TWI482965B - 用於測量兩相流體的物理性質的方法及設備 - Google Patents
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Description
本發明關於一種用於測量兩相流體的物理性質的方法及設備。更具體而言,本發明關於一種使用壓電振盪器(piezoelectric oscillator)進行測量兩相流體的物理性質的方法及設備。
若知道流體的物理性質:例如,在儲存容器中的流體的密度或質量含量、含量變化率,或沿著導管的流體的質量流率是具有顯著的商業化應用。此資訊對於客戶及流體供應商兩者皆有價值。
對於氣體而言,在許多情況,需要監測一特定鋼瓶或壓力容器(pressure vessel)的含量以確定殘留氣體的數量。此在例如衛生保健應用的情況是特別重要的關鍵因素。
從在鋼瓶內的氣體的壓力的知識,根據氣體定律(gas laws)可計算得鋼瓶的真正含量(true content)是眾所皆知。壓力測量是眾所皆知的技藝,且有各種各樣具有測量壓力功能的裝置。最傳統的類型是使用一種配備有應變計元件
(strain gauge elements)的彈性隔膜(elastic diaphragm)。一種泛用類型的壓力計是波頓壓力計(Bourdon gauge)。
在液體的情況,最泛用的測量裝置是充填液位計(fill level gauge)例如浮式計(float gauge)。另一可行的是可執行一特定類型的具有精確密度的浮動液位計(float level gauge),因此可粗略地測量液體的密度。
然而,沒有一種測量技術是適合用於兩相流體,亦即,具有新月形凹面(meniscus)隔離成兩相的液體部份(liquid portion)及氣體部份(gas portion)的流體。換句話說,其氣體成份(gas fraction)及液體成份(liquid fraction)是同時存在於一特定流體的體積內。低溫流體(cryogenic fluid)通常以兩相狀態存在。
對於兩相流體的物理性質的準確的測量,使用傳統的技術是有困難。此是因為如上所討論的實例是適用於處理氣體或液體,但是並非兩者。除此以外,由於涉及低溫,低溫流體存在著另一測量上的難題。
除此以外,對於許多應用而言,期望知道來自儲存容器的流體的質量流率。此對於許多應用例如醫學應用而言,可能是重要的關鍵因素。已知有數種不同的質量流量計配置。
泛用於許多工業應用的質量流量計的一類別是機械式質量流量計。此等量計(meter)包括以移動或轉動來測量質量流量的機械式構件。一如此類型的是慣性流量計(inertial flow meter)(或科氏流量計(Coriolis flow meter)),其測量流體流動通過形狀管對於流體的影響。科
氏流量計可以高準確度處理廣泛範圍的流率。然而,為了偵測流率,則需要例如啟動、感測、電子及計算特性的複雜系統。
另一可行的機械式質量流量計是隔膜式量計(diaphragm meter)、旋轉式量計(rotary meter)及渦輪式量計(turbine meter)。然而,此等類型的量計通常是較不準確且涉及可能會磨損的活動零組件。此外,例如旋轉式量計的量計是僅用於測量相對低流率。
又一可行的類別的質量流量計是電子流量計。兩種主要類型是熱流量計(thermal meter)及超音波流量計(ultrasonic meter)。熱流量計是測量通過經加熱的管的熱傳導來測量流率。超音波流量計是測量在氣體介質中的音速,有時候是將在管路內多重路徑的音速加以平均。然而,兩種類型的電子流量計通常需要重要的訊號處理硬體且通常為高成本的物品。
然而,許多習知的配置是不適合使用於低溫配置。用於低溫流體的流量計通常是昂貴且複雜的裝置。除此以外,此等裝置的準確度經常是取決於流體的氣體及液體成份的一致性。許多流量計對於過冷且低氣體成份的兩相流動少於0.5%氣體,以重量計)是準確的,但是對於較高氣體成份的兩相流體、及僅含有氣體的流體,則為不佳。然而,在低溫應用,在流體中的氣體及液體成份可能會極端地變化。
用於低溫流量測量的習知的配置通常是藉由使用流體的速度及密度來直接測量流量(flow)、或使用例如壓降(pressure drop)的性質及流體模擬方程式(fluid modelling
equations)來間接測量流量兩者之一皆可來操作。直接測量流量的流量計的實例是揭述於美國專利第US-A-4,835,456號、第US-A-3,635,084號及第US-A-4,272,982號。在此等配置中,流量是使用旋轉構件(例如渦輪(turbine))加以測量以直接導出流體速度。然而,如此的配置對於低溫流體的氣體及液體成份的變異是特別易受到傷害,且若流動形態(flow regime)是歷經變化、或氣體對液體的比例變化或超過特定的程度,則準確度會不佳。
非直接測量技術包括皮托管(Pitot tubes)、文氏流量計(Venturi meters)及孔口板流量計(orifice plate meter)。此等配置是對數據應用流動模擬方程式(flow modelling equations)例如白努利方程式(Bernoulli’s equation)來測定壓降。對於兩相流動,則需要更複雜的流動模擬,且顯著地相依於低溫流體的氣體及液體成份。一實例可在美國專利第US-A-4,168,624號中發現。
另一可行的流量計類是將兩相流體分開成氣體及液體,並測量各相的流率。如此的流量計的實例是揭述於美國專利第US-A-4,881,412號及第US-A-5,679,905號。由於彼等需要兩個或以上的流量計以測量全部流量,因此彼等是複雜且昂貴。
另一可行的配置是揭述於美國專利第US-A-7,054,764號。此配置測量兩相流體的壓力及溫度,且實施反覆式計算(iterative calculation)以決定質量流量。
另一可行的類型可用於測量氣體的物理性質的裝置是一種例如石英晶體的壓電裝置(piezoelectric device)。
石英晶體會顯示壓電行為,亦即對彼等施加電壓會導致固體稍微的擠壓或延伸,且反之亦然。
「一種基於音叉技術的精確且穩固的石英感測器:用於SF6
的氣體密度控制(A Precise And Robust Quartz Sensor Based On Tuning Fork Technology For(SF6
)-Gas Density Control)」是Zeisel等人在「感測器與致動器(Sensors and Actuators)」第80期第233至236頁(2000年)中所揭述的一種配置,其中石英晶體感測器是用於高等及中等電壓的電子設備中,在低氣體壓力下測量SF6
氣體密度。該SF6
氣體密度的測量對於設備的安全性是重要的關鍵性因素。此文獻揭述一種低壓應用的石英感測器技術,其使用壓力最高為8bar g。
美國專利第4,644,796號揭述一種用於測量流體的壓力的方法及設備,其使用安置在具有伸縮囊配置(bellows arrangement)的可變容積外罩內的石英晶體振盪器。該外罩(housing)的內部容積會由於受到外部流體壓力,使得伸縮囊壓縮/膨脹而變化。因此,在外罩內的流體的密度會隨著該外罩的內部容積的變化而變化。在外罩內的密度可使用石英晶體振盪器加以測量。
上述配置敘述使用例如石英晶體振盪器的固態感測器。然而,上述配置及方法皆不適用於準確測量兩相流體或低溫液體(cryogenic liquid)的性質。
根據本發明的第一形態,提供一種用於測量兩
相流體的物理性質的方法。該方法是使用浸沒於兩相流體中的至少一壓電振盪器,該兩相流體具有氣體成份及液體成份,且該方法包括下列步驟:a)進行測量該或各壓電振盪器的共振頻率作為時間的函數,及b)從該或各共振頻率,進行決定兩相流體中的至少一物理性質,以作為兩相流體的特徵。
在一具體實例中,該步驟b)包含:根據該共振頻率,進行決定該或各壓電振盪器是否為浸沒於氣體成份或液體成份中。
在一具體實例中,該方法進一步包括:進行比較共振頻率與預定的臨限頻率,以決定該壓電振盪器是否為浸沒於氣體成份或液體成份中。
在一具體實例中,至少一物理性質包含:氣體成份對於液體成份的比例(proportion)作為時間的函數。
在一具體實例中,至少一物理性質包含:兩相流體中的至少液體成份(liquid component)的密度。
在一具體實例中,該方法進一步包括下列步驟:c)進行測量流體的體積流率(volumetric flow rate);及d)從氣體成份對於液體成份的比例、及從液體成份的密度,進行決定兩相流體的質量流率(mass flow rate)。
在一具體實例中,至少一物理性質是氣體成份及/或氣體成份的大小的頻率偵測(frequency of detection)。
在一具體實例中,氣體成份及/或氣體成份的大小的頻率偵測是用於決定該兩相流體的流動形態。
在一具體實例中,氣體成份及/或氣體成份的大
小的頻率偵測是用於決定該兩相流體是否為沸騰(boiling)。
根據本發明的第二形態,提供一種感測器組合,用於測量具有氣體成份及液體成份的兩相流體的物理性質。該感測器組合包含至少一壓電振盪器用於浸沒於兩相流體中,且該感測器組合配置成:可測量壓電振盪器的共振頻率作為時間的函數,及可從共振頻率決定兩相流體中的至少一物理性質,以作為兩相流體的特徵。
在一具體實例中,該感測器組合包含複數個壓電振盪器。
在一具體實例中,該複數個壓電振盪器是配置在導管的內部的周圍(about),使其可在該兩相流體流動(flow)通過下操作。
在一具體實例中,該感測器組合是進一步可操作而藉由比較共振頻率與預定的臨限頻率,以決定壓電振盪器是否為浸沒於氣體成份或液體成份中。
在一具體實例中,至少一物理性質包含:氣體成份對於液體成份的比例作為時間的函數、及/或兩相流體中的至少液體成份的密度。
在一具體實例中,該感測器組合進一步包含流量計,其可操作以決定兩相流體的體積流率。該質量流量計是可操作而從氣體成份對於液體成份的比例及從液體成份的密度,以決定兩相流體的質量流率。
在一具體實例中,兩相流體是低溫流體。
在一具體實例中,兩相流體是儲存在儲存槽中,且流體的密度是用於決定在儲存槽中是否發生分層現象
(stratification)。
在一具體實例中,該步驟a)包括:藉由驅動電路(drive circuit)進行驅動壓電振盪器,使得壓電振盪器在共振頻率進行共振,且在預定的時間期間後進行測量該共振頻率。
在一具體實例中,該壓電振盪器包含石英晶體振盪器。
在一具體實例中,該石英晶體包含至少一叉齒(tine)。在一變異例中,該石英晶體包含一對平面叉齒。
在一具體實例中,該石英晶體是AT切割(AT cut)或SC切割(SC cut)。
在一變異例中,該石英晶體的表面是直接暴露於流體。
在一具體實例中,該感測器組合包含驅動電路。在一變異例中,該感測器組合包含驅動電路,其具有配置成從共射極放大器(common emitter amplifier)的反饋架構(feedback configuration)的達靈頓對(Darlington pair)。
在一具體實例中,該感測器組合包含電源。在一配置例中,該電源包含鋰離子電池。
在一具體實例中,該感測器組合包含處理器(processor)。
在一變異例中,該壓電振盪器包含石英晶體振盪器。
在一變異例中,該氣體是永久氣體(permanent gas)。
在一配置例中,該耐高壓容器是氣體鋼瓶。
在一具體實例中,該感測器組合包含驅動電路。在一具體實例中,該感測器組合包含驅動電路,其具有配置成從共射極放大器的反饋架構的達靈頓對。
在一具體實例中,該感測器組合包含電源。在一配置例中,該電源包含鋰離子電池。
在一具體實例中,該感測器組合包含處理器。
在一具體實例中,該感測器組合是配置成:可驅動壓電振盪器,使得壓電振盪器在共振頻率進行共振,及可測量在預定的時間期間後的該共振頻率以決定氣體的密度。
在一具體實例中,該感測器組合包含驅動電路。在一具體實例中,該感測器組合包含電源。在一變異例中,該電源包含鋰離子電池。
根據一具體實例,提供一種用於測量在儲存容器內的低溫流體的物理性質的方法。該方法是使用至少一壓電振盪器浸沒於儲存容器內的低溫流體中,且該方法包括下列步驟:a)進行測量該或各壓電振盪器的共振頻率,及b)從該或各共振頻率,進行決定在儲存容器內的低溫流體的密度。
在一具體實例中,該方法進一步包含使用複數個壓電振盪器浸沒於在不同的液位的低溫流體中,以決定在儲存容器內在不同的液位的低溫流體的密度。
在一具體實例中,該方法進一步包括下列步驟:c)根據該密度測量,進行決定在儲存容器內的液體液
位。
在一具體實例中,該方法進一步包括下列步驟:d)根據該密度,進行決定在儲存容器中是否發生分層現象。
根據一具體實例,提供一種感測器組合,用於測量在儲存容器內的低溫流體的物理性質。該感測器組合包含至少一壓電振盪器,配置成可浸沒於儲存容器內的低溫流體中,且該感測器組合配置成:可測量該或各壓電振盪器的共振頻率,及可從該或各共振頻率,進行決定在儲存容器內的低溫流體的密度。
在一具體實例中,該感測器組合包含複數個壓電振盪器,配置在儲存容器內在不同的液位,且可操作以決定在儲存容器內在不同的液位的低溫流體的密度。
在一具體實例中,該複數個壓電振盪器是配置成以等間隔配置(equi-spaced)垂直堆疊(vertical stack)。
根據本發明的第三形態,其配備一種可藉由可程式規劃處理設備來執行的電腦程式產品,具有一種或以上用於實施第一或第三形態的步驟的軟體部份。
根據本發明的第四形態,其配備一種可使用於電腦的儲存媒體,具有根據第五形態而儲存於其中的電腦程式產品。
10‧‧‧低溫流體系統
100‧‧‧儲存槽
102‧‧‧槽體;儲存槽體
102a‧‧‧底座
104‧‧‧進料管
104a‧‧‧真空隔熱
104b‧‧‧管的內壁
104c‧‧‧管的外壁
106‧‧‧閥
108‧‧‧進料管
108a‧‧‧真空超隔熱
108b‧‧‧管的內壁
108c‧‧‧管的外壁
110‧‧‧閥
112‧‧‧進料管
114‧‧‧閥
200‧‧‧第一感測器組合
202‧‧‧石英晶體振盪器;石英晶體共振器;振盪器
202-1~202-N‧‧‧石英晶體振盪器;石英晶體共振器;振盪器
202a‧‧‧叉齒
204‧‧‧驅動電路
206‧‧‧處理器
208(Fig.2)‧‧‧支撐結構
208(Fig.9)‧‧‧電池
209‧‧‧加熱元件;加熱器
210‧‧‧達靈頓對共射極放大器;達靈頓對
212‧‧‧單電晶體(T1
)共射極放大器
214‧‧‧緩衝放大器
216‧‧‧電容器
240‧‧‧驅動電路
242‧‧‧共漏極金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFET)放大器;共漏極MOSFET放大器;MOSFET
244‧‧‧單電晶體(Q2,Q3)共射極放大器;共射極放大器
246‧‧‧電容器
248‧‧‧電阻
250‧‧‧電池
