TWI515268B - 著色感光性樹脂組合物及化合物 - Google Patents

著色感光性樹脂組合物及化合物 Download PDF

Info

Publication number
TWI515268B
TWI515268B TW101104094A TW101104094A TWI515268B TW I515268 B TWI515268 B TW I515268B TW 101104094 A TW101104094 A TW 101104094A TW 101104094 A TW101104094 A TW 101104094A TW I515268 B TWI515268 B TW I515268B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
group
compound
hydrogen atom
aliphatic hydrocarbon
hydrocarbon group
Prior art date
Application number
TW101104094A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201237118A (en
Inventor
朴昭妍
辰巳泰基
井上雅人
Original Assignee
住友化學股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 住友化學股份有限公司 filed Critical 住友化學股份有限公司
Publication of TW201237118A publication Critical patent/TW201237118A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI515268B publication Critical patent/TWI515268B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0045Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D231/00Heterocyclic compounds containing 1,2-diazole or hydrogenated 1,2-diazole rings
    • C07D231/02Heterocyclic compounds containing 1,2-diazole or hydrogenated 1,2-diazole rings not condensed with other rings
    • C07D231/10Heterocyclic compounds containing 1,2-diazole or hydrogenated 1,2-diazole rings not condensed with other rings having two or three double bonds between ring members or between ring members and non-ring members
    • C07D231/14Heterocyclic compounds containing 1,2-diazole or hydrogenated 1,2-diazole rings not condensed with other rings having two or three double bonds between ring members or between ring members and non-ring members with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, e.g. ester or nitrile radicals, directly attached to ring carbon atoms
    • C07D231/16Halogen atoms or nitro radicals
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0042Photosensitive materials with inorganic or organometallic light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. inorganic resists
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Description

著色感光性樹脂組合物及化合物
本發明係關於一種著色感光性樹脂組合物及化合物。
已知液晶顯示元件或固體攝像元件中所使用之彩色濾光片具有紅色像素,形成該赤色像素之著色感光性樹脂組合物係使用染料作為著色劑。例如專利文獻1中揭示有一種含有Orasol Red G作為紅色染料之著色感光性樹脂組合物。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2009-163226號公報
先前已知之上述著色感光性樹脂組合物,就耐溶劑性之方面而言,有時未必可充分滿足。
本發明係提供以下之[1]~[10]者。
[1]一種著色感光性樹脂組合物,其含有著色劑、樹脂、光聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑,著色劑為含有式(1)所示之化合物之著色劑, [式(1)中,R1~R18相互獨立表示氫原子、鹵素原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、硝基或-SO2R29,R29表示-R32、-OH或-NHR30,R30表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、可經碳數1~4之烷基取代之環己基、-R31-O-R32、-R31-CO-O-R32、-R31-O-CO-R32或碳數7~10之芳烷基,R31表示碳數1~8之2價之脂肪族烴基,R32表示碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立表示氫原子、甲基、乙基或胺基,M1表示Cr或Co,R21~R24相互獨立表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基或碳數6~10之1價之芳香族烴基,該脂肪族烴基及該芳香族烴基中所含之氫原子可經羥基、-OR32、磺基、-SO3Na、-SO3K或鹵素原子取代,R25及R26分別獨立表示氫原子或甲基,R27表示伸乙基、丙-1,3-二基或丙-1,2-二基,n表示0~3之整數,於n為2以上之整數之情形時,複數個R27相互相同或不同]。
[2]如[1]之著色感光性樹脂組合物,其中R1~R18相互獨立為氫原子、硝基或-SO2R29,R29為-R32,R32為碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立為甲基,R21~R24相互獨立為碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R25及R26分別獨立為氫原子,n為0。
[3]如[2]之著色感光性樹脂組合物,其中R1~R18之中,至少一個為氫原子,至少一個為硝基,且至少一個為-SO2R29
[4]如[3]之著色感光性樹脂組合物,其中R1~R10相互獨立為氫原子。
[5]如[4]之著色感光性樹脂組合物,其中R11~R18之中,至少一個為氫原子,R11~R18之中,至少一個為硝基,且R11~R18之中,至少一個為-SO2R29
[6]如[1]之著色感光性樹脂組合物,其中光聚合起始劑係含有選自由烷基苯酮化合物、三化合物、醯基膦氧化物化合物、肟化合物及聯咪唑化合物所組成之群中之至少一種的光聚合起始劑。
[7]如[1]之著色感光性樹脂組合物,其中M1為Cr。
[8]一種彩色濾光片,其係藉由如[1]至[7]中任一項之著色感光性樹脂組合物而形成。
[9]一種顯示裝置,其含有如[8]之彩色濾光片。
[10]一種化合物,其係式(1)所示者, [式(1)中,R1~R18相互獨立表示氫原子、鹵素原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、硝基或-SO2R29,R29表示-R32、-OH或-NHR30,R30表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、可經碳數1~4之烷基取代之環己基、-R31-O-R32、-R31-CO-O-R32、-R31-O-CO-R32或碳數7~10之芳烷基,R31表示碳數1~8之2價之脂肪族烴基,R32表示碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立表示氫原子、甲基、乙基或胺基,M1表示Cr或Co,R21~R24相互獨立表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基或碳數6~10之1價之芳香族烴基,該脂肪族烴基及該芳香族烴基中所含之氫原子可經羥基、-OR32、磺基、-SO3Na、-SO3K或鹵素原子取代,R25及R26分別獨立表示氫原子或甲基, R27表示伸乙基、丙-1,3-二基或丙-1,2-二基,n表示0~3之整數,於n為2以上之整數之情形時,複數個R27相互相同或不同]。
根據本發明之著色感光性樹脂組合物,可形成耐溶劑性較高之著色硬化物(例如塗膜、圖案)。
本發明之著色感光性樹脂組合物含有著色劑(A)、樹脂(B)、光聚合性化合物(C)、光聚合起始劑(D)及溶劑(E),著色劑(A)為含有式(1)所示之化合物(以下有時稱為「化合物(1)」)之著色劑。
化合物(1)係鉻錯陰離子或鈷錯陰離子與來自二苯并哌喃(xanthene)化合物之陽離子的鹽。
[式(1)中,R1~R18相互獨立表示氫原子、鹵素原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、硝基或-SO2R29,R29表示-R32、-OH或-NHR30,R30表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、可經碳 數1~4之烷基取代之環己基、-R31-O-R32、-R31-CO-O-R32、-R31-O-CO-R32或碳數7~10之芳烷基,R31表示碳數1~8之2價之脂肪族烴基,R32表示碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立表示氫原子、甲基、乙基或胺基,M1表示Cr或Co,R21~R24相互獨立表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基或碳數6~10之1價之芳香族烴基,該脂肪族烴基及該芳香族烴基中所含之氫原子可經羥基、-OR32、磺基、-SO3Na、-SO3K或鹵素原子取代,R25及R26分別獨立表示氫原子或甲基,R27表示伸乙基、丙-1,3-二基或丙-1,2-二基,n表示0~3之整數,於n為2以上之整數之情形時,複數個R27相互相同或不同]。
作為碳數1~8之1價之脂肪族烴基,可列舉:甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、癸基、1-甲基丁基、1,1,3,3-四甲基丁基、1,5-二甲基己基、1,6-二甲基庚基、2-乙基己基及1,1,5,5-四甲基己基等。
作為碳數1~4之1價之脂肪族烴基,即烷基,可列舉:甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基等。
