KR100792192B1 - 내식성 유체압력 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 내식성 유체압력 측정장치에 관한 것으로, 피측정유로와 연결되는 측정몸체와, 상기 측정몸체에 결합되는 압력센서와, 상기 압력센서가 고정되도록 상기 측정몸체에 탈착가능하게 결합되는 센서조임부재와, 상기 압력센서의 일측에 구비되는 내식부재, 상기 센서조임부재를 관통하여 압력센서와 전기적으로 연결되는 센싱모듈, 상기 센싱모듈을 덮는 커버, 상기 센싱모듈을 지지하도록 상기 센서조임부재의 상부에 구비되는 지지부재, 상기 측정몸체를 설치하고자 하는 물체에 탈착가능하게 결합시키는 결합브라켓, 상기 측정몸체의 메인유로 내측벽에 연장되어 형성된 슬리브, 상기 슬리브의 외주면에 끼워지는 연결부재 및, 상기 측정몸체의 출입구 선단에 탈착가능하게 결합되는 결합부재를 포함하는 구성에 의해, 압력센서가 유체가 접촉되지 않게 하여 부식되는 것을 방지할 수 있고, 피측정유로와의 결합을 견고하게 하여 유체가 유출되지 않도록 한다.

유압, 센서, 측정, 연결, 내식

Description

내식성 유체압력 측정장치{A DEVICE FOR MEASURING A FLUID PRESSURE}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 내식성 유체압력 측정장치를 나타낸 개략적 분해사시도,

도 2는 도 1에 도시된 압력센서 및 내식부재의 결합상태를 나타낸 측단면도,

도 3은 도 1에 도시된 센서조임부재의 측단면도,

도 4는 도 1에 도시된 제2커버를 나타낸 저면도,

도 5는 도 1에 도시된 연결부재를 나타낸 측단면도,

도 6과 도 7은 도 1에 도시된 내식성 유체압력 측정장치의 조립단면도,

도 8은 도 7의 "A"부분 확대단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 측정몸체 11 : 메인유로

12 : 측정유로 12a : 센서안착부

13 : 나사결합부 15 : 슬리브

20 : 내식부재 30 : 센서조임부재

31 : 관통공 32 : 결합홈

41 : 제1커버 41a : 관통공

42 : 제2커버 42a : 커버수용홈

42b : 체결공 42c : 관통공

50 : 지지부재 60 : 결합브라켓

61 : 나사결합공 71 : 연결관

72 : 슬리브결합부 73 : 지지돌기부

74 : 슬리브수용부 80 : 결합부재

81 : 관통공 B : 결합피스

M : 센싱모듈 P : 패킹

S : 압력센서 W : 전선

본 발명은 내식성 유체압력 측정장치에 관한 것으로, 특히 압력센서를 구비한 내식성 유체압력 측정장치에 관한 것이다.

일반적으로, 내식성 유체압력 측정장치는 피측정유로상에 연결되어 압력센서를 통해 유체의 압력을 측정하는 기기로, 피측정유로로부터 전달되는 유체가 압력센서에 직접 접촉됨으로써 부식성이 강한 유체의 경우 압력센서가 쉽게 부식되는 문제점이 있었다.

특히 반도체의 제조에 사용되는 유체는 표면식각에 사용되는 액체와 같이 부식성이 강하므로 이러한 부식성의 유체가 흐르는 관상의 압력측정시 압력센서가 부 식되어 작동하지 않는 문제점이 있었다.

이에 한국특허 제0141559호에 개시된 압력센서장치는, 다이아프램을 이용하여 압력센서가 유체와 직접 접촉되는 것을 방지하도록 개발되었으나, 장치의 가공, 조립, 시일링 처리등에 많은 수고를 요하며, 압력센서장치의 비용상승을 피할 수 없는 문제점이 있었다.

또한, 내식성 유체압력 측정장치는 피측정유로와의 결합이 견고하지 않을 경우 측정하고자 하는 유체가 유출된다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 내식성 유체압력 측정장치가 가지는 문제점들을 개선하기 위해 창출된 것으로, 압력센서에 유체가 접촉되지 않게 하여 부식되는 것을 방지할 수 있는 내식성 유체압력 측정장치를 제공함에 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 피측정유로와의 결합을 견고하게 하여 유체가 유출되지 않게 하는 내식성 유체압력 측정장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 내식성 유체압력 측정장치는, 피측정유로와 연결되는 메인유로가 형성되고, 상기 메인유로에 측정유로가 분기되어 형성된 측정몸체와; 상기 측정몸체의 측정유로에 구비되는 압력센서 와; 상기 측정유로에 압력센서가 고정되도록 상기 측정몸체에 탈착가능하게 결합되는 센서조임부재 및; 상기 압력센서의 일측에 구비되는 내식부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 내식부재는 부착식 테이프로 형성된다.

