JPH0610148A - 動圧流体軸受の溝加工方法 - Google Patents
動圧流体軸受の溝加工方法Info
- Publication number
- JPH0610148A JPH0610148A JP19165392A JP19165392A JPH0610148A JP H0610148 A JPH0610148 A JP H0610148A JP 19165392 A JP19165392 A JP 19165392A JP 19165392 A JP19165392 A JP 19165392A JP H0610148 A JPH0610148 A JP H0610148A
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- Japan
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- groove
- dynamic pressure
- plating
- grooves
- generating
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- Pending
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 動圧発生用の溝の溝深さ、溝の形状および面
積が溝の長手方向の如何なる部位においても、一定した
高精度なものとする。 【構成】 完成されたスラスト軸受の厚みより動圧発生
用の溝の溝深さを差し引いた厚みのスラスト板を予め製
造しておき、前記スラスト板の動圧発生用の溝を形成す
べき部位に、該溝の溝深さに相当する膜厚のメッキ付着
防止用の被覆としてのレジスト４を印刷する。ついで、
印刷されたレジスト４をベーキングして固化し、通常の
洗浄および表面活性化処理、ニッケルストライクを順次
行ったのち、耐摩耗性硬質無電解メッキを行って、所定
の厚さのメッキ層３を形成する。そののち、水洗、乾燥
を順次行ったのち、前記レジスト４を除去することによ
り前記溝を形成する。
積が溝の長手方向の如何なる部位においても、一定した
高精度なものとする。 【構成】 完成されたスラスト軸受の厚みより動圧発生
用の溝の溝深さを差し引いた厚みのスラスト板を予め製
造しておき、前記スラスト板の動圧発生用の溝を形成す
べき部位に、該溝の溝深さに相当する膜厚のメッキ付着
防止用の被覆としてのレジスト４を印刷する。ついで、
印刷されたレジスト４をベーキングして固化し、通常の
洗浄および表面活性化処理、ニッケルストライクを順次
行ったのち、耐摩耗性硬質無電解メッキを行って、所定
の厚さのメッキ層３を形成する。そののち、水洗、乾燥
を順次行ったのち、前記レジスト４を除去することによ
り前記溝を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザービームプリン
タ等の偏光走査装置等に使用される動圧流体軸受の溝加
工方法に関するものである。
タ等の偏光走査装置等に使用される動圧流体軸受の溝加
工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の偏光走査装置は、高精度
な偏光走査装置を得るために、非接触で回転する動圧流
体軸受が使用されている。
な偏光走査装置を得るために、非接触で回転する動圧流
体軸受が使用されている。
【０００３】前記動圧流体軸受のスラスト軸受には、微
細な動圧発生用の溝が設けられているが、この動圧発生
用の溝の加工精度が動圧流体軸受けの回転信頼性を左右
する重要な要素である。そこで、従来から、前記動圧発
生用の溝の形成方法として以下に説明するものが提案さ
れている。
細な動圧発生用の溝が設けられているが、この動圧発生
用の溝の加工精度が動圧流体軸受けの回転信頼性を左右
する重要な要素である。そこで、従来から、前記動圧発
生用の溝の形成方法として以下に説明するものが提案さ
れている。
【０００４】その一は、スラスト軸受の溝となる部位以
外の部分にレジストを塗布し、レジストを塗布していな
い部位をエッチングして、動圧発生用の溝を形成するも
のがある。図６はエッチングによって形成された動圧発
生用の溝の模式縦断面図であって、軸３１の周面に形成
された動圧発生用の溝３２の開口部近傍の内壁には、ア
ンダーカット３２ａが発生している。
外の部分にレジストを塗布し、レジストを塗布していな
い部位をエッチングして、動圧発生用の溝を形成するも
のがある。図６はエッチングによって形成された動圧発
生用の溝の模式縦断面図であって、軸３１の周面に形成
された動圧発生用の溝３２の開口部近傍の内壁には、ア
ンダーカット３２ａが発生している。
【０００５】その二は、転造によるものであるが、この
転造によるものは図７に示すように、軸４１の動圧発生
用の溝４２の開口部にだれと呼ばれる段差４２ａが発生
している。
転造によるものは図７に示すように、軸４１の動圧発生
用の溝４２の開口部にだれと呼ばれる段差４２ａが発生
している。
【０００６】その三は、軸心材周面にレーザー光線を吸
収し易い材料からなる膜を形成しておき、この膜をレー
ザー光線により除去して動圧発生用の溝を形成するもの
（特開昭６２−１８８６号公報参照）がある。
収し易い材料からなる膜を形成しておき、この膜をレー
ザー光線により除去して動圧発生用の溝を形成するもの
（特開昭６２−１８８６号公報参照）がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術には次
