體102之桿狀構件104插入至本體16的穿孔30中，可避免在穿孔30中產生閒置空間。因此，可以可靠地防止液體蓄積或出現細菌或產生氣泡(這係在產生閒置空間的情況下所會出現的問題)，且壓力流體之壓力能以高準確度來予以檢測。

此外，藉由使用該桿狀構件104與密封構件106係共同地一體成型之壓力傳輸本體102，可減少零件的數量且可簡化其結構，且伴隨組裝步驟數量的減少。

再者，由於壓力感測器18之感測器元件60被配置在距該壓力流體可流經之流動通道28一預定距離處，因此可以防止壓力感測器18之檢測準確度由於流體之溫度而變差，且能以高準確度來檢測壓力。

又再者，由於壓力傳輸本體102之桿狀構件104被構造成用以接收壓力流體之壓力，該密封構件106並不會直接接收該壓力，因此可避免降低耐用性，這係在若密封構件106過度變形的情況下可能會發生的問題。

接下來，依照第三實施例之壓力檢測器120係展示在第6圖中。其構成元件與依照第一實施例之壓力檢測器10相同者係以相同的元件符號予以標示，且省略此等特徵的詳細說明。

依照第三實施例之壓力檢測器120與依照第一及第二實施例之壓力檢測器10、100之不同處在於，所提供之密封構件122在其中心並不包括開孔，且該桿狀構件32之頭部38係配置成從下方抵靠於密封構件122的中心。

如第6圖所示，該壓力檢測器120係具有該桿狀構件32(其插入至本體16之穿孔30中且接收來自於壓力流體之壓力)及密封構件122，該密封構件係設置成用以覆蓋桿狀構件32之上方部分。該密封構件122係由諸如橡膠等等之彈性材料所形成，且係由基底區段44、外邊緣區段46與薄膜狀裙部區段124所組成，該基底區段係形成環形形狀，且該外邊緣區段係形成在該基底區段44之外周邊上且其相對於基底區段44垂直地突出，而該薄膜狀裙部區段124係沿相對於基底區段44徑向朝內的方向延伸。關於桿狀構件32，由於其具有與上述依照第一實施例之壓力檢測器10的桿狀構件32相同的結構，因此省略其詳細說明。

此外，密封構件122係安裝在本體16之密封安裝部分40上，使得桿狀構件32之頭部38(其係插入於穿孔30中)抵靠於密封構件122之裙部區段124的下表面。

在以上述方式建構的壓力檢測器120中，當使壓力流體流經本體16之流動通道28時，在桿狀構件32的下端部係藉由壓力流體之壓力而被向上壓迫，因此該桿狀構件32係沿著穿孔30而略微地位移。因此，密封構件122之裙部區段124係由桿狀構件32之上端部被向上壓迫且被撓曲，藉此該壓力感測器18之感測器元件60亦因此被壓迫。基於從桿狀構件32與密封構件122所施加的壓迫力(壓力值)，電信號係藉由端子62而從感測器元件60被輸出至電路板64。因此，壓力流體之壓力便可在壓力感測器18中被檢測，且經由導線74而被輸出至外部。

在上述方式中，藉由依照第三實施例之壓力檢測器120，該桿狀構件32係藉由流經本體16之流動通道28的壓力流體之壓力而被壓迫，藉此該壓力感測器18之感測器元件60係經由密封構件122之裙部區段124(其係由桿狀構件32之上端部所抵靠)所壓迫，且接著便可檢測該壓力流體之壓力。因為如此，藉由將桿狀構件32插入至本體16的穿孔30中，可避免在穿孔30中產生閒置空間。因此，可以可靠地防止液體蓄積或出現細菌或產生氣泡(這係在產生閒置空間的情況下所會出現的問題)，且壓力流體之壓力能以高準確度來予以檢測。

此外，由於桿狀構件32與密封構件122可分別由不同材料來形成，因此可以增進壓力檢測器120之組裝便利性，且該桿狀構件32係例如可由相應於流經流動通道28之壓力流體的類型的適當材料來形成。

依照本發明之壓力檢測器並未侷限於上述實施例，且因此可於其中採納各種不同額外的或經修改的結構而不違背本發明之基本主旨。

10‧‧‧壓力檢測器