JPH0544718A - 動圧流体軸受の溝加工方法 - Google Patents
動圧流体軸受の溝加工方法Info
- Publication number
- JPH0544718A JPH0544718A JP22350891A JP22350891A JPH0544718A JP H0544718 A JPH0544718 A JP H0544718A JP 22350891 A JP22350891 A JP 22350891A JP 22350891 A JP22350891 A JP 22350891A JP H0544718 A JPH0544718 A JP H0544718A
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- Japan
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- groove
- plating
- dynamic pressure
- resist
- grooves
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- Pending
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 動圧発生用の溝の長手方向の如何なる部位に
おいても溝の縦断面の形状および面積が一定した高精度
な溝を形成する。 【構成】 軸心材１ａの溝２を形成すべき部位に、該溝
２の溝深さに相当する膜厚以上のメッキ付着防止用の被
覆としてのレジスト４を印刷する。ついで、印刷された
レジスト４をベーキングして固化したのち、耐摩耗性硬
質無電解メッキを行って、所定の厚さのメッキ層３を形
成する。そののち、前記レジスト４を除去して前記溝２
を形成する。
おいても溝の縦断面の形状および面積が一定した高精度
な溝を形成する。 【構成】 軸心材１ａの溝２を形成すべき部位に、該溝
２の溝深さに相当する膜厚以上のメッキ付着防止用の被
覆としてのレジスト４を印刷する。ついで、印刷された
レジスト４をベーキングして固化したのち、耐摩耗性硬
質無電解メッキを行って、所定の厚さのメッキ層３を形
成する。そののち、前記レジスト４を除去して前記溝２
を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザービームプリン
タ等の偏光走査装置等に使用される動圧流体軸受の溝加
工方法に関するものである。
タ等の偏光走査装置等に使用される動圧流体軸受の溝加
工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の偏光走査装置は、高精度
な偏光走査装置を得るために、非接触で回転する動圧流
体軸受が使用されている。
な偏光走査装置を得るために、非接触で回転する動圧流
体軸受が使用されている。
【０００３】前記動圧流体軸受の軸には、微細な動圧発
生用の溝が設けられているが、この動圧発生用の溝の加
工精度が動圧流体軸受の回転信頼性を左右する重要な要
素である。そこで、従来から、前記動圧発生用の溝の形
成方法として以下に説明するものが提案されている。
生用の溝が設けられているが、この動圧発生用の溝の加
工精度が動圧流体軸受の回転信頼性を左右する重要な要
素である。そこで、従来から、前記動圧発生用の溝の形
成方法として以下に説明するものが提案されている。
【０００４】その一は、軸の外周面上の溝となる部位以
外の部分にレジストを塗布し、レジストを塗布していな
い部位をエッチングして、動圧発生用の溝を形成するも
のがある。図７はエッチングによって形成された動圧発
生用の溝の模式縦断面図であって、軸３１の周面に形成
された動圧発生用の溝３２の開口部近傍の内壁にはアン
ダーカット３２ａが発生している。
外の部分にレジストを塗布し、レジストを塗布していな
い部位をエッチングして、動圧発生用の溝を形成するも
のがある。図７はエッチングによって形成された動圧発
生用の溝の模式縦断面図であって、軸３１の周面に形成
された動圧発生用の溝３２の開口部近傍の内壁にはアン
ダーカット３２ａが発生している。
【０００５】その二は、転造によるものであるが、この
転造によるものは図８に示すように、軸４１の周面に形
成された動圧発生用の溝４２の開口部にだれと呼ばれる
段差４２ａが発生している。
転造によるものは図８に示すように、軸４１の周面に形