作為碳數1~8之2價之脂肪族烴基,可列舉:亞甲基、伸乙基、丙-1,3-二基、丙-1,2-二基、丁-1,4-二基、丁-1,3-二 基、戊-1,5-二基、己-1,6-二基、庚-1,7-二基、辛-1,8-二基等。
作為碳數6~10之1價之芳香族烴基,可列舉:苯基、甲基苯基、二甲基苯基、三甲基苯基、乙基苯基、丙基苯基、丁基苯基、萘基等芳基;苄基、二苯基甲基、苯基乙基、3-苯基丙基等芳烷基等。
作為可經碳數1~4之烷基取代之環己基,可列舉:2-甲基環己基、2-乙基環己基、2-丙基環己基、2-異丙基環己基、2-丁基環己基、4-甲基環己基、4-乙基環己基、4-丙基環己基、4-異丙基環己基、4-丁基環己基等。
作為-R31-O-R32,可列舉:甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、甲氧基乙基、乙氧基乙基、丙氧基乙基、甲氧基丙基、乙氧基丙基、丙氧基丙基、2-氧代-4-甲氧基丁基、辛氧基丙基、3-乙氧基丙基、3-(2-乙基己氧基)丙基等。
作為-R31-CO-O-R32,可列舉:甲氧基羰基甲基、甲氧基羰基乙基、乙氧基羰基甲基、乙氧基羰基乙基、丙氧基羰基甲基、丙氧基羰基乙基、丁氧基羰基甲基、丁氧基羰基乙基等。
作為-R31-O-CO-R32,可列舉:乙醯氧基甲基、乙醯氧基乙基、乙基羰氧基甲基、乙基羰氧基乙基、丙基羰氧基甲基、丙基羰氧基乙基、丁基羰氧基甲基、丁基羰氧基乙基等。
作為-SO2R29,可列舉:磺基;胺磺醯基; N-甲基胺磺醯基、N-乙基胺磺醯基、N-丙基胺磺醯基、N-異丙基胺磺醯基、N-丁基胺磺醯基、N-異丁基胺磺醯基、N-第二丁基胺磺醯基、N-第三丁基胺磺醯基、N-戊基胺磺醯基、N-(1-乙基丙基)胺磺醯基、N-(1,1-二甲基丙基)胺磺醯基、N-(1,2-二甲基丙基)胺磺醯基、N-(2,2-二甲基丙基)胺磺醯基、N-(1-甲基丁基)胺磺醯基、N-(2-甲基丁基)胺磺醯基、N-(3-甲基丁基)胺磺醯基、N-環戊基胺磺醯基、N-己基胺磺醯基、N-(1,3-二甲基丁基)胺磺醯基、N-(3,3-二甲基丁基)胺磺醯基、N-庚基胺磺醯基、N-(1-甲基己基)胺磺醯基、N-(1,4-二甲基戊基)胺磺醯基、N-辛基胺磺醯基、N-(2-乙基己基)胺磺醯基、N-(1,5-二甲基)己基胺磺醯基、N-(1,1,2,2-四甲基丁基)胺磺醯基、N-烯丙基胺磺醯基等經脂肪族烴基取代之胺磺醯基;N-(2-甲氧基乙基)胺磺醯基、N-(2-乙氧基乙基)胺磺醯基、N-(1-甲氧基丙基)胺磺醯基、N-(3-甲氧基丙基)胺磺醯基、N-(3-乙氧基丙基)胺磺醯基、N-(3-丙氧基丙基)胺磺醯基、N-(3-異丙氧基丙基)胺磺醯基、N-(3-己氧基丙基)胺磺醯基、N-(2-乙基己氧基丙基)胺磺醯基、N-(3-第三丁氧基丙基)胺磺醯基、N-(4-辛氧基丁基)胺磺醯基等經-R31-O-R32取代之胺磺醯基;N-(甲氧基羰基甲基)胺磺醯基、N-(甲氧基羰基乙基)胺磺醯基、N-(乙氧基羰基甲基)胺磺醯基、N-(乙氧基羰基乙基)胺磺醯基、N-(丙氧基羰基甲基)胺磺醯基、N-(丙氧基羰基乙基)胺磺醯基、N-(丁氧基羰基甲基)胺磺醯基、N- (丁氧基羰基乙基)胺磺醯基等經-R31-CO-O-R32取代之胺磺醯基;N-(乙醯氧基甲基)胺磺醯基、N-(乙醯氧基乙基)胺磺醯基、N-(乙基羰氧基甲基)胺磺醯基、N-(乙基羰氧基乙基)胺磺醯基、N-(丙基羰氧基甲基)胺磺醯基、N-(丙基羰氧基乙基)胺磺醯基、N-(丁基羰氧基甲基)胺磺醯基、N-(丁基羰氧基乙基)胺磺醯基等經-R31-O-CO-R32取代之胺磺醯基;N-環己基胺磺醯基、N-(2-甲基環己基)胺磺醯基、N-(3-甲基環己基)胺磺醯基、N-(4-甲基環己基)胺磺醯基、N-(4-丁基環己基)胺磺醯基,等經具有取代基之環己基取代之胺磺醯基;N-苄基胺磺醯基、N-(1-苯基乙基)胺磺醯基、N-(2-苯基乙基)胺磺醯基、N-(3-苯基丙基)胺磺醯基、N-(4-苯基丁基)胺磺醯基、N-[2-(2-萘基)乙基]胺磺醯基、N-[2-(4-甲基苯基)乙基]胺磺醯基、N-(3-苯基-1-丙基)胺磺醯基、N-(3-苯基-1-甲基丙基)胺磺醯基等經芳烷基取代之胺磺醯基等。
-SO2R29為-SO2R32、-SO2H或-SO2NHR30。其中,較佳為-SO2R32及-SO2NHR30
作為-SO2NHR30之R30,較佳為氫原子或碳數1~8之1價之脂肪族烴基,更佳為氫原子或2-乙基己基。
於本發明之化合物具有-SO2R32之情形時,較佳為R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為-SO2R32。於 具有複數個-SO2R32之情形時,複數個R32相互可相同亦可不同。
-SO2R32之R32為碳數1~8之1價之脂肪族烴基,較佳為碳數1~4之1價之脂肪族烴基。作為-SO2R32,可列舉:甲基磺醯基、乙基磺醯基、丙基磺醯基、異丙基磺醯基、正丁基磺醯基、第二丁基磺醯基、第三丁基磺醯基、戊基磺醯基、己基磺醯基、庚基磺醯基、辛基磺醯基、1-甲基丁基磺醯基、1,1,3,3-四甲基丁基磺醯基、1,5-二甲基己基磺醯基、1,6-二甲基庚基磺醯基、2-乙基己基磺醯基及1,1,5,5-四甲基己基磺醯基等。其中,較佳為甲基磺醯基及乙基磺醯基,更佳為甲基磺醯基。
較佳為R1~R18相互獨立為氫原子、硝基或-SO2R29
較佳為R1~R18之中,至少一個為氫原子。又,更佳為R1~R10分別獨立為氫原子,R10~R18之中,至少一個為氫原子。又,進而更佳為R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為氫原子。
因存在耐熱性較高之傾向,故而較佳為R1~R18之中,至少一個為硝基,更佳為R11~R18之中,至少一個為硝基。又,進而更佳為R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為硝基。
又,較佳為R1~R18之至少一個為-SO2R29,更佳為R11~R18之中,至少一個為-SO2R29。又,進而更佳為R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為-SO2R29。於具有複數個-SO2R29之情形時,複數個R29相互可相同亦可不 同。
又,進而更佳為R1~R10分別獨立為氫原子,R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為氫原子,R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為硝基,R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為-SO2R29
R19及R20相互獨立為氫原子、甲基、乙基或胺基,較佳為相互獨立為甲基或乙基。
因可提高色濃度,故而作為R21~R24,較佳為氫原子或可具有取代基之碳數1~8之1價之脂肪族烴基,更佳為氫原子或碳數1~8之1價之脂肪族烴基,進而更佳為乙基等碳數1~4之1價之脂肪族烴基。
R25及R26分別獨立為氫原子或甲基,較佳為相互獨立為氫原子。
作為R27,較佳為伸乙基及丙-1,3-二基,更佳為伸乙基。
n為0~3之整數,較佳為0~2之整數,更佳為0。若n為該等數值,則化合物(1)之原料容易獲取。
又,更佳為R1~R10分別獨立為氫原子,R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為氫原子,R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為硝基,R11~R14之至少一個及R15~R18中之至少一個為-SO2R29,R19及R20相互獨立為甲基,R21~R24相互獨立為碳數1~4之1價之脂肪族烴基,R25及R26分別獨立為氫原子,n為0,R29為-R32,R32為碳數1~4之1價之脂肪族烴基。
作為化合物(1)之中,成為錯陰離子之配位子之吡唑偶氮化合物的較佳例,可列舉式(1-a1)~式(1-a64)所示之化合物等:
作為化合物(1)之中,錯陰離子之較佳例,可列舉式(1-b1)~式(1-b60)所示之陰離子等:
作為化合物(1)之中,來自二苯并哌喃化合物之陽離子之較佳例,可列舉式(1-c1)~式(1-c36)所示之陽離子等:
化合物(1)可藉由,使用式(1d)所示之化合物(以下有時稱為「化合物(1d)」)與鉻化合物,形成鉻錯鹽,其後使該鉻錯鹽與二苯并哌喃化合物進行鹽交換反應,或者使用化合物(1d)與鈷化合物,形成鈷錯鹽,其後使該鈷錯鹽與二苯并哌喃化合物(b)進行鹽交換反應而製造。
[式(a4)中,R1~R5、R11~R14及R19表示與上述相同之意義]。
[式(b)中,R21~R27及n表示與上述相同之意義;A-表示1價之陰離子]。
作為1價之陰離子,可列舉Cl-、Br-、I-、ClO4 -、PF6 -或BF4 -等。
二苯并哌喃化合物(b)可藉由使式(b0)所示之化合物與式 (b1)所示之化合物於有機溶劑中反應而製造。
[式(b0)及式(b1)中,R21~R27、n及A-表示與上述相同之意義]。
於上述反應中,反應溫度較佳為15℃~60℃,反應時間較佳為1小時~12小時。又,就縮短反應時間或提高產率之方面而言,較佳為使用酸觸媒及/或脫水劑。
作為酸觸媒,可列舉硫酸、對甲苯磺酸等。
作為脫水劑,可列舉:二環己基碳二醯亞胺、二異丙基碳二醯亞胺、1-乙基-3-(3-二甲基胺基丙基)碳二醯亞胺鹽酸鹽等碳二醯亞胺類;1-烷基-2-鹵化吡啶鎓鹽類;1,1'-羰基二咪唑;雙(2-氧代-3-唑啶基)次膦醯氯;碳酸二(2-吡啶)鹽等。其中,作為脫水劑,因後處理及純化容易,故而較佳為1-乙基-3-(3-二甲基胺基丙基)碳二醯亞胺鹽酸鹽。
作為上述反應中所使用之有機溶劑,可列舉:二氯甲烷、氯仿、四氫呋喃、甲苯、乙腈等。
成為化合物(1)之錯陰離子之配位子的化合物(1d),可藉由染料領域中眾所周知之,使重氮鹽(diazonium salt)與吡唑化合物進行重氮偶合的方法而製造。例如,可使用將式 (1a)所示之胺(以下有時稱為「胺(1a)」),藉由亞硝酸、亞硝酸鹽或亞硝酸酯進行重氮化而獲得的式(1b)所示之化合物,作為上述重氮鹽。
[式(1a)及式(1b)中,R11~R14表示與上述相同之意義;A1-表示無機或有機陰離子]。
作為上述無機陰離子,例如可列舉:氟化物離子、氯化物離子、溴化物離子、碘化物離子、過氯酸離子、次氯酸離子等。作為上述有機陰離子,例如可列舉:CH3COO-、C6H5COO-等。較佳可列舉:氯化物離子、溴化物離子、CH3COO-等。
藉由將式(1b)所示之化合物與式(1c)所示之化合物於水性溶劑中進行重氮偶合,可製造式(1d)所示之化合物(以下有時稱為「化合物(1d)」)。反應溫度較佳為-5℃~60℃,更佳為0℃~30℃。反應時間較佳為1小時~12小時,更佳為1小時~4小時。作為上述水性溶劑,例如可列舉N-甲基吡咯烷酮等。
[式(1c)中,R1~R5及R19表示與上述相同之意義]。
化合物(1d)具有-SO2R29,-SO2R29為-SO2NHR30之情形 時,亦可使用具有-SO2NHR30之胺(1a)而製造,但較佳為使用具有磺基之胺(1a)進行偶合反應後,將磺基進行磺醯胺化而製造。例如,可預先合成化合物(1d)中具有磺基之偶氮化合物(以下稱為「化合物(1s)」),藉由亞硫醯鹵化合物將磺基(-SO3H)進行磺醯鹵化(-SO2X;X為鹵素原子)而獲得磺醯鹵化合物,繼而使磺醯鹵化合物與胺(R30NH2)進行反應,藉此將磺基進行磺醯胺化,而製造化合物(1d)。
作為化合物(1s)之具體例,可列舉:式(1-a1)、式(1-a2)、式(1-a5)~(1-a20)所示之化合物,較佳可列舉式(1-a5)、(1-a6)、(1-a15)及(1-a16)所示之化合物。作為亞硫醯鹵化合物,可列舉:亞硫醯氟、亞硫醯氯、亞硫醯溴、亞硫醯碘等,較佳可列舉亞硫醯氯、亞硫醯溴等,尤佳可列舉亞硫醯氯。亞硫醯鹵之使用量,相對於化合物(1s)1莫耳,較佳為1~10莫耳。再者,於反應系中帶入水之情形時,較佳為過量使用亞硫醯鹵化合物。
