JPH0593285A - 動圧流体軸受の溝加工方法 - Google Patents
動圧流体軸受の溝加工方法Info
- Publication number
- JPH0593285A JPH0593285A JP28041191A JP28041191A JPH0593285A JP H0593285 A JPH0593285 A JP H0593285A JP 28041191 A JP28041191 A JP 28041191A JP 28041191 A JP28041191 A JP 28041191A JP H0593285 A JPH0593285 A JP H0593285A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- shaft
- resist
- dynamic pressure
- plating layer
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- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 軸の表面仕上げを行わなくても所定の面精度
が得られるようにする。 【構成】 完成した軸１の外径より各動圧発生溝４の溝
深さを差し引いた外径の軸心材１ａを予め製造してお
き、この軸心材１ａに耐摩耗性硬質無電解メッキを行っ
て、前記動圧発生溝４の溝深さと同等の厚さのメッキ層
２を形成する。そののち、前記メッキ層２の周面の前記
動圧発生溝４を形成すべき部位以外の部分にレジスト３
を印刷する。ついで、エッチングにより、前記動圧発生
溝４となる部位のメッキ層２を除去したのち、レジスト
３を除去して前記動圧発生溝４を有する軸１を製造す
る。
が得られるようにする。 【構成】 完成した軸１の外径より各動圧発生溝４の溝
深さを差し引いた外径の軸心材１ａを予め製造してお
き、この軸心材１ａに耐摩耗性硬質無電解メッキを行っ
て、前記動圧発生溝４の溝深さと同等の厚さのメッキ層
２を形成する。そののち、前記メッキ層２の周面の前記
動圧発生溝４を形成すべき部位以外の部分にレジスト３
を印刷する。ついで、エッチングにより、前記動圧発生
溝４となる部位のメッキ層２を除去したのち、レジスト
３を除去して前記動圧発生溝４を有する軸１を製造す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザービームプリン
タ等の偏光走査装置等に使用される動圧流体軸受の溝加
工方法に関するものである。
タ等の偏光走査装置等に使用される動圧流体軸受の溝加
工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の偏光走査装置は、高精度
な偏光走査装置を得るために、非接触で回転する動圧流
体軸受が使用されている。
な偏光走査装置を得るために、非接触で回転する動圧流
体軸受が使用されている。
【０００３】前記動圧流体軸受の軸には、微細な動圧発
生用の溝が設けられているが、この動圧発生用の溝の加
工精度および軸周面の面精度が動圧流体軸受の回転信頼
性を左右する重要な要素である。そこで、従来から、前
記動圧発生用の溝の形成方法として以下に説明するもの
が提案されている。
生用の溝が設けられているが、この動圧発生用の溝の加
工精度および軸周面の面精度が動圧流体軸受の回転信頼
性を左右する重要な要素である。そこで、従来から、前
記動圧発生用の溝の形成方法として以下に説明するもの
が提案されている。
【０００４】その一は、表面を研磨仕上げした軸の外周
面上の溝となる部位以外の部分にレジストを塗布し、レ
ジストを塗布していない部位をエッチングして、動圧発
生用の溝を形成するものがある。図４はエッチングによ
って形成された動圧発生用の溝の模式縦断面図であっ
て、軸３１の周面に形成された動圧発生用の溝３２の開
口部近傍の内壁にはアンダーカット３２ａが発生してい
る。
面上の溝となる部位以外の部分にレジストを塗布し、レ
ジストを塗布していない部位をエッチングして、動圧発
生用の溝を形成するものがある。図４はエッチングによ
って形成された動圧発生用の溝の模式縦断面図であっ
て、軸３１の周面に形成された動圧発生用の溝３２の開
口部近傍の内壁にはアンダーカット３２ａが発生してい
る。
【０００５】その二は、転造によるものであるが、この