成された動圧発生用の溝４２の開口部にだれと呼ばれる
段差４２ａが発生している。
【０００６】その三は、軸本体周面にレーザー光線を吸
収し易い材料からなる膜を形成しておき、この膜をレー
ザー光線により除去して動圧発生用の溝を形成するもの
（特開昭６２−１８８６号公報参照）がある。
収し易い材料からなる膜を形成しておき、この膜をレー
ザー光線により除去して動圧発生用の溝を形成するもの
（特開昭６２−１８８６号公報参照）がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術には次
のような問題点があった。
のような問題点があった。
【０００８】エッチングによるものではアンダーカット
が発生しているため、また、転造によるものでは段差部
が発生しているため、前記溝の縦断面形状が複雑な形状
となるとともに、その面積も溝の長さ方向において一定
していない。このため、回転時における動圧にむらが発
生して、回転むらや軸振れが生じる。また、レーザー光
線によるものは、装置が複雑でコスト高となる。
が発生しているため、また、転造によるものでは段差部
が発生しているため、前記溝の縦断面形状が複雑な形状
となるとともに、その面積も溝の長さ方向において一定
していない。このため、回転時における動圧にむらが発
生して、回転むらや軸振れが生じる。また、レーザー光
線によるものは、装置が複雑でコスト高となる。
【０００９】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであって、動圧発生用の溝の長手
方向の如何なる部位においても、溝の縦断面の形状およ
び面積が一定した高精度な溝を形成することができる動
圧流体軸受の溝加工方法を実現することを目的とするも
のである。
に鑑みてなされたものであって、動圧発生用の溝の長手
方向の如何なる部位においても、溝の縦断面の形状およ
び面積が一定した高精度な溝を形成することができる動
圧流体軸受の溝加工方法を実現することを目的とするも
のである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の動圧流体軸受の溝加工方法は、軸心材の動
圧発生用の溝となる部位にメッキ付着防止用の被覆を施
したのち、メッキしてメッキ層を形成し、ついで前記被
覆を除去することにより前記溝を形成することを特徴と
するものである。
め、本発明の動圧流体軸受の溝加工方法は、軸心材の動
圧発生用の溝となる部位にメッキ付着防止用の被覆を施
したのち、メッキしてメッキ層を形成し、ついで前記被
覆を除去することにより前記溝を形成することを特徴と
するものである。
【００１１】また、前記メッキは、無電解メッキとし、
とりわけ耐摩耗性硬質無電解メッキとするとよい。
とりわけ耐摩耗性硬質無電解メッキとするとよい。
【００１２】
【作用】軸心材にメッキしたメッキ層の厚さをメッキ工
程時に調節することで、動圧発生用の溝の溝深さを設定
することができるとともに、メッキ付着防止用の被覆の
形状を変更することで、前記溝の形状を任意の溝形状と
することができる。
程時に調節することで、動圧発生用の溝の溝深さを設定
することができるとともに、メッキ付着防止用の被覆の
形状を変更することで、前記溝の形状を任意の溝形状と
することができる。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例を図面に基いて説明する。
【００１４】図１乃至図５は、それぞれ本発明の第１実
施例の各工程を示す説明図である。
施例の各工程を示す説明図である。
【００１５】図１、図３および図５に示すように、完成
した軸１の外径より各動圧発生用の溝２の溝深さを差し
引いた外径の軸心材１ａを予め製造しておき、これを脱
脂処理したのち、該軸心材１ａの溝２を形成すべき部位
に、該溝２の溝深さに相当する膜厚のメッキ付着防止用
の被覆としてのレジスト４を印刷する。
した軸１の外径より各動圧発生用の溝２の溝深さを差し
引いた外径の軸心材１ａを予め製造しておき、これを脱
脂処理したのち、該軸心材１ａの溝２を形成すべき部位
に、該溝２の溝深さに相当する膜厚のメッキ付着防止用
の被覆としてのレジスト４を印刷する。
【００１６】上記印刷は、例えば、図２に示すグラビア
オフセット印刷機によって行うのが便利である。この印
刷工程について説明すると、図２に示すように、ドクタ
ーブレード２４を有するレジスト供給ユニット２３より
