TWI467148B - 電動型振動測試裝置 - Google Patents

Description

電動型振動測試裝置

本發明係關於一種藉由音圈馬達對工作台(table)及固定於其上之受檢體施加振動的電動型振動測試裝置。

先前，廣泛利用記載於日本特開第2004-219196號公報之裝置這樣之電動型振動測試裝置，其在指定方向(例如上下方向)對工作台及固定於其上之受檢體施加振動。電動型振動測試裝置係將安裝於固定工作台之可移動部的可移動線圈配置於直流磁場中。電流流入可移動線圈時，對可移動線圈施加作用於線圈軸方向之勞侖茲力。藉由該勞侖茲力可使可移動部移動於可移動線圈的軸方向(音圈馬達)。因為勞侖茲力之大小與施加於可移動線圈之電流的大小成正比，所以藉由對可移動線圈供給變動電流，可使勞侖茲力之大小周期性變動，而使工作台以交流電流之頻率振動。電動型振動測試裝置如前述係藉由供給至可移動線圈之變動電流的周期而決定工作台之振動頻率，且可藉由對可移動線圈施加高頻電流，而在特別是數百～數千赫茲以上之高頻率下進行振動測試。

前述構成之電動型振動測試裝置中，需要產生與一荷重對應的勞侖茲力，該荷重是用於使可移動部、工作台及受檢體浮起之靜荷重(亦即與可移動部及受檢體之重量平衡的靜荷重)、以及用於使可移動部振動之變動荷重的合成量。為了產生此種勞侖茲力，需要將對應於靜荷重之直流成分與對應於變動荷重之交流成分這兩者的合成量的電流施加於可移動線圈。

如前述，電動型振動測試裝置適於高頻下之振動測試。需要在高頻下振動測試的受檢體，有引擎架及引擎用之防振橡膠等。因為係在增加了引擎之荷重的狀態下使用此種受檢體，所以最好在施加一定之靜荷重的狀態下進行振動測試。為了在電動型振動測試裝置對受檢體施加靜荷重，例如為從上按壓工作台上之受檢體以施加靜荷重的構成等。

如此，對受檢體邊施加大的靜荷重邊進行振動測試時，除了可移動部、工作台及受檢體之重量外，亦需要以勞侖茲力支撐前述靜荷重。因而，邊將大的靜荷重施加於受檢體邊進行振動測試時，需要增大流入可移動線圈之電流的直流成分。為了實現此種構成，需要複雜且大型之電源電路，又，可移動線圈亦是需要大型化以承受大電流。亦即，在電動型振動測試裝置中，對受檢體邊施加靜荷重邊施加振動時，振動測試裝置之尺寸、重量及耗電遠比受檢體之尺寸及振動的振幅大。因而，藉由電動型振動測試裝置對受檢體邊施加靜荷重邊進行振動測試並不切實際，且事實上不可能。

本發明係為了解決前述問題而形成，其目的為提供一種電動型振動測試裝置，其電源電路及可移動線圈無須大型化，可對受檢體邊施加靜荷重邊實施振動測試。

本發明之實施形態的電動型振動測試裝置具有：空氣彈簧，其係從固定部之下方支撐測試裝置之可移動部；及反作用力板，其係安裝於固定部，以將受檢體夾在與測試裝置之工作台之間。宜進一步具有空氣壓控制手段，其係控制空氣彈簧內之空氣壓。又，電動型振動測試裝置進一步具有荷重計測手段，其係計測施加於受檢體之荷重，空氣壓控制手段依據荷重計測手段之計測結果，而控制空氣彈簧內之空氣壓。

如此，在本發明之實施形態中，可藉由以空氣彈簧在可移動部上施加向上之荷重，而在工作台與反作用力板之間，於受檢體上施加壓縮靜荷重。因此，依據本發明之實施形態，電源電路及可移動線圈無須大型化，可實現一種在受檢體上邊施加靜荷重邊實施振動測試之電動型振動測試裝置。又，可藉由控制空氣彈簧內之空氣壓，而調整施加於受檢體之靜荷重的大小。又，因為係依據荷重計測手段之計測結果調整空氣彈簧內之空氣壓，所以可將希望大小之靜荷重正確地施加於受檢體。

