KR102604020B1 - 압력 검출 장치 - Google Patents

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타카시 이마이
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사파스고교 가부시키가이샤
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Abstract

압력 검출 유닛과 유로 유닛을 구비하고, 유로 유닛이 유입구(2lb) 및 유출구(21c)에 배치됨과 동시에 유동 방향을 따라 연장되는 한쌍의 단부 유로(24, 25)와, 한쌍의 단부 유로(24, 25)에 끼워지는 위치에 배치되어 내주면에서 외주면까지의 거리가 한쌍의 단부 유로(24, 25)에서의 내주면에서 외주면까지의 거리보다 짧은 박막 형상의 다이어프램(22)을 갖는 중앙 유로(28)를 가지며, 한쌍의 단부 유로(24, 25)와 중앙 유로(28)가 가요성의 수지 재료에 의해 일체로 형성되어 있고, 유로(21a)를 유동하는 유체의 압력이 다이어프램(22)을 통하여 전달되도록 압력 검출부가 배치된 압력 검출 장치를 제공한다.

Description

압력 검출 장치{PRESSURE DETECTION DEVICE}
본 발명은 유로를 통해 흐르는 유체의 압력을 검출하는 압력 검출 장치에 관한 것이다.
종래, 약액 등의 액체를 유동시키는 유로가 형성된 보디와, 보호 시트를 통하여 수압면(受壓面)에 전달되는 액체의 압력을 검출하는 센서 본체가 일체화된 인라인형 압력 센서가 알려져 있다(예를 들면, 아래의 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1에 개시되는 압력 센서는 센서 본체의 하면에 부착된 보호 시트를 통하여 센서 본체에 전달되는 유체의 압력을 검출하는 것이다.
특허문헌 1: 일본특허공개 2005-207946호 공보
특허문헌 1에 개시되는 압력 센서는, 유체의 압력에 의해 보호 시트가 센서 본체의 하면에 눌러진 경우, 유체가 보호 시트를 누르는 압력에 따른 검출값을 얻을 수 있다.
그러나, 특허문헌 1에 개시되는 압력 센서는 보디에 형성되는 유체 도입부를 센서 본체로 봉지(封止)하고 있기 때문에, 센서 본체와 보디의 사이에 미량의 유체가 체류할 가능성이 있다. 유체가 응고성을 갖는 혈액 등일 경우, 체류하여 응고된 유체가 다시 유로를 통해 흐를 가능성이 있다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 유로내에서 유체가 체류하는 것에 의한 결함을 방지하면서 유로를 흐르는 유체의 압력을 검출할 수 있도록 한 압력 검출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위하여 하기의 수단을 채용했다.
본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치는 압력 검출부에 전달되는 압력을 검출하는 압력 검출 유닛과, 유입구로부터 유출구쪽으로 향하는 유동 방향을 따라 유체를 유동시키는 유로가 형성된 유로 본체를 갖는 유로 유닛을 구비하고, 상기 유로 본체가 상기 유입구 및 상기 유출구에 배치되는 한쌍의 단부 유로와 상기 한쌍의 단부 유로 사이에 배치되며, 내주면으로부터 외주면까지의 거리가 상기 한쌍의 단부 유로에서의 내주면으로부터 외주면까지의 거리보다 짧은 박막 형상의 수압부(受壓部)를 갖는 중앙 유로를 가지며, 상기 한쌍의 단부 유로와 상기 중앙 유로가 가요성의 수지 재료에 의해 일체로 형성되어 있고, 상기 유로를 통과하는 유체의 압력이 상기 수압부를 통하여 전달되도록 상기 압력 검출부가 배치된 것이다.
본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 의하면, 한쌍의 단부 유로와 그 사이에 배치되는 중앙 유로가 가요성의 수지 재료로 일체로 형성되어 있다. 이 때문에, 본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치가 구비하는 유로 본체에는 일부가 다른 부재에 의해 봉지되는 부분이 없기 때문에, 이 봉지 부분에 미량의 유체가 체류하는 일은 없다. 따라서, 응고성을 갖는 혈액 등의 유체가 흘러가도록 하는 경우도, 체류하여 응고된 유체가 다시 유로를 통해 흘러가버리는 결함을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 의하면, 중앙 유로가 박막 형상의 수압부를 갖고 있으며, 유로를 통해 흐르는 유체의 압력이 박막 형상의 수압부를 통하여 전달되도록 압력 검출부가 배치되어 있다. 이 때문에, 본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치는 박막 형상의 수압부를 통하여 전달되는 유체의 압력을 압력 검출부에 의해 적절하게 검출할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 의하면, 유로내에서 유체가 체류하는 것에 의한 결함을 방지하면서 유로를 통해 흐르는 유체의 압력을 검출할 수 있도록 한 압력 검출 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서, 상기 중앙 유로는 상기 유동 방향 주위의 원주방향의 일부 영역에서의 내주면으로부터 외주면까지의 거리가, 다른 영역에서의 내주면으로부터 외주면까지의 거리보다 짧고, 그 일부 영역을 상기 수압부로 한 구성이어도 된다.
이와 같이 하여, 중앙 유로의 원주방향의 일부 영역을 다른 영역보다 유체의 압력에 의한 변위가 발생하기 쉬운 영역으로 할 수 있다. 이 일부의 영역을 수압부로 함으로써, 유체의 압력을 적절하게 검출할 수 있다.
본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서, 상기 중앙 유로는 상기 한쌍의 단부 유로보다 유로 단면적이 크고, 상기 한쌍의 단부 유로의 상기 중앙 유로측 단부와 상기 중앙 유로의 양단부를 각각 연결하도록 형성된 한쌍의 연결 유로를 가지며, 상기 한쌍의 단부 유로와 상기 중앙 유로와 상기 한쌍의 연결 유로가 가요성의 수지 재료로 일체로 형성되어 있고, 상기 한쌍의 연결 유로는 상기 중앙 유로의 양단부를 향하여 유로 단면적이 점차 확대되도록 형성되어 있는 구성으로 해도 된다.
