JPH02236431A - 圧電型圧力センサ - Google Patents
圧電型圧力センサInfo
- Publication number
- JPH02236431A JPH02236431A JP5832789A JP5832789A JPH02236431A JP H02236431 A JPH02236431 A JP H02236431A JP 5832789 A JP5832789 A JP 5832789A JP 5832789 A JP5832789 A JP 5832789A JP H02236431 A JPH02236431 A JP H02236431A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- piezoelectric
- electric charge
- piezoelectric element
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 18
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は内燃機間のシリンダー内燃焼圧力等の圧力検出
に適した圧力センサ、特に厚み方向の応力を利用した縦
効果型の圧電型圧力センサに関する。
に適した圧力センサ、特に厚み方向の応力を利用した縦
効果型の圧電型圧力センサに関する。
従来の技術
力を加えて電気を発生する圧電効果を利用した圧電型圧
力センサは、従来よりよく用いられている。第３図に従
来より用いられているせん断型圧力センサの基本構造を
示す。同図（ａ）は縦断面図、同図（ｂ）分解斜視図で
ある。厚さ方向に分極軸を有し円筒の内外周面を電極と
する円筒形圧電素子３１の外周面に円筒形金属体３２を
接着剤等で固定し、さらに円筒形圧電素子３１を固定す
る軸を有する金属体３３を取り付け、円筒形圧電素子３
ｌを支持固定した構造である。円筒形金属体３２を筐体
等で固定し、金属体３３を受圧面とすれば、圧力に応じ
た電気信号出力が得られる。
力センサは、従来よりよく用いられている。第３図に従
来より用いられているせん断型圧力センサの基本構造を
示す。同図（ａ）は縦断面図、同図（ｂ）分解斜視図で
ある。厚さ方向に分極軸を有し円筒の内外周面を電極と
する円筒形圧電素子３１の外周面に円筒形金属体３２を
接着剤等で固定し、さらに円筒形圧電素子３１を固定す
る軸を有する金属体３３を取り付け、円筒形圧電素子３
ｌを支持固定した構造である。円筒形金属体３２を筐体
等で固定し、金属体３３を受圧面とすれば、圧力に応じ
た電気信号出力が得られる。
発明が解決しようとする課題
しかし、上述しだせん断効果型圧力センサの構造は、圧
電素子３ｌと円筒形金属体３２との接触面積が大きく、
且つ円筒形ということから均一な接着が難しい。従って
、センサ間のバラツキが大きくなり量産に向かないとい
う欠点を有していた。
電素子３ｌと円筒形金属体３２との接触面積が大きく、
且つ円筒形ということから均一な接着が難しい。従って
、センサ間のバラツキが大きくなり量産に向かないとい
う欠点を有していた。
本発明は、このような従来の圧力センサの課題を解決す
ることを目的とする。
ることを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、被測定領域内に受圧面が位置しかつ筐体と分
離しかつ筐体に接触固定させた受圧伝達部材を有し、該
受圧部材の受圧面の反対面に直接厚さ方向に分極軸を有
し上下面を電極とした円盤形チタン酸鉛系圧電素子の一
方の面を接触させ，他方の面を絶縁層および固定部材を
介して該筐体に固定し、さらに該圧電素子の１下面に圧
力印加によって発生する電荷を取り出す手段と該電荷を
電圧として取り出す電気回路手段を有するものである。
離しかつ筐体に接触固定させた受圧伝達部材を有し、該
受圧部材の受圧面の反対面に直接厚さ方向に分極軸を有
し上下面を電極とした円盤形チタン酸鉛系圧電素子の一
方の面を接触させ，他方の面を絶縁層および固定部材を
介して該筐体に固定し、さらに該圧電素子の１下面に圧
力印加によって発生する電荷を取り出す手段と該電荷を
電圧として取り出す電気回路手段を有するものである。
作用
本発明は、圧力センサに圧力が印加されると円醗型圧電
素子の厚み方向に単純圧縮応力が働くことになる。応力
モードが単純であり、圧電材科の円盤の全体面で圧力を
受ける構造のため、偏荷重のかからない円盤上下面に均
一な応力が印加される構造をとりやすい。また、印加応
力に安定な圧電特性を有する圧電材料を圧電素子として
用いることにより、縦型圧電素子そのものの特性が得ら
れる。これによってセンサに印加される応力から圧電素
子に印加される動的応力を設計することができ、該動的
応力と出力電圧が直線性をもつ安定したバラツキのない
センサを得ることができる。
素子の厚み方向に単純圧縮応力が働くことになる。応力
モードが単純であり、圧電材科の円盤の全体面で圧力を
受ける構造のため、偏荷重のかからない円盤上下面に均
