TWI516353B

TWI516353B - 模具清潔片

Info

Publication number: TWI516353B
Application number: TW101133862A
Authority: TW
Inventors: 高島浩一
Original assignee: 日東電工股份有限公司
Priority date: 2011-11-21
Filing date: 2012-09-14
Publication date: 2016-01-11
Also published as: CN103128884A; JP2013107287A; CN105538556A; MY167740A; KR102002175B1; TW201321160A; CN103128884B; KR20130056162A; JP5741398B2; SG190510A1

Description

模具清潔片

本發明係關於當清潔模具之模具表面時所使用之模具清潔片。

在經由轉移模塑以樹脂密封半導體裝置之製程中，通常反復進行使用模具之樹脂模塑加工。隨著該樹脂模塑加工之重複次數(注射之次數)之增加，污染物，例如具有自該樹脂滲出之組分，毛刺及粉屑累積在模具之模具表面，特別係空腔之表面上。此等污染物導致其從該模具移除時模製品脫離之能力之減少，該等模製品之表面之糙化等等。因此，模具表面(空腔之表面)在給定重複次數之模塑加工(注射次數)之後需要清潔。

已提出作為清潔模具表面之方法之使用模具清潔片之方法(例如參見專利文獻1或2)。此模具清潔片係顯示於圖14，包括片狀基底材料1及在該片狀基底材料1之一側或兩側(圖14中為一側)上形成且以相鄰構件之間之間隙平行對齊之複數個帶形模具清潔構件20。清潔模具時，該模具清潔片係夾在該模具之上部分及下部分之間，且在該階段，將該模具夾住。因此該模具清潔片之模具清潔構件20放入空腔中。同時，該空腔中之空氣從相鄰帶形模具清潔構件20之間之間隙排出，且該等模具清潔構件20填滿該空腔之內部。且熱模塑係在此情形下進行，借此使得該空腔之表面上之污染物黏附至該等模具清潔構件20。其後從該模具移除該模具清潔片，且該等污染物連同該等模具清潔構件20從該模具表面(該空腔之表面)消除。

專利文獻1：JP-A-2007-196586

專利文獻2：JP-A-2008-132759

雖然彼等模具清潔片確保從空腔之內部經由用於如上所述之空氣移除所形成之間隙良好移除空氣且從而獲得將模具清潔構件20放入空腔之性質(清潔性質)之優勢，但在一些情況下彼等發生起皺及翹曲。當模具經此模具清潔片清潔時，存在該模具清潔片之尺寸達不到該模具尺寸或該模具清潔片發生彎曲之情況。在此情況下，發生該等模具清潔構件20放入空腔中之性質之劣化，其導致無法充分地清潔。

在該等情況下，本發明者試圖尋找起皺及翹曲之原因。因此，本發明發現該原因在於該等帶形模具清潔構件20沿著其長度收縮且該收縮取決於例如該等模具清潔構件20之大小、形狀及成分。更特定而言，本發明者發現雖然藉由在片狀基底材料1之一側或兩側上將未硫化橡膠組合物或熱固性樹脂組合物模塑成帶形模具清潔構件20進行該模具清潔片之製造，但從該模具移除該模具清潔片後留在該形成之清潔模具構件20中之熱應力導致該等帶形模具清潔構件20沿著其長度之收縮；因此該模具清潔片中發生起皺及翹曲。

本發明係針對該等情況而進行，且因此本發明之目標係提供既不起皺也不翹曲且具有高清潔性質之模具清潔片。

為了達成以上該目標，本發明係關於以下(1)至(5)之細目。

(1)用於清潔具有空腔之模具之模具清潔片，該空腔具有橢圓形或四方形之開口，其中該模具清潔片包括：片狀基底材料；及在該片狀基底材料之至少一側上形成之複數個帶形模具清潔構件，其自未硫化橡膠組合物或熱固性樹脂組合物形成，且係以該複數個帶形模具清潔構件與該基底材料上之間隙平行對齊之圖案佈置，在該等模具清潔構件之縱軸方向上以預定間隔將各模具清潔構件切分成複數個組塊以形成包括該複數個組塊之行，該等組塊各具有自3 mm至50 mm之長度，在包括該等複數個組塊之行中之相鄰組塊之間之間隙係0.1 mm或更大，且其係不大於該等模具清潔構件之寬度，在該等模具清潔構件之寬度方向上之相鄰模具清潔構件之間之間隙係不小於該等模具清潔構件之寬度之1/2且不大於該等模具清潔構件之寬度，且該等模具清潔構件之寬度係1 mm或更大且不大於該空腔中之開口之寬度之4/5。