再者，在本發明之實施形態的電動型振動測試裝置中，空氣壓控制手段進一步具有：空氣槽，其係與空氣彈簧連接，並且比其容積充分大；空氣源，其係供給空氣到空氣槽；及調節手段，其係設於空氣源與空氣槽之間。

調節手段具有：電動氣體調節器(electro pneumatic regulator)，其係將輸入口連接於空氣源側；及精密調節器，其係將輸入口連接於空氣源側，並且將輸出口連接於空氣槽；藉由電動氣體調節器之輸出口的空氣壓，而控制精密調節器之輸出口的空氣壓。

如此，在本發明之實施形態中，因為將大容量之空氣槽連接於空氣彈簧，所以，即使空氣彈簧之容積有若干變化，其變化量對空氣彈簧與空氣槽之合併容積而言非常小。因此，即使以音圈馬達使可移動部振動，空氣彈簧之內壓幾乎不變化，而可將一定之靜荷重持續施加於受檢體。又，電動氣體調節器係可從電腦等之電子機器輕易地控制輸出口之空氣壓，另外，精密調節器即使大流量之空氣從輸入口流入輸出口時，仍可依據輸入於引導口(pilot port)之空氣壓而精密地控制輸出口之空氣壓。因此，如本發明之實施形態，即使是大流量，仍可使該空氣壓成為精密地控制空氣壓力之精密調節器的輸出口之壓力，藉此精密地控制空氣槽及空氣彈簧內之空氣壓。

又，更宜為在電動氣體調節器及精密調節器之輸入口與空氣源之間設置前段調節器，其用於將輸入於電動氣體調節器及精密調節器之輸入口的空氣壓力概略保持一定。

又，較佳為，線性引導器具有：軌條，其係固定於可移動部與固定部之一方；及活動塊(runner block)，其係固定於另一方，並且與軌條卡合，而可沿著軌條移動；活動塊具有：凹部，其係包圍軌條；溝，其係在凹部中沿著活動塊之移動方向而形成；避開路徑，其係形成於活動塊之內部，以與前述溝形成封閉迴路之方式，而與溝在移動方向之兩端連繫；及複數個滾珠，其係在封閉迴路中循環並且位於溝時，與軌條抵接。為此種構成時，可使活動塊不致晃動且順利地沿著軌條移動。亦即，可使工作台順利地振動。

又，較佳為，在活動塊中形成有四個封閉迴路，且分別配置於四個封閉迴路中之二個封閉迴路的溝之滾珠相對活動塊之徑向方向具有概略±45度之接觸角，分別配置於其他二個封閉迴路之溝的滾珠相對該活動塊之反徑向方向具有概略±45度之接觸角。為此種構成時，活動塊分別在徑向方向、反徑向方向及橫方向可承受大荷重，即使前述方向之大荷重從方螺紋經由滾子施加於活動塊，活動塊仍不致破損，又，可沿著軌條順利地移動。又，線性引導器宜具有複數個由軌條及活動塊構成之組，這些由軌條與活動塊構成之組概略等間隔地配置於將工作台之中心作為中心的圓周上。

以下，就本發明之實施形態，使用圖式詳細作說明。第一圖及第二圖係分別顯示本實施形態之電動型振動測試裝置的前視圖及俯視圖。又，第三圖係第二圖之I-I剖面圖。

如第一圖所示，本實施形態之電動型振動測試裝置1具有固定於基座B之固定部10，與驅動於固定部垂直方向之可移動部20。在可移動部20之上端固定有工作台31。在工作台31之上固定有工件保持構件32，在該工件保持構件32上固定有工件(受檢體)W。亦即，在工件保持構件32上安裝工件W，其次，藉由使可移動部20相對固定部10往返運動，可使工件W振動。另外，工件保持構件32係拆裝自由地固定於工作台31，可依工件W之尺寸及種類而適宜選擇適切之工件保持構件32。