一な応力が印加される構造をとりやすい。また、印加応
力に安定な圧電特性を有する圧電材料を圧電素子として
用いることにより、縦型圧電素子そのものの特性が得ら
れる。これによってセンサに印加される応力から圧電素
子に印加される動的応力を設計することができ、該動的
応力と出力電圧が直線性をもつ安定したバラツキのない
センサを得ることができる。
実施例
以下に、本発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
実施例１
まず本発明のセンサの構造を説明する。第１図は本発明
の一実施例を示し、その縦断面図である。
の一実施例を示し、その縦断面図である。
厚さ方向に分極軸を有しその上下面に電極を持つチタン
酸鉛系円盤形圧電素子１は、その一方の面が受圧伝達部
材２と面接触し、該受圧伝達部材２の反対側の面は圧力
測定をされる領域（被測定領域）３内に位置させる。こ
の受圧伝達部材２は杵形形状とし、その中央部にＯ−リ
ング４を位置させることによって被測定領域３に存在す
る気体や液体等の圧力媒体のセンサ内部への侵入を防い
でいる。一方、該圧電素子ｌの他方の面は円盤状金属５
に接し、さらに該円盤状金属５は該圧電素子面と筐体６
とを絶縁する機能をもつ石英等の中空セラミックス円筒
板７、および金属製のワツシャ８を介してセラミック基
板９に接している。このセラミック基板９には円盤形圧
電素子１の上面とケーブル１０で電気的に結合した電極
と、筐体６と電気的に結合した電極とを形成している。
酸鉛系円盤形圧電素子１は、その一方の面が受圧伝達部
材２と面接触し、該受圧伝達部材２の反対側の面は圧力
測定をされる領域（被測定領域）３内に位置させる。こ
の受圧伝達部材２は杵形形状とし、その中央部にＯ−リ
ング４を位置させることによって被測定領域３に存在す
る気体や液体等の圧力媒体のセンサ内部への侵入を防い
でいる。一方、該圧電素子ｌの他方の面は円盤状金属５
に接し、さらに該円盤状金属５は該圧電素子面と筐体６
とを絶縁する機能をもつ石英等の中空セラミックス円筒
板７、および金属製のワツシャ８を介してセラミック基
板９に接している。このセラミック基板９には円盤形圧
電素子１の上面とケーブル１０で電気的に結合した電極
と、筐体６と電気的に結合した電極とを形成している。
またインピーダンス変換回路、増幅器等、の電気回路１
１をもその上に構成してある。さらに該セラミック基板
９は金属ワツシャ８′を介して固定ネジ部材ｌ２で筐体
６に締め付け固定することにより取り付けられている。
１をもその上に構成してある。さらに該セラミック基板
９は金属ワツシャ８′を介して固定ネジ部材ｌ２で筐体
６に締め付け固定することにより取り付けられている。
また、センサで得られた電気信号をケーブル１０’によ
って該セラミック基板から外部に取り出すようになって
いる。
って該セラミック基板から外部に取り出すようになって
いる。
次に本発明のセンサの検出動作を説明する。
筐体６を、内燃機間のシリンダ内面等に位置させ、発生
圧力を計測する。シリンダ内部に発生した圧力は受圧伝
達部材２により円盤形圧電素子１に厚み方向の圧縮応力
として伝達される。この圧縮応力によって該圧電素子ｌ
の上下面に電荷が発生する。受圧伝達部材２に接触した
面に発生した電荷は該伝達部材２と筐体６を経由し、セ
ラミック基板９の接地電極に結合されている。一方、他
の面で発生した電荷は円盤状金属５、ケーブルｌＯを介
してセラミック基板９のもう一方の電極に伝えられる。
圧力を計測する。シリンダ内部に発生した圧力は受圧伝
達部材２により円盤形圧電素子１に厚み方向の圧縮応力
として伝達される。この圧縮応力によって該圧電素子ｌ
の上下面に電荷が発生する。受圧伝達部材２に接触した
面に発生した電荷は該伝達部材２と筐体６を経由し、セ
ラミック基板９の接地電極に結合されている。一方、他
の面で発生した電荷は円盤状金属５、ケーブルｌＯを介
してセラミック基板９のもう一方の電極に伝えられる。
これらの電荷は圧電素子の出力インピーダンスを下げる
インピーダンス変換回路、適当な感度に設定するための
増幅回路等の電気回路ｌ１により、ケーブル１０’に出
力としてでるように構成してある。
インピーダンス変換回路、適当な感度に設定するための
増幅回路等の電気回路ｌ１により、ケーブル１０’に出
力としてでるように構成してある。
このような構成の圧力センサでは円盤形圧電素子やセラ
ミック中空円筒板は研磨等により上下面精度や厚みの高
精度制御が可能で、その他の金属部材と整合性よく組み
立てが可能で圧電素子に｛扁荷重なく均一に応力を加え
ることができる。この結果センサ間のバラツキが小さく
かつ出力ヒステリシスのない高精度の圧力センサの供給
が可能となる。
ミック中空円筒板は研磨等により上下面精度や厚みの高
精度制御が可能で、その他の金属部材と整合性よく組み
立てが可能で圧電素子に｛扁荷重なく均一に応力を加え
ることができる。この結果センサ間のバラツキが小さく
かつ出力ヒステリシスのない高精度の圧力センサの供給
が可能となる。
また、チタン酸鉛を主成分とした圧電材科は高い耐熱性