(2)根據(1)之模具清潔片，其中該片狀基底材料係布料。

(3)根據(2)之模具清潔片，其中該布料係包括長纖維之織物或不織物。

(4)根據(3)之模具清潔片，其中該不織物係紡黏型不織物。

(5)根據(1)至(4)之任一者之模具清潔片，其中該片狀基底材料係經壓紋處理。

本發明者重複如何防止上述模具清潔片(其各具有以相鄰構件之間之間隙平行對齊之複數個帶形模具清潔構件)變得起皺及翹曲同時利用其高清潔之能力之研究。因此本發明者發現，當在其縱軸方向上以預定間隔將該等帶形模具清潔構件中之各個切分以形成包括複數個組塊之行，因留在該模具清潔構件中之熱應力引起之收縮不是由該帶形者整體產生，而是分擔在該等組塊當中，藉此獲得收縮之減少。此外，本發明者已重複有關組塊形模具清潔構件之適當且恰當尺寸及其他方面的研究。因此，本發明者已發現，當調節各組塊之長度落入3至50 mm之範圍內，且此外調節包括該等複數個組塊之行中之相鄰組塊之間之間隙為具有0.1 mm或更大且不大於該模具清潔構件之寬度之尺寸，進一步調節其寬度方向上對齊之模具清潔構件之相鄰者之間之間隙為具有不小於各模具清潔構件之寬度之1/2且不大於各模具清潔構件之寬度，且此外調節各模具清潔構件之寬度為具有1 mm或更大且不大於該空腔中之橢圓形或四方形(矩形或或規則正方形)之形狀之開口之寬度之4/5之尺寸，使得該收縮變得適當且恰當，在該模具清潔片中既不發生起皺也不發生翹曲，且亦改善該清潔性質從而達成本發明。

在本發明之模具清潔片中，複數個帶形模具清潔構件在片狀基底材料之至少一側上形成，且在其縱軸方向上以預定間隔將其切分以形成包括複數個組塊之行，且調節各組塊之長度落入3至50 mm之範圍內。因此發生在各帶形模具清潔構件中之收縮可分佈在該等組塊當中且減弱，藉此使得防止本發明之模具清潔片變得起皺及翹曲成為可能。此外在該等模具清潔構件中之各行中，間隙係在該行中之相鄰組塊形模具清潔構件之間形成。因此此間隙連同在寬度方向上對齊之模具清潔構件之相鄰者之間之間隙(先前已知之間隙)可用作在清潔模具時用於移除空氣之間隙，且導致用於移除空氣之間隙之數量之增加。此外調節包括複數個組塊之各行中之相鄰組塊之間之間隙為具有0.1 mm或更大且不大於該模具清潔構件之寬度之尺寸，且此外調節在其寬度方向上對齊之模具清潔構件之相鄰者之間之間隙為具有不小於各模具清潔構件之寬度之1/2且不大於各模具清潔構件之寬度；因此該空氣移除係適當地進行，且與未發生起皺及翹曲結合之該適當的空氣移除帶來將該等模具清潔構件放入空腔中之性質之改善，且進一步導致清潔性質之改善。此外調節各模具清潔構件之寬度為具有1 mm或更大且不大於該空腔中之具有橢圓形或四方形之形狀之開口之寬度之4/5之尺寸，且因此該空腔中之開口(即使大小較小)僅部分經該模具清潔構件填充；因此本發明之模具清潔片顯示從空腔之內部移除空氣之極佳之能力，且從而使模具清潔構件放入空腔之性質(清潔性質)優異。

當該片狀基底材料係布料，其表面係粗糙的，且從而改善錨定該等模具清潔構件之效果。因此可加強介於該片狀基底材料與該等模具清潔構件之間之黏著力。

當該布料係包括長纖維之織物或特定言之為不織物時，該片狀基底材料(布料)之表面粗糙度變得適當及恰當，且其使得錨定該等模具清潔構件之效果變得適當及恰當。

此外，當該不織物係紡黏型不織物時，此不織物係相對缺少抗拉強度之方向性且其易於吸收及減輕熱模塑時所施加之應力；因此在熱模塑時該織物抵抗片斷裂。且此外，在從模具剝離(脫模)時該織物不會導致片斷裂，且使得剝離(脫模)工作簡單且容易。