磺醯鹵化係於溶劑中進行。作為溶劑,例如可使用:1,4-二烷等醚類(尤佳為環狀醚類);氯仿、二氯甲烷、四氯化碳、1,2-二氯乙烷、二氯乙烯、三氯乙烯、全氯乙烯、二氯丙烷、氯戊烷、1,2-二溴乙烷等鹵化烴類等。溶劑之使用量,相對於化合物(1s)1質量份,例如為3質量份以上(較佳為5質量份以上)、10質量份以下(較佳為8質量份以下)。
又,於磺醯鹵化中,較佳為併用N,N-二烷基甲醯胺(例 如,N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二乙基甲醯胺等)。於使用N,N-二烷基甲醯胺之情形時,其使用量相對於亞硫醯鹵化合物1莫耳,例如為0.05~1莫耳。若預先將化合物(1s)與N,N-二烷基甲醯胺於溶劑中混合後,添加亞硫醯鹵化合物,則可抑制發熱。
磺醯鹵化之反應溫度,例如為0℃以上、較佳為30℃以上,70℃以下、較佳為60℃以下。反應時間,例如為0.5小時以上、較佳為3小時以上,8小時以下、較佳為5小時以下。
以上述方法製備之磺醯鹵化合物,可經單離後與胺(R30NH2)反應,亦可不經單離而直接以反應混合物之狀態與胺(R30NH2)反應。再者,於單離之情形時,例如,混合反應混合物與水,過濾獲取析出之結晶即可。取得之磺醯鹵化合物之結晶與胺(R30NH2)反應前,視需要可進行水洗及乾燥。
作為胺(R30NH2),包含正丙胺、正丁胺、正己胺、二甲基己胺(1,5-二甲基己胺等)、四甲基丁胺(1,1,3,3-四甲基丁胺等)、乙基己胺(2-乙基己胺等)、胺基苯基丁烷(3-胺基-1-苯基丁烷等)、異丙氧基丙胺等。胺(R30NH2)之使用量,相對於磺醯鹵化合物1莫耳,為2莫耳以上,10莫耳以下、較佳為7莫耳以下。
磺醯鹵化合物與胺(R30NH2)之添加順序並無特別限定,較佳為於磺醯鹵化合物中添加(滴加)胺(R30NH2)。又,磺醯鹵化合物與胺(R30NH2)之反應較佳為於溶劑中進行。作 為溶劑,可使用與製備磺醯鹵化合物時相同之溶劑。
又,磺醯鹵化合物與胺(R30NH2)之反應,較佳為於鹼性觸媒之存在下進行。作為鹼性觸媒,例如可列舉三級胺(三乙胺、三乙醇胺等脂肪族三級胺;吡啶等芳香族三級胺)、及二級胺(二乙胺等脂肪族二級胺;哌啶等環狀脂肪族二級胺)等。該等之中,較佳為三級胺,尤佳為三乙胺等脂肪族三級胺。鹼性觸媒之使用量,相對於胺(R30NH2),為1.1莫耳以上、6莫耳以下,較佳為1.1莫耳以上、5莫耳以下。
於磺醯鹵化合物中添加胺(R30NH2)與鹼性觸媒之情形時,鹼性觸媒之添加時序並無特別限定,可於胺(R30NH2)添加前及添加後之任一者,亦可以與胺(R30NH2)相同之時序添加。又,可預先與反應性胺混合後進行添加,亦可與胺(R30NH2)分開添加。
磺醯鹵化合物與胺(R30NH2)之反應溫度,例如為0℃以上、50℃以下,較佳為0℃以上、30℃以下。又,反應時間為1~5小時。
自反應混合物取得作為目標化合物之化合物(1d)的方法並無特別限定,可採用公知之各種手法。例如,較佳為將反應混合物與酸(例如乙酸等)及水混合,過濾獲取析出之結晶。上述酸,較佳為預先製備酸之水溶液後,將反應混合物添加至上述水溶液中。添加反應混合物時之溫度,較佳為10℃以上50℃以下,更佳為20℃以上50℃以下,進而更佳為20℃以上30℃以下。又,較佳為將反應混合物添加 至酸之水溶液中後,進而於上述溫度下攪拌0.5~2小時左右。過濾獲取之結晶較佳為以水等清洗,繼而乾燥。又視需要,可藉由再結晶等公知之手法進而純化。
於化合物(1)之陰離子部分為鉻錯陰離子(式(1)中之M1為Cr)之情形時,可藉由使化合物(1d)與鉻化合物於水性溶劑中於70~100℃下進行反應而製造。較佳為使化合物(1d)與鉻化合物以2:1~4:1之莫耳比進行反應。
作為上述鉻化合物,可列舉:甲酸鉻、乙酸鉻、氯化鉻、氟化鉻等,較佳可列舉:甲酸鉻、乙酸鉻、硫酸鉻(III)銨十二水酯等。
化合物(1)可藉由使鉻錯鹽與二苯并哌喃化合物(b)於溶劑中進行鹽交換反應而製造。較佳為使鉻錯鹽與二苯并哌喃化合物(b)以1:1~1:4之莫耳比進行反應。
於化合物(1)之陰離子部分為鈷錯陰離子(式(1)中之M1為Co)之情形時,可藉由使化合物(1d)與鈷化合物於水性溶劑中於70~100℃下進行反應而製造。較佳為使化合物(1d)與鈷化合物以2:1~4:1之莫耳比進行反應。
作為上述鈷化合物,可列舉:氯化鈷、乙酸鈷、硫酸鈷、乙醯丙酮鈷(III)(tris(2,4-pentanedionato)cobalt(III))等,較佳為乙醯丙酮鈷(III)等。
化合物(1)可藉由使鈷錯鹽與二苯并哌喃化合物(b)於溶劑中進行鹽交換反應而製造。較佳為使鈷錯鹽與二苯并哌喃化合物(b)以1:1~1:4之莫耳比進行反應。
作為化合物(1),具體可列舉式(1-1)~式(1-26)所示之化 合物等。
化合物(1)之含量較佳為於著色劑(A)中為1質量%以上99質量%以下,更佳為1質量%以上80質量%以下,進而更佳為3質量%以上70質量%以下。
著色劑(A)可與化合物(1)一同含有與化合物(1)不同之染料。作為該染料,可列舉:油溶性染料、酸性染料、酸性染料之胺鹽或酸性染料之磺醯胺衍生物等染料,例如可列舉:染料索引(The Society of Dyers and Colourists出版)中分類為染料之化合物或染料手冊(Dyeing note,色染社)中揭示之公知之染料。
具體而言,可列舉:C.I.溶劑黃4(以下,省略C.I.溶劑黃之記述,僅記述編號)、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99、162;C.I.溶劑紅45、49、125、130;C.I.溶劑橙2、7、11、15、26、56;等C.I.溶劑染料、C.I.酸性黃1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、 36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243、251;C.I.酸性紅1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、182、183、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、195、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、394、401、412、417、418、422、426;C.I.酸性橙6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169、173;C.I.酸性紫6B、7、9、17、19;等C.I.酸性染料、C.I.直接黃2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138、141;C.I.直接紅79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246、250; C.I.直接橙34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106、107;C.I.直接紫47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103、104;等C.I.直接染料、作為C.I.媒染染料之C.I.媒染黃5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62、65;C.I.媒染紅1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、30、32、33、36、37、38、39、41、43、45、46、48、53、56、63、71、74、85、86、88、90、94、95;C.I.媒染橙3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47、48;C.I.媒染紫1、2、4、5、7、14、22、24、30、31、32、37、40、41、44、45、47、48、53、58;等C.I.媒染染料等。
著色劑(A)可進而與化合物(1)一同含有顏料。
作為顏料,可列舉有機顏料,例如,C.I.顏料紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料;C.I.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料;C.I.顏料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色顏料; C.I.顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料等。其中,較佳為含有選自C.I.顏料黃138、139、150,C.I.顏料紅177、242、254中之至少一種。藉由含有上述顏料,可使透射光譜之最適化變得容易,耐化學品性變得良好。
該等顏料可單獨亦可混合兩種以上使用。
有機顏料視需要可實施松香處理、使用導入有酸性基或鹼性基之顏料衍生物等之表面處理、藉由高分子化合物等之對顏料表面之接枝處理、藉由硫酸微粒化法等之微粒化處理、或用以除去雜質之藉由有機溶劑或水等之清洗處理、離子性雜質之藉由離子交換法等之除去處理等。
有機顏料較佳為粒徑均勻。藉由含有顏料分散劑而進行分散處理,可獲得顏料於溶液中均勻分散狀態的顏料分散液。
作為上述顏料分散劑,例如可列舉:陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚酯系、聚胺系、丙烯酸系等之界面活性劑等。該等顏料分散劑可單獨亦可組合兩種以上使用。作為顏料分散劑,可列舉:商品名為KP(信越化學工業(股)製造)、Flowlen(共榮社化學(股)製造)、Solsperse(Zeneca(股)製造)、EFKA(CIBA公司製造)、Ajisper(味之素精細化學(Ajinomoto Fine-Techno.Co.Inc.)(股)製造)、Disperbyk(BYK-Chemie公司製造)等。
於使用顏料分散劑之情形時,其使用量相對於顏料 (A2),較佳為100質量%,更佳為5質量%以上、50質量%以下。若顏料分散劑之使用量為上述範圍,則存在可獲得均勻之分散狀態之顏料分散液的傾向。
於著色劑(A)中含有顏料之情形時,該顏料之含量較佳為1~99質量%,更佳為10~97質量%。
化合物(1)與顏料之含量比率(質量比)較佳為1:99~99:1,更佳為3:97~90:10。藉由設為此種比率,可使透射光譜之最適化變得容易,獲得高對比度、高亮度,故而較佳。進而,耐熱性、耐化學品性變得良好。
尤佳為化合物(1)與選自由C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃150、C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅242及C.I.顏料紅254所組成之群中之至少一種的質量比為3:97~90:10,更佳為3:97~70:30。
著色劑(A)之含量,相對於著色感光性樹脂組合物中之固形物成分,較佳為5~60質量%,更佳為8~55質量%,進而更佳為10~50質量%。此處,所謂固形物成分,係指著色感光性樹脂組合物中之,除去溶劑之成分的合計。若著色劑(A)之含量為上述範圍,則作為彩色濾光片時之色濃度充分,且可於組合物中含有必需量之黏合劑聚合物,故而可形成機械強度充分之圖案。
本發明之著色感光性樹脂組合物含有樹脂(B)。作為樹脂(B),並無特別限定,較佳為鹼可溶性樹脂。
作為樹脂(B),例如可列舉以下之樹脂[K1]~[K4]等。