と同時に高温下で安定な特性を示す。また圧電材、科の
厚み方向の圧電定数ｄ３３は締め付け圧力等の静圧が変
化しても安定な値を示すとともにその値はｄｏｓと同等
であり、ｄ−Ｊ＋に比べて犬きく、センサを構成した場
合に大きい感度が得られるという特長を有する。このよ
うにチタン酸鉛系圧電材科は内燃機関のシリンダー内部
の圧力のような高温、高圧下での応力計測に適している
。これに対しチタン酸ジルコン酸鉛系圧電材科は耐熱性
に乏しく、高圧下では圧電特性が変化し高温、高圧下で
の使用には適さない。
と同時に高温下で安定な特性を示す。また圧電材、科の
厚み方向の圧電定数ｄ３３は締め付け圧力等の静圧が変
化しても安定な値を示すとともにその値はｄｏｓと同等
であり、ｄ−Ｊ＋に比べて犬きく、センサを構成した場
合に大きい感度が得られるという特長を有する。このよ
うにチタン酸鉛系圧電材科は内燃機関のシリンダー内部
の圧力のような高温、高圧下での応力計測に適している
。これに対しチタン酸ジルコン酸鉛系圧電材科は耐熱性
に乏しく、高圧下では圧電特性が変化し高温、高圧下で
の使用には適さない。
なお上記のセンサ構成部材の金属はインバー合金のよう
な線熱膨張係数の小さいものが望ましく、個々の構成部
材の線熱膨張係数の差が、±１．０×１０−６の範囲内
にあることか望ましい。線熱膨張係数の差が±＋．ｏｘ
ｔｏ−６より大きくなるとセンサ特性に大きな影響を
及ぼし！、−４０〜２５０℃のような広範囲の温度下で
のセンサ使用に不適となる。
な線熱膨張係数の小さいものが望ましく、個々の構成部
材の線熱膨張係数の差が、±１．０×１０−６の範囲内
にあることか望ましい。線熱膨張係数の差が±＋．ｏｘ
ｔｏ−６より大きくなるとセンサ特性に大きな影響を
及ぼし！、−４０〜２５０℃のような広範囲の温度下で
のセンサ使用に不適となる。
このように本発明のセンサでは構造が簡単で、バラツキ
が小さく、高温高圧下の使用においても高精度な量産に
適した圧力センサを供給できる。
が小さく、高温高圧下の使用においても高精度な量産に
適した圧力センサを供給できる。
実施例２
センサの構造は実施例ｌのもの円盤形圧電素子部を除い
て同一である。本実施例の圧電素子は第２図のようにチ
タン酸鉛を主成分とする５個（奇数個）の円盤形圧電材
科２１を分極軸方向が層毎に反対になるように積層し、
かつ分極方向の同じ電極面を第２図のように電気的に導
線２２で結合したものであり、実施例１と同様なメカニ
ズムで圧電素子の厚み方向に印加される応力により個々
の円盤形圧電素子の上下面に発生する電荷を、積層した
圧電素子の七下面から電荷を取り出す。このことにより
、実施例１のものに比べ圧電素子の積層数倍感度を大き
くすることが可能となり、より高精度、高感度でバラツ
キの小さい圧力センサの供給ができる。
て同一である。本実施例の圧電素子は第２図のようにチ
タン酸鉛を主成分とする５個（奇数個）の円盤形圧電材
科２１を分極軸方向が層毎に反対になるように積層し、
かつ分極方向の同じ電極面を第２図のように電気的に導
線２２で結合したものであり、実施例１と同様なメカニ
ズムで圧電素子の厚み方向に印加される応力により個々
の円盤形圧電素子の上下面に発生する電荷を、積層した
圧電素子の七下面から電荷を取り出す。このことにより
、実施例１のものに比べ圧電素子の積層数倍感度を大き
くすることが可能となり、より高精度、高感度でバラツ
キの小さい圧力センサの供給ができる。
このように本発明のセンサにおいては実施例ｌのセンサ
の効果に加えて高感度な特長を有するセンサが供給でき
る。
の効果に加えて高感度な特長を有するセンサが供給でき
る。
発明の効果
本発明による圧電型圧力センサでは、円盤形圧電素子や
セラミック中空円筒板は研磨等により上下面精度や厚み
の高精度制御が可能で、その他の金属部材と整合性よく
絹み立てが可能で圧電素子に偏荷重なく均一に応力を加
えることができる。
セラミック中空円筒板は研磨等により上下面精度や厚み
の高精度制御が可能で、その他の金属部材と整合性よく
絹み立てが可能で圧電素子に偏荷重なく均一に応力を加
えることができる。
この結果センサ間のバラツキが小さくかつ出力ヒステリ
シスのない高精度の圧力センサの供給が可能となる。ま
たこの圧力センサは構造が簡単なため、安価に供給が可
能でかつ上記の効果を有するため、自動車などの制御に
大きく貢献することが間待てきる。
シスのない高精度の圧力センサの供給が可能となる。ま
たこの圧力センサは構造が簡単なため、安価に供給が可
能でかつ上記の効果を有するため、自動車などの制御に
大きく貢献することが間待てきる。
第１図は本発明の実施例１の圧力センサの断面図、第２
図は本発明の実施例２の圧電素子部を示す側面図、第３
図は従来の圧力センサの概略を示す断ＷＪ図である。 １・・・円盤形圧電素子、２・・・受圧伝達部材、３・
・・被測定領域、４・・・Ｏ−リング、５・・・円盤状
金属、６・・・筐体、７・・・セラミック板、８、８′
・・・金属製ワッシャ、９−・・セラミック基板、１
０、１０゛ ・・・）１ 一ブル、１１・・・電気回路