グラビアロール２１の凹版２２に供給されたレジスト４
はオフセットロール２０に転写されたのち、軸本体１ａ
の外周面に印刷される。
オフセット印刷機によって行うのが便利である。この印
刷工程について説明すると、図２に示すように、ドクタ
ーブレード２４を有するレジスト供給ユニット２３より
グラビアロール２１の凹版２２に供給されたレジスト４
はオフセットロール２０に転写されたのち、軸本体１ａ
の外周面に印刷される。
【００１７】ついで、印刷されたレジスト４をベーキン
グして固化し、通常の洗浄および表面活性化、ニッケル
ストライクを順次行ったのち、耐摩耗性硬質無電解メッ
キを行って、所定の厚さのメッキ層３を形成する。
グして固化し、通常の洗浄および表面活性化、ニッケル
ストライクを順次行ったのち、耐摩耗性硬質無電解メッ
キを行って、所定の厚さのメッキ層３を形成する。
【００１８】そののち、水洗、乾燥を順次行ったのち、
前記レジスト４を除去することにより前記溝２を形成す
る。
前記レジスト４を除去することにより前記溝２を形成す
る。
【００１９】次に、第２実施例について説明する。
【００２０】図６は、上記第１実施例の耐摩耗性硬質無
電解メッキのかわりに、電解メッキを施した動圧発生用
の溝の縦断面の形状を示す模式断面図である。本実施例
の場合、動圧発生用の溝１２の開口部内周縁部に突起１
３ａが形成される。この突起１３ａは後加工により除去
する必要がある。なお、これ以外の各工程は第１実施例
と同様でよい。
電解メッキのかわりに、電解メッキを施した動圧発生用
の溝の縦断面の形状を示す模式断面図である。本実施例
の場合、動圧発生用の溝１２の開口部内周縁部に突起１
３ａが形成される。この突起１３ａは後加工により除去
する必要がある。なお、これ以外の各工程は第１実施例
と同様でよい。
【００２１】具体例 外径３．９９ｍｍのステンレス製の軸心材を製造し、軸
心材をアルカリ溶液により脱脂したのち、該軸心材周面
の各溝となる部位にレジストを５μｍ以上の膜厚で印刷
した。
心材をアルカリ溶液により脱脂したのち、該軸心材周面
の各溝となる部位にレジストを５μｍ以上の膜厚で印刷
した。
【００２２】前記レジストとしては、印刷性、耐酸、耐
アルカリ性、軸心材に対する密着性およびメッキ後の除
去の容易性を考慮した結果、エポキシ系インキ、また
は、セラミックインキ（（株）日板研究所製商品名「プ
リントンＰＩシリーズ」が好適であることが判明した。
アルカリ性、軸心材に対する密着性およびメッキ後の除
去の容易性を考慮した結果、エポキシ系インキ、また
は、セラミックインキ（（株）日板研究所製商品名「プ
リントンＰＩシリーズ」が好適であることが判明した。
【００２３】ついで、印刷されたレジストをベーキング
（１５０℃で２０分間）固化し、これを順次アルカリで
洗浄、塩酸で表面活性化処理し、ニッケルストライクを
行ったのち、コバルト−リン合金（ｐＨ９．２、９０
℃）の耐摩耗性硬質無電解メッキを３０分間行って厚さ
５μｍ（±０．５μｍ）のメッキ層を形成した。
（１５０℃で２０分間）固化し、これを順次アルカリで
洗浄、塩酸で表面活性化処理し、ニッケルストライクを
行ったのち、コバルト−リン合金（ｐＨ９．２、９０
℃）の耐摩耗性硬質無電解メッキを３０分間行って厚さ
５μｍ（±０．５μｍ）のメッキ層を形成した。
【００２４】上記具体例は、軸心材をステンレス製とし
たためニツケルストライクを行ったが、炭素鋼等の他の
素材を用いた場合はその必要はない。
たためニツケルストライクを行ったが、炭素鋼等の他の
素材を用いた場合はその必要はない。
【００２５】また、耐摩耗性硬質無電解メッキとして
は、上記実施例１のほか、ニッケル−タングステン−ボ
ロン合金（ｐＨ６．５、６５℃、６０分）かニッケル−
ボロン（ｐＨ６．５、６５℃、６０分）等がよい。
は、上記実施例１のほか、ニッケル−タングステン−ボ
ロン合金（ｐＨ６．５、６５℃、６０分）かニッケル−
ボロン（ｐＨ６．５、６５℃、６０分）等がよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、つぎに記載するような効果を奏する。
で、つぎに記載するような効果を奏する。
【００２７】動圧発生用の溝の形状を任意の形状とする
ことができるとともに、前記溝の長手方向の如何なる部
位においても、溝の縦断面の形状および面積が一定の高
精度な溝を形成することができる。また、前記溝の溝深
さも、メッキ層の膜厚を調節することによって任意に設