此外，當該片狀基底材料受壓紋處理，因為該片狀基底材料亦可具有粗糙表面，其顯示錨定該等模具清潔構件之效果之增加且其可加強該片狀基底材料至該等模具清潔構件之黏著力。

其次，根據該等圖詳細描述本發明之實施例。

圖1顯示本發明之模具清潔片之第一實施例。根據此實施例之模具清潔片係用於清潔模具之片，其中形成各具有橢圓形或四方形(矩形或或規則正方形)之形狀之開口的空腔，且在片狀基底材料1之一側上具有複數個組塊形模具清潔構件2(其係由自未硫化橡膠組合物或熱固性樹脂組合物製造且有規則地佈置成具有間隙a及間隙b之列及行)。更特定而言，在根據此實施例之模具清潔片中，將先前已知之模具清潔片(參見圖14)之各帶形模具清潔構件20係沿著該模具清潔構件之縱軸方向分成複數個組塊(相鄰組塊之間具有預定間隙a)，且形成包括彼等組塊之行。此外，調節各組塊形模具清潔構件2之長度Y(各組塊縱軸方向上之尺寸)落入3至50 mm之範圍內，調節包括該等複數個組塊形模具清潔構件2之各行中之相鄰組塊之間之間隙a為0.1 mm或更大且不大於各模具清潔構件2之寬度X，調節其寬度方向上相鄰模具清潔構件2之間之間隙b為不小於各模具清潔構件之寬度X之1/2且不大於各模具清潔構件之寬度X，且調節各模具清潔構件2之寬度X為1 mm或更大且不大於空腔中之具有橢圓形或四方形之形狀之開口之寬度(橢圓形或四方形之一邊至一邊之尺寸中之一較小者)之4/5。具有此等尺寸之圖案中之該模具清潔構件2之配置係本發明之主要特徵。此外，在此實施例中，各組塊係整體形成使得在垂直於該縱軸方向之平面中具有類似圓頂之剖面形狀。

更特定而言，在如上所述之根據此實施例之模具清潔片中，藉由將各帶形模具清潔構件20沿著該模具清潔構件之縱軸方向分成複數個組塊(相鄰組塊之間具有間隙a)，模具清潔構件2之縱軸方向(該等組塊之行方向)上之收縮係分佈在該等組塊當中，其導致整體模具清潔片中之收縮受到控制。當以增加生產率為目的對模具清潔片進行增加大小時，該控制變得更有效。此外，藉由調節各組塊之長度Y使落入3至50 mm之範圍內，防止該模具清潔片發生起皺及翹曲。此外，從更有效防止起皺及翹曲之觀點來看，使各組塊之長度Y在10至40 mm之範圍內係適當的。且此外在一般情況下調節該組塊之高度H落入1至5 mm之範圍內。

此外，根據此實施例之模具清潔片除了具有如先前已知之模具清潔片(參見圖14)中之模具清潔構件2之寬度方向上之相鄰模具清潔構件20之間之間隙b以外，又具有如上所述之在各模具清潔構件20之縱軸方向上之相鄰組塊之間所形成之間隙a。此外調節該間隙a及該間隙b各自落入前述之範圍內，藉此在清潔模具時達成適當及恰當之空氣移除。且適當及恰當之空氣移除與防止起皺及翹曲結合使該模具清潔片緊密接觸模具之模具表面變得容易，增強該模具清潔構件2放入空腔中之性質且提供清潔性質之改善。

此外，在根據此實施例之模具清潔片中，調節各模具清潔構件2之寬度為具有1 mm或更大且不大於該空腔中之具有橢圓形或四方形之形狀之開口之寬度之4/5之尺寸，藉此該空腔中之開口(即使大小較小)僅部分由模具清潔構件2填充；因此本發明之模具清潔片可顯示從空腔之內部移除空氣之極佳之能力且從而使模具清潔構件放入空腔之性質(清潔性質)優異。附帶而言，從該放入性質之觀點來看，該組塊之寬度X之較佳之範圍係空腔中之具有橢圓形或四方形之形狀之開口之寬度之2/5至4/5。此外從減少該模具清潔構件2之收縮之觀點來看，調節各模具清潔構件2之寬度X使得其不超過50 mm。

此外，在根據此實施例之模具清潔片中，相鄰模具清潔構件2之間之間隙a及間隙b形成柵極圖案，其使得按縱向及橫向切分該模具清潔片變得容易，且允許使用依據待清潔之模具之尺寸切分成適當及恰當之大小之模具清潔片。