、１２・・・固定ネジ部材、２１・・・円醗形圧電材料
、２２・・・導線、３１・・・円筒形圧電素子、３２・
・・円筒形金属体、３３・・・金属体。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝はか１名第 図 第 ３ｌ２ｌ ＩＱ）
図は本発明の実施例２の圧電素子部を示す側面図、第３
図は従来の圧力センサの概略を示す断ＷＪ図である。 １・・・円盤形圧電素子、２・・・受圧伝達部材、３・
・・被測定領域、４・・・Ｏ−リング、５・・・円盤状
金属、６・・・筐体、７・・・セラミック板、８、８′
・・・金属製ワッシャ、９−・・セラミック基板、１
０、１０゛ ・・・）１ 一ブル、１１・・・電気回路
、１２・・・固定ネジ部材、２１・・・円醗形圧電材料
、２２・・・導線、３１・・・円筒形圧電素子、３２・
・・円筒形金属体、３３・・・金属体。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝はか１名第 図 第 ３ｌ２ｌ ＩＱ）
Claims (3)
- （１）被測定領域内にその受圧面が位置しかつ筐体と分
離しかつ筺体に接触固定された受圧伝達部材を有し、該
受圧伝達部材の受圧面の反対面に直接厚さ方向に分極軸
を有し上下面を電極とした円盤形圧電素子の一方の面が
接触され、他方の面が絶縁層および固定部材を介して該
筐体に固定され、さらに該圧電素子の上下面に圧力印加
によって発生する電荷を取り出す手段と、該電荷を電圧
として取り出す電気回路手段とを有することを特徴とす
る圧電型圧力センサ。 - （２）奇数個の円盤形圧電素子を分極軸方向が層毎に反
対になるように積層し、かつ分極方向の同じ電極面を電
気的に結合し、上下面から圧電素子に発生する電荷を取
り出すことを特徴とする請求項１記載の圧電型圧力セン
サ。 - （３）円盤形圧電素子としてチタン酸鉛系の圧電材料を
用いることを特徴とする請求項１記載の圧電型圧力セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5832789A JPH02236431A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 圧電型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5832789A JPH02236431A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 圧電型圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02236431A true JPH02236431A (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=13081202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5832789A Pending JPH02236431A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 圧電型圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02236431A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0485137U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-23 | ||
| US5138885A (en) * | 1990-03-16 | 1992-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric-type pressure sensor |
| FR2724267A1 (fr) * | 1994-09-02 | 1996-03-08 | Coget Didier | Dispositif a traducteur de pression pour cable de telecommunications |
| CN103245456A (zh) * | 2012-02-09 | 2013-08-14 | Smc株式会社 | 压力检测器 |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP5832789A patent/JPH02236431A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5138885A (en) * | 1990-03-16 | 1992-08-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric-type pressure sensor |
| JPH0485137U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-23 | ||