본 구성의 압력 검출 장치에 의하면, 한쌍의 연결 유로에 의해 한쌍의 단부 유로와 중앙 유로가 한쌍의 단부 유로에서 중앙 유로의 양단부를 향하여 유로 단면적이 점차 확대되도록 연결되어 있다. 이 때문에, 유입구에 배치되는 단부 유로에서 중앙 유로를 향하여 유체가 흐를 때에, 유로상에서 유체가 체류하는 일은 없다. 또한, 중앙 유로에서 유출구가 배치되는 단부 유로를 향하여 유체가 흐를 때에, 유로상에서 유체가 체류하는 일은 없다.
본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서, 상기 압력 검출 유닛이 상기 압력 검출부를 갖는 압력 센서와, 일단이 상기 압력 검출부에 접촉하고 또한 타단이 상기 수압부에 접촉한 상태로 배치되어, 상기 수압부가 받은 유체의 압력을 상기 압력 검출부에 전달하는 압력 전달부를 가지며, 상기 압력 전달부가 상기 수압부를 상기 유로를 향하여 변위시켜서 상기 수압부로부터 상기 압력 검출부로 향하는 탄성력(付勢力)을 받는 상태로 배치되는 구성이어도 된다.
본 구성의 압력 검출 장치에 의하면, 일단이 압력 센서의 압력 검출부에 접촉하고 또한 타단이 유로 유닛의 수압부에 접촉한 상태로 배치되는 압력 전달부가, 수압부에서 압력 검출부를 향한 탄성력을 받는 상태로 배치된다. 이 때문에, 유로를 통해 흐르는 유체의 압력이 일시적으로 저하되어 부압(負壓)이 되는 경우에도, 압력 검출부는 압력 전달부가 수압부에서 받는 탄성력에 의한 압력값으로부터 부압분의 압력값을 감산한 값의 압력을 받는 상태가 된다. 이에 의해, 압력 검출부는 유체의 압력이 일시적으로 저하되어 부압이 되는 경우에도, 부압에 의한 압력값의 감소를, 수압부에서 받는 탄성력에 의한 압력값으로부터 감소된 압력값으로서 얻을 수 있다.
상기 구성의 압력 검출 장치에 있어서, 상기 유로 유닛에는 상기 수압부가 배치되는 오목부가 형성되어 있고, 상기 압력 센서가 상기 오목부를 덮도록 상기 유로 유닛에 접촉한 상태로 배치되어 있고, 상기 오목부와 상기 압력 센서에 의해 구분되는 내부 공간과 외부 공간을 연통시키는 연통 유로를 구비하도록 해도 된다.
이와 같이 하여, 유로 유닛의 수압부가 배치되는 오목부와 압력 센서에 의해 구분되는 내부 공간이 외부 공간과 연통한 상태가 되고, 수압부의 변위에 따라 내부 공간의 용적이 변동되어, 그것에 따라 내부 공간의 압력이 변동되어 버리는 결함을 억제할 수 있다.
상기 구성의 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 압력 전달부가 상기 수압부에 접촉한 상태로 배치되는 제1 압력 전달 부재와, 상기 압력 검출부에 접촉한 상태로 배치되는 제2 압력 전달 부재를 가지며, 상기 제2 압력 전달 부재와 상기 압력 검출부의 접촉 면적이 상기 제1 압력 전달 부재와 상기 수압부의 접촉 면적보다 작은 형태이어도 된다.
이와 같이 하여, 제1 압력 전달 부재가 수압부에서 받는 유체의 압력을, 대향하는 부재의 접촉 면적이 작은 제2 압력 전달 부재를 통하여 압력 검출부에 국소적으로 집중시켜 전달할 수 있다. 이 때문에, 유체의 압력 변동에 대하여 압력 검출부가 국소적으로 받는 압력의 변동을 증가시켜서 유체의 압력 변동의 검출 정밀도를 높일 수 있다.
상기 형태의 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 제1 압력 전달 부재가 상기 수압부를 향하여 돌출하는 구면(球面) 형상으로 형성되는 부재인 형태이어도 된다.
이와 같이 하여, 수압부의 변위에 의하지 않고 제1전달 부재가 수압부와 접촉하는 접촉 면적이 거의 일정하게 유지되어, 수압부로부터 제1전달 부재에의 유체의 압력 전달 정밀도를 높일 수 있다.
상기 형태의 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 제2 압력 전달 부재가 상기 압력 검출부를 향하여 돌출하는 구면 형상으로 형성되는 부재이어도 된다.
이와 같이 하여, 제1 압력 전달 부재가 수압부에서 받는 유체의 압력을 구면 형상으로 형성되는 제2 압력 전달 부재를 통하여 압력 검출부에 국소적으로 집중시켜 전달할 수 있다. 이 때문에, 유체의 압력 변동에 대하여 압력 검출부가 국소적으로 받는 압력의 변동을 증가시켜서 유체의 압력 변동의 검출 정밀도를 높일 수 있다.
본 발명의 일 양태에 따른 압력 검출 장치에 있어서는, 상기 압력 전달부가 상기 수압부와 상기 압력 검출부의 양쪽에 접촉한 상태로 배치됨과 동시에 구체 형상으로 형성되어 있는 구성이어도 된다.
이와 같이 하여, 수압부의 변위에 의하지 않고 압력 전달부가 수압부와 접촉하는 접촉 면적이 거의 일정하게 유지되기 때문에, 수압부로부터 압력 전달부에의 유체 압력의 전달 정밀도를 높일 수 있다.
또한, 압력 전달부가 수압부로부터 받는 유체의 압력을 구체 형상으로 형성되는 압력 전달부를 통하여 압력 검출부에 국소적으로 집중시켜 전달할 수 있다. 이 때문에, 유체의 압력 변동에 대하여 압력 검출부가 국소적으로 받는 압력의 변동을 증가시켜, 유체의 압력 변동의 검출 정밀도를 높일 수 있다.