以下給定更詳細之解釋。形成片狀基底材料1之物質包括紙(手工日本紙、由西方方式製造之紙、合成紙等等)、布料(織物、不織物、由針織生產之布料等等)及塑料(聚對苯二甲酸乙二酯、聚醯亞胺、聚萘二甲酸乙二酯、聚醯胺、聚丙烯等等)。至於片狀基底材料1之厚度，使用具有0.05 mm至1 mm之厚度之片。在彼等物質中，從產生錨定該等模具清潔構件2之效果及加強其至該等模具清潔構件2之黏著性之觀點來看，不織物、受壓紋處理之物質、經處理以具有粗糙表面之物質、經穿孔處理之物質、多孔物質及其類似物係較佳的。不織物中，從其極佳之斷裂強度來看，紡黏型不織物相較其他者係較佳的。

在另一方面，藉由將無機填充料(例如矽石粉末或氧化鈦)混合至未硫化橡膠或熱固性樹脂中，製備用於形成該模具清潔構件2之未硫化橡膠組合物或熱固性樹脂組合物。矽石粉末之含量係約40至約50重量份，且氧化鈦之含量係約5重量份(100重量份之基於未硫化橡膠或熱固性樹脂)。此外，亦根據需要將其他成分適當地混合至此組合物中。

該未硫化橡膠之實例包括天然橡膠(NR)、氯丁二烯橡膠 (CR)、丁二烯橡膠(BR)、腈-丁二烯橡膠(NBR)、乙烯-丙烯-二烯橡膠(EPDM)、乙烯-丙烯橡膠(EPM)、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)、聚異戊二烯橡膠(IR)、異戊二烯-異丁烯橡膠(IIR)、矽氧烷橡膠(例如Q)及含氟彈性體(例如FKM)。

該熱固性樹脂組合物之實例包括三聚氰胺樹脂。

不特別限制該等模具清潔構件2之顏色，但具有淺色(例如白色或黑色)之彼等係較佳的。這是因為從模具之空腔所消除污染物具有暗色(例如黑色)，且因此模具清潔構件2之淺色使得用肉眼檢查污染物是否黏著至該等模具構件2變得容易。為了給該等模具清潔構件賦予淺色，將白色顏料或其類似物添加至未硫化組合物或熱固性樹脂組合物。

該模具清潔片可例如由以下方式製造。首先用連續型捏和機或批次型捏和機捏和該未硫化橡膠組合物或該熱固性樹脂組合物，且隨後將其放在該片狀基底材料1之一側上。隨後用具有對應於該等模具清潔構件2之配置圖案的凹陷之模具加壓放在該基底材料上之組合物。因此，在該片狀基底材料1之一側上以整合方式形成根據該配置圖案之該等模具清潔構件2。脫模後，將該整合之材料捲起來或切分至適當之大小。

附帶而言，雖然僅在前述之實施例中之片狀基底材料1之一側上形成該等模具清潔構件2，但其可在顯示於圖2之片狀基底材料1之兩側上形成。在一方面，顯示於圖3之該等前表面上之組塊形模具清潔構件2經佈置使其與後表面上之彼等長度之方向不同(圖3中成90°)。

此外，雖然各模具清潔構件2係整體形成以使得在垂直於該模具清潔材料2之縱軸方向之平面中具有類似圓頂之剖面形狀，但其可具有任何其他剖面形狀。例如在該頂部部分該剖面可形成類似圓頂之且在下半部分其類似梯形(顯示於圖4a)，或在該頂部部分其可形成類似圓頂且在下半部分其類似矩形(顯示於圖4b)。此外，該剖面可為三角形狀(顯示於圖4c)或梯形形狀(顯示於圖4d)或半圓形形狀(顯示於圖4e)。

在彼等模具清潔構件中，圖4a至4c及圖4e所顯示之彼等經形成使得在該頂部上其係非平坦的，且因此，即使當空腔中之開口較小時，該等模具清潔構件2之非平坦之頂部使部分填滿該空腔中之開口變得容易，且空腔之內部中之空氣之移除變得更容易。因此，越加改善放入模具清潔材料之性質且亦增強清潔空腔之內部之性質。