260‧‧‧驅動電路
300‧‧‧感測器組合
302‧‧‧石英晶體振盪器;石英晶體共振器;振盪器
302-1~302-4‧‧‧石英晶體振盪器;石英晶體共振器;振盪器
304‧‧‧驅動電路
306‧‧‧處理器
308‧‧‧貫通絕緣體
350‧‧‧流量計
400‧‧‧感測器組合
402‧‧‧石英晶體振盪器;石英晶體共振器;振盪器
402-1~402-4‧‧‧石英晶體振盪器;石英晶體共振器;振盪器
404‧‧‧驅動電路
406‧‧‧處理器
408‧‧‧貫通絕緣體
450‧‧‧流量計
500‧‧‧步驟500:初始化
502‧‧‧步驟502:驅動晶體振盪器
504‧‧‧步驟504:測量共振頻率
506‧‧‧步驟506:決定密度
508‧‧‧步驟508:決定物理性質
510‧‧‧步驟510:儲存測量的結果
512‧‧‧步驟512:通訊結果
514‧‧‧步驟514:切斷感測器組合電源
600‧‧‧步驟600:初始化
602‧‧‧步驟602:驅動晶體振盪器
604‧‧‧步驟604:測量共振頻率
606‧‧‧步驟606:決定物理性質
608‧‧‧步驟608:決定體積流率
610‧‧‧步驟610:決定質量流率
612‧‧‧步驟612:通訊結果
614‧‧‧步驟614:切斷感測器組合電源
700‧‧‧感測器組合
702‧‧‧第一石英晶體振盪器
704‧‧‧第二石英晶體振盪器
706‧‧‧密封容器
708‧‧‧驅動電路
710‧‧‧驅動電路
712‧‧‧電子混頻電路
850‧‧‧顯示器單元
852‧‧‧數據單元
854‧‧‧顯示器
856‧‧‧天線
C1
,C2
(Fig.11)‧‧‧電容器
C1,C2,C3,C4(Fig.10)‧‧‧電容器
D1
,D2
(Fig.9)‧‧‧單電晶體
F(Fig.3,5)‧‧‧流體流
H
(Fig.2)‧‧‧垂直內部高度
L(Fig.1,2,23)‧‧‧液體液位
R1,R2,R3,R4,R5,R6,R7,R8(Fig.10)‧‧‧電阻
R1
,R2
,RS
(Fig.11)‧‧‧電阻
T(Fig.11)‧‧‧反相器
T1
,T2
(Fig.9)‧‧‧單電晶體;NPN射極隨耦器電晶體
V(Fig.1,2,23)‧‧‧內部容積
本發明的具體實例將參照附加的圖式詳細地加以說明如下:
第1圖是一種低溫流體系統的示意圖;第2圖是展示根據本發明的第一具體實例的儲存槽及感測器組合的示意圖;第3圖是展示根據本發明的第二具體實例的通過垂直管及感測器組合的截面示意圖;第4圖是第3圖的管及感測器組合的橫截面;第5圖是展示根據本發明的第三具體實例的通過水平管及感測器組合的截面示意圖;第6圖是第5圖的管及感測器組合的橫截面;第7a)至7e)圖是展示在垂直管中不同的流動形態;第8a)至8f)圖是展示在水平管中不同的流動形態;第9圖是使用於第一、第二或第三具體實例的驅動電路的示意圖;第10圖是展示使用於第一、第二或第三具體實例的另一可行的驅動電路的示意圖;第11圖是展示使用於第一、第二或第三具體實例的另一可行的驅動電路的示意圖;第12圖是展示關於數種不同的氣體的石英晶體頻率(kHz)(在Y-軸)作為密度(kg/m3
)的函數圖;第13圖是展示關於氬氣、氧氣及一種含有氬氣:二氧化碳的混合物的氣體質量(kg)(在Y-軸)作為壓力(bar g)(在X-軸)的函數圖;第14圖是展示關於如第13圖所展示三種氣體
(氬氣、氧氣及一種含有氬氣:二氧化碳的混合物)的氣體質量(kg)(在Y-軸)作為密度(kg/m3
)(在X-軸)的函數圖;第15圖是展示關於激烈沸騰的液態氮的頻率(kHz)(在Y-軸)作為時間(msec)(在X-軸)的函數圖;第16圖是展示關於緩慢流動的液態氮的頻率(kHz)(在Y-軸)作為時間(msec)(在X-軸)的函數圖;第17圖是展示關於較快速流動的液態氮的頻率(kHz)(在Y-軸)作為時間(msec)(在X-軸)的函數圖;第18圖是展示關於汽胞狀流動(slugging)的液態氮的頻率(kHz)(在Y-軸)作為時間(sec)(在X-軸)的函數圖;第19圖是以圖解說明一種根據所揭述的具體實例的方法的流程圖;第20圖是以圖解說明一種根據所揭述的具體實例的方法的流程圖;第21圖是展示不同的晶體類型的頻率行為圖;第22圖是展示具有兩個石英晶體的另一可行的感測器組合的示意圖;以及第23圖是展示使用遠端電子數據單元的另一可行的配置。
第1圖是展示根據本發明的一具體實例的低溫
流體系統10的示意圖。
低溫流體系統10包含具有槽體102的儲存槽100。該槽體102包含一般為具有平坦底座102a的圓筒形容器,且配置成可使得儲存槽100能未經支撐而站立於平坦表面上。然而,應瞭解到儲存槽100可採取其他適當的形態,例如任何適當的低溫儲存容器例如可攜式容器、油罐車、拖車、化學製造工廠、液-氣分離廠或其組合。
任何適當的流體皆可容納在低溫流體系統10內。然而,適當的流體的非限制性列舉可包含:液態氮、液態氬氣、液態氫氣、液態氦氣、液態氧氣或其混合物。
在此具體實例中,槽體102具有由鋼、鋁及/或複合材料所形成的結構。真空隔熱是配備在壁內以將低溫內含物與外部環境隔熱。然而,也可使用其他類型的適當的隔熱(insulation)。
儲存槽100容納大量的低溫流體。該低溫流體包含大量的具有液體液位L的低溫液體。在液體液位L上方存在著大量的氣體或蒸氣。第一感測器組合200是配備在槽內,以測量在儲存槽100內的低溫流體的物理性質。該第一感測器組合200稍後將參照第2圖加以敘述。
儲存槽100包含:三個進料管104,108,112。管(pipe)104是液體進料管,且在鄰近底座102a的位置退出(exit)儲存槽體102。該管104是大體上為水平,其可操作以抽出(draw)或供應低溫流體從/至儲存槽100,且包含閥106。如圖所展示,閥106可手動操作,且包含可藉由轉動可握緊的手柄,以軸向調整朝向或遠離閥座而可選擇性地開
放或關閉閥106的閥體。另一可行的是該閥106可藉由例如電磁閥(solenoid valve)加以自動控制。
管108也是液體進料管,且在儲存槽體102的上部末端退出。然而,該管108伸入槽體102內的距離是使得管108的末端位於儲存槽100中的液體液位L的下方。該管108是可操作以抽出(draw)(藉由泵或在頂部氣體壓力下)、或供應低溫流體從/至儲存槽100,且其包含閥110。該閥110是可手動操作(如圖所展示)、或可藉由例如電磁閥加以自動控制。至少管108的一部份是配置成呈垂直架構。
管104,108包含隔熱管(insulated pipe),且其包括真空夾套(vacuum jacketing)或其他隔熱被覆(insulating cladding),使得低溫液體可被輸送至/從儲存容器100。
第二感測器組合300是位於沿著管108的垂直區段。該第二感測器組合300將參照第3及4圖加以敘述。除此以外,一體積流量計350是位於管108中以測量流體的流率,如稍後將加以敘述者。該流量計350可包含任何適當的配置,例如用於測量流體的流率的渦輪。
第三感測器組合400是位於沿著管104的大體上為水平的區段。該第三感測器組合400將參照第4及5圖加以敘述。除此以外,一體積流量計450是位於管104中,以測量其中的流體的流率,如稍後將加以敘述者。該流量計450可包含任何適當的配置,例如用於測量流體的流率的渦輪。
管112是氣體進料管,且配置在儲存槽100的
上部末端。該管112的末端是位於儲存槽100中的液體液位L的上方,且配置成可使得可能會導致在儲存槽100內過量壓力的低溫液體上方的氣體或蒸氣排出。在此方面,管112具有閥114,使其可選擇性從儲存槽100抽出氣體。
低溫流體系統10是配備第一感測器組合200。該第一感測器組合200將參照第2圖加以敘述。第2圖是展示儲存槽100內部更詳細的視圖。
儲存槽100具有內部容積V及垂直內部高度H(第2圖)。在使用時,內部容積V的一部份是以具有液體液位L的低溫液體所充填。第一感測器組合200是可操作以測量其他性質中的液體液位L。
感測器組合200是配置成可測量在儲存槽100的內部高度H的特定位置的流體的密度。該感測器組合200包含複數個石英晶體振盪器202-1~202-N配置成呈垂直堆疊。各石英晶體振盪器202是藉由適當的配線而連接到各自的驅動電路204。僅一單驅動電路204是展示於第2圖。然而,應該可瞭解到驅動電路204是配備用於各石英晶體振盪器202。也可配備處理器206,且其可分開或作為驅動電路204的一部份兩者之一皆可。該感測器組合200可藉由電池源或藉由外部電力供應(例如,市電電力連接(mains power connection))來提供電力。此等細節稍後將加以敘述。
在第2圖所展示的具體實例中,石英晶體振盪器202-1~202-N是配置在位於儲存槽100的內部容積V內的垂直支撐結構208上。在第2圖中,展示14個石英晶體振盪器202-1~202-14(亦即,N=14)。然而,視需要也可
使用任何其他適當數量的振盪器。
在一形態中,各石英晶體振盪器202-1~202-N是配置成可作用如同液位感測器(level sensor),且可操作以偵測在儲存槽100的內部容積V內、在儲存槽100的一特定高度的密度。該石英晶體感測器202-1~202-N是以等間隔配置沿著支撐結構208在儲存槽100的內部垂直高度H的方向。
各石英晶體振盪器202包含小而薄的截面的切割石英。石英會顯示壓電行為,亦即施加電壓橫過(across)晶體,則會造成晶體改變形狀而產生一機械力。相反地,對晶體施加一機械力,則會產生電荷。
石英晶體振盪器202的兩個平行表面是加以金屬化,以提供電連接橫過整個晶體(bulk crystal)。當藉由金屬接觸而施加電壓橫過晶體時,則晶體會改變形狀。藉由對晶體施加交流電壓,則會造成晶體振盪。
石英晶體的外形大小及厚度決定石英晶體的特徵或共振頻率。事實上,晶體202的特徵或共振頻率是與兩個金屬化表面間的外形厚度成反比例。石英晶體振盪器是在此技藝中眾所皆知者,因此石英晶體振盪器202的結構在此將不再進一步加以敘述。
石英晶體的共振振動頻率將視晶體所在位置的環境而變化。在真空中,晶體將具有一特定頻率。然而,此頻率在不同的環境中將會改變。例如,在流體中,晶體的振動將會由於周圍的流體分子而發生阻尼(damped),且此將會影響共振頻率、及晶體在一特定振幅(amplitude)振盪所需要
的能量。在一適當的液體中,該振動將會進一步發生阻尼,且振盪頻率將會進一步變化。
此外,氣體的吸附或周圍物質的沉積在晶體上,將會影響到振動中晶體的質量、改變共振頻率。在晶體上形成吸附層,且當氣體吸附在吸附層上時質量會增加,此是構成泛用的選擇性氣體分析儀的理論基礎。然而,在本案情況,並無塗層(coating)塗敷到石英晶體振盪器202。事實上,物質的吸附或沉積在石英晶體振盪器202上,在本案情況為非所欲,因為測量的準確度可能會受到影響。
因此,一般認為由於污染物及流體會沉積在晶體振盪器的叉齒上,石英晶體振盪器是不適合使用在液體中。然而,本案發明人已經令人驚奇地發現:在低溫液體的情況,石英晶體振盪器可提供準確的密度測量,並無任何將會導致誤差及不準確的晶體污染。
本具體實例的石英晶體振盪器202是音叉形狀,且其具有一對叉齒202a(第9圖),大約5毫米長,且配置成可在32.768kHz的共振頻率進行振盪。該叉齒202a形成於石英的平面截面。該叉(fork)的叉齒202a通常是在彼等的基本模態振盪,且彼等是在共振頻率同步地朝向及遠離彼此而運動。
除此以外,較佳為使用AT切割或SC切割的石英。換句話說,一石英的平面截面是在特定的角度切割,使其可配置成振盪頻率的溫度係數在室溫附近具有寬幅波峰的拋物線。因此,該晶體振盪器可配置成使得在波峰頂部的斜率是在操作狀態所需要的精確地為零。
此等晶體通常是可以相對低成本獲得。與在真空中使用大多數的石英晶體振盪器相反,在本具體實例的石英晶體振盪器202是暴露於儲存槽100的內部容積V中的氣體及液體中。
因為石英晶體振盪器202-1~202-N具有視周圍流體的密度而定的共振頻率,該感測器組合200是可操作以偵測在振盪器202-1~202-N中,何者是浸沒於液態冷凍劑(liquid cryogen)中、及何者並未浸沒。此使其能識別(identification)在儲存槽100中的液體液位L。
因此,在一單純的液位,由於在儲存槽100中在低溫液體與氣體或蒸氣間的所測得密度差異,複數個石英晶體振盪器202-1~202-N是可操作以提供準確的指示(indication)在儲存槽100中的液體液位L。
除此以外,感測器組合200的提供(provision)則使其能監測在儲存槽100內更高級的參數。
可能發生在儲存槽例如儲存槽100內的難題是液體對流循環(liquid convective circulation)會導致在單成份液體中的密度分層(density stratification)。在缺乏任何連續機械混合的單成份液體(例如,低溫液體),由於過熱壁邊界層流(wall boundary layer flow)的內在機制、在表面的不完全蒸發、及較少過熱液體的中央向下射流(jet)會導致分層現象而成為兩層。
各分層的層(stratified layer)將或多或少為在均勻的溫度,但是為在與其他層不同的溫度。例如,較熱且較少稠密層可能會存在於較冷且較稠密層的下方。
橫過兩層間的液-液界面的溫度差異為小,典型為在0.1至1.0K的等級。因此,熱驅動的分子擴散的混合效應,在缺乏任何對流運動的情況為相對地小。因此,相關的橫過液-液界面的密度差異發生作用而壓抑局部對流混合(local convective mixing),因此分層現象是極其穩定。
然而,若維持此狀態,藉由壁邊界層流,則頂層的加熱將會持續進行。此將導致溫度持續上升、或伴隨著界面的向下遷移(migration)而使得厚度增加、或兩者的組合。
當在兩層間的密度差異變得足夠大,在較稠密、較低層中的過熱壁邊界層流的浮力(buoyancy)突然變得不足夠,且由於惰性(inertia)而穿透液-液界面。該邊界層流(boundary layer flow)被捕集在較低層中,且無法蒸發以釋放其中含有的熱能。相反地,該壁邊界層(wall boundary layer)在界面倒轉(turns over),且將其中含有的動能及熱能封鎖入液體的較低層。此反而造成液體的較低層被加熱。
當此發生時,蒸發速率(evaporation rate)將會下降,作為分層效應(stratification effect)的第一指示,且經由不穩定的過熱狀態而使得相關的熱裝填過量(thermal overfill)增加。此類型的熱裝填過量,在單成份液體中可藉由較低層的劇烈核狀沸騰(nucleate boiling)而釋放,結果例如經由排氣孔排放與液體混合的蒸氣,因此可能在儲存容器造成機械損壞。
對於多成份低溫液體,觸發(triggering)及增強(build-up)分層現象是可以各種各樣的方式發生,此取決於液