본 발명에 의하면, 유로내에서 유체가 체류하는 것에 의한 결함을 방지하면서 유로를 통해 흐르는 유체의 압력을 검출 가능하게 한 압력 검출 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태의 압력 검출 장치를 나타내는 종단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 압력 검출 장치의 I-I 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 유로 본체의 종단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 유로 본체의 II-II 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 유로 본체의 평면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 유로 본체의 III-III 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 7은 도 3에 도시된 유로 본체의 IV-IV 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 8은 도 3에 도시된 유로 본체의 V-V 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 9는 도 3에 도시된 유로 본체의 VI-VI 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 10은 도 3에 도시된 유로 본체의 VII-VII 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 11은 도 3에 도시된 유로 본체의 VIII-VIII 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 12는 제2 실시 형태의 압력 검출 장치를 나타내는 종단면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 압력 검출 장치의 IX-IX 화살표 방향에서 본 단면도이다.
(제1 실시 형태)
이하, 본 발명의 제1 실시 형태의 압력 검출 장치(100)를 도면에 근거하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)는 유체의 압력을 검출하기 위한 압력 검출 유닛(10)과, 유로(21a)가 내부에 형성된 유로 본체(21)를 갖는 유로 유닛(20)과, 압력 검출 유닛(10)과의 사이에 유로 유닛(20)을 끼운 상태로 부착하는 베이스부(30)를 구비한다. 유로(21a)는 유입구(2lb)로부터 유출구(21c)를 향하여 직선 형태의 유동 방향을 따라 유체가 통과하여 흐르게 하는 유로이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 베이스부(30)는, 베이스부(30)에 형성된 체결 구멍(30a)에서 삽입되는 체결 볼트(40)를 본체부(13)에 형성된 체결 구멍(13b)에 체결함으로써 본체부(13)에 연결된다.
도 1에 도시된 압력 검출 유닛(10)은 다이어프램(12a)(압력 검출부)에 전달되는 압력을 검출하는 장치이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 압력 검출 유닛(10)은 유로 본체(21)에서 전달되는 유체의 압력을 검출하는 압력 센서(12)와, 압력 센서(12)를 내부에 수용하는 본체부(13)와, 압력 센서(12)를 본체부(13)에 배치한 상태로 지지(保持)하는 센서 지지부(14)와, 압력 센서(12)와 외부 장치(도시 생략)에 접속되는 케이블(200)의 사이에서 전원 및 전기 신호를 전달하기 위한 센서 기판(15)과, 압력 센서(12)의 영점 조정(zero point)을 행하기 위한 영점 조정 스위치(16)와, 센서 기판(15)을 수용하는 하우징(17)을 구비한다.
이하, 압력 검출 유닛(10)이 구비하는 각 부분에 대하여 설명한다.
압력 센서(12)는 내부식성이 있는 재료(예를 들면, 사파이어)에 의해 박막 형상으로 형성되는 다이어프램(12a)(압력 검출부)과, 다이어프램(12a)에 붙여지는 변형 저항(스트레인 저항)(도시 생략)과, 다이어프램(12a)을 지지하는 베이스부(12b)를 구비한다. 압력 센서(12)는 다이어프램(12a)에 전달되는 압력에 따라서 변화된 변형 저항에 따른 압력 신호를 출력하는 스트레인 방식의 센서이다.
본체부(13)는 축선(X) 주위에 원통형으로 형성되는 상부측의 부재와 유로 유닛(20)을 수용하는 하부측의 부재를 일체로 형성한 부재이다. 본체부(13)의 상부측 내주면에는 후술하는 센서 지지부(14)을 부착하기 위한 암나사(13a)가 형성되어 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본체부(13)의 하부측에는 축선(X) 주위에 복수의 위치에 체결 구멍(13b)이 형성되어 있다. 본체부(13)의 하단에 유로 유닛(20)이 배치되고 유로 유닛(20)의 하단에 베이스부(30)가 배치된 상태로, 베이스부(30)의 체결 구멍(30a)에서 삽입되는 체결 볼트(40)가 체결 구멍(13b)에 체결된다. 본체부(13)에 베이스부(30)가 부착된 상태로, 본체부(13)의 중앙부에 축선(X)을 따라 위쪽에서 압력 센서(12)가 삽입된다.
센서 지지부(14)는 축선(X) 주위에 원통형으로 형성되는 부재이며, 외주면에 수나사(14a)가 형성되어 있다. 센서 지지부(14)는 본체부(13)의 하단 내주측에 압력 센서(12)를 배치하고, 외주면에 형성된 수나사(14a)를 본체부(13)의 내주면에 형성된 암나사(13a)에 체결함으로써, 압력 센서(12)를 본체부(13)에 대하여 일정한 위치에 지지한다.
센서 기판(15)은 압력 센서(12)가 출력하는 압력 신호를 증폭하는 증폭 회로(도시 생략)와, 증폭 회로에 의해 증폭된 압력 신호를 케이블(200)의 압력 신호선(도시 생략)에 전달하는 인터페이스 회로와, 케이블(200)을 통하여 외부에서 공급되는 전원 전압을 압력 센서(12)에 전달하는 전원 회로(도시 생략)와, 영점 조정 스위치(16)가 눌러졌을 경우에 영점 조정을 행하는 영점 조정 회로(도시 생락) 등을 구비한다.
영점 조정 스위치(16)는 하우징(17)의 상면에 마련된 가압부(17a)를 조작자가 누르는 것에 따라서 온(ON) 상태가 되는 스위치이다. 영점 조정 스위치(16)가 온(ON) 상태가 되었을 경우에, 영점 조정 회로는 그 시점에서 압력 센서(12)가 출력하는 압력 신호를 초기값(제로)으로 설정하도록 조정한다.
이 동작은 압력 검출 장치(100)를 조립한 후, 압력 신호의 계측 시작시에 필요한 조작이 된다. 이것은, 압력 검출 장치(100)가 부압을 계측 가능하게 하기 위하여, 미리 압력 센서(12)에 압력 전달부(11)로부터의 탄성력이 주어진 상태를 제로의 압력 검출값으로 설정할 필요가 있기 때문이다. 이에 따라, 개별의 압력 검출 장치(100)에 의해 압력 전달부(11)가 압력 센서(12)에 주는 탄성력이 다른 경우에도, 압력 검출값 제로가 되는 상태를 적절하게 설정하여 정확하게 압력 측정을 할 수 있다.