在進一步考慮各模具清潔構件2之情況下，在沿著該模具清潔材料2之縱軸方向之平面中其剖面形狀可為矩形(顯示於圖5a)(該形狀使得縱軸方向上之兩端面垂直於片狀基底材料1且其周界經成形成正方形)，或其可為梯形(顯示於圖5b)(該形狀使得縱軸方向上之兩端面係傾斜的且其周界經形成角度)，或其可為使得縱軸方向上之兩端面形成彎曲面之形式(顯示於圖5c)(該形狀亦使該等端面之周界圓滑)。附帶而言，在顯示於圖1至圖3之該等前述之實施例中，沿著各模具清潔構件2之縱軸方向之平面中之剖面形狀係顯示於圖5a。

如圖4a、圖4c至圖4e、圖5b及圖5c所顯示之情況下，關於具有模具清潔構件(其側面及端面與該片狀基底材料1之表面不成直角)之該等模具清潔片，在該等模具清潔構件之根部(底側上)進行模具清潔構件2之寬度X及長度Y及間隙a及b之測量。

至於該等模具清潔構件2之配置圖案，其實例包括平面圖顯示於圖6至11之配置圖案。附帶而言，該等模具清潔構件2之根部(底側)經繪畫表示在彼等圖6至11中。更特定而言，該配置圖案可為由如圖6所顯示之在列及行上經規則佈置之正方形組成之圖案，或由如顯示於圖7a之垂直或如顯示於圖7b之水平導向之長度方向之列及行上經規則佈置之橢圓形(寬度X：長度Y=1：10)組成之圖案，或由如顯示於圖8a之垂直或如顯示於圖8b之水平導向之長度方向之列及行上經規則佈置之矩形(寬度X：長度Y=1：10)組成之圖案，或顯示於圖9之圖案，其中顯示於圖8a之最外側之列中之各矩形係經放置使得其一終端與該片狀基底材料之邊緣一致。此外顯示於圖8a及8b之矩形寬度X與該長度Y之間之比率可改變至顯示於圖10a及10b之1：5.5或顯示於圖11a及11b之1：4。附帶而言，在顯示於圖1至3之各實施例中該等模具清潔構件2之根部(底側)之配置圖案係相等於顯示於圖9之配置圖案。

此外，雖然在各前述實施例中相鄰模具清潔構件2之間之間隙a及b中之片狀模具清潔片1係裸露的，對應於該等間隙a及b之片狀基底材料1之部分可由形成用於該等模具清潔構件2之材料之薄膜(由未硫化橡膠組合物或熱固性樹脂組合物組成之薄膜2a)覆蓋，其顯示於圖12a至12e(對應於圖4a至4e中之彼等之剖面圖)及圖13a至13c(對應於圖5a至5c中之彼等之剖面圖)。在該等情況下，調節該薄膜2a及該片狀基底材料1為具有相同之厚度係適當的。藉由此調節，即使在並列放置之該等模具清潔構件2之間形成且呈自該基底材料1之表面突出之狀態時，該薄膜2a不具有對該模具清潔片之收縮之不利影響且其在該模具清潔片中既不導致起皺也不導致翹曲。

實例

其次，以下說明根據本發明之實例連同對比實例。然而本發明不應視為限制該等實例。

<布料之片>

製備由長聚酯纖維組成之紡黏型不織物(Eltas E01070，由Asahi Kasei Corporation製造)作為片狀基底材料。該紡黏型不織物具有8.5 N之撕裂強度、0.35 mm之厚度及70 g/m²之基重。

<模具清潔材料>

藉由在捏和機中捏和100重量份之乙烯丙烯橡膠、50重量份之矽石粉末、5重量份之氧化鈦、2重量份之有機過氧化[正丁基-4,4-雙(第三過氧化丁基)戊酸酯]、10重量份之咪唑[2,4-二胺基-6-(2'-甲基咪唑基-(1'))乙基-對稱-三嗪]及5重量份之褐煤蠟製備模具清潔材料。

<實例1至5及對比實例1至6>

在該片狀基底材料之兩側上，以前述方式製備之該模具清潔材料形成圖案(組塊規則地佈置成列及行，且在相鄰組塊之間具有間隙)，藉此製得模具清潔片(參見圖2)。形成各組塊使得其具有顯示於圖1之形狀。且各組塊之尺寸及該等間隙係顯示於以下表1及2。