| FR2724267A1 (fr) * | 1994-09-02 | 1996-03-08 | Coget Didier | Dispositif a traducteur de pression pour cable de telecommunications |
| CN103245456A (zh) * | 2012-02-09 | 2013-08-14 | Smc株式会社 | 压力检测器 |
| JP2013160747A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-19 | Smc Corp | 圧力検出器 |
| US9164008B2 (en) | 2012-02-09 | 2015-10-20 | Smc Kabushiki Kaisha | Pressure detector |
| CN103245456B (zh) * | 2012-02-09 | 2016-04-06 | Smc株式会社 | 压力检测器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3673442A (en) | Temperature compensated piezoelectric accelerometer | |
| JP5139803B2 (ja) | 圧電特性とパイロ電気特性とを有する少なくとも１つの測定素子を有するセンサ素子 | |
| US3585415A (en) | Stress-strain transducer charge coupled to a piezoelectric material | |
| US2558563A (en) | Piezoelectric strain gauge | |
| US4443729A (en) | Piezoceramic bender element having an electrode arrangement suppressing signal development in mount region | |
| US3582691A (en) | Force transducer units with multiple sensing elements | |
| US4503351A (en) | Piezoelectric element for incorporation in pressure, force or acceleration transducers | |
| US3358257A (en) | Force and moment transducer | |
| US6617764B2 (en) | High temperature piezoelectric sensor | |
| JPH0454165B2 (ja) | ||
| US3858065A (en) | Annular 3m class piezoelectric crystal transducer | |
| JPH06508920A (ja) | ノッキングセンサ | |
| JP2018025544A (ja) | 圧電変換器 | |
| JPH0715485B2 (ja) | 圧電型力学量センサ | |
| US4712036A (en) | Pressure transducer having a piezoelectric element for pressure measurements at high temperatures particularly for the combustion chamber pressure of internal combustion engines | |
| US4052628A (en) | Dynamic, shear-mode piezoelectric pressure sensor | |
| US3210993A (en) | Electromechanical transducer utilizing poisson ratio effects | |
| US4367408A (en) | Pyroelectric type infrared radiation detecting device | |
| JPH02236431A (ja) | 圧電型圧力センサ | |
| JP3873040B2 (ja) | 圧力センサ | |
| EP0145480B1 (en) | Cylinder pressure transmitter for an internal combustion engine | |
| US4106349A (en) | Transducer structures for high pressure application | |
| JPH0654274B2 (ja) | 半導体圧力変換器 | |
| JPH0323550Y2 (ja) | ||
| CA1236706A (en) | Pressure transducer |