のような問題点があった。
のような問題点があった。
【０００８】エッチングによるものではアンダーカット
が発生しているため、また、転造によるものでは段差部
が発生しているため、動圧発生用の溝の縦断面形状が複
雑な形状となるとともに、その面積も前記溝の長さ方向
において一定していない。このため、回転時における動
圧にむらが発生して、浮上量のふらつき、軸の傾き、軸
振れ、回転むら等の不具合が生じる。またレーザー光線
によるものは、装置が複雑でコスト高となる。
が発生しているため、また、転造によるものでは段差部
が発生しているため、動圧発生用の溝の縦断面形状が複
雑な形状となるとともに、その面積も前記溝の長さ方向
において一定していない。このため、回転時における動
圧にむらが発生して、浮上量のふらつき、軸の傾き、軸
振れ、回転むら等の不具合が生じる。またレーザー光線
によるものは、装置が複雑でコスト高となる。
【０００９】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであって、動圧発生用の溝の溝深
さ、溝の縦断面の形状および面積が溝の長手方向の如何
なる部位においても、一定した高精度なものであって、
回転時における動圧にむらが発生しない動圧発生用の溝
を形成することができる動圧流体軸受の溝加工方法を実
現することを目的とするものである。
に鑑みてなされたものであって、動圧発生用の溝の溝深
さ、溝の縦断面の形状および面積が溝の長手方向の如何
なる部位においても、一定した高精度なものであって、
回転時における動圧にむらが発生しない動圧発生用の溝
を形成することができる動圧流体軸受の溝加工方法を実
現することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の動圧流体軸受の溝加工方法は、動圧流体軸
受におけるスラスト方向に支持するためスラスト軸受の
スラスト板の動圧発生用の溝となる部位にメッキ付着防
止用の被覆を施したのち、メッキしてメッキ層を形成
し、ついで前記被覆を除去することにより前記溝を形成
することを特徴とするものである。
め、本発明の動圧流体軸受の溝加工方法は、動圧流体軸
受におけるスラスト方向に支持するためスラスト軸受の
スラスト板の動圧発生用の溝となる部位にメッキ付着防
止用の被覆を施したのち、メッキしてメッキ層を形成
し、ついで前記被覆を除去することにより前記溝を形成
することを特徴とするものである。
【００１１】また、前記メッキ層は無電解メッキとし、
とりわけ、耐摩耗性硬質無電解メッキとすると効果的で
ある。
とりわけ、耐摩耗性硬質無電解メッキとすると効果的で
ある。
【００１２】
【作用】メッキしたメッキ層の厚さをメッキ工程時に調
節することで、動圧発生用の溝の溝深さを設定すること
ができるとともに、メッキ付着防止用の被覆の形状を変
更することで、前記溝の形状を任意の溝形状とすること
ができる。
節することで、動圧発生用の溝の溝深さを設定すること
ができるとともに、メッキ付着防止用の被覆の形状を変
更することで、前記溝の形状を任意の溝形状とすること
ができる。
【００１３】また、メッキは、無電解メッキとし、とり
わけ耐摩耗性硬質無電解メッキとすると、スラスト軸受
の耐久性が向上する。
わけ耐摩耗性硬質無電解メッキとすると、スラスト軸受
の耐久性が向上する。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を図面に基いて説明する。
【００１５】図１乃至図４は、それぞれ本発明の第１実
施例の各工程を示す説明図である。
施例の各工程を示す説明図である。
【００１６】図１、図２および図４に示すように、完成
されたスラスト軸受１の厚みより動圧発生用の溝２の溝
深さを差し引いた厚みのスラスト板１ａを予め製造して
おき、これを脱脂処理したのち、スラスト板１ａの動圧
発生用の溝２を形成すべき部位に、該溝２の溝深さに相
当する膜厚のメッキ付着防止用の被覆としてのレジスト
４を印刷する。
されたスラスト軸受１の厚みより動圧発生用の溝２の溝
深さを差し引いた厚みのスラスト板１ａを予め製造して
おき、これを脱脂処理したのち、スラスト板１ａの動圧
発生用の溝２を形成すべき部位に、該溝２の溝深さに相
当する膜厚のメッキ付着防止用の被覆としてのレジスト
４を印刷する。
【００１７】ついで、印刷されたレジスト４をベーキン
グして固化し、通常の洗浄および表面活性化処理、ニッ
ケルストライクを順次行ったのち、耐摩耗性硬質無電解
メッキを行って、所定の厚さのメッキ層３を形成する。
そののち、水洗、乾燥を順次行ったのち、前記レジスト
４を除去することにより前記溝２を形成する。
グして固化し、通常の洗浄および表面活性化処理、ニッ
ケルストライクを順次行ったのち、耐摩耗性硬質無電解
メッキを行って、所定の厚さのメッキ層３を形成する。
そののち、水洗、乾燥を順次行ったのち、前記レジスト
４を除去することにより前記溝２を形成する。
【００１８】具体例 厚さ２．９５ｍｍのステンレス製のスラスト板を製造
し、該スラスト板をアルカリ溶液により脱脂したのち、
スラスト板の各溝となる部位にレジストを５μｍ以上の
膜厚で印刷した。
し、該スラスト板をアルカリ溶液により脱脂したのち、
スラスト板の各溝となる部位にレジストを５μｍ以上の
膜厚で印刷した。
【００１９】前記レジストとしては、印刷性、耐酸性、
耐アルカリ性、スラストに対する密着性およびメッキ後
の除去の容易性を考慮した結果、エポキシ系インキ、ま