[K1]具有碳數2~4之環狀醚結構與乙烯性不飽和鍵之單 體(a)(以下有時稱為「(a)」)與選自由不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所組成之群中之至少一種(b)(以下有時稱為「(b)」)的共聚物。
[K2](a)與(b)與可與(a)共聚合之單體(c)(其中,與(a)及(b)不同)(以下有時稱為「(c)」)的共聚物
[K3](b)與(c)之共聚物
[K4]使(b)與(c)之共聚物與(a)反應而獲得之樹脂。
藉由使樹脂(B)含有來自(a)之結構單元,可進一步提高所得著色圖案之耐熱性、耐化學品性等可靠性。
(a)係例如具有碳數2~4之環狀醚結構(例如,選自由環氧乙烷環、氧雜環丁烷環及四氫呋喃環(氧雜環戊烷環)所組成之群中之至少一種)與乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物。(a)較佳為具有碳數2~4之環狀醚與(甲基)丙烯醯氧基之單體。
再者,於本說明書中,所謂「(甲基)丙烯酸」,係表示選自由丙烯酸及甲基丙烯酸所組成之群中之至少一種。 「(甲基)丙烯醯基」及「(甲基)丙烯酸酯」等表述亦具有相同意義。
作為(a),例如可列舉:具有環氧乙烷基與乙烯性不飽和鍵之單體(a1)(以下有時稱為「(a1)」)、具有氧雜環丁烷基與乙烯性不飽和鍵之單體(a2)(以下有時稱為「(a2)」)、具有四氫呋喃基與乙烯性不飽和鍵之單體(a3)(以下有時稱為「(a3)」)等。
(a1)例如可列舉:具有將鏈式烯烴進行環氧化之結構之 單體(a1-1)(以下有時稱為「(a1-1)」)、具有將環式烯烴進行環氧化之結構之單體(a1-2)(以下有時稱為「(a1-2)」)。
作為(a1-1),可列舉:(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基縮水甘油酯、縮水甘油基乙烯基醚、鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、間乙烯基苄基縮水甘油醚、對乙烯基苄基縮水甘油醚、α-甲基-鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、α-甲基-間乙烯基苄基縮水甘油醚、α-甲基-對乙烯基苄基縮水甘油醚、2,3-雙(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,4-雙(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,5-雙(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,6-雙(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-三(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-三(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-三(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-三(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,4,6-三(縮水甘油氧基甲基)苯乙烯等。
作為(a1-2),可列舉:一氧化乙烯基環己烯、1,2-環氧-4-乙烯基環己烷(例如,Celloxide 2000;Daicel化學工業(股)製造)、3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯(例如,Cyclomer A400;Daicel化學工業(股)製造)、3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯(例如,Cyclomer M100;Daicel化學工業(股)製造)、式(I)所示之化合物及式(II)所示之化合物等。
[式(I)及式(II)中,Ra及Rb相互獨立表示氫原子或碳數1~4之烷基,該烷基中所含之氫原子可經羥基取代;X1及X2相互獨立表示單鍵、-Rc-、-Rc-O-、-Rc-S-、-Rc-NH-;Rc表示碳數1~6之烷二基;表示與O之鍵結鍵]
作為碳數1~4之烷基,可列舉:甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基等。
作為氫原子經羥基取代之烷基,可列舉:羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基、1-羥基丙基、2-羥基丙基、3-羥基丙基、1-羥基-1-甲基乙基、2-羥基-1-甲基乙基、1-羥基丁基、2-羥基丁基、3-羥基丁基、4-羥基丁基等。
作為Ra及Rb,較佳可列舉氫原子、甲基、羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基,更佳可列舉氫原子、甲基。
作為烷二基,可列舉:亞甲基、伸乙基、丙-1,2-二基、丙-1,3-二基、丁-1,4-二基、戊-1,5-二基、己-1,6-二基等。
作為X1及X2,較佳可列舉單鍵、亞甲基、伸乙基、-CH2-O-(表示與O之鍵結鍵)基、-CH2CH2-O-基,更佳可列舉單鍵、-CH2CH2-O-基。
作為式(I)所示之化合物,可列舉式(I-1)~式(I-15)所示之化合物等。較佳可列舉式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-11)~式(I-15)。更佳可列舉式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-15)。
作為式(II)所示之化合物,可列舉:式(II-1)~式(II-15)所示之化合物等。較佳可列舉式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-11)~式(II-15)。更佳可列舉式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-15)。
式(I)所示之化合物及式(II)所示之化合物可分別單獨使用。又,該等可以任意之比率混合。於混合之情形時,其混合比率以莫耳比計,較佳為式(I):式(II)為5:95~95:5,更佳為10:90~90:10,尤佳為20:80~80:20。
作為具有氧雜環丁烷基與乙烯性不飽和鍵之單體(a2),更佳為具有氧雜環丁烷基與(甲基)丙烯醯氧基之單體。作為(a2),可列舉:3-甲基-3-甲基丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯醯氧基乙基氧雜環丁烷、3-甲基-3-丙烯醯氧基乙基氧雜環丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯醯氧基乙基氧雜環丁烷、3-乙基-3-丙烯醯氧基乙基氧雜環丁烷等。
作為具有四氫呋喃基與乙烯性不飽和鍵之單體(a3),更佳為具有四氫呋喃基與(甲基)丙烯醯氧基之單體。
作為(a3),具體可列舉:丙烯酸四氫糠酯(例如,Viscoat V#150,大阪有機化學工業(股)製造)、甲基丙烯酸四氫糠酯等。
作為(a),就可進一步提高所得著色圖案之耐熱性、耐化學品性等可靠性之方面而言,較佳為(a1)。進而就著色感光性樹脂組合物之保存穩定性優異之方面而言,更佳為(a1-2)。
作為(b),具體而言,例如可列舉:丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、鄰乙烯基苯甲酸、間乙烯基苯甲酸、對乙烯基苯甲酸等不飽和一元羧酸類;順丁烯二酸、反丁烯二酸、甲基順丁烯二酸、甲基反丁烯二酸、衣康酸、3-乙烯基鄰苯二甲酸、4-乙烯基鄰苯二甲酸、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸、二甲基四氫鄰苯二甲酸、1,4-環己烯二甲酸等不飽和二元羧酸類;甲基-5-降烯-2,3-二甲酸、5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基之雙環不飽和化合物類;順丁烯二酸酐、甲基順丁烯二酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸酐、二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯酐(雙環庚烯二 甲酸酐)等不飽和二元羧酸類酐;丁二酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯等2元以上之多元羧酸之不飽和單[(甲基)丙烯醯氧基烷基]酯類;如α-(羥基甲基)丙烯酸之,同一分子中含有羥基及羧基之不飽和丙烯酸酯類等。
該等之中,就共聚合反應性之方面或對鹼性水溶液之溶解性之方面而言,較佳為丙烯酸、甲基丙烯酸、無水順丁烯二酸等。
作為(c),例如可列舉:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯、(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯(於該技術領域中,作為慣用名,稱為(甲基)丙烯酸二環戊酯)、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異基酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸苄酯等(甲基)丙烯酸酯類;(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯等含有羥基之(甲基)丙烯酸酯類;順丁烯二酸二乙酯、反丁烯二酸二乙酯、衣康酸二乙酯 等二羧酸二酯;雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-(2'-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2'-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-第三丁氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-環己氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(第三丁氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(環己氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯等雙環不飽和化合物類;N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、N-苄基順丁烯二醯亞胺、N-丁二醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺苯甲酸酯、N-丁二醯亞胺基-4-順丁烯二醯亞胺丁酸酯、N-丁二醯亞胺基-6-順丁烯二醯亞胺己酸酯、N-丁二醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)順丁烯二醯亞胺等二羰基醯亞胺衍生物類;苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙 酸乙烯酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
該等之中,就共聚合反應性及耐熱性之方面而言,較佳為苯乙烯、N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、N-苄基順丁烯二醯亞胺、雙環[2.2.1]庚-2-烯等。