더욱 바람직하게는, 상기 내식부재는 테프론으로 형성된다.

본 발명은 상기 센서조임부재를 관통하여 압력센서와 전기적으로 연결되는 센싱모듈; 상기 측정몸체에 탈착가능하게 결합되고, 상기 센싱모듈을 덮는 커버 및; 상기 센싱모듈을 지지하도록 상기 센서조임부재의 상부에 구비되는 지지부재;를 더 포함하는 것이 바람직하다.

바람직하게는, 상기 측정몸체의 메인유로 내측벽에 피측정유로의 연결을 위한 슬리브가 연장되어 형성된다.

본 발명은 상기 슬리브의 외주면에 끼워지고, 피측정유로가 연결되는 연결부재 및; 상기 측정몸체의 출입구 선단에 탈착가능하게 결합되고, 상기 연결부재를 지지하는 결합부재;를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 연결부재는, 상기 피측정유로의 내측벽에 끼워지는 연결관; 상기 연결관의 일단 외주면에 형성되고, 상기 연결관의 외주면과의 사이에 상기 슬리브가 끼워지도록 슬리브수용부를 형성하는 슬리브결합부 및; 상기 연결관의 외주면에 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 피측정유로의 내측벽을 지지하는 지지돌기부;를 포함할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 내식성 유체압력 측정장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 내식성 유체압력 측정장치는, 피측정유로(H)와 연결되는 측정몸체(10)와, 상기 측정몸체(10)에 결합되는 압력센서(S)와, 상기 압력센서(S)의 일측에 구비되는 내식부재(20), 상기 압력센서(S)가 고정되도록 상기 측정몸체(10)에 탈착가능하게 결합되는 센서조임부재(30), 상기 센서조임부재(30)를 관통하여 압력센서(S)와 전기적으로 연결되는 센싱모듈(M), 상기 센싱모듈(M)을 덮는 커버, 상기 센싱모듈(M)을 지지하도록 상기 센서조임부재(30)의 상부에 구비되는 지지부재(50), 상기 측정몸체(10)를 설치하고자 하는 물체에 탈착가능하게 결합시키는 결합브라켓(60), 상기 측정몸체(10)의 메인유로(11) 내측벽에 연장되어 형성된 슬리브(15), 상기 슬리브(15)의 외주면에 끼워지는 연결부재(70) 및, 상기 측정몸체(10)의 출입구 선단에 탈착가능하게 결합되는 결합부재(80)를 포함한다.

상기 측정몸체(10)는 양단에 피측정유로(H)와 연결되는 메인유로(11)가 형성되고, 상기 메인유로(11)에 측정유로(12)가 분기되어 형성된다.

상기 피측정유로(H)에서 메인유로(11)를 통과하여 유체가 흐르고, 메인유로(11)를 통과하는 유체는 측정유로(12)로 유입된다.

상기 압력센서(S)는 상기 측정몸체(10)의 측정유로(12)에 삽입되어 그 측정유로(12)로 유입되는 유체의 압력을 측정하게 된다. 여기서, 상기 압력센서(S)는 측정하고자 하는 유체와 직접 접촉될 필요없이 간접적으로라도 유체의 압력이 전달 되면 된다. 상기 측정유로(12)는 원통형상으로 형성되고, 상기 압력센서(S)도 환형으로 형성되어 측정유로(12)의 내측벽을 따라 슬라이드이동하면서 끼워진다.

상기 측정유로(12)에는 센서조임부재(30)가 나사결합된다. 상기 센서조임부재(30)는 상기 측정유로(12)에 상기 압력센서(S)가 끼워진 상태에서 그 압력센서(S)의 상부를 지지하여 고정시킨다.

상기 측정유로(12)에는 상기 압력센서(S)가 안착되는 센서안착부(12a)가 형성되어 있다. 상기 센서안착부(12a)에는 패킹(P)과 함께 압력센서(S)가 안착되어 압력센서(S)의 저면으로 유입되는 유체가 압력센서(S)의 측면으로 유출되지 않게 차단한다.