하우징(17)은 축선(X) 주위에 원통형으로 형성되는 부재이며, 그 하단측의 내주면이 본체부(13)의 상단측 외주면에 부착되어 있다. 하우징(17)은 내주측에 센서 기판(15)을 수용하는 것이다.
내부 커버(18)는 하우징(17)의 내측에 배치됨과 동시에 센서 지지부(14)의 상부 외주면과 접촉한 상태로 배치되는 내주면을 갖는 원통형의 부재이다. 내부 커버(18)의 축선(X) 주위의 외주면은 하우징(17)의 내주면과 접촉한 상태로 배치된다.
다음에, 유로 유닛(20)에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
유로 유닛(20)의 유입구(2lb)에는 유체를 유입구(2lb)로 유입시키는 유입측 배관(도시 생략)이 부착되며, 유로 유닛(20)의 유출구(21c)에는 유출구(21c)로부터 유출되는 유체를 유동시키는 유출측 배관(도시 생략)이 부착된다. 유입구(2lb)로부터 유출구(21c)를 향한 유로(21a)를 통해 흐르는 유체의 압력은 압력 검출 유닛(10)에 의해 검출된다.
여기서, 유체는 예를 들면, 혈액이나 투석액 등의 액체이다.
유로 본체(21)는 실리콘, PVC, PFA 등의 가요성을 갖는 수지 재료로 일체로 형성되는 부재이다. 유로 본체(21)에는 평면도로 보았을 때 원형인 오목부(21d)가 형성되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 유로 본체(21)의 오목부(21d)가 형성되는 부분은 다이어프램(22)(수압부)의 중앙부(22a)로 되어 있다. 중앙부(22a)는 유로 두께(T2)의 박막 형상으로 형성되어 있다. 오목부(21d)에는 다이어프램(22)의 외주면과 다이어프램(12a)이 접촉되도록, 압력 센서(12)가 배치되어 있다.
다이어프램(22)의 중앙부(22a)는 박막 형상으로 형성되어 있기 때문에, 유로(21a)를 통해 흐르는 유체의 압력을 받아서 축선(X)에 따른 방향으로 변위한다. 압력 센서(12)의 다이어프램(12a)은 유로(21a)를 통과하는 유체의 압력이 다이어프램(22)을 통하여 전달되도록 배치되어 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 유로 본체(21)는 유입구(2lb)에 배치되는 유입측 단부 유로(24)와, 유출구(21c)에 배치되는 유출측 단부 유로(25)와, 유입측 단부 유로(24)와 유출측 단부 유로(25)의 사이에 배치되는 중앙 유로(28)와, 유입측 단부 유로(24)의 중앙 유로(28)측 단부와 중앙 유로(28)를 연결하도록 형성된 유입측 연결 유로(26)와, 유출측 단부 유로(25)의 중앙 유로(28)측 단부와 중앙 유로(28)를 연결하도록 형성된 유출측 연결 유로(27)를 구비한다.
이들 한쌍의 단부 유로(유입측 단부 유로(24), 유출측 단부 유로(25))와, 한쌍의 연결 유로(유입측 연결 유로(26), 유출측 연결 유로(27))와, 중앙 유로(28)는 전술한 가요성을 갖는 수지 재료로 일체로 형성(일체성형)되어 있다. 일체 성형된 단일 부재로 이들의 유로가 형성되어 있기 때문에, 이들의 유로를 연결하는 부분에는 이음매 등의 연결 부분이 존재하지 않는다.
유입측 단부 유로(24)는 축선(Y)을 따라 연장되며 원통형으로 형성된 내주면 및 외주면을 갖는 유로이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 유입측 단부 유로(24)의 내경(D1)과 외경(D2)은 유입구(2lb)로부터 유입측 연결 유로(26)에 이르기까지 일정하게 되어 있다.
도 6(도 3에 도시된 유로 본체(21)의 III-III 화살표 방향에서 본 단면도)에 도시된 바와 같이, 유입측 단부 유로(24)의 내주면에서 외주면까지의 거리인 유로 두께(T1)는 축선(Y) 주위의 원주방향의 전체 둘레에 걸쳐 일정하게 되어 있다.
유출측 단부 유로(25)는 축선(Y)을 따라 연장되며 원통형으로 형성되는 내주면 및 외주면을 갖는 유로이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 유출측 단부 유로(25)의 내경(D1)과 외경(D2)은 유출측 연결 유로(27)에서 유출구(21c)에 이르기까지 일정하게 되어 있다.
유입측 단부 유로(24)와 마찬가지로, 유출측 단부 유로(25)의 내주면에서 외주면까지의 거리인 유로 두께(T1)는 축선(Y) 주위의 원주 방향의 전체 둘레에 걸쳐 일정하게 되어 있다.
도 3에 있어서, 사선으로 나타내는 영역은 유로(21a)의 중심인 축선(Y)에서 유로 본체(21)의 내주면까지의 거리가 D1/2보다 길어지는 오목부(23)을 나타내고 있다.
유로(21a)의 유로 단면적은 유입측 단부 유로(24)와 유출측 단부 유로(25)의 양쪽에 있어서, 유동 방향의 각각의 위치에서 일정하게 되어 있다. 한편, 유입측 연결 유로(26)와 유출측 연결 유로(27)와 중앙 유로(28)의 각 유로에 있어서는, 유입측 단부 유로(24) 및 유출측 단부 유로(25)보다 유로 단면적이 커지고 있다.
보다 구체적으로는, 유동 방향의 각 위치에서의 유로 단면적은 유입측 단부 유로(24)로부터 중앙 유로(28)로 향하는 유입측 연결 유로(26)에 있어서, 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 점차 증대하고 있다. 또한, 유동 방향의 각 위치에서의 유로 단면적은 유출측 단부 유로(25)로부터 중앙 유로(28)를 향하는 유출측 연결 유로(27)에 있어서, 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 점차 증대하고 있다.