體成份的識別資訊(identity)、液體成份的先前歷程。再者,分層現象是在對流上為穩定;但是現在橫過液-液界面的混合是藉由雙擴散(double diffusion)、與溫度及梯度濃度兩者加以控制,此有助於經密度-梯度驅動(density-gradient driven)、液體對流混合(liquid convective mixing)。
在低溫液體混合物中,此分層現象必然會導致不穩定蒸發,其已經獲得的名稱為「翻轉(rollover)」。當分層的層自發地混合,該不穩定蒸發會發生,結果導致蒸發損耗率(boil-off rate)及槽壓力快速增加。
因此,本發明的感測器組合200是可操作以偵測此等狀態,藉由在儲存槽100的內部高度H的不同密度梯度(density gradient)或分佈(profile)、或藉由偵測由於在槽內的沸騰所造成的氣體氣泡(因為氣體具有比周圍液體較低的密度,此將會在感測器的頻率響應(frequency response)中觀察到一波峰)兩者之一皆可。關於此的實驗數據,稍後將加以敘述。
在此具體實例中,驅動電路204是位於儲存槽100的外側。因此,感測器組合200的至少一部份是位於儲存槽100外部。石英晶體振盪器202及驅動電路204是藉由通過饋通(feed through)的配線加以連接(未展示)。此配置可保護任何精緻的電子構件避免受到在儲存槽100內的極端溫度的影響。然而,該石英晶體振盪器202-1~202-N在儲存槽100的內部容積V內是經常在等靜壓力(isostatic pressure)下,因此不會經歷壓力梯度(pressure gradient)。感測器組合200的石英晶體振盪器202-1~202-N的內部位置
(internal location)的優點,對於固態感測器裝置例如石英晶體振盪器202是獨特的。
在另一可行的具體實例,該感測器組合200整體可位於儲存槽100內。在此情況,將有需要提供適當的屏蔽(shield)及/或隔熱,以保護至少感測器組合200的某些電子構件避免受到在儲存槽100內的低溫流體極冷的影響。
除此以外,加熱元件209可配備於一個或以上的石英晶體振盪器202。僅一個加熱元件209是展示於第2圖。該加熱元件209是可應用於例如當槽100是排出或液位L下降而使得感測器202是暴露於大氣空氣(atmospheric air)。在此等狀態,水蒸氣及/或冰凝結在冷的感測器202上,可能會導致不準確及誤差的感測器202讀數,尤其是若感測器202再驟降入(plunged back)液態冷凍劑中。因此,加熱器209是可操作以蒸發或防止此等任何冷凝液或冰。
另一可行的是該感測器組合200可連接到天線(未展示),用於與例如基地台進行遠端通訊。此將討論於後。在此情況,該天線可位於儲存槽100的外側,且藉由電線或等效接頭而連接到感測器組合200。天線本身是可使其適配且配置成可使用任何適當的通訊協定(communication protocol),例如其非限制性列舉可為:RFID(無線射頻識別技術:Radio-frequency identification)、藍牙(Bluetooth)、紅外線(IR:Infrared)、802.11無線、調頻(FM:Frequency Modulation)傳輸或蜂窩網路(cell network)。
另一可行的是可執行一線式通訊(one-wire communication)。一線式通訊僅需要一單金屬導體來進行通
訊,電路的「回程通路(return path)」是藉由在通訊裝置間的空間的電容耦合(capacitive coupling)來提供。熟習此技藝者將可容易地瞭解天線的其他替代方式(及相關的傳輸硬體)可使用於在此所論述的具體實例。
第3及4圖是以圖解說明本發明以第二感測器組合300的形態的第二具體實例。該第二感測器組合300是位於管108的大體上垂直區段。通過管108的平面截面圖是展示於第5圖。該管108的橫截面是展示於第6圖。該管108是可操作以輸送低溫流體,因此其包含真空超隔熱(vacuum superinsulation)108a位於管108的內壁108b與外壁108c間。
第三感測器組合300包含複數個石英晶體振盪器302-1~302-4。在此具體實例中,利用四個石英晶體振盪器302-1~302-4。在此具體實例中,該振盪器是配置成可使得各振盪器的長軸以徑向向內伸入朝向管108的中心,且垂直於流體的流動(flow of fluid)F(其在第4圖是出紙張)。而且,該振盪器302-1~302-4是以等間隔配置圍繞(around)管108的內周。
然而,熟習此技藝者將可容易地瞭解到:視需要也可使用其他數目及架構的振盪器。例如,一額外的中央振盪器可設置於管108的中心以配備成五個振盪器。
與第一具體實例相同,各石英晶體振盪器302是藉由適當的配線而連接到各自的驅動電路304。僅一單驅動電路304是展示於第4圖。然而,應該可瞭解到驅動電路304是配備用於各石英晶體振盪器302。也可配備處理器
306,其可分開或作為驅動電路304的一部份兩者之一皆可。該感測器組合300可藉由電池源或藉由外部電力供應(例如,市電電力連接)來提供電力。此等細節稍後將加以敘述。
為了提供在驅動電路304與石英晶體振盪器302-1~302-4間的電子及物理連接,該貫通絕緣體(pass through insulator)308是配備用於各石英晶體振盪器302-1~302-4。各貫通絕緣體308使其能連接配線而貫通,同時維持具有充分的隔熱的不漏液密封(fluid-tight seal),使得將被輸送的低溫流體能通過管108。
第5及6圖是以圖解說明本發明以第三感測器組合400的形態的第三具體實例。第三感測器組合400是位於管104的大體上水平區段。通過管104的平面截面圖是展示於第5圖。該管104的橫截面是展示於第6圖。該管104是可操作以輸送低溫流體,因此其包含真空隔熱(vacuum insulation)104a位於管104的內壁104b與外壁104c間。
第三感測器組合400包含複數個石英晶體振盪器402-1~402-4。在此具體實例中,利用四個石英晶體振盪器402-1~402-4。在此具體實例中,該振盪器是配置成可使得各振盪器的長軸向內伸入朝向管104的相反側,且垂直於流體的流動(其在第6圖是入或出紙張)。該振盪器402-1~402-4也配置成彼此平行圍繞管104的內部。
換句話說,該石英晶體振盪器402-1~402-4是配置成彼此平行,使得各晶體振盪器的叉齒平躺於迎面而來的流體F,如第5圖所展示。如第6圖所展示,該石英晶體
振盪器402-1~402-4是配置成不對稱地圍繞管104的內周壁104b。特別是一振盪器402-2是位於鄰近管104的較低部份。此是因為對於水平管,重力的效應可能會造成低溫液體沿著管的底部內表面與其上方的氣體一起流動。藉由將振盪器放置在於或接近於管104的底部,此液態冷凍劑可直接加以測量。
與第一及第二具體實例相同,各石英晶體振盪器402是藉由適當的配線而連接到各自的驅動電路404。僅一單驅動電路404是展示於第4圖。然而,應該可瞭解到驅動電路404是配備用於各石英晶體振盪器402。也可配備處理器406,其可分開或作為驅動電路404的一部份兩者之一皆可。第三感測器組合400可藉由電池源或藉由外部電力供應(例如,市電電力連接)來提供電力。此等細節稍後將加以敘述。
為了提供在驅動電路404與石英晶體振盪器402-1~402-4間的電子及物理連接,與第二具體實例相同,該貫通絕緣體408是配備用於各石英晶體振盪器402-1~402-4。各貫通絕緣體408使其能連接配線而貫通,同時維持具有充分的隔熱的不漏液密封,使得將被輸送的低溫流體能通過管104。
本發明的第二及第三具體實例是可操作以測量沿著垂直及/或水平管流動的低溫流體的物理性質。當兩相流體(例如低溫流體)沿著管流動時,流量將視在流體中兩相的比例、流體壓力及流率而不同。
第7a)至7e)圖是展示圖解說明沿著管的垂直
區段可能發生的不同的兩相流體的流動示意圖。當在非常高品質時,該流動通常是發現為呈氣泡狀流動形態(bubbly flow regime),如第7a)圖所展示。此流動的特徵為:分離的蒸氣氣泡分散於連續液相中。在氣泡狀流動中,氣泡(bubble)的平均大小相較於管徑通常為小。
第7b)圖是以圖解說明汽胞狀流動(slug flow)。此是在稍微較低的品質,較小的氣泡可能會合併(coalesce)成為幾乎跨越(span)整個管的橫截面的汽胞(slugs)。
第7c)圖是展示在中間品質及較低流率的流動,其在液體-蒸氣界面的蒸氣剪切(vapour shear)可能會接近剛好平衡所施加的壓力梯度與在液體薄膜上的向下重力本體力的組合效應。因此,液體流動傾向於不穩定且振盪。在管中央的蒸氣流繼續向上流動。雖然液體薄膜的平均速度是向上,但是液體會歷經間歇的向上及向下運動。對於此等狀態的流動是高度地攪拌而導致高度地不規則界面。此振盪流(oscillatory flow)是所謂的「攪動流(churn flow)」。
第7d)至7e)圖是展示更低品質的流動,其中兩相流動通常假設為一種環狀架構,具有大多數的液體沿著管壁流動,且氣體在中央芯(central core)流動。如第7d)圖所展示,在中間品質,可能觀察到一種或兩種額外的形態。若液體及蒸氣兩者的流率為高,則觀察到環狀型流動(annular-type flow),具有許多「鬚狀(wisps)」的被夾帶的液體在蒸氣芯(vapour core)中流動。雖然此是環狀流的一形態,其有時候指定為一種分離的形態,亦即所謂的「鬚狀環
狀流(wispy annular flow)」。第7e)圖是展示環狀流。
第8a)至8f)圖是展示圖解說明沿著管的水平區段可能發生不同的兩相流體的流動示意圖。對於水平流動所觀察到的形態與對於垂直流動者間的一主要差異是在水平管中的流動經常有分層現象的傾向,其中重力施加在通過管的流動的力量不對稱。不論流動形態如何,蒸氣具有遷移(migrate)朝向管的頂部的傾向,同時管道(channel)的較低部份攜帶更多的液體。
第8a)圖是以圖解說明對於水平流動經常觀察到的非常高品質、氣泡狀流動(bubbly flow)。然而,如圖所顯示,由於氣泡的浮力,彼等主要是在管道的上部中流動。
第8b)圖是以圖解說明在流動的品質為較低的氣泡狀形態的情況,小氣泡的合併產生較大的塞子型(plug-type)氣泡,其在管道的上部中流動。此是所謂的「塞狀流形態(plug flow regime)」。
第8c)圖是展示在低流率及若干較低品質可能觀察到分層流(stratified flow)的情況,其中在管的底部中流動的液體,藉由相對平滑的界面而與管的上部的蒸氣分離。
第8d)圖是展示若流率增加及/或品質降低時在分層流形態的情況,最後該界面變得不穩定,因此該界面變成波狀。此類型的流動是被歸類為「波狀流(wavy flow)」。
第8e)圖是展示在高液體流率的情況,波的波幅可能會成長,使得波峰(crests)跨越幾乎整個管的寬度,有效地形成大的汽胞型氣泡(slug-type bubble)。因為彼等的浮力,沿著管道(tube)流動的蒸氣的汽胞傾向於歪斜(skew)朝向
管道的上部。在另一方面,其與在垂直管道的汽胞狀流動完全相同,因此其也是所謂的「汽胞狀流動」。
最後,第8f)圖是展示在高蒸氣速度及適度的液體流率的情況,在水平氣體-液體流觀察到環狀流。對於如此的狀態,浮力效應可能傾向於使得在管道壁的頂部部份的液體薄膜薄化,而在底部則使其增稠。
第二及第三具體實例的配置是可操作以偵測在管內各種各樣的流動機制。因為當在液態冷凍劑中、與當在氣態冷凍劑(gaseous cryogen)中,石英晶體振盪器302,402的共振頻率的差異顯著,因此使其可達成偵測。此外,石英晶體振盪器302,402的快速響應時間(response time),使其能實施在垂直及/或水平管內的流動分類,如稍後將加以敘述者。
驅動電路204,304,404的結構,現在將參照第9圖加以敘述。雖然下列敘述相關於驅動電路204,應該可瞭解到下列也可應用到驅動電路304,404。
驅動電路204必須符合數個特定的關鍵條件。首先,本發明的石英晶體振盪器202可能會暴露於某些範圍的流體壓力;壓力有可能會從大氣壓力(當儲存槽100是空瓶時)變化至被浸沒於稠密的液態冷凍劑中。因此,石英晶體202是需要可在寬廣範圍的壓力及狀態下操作(及在未使用一段期間後重新啟動)。
因此,石英晶體振盪器202的品質(Q)因素在使用期間將會顯著地變化。該Q因素(Q factor)是與振盪器或共振器的阻尼率(rate of damping)相關的無因次參數。此相當
於其可作為共振器相對於其中心頻率的頻寬(bandwidth)的特徵。
一般而言,振盪器的Q因素愈高,則振盪器的能量損失率相對於所儲存的能量愈低。換句話說,高Q因素振盪器的振盪,在無外力下振幅的減少更緩慢。具有較高Q因素的正弦驅動共振器,在共振頻率以較大的振幅進行共振,但是在彼等共振的該頻率附近具有較小的頻寬。
驅動電路204必須能驅動石英晶體振盪器202,不管Q因素的變化如何。當在氣體鋼瓶100中的壓力增加時,石英晶體振盪器202的振盪阻尼將會變得越來越增加,且該Q因素將下降。該下降的Q因素是需要藉由在驅動電路204中的放大器提供較高的增益(gain)。然而,若所提供的放大太高,則該驅動電路204、來自石英晶體振盪器202的響應可能會變得不易區別。在此情況,該驅動電路204可在非相關的頻率、或在石英晶體振盪器202的非基本模態的頻率單純地振盪。
關於又一限制是該驅動電路204必須為低功率,使其可在具有或無補充電力例如光電伏打電池(photovoltaic cell)下,以低功率電池長時間運轉。
驅動電路204,現在將參照第9圖加以敘述。為了驅動石英晶體振盪器202,該驅動電路204在本質上是取得來自石英晶體振盪器202的電壓訊號,將其放大,且將該訊號(signal)回饋至石英晶體振盪器202。該石英晶體振盪器202的基本共振頻率,在本質上是石英的膨脹與收縮速率的函數(function)。此通常是藉由晶體的切割及大小來決定。
然而,外在因素也會影響到共振頻率。當所產生的輸出頻率的能量符合在電路中的損失時,則振盪可持續。該驅動電路204是配置成可偵測及維持此振盪頻率。然後,該頻率可藉由處理器206加以測量,以用於計算使用者所需要的氣體的適當性質,且若有需要時,可輸出至一適當的顯示器裝置(如稍後將加以敘述者)。
驅動電路204是藉由6V電源來提供電力。在此具體實例中,該電源包含鋰離子電池。然而,另一可行的電源對於熟習此技藝者將是顯而易見的其他電池類,例如包括可再充電與非可再充電兩者、及太陽能電池配置。除此以外,也可使用市電供電電力(mains electricity power)。此措施是特別適用於固定的儲存槽安裝。