固定部10具有強固地固定於基座B之框架11，與藉由軸14而支撐於該框架11的筒狀體12。如第三圖所示，可移動部20之下部收納於該筒狀體12之內部。

在筒狀體12之上部固定有用於從上按壓工件W的反作用力框架13。如第一圖及第二圖所示，反作用力框架13具有以螺栓固定於筒狀體12之底板13c；焊接於底板13c之上，且伸展於垂直方向的一對側板13a；及以銜接該一對側板13a之各個上端的方式，而焊接於側板13a之反作用力板13b。如第一圖所示，在側板13a之底面固定有間隔物34，而藉由該間隔物34與工件保持構件32夾著工件W。又，在間隔物34之下部安裝有測力器(load cell)33，藉此，可計測施加於工件W之垂直方向的壓縮荷重。間隔物34拆裝自由地固定於反作用力板13b，並可依工件W之尺寸及種類而適宜地選擇適切之間隔物34。

其次，就用於將可移動部20驅動於垂直方向的機構說明於下。如第三圖所示，可移動部20具有漸縮圓筒(tapered cylinder)形狀之可移動框架22’與固定於可移動框架22之上端的頂板21。在頂板21之上，藉由複數個桿(bar)26而固定工作台31。

在可移動框架22之下端，藉由可移動線圈保持構件27而安裝有可移動線圈51。可移動線圈51與可移動框架22概略同軸地配置。

又，在固定部10之筒狀體12的內部設有與筒狀體12同軸地形成之圓筒形狀的內側磁極15。內側磁極15之外徑比可移動線圈51之內徑小，可移動線圈51配置於內側磁極15之外周面與筒狀體12之內周面之間。

在筒狀體12之內周面設有凹部12a，在該凹部12a之內部安裝有固定線圈52。在此，筒狀體12及內側磁極15均由磁性材料而形成，直流電流流入固定線圈52時，可在可移動線圈51之半徑方向發生磁場。

在該狀態下，電流流入可移動線圈51時，在可移動線圈51之軸方向，亦即在垂直方向發生勞侖茲力，可將可移動部20驅動於垂直方向。在本實施形態之電動型振動測試裝置1中，對可移動線圈51供給包含交流成分之電流，使可移動部20在垂直方向往返運動’並使工作台31上之工件W沿著垂直方向而振動。

在本實施形態中，藉由空氣彈簧61從下支撐可移動部20及工件W。空氣彈簧61收納於內側磁極15之中。又，藉由從空氣彈簧61之上端往垂直上方伸展的連結桿23而連結空氣彈簧61與可移動框架22。如第三圖所示，連結桿23通過可移動框架22之中，而到達可移動框架22之上端，並藉由伸展於半徑方向之複數支樑24，而連結可移動框架22之內周面與連結桿23。

另外，符號25係支撐連結桿23不使其傾倒的軸承。

在本實施形態中，使用空氣彈簧61係為了從下支撐可移動部20，並將可移動部20維持在指定高度。進一步，工件W夾在空氣彈簧61與反作用力板13b之間，可藉由使空氣彈簧61之內壓上昇，在工件W上施加垂直方向之壓縮荷重。為了該目的，本實施形態中，可控制空氣彈簧61之內壓，亦即可控制空氣彈簧61施加於工件W的荷重。

就用於控制空氣彈簧61之內壓的機構說明於下。第四圖係顯示本實施形態中之內壓控制機構60的氣壓迴路。如第四圖所示，空氣彈簧61從壓縮機等空氣源S供給空氣，在空氣源S與空氣彈簧61之間設有過濾器調節器62、精密調節器65及空氣槽66。

過濾器調節器62從空氣源S供給之空氣中除去塵埃及水分等，並且調整從其輸出口排出之空氣的壓力。

在過濾器調節器62之輸出口連接著氣壓開關63、電動氣體調節器64及精密調節器65。電動氣體調節器64係可依來自控制器2(後述)之控制而調整輸出壓的調節器。電動氣體調節器64之輸出口連接於精密調節器65之引導口。亦即，電動氣體調節器64之輸出口成為藉由精密調節器65之引導口而閉塞的狀態，其間之管路的空氣不流入，而僅將靜壓施加於精密調節器65之引導口。

精密調節器65可藉由輸入於引導口之空氣控制內部之閥門，以精密地調整其輸出口之壓力與引導口之壓力一致。又，因為可以較小之壓力驅動精密調節器65之閥門，所以引導口被施加過濾器調節器62之出口壓作為背壓。精密調節器65之輸出口連接於空氣槽66。