転造によるものは図５に示すように、軸４１の周面に形
成された動圧発生用の溝４２の開口部にだれと呼ばれる
段差４２ａが発生している。
転造によるものは図５に示すように、軸４１の周面に形
成された動圧発生用の溝４２の開口部にだれと呼ばれる
段差４２ａが発生している。
【０００６】その三は、軸本体周面にレーザー光線を吸
収し易い材料からなる膜を形成しておき、この膜をレー
ザー光線により除去して動圧発生用の溝を形成するもの
（特開昭６２−１８８６号公報参照）がある。
収し易い材料からなる膜を形成しておき、この膜をレー
ザー光線により除去して動圧発生用の溝を形成するもの
（特開昭６２−１８８６号公報参照）がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術には次
のような問題点があった。
のような問題点があった。
【０００８】エッチングによるものでは、軸の所定の面
精度を得るために、研磨等により表面仕上げする必要が
あり、コスト高となる。また、転造によるものでは段差
部が発生しているため、前記溝の縦断面形状が複雑な形
状となるとともに、その面積も溝の長さ方向において一
定していないため、回転時における動圧にむらが発生し
て、回転むらや軸振れが生じる。また、レーザー光線に
よるものは、装置が複雑でコスト高となる。
精度を得るために、研磨等により表面仕上げする必要が
あり、コスト高となる。また、転造によるものでは段差
部が発生しているため、前記溝の縦断面形状が複雑な形
状となるとともに、その面積も溝の長さ方向において一
定していないため、回転時における動圧にむらが発生し
て、回転むらや軸振れが生じる。また、レーザー光線に
よるものは、装置が複雑でコスト高となる。
【０００９】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであって、軸の表面仕上げを行わ
なくても所定の面精度を得ることができるとともに、動
圧発生用の溝の長手方向の如何なる部位においても、溝
の縦断面の形状および面積が一定した高精度な溝を形成
することができる動圧流体軸受の溝加工方法を実現する
ことを目的とするものである。
に鑑みてなされたものであって、軸の表面仕上げを行わ
なくても所定の面精度を得ることができるとともに、動
圧発生用の溝の長手方向の如何なる部位においても、溝
の縦断面の形状および面積が一定した高精度な溝を形成
することができる動圧流体軸受の溝加工方法を実現する
ことを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の動圧流体軸受の溝加工方法は、軸心材にメ
ッキしてメッキ層を形成し、前記メッキ層の周面の動圧
発生溝となる部位以外の部分にレジストを印刷したの
ち、エッチングによって前記動圧発生溝となる部位の前
記メッキ層を除去し、ついで前記レジストを除去するこ
とを特徴とするものである。
め、本発明の動圧流体軸受の溝加工方法は、軸心材にメ
ッキしてメッキ層を形成し、前記メッキ層の周面の動圧
発生溝となる部位以外の部分にレジストを印刷したの
ち、エッチングによって前記動圧発生溝となる部位の前
記メッキ層を除去し、ついで前記レジストを除去するこ
とを特徴とするものである。
【００１１】また、前記メッキは、耐摩耗性硬質無電解
メッキとするとよい。
メッキとするとよい。
【００１２】
【作用】軸心材にメッキしたメッキ層の厚さをメッキ工
程時に調節することで、動圧発生溝の溝深さを設定する
ことができるとともに、レジストの被覆の形状を変更す
ることで、前記動圧発生溝の形状を任意の溝形状とする
ことができる。また、軸周面はメッキ層が形成されてい
るため、表面仕上げを行わなくても所定の面精度とな
る。
程時に調節することで、動圧発生溝の溝深さを設定する
ことができるとともに、レジストの被覆の形状を変更す
ることで、前記動圧発生溝の形状を任意の溝形状とする
ことができる。また、軸周面はメッキ層が形成されてい
るため、表面仕上げを行わなくても所定の面精度とな
る。
【００１３】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基いて説明する。
【００１４】図１および図３は、それぞれ本発明の実施
例の各工程を示す説明図である。
例の各工程を示す説明図である。
【００１５】図３に示すように、完成した軸１の外径よ