驅動電路204進一步包含達靈頓對共射極放大器(Darlington pair Common Emitter amplifier)210。該達靈頓對包含由兩個雙極型NPN電晶體(bipolar NPN transistors)所構成的複合結構,使得藉由第一電晶體加以放大的電流是進一步藉由第二者加以放大。當與各電晶體是採用分離方式者相比較時,則此架構可獲得較高的電流增益(current gain)。另一可行的是可使用PNP雙極型電晶體(PNP bipolar transistors)。
達靈頓對210是配置成從單電晶體(single transistor)(T1
)共射極放大器212的反饋架構。NPN雙極型接面電晶體(NPN bipolar junction transistor)是展示於第9圖。然而,熟習此技藝者將可瞭解可使用另一可行的電晶體配置,例如雙極型接面PNP電晶體(bipolar junction PNP
transistor)或金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFETs:Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors)。
驅動電路204包含又一NPN射極隨耦器電晶體T2
,其作用如同緩衝放大器214。該緩衝放大器214是配置成可作用如同在電路與外部環境間的緩衝器。
電容器216是設置成與石英晶體振盪器202串聯。該電容器216在此實例中具有100pF值,在晶體例如受到鹽類或其他沉積物而已被污染的情況,可使得驅動電路204能驅動石英晶體振盪器202。
另一可行的驅動電路240,現在將參照第10圖加以敘述。該驅動電路240可用於取代上述的驅動電路204。與上述的驅動電路204完全不同,該驅動電路240包含一共漏極(common drain)金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFET)放大器242,以取代第9圖的電路的達靈頓對。該MOSFET 242作用如同一高阻抗(impedance)輸入,其使得放大器級(amplifier stage)的輸入阻抗能配合石英晶體振盪器202的高阻抗。換句話說,該MOSFET 242提供具有高輸入阻抗的單位增益,以降低在石英晶體振盪器202的電負載(electrical load)。
共漏極MOSFET放大器242的輸出是輸入至兩個連續的單電晶體(Q2,Q3)共射極放大器244。電阻R6及R8是對電晶體提供包括負反饋(negative feedback)及偏壓電流(biasing current)兩者。該共射極放大器244提供高增益,以放大石英晶體振盪器202的振盪,且在此具體實例中,包含一NPN雙極型接面電晶體。然而,熟習此技藝者將可瞭
解可使用另一可行的電晶體配置,例如雙極型接面PNP電晶體(bipolar junction PNP transistor)或MOSFETs。
電容器246是連接在石英晶體振盪器202與接地(ground)間。在此具體實例中,該電容器246是可操作以增加對石英晶體振盪器202的驅動。
電阻248是與石英晶體振盪器202連接成串聯。該電阻248在此具體實例中具有56kΩ值,可阻尼石英晶體振盪器202的振盪,使得電路可僅以逐漸的波形變化而在廣泛的壓力範圍振盪。
驅動電路240是藉由3V電池250來提供電力。在此具體實例中,該電池250包含鋰電池。然而,另一可行的電源對於熟習此技藝者將是顯而易見的其他電池類,例如包括可再充電與非可再充電兩者、及太陽能電池配置。另一可行的是也可使用經直流整流(DC rectification)及適當的降低電壓的市電供電配置(mains supply arrangement)。
又一可行的驅動電路260,現在將參照第11圖加以敘述。如第11圖所展示的驅動電路是構成為類似於皮爾斯振盪器(Pierce oscillator)。皮爾斯振盪器是一種習知的數位IC時鐘振盪器(digital IC clock oscillator)。在本質上,該驅動電路260包含:一單數位反相器(single digital inverter)(以電晶體的形式)T、三個電阻R1
,R2
及RS
、兩個電容器C1
,C2
、及石英晶體振盪器202。
在此配置中,該石英晶體振盪器202作用如同高選擇性濾波器元件(filter element)。電阻R1
作用如同電晶體T的負載電阻(load resistor)。電阻R2
作用如同反饋電阻
(feedback resistor),在其操作的線性區域對反相器(inverter)T施加偏壓(biasing)。此可有效地使得反相器T操作如同高增益反相放大器(inverting amplifier)。另一電阻RS
是使用於反相器T的輸出與石英晶體振盪器202間,以限制增益及阻尼在電路中非所欲的振盪。
石英晶體共振器(quartz crystal resonator)202與C1
及C2
組合而形成Pi網路帶通濾波器(Pi network band-pass filter)。此使其能在大約石英晶體振盪器的共振頻率獲得180度相位位移(phase shift)、及從輸出至輸入的電壓增益(voltage gain)。上述的驅動電路260,因為其包含較少的構件,因此為可靠且可以廉價製造。
如上所述,感測器組合200可包含處理器206,以接收來自石英晶體振盪器202及驅動電路204的輸入。該處理器206可包含任何適當的配置,例如特定應用積體電路(ASIC:Application Specific Integrated Circuit)、或現場可程式規劃閘陣列(FPGA:Field Programmable Gate Array)。該處理器206是加以程式化以計算、顯示、及傳輸對儲存槽100的使用者有用的參數。
當與石英晶體振盪器202一起使用時,處理器206可構成為可測量來自驅動電路204的訊號的頻率f
或週期(period)。此可藉由例如計數在固定時間的振盪來達成,且使用演算法(algorithm)或查表法(look-up table)而將該頻率換算成密度值。此數值是傳遞至處理器206,其構成為可根據所供應的輸入資訊實施計算,進行決定在儲存槽100中的氣體的質量。
處理器206可視需要而設計成適用於大量生產,使其在所有的儲存槽中為完全相同,且在軟體及硬體中具有不同的特性(feature)而可用於不同的氣體。
除此以外,處理器206也可構成為可將電力消耗最小化,其經由執行可涵蓋處理器206、及附加的構件例如驅動電路204及石英晶體振盪器202的「待機(standby)」或「睡覺(sleep)」模式。
可執行各種的方案,例如處理器206在每11秒鐘中可待機10秒鐘。此外,該處理器206可控制石英晶體振盪器202及驅動電路204,使得此等構件大部份時間是處於待機狀態,僅對於更高耗電構件切換成每30秒鐘為接通½秒鐘。另一可行或可附加的是通訊構件例如天線視需要而可加以關閉或用於啟動感測器組合200,300,400。
第一、第二及第三感測器組合200,300,400的理論與操作,現在將參照第12至15圖加以敘述。
石英晶體振盪器202具有視其所在位置的流體的密度而定的共振頻率。在振盪中的音叉型晶體振盪器暴露於氣體中,導致晶體的共振頻率發生位移(shift)及阻尼(damping)(當與晶體在真空中的共振頻率相比較時)。對於此是有數個理由。然而,氣體對於晶體的振盪具有阻尼效應(damping effect),氣體鄰近在振動中的音叉晶體振盪器202的振動叉齒會增加振盪器的等效質量。根據單側固定彈性樑(one-sided,fixed elastic beam)的動作,此會導致石英晶體振盪器的共振頻率降低:
其中,f
是振盪頻率,f 0
是在真空中的振盪頻率,ρ
是氣體密度,且M 0
是常數。
密度ρ
在幾乎所有的情況與M 0
相比較為小,因此公式可加以近似為線性方程式(linear equation):
其可重新以與f 0
的頻率偏差(frequency deviation)△f
來表示,如方程式3)所揭述者:
因此,以最佳近似法(to a good approximation),頻率的變化是與石英晶體振盪器所暴露的氣體的密度的變化成比例。第12圖是展示關於數種不同的氣體/氣體混合物,該石英晶體振盪器202的共振頻率作為密度的函數而以線性變化。
一般而言,石英晶體振盪器202的靈敏度為5%的頻率變化是可例如在250bar(當與大氣壓力相比較)的氧氣(具有原子質量數32)中觀察到。
石英晶體振盪器202是令人驚奇地特別適合用作為商品級所供應的流體,例如低溫流體的密度感測器。首先,為了正確地感測氣體或液體的密度,其需要氣體或液體為不含粉塵及液滴,此是商品級所供應的低溫流體所保證
者,但是並不保證不含空氣、水、油或在一般的壓力監測狀態下。
以此方式測量低溫兩相流體的物理性質是比習知的配置具有許多優點。例如,根據本發明的一具體實例所測得密度在本質上是經溫度校正。相反地,壓力的測量使用例如波頓壓力計將會隨著絕對溫度而成比例地變化。因此,本配置並不需要如在習知的配置的情況的溫度測量及/或校正。
此外,根據本發明的一具體實例所測得低溫氣體或液體的密度,在本質上是經可壓縮性(compressibility)Z的校正。在傳統的配置中,例如使用波頓壓力計,氣體的可壓縮性需要加以校正。此在該可壓縮性Z並不與氣體壓力成比例(如同在理想氣體(ideal gas)所預期的方式)的高壓下是特別重要。
可壓縮性的自動補償(automatic compensation)是可參照第13及14圖加以圖解說明。第13圖是展示關於氬氣、氧氣、及一種含有氬氣:二氧化碳的混合物的氣體質量(kg)(在Y-軸)作為壓力(bar g)的函數圖。如第13圖所展示,不同氣體的質量是隨著壓力增加而變化。此外,在超過250bar g的高壓下,在質量與壓力間不再具有線性關係。
在本發明的具體實例中,感測器組合200,300,400可加以利用以決定密度ρ作為時間t的函數,且此資訊可用於解釋在儲存槽100內的狀態(在第一具體實例的情況)、及兩相液體沿著管的流動(在第二及第三具體實例的情況)。
首先,考慮藉由第一感測器組合200以測量在儲存槽100內的物理性質。如上所述,該石英晶體振盪器202-1~202-N是可操作以在與彼等所浸沒的流體的密度成比例的頻率進行共振。因此,在第一感測器組合中,所配備的振盪器202-1~202-N的陣列(array)是可操作以測量在儲存槽100內的流體的性質,例如在儲存槽100內的液體液位、及在不同高度的液體的密度。此有助於識別在儲存槽100內如上所述的分層現象。
除此以外,石英晶體振盪器202-1~202-N的快速響應時間、及當在氣體/蒸氣或液體中時,石英晶體振盪器202-1~202-N的顯著不同的共振頻率,使其能將在儲存槽100內的流體狀態加以定性。換句話說,使用第一感測器組合200,其可能加以偵測,不論在儲存槽100內的液體是否為沸騰,且若有沸騰,則其激烈的程度如何。此能提供警告在儲存槽100內潛在性不安全的壓力累積(pressure build-ups),使其能在儲存槽100的結構發生損壞前,進行修正動作)(例如排出過量的氣體或蒸氣)。
如前所述,在兩相流體中,氣體氣泡將存在於儲存槽100內的液體中。若液體為沸騰,則氣體氣泡將上升朝向液體的表面,因此將會通過石英晶體振盪器202-1~202-N。因此,藉由測量共振頻率(其是與密度成比例)作為時間的函數,當氣體氣泡通過各石英晶體振盪器202-1~202-N,則彼等可加以偵測得。
因此,下列性質例如(非詳盡無遺):每單位時間的氣體對液體的比例、每單位時間的氣泡的數目、及氣
泡的大小則可加以決定,以提供指示關於其中液體是沸騰的程度。
第15圖是以圖解說明測量在液態氮槽中石英晶體振盪器202的共振頻率的一實例。第15圖是展示石英晶體振盪器202的共振頻率(f
)(在Y-軸)(kHz)繪圖作為時間(在X-軸)(msec)的函數。液態氮是激烈地沸騰,且此可在第15圖(在共振頻率f
中的波峰作為時間t
的函數)中觀察到。
如圖所展示,石英晶體振盪器202的快速響應,使得氣泡可在10毫秒的等級偵測得。然而,當在非常高速度下操作時,石英晶體振盪器202在新介質中並不具有完全穩定的時間(亦即,當氣體氣泡(gas bubble)通過時)。因此,在某些情況,當在氣體氣泡中,藉由所測得尖峰共振頻率所獲得密度圖可能無法獲得準確的密度測量。然而,為了決定流體行為的特性,可實施定量分析。
如第15圖所展示,臨限位準(threshold level)T可加以識別(identify)。該臨限位準T是一預定義的位準(pre-defined level),高於其則可決定氣泡已經偵測得。然後,系統可加以執行,藉此可決定氣泡頻率(bubble frequency)f b
。換句話說,可決定每單位時間的氣泡的數目,以識別在儲存槽100內的狀態。該臨限值(threshold value)T可設定在任何合理值(除了在液體成份的共振頻率中的誤差變異以外),同時進行偵測任何氣體氣泡。
現在考慮沿著水平及垂直管104,108的兩相流體流的測量及定性,且使用第二及第三感測器組合300,400
加以測量。
如上述參照第7及8圖加以敘述者,在水平及垂直管內的兩相流體各種各樣的流動狀態,可藉由氣泡形成的特定類型加以定性。第16至18圖是以圖解說明在垂直管中,藉由感測器組合300,400所測得各種各樣的流動情況,雖然其獲得非常接近類似於在水平管測量所獲得的曲線圖。
第16圖是展示液態氮在非常緩慢的流率下,流動通過經氦氣充填管線。由於使用氦氣,因此非冷凝氣體是存在於氣體氣泡內。然而,應瞭解到氮氣或其他氣體將也會存在。
如圖所展示,流動是被在石英晶體振盪器302,402上持續大約50毫秒的氣體氣泡所中斷。此等測量可相對應於相對環狀流,例如展示關於垂直管的第7d)至7e)圖,及關於水平管的第8c)、8d)及8f)圖。
第17圖是展示液態氮在較快速的流率下,流動通過經氦氣充填管線。如圖所展示,流動是較不規則,且藉由石英晶體振盪器302,402是偵測得持續不同的時間期間的不規則氣泡。此可能相對應於在管內更混亂流動狀態,例如展示關於垂直管的第7a)及7c)圖,及關於水平管的第8a)圖。
最後,第18圖是展示液態氮在發生汽胞狀流動的狀態下,流動通過經氦氣充填管線。第18圖的數值範圍(scale)是比第15至17圖者較長,且X-軸的單位為秒鐘。
如圖所展示,流動是高度地規則,且「汽胞(slug)」狀的氣泡持續大約125毫秒是藉由石英晶體振盪器
302,402偵測得。在該「汽胞」間的間隔也大約為恆定。此可相對應於在管內的汽胞流動狀態,例如展示關於垂直管的第7b)圖,及關於水平管的第8b)圖。
此等測量可以定性及定量地加以解釋。例如,該氣泡頻率f b
(亦即,每單位時間的氣體氣泡的數目)可加以決定,且氣泡的大小(亦即,氣體成份持續在石英晶體振盪器302,402上的時間多長)可加以決定。此資訊可用於決定在管104,108內的流動狀態,如第7及8圖所展示。
