TWI501838B - Coolant recovery method - Google Patents

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TWI501838B
TWI501838B TW100120660A TW100120660A TWI501838B TW I501838 B TWI501838 B TW I501838B TW 100120660 A TW100120660 A TW 100120660A TW 100120660 A TW100120660 A TW 100120660A TW I501838 B TWI501838 B TW I501838B
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coolant
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recovering
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天池英雄
小坂慎一
窪田勝文
Original Assignee
日本碍子股份有限公司
Ngk菲爾科技股份有限公司
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0076Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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