이처럼 유로(21a)의 각 위치에서의 유로 단면적이, 유입측 단부 유로(24)에서 중앙 유로(28)를 향하여 점차 증대하고, 중앙 유로(28)에서 유출측 단부 유로(25)를 향하여 점차 감소하고 있는 것은, 유입측 연결 유로(26)와 유출측 연결 유로(27)와 중앙 유로(28)의 각 유로에 오목부(23)가 형성되어 있기 때문이다.
유입측 연결 유로(26)는, 유입측 단부 유로(24)의 유출구(21c)측 단부와 중앙 유로(28)의 유입구(2lb)측 단부를 연결하는 유로이다. 유입측 연결 유로(26)의 유로 단면적은 유입측 단부 유로(24)로부터 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 점차 증대하고 있다.
도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 유입측 연결 유로(26)의 압력 센서(12)측의 면(각 도면에서의 상측면)에는, 평면 형상의 내주면을 갖는 다이어프램(22)의 단부(22b)가 형성되어 있다. 단부(22b)의 축선(Y)상의 각 위치에서의 수평 방향의 폭은 유입측 단부 유로(24)로부터 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 점차 증대하고 있다.
도 7(도 3에 도시된 유로 본체(21)의 IV-IV 화살표 방향에서 본 단면도)에 도시된 축선(Y) 상의 위치에 있어서, 다이어프램(22)의 단부(22b) 폭은 W1로 되어 있다. 도 8(도 3에 도시된 유로 본체(21)의 V-V 화살표 방향에서 본 단면도)에 도시된 축선(Y) 상의 위치에 있어서, 다이어프램(22)의 단부(22b) 폭은 W2로 되어 있다. 도 9(도 3에 도시된 유로 본체(21)의 VI-VI 화살표 방향에서 본 단면도)에 도시된 축선(Y) 상의 위치에 있어서, 다이어프램(22)의 단부(22b) 폭은 W3으로 되어 있다. 도 10(도 3에 도시된 유로 본체(21)의 VII-VII 화살표 방향에서 본 단면도)에 도시된 축선(Y) 상의 위치에 있어서, 다이어프램(22)의 단부(22b) 폭은 W4로 되어 있다.
각 도면에 도시된 바와 같이, 다이어프램(22)의 축선(Y)상의 각 위치에서의 수평 방향 폭은 유입측 단부 유로(24)로부터 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 W1, W2, W3, W4 순으로 점차 증대하고 있다.
유출측 연결 유로(27)는, 유출측 단부 유로(25)의 유입구(2lb)측 단부와 중앙 유로(28)의 유출구(21c)측 단부를 연결하는 유로이다. 유출측 연결 유로(27)의 유로 단면적은 유출측 단부 유로(25)로부터 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 점차 증대하고 있다.
유출측 연결 유로(27)의 압력 센서(12)측 면에는, 평면 형상의 내주면을 갖는 다이어프램(22)의 단부(22b)가 형성되어 있다. 도시를 생략하고 있지만, 단부(22b) 축선(Y)상의 각 위치에서의 수평 방향의 폭은 유출측 단부 유로(25)에서 중앙 유로(28)에 가까워짐에 따라 점차 증대하고 있다.
유출측 연결 유로(27)의 형상은, 유로 단면적이 증대하는 방향이 유동 방향의 반대 방향인 점을 제외하고, 유입측 연결 유로(26)와 동일하다.
도 5에 도시된 바와 같이, 유입측 연결 유로(26)와 유출측 연결 유로(27)에는, 각각 축선(Y) 주위에 환형상으로 형성되는 환형상 홈(26a) 및 환형상 홈(27a)이 형성되어 있다.
환형상 홈(26a) 및 환형상 홈(27a)은, 각각 본체부(13) 및 베이스부(30)의 대응하는 위치에 형성된 환형상 돌기에 결합됨에 따라, 유로 본체(21)의 축선(Y)상의 위치를 고정하는 것이다.
중앙 유로(28)는 도 11에 도시된 바와 같이, 유동 방향인 축선(Y) 주위의 원주 방향 하단측 영역에서의 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께(T2))가 다른 영역에서의 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께(T1))보다 짧은 형상으로 되어 있다. 도 11에 도시된 바와 같이, 중앙 유로(28)의 하단측 영역이 박막 형상의 다이어프램(22)의 중앙부(22a)로 되어 있다.
중앙 유로(28)의 압력 센서(12)측 면(도 11에서의 상측면)에는 평면 형상의 내주면을 갖는 다이어프램(22)의 중앙부(22a)가 형성되어 있다. 중앙부(22a) 축선(Y)상의 각 위치에서의 수평 방향의 폭은 W5로 일정하게 되어 있다. 또한, 중앙부(22a) 축선(Y)상 각 위치에서의 두께는 유로 두께(T2)로 일정하게 되어 있다.
이와 같이, 중앙 유로(28)는 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께)가 T2로 되는 박막 형상의 다이어프램(22)의 중앙부(22a)를 갖는다. 이 중앙부(22a)의 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께(T2))는 유입측 단부 유로(24) 및 유출측 단부 유로(25)의 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께(T1))보다 짧게 되어 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 유로 본체(21)의 압력 센서(12)측 내주면에 형성되는 오목부(23)의 일부가, 중앙부(22a)가 유로 두께(T2)인 박막 형상으로 형성되는 다이어프램(22)으로 되어 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 다이어프램(22)의 단부(22b)를 잇는 한쌍의 직선이 수평면상에서 이루는 각도가 α가 되고 있다. 이 각도α가 커질수록 유로의 단위 길이당 증가하는 단부(22b)의 폭이 커진다. 따라서, 각도 α가 작은 쪽이 유로(21a)의 형상과 단면적의 변화가 작아지기 때문에, 유체의 원활한 유동에는 바람직하다.
한편, 각도 α가 작아지면 중앙 유로(28)에서 다이어프램(22)의 중앙부(22a)의 폭(W5)이 짧아진다. 또는, 다이어프램(22)의 중앙부(22a)의 폭(W5)을 크게 하려고 하면, 유로 본체(21)의 유로 길이를 길게 할 필요가 있다. 유로 본체(21)의 유로 길이를 길게 하면, 압력 검출 장치(100)가 대형화되어 버린다.