於樹脂[K1]中,分別來自(a)及(b)之結構單元的比率,較佳為於構成樹脂[K1]之總結構單元中,處於以下之範圍。
來自(a)之結構單元:60~98莫耳%(更佳為65~95莫耳%)
來自(b)之結構單元:2~40莫耳%(更佳為5~35莫耳%)
若樹脂[K1]之結構單元之比率為上述範圍,則存在保存穩定性、顯影性、硬化圖案之耐溶劑性變得良好之傾向。
樹脂[K1]例如可以文獻「高分子合成之實驗法」(大津隆行著發行所(股)化學同人第1版第1次印刷1972年3月1日發行)中揭示之方法及該文獻中揭示之引用文獻為參考而製造。
具體而言,可例示將特定量之(a)及(b)、聚合起始劑及溶劑等投入反應容器中,於藉由以氮置換氧而脫氧之情形下,加以攪拌、加熱、保溫的方法。再者,此處所使用之聚合起始劑及溶劑等並無特別限定,可使用於該領域中通常所使用者中之任一者。例如,作為聚合起始劑,可列舉:偶氮化合物(2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)等)或有機過氧化物(過氧化苯甲醯等),作為溶劑,若為可溶解各單體者即可,可使用作為感光性樹脂組 合物之溶劑而後述之溶劑等。
再者,所得共聚物可直接使用反應後之溶液,亦可使用濃縮或稀釋之溶液,亦可使用藉由再沈澱等方法作為固體(粉體)而提取者。尤其,該聚合時,藉由使用後述溶劑(D)作為溶劑,可直接使用反應後之溶液,可使製造步驟簡略化。
於樹脂[K2]中,分別來自(a)、(b)及(c)之結構單元的比率,較佳為於構成樹脂[K2]之總結構單元中,處於以下之範圍。
來自(a)之結構單元:2~95莫耳%(更佳為5~80莫耳%)
來自(b)之結構單元:2~40莫耳%(更佳為5~35莫耳%)
來自(c)之結構單元:1~65莫耳%(更佳為1~60莫耳%)
若樹脂[K2]之結構單元之比率為上述範圍,則存在保存穩定性、顯影性、硬化圖案之耐溶劑性、耐熱性及機械強度變得良好之傾向。
樹脂[K2]例如可藉由與作為樹脂[K1]之製造方法而揭示之方法相同之方式進行製造。
具體而言,可列舉將特定量之(a)、(b)及(c),聚合起始劑及溶劑投入反應容器中,於藉由以氮置換氧而脫氧之情形下,加以攪拌、加熱、保溫的方法。所得共聚物可直接使用反應後之溶液,亦可使用濃縮或稀釋之溶液,亦可使用藉由再沈澱等方法而作為固體(粉體)提取者。
於樹脂[K3]中,分別來自(b)及(c)之結構單元的比率,較佳為於構成樹脂[K3]之總結構單元中,處於以下之範 圍。
(b)2~40莫耳%,更佳為5~35莫耳%
(c)60~98莫耳%,更佳為65~95莫耳%
樹脂[K3]例如可進行製造。
樹脂[K4]可藉由獲得(b)與(c)之共聚物,於(a)所具有之碳數2~4之環狀醚上加成(c)所具有之羧基而獲得。
首先,藉由與作為樹脂[K1]之製造方法而揭示之方法相同之方式而製造(b)與(c)之共聚物。於該情形時,分別來自(b)及(c)之結構單元的比率,較佳為於構成(b)與(c)之共聚物之總結構單元中,處於以下之範圍。
(b)5~50莫耳%,更佳為10~45莫耳%
(c)50~95莫耳%,更佳為55~90莫耳%
其次,使上述共聚物中之來自(c)之結構單元中所含的羧基及/或羧酸酐之一部分,與(a)所具有之碳數2~4之環狀醚進行反應。
製造(b)與(c)之共聚物之後,將燒瓶內環境自氮置換為空氣,將(a)、羧基與環狀醚之反應觸媒(例如三(二甲基胺基甲基)苯酚等)以相對於(a)~(c)之總量為0.001~5質量%之量、及聚合抑制劑(例如對苯二酚等)等以相對於(a)~(c)之總量為0.001~5質量%之量投入燒瓶內,例如於60~130℃下,反應1~10小時,藉此可獲得樹脂[K4]。投入方法、反應溫度及時間等反應條件,可考慮製造設備或聚合所引起之發熱量等而進行適宜調整。再者,與聚合條件相同,可考慮製造設備或聚合所引起之發熱量等,而適宜調整投入 方法或反應溫度。
該情形時之(a)之使用量,較佳為相對於(b)為5~80莫耳%,更佳為10~75莫耳%,更佳為15~70莫耳%。藉由設為該範圍,存在保存穩定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性、機械強度及感光度之平衡變得良好之傾向。
作為樹脂(B),具體可列舉:(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯/(甲基)丙烯酸共聚物、丙烯酸3,4-環氧三環[5.2.1.02,6]癸酯/(甲基)丙烯酸共聚物等樹脂[K1];(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物、丙烯酸3,4-環氧三環[5.2.1.02,6]癸酯/(甲基)丙烯酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺共聚物、3-甲基-3-(甲基)丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷/(甲基)丙烯酸/苯乙烯共聚物等樹脂[K2];(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物等樹脂[K3];(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物上加成有(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的樹脂、(甲基)丙烯酸三環癸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物上加成有(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的樹脂、(甲基)丙烯酸三環癸酯/(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物上加成有(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的樹脂等樹脂[K4]等。其中,較佳為樹脂[K1]及樹脂[K2],更佳為樹脂[K1],進而更佳為丙烯酸3,4-環氧三環[5.2.1.02,6]癸酯/(甲基)丙烯酸共聚物。
樹脂(B)之聚苯乙烯換算之重量平均分子量,較佳為 3,000~100,000,更佳為5,000~50,000,進而更佳為5,000~35,000,尤佳為6,000~30,000,特佳為7,000~28,000。若分子量為上述範圍,則存在塗膜硬度提高,殘膜率亦較高,且未曝光部對顯影液之溶解性良好,解像度提高之傾向。
樹脂(B)之分子量分佈[重量平均分子量(Mw)/數平均分子量(Mn)],較佳為1.1~6,更佳為1.2~4。
樹脂(B)之酸值較佳為50~150,更佳為60~135,進而更佳為70~135。此處,酸值係作為中和1 g之樹脂(B)所必需之氫氧化鉀之量(mg)而測定之值,例如可藉由使用氫氧化鉀水溶液進行滴定而求得。
樹脂(B)之含量,相對於著色感光性樹脂組合物之固形物成分,較佳為7~65質量%,更佳為13~60質量%,進而更佳為17~55質量%。若樹脂(B)之含量為上述範圍,則可形成圖案,又,存在解像度及殘膜率提高之傾向。
本發明之著色感光性樹脂組合物含有光聚合性化合物(C)。光聚合性化合物(C)係可藉由藉由光照射而自光聚合起始劑(D)產生之活性自由基及酸等而聚合的化合物,例如可列舉具有聚合性之乙烯性不飽和鍵之化合物等,較佳可列舉(甲基)丙烯酸酯化合物。
其中,作為光聚合性化合物(C),較佳為具有3個以上之乙烯性不飽和鍵之光聚合性化合物。作為此種光聚合性化合物,例如可列舉:季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙 烯酸酯等。光聚合性化合物(C)可單獨使用亦可組合兩種以上使用。
光聚合性化合物(C)之含量,相對於著色感光性樹脂組合物之固形物成分,較佳為7~65質量%,更佳為13~60質量%,進而更佳為17~55質量%。若上述光聚合性化合物(C)之含量為上述範圍,則存在硬化充分進行,顯影前後之膜厚比率提高,圖案難以產生底切(under cut),密著性變得良好之傾向,故而較佳。
本發明之著色感光性樹脂組合物含有光聚合起始劑(D)。
作為上述光聚合起始劑(D),若為藉由光之作用而產生活性自由基、酸等從而使聚合開始的化合物,則並無特別限定,可使用公知之聚合起始劑。光聚合起始劑(D)可與藉由光之作用而產生活性自由基、酸等之化合物一同含有光聚合起始助劑(D1)。光聚合起始助劑(D1)係用以促進藉由光聚合起始劑而開始聚合之光聚合性化合物之聚合的化合物,或敏化劑(sensitizer)。
作為光聚合起始劑(D),較佳為藉由光之作用而產生活性自由基之化合物,更佳為含有選自由烷基苯酮化合物、三化合物、醯基膦氧化物化合物、肟化合物及聯咪唑化合物所組成之群中之至少一種的光聚合起始劑,進而更佳為含有肟化合物之光聚合起始劑。
作為烷基苯酮化合物,可列舉:二乙氧基苯乙酮、2-甲基-2-啉基-1-(4-甲基硫烷基苯基)丙-1-酮、2-二甲基胺 基-1-(4-啉基苯基)-2-苄基丁-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-啉基苯基)-2-(4-甲基苯基甲基)丁-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、苯偶醯二甲基縮酮(benzildimethylketal)、2-羥基-2-甲基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]丙-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙-1-酮之寡聚物等,較佳為2-甲基-2-啉基-1-(4-甲基硫烷基苯基)丙-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-啉基苯基)-2-苄基丁-1-酮等。可使用Irgacure 369、907(以上,Ciba Japan公司製造)等市售品。
作為三化合物,可列舉:2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-向日葵基-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三等。
作為醯基膦氧化物系起始劑,可列舉:2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦等。可使用Irgacure 819(Ciba Japan公司製造)等市售品。
作為肟化合物,可列舉:N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫烷基苯基)丁-1-酮-2-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫烷基苯基)辛-1-酮-2-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯 甲醯基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4-二環戊基甲基氧基)苯甲醯基}-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺等。可使用Irgacure OXE-01、OXE-02(以上,Ciba Japan公司製造),N-1919(ADEKA公司製造)等市售品。