除此以外,從感測器組合300,400的測量可用於提供資訊,以協助控制其他裝置。例如,若暴露於在兩相液體流內顯著數量的氣體中,低溫泵(cryogenic pump)可操作以泵送液態冷凍劑而可能達到超速狀態。因此,感測器組合300,400位於泵入口的上游,可以電子方式連接到泵控制器,使得在氣體氣泡的偵測時,泵馬達可降低速度以避免超速狀態。除此以外,若流體流含有一特定比例可能會對泵造成損壞的氣泡(例如,氣蝕(cavitation)),則其可能偵測出此氣泡,藉此而控制泵。
另一可行的是在泠凍食品工業中,冷凍劑噴霧噴嘴(cryogen spray nozzle)是用於在低溫下的凍結食品(freeze comestibles)。從噴霧噴嘴的噴霧模式,將可決定施加到食品的凍結的狀態及程度。然而,正常的噴霧模式將會被所存在的氣體擾亂,因此氣體含量的知識是重要的。
使用上述具體實例是可計算在管內的質量流率。如上所述,在氣體氣泡通過感測器前,石英晶體振盪器302,402對於氣體氣泡通常不具有時間建立準確的密度。此
是因為液體例如液態冷凍劑(即使其為非常低黏度者),在氣泡已經通過前,不具有足夠的時間從振盪器302,402中排出。然而,本案發明人已經發現:在氣體氣泡內氣體的質量可加以忽視,而不會過份地影響到質量流量測量的準確度。
為了測量質量流量,需要經由流量計350,450以決定兩相流體的體積流率(dV/dt
)。然後,使用感測器組合300,400,液體對氣體的比例(B
)及液體密度(ρ
)可加以決定。然後,根據方程式4),可計算得質量流率:
根據本發明的一具體實例的方法,現在將參照第19圖加以敘述。如下所述的方法可應用到上述參照第1及2圖的第一具體實例。
在步驟500,在儲存槽100中的低溫流體的性質的測量是加以初始化。此可藉由例如使用者按壓在儲存槽100外側的按鈕加以啟動。另一可行的是該測量可藉由遠端連接加以初始化,例如訊號是橫過無線網路傳送,且經由天線而被感測器組合200接收。
關於又一可行的或除此以外的是該感測器組合200可構成為以遠端方式或計時器進行初始化。然後,該方法接著進行步驟502。
一旦初始化,各驅動電路204是用於驅動各自的石英晶體振盪器202。在初始化期間,該各自的驅動電路
204施加隨機雜訊交流電壓橫過晶體202-1~202-N。該隨機電壓的至少一部份將在適當的頻率造成晶體202振盪。然後,該晶體202將開始與該訊號同步進行振盪。
藉由壓電效應(piezoelectric effect),則石英晶體振盪器202的動作,則將會在石英晶體振盪器202的共振頻帶中產生一電壓。驅動電路204則將藉由石英晶體振盪器202所產生的訊號加以放大,使得在石英晶體共振器202的頻帶中所產生的訊號優控(dominate)驅動電路204的輸出。石英晶體的狹幅共振頻帶濾除全部非所欲的頻率,而驅動電路204則在基本共振頻率f
驅動該石英晶體振盪器202。一旦該石英晶體振盪器202已經穩定在一特定共振頻率,該方法接著進行步驟504。
共振頻率f
是視在儲存槽100內的條件而定。在本具體實例中,共振頻率的變化△f
是與在儲存槽100內的氣體或液體密度變化的大小成比例,且將隨著密度增加而減少。
為了進行測量,該石英晶體振盪器202的頻率是測量大約1秒鐘。此是為使得讀數穩定化而計數足夠的振盪以決定準確的測量。該頻率的測量是在處理器206中進行。當測量啟動後,該處理器206也可登錄(log)時間T1
。
一旦該頻率已經測得,該方法接著進行步驟506。
一旦各石英晶體振盪器202的頻率已經在步驟
504滿意地測得,然後處理器206計算在儲存槽100中在特定的石英晶體振盪器202-1~202-N的液位的流體的密度。
然後,該方法接著進行步驟508。
在步驟506,在垂直堆疊的各壓電振盪器202-1~202-N的高度的流體的密度(液體或氣體兩者之一皆可)是加以決定。此使其能計算所欲的物理性質。
例如,在儲存槽100內的液體液位可藉由識別振盪器202-1~202-N何者是浸沒於液體、及何者未浸沒加以決定。
另一可行或可附加的是在不同的深度的液體的密度可加以識別。此可用於識別不同層的密度、及識別可能會導致在槽中不安全的狀態的分層現象。
一旦密度或密度梯度已經計算得,則各自的密度值可單純地記錄在與感測器組合200的處理器206相關聯的內部記憶體中,作為以後檢索取回使用。關於再一可行的是在時間T1
的該數據可暫時儲存在該處理器206的記憶體中而產生一時間登錄(time log)。
然後,該方法接著進行步驟512。
關於一選擇性的步驟,該物理性參數(例如,充填液位(fill level)、槽分層(tank stratification))可以數種方式來顯示。例如,搭接在儲存槽100的螢幕可用於顯示在儲存槽100內容納的氣體的質量。在另一可行的方法中,該
測量可以遠端方式與基地台、或位於鄰近的配件的量計進行通訊。
然後,該方法接著進行步驟514。
並不需要在所有的時間維持感測器組合200皆可操作的狀態。相反地,當不使用時,藉由將感測器組合200關閉以減少電力消耗是有利的。若利用此時,則可延長電池的壽命,或若連接到市電供電(mains supply),則可減少能源消耗。
驅動電路204的架構可使得石英晶體振盪器202,即使浸沒於儲存槽100內的液體中也可重新啟動。因此,感測器組合200可視需要而加以停機以節省電池電力。
根據本發明的另一具體實例的方法,現在將參照第20圖加以敘述。如下所述的方法可應用到上述參照第1及3至6圖的第二及第三具體實例。
在步驟600,測量在導管例如管104或管108中的低溫流體的性質。此可藉由例如使用者按壓在各自的感測器組合300,400外側的按鈕加以啟動。另一可行的是該測量可藉由遠端連接加以初始化,例如,訊號是橫過無線網路傳送,且被各自的感測器組合300,400接收。
關於又一可行的或除此以外的是該感測器組合300,400可構成為以遠端方式或計時器進行初始化。然後,該方法接著進行步驟602。
一旦初始化,各驅動電路304,404是用於驅動各自的石英晶體振盪器302-1~302-4、402-1~402-4。在初始化期間,該各自的驅動電路304,404施加隨機雜訊交流電壓橫過晶體302-1~302-4、402-1~402-4。該隨機電壓的至少一部份將在適當的頻率造成晶體302-1~302-4、402-1~402-4進行振盪。然後,該晶體302-1~302-4、402-1~402-4將開始與該訊號同步進行振盪。
藉由壓電效應,石英晶體振盪器302,402的動作,則將會在石英晶體振盪器302,402的共振頻帶中產生一電壓。驅動電路304,404則將藉由石英晶體振盪器302,402所產生的訊號加以放大,使得在石英晶體共振器302,402的頻帶中所產生的訊號優控驅動電路304,404的輸出。石英晶體的狹幅共振頻帶濾除全部非所欲的頻率,而驅動電路304,404則在基本共振頻率f
驅動該石英晶體振盪器302,402。一旦該石英晶體振盪器302,402已經穩定在一特定共振頻率,該方法接著進行步驟604。
共振頻率f
是視在導管內感測器組合300,400設置的狀態而定。在本具體實例中,共振頻率的變化△f
是與在儲存槽100內的氣體或液體密度變化的大小成比例,且將隨著密度增加而減少。因此,當振盪器302,402是暴露於兩相流體的氣體成份,則將會觀察到顯著的密度變化,與暴露於液體成份的情況相反。
頻率的測量是在處理器306,406中進行。當測量啟動後,該處理器306,406也可登錄時間T1
,且可記錄在
一預定的期間後的測量。
一旦該頻率已經測得,該方法接著進行步驟606。
一旦各的頻率各石英晶體振盪器302,402已經在步驟604滿意地測得,則處理器306,406是可操作以計算所欲的參數。
在所揭述的具體實例中,各感測器組合300,400包含四個振盪器302,402。在測量時,為了獲得流體的物理性質,處理器306,406可決定四個各自的振盪器302,402的共振頻率的平均值。另一可行的是可使用其他處理或數值方法(例如重量平均)、或可使用四個各自獨立的測量。
在一配置例中,當振盪器302,402是在氣體氣泡中時,該臨限位準T可利用於偵測。臨限位準T可儲存在處理器306,406中,且可手動輸入或可經由校準步驟來獲得。
然後,處理器306,406可登錄關於振盪器302,402是在氣體中的時間、及振盪器302,402是在液體中的時間的數據。在一預定的測量期間(例如,以秒鐘計)後,處理器306,406可決定何者是氣體的流體比例、及何者是液體的流體比例。此可加以決定作為用於在方程式4)所揭述的計算的百分率。
另一可行或可附加的是氣體氣泡的式樣可加以監測,且氣泡頻率(bubble frequency)及/或大小可藉由處理器
306,406加以登錄以決定流動特性。
另一可行或可附加的是處理器306,406可藉由利用振盪器302,402的液體液位頻率(liquid level frequency)以計算液體的密度。
然後,該方法接著進行步驟608。
此步驟是視需要而定,且僅在若需要質量流率時才實施。流量計350,450是配備以測量體積流率。流量計350,450包含:渦輪、或其他會產生與兩相流體的流率成比例的訊號的動力系統(motive system)。體積流率則傳輸至處理器306,406。
然後,該方法接著進行步驟610。
再者,步驟610是視需要及在步驟608進行的狀態而實施。在步驟608,體積流率是加以決定。在步驟610,此資訊是利用於處理器306,406,連同在步驟606的液體密度測量、及在兩相流體中氣體對液體的比例,根據方程式4)以計算流體的質量流率。
然後,該方法接著進行步驟612。
關於一選擇性的步驟,該物理性參數(例如,流動類型、質量流率、液體密度)可以數種方式來顯示。例如,搭接在感測器組合300,400的螢幕可用於顯示相關的數據。在另一可行的方法中,該測量可以遠端方式與基地台、或位於鄰近的配件的量計進行通訊。
然後,該方法接著進行步驟614。
並不需要維持感測器組合300,400在所有的時間皆可操作的狀態。相反地,當不使用時,藉由將感測器組合300,400關閉以減少電力消耗是有利的。若利用此時,則可延長電池的壽命,或若連接到市電供電,則可減少能源消耗。
上述具體實例的變異例對於熟習此技藝者將是明顯可見。硬體與軟體構件的精確架構可能會不同,但是仍然屬於本發明的範圍內。熟習此技藝者將可容易地瞭解可使用其他可行的架構。
例如,上述的具體實例是使用具有32.768kHz的基本頻率的石英晶體振盪器。然而,可使用在其他可行的頻率操作的晶體。例如,在60kHz及100kHz操作的石英晶體振盪器可使用於上述的具體實例。一展示關於不同的晶體的頻率隨著密度的變化圖是如第21圖所展示。關於另一實例,可使用在1.8MHz的頻率操作的晶體振盪器。
在較高頻率操作,則由於取樣一特定周期數所需要的時間期間較短,可使其更頻繁地監測壓力。除此以外,較高頻率晶體可使其在晶體的「睡覺」模式所使用的工作週期(duty cycle)較小。舉例來說明,在大多數的情況下,該晶體及驅動電路將花費大部份的時間關閉,僅在測量需要時將其開啟大約1秒鐘。此可能發生例如每分鐘一次。當使用較高頻率晶體時,則可較快速地測得壓力。因此,可縮減其中晶體是在操作中的時間。此可減少電力消耗,且伴隨著
可改善電池壽命。
除此以外,上述具體實例已藉由測量石英晶體振盪器的絕對頻率加以敘述。然而,藉由與完全相同類型但是封入於真空或壓力封裝(pressure package)中的參考晶體(reference crystal)的頻率相比較,測量感測器的頻率位移可能也是有利的。該壓力封裝可容納在所選擇的密度的氣體、在大氣條件下或可開放至儲存槽100的外部的大氣氣體。
一適當的感測器組合700是展示於第22圖。該感測器組合700包含:第一石英晶體振盪器702及第二石英晶體振盪器704。該第一石英晶體振盪器702是一種參考晶體,其位於在真空下的密封容器706內。該第一石英晶體振盪器702是藉由驅動電路708加以驅動。
第二石英晶體振盪器704是一種類似於在前述具體實例中所揭述的晶體202的晶體。該第二石英晶體振盪器704是暴露於儲存槽100的內部容積內的氣體環境中。該第二石英晶體振盪器704是藉由驅動電路710加以驅動。
此比較可藉由使用電子混頻電路(electronic mixer circuit)712來實施,其組合雙頻訊號,且在等於兩個晶體間的差異的頻率產生一輸出。此配置可使其忽視由於例如溫度的小變化。
此外,由於僅差異頻率是需要加以測量,在儲存槽100中所使用的電路可加以簡化。此外,此手段是特別適合使用於其可能不易直接測量晶體頻率的高頻率(MHz)晶體振盪器。
除此以外,用於測量及顯示密度、質量或質量
流量所需要的全部電子設備,並不需要安裝在儲存槽上或其中。例如,電子功能(electronic functions)可分成:永久安裝在儲存槽上的單元;及安裝在客戶的使用工作站、或暫時安裝在儲存槽的出口(outlet),例如一般傳統的流量計所使用的位置上兩者之一皆可的單元。
此配置的一實例是可參照如第23圖所展示者。該配置包含:低溫流體系統10,具有儲存槽100及感測器組合200,300,400,如先前在參照先前具體實例已實質地揭述者。
除此以外,天線804是配備用於經由任何適當的遠端通訊協定的通訊,例如藍牙、紅外線(IR:Infrared)或RFID(無線射頻識別技術:Radio-frequency identification)。另一可行的是可利用一線式通訊。
關於又一可行的是可使用聲波通訊方法(acoustic communication method)。此等方法的優點是遠端通訊並不需要外部天線而可有效地達成。
顯示器單元850是配備數據單元852。該數據單元852包含:顯示器854及天線856,用於與低溫流體系統10通訊。該顯示器854可包含例如電子印墨顯示器(E-ink display),以將電力消耗最小化、及將顯示器的視認性最大化。該數據單元852可登錄藉由感測器組合200,300,400所測得的各種參數。
雖然上述具體實例已參照石英晶體振盪器的用途而加以說明,但是熟習此技藝者將可容易地瞭解可使用另一可行的壓電材料。例如,非限制性列舉可包括晶體振盪
器:包含鉭酸鋰、鈮酸鋰、硼酸鋰、塊磷鋁石、砷化鎵、四硼酸鋰、磷酸鋁、氧化鍺鉍、多晶形鈦酸鋯陶瓷、高氧化鋁陶瓷、氧化鋅矽複合物、或酒石酸二鉀。
此外,雖然關於低溫流體的兩相流體已經加以圖解說明如上所述,其他兩相流體也適合使用於本發明。例如,也可使用從短鏈段烴至最高為十二烷(C12
H26
)。
本發明的具體實例已特別參照圖解說明的實例加以敘述。雖然特定的實例是展示於圖式且在本文中加以詳細說明,然而應瞭解該等圖式並不意圖限制本發明為如同所揭示的特定形態。應瞭解的是可在本發明的範圍內對所揭述的實施例作各種變異及改良。