또한, 다이어프램(22)의 중앙부(22a)의 폭(W5)을 유입측 단부 유로(24) 및 유출측 단부 유로(25)의 내경에 가까이 할수록, 유로 두께(T2)로 되는 영역을 증가시킬 수 있다. 한편, 폭(W5)이 커질수록 유로의 단위 길이당 증가하는 단부(22b)의 폭이 커지고, 유체의 원활한 유동이 저해될 가능성이 있다.
그래서, 유체의 원활한 유동을 행하면서, 유로 본체(21)의 유로 길이가 너무 길어지지 않도록, 아래의 식(1) 및 (2)을 충족시키는 것이 바람직하다.
30°< α < 50° (1)
0.6 < W5/D1 < 1 (2)
도 7 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 다이어프램(22)의 폭방향의 양단부에서 유로 본체(21)의 내주면을 형성하는 원에 대하여 접선을 그었을 경우, 이들 한쌍의 접선이 이루는 각도는, θ1, θ2, θ3, θ4, θ5가 되고 있다. θ1, θ2, θ3, θ4, θ5의 값은 식(1) 및 식(2)를 충족시키도록 임의의 수치로 할 수 있다. 예를 들면, θ1, θ2, θ3, θ4, θ5의 값으로, 135°∼145°, 85°∼95°, 25°∼35°, 15°∼25°의 수치를 채용할 수 있다.
도 7 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 한쌍의 접선이 이루는 각도는 유입측 단부 유로(24)로부터 중앙 유로(28)를 향하여 점차 증가하고 있다.
이상 설명한 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)가 이루는 작용 및 효과에 대하여 설명한다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)에 의하면, 한쌍의 단부 유로(유입측 단부 유로(24), 유출측 단부 유로(25))와 그 사이에 배치되는 중앙 유로(28)가 가요성의 수지 재료로 일체로 형성되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)가 구비하는 유로 본체(21)에는, 일부가 다른 부재에 의해 봉지되는 부분이 없기 때문에, 이 봉지 부분에 미량의 유체가 체류하는 일은 없다. 따라서, 응고성을 갖는 혈액 등의 유체를 유동시키는 경우에도, 체류하여 응고된 유체가 다시 유로를 통해 흘러가버리는 결함을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)에 의하면, 중앙 유로(28)가 박막 형상의 다이어프램(22)을 갖고 있으며, 유로(21a)를 유동하는 유체의 압력이 박막 형상의 다이어프램(22)을 통하여 전달되도록 다이어프램(12a)이 배치되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)는 박막 형상의 다이어프램(22)을 통하여 전달되는 유체의 압력을 다이어프램(12a)에 의해 적절하게 검출할 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)에 의하면, 유로(21a)내에서 유체가 체류됨에 의한 결함을 방지하면서 유로(21a)를 유동하는 유체의 압력을 검출 가능하게 한 압력 검출 장치(100)를 제공할 수 있다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)에 있어서, 중앙 유로(28)는 유동 방향에 따른 축선(Y) 주위의 원주방향의 일부 영역에서의 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께(T2))가 다른 영역에서의 내주면에서 외주면까지의 거리(유로 두께(T1))보다 짧고, 그 일부 영역을 다이어프램(22)의 중앙부(22a)로 한 구성이다.
이와 같이 하여, 중앙 유로(28)의 원주방향의 일부 영역을 다른 영역보다 유체의 압력에 의한 변위가 발생하기 쉬운 영역으로 할 수 있다. 이 일부의 영역을 다이어프램(22)의 중앙부(22a)로 함으로써, 유체의 압력을 적절하게 검출할 수 있다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100)에 의하면, 한쌍의 연결 유로(유입측 연결 유로(26), 유출측 연결 유로(27))에 의해, 한쌍의 단부 유로(유입측 단부 유로(24), 유출측 단부 유로(25))와 중앙 유로(28)가 한쌍의 단부 유로로부터 중앙 유로(28)의 양단부를 향하여 유로 단면적이 점차 확대되도록 연결되어 있다. 이 때문에, 유입구(2lb)에 배치되는 유입측 단부 유로(24)에서 중앙 유로(28)를 향하여 유체가 유동될 때, 유로(21a)상에서 유체가 체류하는 일이 없다. 또한, 중앙 유로(28)로부터 유출구(24c)가 배치되는 유출측 단부 유로(25)를 향하여 유체가 유동될 때, 유로(21a)상에서 유체가 체류하는 일은 없다.
(제2 실시 형태)
다음에, 본 발명의 제2 실시 형태의 압력 검출 장치에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
제2 실시 형태는 제1 실시 형태의 변형예이며, 이하에서 특별하게 설명하는 경우를 제외하고, 제1 실시 형태와 동일한 것으로 하여, 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')는 압력 센서(12)와 다이어프램(22)의 사이에 압력 전달부(11)가 배치된다는 점에서 제1 실시 형태의 압력 검출 장치(100)와 다르다.
도 12에 도시된 압력 검출 장치(100')가 갖는 압력 검출 유닛(10')은 다이어프램(12a)(압력 검출부)에 전달되는 압력을 검출하는 장치이다.
도 12에 도시된 바와 같이, 압력 검출 유닛(10')은 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)(수압부)로부터 유체의 압력이 전달되는 압력 전달부(11)와, 압력 센서(12)와 다이어프램(22) 사이에 배치되는 지지 부재(19)를 구비한다.
압력 전달부(11)는 축선(X)에 따른 상단(일단)이 다이어프램(12a)에 접촉하고, 또한 축선(X)에 따른 하단(타단)이 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)에 접촉한 상태로 배치되는 것이다. 압력 전달부(11)는 다이어프램(22)이 받은 유체의 압력을 다이어프램(12a)에 전달한다. 이 압력 전달부(11)는 유체의 압력을 압력 센서(12)에 전달하는 것이므로 다이어프램(22)보다 충분하게 높은 경도인 것이 바람직하다. 다이어프램(22) 등에서 사용되는 낮은 경도가 되면, 압력을 흡수하는 댐퍼가 되어버리기 때문에 정밀하게 압력을 계측할 수 없다.