定できる。
ことができるとともに、前記溝の長手方向の如何なる部
位においても、溝の縦断面の形状および面積が一定の高
精度な溝を形成することができる。また、前記溝の溝深
さも、メッキ層の膜厚を調節することによって任意に設
定できる。
【００２８】さらに、メッキ層を無電解硬質メッキによ
り形成すると、溝開口部仕上り状態が良好となり、後加
工の必要性がなくなるとともに、耐久性の良い軸を製造
することができる。
り形成すると、溝開口部仕上り状態が良好となり、後加
工の必要性がなくなるとともに、耐久性の良い軸を製造
することができる。
【図１】本発明の方法の一工程を示し、軸心材にレジス
トを印刷した状態を示す模式部分平面図である。
トを印刷した状態を示す模式部分平面図である。
【図２】本発明の方法の一工程を示し、レジストを印刷
するためのグラビアオフセット印刷機の模式側面図であ
る。
するためのグラビアオフセット印刷機の模式側面図であ
る。
【図３】本発明の方法の一工程を示し、軸心材にレジス
トを印刷した状態を示す模式断面図である。
トを印刷した状態を示す模式断面図である。
【図４】本発明の方法の一工程を示し、軸心材にメッキ
層が形成された状態を示す模式断面図である。
層が形成された状態を示す模式断面図である。
【図５】本発明の方法の一工程を示し、レジストを除去
してメッキ層４残した状態を示す模式断面図である。
してメッキ層４残した状態を示す模式断面図である。
【図６】本発明の第２実施例を示し、メッキ層を電解メ
ッキにより形成した動圧発生用の溝の模式断面図であ
る。
ッキにより形成した動圧発生用の溝の模式断面図であ
る。
【図７】エッチングによって形成された動圧発生用の溝
の模式断面図である。
の模式断面図である。
【図８】転造によって形成された動圧発生用の溝の模式
断面図である。
断面図である。
１ 軸 １ａ 軸心材 ２ 溝 ３．１３ メッキ層 ４，１４ レジスト １３ａ 突起 ２０ オフセットロール ２１ グラビアロール ２２ 凹版 ２３ レジスト供給ユニット ２４ ドクターブレード
Claims (3)
- 【請求項１】 軸心材の動圧発生用の溝となる部位にメ
ッキ付着防止用の被覆を施したのち、メッキしてメッキ
層を形成し、ついで前記被覆を除去することにより前記
溝を形成することを特徴とする動圧流体軸受の溝加工方
法。 - 【請求項２】 メッキは、無電解メッキとした請求項１
記載の動圧流体軸受の溝加工方法。 - 【請求項３】 無電解メッキを、耐摩耗性硬質無電解メ
ッキとした請求項２記載の動圧流体軸受の溝加工方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22350891A JPH0544718A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
| DE69205762T DE69205762T2 (de) | 1991-08-08 | 1992-08-07 | Verfahren zur Herstellung von Rillen auf einer Achse. |
| EP92113492A EP0527450B1 (en) | 1991-08-08 | 1992-08-07 | Method of forming grooves on a shaft |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22350891A JPH0544718A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544718A true JPH0544718A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16799250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22350891A Pending JPH0544718A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0544718A (ja) |
-
1991
- 1991-08-08 JP JP22350891A patent/JPH0544718A/ja active Pending
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