10‧‧‧低溫流體系統
100‧‧‧儲存槽
102‧‧‧槽體;儲存槽體
102a‧‧‧底座
104‧‧‧進料管
106‧‧‧閥
108‧‧‧進料管
110‧‧‧閥
112‧‧‧進料管
114‧‧‧閥
200‧‧‧第一感測器組合
300‧‧‧感測器組合
350‧‧‧流量計
400‧‧‧感測器組合
450‧‧‧流量計
L‧‧‧液體液位
V‧‧‧內部容積
Claims (14)
- 一種用於測量兩相流體流的物理性質的方法,該方法是使用浸沒於兩相流體中的複數個壓電振盪器,該兩相流體具有分散於一特定體積之流體中之氣體成份及液體成份,且該方法包括下列步驟:a)在一預定測量期間中進行測量各壓電振盪器的共振頻率作為時間的函數;及b)從各壓電振盪器之共振頻率,決定各別之壓電振盪器是浸沒於氣體成份或液體成份中,並對各壓電振盪器決定各別之壓電振盪器在該預定測量期間中浸沒於氣體成份中之總時間,以及各別之壓電振盪器在該預定測量期間中浸沒於液體成份中之總時間,以各壓電振盪器測得之氣體成分對液體成分的比例作為時間的函數,以作為兩相流體的特徵。
- 如請求項1所述的方法,其中,進一步包含:對各壓電振盪器進行比較各別之共振頻率與預定的臨限頻率,以決定各別之該壓電振盪器是否為浸沒於氣體成份或液體成份中。
- 如前述請求項1所述的方法,其中,至少一物理性質包含:兩相流體中的至少液體成份的密度。
- 如請求項3所述的方法,其中,進一步包括下列步驟: c)進行測量流體的體積流率;及d)從氣體成份對於液體成份的比例、及從液體成份的密度,進行決定兩相流體的質量流率。
- 如請求項1至4中任一項所述的方法,其中更進一步包括對每一個壓電振盪器測量氣體成份的出現頻率及/或氣體成份的大小。
- 如請求項5所述的方法,其中,該氣體成份的出現頻率及/或氣體成份的大小是用於決定該兩相流體的流動形態。
- 如請求項5所述的方法,其中,該氣體成份的出現頻率及/或氣體成份的大小是用於決定該兩相流體是否為沸騰。
- 如請求項1所述的方法,其中,該兩相流體是低溫流體。
- 一種用於測量兩相流體流的物理性質的感測器組合,其中,該兩相流體具有位於一特定體積之流體中之氣體成份及液體成份,該感測器組合包含一處理器及複數個壓電振盪器用於浸沒於兩相流體中,且該處理器配置成:在一預定測量期間中可測量各壓電振盪器的共振頻率 作為時間的函數,及可從各壓電振盪器的共振頻率決定各別之壓電振盪器是浸沒於氣體成份或液體成份中,並對各壓電振盪器決定各別之壓電振盪器在該預定測量期間中浸沒於氣體成份中之總時間,以及各別之壓電振盪器在該預定測量期間中浸沒於液體成份中之總時間,以各壓電振盪器測得之氣體成分對液體成分的比例作為時間的函數,以作為兩相流體的特徵。
- 如請求項9所述的感測器組合,其中,該複數個壓電振盪器是配置在導管的內部的周圍,使其可在該兩相流體流動通過下操作。
- 如請求項9或10所述的感測器組合,其中,該處理器進一步可操作而藉由比較共振頻率與預定的臨限頻率,以決定壓電振盪器是否為浸沒於氣體成份或液體成份中。
- 如請求項11所述的感測器組合,其中,該處理器進一步配置成可決定該兩相流體中的至少液體成份的密度。
- 一種質量流量計,其包含如請求項12所述的感測器組合及一流量計,其可操作以決定兩相流體的體積流率,該質量流量計是可操作而從氣體成份對於液體成份的比例及從液體成份的密度,以決定兩相流體的質量流率。
- 如請求項9所述的感測器組合,其中,該兩相流體是低溫流體。
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
EP12169392.3A EP2667162B1 (en) | 2012-05-24 | 2012-05-24 | Method of, and apparatus for, measuring the physical properties of two-phase fluids |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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WO (1) | WO2013174959A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI706124B (zh) * | 2019-09-04 | 2020-10-01 | 國立中央大學 | 物性測量裝置及測量物性的方法 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
PL2458344T3 (pl) * | 2010-11-29 | 2018-08-31 | Air Products And Chemicals, Inc. | Sposób oraz urządzenie dla mierzenia rzeczywistej zawartości butli gazu pod ciśnieniem |
SG11201600404XA (en) * | 2013-07-19 | 2016-02-26 | Micro Motion Inc | Auto switching referral matrices in determining process material concentration |
GB2550785B (en) * | 2015-03-25 | 2021-03-31 | Landmark Graphics Corp | Fuzzy logic flow regime identification and control |
HUE055077T2 (hu) | 2015-04-07 | 2021-10-28 | Grieshaber Vega Kg | Mérõkészülék és eljárás egy közeg töltési szintjének meghatározására |
US10830627B2 (en) | 2015-04-15 | 2020-11-10 | Schlumberger Norge As | Method and system for fluid level determination from pressure measurement |
CN107849916B (zh) * | 2015-08-07 | 2021-07-06 | 沙特阿拉伯石油公司 | 用于使用机电谐振器测量流体性质的方法和设备 |
TWI583951B (zh) * | 2015-10-02 | 2017-05-21 | 大同股份有限公司 | 超音波流體量測裝置及其校正方法 |
DE102015122124A1 (de) * | 2015-12-17 | 2017-06-22 | Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg | Vibronischer Sensor und Messanordnung zum Überwachen eines fließfähigen Mediums |
US11333015B2 (en) | 2016-08-04 | 2022-05-17 | Saudi Arabian Oil Company | Method for capacitive cancellation of tuning fork for fluid property measurements |
DE102016118897B4 (de) * | 2016-10-05 | 2022-12-22 | Arianegroup Gmbh | Kryotauglicher Resonator-Sensor |
US10544674B2 (en) | 2017-08-23 | 2020-01-28 | Saudi Arabian Oil Company | Multiphase flow meter with tuning fork |
SG11202001588XA (en) * | 2017-08-25 | 2020-03-30 | Inficon Inc | Quartz crystal microbalance sensor for fabrication process monitoring and related method |
CN109959429B (zh) * | 2017-12-26 | 2024-07-09 | 广东正扬传感科技股份有限公司 | 一种超声波探测器及探测设备 |
JP6919581B2 (ja) * | 2018-01-19 | 2021-08-18 | トヨタ自動車株式会社 | 張力付加装置 |
HRP20220820T1 (hr) * | 2018-07-20 | 2022-10-14 | Vega Grieshaber Kg | Terenski uređaj s regulacijom potrošnje energije napajan baterijom |
EP3598078B1 (de) | 2018-07-20 | 2021-05-12 | VEGA Grieshaber KG | Batteriebetriebenes feldgerät mit zeitinformationsübermittlung |
CA3053995A1 (en) | 2019-01-08 | 2020-07-08 | Interface Fluidics Ltd. | Microfluidic devices and systems, and methods for operating microfluidic devices and systems |
CN110274931B (zh) * | 2019-07-03 | 2024-02-27 | 河北科技大学 | 一种两相流振荡实验装置及实验方法 |
CN110514400B (zh) * | 2019-08-15 | 2021-01-26 | 北京理工大学 | 一种阵列式可控两相流流场发生装置 |
US11346177B2 (en) | 2019-12-04 | 2022-05-31 | Saudi Arabian Oil Company | Repairable seal assemblies for oil and gas applications |
US11187044B2 (en) | 2019-12-10 | 2021-11-30 | Saudi Arabian Oil Company | Production cavern |
US11633224B2 (en) | 2020-02-10 | 2023-04-25 | Icecure Medical Ltd. | Cryogen pump |
US11460330B2 (en) | 2020-07-06 | 2022-10-04 | Saudi Arabian Oil Company | Reducing noise in a vortex flow meter |
EP4196755A1 (de) * | 2020-08-13 | 2023-06-21 | VEGA Grieshaber KG | Messgerät mit einstellbarer aktivierung |
DE102021114846A1 (de) | 2021-06-09 | 2022-12-15 | Vega Grieshaber Kg | Vibronischer Grenzstandsensor mit optimierter Ausrichtung eines mechanischen Schwingers, Anordnung eines Grenzstandsensors in einem Rohr und Verfahren zur Ausrichtung eines mechanischen Schwingers |
DE102021132835A1 (de) * | 2021-12-13 | 2023-06-15 | Truedyne Sensors AG | Messvorrichtung |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006084263A2 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Visyx Technologies, Inc. | Multi-position fluid resonator sensors and methods |
WO2006107900A2 (en) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Visyx Technologies, Inc. | Monitoring by means of an on-line sensor and fluidic operations involving unit separation and reaction operations |
TW201118290A (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-01 | Horiba Stec Co | Fluid device |
TW201207339A (en) * | 2010-04-07 | 2012-02-16 | Xyratex Tech Ltd | System and method for alternating fluid flow |
Family Cites Families (98)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3635084A (en) | 1969-08-28 | 1972-01-18 | Simmonds Precision Products | Mass fuel flow measurement system |
US3612966A (en) | 1969-11-03 | 1971-10-12 | Dybel Frank Richard | Piezoelectric transducer with improved sensing circuit |
US3561832A (en) | 1969-12-05 | 1971-02-09 | Hewlett Packard Co | Quartz resonator pressure transducer |
GB1349257A (en) | 1970-04-24 | 1974-04-03 | Rotron Inc | Mass flow and mass flow rate indication |