り各動圧発生溝４の溝深さを差し引いた外径の軸心材１
ａを予め製造しておき、これを通常の洗浄および表面活
性化を順次行ったのち、耐摩耗性硬質無電解メッキを行
って、動圧発生溝４の溝深さと同等の厚さのメッキ層２
を形成する（図３の（Ａ）参照）。
り各動圧発生溝４の溝深さを差し引いた外径の軸心材１
ａを予め製造しておき、これを通常の洗浄および表面活
性化を順次行ったのち、耐摩耗性硬質無電解メッキを行
って、動圧発生溝４の溝深さと同等の厚さのメッキ層２
を形成する（図３の（Ａ）参照）。
【００１６】ついで、前記メッキ層２を形成した軸心材
１ａの水洗および転燥を順次行ったのち、図３の（Ｂ）
に示すように、メッキ層２の周面の動圧発生溝４（図３
の（Ｄ）参照）を形成すべき部位以外の部分に、レジス
ト３を印刷する。レジスト３が印刷された状態を図１に
示す。
１ａの水洗および転燥を順次行ったのち、図３の（Ｂ）
に示すように、メッキ層２の周面の動圧発生溝４（図３
の（Ｄ）参照）を形成すべき部位以外の部分に、レジス
ト３を印刷する。レジスト３が印刷された状態を図１に
示す。
【００１７】上記レジスト３の印刷は、例えば、図２に
示すグラビアオフセット印刷機によって行うのが便利で
ある。この印刷工程について説明すると、図２に示すよ
うに、レジスト供給ユニット２３によりグラビアロール
２１に供給されたレジスト３は、ドクタブレード２４よ
り凹版２２に受容され、オフセットロール２０に転写さ
れたのち、軸心材１ａのメッキ層２の周面に印刷され
る。
示すグラビアオフセット印刷機によって行うのが便利で
ある。この印刷工程について説明すると、図２に示すよ
うに、レジスト供給ユニット２３によりグラビアロール
２１に供給されたレジスト３は、ドクタブレード２４よ
り凹版２２に受容され、オフセットロール２０に転写さ
れたのち、軸心材１ａのメッキ層２の周面に印刷され
る。
【００１８】印刷されたレジスト３を硬化させたのち、
図３の（Ｃ）に示すようにエッチングにより、動圧発生
溝４となる部位のメッキ層２を除去し、ついで、図３の
（Ｄ）に示すように、前記レジスト３を除去して動圧発
生溝４を有する軸１を製造する。
図３の（Ｃ）に示すようにエッチングにより、動圧発生
溝４となる部位のメッキ層２を除去し、ついで、図３の
（Ｄ）に示すように、前記レジスト３を除去して動圧発
生溝４を有する軸１を製造する。
【００１９】具体例 予め、ステンレス鋼よりなる直径３．９９ｍｍの軸心材
を製造しておき、これを順次アルカリで洗浄、塩酸で表
面活性化処理し、ニッケルストライクを行ったのち、コ
バルト−リン合金（ｐＨ９．２、９０℃）の耐摩耗性硬
質無電解メッキを５０分間行って厚さ５μｍ（±０．５
μｍ）のメッキ層を形成した。
を製造しておき、これを順次アルカリで洗浄、塩酸で表
面活性化処理し、ニッケルストライクを行ったのち、コ
バルト−リン合金（ｐＨ９．２、９０℃）の耐摩耗性硬
質無電解メッキを５０分間行って厚さ５μｍ（±０．５
μｍ）のメッキ層を形成した。
【００２０】上記具体例は、軸心材をステンレス製とし
たためニツケルストライクを行ったが、炭素鋼等の他の
素材を用いた場合はその必要はない。
たためニツケルストライクを行ったが、炭素鋼等の他の
素材を用いた場合はその必要はない。
【００２１】また、耐摩耗性硬質無電解メッキとして
は、上記具体例のほか、ニッケル−タングステン−ボロ
ン合金（ｐＨ６．５、６５℃、６０分）かニッケル−ボ
ロン合金（ｐＨ６．５、６５℃、４５分）等がよい。さ
らに、ニッケル−リン合金（ｐＨ４．５、９０℃、１５
分）、ニッケル−４フッ化エチレン含有合金（ｐＨ５．
１、９０℃、３０分）でもよい。
は、上記具体例のほか、ニッケル−タングステン−ボロ
ン合金（ｐＨ６．５、６５℃、６０分）かニッケル−ボ
ロン合金（ｐＨ６．５、６５℃、４５分）等がよい。さ
らに、ニッケル−リン合金（ｐＨ４．５、９０℃、１５
分）、ニッケル−４フッ化エチレン含有合金（ｐＨ５．
１、９０℃、３０分）でもよい。
【００２２】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、つぎに記載するような効果を奏する。
で、つぎに記載するような効果を奏する。
【００２３】動圧発生溝の形状を任意の形状とすること
ができるとともに、前記動圧発生溝の溝深さも、メッキ
層の膜厚を調節することによって任意に設定できる。ま
た、レジストを除去したのち表面仕上げを行う必要がな