도 13(도 12의 IX-IX 방향에서 본(矢視) 단면도)에 도시된 바와 같이, 압력 전달부(11)는 다이어프램(22)에 접촉한 상태로 배치되는 구면(球面) 부재(11a)(제1 압력 전달 부재)와, 다이어프램(12a)에 접촉한 상태로 배치되는 축형상(軸狀) 부재(11b)(제2 압력 전달 부재)를 갖는다. 축형상 부재(11b)의 상단면은 다이어프램(12a)에 접착제에 의해 접합되어 있다. 이 접착제로, 유리 등의 열로 용융하는 재료를 이용하여 열로 접착제를 용융시켜 접착시키면, 접착제가 냉각됨에 따라 경화된다. 이 경우, 접착제가 완충제가 될 일이 없기 때문에 안정적으로 압력을 측정할 수 있다. 또한, 안정적으로 압력을 측정할 수 있고 내부식성이 높은 점에서 유리보다는 덜하지만, 에폭시 수지계 접착제를 이용해도 된다.
도 13에 도시된 바와 같이, 구면 부재(11a)는 축선(X)에 따라 다이어프램(22)을 향하여 돌출하는 구면 형상으로 형성되는 부재이다. 또한, 축형상 부재(11b)는 축선(X)을 따라 연장되는 축형상으로 형성되는 부재이다. 구면 부재(11a)와 축형상 부재(11b)는 예를 들면 알루미늄 등의 금속, PEEK(폴리에테르에테르케톤수지), 세라믹, 사파이어 등으로 일체로 형성된 부재이다.
도 13에 도시된 바와 같이, 축형상 부재(11b)의 상단면과 다이어프램(12a)의 접촉 면적은 구면 부재(11a)와 다이어프램(22)의 접촉 면적보다 작게 되어 있다.
지지 부재(19)는 다이어프램(22)의 외주부를 지지하기 위해서 압력 센서(12)와 다이어프램(22)의 사이에 배치되는 부재이며, 축선(X)을 중심으로 원형 고리 모양으로 형성되어 있다.
도 13에 도시된 바와 같이, 지지 부재(19)는 축선(X)에 따른 하단측의 한쪽 면(19b)이 다이어프램(22)의 외주부에 접촉하고, 또한 축선(X)에 따른 상단측의 다른쪽 면(19a)이 압력 센서(12)의 베이스부(12b)에 접촉한 상태로 배치된다.
도 13에 도시된 바와 같이, 지지 부재(19)에는 압력 센서(12)가 지지 부재(19)에 접촉한 상태에서 내부 공간(S1)과 연통하는 통기홈(19c)(연통 유로)이 형성되어 있다. 또한, 본체부(13)에는 통기홈(19c) 및 외부 공간(S2)과 연통하는 통기구멍(13c)(연통 유로)이 형성되어 있다.
통기홈(19c) 및 통기구멍(13c)에 의해, 내부 공간(S1)과 외부 공간(S2)이 연통된 상태로 되어 있다. 이에 의해, 내부 공간(S1)이 외부 공간(S2)과 같은 대기압 상태로 유지된다.
도 13에 도시된 바와 같이, 유로 유닛(20)이 압력 검출 유닛(10')에 부착된 상태에서는, 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)이 압력 전달부(11)의 구면 부재(11a)에 접촉한 상태가 된다. 또한, 압력 전달부(11)의 축형상 부재(11b)의 상단면은 다이어프램(12a)에 접합되어 있다.
다이어프램(22)은 압력 센서(12)의 압력 전달부(11)가 접촉하지 않는 상태에서는 축선(X)에 직교하는 평면상에 배치되도록 되어 있다.
한편, 도 13에 도시된 바와 같이, 압력 전달부(11)가 접촉한 상태에서 다이어프램(22)은 압력 전달부(11)에 의해 내주부가 축선(X)을 따라 아래쪽을 향하여 변위된 상태로 되어 있다. 도 13에 도시된 상태에 있어서, 다이어프램(22)은 탄성 변형에 의해 발생하는 탄성력에 의해 압력 전달부(11)를 축선(X)을 따라 위쪽을 향해 누르고 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')에 있어서는, 압력 전달부(11)가 다이어프램(22)을 유로(21a)를 향하여 변위시켜서 다이어프램(22)으로부터 다이어프램(12a)을 향한 탄성력을 받는 상태로 배치되어 있다.
이 때문에, 유로(21a) 유체의 압력이 대기압보다 낮은 부압으로 되는 경우에도, 다이어프램(12a)은 압력 전달부(11)가 다이어프램(22)에서 받는 탄성력에 의한 압력값으로부터 부압분의 압력값을 감산한 값의 압력을 받는 상태가 된다.
이상 설명한 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')가 이루는 작용 및 효과에 대하여 설명한다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')에 의하면, 일단이 압력 센서(12)의 다이어프램(12a)에 접촉하고 또한 타단이 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)에 접촉한 상태로 배치되는 압력 전달부(11)가, 다이어프램(22)으로부터 다이어프램(12a)을 향한 탄성력을 받는 상태로 배치된다.
이 때문에, 유로(21a)를 유동하는 유체의 압력이 일시적으로 저하되어 대기압보다 낮은 부압이 되는 경우에도, 다이어프램(12a)은 압력 전달부(11)가 다이어프램(22)에서 받는 탄성력에 의한 압력값으로부터 부압분의 압력값을 감산한 값의 압력을 받는 상태가 된다. 이에 의해, 다이어프램(12a)은 유체의 압력이 일시적으로 저하되어 부압이 되는 경우에도, 부압에 의한 압력값의 감소를, 다이어프램(22)로부터 받는 탄성력에 의한 압력값으로부터, 감소된 압력값으로서 얻을 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')에 의하면, 유체의 압력이 일시적으로 저하되어 부압이 되는 경우에도 유체의 압력을 정확하게 검출하는 것이 가능해진다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')는 오목부(21d)와 압력 센서(12)에 의해 구분되는 내부 공간(S1)과 외부 공간(S2)을 연통시키는 연통 유로인 통기홈(19c) 및 통기구멍(13c)을 구비한다.