상기 측정유로(12)의 내측벽에는 상기 센서조임부재(30)가 나사결합될 수 있도록 나사산이 형성되고, 상기 센서조임부재(30)의 외주면에는 상기 측정유로(12) 내측벽의 나사산에 결합되는 나사산이 형성되어 있다.

상기 압력센서(S)의 저면에는 내식부재(20)가 부착된다.

상기 내식부재(20)는 부착식 테이프로, 내식성의 불소수지나 테프론으로 형성되며, 일측에 접착제가 도포되어 상기 압력센서(S)의 저면에 부착된다.

이와 같이 상기 내식부재(20)는 접착테이프의 형상으로 별도로 제작되고, 압력센서(S)에 간편하게 부착식으로 결합됨으로써 압력센서(S)의 부식을 방지할 수 있게 된다.

상기 센싱모듈(M)은 증폭기능을 수행하는 인쇄회로기판을 구비하고, 상기 압력센서(S)와 전선(W)으로 연결됨과 동시에 외부로 전기신호를 인가하도록 전선(W) 이 연결되어 있다.

상기 센서조임부재(30)의 상부에는 압력센서(S)로부터 센싱모듈(M)로 연결되는 전선(W)이 관통하는 관통공(31)이 형성되어 있다. 또한, 상기 센서조임부재(30)의 상부에는 상기 압력센서(S)를 지지하는 다수개의 지지부재(50)가 나사결합되어 있다.

상기 지지부재(50)는 상기 센서조임부재(30)의 상부에 복수개가 서로 소정간격을 두고 구비되어 센서조임부재(30)의 상부면에 대하여 센싱모듈(M)을 소정의 높이로 지지하는 역할을 한다. 상기 센서조임부재(30)의 상부에는 상기 지지부재(50)가 탈착가능하게 나사결합되는 복수개의 결합홈(32)이 서로 소정간격을 두고 형성되어 있다.

상기 커버는 상기 센싱모듈(M)을 덮는 제1커버(41) 및, 상기 제1커버(41)를 덮는 제2커버(42)를 포함한다.

상기 측정몸체(10)의 상부에는 상기 센서조임부재(30)가 끼워지는 측정유로(12)의 상단에 나사결합부(13)가 위쪽으로 돌출되어 형성되어 있다.

상기 나사결합부(13)는 상기 측정유로(12)의 상단 가장자리를 따라 형성되어 상기 제1커버(41)가 나사식으로 결합된다.

상기 제1커버(41)는 원통형상으로 형성되어 내부에 센싱모듈(M)을 수용한다.

상기 제1커버(41)는 저면에 개방부가 형성되고, 그 개방부의 선단 내측벽에 나사산이 형성되어 상기 측정몸체(10)의 나사결합부(13)에 나사식으로 결합된다.

상기 제2커버(42)는 상기 측정몸체(10)의 상부에 안착되고, 저면으로 상기 제1커버(41)를 수용하는 원통형상의 커버수용홈(42a)이 함입되어 형성되어 있다.

상기 제2커버(42)의 커버수용홈(42a)의 선단 외측에는 다수개의 체결공(42b)이 형성되고, 상기 측정몸체(10)를 관통하는 결합피스(B)에 의해 결합브라켓(60)과 나사결합된다.

즉, 상기 결합피스(B)는 결합브라켓(60)에서 상기 측정몸체(10)를 관통하여 상기 제2커버(42)의 체결홈(42b)에 나사결합된다. 따라서, 상기 제2커버(42)와 결합브라켓(60)을 상기 측정몸체(10)에 동시에 결합할 수 있다.

상기 결합브라켓(60)은 다수개의 나사결합공(61)이 형성되어 상기 측정몸체(10)의 저면에 결합피스(B)에 의해 나사결합되되, 피설치물체에 나사결합되어 측정몸체(10)를 설치할 수 있게 된다.

상기 제1커버(41)와 제2커버(42)의 상부에도 상기 센싱모듈(M)로부터 외부로 전선(W)이 인출되는 관통공(41a)(42c)이 각각 형성되어 있다.

상기 측정몸체(10)의 메인유로(11) 내측벽에 피측정유로(H)의 연결을 위한 슬리브(15)가 연장되어 형성된다.

상기 슬리브(15)는 메인유로(11)의 길이방향을 따라 관형상으로 연장되어 있다. 따라서, 상기 슬리브(15)의 외주면과 메인유로(11)의 내측벽의 사이에 연결부재(70)가 끼워진다.

상기 연결부재(70)는 피측정유로(H)의 내측벽에 끼워지는 연결관(71)과, 상기 연결관(71)의 일단 외주면에 형성되는 슬리브결합부(72) 및, 지지돌기부(73)를 포함한다.