US3902355A (en) | 1972-07-31 | 1975-09-02 | Gauting Gmbh Apparatebau | Apparatus for the electronic-digital measurement of gas pressure |
US4126049A (en) | 1977-02-14 | 1978-11-21 | Cotter Mitchell A | System and method of measuring fluid pressure force |
FR2386021A1 (fr) | 1977-03-31 | 1978-10-27 | Flopetrol Ste Auxil Product Pe | Procede et dispositif de determination du debit volumetrique de chaque phase d'un melange diphasique |
GB2027886B (en) | 1978-08-14 | 1983-02-02 | Solartron Electronic Group | Transducer for sensing a parameter of a fluid |
US4275393A (en) | 1979-07-03 | 1981-06-23 | Polyvend Inc. | Method and apparatus for sensing pressure |
US4272982A (en) | 1979-10-17 | 1981-06-16 | Texaco Inc. | Fluid flow meter for mixed liquid and gas |
JPS58151517A (ja) | 1982-03-05 | 1983-09-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 粉粒体の流量測定方法及び装置 |
FR2530338A1 (fr) | 1982-07-13 | 1984-01-20 | Asulab Sa | Element sensible a la pression et capteur de pression en faisant application |
FR2532047A1 (fr) | 1982-08-19 | 1984-02-24 | Asulab Sa | Capteur de mesure muni d'un resonateur piezo-electrique compense en temperature |
US4574639A (en) | 1983-06-21 | 1986-03-11 | Quartztronics, Inc. | Pressure force measurement apparatus and method |
US4644796A (en) | 1983-06-21 | 1987-02-24 | Quartztronics, Inc. | Pressure measurement apparatus and method |
US4526480A (en) | 1983-06-21 | 1985-07-02 | Quartztronics, Inc. | Fluid density temperature measurement apparatus and method |
DE3345750A1 (de) | 1983-12-17 | 1985-06-27 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Druckaufnehmer mit sensorquarz |
US4644804A (en) | 1984-07-17 | 1987-02-24 | Franz Rittmeyer Ag | Quartz resonating force and pressure transducer |
GB2179156B (en) | 1985-08-14 | 1990-08-22 | Ronald Northedge | Flow meters |
DE3529948A1 (de) | 1985-08-22 | 1987-03-05 | Nord Micro Elektronik Feinmech | Messanordnung zum messen des luftdrucks, insbesondere zur luftdatenerfassung im flugzeug |
US4680970A (en) | 1986-01-31 | 1987-07-21 | Yokogawa Hokushin Electric Corporation | Apparatus for measuring pressure |
JPS62184325A (ja) | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 水晶式気体圧力計 |
US4713774A (en) | 1986-03-13 | 1987-12-15 | Phillips Petroleum Company | Alkylation reactor quality control |
JPS62218834A (ja) | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 気体圧力計 |
US4734609A (en) | 1986-07-25 | 1988-03-29 | Calogic Corporation | Gas density transducer |
DE3641842A1 (de) | 1986-12-08 | 1988-06-16 | Paul Prof Dr Leiderer | Verfahren und vorrichtung zur druckmessung in einem gasfoermigen medium |
US4802370A (en) | 1986-12-29 | 1989-02-07 | Halliburton Company | Transducer and sensor apparatus and method |
US4835456A (en) | 1988-02-01 | 1989-05-30 | Quantum Dynamics Company, Inc. | Cryogenic density and mass-flow measurement system |
US4938068A (en) | 1988-09-28 | 1990-07-03 | The Slope Indicator Co. | Pressure transducer |
CH687276A5 (de) | 1989-01-23 | 1996-10-31 | Balzers Hochvakuum | Stimmgabelquarz-Manometer. |
AT393416B (de) | 1989-04-27 | 1991-10-25 | Avl Verbrennungskraft Messtech | Messverfahren zur bestimmung bzw. ueberwachung von mechanischen und/oder physikalischen groessen |
JPH0368828A (ja) | 1989-08-07 | 1991-03-25 | Daishinku Co | 圧力測定装置 |
EP0484569A1 (de) | 1990-11-06 | 1992-05-13 | Asea Brown Boveri Ag | Vorrichtung zur Messung von Schwefelhexafluorid-Zersetzungsprodukten |
US5136885A (en) | 1991-04-05 | 1992-08-11 | Tif Instruments, Inc. | Quartz crystal pressure sensor |
JPH0543044A (ja) | 1991-08-07 | 1993-02-23 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車の物品ガイド装置 |
US5235844A (en) | 1991-10-23 | 1993-08-17 | Niagara Mohawk Power Corporation | Multiple gas property sensor |
DE4218926A1 (de) | 1992-06-10 | 1993-12-16 | Asea Brown Boveri | Vorrichtung zur Messung einer Gasdichte |
JPH0610148A (ja) | 1992-06-25 | 1994-01-18 | Canon Inc | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
RU2061218C1 (ru) | 1992-07-22 | 1996-05-27 | Всероссийский научно-исследовательский институт природных газов и газовых технологий | Устройство для определения свойств текучих сред |
US5307683A (en) | 1992-08-05 | 1994-05-03 | Marathon Oil Company | Transient temperature compensation for pressure gauges |
US5307668A (en) | 1992-10-05 | 1994-05-03 | Badger Meter, Inc. | Gas density meter and method |
US5471882A (en) | 1993-08-31 | 1995-12-05 | Quartzdyne, Inc. | Quartz thickness-shear mode resonator temperature-compensated pressure transducer with matching thermal time constants of pressure and temperature sensors |
GB2286463A (en) | 1994-02-14 | 1995-08-16 | Boc Group Plc | Fluid flow measurement |
US5476115A (en) | 1994-03-10 | 1995-12-19 | Praxair Technology, Inc. | Automatic gas blending system |
DE4416367C1 (de) * | 1994-05-04 | 1995-12-21 | Gerd Prof Dr Stange | Ultraschall-Durchfluß-Meßgerät |
JP3865813B2 (ja) | 1995-12-01 | 2007-01-10 | 有限会社エーディ | 流体混合装置 |
GB2316773B (en) | 1996-06-12 | 1999-09-29 | Gas Technology Canada | Electronic gas regulator |
JPH1010031A (ja) | 1996-06-20 | 1998-01-16 | Tokico Ltd | 密度計 |
US5868159A (en) | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
US5900534A (en) | 1996-10-07 | 1999-05-04 | Natural Fuels Corporation | Densitometer |
US6062256A (en) | 1997-02-11 | 2000-05-16 | Engineering Measurements Company | Micro mass flow control apparatus and method |
DE19718520C1 (de) | 1997-05-02 | 1998-10-01 | Daimler Benz Ag | Jalousierahmenanordnung |
US6286361B1 (en) | 1998-01-05 | 2001-09-11 | Rolls-Royce Plc | Method and apparatus for remotely detecting pressure, force, temperature, density, vibration, viscosity and speed of sound in a fluid |
US6058761A (en) | 1998-01-30 | 2000-05-09 | Badger Meter, Inc. | Measurement of relative density of combustible gases |
WO1999040553A1 (en) | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Wan Tae Kim | Alarm device for sensing gas quantity within pressure vessel |
US5954089A (en) | 1998-04-17 | 1999-09-21 | Trw Inc. | Electromagnetic regulator utilizing alternate valve operating modes for gas pressure regulation |
US6266996B1 (en) | 1998-10-06 | 2001-07-31 | Trw Inc. | Simple and inexpensive method and device for measuring concentration and rate of change of a crystal etchant gas, such as HF or DF gas |