たは、セラミックインキ（株式会社日板研究所製商品名
プリントンＰＩシリーズ）が好適である。
耐アルカリ性、スラストに対する密着性およびメッキ後
の除去の容易性を考慮した結果、エポキシ系インキ、ま
たは、セラミックインキ（株式会社日板研究所製商品名
プリントンＰＩシリーズ）が好適である。
【００２０】ついで、印刷されたレジストをベーキング
（１５０℃で２０分間）固化し、これを順次アルカリで
洗浄、塩酸で表面活性化処理し、ニッケルストライクを
行ったのち、ニッケル−リン合金（ｐＨ４．５、９０
℃）の耐摩耗性硬質無電解メッキを２０分間行って厚さ
５μｍ（±０．５μｍ）のメッキ層を形成した。
（１５０℃で２０分間）固化し、これを順次アルカリで
洗浄、塩酸で表面活性化処理し、ニッケルストライクを
行ったのち、ニッケル−リン合金（ｐＨ４．５、９０
℃）の耐摩耗性硬質無電解メッキを２０分間行って厚さ
５μｍ（±０．５μｍ）のメッキ層を形成した。
【００２１】上記具体例では、スラスト板をステンレス
製としたためニッケルストライクを行ったが、炭素鋼等
の他の素材を用いた場合は、その必要はない。
製としたためニッケルストライクを行ったが、炭素鋼等
の他の素材を用いた場合は、その必要はない。
【００２２】また、耐摩耗性硬質無電解メッキとして
は、上記具体例のほか、ニッケル−リン−４フッ化エチ
レン含有合金（ｐＨ５．１、９４℃、４０分）、コバル
ト−リン合金（ｐＨ９．２、９０℃、５０分）またはニ
ッケル−ボロン（ｐＨ６．５、６５℃、４５分）等がよ
い。
は、上記具体例のほか、ニッケル−リン−４フッ化エチ
レン含有合金（ｐＨ５．１、９４℃、４０分）、コバル
ト−リン合金（ｐＨ９．２、９０℃、５０分）またはニ
ッケル−ボロン（ｐＨ６．５、６５℃、４５分）等がよ
い。
【００２３】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。
る。
【００２４】図５は、上記第１実施例の耐摩耗性硬質無
電解メッキのかわりに、電解メッキを施した動圧発生用
の溝の縦断面の形状を示す模式断面図である。本実施例
の場合、動圧発生用の溝１２の開口部内周縁部に突起１
３ａが形成される。この突起１３ａは後加工により除去
する必要がある。なお、これ以外の各工程は第１実施例
と同様でよい。
電解メッキのかわりに、電解メッキを施した動圧発生用
の溝の縦断面の形状を示す模式断面図である。本実施例
の場合、動圧発生用の溝１２の開口部内周縁部に突起１
３ａが形成される。この突起１３ａは後加工により除去
する必要がある。なお、これ以外の各工程は第１実施例
と同様でよい。
【００２５】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、つぎに記載するような効果を奏する。
で、つぎに記載するような効果を奏する。
【００２６】スラスト軸受のスラスト板の動圧発生用の
溝となる部位にメッキ付着防止用の被覆を施したのち、
メッキしてメッキ層を形成し、ついで、前記被覆を除去
することにより前記溝を形成するため、動圧発生用の溝
の縦断面の形状および面積を一定にすることができると
ともに任意の溝形状にすることができ、また、溝深さも
メッキ層の膜厚を調節することによって任意に設定でき
る。その結果、回転時における動圧にむらが発生せず、
浮上量のふらつき、軸の傾き、軸振れ、回転むら等の不
具合を生じない動圧流体軸受におけるスラスト軸受を製
造することができる。
溝となる部位にメッキ付着防止用の被覆を施したのち、
メッキしてメッキ層を形成し、ついで、前記被覆を除去
することにより前記溝を形成するため、動圧発生用の溝
の縦断面の形状および面積を一定にすることができると
ともに任意の溝形状にすることができ、また、溝深さも
メッキ層の膜厚を調節することによって任意に設定でき
る。その結果、回転時における動圧にむらが発生せず、
浮上量のふらつき、軸の傾き、軸振れ、回転むら等の不
具合を生じない動圧流体軸受におけるスラスト軸受を製
造することができる。
【図１】本発明の方法の一工程を示し、スラスト板にレ
ジストを印刷した状態を示す斜視図である。
ジストを印刷した状態を示す斜視図である。
【図２】本発明の方法の一工程を示し、スラスト板にレ
ジストを印刷した状態を示す模式断面図である。
ジストを印刷した状態を示す模式断面図である。
【図３】本発明の方法の一工程を示し、スラスト板にメ
ッキ層が形成された状態を示す模式断面図である。
ッキ層が形成された状態を示す模式断面図である。
【図４】本発明の方法の一工程を示し、レジストを除去
してメッキ層を残した状態を示す模式断面図である。
してメッキ層を残した状態を示す模式断面図である。
【図５】本発明の第２実施例を示し、メッキ層を電解メ
ッキにより形成した動圧発生用の溝の模式断面図であ
る。
ッキにより形成した動圧発生用の溝の模式断面図であ
る。
【図６】エッチングによって形成された動圧発生用の溝
の模式断面図である。
の模式断面図である。
【図７】転造によって形成された動圧発生用の溝の模式
断面図である。
断面図である。
１ スラスト軸受 １ａ スラスト板 ２ 溝 ３．１３ メッキ層 ４ レジスト １３ａ 突起
Claims (3)
- 【請求項１】 動圧流体軸受におけるスラスト方向に支
持するためのスラスト軸受のスラスト板の動圧発生用の
溝となる部位にメッキ付着防止用の被覆を施したのち、
メッキしてメッキ層を形成し、ついで前記被覆を除去す
ることにより前記溝を形成することを特徴とする動圧流