<模具清潔片之收縮比率>

分別在實例1至5及對比實例1至6中之該等模具清潔片經製備之前及之後，該片狀基底材料之尺寸測量係沿著對應於模具清潔構件之縱軸方向之方向而進行，且由從而所獲得之測量值計算彼等模具清潔片中之片狀基底材料之收縮比率。根據該等計算結果，具有低於1%之收縮比率之模具清潔片等級評定為「A」，具有1%至3%之收縮比率之彼等等級評定為「B」，具有超過3%之收縮比率之彼等等級評定為「C」。從而所獲得之評比結果係顯示於下表1及2。附帶而言，在對比實例2及4中難以製造模具清潔片，且因此對其無給定之等級評定。

[放入性質]

用實例1至5及對比實例1至6中所製造之各模具清潔片進行模具清潔。待清潔之模具係用於將半導體裝置密封於樹脂之轉移模塑之模具，且其係由上部分及下部分構成。上部分及下部分之各模具表面(相對面)係測量為24 mm乘以91 mm之矩形形狀。且夾固下之各空腔之形狀幾乎為矩形體(該空腔中之各開口之形狀係橢圓)，且其尺寸係5 mm乘以5 mm乘以2 mm(高度)(該空腔中之各開口之寬度係5 mm)。此外，在該模具中所形成之空腔之數量係16，且該等空腔係佈置成兩平行列，其中各列包括8個空腔。介於彼等兩列之間之間隙係10 mm，且各列中相鄰空腔之間之間隙係1 mm。至於該等清潔條件，該模具之夾固間隙設置在0.5 mm，該模塑溫度設置在175℃，且該模塑時間設置在5分鐘。該等設置下清潔後之條件係由視覺觀察來檢查。根據所獲得之觀察結果，允許清潔各空腔中之每個角落之模具清潔片係視為具有優越之放入性質且等級評定為「A」，且空腔中之角落中之遺留下之未清潔部分之彼等係視為具有較差之放入性質且等級評定為「B」。從而所獲得之評比結果係顯示於下表1及2。附帶而言，在對比實例2及4中難以製造模具清潔片，且因此對其無給定之等級評定。

從顯示於表1及2之結果可看出，實例1至5中所製造之模具清潔片具有較對比實例1至6中所製造之模具清潔片優越之放入性質。

雖然引用其特定實施例詳細描述本發明，但熟習此項技術者當明白在在不脫離本發明之範疇及精神下可對其做出多種改變及改良。

附帶而言，本發明申請案係基於2011年11月21日申請之日本專利申請案號2011-254241，且該等內容係以引用之方式併入本文中。

本文所標記之全部引用係以全文引用之方式併入本文中。

根據本發明之模具清潔片對於清潔模具之模具表面係有用的。

1‧‧‧片狀基底材料

2‧‧‧模具清潔構件

2a‧‧‧薄膜

20‧‧‧模具清潔構件

a‧‧‧間隙

b‧‧‧間隙

H‧‧‧高度

X‧‧‧寬度

Y‧‧‧長度

圖1係示意性顯示本發明之模具清潔片之第一實施例之傾斜透視圖。

圖2係示意性顯示本發明之模具清潔片之第二實施例之傾斜透視圖。

圖3係示意性顯示本發明之模具清潔片之第三實施例之傾斜透視圖。

圖4a至4e係示意性顯示模具清潔構件之一剖面之形狀之多種實例之圖，其剖面係顯示於垂直於該模具清潔構件之縱軸方向之平面。

圖5a至5c係示意性顯示模具清潔構件之另一剖面之形狀之多種實例之圖，其剖面係顯示於沿著該模具清潔構件之縱軸方向之平面。

圖6係示意性顯示模具清潔構件之配置圖案之一實例之平面圖。

圖7a至7b係示意性顯示模具清潔構件之配置圖案之其他實例之平面圖。

圖8a至8b係示意性顯示模具清潔構件之配置圖案之其他實例之平面圖。

圖9係示意性顯示模具清潔構件之配置圖案之另一實例之平面圖。

圖10a至10b係示意性顯示模具清潔構件之配置圖案之其他實例之平面圖。

圖11a至11b係示意性顯示模具清潔構件之配置圖案之其他實例之平面圖。

圖12a至12e係示意性顯示模具清潔構件之一剖面之形狀之多種其他實例之圖，其剖面係顯示於垂直於該模具清潔構件之縱軸方向之平面。

圖13a至13c係示意性顯示模具清潔構件之另一剖面之形狀之多種其他實例之圖，其剖面係顯示於沿著該模具清潔構件之縱軸方向之平面。

圖14係示意性顯示先前已知之模具清潔片之傾斜透視圖。