이와 같이 함으로써, 유로 유닛(20)의 다이어프램(22)이 배치되는 오목부(21d)와 압력 센서(12)에 의해 구분되는 내부 공간(S1)이 외부 공간(S2)과 연통된 상태가 된다. 이 때문에, 다이어프램(22)의 변위에 따라 내부 공간(S1)의 용적이 변동되고, 그에 따라 내부 공간(S1)의 압력이 변동되어버리는 결함을 억제할 수 있다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')에 있어서는, 축형상 부재(11b)와 다이어프램(12a)의 접촉 면적이 구면 부재(11a)와 다이어프램(22)의 접촉 면적보다 작다.
이 때문에, 구면 부재(11a)가 다이어프램(22)에서 받는 유체의 압력을, 축형상 부재(11b)를 통하여 다이어프램(12a)에 국소적으로 집중시켜 전달할 수 있다. 따라서, 유체의 압력 변동에 대하여 다이어프램(12a)이 국소적으로 받는 압력의 변동을 증가시켜, 유체의 압력 변동의 검출 정밀도를 높일 수 있다.
본 실시 형태의 압력 검출 장치(100')에 있어서, 구면 부재(11a)는 다이어프램(22)을 향하여 돌출하는 구면 형상으로 형성되는 부재이다. 이 때문에, 다이어프램(22)의 변위에 의하지 않고, 구면 부재(11a)가 다이어프램(22)과 접촉하는 접촉 면적이 거의 일정하게 유지되어, 다이어프램(22)으로부터 구면 부재(11a)에의 유체 압력의 전달 정밀도를 높일 수 있다.
(그 외의 실시 형태)
이상의 설명에서 압력 센서(12)는 다이어프램(12a)에 전달되는 압력에 따라서 변화되는 변형 저항에 따른 압력 신호를 출력하는 변형식의 센서인 것으로 했지만 다른 양태이어도 된다.
예를 들면, 정전용량식의 압력 센서이어도 된다.

Claims (7)

  1. 압력 검출부에 전달되는 압력을 검출하는 압력 검출 유닛과,
    유입구로부터 유출구로 향하는 유동 방향을 따라 유체를 유동시키는 유로가 형성된 유로 본체를 갖는 유로 유닛을 구비하고,
    상기 유로 본체는,
    상기 유입구 및 상기 유출구에 배치되는 한쌍의 단부 유로와,
    상기 한쌍의 단부 유로 사이에 배치되며, 내주면에서 외주면까지의 거리가 상기 한쌍의 단부 유로에서의 내주면에서 외주면까지의 거리보다 짧은 박막 형상의 수압부를 갖고, 상기 한쌍의 단부 유로보다 유로 단면적이 큰 중앙 유로를 가지며,
    상기 한쌍의 단부 유로의 상기 중앙 유로측 단부와 상기 중앙 유로의 양단부를 각각 연결하고, 상기 중앙 유로의 양단부를 향하여 유로 단면적이 점차 확대되도록 형성된, 한쌍의 연결 유로를 가지며,
    상기 한쌍의 단부 유로와 상기 중앙 유로와 상기 한쌍의 연결유로는 가요성의 수지 재료로 일체로 형성되어 있고,
    상기 유로를 통해 흐르는 유체의 압력이 상기 수압부를 통하여 전달되도록 상기 압력 검출부가 배치된 것을 특징으로 하는 압력 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중앙 유로는, 상기 유동 방향 주위의 원주방향 일부 영역에서 내주면으로부터 외주면까지의 거리가 다른 영역에서의 내주면으로부터 외주면까지의 거리보다 짧고,
    상기 일부 영역을 상기 수압부로 한 것을 특징으로 하는 압력 검출 장치.
  3. 삭제
  4. 압력 검출부에 전달되는 압력을 검출하는 압력 검출 유닛과,
    유입구로부터 유출구로 향하는 유동 방향을 따라 유체를 유동시키는 유로가 형성된 유로 본체를 갖는 유로 유닛을 구비하고,
    상기 유로 본체는,
    상기 유입구 및 상기 유출구에 배치되는 한쌍의 단부 유로와,
    상기 한쌍의 단부 유로 사이에 배치되며, 내주면에서 외주면까지의 거리가 상기 한쌍의 단부 유로에서의 내주면에서 외주면까지의 거리보다 짧은 박막 형상의 수압부를 갖는 중앙 유로를 가지며,
    상기 한쌍의 단부 유로와 상기 중앙 유로는 가요성의 수지 재료로 일체로 형성되어 있고,
    상기 유로를 통해 흐르는 유체의 압력이 상기 수압부를 통하여 전달되도록 상기 압력 검출부가 배치되고,
    상기 압력 검출 유닛은,
    상기 압력 검출부를 갖는 압력 센서와,
    일단이 상기 압력 검출부에 접촉하고 타단이 상기 수압부에 접촉한 상태로 배치되어, 상기 수압부가 받은 유체의 압력을 상기 압력 검출부에 전달하는 압력 전달부를 가지며,
    상기 압력 전달부는, 상기 수압부를 상기 유로를 향하여 변위시켜서 상기 수압부로부터 상기 압력 검출부로 향하는 탄성력을 받는 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는 압력 검출 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 유로 유닛에는 상기 수압부가 배치되는 오목부가 형성되어 있고,
    상기 압력 센서는 상기 오목부를 덮도록 상기 유로 유닛에 접촉한 상태로 배치되어 있고,
    상기 오목부와 상기 압력 센서에 의해 구분되는 내부 공간과 외부 공간을 연통시키는 연통 유로를 구비하는 것을 특징으로 하는 압력 검출 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 압력 전달부는,
    상기 수압부에 접촉한 상태로 배치되는 제1 압력 전달 부재와,
    상기 압력 검출부에 접촉한 상태로 배치되는 제2 압력 전달 부재를 가지며,
    상기 제2 압력 전달 부재와 상기 압력 검출부의 접촉 면적은, 상기 제1 압력 전달 부재와 상기 수압부의 접촉 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 압력 검출 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 압력 전달 부재는 상기 수압부를 향하여 돌출하는 구면 형상으로 형성되는 부재인 것을 특징으로 하는 압력 검출 장치.
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