DE19901119B4 (de) | 1999-01-14 | 2006-02-23 | Abb Patent Gmbh | Überwachungssystem für eine gasisolierte Hochspannungsschaltanlage |
US6532822B1 (en) | 2000-09-26 | 2003-03-18 | Clark Davis Boyd | Resonant torsion pendulum pressure sensor |
JP2002122498A (ja) | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Anelva Corp | 含有ガスの圧力測定方法及び測定装置 |
GB2379983B (en) | 2001-09-19 | 2004-11-17 | Eric Atherton | Transducer assembly |
US7254983B2 (en) | 2001-10-16 | 2007-08-14 | Hera Usa Inc. | Fuel gauge for hydrogen storage media |
DE10232823B4 (de) | 2002-04-29 | 2004-08-12 | Hydrotechnik Gmbh | Dichtewächter für SF6-isolierte Hoch- oder Mittelspannungsanlagen |
JP2004219386A (ja) | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Vacuum Products Kk | 2種混合気体の濃度測定装置 |
JP3744913B2 (ja) | 2003-03-20 | 2006-02-15 | 株式会社オーバル | 渦流量計センサ及び渦流量計 |
US7063097B2 (en) | 2003-03-28 | 2006-06-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | In-situ gas blending and dilution system for delivery of dilute gas at a predetermined concentration |
US7054764B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-05-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Flow monitoring using flow control device |
JP4266850B2 (ja) | 2004-02-25 | 2009-05-20 | バキュームプロダクツ株式会社 | 2成分混合気体の濃度測定装置 |
FR2888930B1 (fr) | 2004-12-27 | 2007-08-31 | Thales Sa | Dispositfi de mesure a resonateur et procede mettant en oeuvre le dispositif |
JP2006241516A (ja) | 2005-03-03 | 2006-09-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 混合ガスによる薄膜作製方法とその装置 |
US7454952B2 (en) | 2005-05-02 | 2008-11-25 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Method and apparatus for monitoring mercury in a gas sample |
US20100224264A1 (en) | 2005-06-22 | 2010-09-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for integrated gas blending |
CN101273259B (zh) | 2005-09-22 | 2011-12-14 | 毫微-专卖股份有限公司 | 氢气传感器 |
US20100107735A1 (en) | 2005-09-22 | 2010-05-06 | Igor Pavlovsky | Gas Sensor |
JP3969442B2 (ja) | 2005-09-26 | 2007-09-05 | エプソントヨコム株式会社 | 圧力センサ |
US20070089796A1 (en) | 2005-10-26 | 2007-04-26 | Tamara Electra Brown | Medical air production systems |
US20070186982A1 (en) | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Cohen Joseph P | Method for dispensing compressed gas |
JP4798774B2 (ja) | 2006-03-14 | 2011-10-19 | 株式会社山武 | 混合ガス供給システム |
US7444878B1 (en) | 2006-10-30 | 2008-11-04 | Northrop Grumman Systems Corporation | Resonant frequency pressure sensor |
TWM334632U (en) | 2007-11-02 | 2008-06-21 | su-hua Dai | Unitary gas pressure adjusting device |
JP2009198472A (ja) | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高圧ガス流量計測装置及び流量計測方法 |
JP5093685B2 (ja) | 2008-08-08 | 2012-12-12 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置 |
US7870791B2 (en) | 2008-12-03 | 2011-01-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal |
JP5457021B2 (ja) | 2008-12-22 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 混合ガスの供給方法及び混合ガスの供給装置 |
FR2940624A1 (fr) | 2008-12-30 | 2010-07-02 | Akhea | Dispositif melangeur d'au moins deux constituants gazeux |
DE102009028006A1 (de) | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßwandler vom Vibrationstyp sowie Meßgerät mit einem solchen Meßwandler |
GB0917216D0 (en) | 2009-10-01 | 2009-11-18 | Johnson Matthey Plc | Method and apparatus for determining a fluid density |
CN101708437B (zh) | 2009-12-31 | 2012-07-25 | 中煤科工集团重庆研究院 | 煤矿用复合混气装置 |
DE102010028475A1 (de) | 2010-05-03 | 2011-11-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Strömungseigenschaften eines Mediums in einer Rohrleitung |
CN101881640A (zh) | 2010-06-30 | 2010-11-10 | 重庆耐德正奇流量仪表有限公司 | 涡街质量流量计 |
CN202061563U (zh) | 2011-03-15 | 2011-12-07 | 天津力冠能源科技有限公司 | 多气掺混混气机 |
CN202212112U (zh) | 2011-08-12 | 2012-05-09 | 苏州苏净保护气氛有限公司 | 氮氢自动配比混合装置 |
EP2667160B1 (en) | 2012-05-24 | 2020-11-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and Apparatus for, Regulating the Mass Flow Rate of a Gas |
PL2667276T3 (pl) | 2012-05-24 | 2018-04-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Sposób i urządzenie do dostarczania mieszaniny gazu |
PL2667176T3 (pl) | 2012-05-24 | 2015-07-31 | Air Prod & Chem | Urządzenie do mierzenia rzeczywistej zawartości butli z gazem pod ciśnieniem |
EP2667161A1 (en) * | 2012-05-24 | 2013-11-27 | Air Products and Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the flow rate of a gas |
ES2905838T3 (es) | 2012-05-24 | 2022-04-12 | Air Prod & Chem | Método y aparato para medir el caudal másico de un gas |
DE102012105719A1 (de) * | 2012-06-28 | 2014-01-02 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Ultraschall-Durchflussmessgerät |
-
2012
- 2012-05-24 PL PL12169392T patent/PL2667162T3/pl unknown
- 2012-05-24 ES ES12169392.3T patent/ES2556783T3/es active Active
- 2012-05-24 EP EP12169392.3A patent/EP2667162B1/en active Active
-
2013
- 2013-05-22 TW TW102118114A patent/TWI482965B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-05-23 WO PCT/EP2013/060691 patent/WO2013174959A1/en active Application Filing
- 2013-05-23 US US14/402,452 patent/US9441997B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006084263A2 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Visyx Technologies, Inc. | Multi-position fluid resonator sensors and methods |
WO2006107900A2 (en) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Visyx Technologies, Inc. | Monitoring by means of an on-line sensor and fluidic operations involving unit separation and reaction operations |
TW201118290A (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-01 | Horiba Stec Co | Fluid device |
TW201207339A (en) * | 2010-04-07 | 2012-02-16 | Xyratex Tech Ltd | System and method for alternating fluid flow |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI706124B (zh) * | 2019-09-04 | 2020-10-01 | 國立中央大學 | 物性測量裝置及測量物性的方法 |
US11458533B2 (en) | 2019-09-04 | 2022-10-04 | National Central University | Measuring device and method of physical property measuring |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2556783T3 (es) | 2016-01-20 |
US20150096385A1 (en) | 2015-04-09 |
US9441997B2 (en) | 2016-09-13 |
EP2667162A1 (en) | 2013-11-27 |
EP2667162B1 (en) | 2015-09-30 |
WO2013174959A1 (en) | 2013-11-28 |
TW201350845A (zh) | 2013-12-16 |
PL2667162T3 (pl) | 2016-03-31 |
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