く製造コストが低減する。
ができるとともに、前記動圧発生溝の溝深さも、メッキ
層の膜厚を調節することによって任意に設定できる。ま
た、レジストを除去したのち表面仕上げを行う必要がな
く製造コストが低減する。
【００２４】さらに、メッキ層を無電解硬質メッキによ
り形成すると、耐久性の良い軸を製造することができ
る。
り形成すると、耐久性の良い軸を製造することができ
る。
【図１】本発明の方法の一工程を示し、メッキ層を形成
した軸心材にレジストを印刷した状態を示す模式部分平
面図である。
した軸心材にレジストを印刷した状態を示す模式部分平
面図である。
【図２】本発明の方法の一工程を示し、レジストを印刷
するためのグラビアオフセット印刷機の模式側面図であ
る。
するためのグラビアオフセット印刷機の模式側面図であ
る。
【図３】本発明の方法の各工程を示し、（Ａ）は軸心材
にメッキ層を形成した状態を示す模式断面図、（Ｂ）は
メッキ層の外周面にレジストを印刷した状態を示す模式
断面図、（Ｃ）はエッチングにより動圧発生溝となる部
位のメッキ層を除去した状態を示す模式断面図、（Ｄ）
はレジストを除去した状態を示す模式断面図である。
にメッキ層を形成した状態を示す模式断面図、（Ｂ）は
メッキ層の外周面にレジストを印刷した状態を示す模式
断面図、（Ｃ）はエッチングにより動圧発生溝となる部
位のメッキ層を除去した状態を示す模式断面図、（Ｄ）
はレジストを除去した状態を示す模式断面図である。
【図４】エッチングによって形成された動圧発生用の溝
の模式断面図である。
の模式断面図である。
【図５】転造によって形成された動圧発生用の溝の模式
断面図である。
断面図である。
１ 軸 １ａ 軸心材 ２ メッキ層 ３ レジスト ４ 動圧発生溝 ２０ オフセットロール ２１ グラビアロール ２２ 凹版 ２３ レジスト供給ユニット ２４ ドクタブレード
Claims (2)
- 【請求項１】 軸心材にメッキしてメッキ層を形成し、
前記メッキ層の周面の動圧発生溝となる部位以外の部分
にレジストを印刷したのち、エッチングによって前記動
圧発生溝となる部位の前記メッキ層を除去し、ついで前
記レジストを除去することを特徴とする動圧流体軸受の
溝加工方法。 - 【請求項２】 メッキを、耐摩耗性硬質無電解メッキと
した請求項１記載の動圧流体軸受の溝加工方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28041191A JPH0593285A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
| DE69205762T DE69205762T2 (de) | 1991-08-08 | 1992-08-07 | Verfahren zur Herstellung von Rillen auf einer Achse. |
| EP92113492A EP0527450B1 (en) | 1991-08-08 | 1992-08-07 | Method of forming grooves on a shaft |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28041191A JPH0593285A (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593285A true JPH0593285A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17624669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28041191A Pending JPH0593285A (ja) | 1991-08-08 | 1991-10-01 | 動圧流体軸受の溝加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0593285A (ja) |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP28041191A patent/JPH0593285A/ja active Pending
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