作為聯咪唑化合物,可列舉:2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑、2,2'-雙(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑(例如,參照日本專利特開平6-75372號公報、日本專利特開平6-75373號公報等)、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(烷氧基苯基)聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(二烷氧基苯基)聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(三烷氧基苯基)聯咪唑(例如,參照日本專利特公昭48-38403號公報、日本專利特開昭62-174204號公報等)、4,4'5,5'-位之苯基經烷氧羰基取代之咪唑化合物(例如,參照日本專利特開平7-10913號公報等)等。較佳可列舉:2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑、2,2'-雙(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑、2,2'-雙(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑。
進而作為光聚合起始劑(D),可列舉:安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、安息香異丁醚等安息香化合物;二苯甲酮、鄰苯甲醯基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲醯基-4'-甲基二苯硫醚、3,3',4,4'-四(過氧化第三丁基羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等二苯 甲酮化合物;9,10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌等醌化合物;10-丁基-2-氯吖啶酮、二苯乙二酮、苯基乙醛酸甲酯、二茂鈦(titanocene)化合物等。該等較佳為與後述之光聚合起始助劑(D1)(尤其胺類)組合使用。
作為藉由光而產生酸之酸產生劑,例如可列舉:4-羥基苯基二甲基鋶鎓對甲苯磺酸鹽、4-羥基苯基二甲基鋶鎓六氟銻酸鹽、4-乙醯氧基苯基二甲基鋶鎓對甲苯磺酸鹽、4-乙醯氧基苯基.甲基.苄基鋶鎓六氟銻酸鹽、三苯基鋶鎓對甲苯磺酸鹽、三苯基鋶鎓六氟銻酸鹽、二苯基錪鎓對甲苯磺酸鹽、二苯基錪鎓六氟銻酸鹽等鎓鹽類,或硝基苄基甲苯磺酸酯類,安息香甲苯磺酸酯類等。
光聚合起始劑(D)例如亦可為如三化合物之,藉由光而同時產生活性自由基與酸的化合物。
作為光聚合起始助劑(D1),可列舉:胺化合物、烷氧基蒽化合物、硫雜蒽酮(thioxanthone)化合物、羧酸化合物等。
作為胺系化合物,可列舉:三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基胺基苯甲酸甲酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲基胺基乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸2-乙基己酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4'-雙(二甲基胺基)二苯甲酮(俗稱米其勒酮)、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮、4,4'-雙(乙基甲基胺基)二苯甲酮等,其中較佳為4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮。可使用EAB-F(保土谷化學工業(股)製造)等市售品。
光聚合起始劑(D)之含量,相對於樹脂(B)及光聚合性化合物(C)之總量100質量份,較佳為0.1~30質量份,更佳為1~20質量份。若光聚合起始劑之含量為上述範圍,則高感光度化而縮短曝光時間提高生產性。
於本發明之著色感光性樹脂組合物中可進而含有光聚合起始助劑(D1)。光聚合起始助劑(D1)通常係與光聚合起始劑(D)組合使用,係用以促進藉由光聚合起始劑而開始聚合之光聚合性化合物之聚合的化合物,或敏化劑。
作為光聚合起始助劑(D1),可列舉:胺化合物、烷氧基蒽化合物、硫雜蒽酮化合物、羧酸化合物等。
作為胺化合物,可列舉:三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基胺基苯甲酸甲酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲基胺基乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸2-乙基己酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4'-雙(二甲基胺基)二苯甲酮(俗稱米其勒酮)、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮、4,4'-雙(乙基甲基胺基)二苯甲酮等,其中較佳為4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮。可使用EAB-F(保土谷化學工業(股)製造)等市售品。
作為烷氧基蒽化合物,可列舉:9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、9,10-二丁氧基蒽、2-乙基-9,10-二丁氧基蒽等。
作為硫雜蒽酮化合物,可列舉:2-異丙基硫雜蒽酮、4-異丙基硫雜蒽酮、2,4-二乙基硫雜蒽酮、2,4-二氯硫雜蒽酮、1-氯-4-丙氧基硫雜蒽酮等。
作為羧酸化合物,可列舉:苯基硫烷基乙酸、甲基苯基硫烷基乙酸、乙基苯基硫烷基乙酸、甲基乙基苯基硫烷基乙酸、二甲基苯基硫烷基乙酸、甲氧基苯基硫烷基乙酸、二甲氧基苯基硫烷基乙酸、氯苯基硫烷基乙酸、二氯苯基硫烷基乙酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、萘硫乙酸、N-萘基甘胺酸、萘氧基乙酸等。
光聚合起始助劑(D1)可單獨使用亦可組合兩種以上使用。
於使用該等光聚合起始助劑(D1)之情形時,其使用量相對於樹脂(B)及聚合性化合物(C)之總量100質量份,較佳為0.01~50質量份,更佳為0.1~40質量份。又,相對於光聚合起始劑(D)1莫耳,較佳為0.01~10莫耳,更佳為0.01~5莫耳。若聚合起始助劑(D1)之量為該範圍,則存在可以進一步之高感光度形成圖案,提高圖案之生產性之傾向。
本發明之著色感光性樹脂組合物含有溶劑(E)。
溶劑(E)並無特別限定,可使用該領域中通常所使用之溶劑。例如可自酯溶劑(含有-COO-之溶劑)、酯溶劑以外之醚溶劑(含有-O-之溶劑)、醚酯溶劑(含有-COO-與-O-之溶劑)、酯溶劑以外之酮溶劑(含有-CO-之溶劑)、醇溶劑、芳香族烴溶劑、醯胺溶劑、二甲基亞碸等中選擇使用。
作為酯溶劑,可列舉:乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸 丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、環己醇乙酸酯、γ-丁內酯等。
作為醚溶劑,可列舉:乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氫呋喃、四氫吡喃、1,4-二烷、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。
作為醚酯溶劑,可列舉:甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基乙酸丁酯、3-甲基-3-甲氧基乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯等。
作為酮溶劑,可列舉:4-羥基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環戊酮、環己酮、異佛酮等。
作為醇溶劑,可列舉:甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、丙二醇、丙三醇等。
作為芳香族烴溶劑,可列舉:苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等。
作為醯胺溶劑,可列舉:N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮等。
該等溶劑可單獨使用亦可組合兩種以上使用。
上述溶劑中,就塗佈性、乾燥性之方面而言,較佳為1atm下之沸點為120℃以上、180℃以下之有機溶劑。其中,較佳為丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙二醇單甲醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、N,N-二甲基甲醯胺、N-甲基吡咯烷酮等,更佳為丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯等。若含有該等溶劑,則塗佈時之平坦性優異。
著色感光性樹脂組合物中之溶劑(E)之含量,相對於著色感光性樹脂組合物,較佳為70~95質量%,更佳為75~92質量%。換言之,著色感光性樹脂組合物之固形物成分,較佳為5~30質量%,更佳為8~25質量%。若溶劑(E)之含量為上述範圍,則存在塗佈時之平坦性變得良好,又,形成彩色濾光片時不會出現色濃度不足,故而顯示特性變得良好之傾向。
於本發明之著色感光性樹脂組合物中可進而含有界面活性劑(F)。作為界面活性劑(F),可列舉:矽氧系界面活性 劑、氟系界面活性劑及具有氟原子之矽氧系界面活性劑等。該等可於側鏈具有聚合性基。
作為矽氧系界面活性劑,可列舉具有矽氧烷鍵之界面活性劑等。具體而言,可列舉:Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、聚醚改質矽油SH8400(商品名,Toray Dow Corning(股)製造),KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化學工業(股)製造),TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460(邁圖高新材料日本有限公司(Momentive Performance Materials Japan)製造)等。
作為上述氟系界面活性劑,可列舉具有氟碳鏈之界面活性劑等。具體可列舉:Fluorad(商品名)FC430、Fluorad FC431(Sumitomo 3M(股)製造),Megafac(商品名)F142D、Megafac F171、Megafac F172、Megafac F173、Megafac F177、Megafac F183、Megafac R30、Megafac RS-718-K(DIC(股)製造),Eftop(商品名)EF301、Eftop EF303、Eftop EF351、Eftop EF352(三菱綜合材料電子化成(Mitsubishi Materials Electronic Chemicals)(股)製造),Surflon(商品名)S381、Surflon S382、Surflon SC101、Surflon SC105(旭硝子(股)製造),E5844((股)大金精密化學研究所製)等。
作為上述具有氟原子之矽氧系界面活性劑,可列舉具有矽氧烷鍵及氟碳鏈之界面活性劑等。具體可列舉:Megafac(註冊商標)R08、Megafac BL20、Megafac F475、Megafac F477、Megafac F443(DIC(股)製造)等。