상기 연결관(71)은 원통형상의 관체로, 외주면 일단에 슬리브결합부(72)가 형성되고 타단에 지지돌기부(73)가 형성된다.

상기 슬리브결합부(72)는 슬리브(15)와 메인유로(11)의 내측벽 사이에 끼워진다. 상기 슬리브결합부(72)는 연결관(71)의 외주면과의 사이에 상기 슬리브(15)가 끼워지는 슬리브수용부(74)가 형성되도록 연결관(71)의 외주면 일측에 연장되어 형성된다.

즉, 도 7과 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 연결부재(70)의 슬리브결합부(72)가 상기 슬리브(15)와 메인유로(11)의 내측벽 사이에 끼워질 때 상기 슬리브(15)는 연결부재(70)의 슬리브수용부(74)에 끼워진다. 따라서, 상기 슬리브(15)와 연결부재(70)는 메인유로(11)의 내측벽과 함께 서로 물어 잡는 견고한 결합관계를 형성한다.

상기 지지돌기부(73)는 상기 연결관(71)의 외주면에 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 피측정유로(H)의 내측벽과 접촉된다.

상기 결합부재(80)는 상기 연결부재(70)가 슬리브(15)에 끼워진 상태에서 상기 측정몸체(10)의 외측에 나사식으로 결합된다. 상기 결합부재(80)는 원통형상으로 형성되고, 일측에 피측정유로(H)가 관통되는 관통공(81)이 형성되어 있다.

도 7과 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 피측정유로(H)는 상기 연결부재(70)의 외주면에 끼워지게 되면, 상기 지지돌기부(73)에 의해 연결관(71)의 외측으로 볼록하게 돌출되고 상기 결합부재(80)의 관통공(81) 측벽이 피측정유로(H)의 외측을 지지함으로써 마찰력이 증가되어 피측정유로(H)를 측정몸체(10)에 견고하게 결 합시킬 수 있게 된다.

상기한 본 발명의 상세한 설명은 첨부된 도면에 따른 바람직한 실시예를 설명한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위는 이에 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 기술적 사상을 벗어남이 없이 다양한 형태로 변형된 것은 본 발명의 범위에 포함된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 내식성 유체압력 측정장치에 의하면, 압력센서가 유체가 접촉되지 않게 하여 부식되는 것을 방지할 수 있고, 피측정유로와의 결합을 견고하게 하여 유체가 유출되지 않게 하는 효과가 있다.

Claims (9)

1. 삭제
2. 피측정유로(H)와의 연결을 위한 슬리브(15)가 내측벽에 연장되어 형성된 메인유로(11)와, 상기 메인유로(11)에 측정유로(12)가 분기되어 형성된 측정몸체(10);

   상기 측정몸체(10)의 측정유로(12)에 구비되는 압력센서(S);

   상기 측정유로(12)에 압력센서(S)가 고정되도록 상기 측정몸체(10)에 탈착가능하게 결합되는 센서조임부재(30);

   상기 압력센서(S)의 일측에 구비되는 부착식 테이프 내식부재(20);

   상기 센서조임부재(30)를 관통하여 압력센서(S)와 전기적으로 연결되는 센싱모듈(M);

   상기 측정몸체(10)에 탈착가능하게 결합되고, 상기 센싱모듈(M)을 덮는 커버(41, 42);

   상기 센싱모듈(M)을 지지하도록 상기 센서조임부재(30)의 상부에 구비되는 지지부재(50);

   상기 슬리브(15)의 외주면에 끼워지고, 피측정유로(H)가 연결되며,

   상기 피측정유로(H)의 내측벽에 끼워지는 연결관(71)과,

   상기 연결관(71)의 일단 외주면에 형성되고, 상기 연결관(71)의 외주면과의 사이에 상기 슬리브(15)가 끼워지도록 슬리브수용부(74)를 형성하는 슬리브결합부(72)와,

   상기 연결관(71)의 외주면에 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 피측정유로(H)의 내측벽을 지지하는 지지돌기부(73)를 포함하는 연결부재; 및

   상기 측정몸체(10)의 출입구 선단에 탈착가능하게 결합되고, 상기 연결부재(70)를 지지하는 결합부재(80);를 포함하는 내식성 유체압력 측정장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 내식부재(20)는 테프론으로 형성된 것을 특징으로 하는 내식성 유체압력 측정장치.
4. 삭제
5. 삭제
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9. 삭제

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