体軸受の溝加工方法。 - 【請求項２】 メッキは、無電解メッキとしたことを特
徴とする請求項１記載の動圧流体軸受の溝加工方法。 - 【請求項３】 無電解メッキを耐摩耗性硬質メッキとし
たことを特徴とする請求項２記載の動圧流体軸受の溝加
工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19165392A JPH0610148A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19165392A JPH0610148A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0610148A true JPH0610148A (ja) | 1994-01-18 |
Family
ID=16278237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19165392A Pending JPH0610148A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610148A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6698097B1 (en) * | 1999-05-06 | 2004-03-02 | Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. | Method for manufacturing a tool that is used to form dynamic pressure generating grooves in dynamic pressure bearing devices |
| KR20150005707A (ko) * | 2012-05-24 | 2015-01-14 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | 압력 하의 가스 실린더의 실제 내용물을 측정하는 방법 및 장치 |
| US9441997B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the physical properties of two-phase fluids |
| US9448094B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the mass flow rate of a gas |
| US9448090B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the mass flow rate of a gas |
| US9459191B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-10-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the molecular weight of a gas |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP19165392A patent/JPH0610148A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6698097B1 (en) * | 1999-05-06 | 2004-03-02 | Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. | Method for manufacturing a tool that is used to form dynamic pressure generating grooves in dynamic pressure bearing devices |
| US9448094B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the mass flow rate of a gas |
| US9459191B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-10-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the molecular weight of a gas |
| KR20150005707A (ko) * | 2012-05-24 | 2015-01-14 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | 압력 하의 가스 실린더의 실제 내용물을 측정하는 방법 및 장치 |
| US9441997B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the physical properties of two-phase fluids |
| US9448090B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the mass flow rate of a gas |
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