該等界面活性劑可單獨使用亦可組合兩種以上使用。
界面活性劑(F)之含量,相對於著色感光性樹脂組合物,較佳為0.001質量%以上、0.2質量%以下,較佳為0.002質量%以上、0.1質量%以下,更佳為0.01質量%以上、0.05質量%以下。若界面活性劑(F)之含量為上述範圍,則可使塗膜之平坦性變得良好。
若本發明之著色感光性樹脂組合物係含有著色劑(A)、鹼可溶性樹脂(B)、光聚合性化合物(C)、光聚合起始劑(D)、溶劑(E)及界面活性劑(F)之組合物,則塗佈性優異,可獲得耐溶劑性及分光優異之著色圖案。
較佳為於本發明之著色感光性樹脂組合物中,著色劑(A)之含量為0.5~10質量%,樹脂(B)之含量為1~20質量%,光聚合性化合物(C)之含量為1~15質量%,光聚合起始劑(D)之含量為0.5~10質量%,溶劑(E)之含量為45~97質量%。又,更佳為著色劑(A)之含量為1~7質量%,樹脂(B)之含量為3~10質量%,光聚合性化合物(C)之含量為3~12質量%,光聚合起始劑(D)之含量為1~5質量%,溶劑(E)之含量為66~92質量%。進而,更佳為著色劑(A)之含量為2~5質量%,樹脂(B)之含量為4~8質量%,光聚合性化合物(C)之含量為5~10質量%,光聚合起始劑(D)之含量為2~4質量%, 溶劑(E)之含量為73~87質量%。
於本發明之著色感光性樹脂組合物中使用光聚合起始助劑(D1)之情形時,相對於著色感光性樹脂組合物中之固形物成分100重量份,光聚合起始助劑之含量較佳為0.1~10質量份,更佳為0.5~5質量份,進而更佳為1~3質量份。
於本發明之著色感光性樹脂組合物中使用界面活性劑(F)之情形時,相對於著色感光性樹脂組合物中之固形物成分100重量份,界面活性劑(F)之含量較佳為0.001~1質量份,更佳為0.01~0.5質量份,進而更佳為0.05~1質量份。
本發明之著色感光性樹脂組合物,視需要可含有填充劑、其他高分子化合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩定劑、鏈轉移劑等各種添加劑。
作為使用本發明之著色感光性樹脂組合物形成著色圖案之方法,例如可列舉:將本發明之著色感光性樹脂組合物塗佈於基板或其他樹脂層(例如,於基板上事先形成之其他著色感光性樹脂組合物層等)上,除去/乾燥溶劑等揮發成分,形成著色層,經由光罩對該著色層進行曝光,顯影的方法,以及使用不需要光微影法之噴墨機器的方法等。
該情形之塗膜之膜厚並無特別限定,可根據所使用之材料、用途等而適宜調整,例如為0.1~30 μm,較佳為1~20 μm,更佳為1~6 μm。
著色感光性樹脂組合物之塗佈方法,例如可列舉:擠出塗佈法、直接凹版印刷塗佈法、反向凹版印刷塗佈法、CAP塗佈法(CAP coating)、模塗法等。又,亦可使用浸塗 機、棒式塗佈機、旋轉塗佈機、狹縫&旋轉塗佈機、狹縫式塗佈機(有時亦稱為狹縫擠壓式塗佈機(die coater)、幕式淋塗機(curtain flow coater)、非旋轉塗佈機(spinless coater))等塗佈機進行塗佈。
溶劑之除去/乾燥,例如可列舉:自然乾燥、通風乾燥、減壓乾燥、加熱乾燥等。具體之乾燥溫度較佳為10~120℃,更佳為25~100℃。乾燥時間較佳為10秒鐘~60分鐘,更佳為30秒鐘~30分鐘。減壓乾燥較佳為於50~150 Pa之壓力下,於20~25℃之範圍內進行。
乾燥後之塗膜經由用以形成目標圖案之光罩而曝光。此時之光罩上之圖案形狀並無特別限定,可使用對應於目標用途之圖案形狀。
作為曝光所使用之光源,較佳為產生250~450 nm波長之光之光源。具體可列舉:水銀燈、發光二極體、金屬鹵化物燈、鹵素燈等,可使用截斷特定波段之濾光器進行截斷,或使用提取特定波段之帶通濾波器進行選擇性提取而曝光。
因可對曝光面整體均勻照射平行光線,或可進行光罩與基材之正確的位置對準,故而較佳為使用光罩對準曝光機、步進式曝光機等裝置。
曝光後,與顯影液接觸,使特定部分例如未曝光部溶解,顯影,藉此可獲得圖案。作為顯影液,可列舉:鹼性化合物(氫氧化鉀、碳酸鈉、氫氧化四甲基銨等)之水溶液等。該顯影液可含有界面活性劑。
顯影方法可為覆液法(puddle)、浸漬法、噴霧法等任一種。進而顯影時可使基板於任意角度傾斜。較佳為顯影後進行水洗。
進而視需要,可進行後烘烤。後烘烤例如較佳為150~230℃,10~240分鐘之範圍。
本發明之著色感光性樹脂組合物,可獲得色濃度、亮度、對比度、感光度、解像度、耐熱性等良好之塗膜或圖案,該等可用作彩色濾光片。又,可以公知之態樣,用於所有具備該等彩色濾光片作為其構成零件之一部分的顯示裝置,例如公知之液晶顯示裝置、有機EL裝置、固體攝像元件等各種與著色圖像相關之機器中。
[實施例]
以下,藉由實施例進一步詳細說明本發明之著色感光性樹脂組合物。例中之「%」及「份」,若無特別表述,則表示質量%及質量份。
合成例1
將玫瑰紅B(東京化成工業(股)製造)30份溶解於氯仿288份中,添加N,N-二甲基-4-胺基吡啶2.3份、10-樟腦磺酸1.75份、去水甘油16.24份,於20℃以下攪拌1小時。一邊攪拌一邊滴加於氯仿72份中溶解之1-乙基-3-(3-二甲基胺基丙基)碳二醯亞胺鹽酸鹽(東京化成工業(股)製造)17.41份。反應結束後,於該反應液中添加1 N鹽酸水溶液進行分液,獲取有機層。對該有機層進而重複兩次該操作。其次,於該有機層中添加10%食鹽水進行分液,獲取有機 層。對該有機層進而重複兩次該操作。於所得有機層中添加硫酸鎂進行脫水後,過濾而獲取濾液。藉由蒸發器自該濾液除去溶劑,將所得紅色固體於減壓60℃下加以乾燥,藉此獲得式(d-1)所示之化合物30份(產率89.5%)。
式(d-1)所示之化合物的鑑定
(質量分析)離子化模式=ESI+:m/z=499.3[M-Cl-]+
Exact Mass(精確質量):534.2
實施例1
於2-胺基-4-甲基磺醯基-6-硝基苯酚(CAS No.101861-04-5)7.5份中添加水65份後,添加氫氧化鈉1.3份,使之溶解。於冰浴冷卻下,添加35%亞硝酸鈉(和光純藥工業(股)製造)水溶液6.1份,繼而一點一點地添加35%鹽酸19.4份使之溶解並攪拌2小時,獲得含有重氮鹽之懸浮液。繼而緩慢添加將胺基磺酸(和光純藥工業(股)製造)5.6份溶解於水26份中的水溶液,將過剩之亞硝酸鈉淬滅。
繼而,使3-甲基-1-苯基-5-吡唑啉酮(和光純藥工業(股)製造)5.6份懸浮於水70份中,使用氫氧化鈉將pH值調整至8.0。於其中一邊以15分鐘滴加上述含有重氮鹽之懸浮液,一邊適宜追加10%氫氧化鈉溶液而使pH值存在於7至7.5之範圍內。滴加結束後,進而攪拌30分鐘,藉此獲得 黃色之懸浮液。攪拌1小時。將過濾獲得之黃色固體於減壓60℃下加以乾燥,獲得式(p-2)所示之化合物11.7份(產率87%)。
將式(p-2)之化合物10份添加至二甲基甲醯胺(東京化成工業(股)製造)100份中使之溶解,添加硫酸鉻(III)銨十二水酯(和光純藥工業(股)製造)3.1份、乙酸鈉(和光純藥工業(股)製造)1.1份後,加熱回流4小時半。冷卻至室溫後,將反應溶液注入20%食鹽水1500份中,將過濾後獲得之橙紅色固體於60℃下加以乾燥,獲得式(z-2)所示之化合物13.6份(產率63%)。
式(z-2)所示之化合物之鑑定
(質量分析)離子化模式=ESI-:m/z=882.1[M-Na+]-
Exact Mass:905.1
將式(z-2)所示之化合物5份溶解於N-甲基-2-吡咯烷酮75份中。於該溶液中添加將式(d-1)所示之化合物2.63份溶解 於N-甲基-2-吡咯烷酮35份中的溶液,攪拌2小時。反應結束後,將其滴加至水300份中,過濾獲取析出之紅色固體,於減壓60℃下加以乾燥,藉此獲得式(1-27)所示之化合物6.4份(產率86.8%)。
式(1-27)所示之化合物之鑑定
(質量分析)離子化模式=ESI+:m/z=1382.4[M-Cl-]+
Exact Mass:1381.3
合成例2 <樹脂B1溶液之合成>
於具備攪拌機、溫度計、回流冷卻器及滴液漏斗之燒瓶內以0.02 L/分流入氮,成為氮環境,裝入乳酸乙酯305質量份,一邊攪拌一邊加熱至70℃。繼而,將甲基丙烯酸60質量份、丙烯酸3,4-環氧三環[5.2.1.02,6]癸酯(將下述式(I-1)所示之化合物及式(II-1)所示之化合物以莫耳比50:50混合)240質量份溶解於乳酸乙酯140質量份中製備溶液,使用滴液漏斗以4小時將該溶解液滴加至保溫在70℃之燒瓶內。另一方面,使用其他滴液漏斗以4小時滴加將聚合起始劑2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)30質量份溶解於乳酸乙酯225質量份中的溶液至燒瓶內。聚合起始劑之溶液滴加 結束後,保持在70℃下4小時,其後冷卻至室溫,獲得重量平均分子量Mw為1.3×104,固形物成分為33質量%,溶液酸值為34 mg-KOH/g之樹脂B1溶液。自上述固形物成分與溶液酸值計算出樹脂B1之固形物成分酸值為100 mg-KOH/g。
合成例3 <樹脂B2溶液之合成>
於具備攪拌機、溫度計、回流冷卻管、滴液漏斗及氣體導入管之燒瓶內導入丙二醇單甲醚乙酸酯333 g。其後,通過氣體導入管將氮氣導入燒瓶內,將燒瓶內環境置換為氮氣。其後,將燒瓶內之溶液升溫至100℃後,使用滴液漏斗以2小時將含有N-苄基順丁烯二醯亞胺18.7 g、甲基丙烯酸苄酯70.5 g、甲基丙烯酸51.7 g、甲基丙烯酸甲酯90.0 g、偶氮二異丁腈5.2 g及丙二醇單甲醚乙酸酯182 g之混合物滴加至燒瓶內,滴加完成後進而於100℃下持續攪拌5小時。
攪拌結束後,通過氣體導入管將空氣導入燒瓶內,將燒瓶內環境置換為空氣後,將甲基丙烯酸縮水甘油酯28.5 g、三(二甲基胺基甲基)苯酚1.3 g及對苯二酚0.165 g投入燒瓶內,反應於110℃下持續6小時,獲得重量平均分子量 Mw為16×103,固形物成分為31%,酸值為80 mg-KOH/g(固形物成分換算)之樹脂B2溶液。
上述樹脂之聚苯乙烯換算重量平均分子量之測定,係使用GPC法,以下述條件進行。
實施例2 [著色感光性樹脂組合物之製備] 混合
,獲得著色感光性樹脂組合物。
[圖案之形成]
於2英吋見方之玻璃基板(Eagle2000;康寧公司製造)上,以旋塗法塗佈著色感光性樹脂組合物後,於100℃下進行3分鐘預烘烤。冷卻後,將該塗佈有著色感光性樹脂組合物之基板與石英玻璃製光罩之間隔設為100 μm,使用曝光機(TME-150RSK;TOPCON(股)製造),於大氣環境下,以100 mJ/cm2之曝光量(365 nm基準)進行光照射。再者,作為光罩,使用可形成100 μm之線與間隙圖案者。光照射後,將該基板於23℃下浸漬於含有非離子系界面活性劑0.12%與氫氧化鉀0.04%之水溶液中80秒鐘進行顯影,水 洗後,於烘箱中,於230℃下進行30分鐘後烘烤。放置冷卻後,使用膜厚測定裝置(DEKTAK3;日本真空技術(股)製造))測定所得圖案之膜厚,結果為2.0 μm。
[色性能評價]
對於所得圖案,使用測色機(OSP-SP-200;Olympus(股)製造)測定分光,使用C光源之配色函數測定CIE之XYZ表色系中之浸漬前後之xy色度座標(x、y)(即色度)及亮度Y。結果示於表1。
[耐溶劑性評價]
於上述圖案形成中,除不使用光罩而曝光以外,進行相同操作,製作塗膜。將所得塗膜浸漬於23℃之N-甲基-2-吡咯烷酮中30分鐘,使用測色機(OSP-SP-200;Olympus(股)製造)測定分光,使用C光源之配色函數測定CIE之XYZ表色系中之浸漬前後之xy色度座標(Rx、Ry)(即色度)及亮度RY,計算浸漬前後之色差△Eab。色差△Eab越小則耐溶劑性越良好。色差△Eab之結果示於表1。
又,於浸漬後之塗膜上,使用切機及super cutter guide(太佑機材(taiyukizai)公司製造)以1 mm間隔切入切口,製作100個1 mm×1 mm之網格。於該網格上黏貼Sellotape(註冊商標)24 mm寬(Nichiban(股)公司製造),自Sellotape(註冊商標)之上以橡皮摩擦使Sellotape(註冊商標)附著於硬化塗膜上,2分鐘後拿住Sellotape(註冊商標)之邊端,一邊與塗膜面保持直角,一邊一口氣剝離。其後,目視計數塗膜未剝離而於基板上殘留之網格之數目。將該網 格數作為密著性,示於表1。
比較例1 混合
獲得著色感光性樹脂組合物。對著色感光性樹脂組合物,以實施例1相同之方式進行評價。結果示於表1。
使用本發明之著色感光性樹脂組合物而形成之塗膜,確認具有良好之耐溶劑性。因此可知,根據本發明之著色感光性樹脂組合物,可獲得耐溶劑性優異之塗膜、圖案及高品質之彩色濾光片。
[產業上之可利用性]
根據本發明之著色感光性樹脂組合物,可獲得耐溶劑性良好之塗膜、圖案及高品質之彩色濾光片。

Claims (10)

  1. 一種著色感光性樹脂組合物,其含有著色劑、樹脂、光聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑,著色劑為含有式(1)所示之化合物之著色劑, [式(1)中,R1~R18相互獨立表示氫原子、鹵素原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、硝基或-SO2R29,R29表示-R32、-OH或-NHR30,R30表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、可經碳數1~4之烷基取代之環己基、-R31-O-R32、-R31-CO-O-R32、-R31-O-CO-R32或碳數7~10之芳烷基,R31表示碳數1~8之2價之脂肪族烴基,R32表示碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立表示氫原子、甲基、乙基或胺基,M1表示Cr或Co,R21~R24相互獨立表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基或碳數6~10之1價之芳香族烴基,該脂肪族烴基及該芳香族烴基中所含之氫原子可經羥基、-OR32、磺基、-SO3Na、-SO3K或鹵素原子取代, R25及R26分別獨立表示氫原子或甲基,R27表示伸乙基、丙-1,3-二基或丙-1,2-二基,n表示0~3之整數,於n為2以上之整數之情形時,複數個R27相互相同或不同]。
  2. 如請求項1之著色感光性樹脂組合物,其中R1~R18相互獨立為氫原子、硝基或-SO2R29,R29為-R32,R32為碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立為甲基,R21~R24相互獨立為碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R25及R26分別獨立為氫原子,n為0。
  3. 如請求項2之著色感光性樹脂組合物,其中R1~R18之中,至少一個為氫原子,至少一個為硝基,且至少一個為-SO2R29
  4. 如請求項3之著色感光性樹脂組合物,其中R1~R10相互獨立為氫原子。
  5. 如請求項4之著色感光性樹脂組合物,其中R11~R18之中,至少一個為氫原子,R11~R18之中,至少一個為硝基,且R11~R18之中,至少一個為-SO2R29
  6. 如請求項1之著色感光性樹脂組合物,其中光聚合起始劑係含有選自由烷基苯酮化合物、三化合物、醯基膦氧化物化合物、肟化合物及聯咪唑化合物所組成之群中 之至少一種的光聚合起始劑。
  7. 如請求項1之著色感光性樹脂組合物,其中M1為Cr。
  8. 一種彩色濾光片,其係藉由如請求項1至7中任一項之著色感光性樹脂組合物而形成。
  9. 一種顯示裝置,其含有如請求項8之彩色濾光片。
  10. 一種化合物,其係式(1)所示之化合物, [式(1)中,R1~R18相互獨立表示氫原子、鹵素原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、硝基或-SO2R29,R29表示-R32、-OH或-NHR30,R30表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族烴基、可經碳數1~4之烷基取代之環己基、-R31-O-R32、-R31-CO-O-R32、-R31-O-CO-R32或碳數7~10之芳烷基,R31表示碳數1~8之2價之脂肪族烴基,R32表示碳數1~8之1價之脂肪族烴基,R19及R20相互獨立表示氫原子、甲基、乙基或胺基,M1表示Cr或Co,R21~R24相互獨立表示氫原子、碳數1~8之1價之脂肪族 烴基或碳數6~10之1價之芳香族烴基,該脂肪族烴基及該芳香族烴基中所含之氫原子可經羥基、-OR32、磺基、-SO3Na、-SO3K或鹵素原子取代,R25及R26分別獨立表示氫原子或甲基,R27表示伸乙基、丙-1,3-二基或丙-1,2-二基,n表示0~3之整數,於n為2以上之整數之情形時,複數個R27相互相同或不同]。
TW101104094A 2011-02-14 2012-02-08 著色感光性樹脂組合物及化合物 TWI515268B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011028258 2011-02-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201237118A TW201237118A (en) 2012-09-16
TWI515268B true TWI515268B (zh) 2016-01-01

Family

ID=46621389

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101104094A TWI515268B (zh) 2011-02-14 2012-02-08 著色感光性樹脂組合物及化合物

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5807568B2 (zh)
KR (1) KR101766745B1 (zh)
CN (1) CN102636957B (zh)
TW (1) TWI515268B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8178360B2 (en) 2006-05-18 2012-05-15 Illumina Cambridge Limited Dye compounds and the use of their labelled conjugates
JP2013076006A (ja) * 2011-09-30 2013-04-25 Jsr Corp 着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子
KR102224883B1 (ko) * 2013-06-07 2021-03-09 동우 화인켐 주식회사 착색 경화성 수지 조성물
JP2015041104A (ja) * 2013-08-22 2015-03-02 東友ファインケム株式会社 着色感光性樹脂組成物、これを含むカラーフィルタおよび表示装置
JP6160831B2 (ja) * 2013-12-20 2017-07-12 東洋インキScホールディングス株式会社 カラーフィルタ用着色組成物、およびカラーフィルタ
WO2020071204A1 (ja) * 2018-10-03 2020-04-09 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 感光性樹脂組成物、パターン硬化物の製造方法、硬化物、層間絶縁膜、カバーコート層、表面保護膜及び電子部品

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0805441B1 (de) * 1996-05-03 2003-10-08 Ciba SC Holding AG Optische Speichermedien mit hoher Kapazität, die Xanthenfarbstoffe enthalten
JP2005320423A (ja) * 2004-05-07 2005-11-17 Fuji Photo Film Co Ltd 色素、並びに、これを含有する染料含有硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法
JP2008106111A (ja) * 2006-10-24 2008-05-08 General Technology Kk インパクトプリンタ用油性インク組成物とそれを用いたインクリボンおよびインクロール
JP5481844B2 (ja) * 2007-12-14 2014-04-23 住友化学株式会社 着色感光性樹脂組成物
CN101482699B (zh) 2007-12-14 2015-07-01 住友化学株式会社 着色感光性树脂组合物
TW201035677A (en) * 2008-12-09 2010-10-01 Sumitomo Chemical Co Colored photosensitive resin composition
JP5760584B2 (ja) * 2011-03-29 2015-08-12 住友化学株式会社 着色硬化性樹脂組成物
JP5993626B2 (ja) * 2011-06-24 2016-09-14 住友化学株式会社 塩及び着色硬化性組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JP5807568B2 (ja) 2015-11-10
CN102636957B (zh) 2016-06-22
KR20120093096A (ko) 2012-08-22
CN102636957A (zh) 2012-08-15
JP2012185483A (ja) 2012-09-27
TW201237118A (en) 2012-09-16
KR101766745B1 (ko) 2017-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI534209B (zh) 鹽及著色硬化性組成物
TWI476517B (zh) Coloring the photosensitive resin composition
TWI544035B (zh) 著色硬化性樹脂組合物
TWI733945B (zh) 著色硬化性樹脂組成物、由前述著色硬化性樹脂組成物所形成的濾色器及包含前述濾色器的顯示裝置
JP6047310B2 (ja) 着色組成物
TWI550347B (zh) 著色感光性樹脂組合物
TW201312273A (zh) 著色硬化性樹脂組合物
TWI591435B (zh) 著色光敏性樹脂組成物
TWI515268B (zh) 著色感光性樹脂組合物及化合物
JP6493880B2 (ja) 着色硬化性樹脂組成物
TW201821416A (zh) 化合物、著色固化性樹脂組合物、濾色器和顯示裝置
JP6454273B2 (ja) 着色硬化性樹脂組成物
TW201815982A (zh) 著色固化性樹脂組合物、濾色器和顯示裝置
TWI526781B (zh) Coloring the photosensitive resin composition
KR20130016089A (ko) 착색 경화성 수지 조성물
TWI615680B (zh) 著色感光性樹脂組合物
TWI526432B (zh) Dyes and coloring compositions
KR20200040723A (ko) 착색 경화성 수지 조성물
TW202222987A (zh) 化合物、著色硬化性樹脂組成物、彩色濾光片及顯示裝置