精密調節器65即使於空氣從輸入口流入輸出口時，仍可將輸出口之靜壓精密地控制成引導口之壓力。因此，藉由將空氣不致從輸入口流入輸出口之電動氣體調節器64的輸出口連接於精密調節器65之引導口，可將空氣槽66及空氣彈簧61之內壓精密地控制成希望的壓力。而後，藉由控制提供給空氣彈簧61之內壓，可對工件W施加希望之壓縮靜荷重。而後，在該狀態下，藉由使直流電流流入固定線圈52(第三圖)，且使交流電流流入可移動線圈51，可邊施加靜荷重邊使工件W振動。

在此，使工件W振動時，與可移動部20連結之空氣彈簧61的容積亦變動。但是，因為空氣彈簧61連接有對空氣彈簧61來說容積充分大的空氣槽66，所以即使空氣彈簧61之容積有若干變動，空氣彈簧61之內壓幾乎不變化，而可對工件W持續施加概略一定之靜荷重。

又，氣壓開關63係用於檢測過濾器調節器62之出口壓是否為指定之設定壓以下的開關。過濾器調節器62之出口壓係設定壓以下時，氣壓開關63接通，而傳送 信號至控制器2(後述)。在氣壓開關63為接通的狀況下，可能由於空氣源S之出口壓降低或是配管發生空氣洩漏等原因，而使過濾器調節器62之出口壓降低，而無法確保空氣彈簧61之內壓充分地高。因而，控制器2檢測出在使工件W振動中氣壓開關63係接通時，控制器2強制性停止工件W之振動。

其次，就本實施形態之電動型振動測試裝置1的控制作說明。第七圖係本實施形態之電動型振動測試裝置1的方塊圖。如第七圖所示，電動型振動測試裝置1具有：控制器2、電源3及放大器4。電源3供給直流電流至固定線圈52，而使可移動線圈51之周圍產生直流磁場。又，放大器4從電源3接受電力之供給，產生交流電流，並將其供給至可移動線圈51。控制器2可控制放大器4，從放大器4輸出具希望之振幅及頻率的交流電流。

又，如前述，藉由測力器33計測工件W之荷重，控制器2依據測力器33之計測結果，反饋控制電動氣體調節器64之輸出口側的壓力。藉由該反饋控制可將希望之靜荷重施加於工件W。又，控制器2依據設於工作台31之加速度感測器35(第三圖)的檢測結果，可反饋控制工作台之位移、速度、加速度振幅。另外，亦可使用計測位移或速度之其他感測器，來取代加速度感測器35。

又，如前述，因為可藉由將工件W夾在空氣彈簧61與反作用力板13b之間，而在工件W上施加靜荷重，所以要求反作用力板13b即使從空氣彈簧61經由工件W而受到大荷重仍不致移位或變形。因而，反作用力框架13需要充分高之強度及剛性。因而，如第一圖所示，在由反作用力框架13之側板13a與反作用力板13b所形成之角落，及由底板13c與側板13a所形成之角落分別焊接補強用肋條13d及13e。

在本實施形態中，如前述，因為藉由空氣彈簧61而在可移動部20上施加較大之荷重，所以工作台31係藉由線性引導機構40引導，使工作台31不致傾倒，且可順利地在垂直方向移動。就線性引導機構40於以下說明。

如第一圖至第三圖所示，線性引導機構40具有固定於固定部10之筒狀體12上面的框架部41。框架部41係以L字狀組合以螺栓固定於筒狀體12的底板41b與側板41a而焊接成的構件。又，為了使框架部41之剛性及強度提高，而在由底板41b與側板41a形成之角落形成肋條41c。

又，線性引導機構40進一步具有：固定於側板41a並伸展於垂直方向的軌條44；及藉由活動塊安裝構件42而固定於工作台31的活動塊46。活動塊46與軌條44卡合，與活動塊46成為一體之工作台31可沿著軌條44而順利地移動。

另外，在本實施形態中，如第二圖所示，在將垂直方向作為中心之圓周上，約每90度設有一個由框架部41、軌條44及活動塊46構成之組，合計設有四組，藉由該四組可從四個方向引導工作台31。

其次，就本實施形態之線性引導機構40的軌條44及活動塊46(第二圖)的構成，使用圖式詳細地說明。第五圖係在垂直於軌條44之長軸方向的一面(亦即水平面)切斷軌條44及活動塊46畫出之剖面圖。第六圖係第五圖之II-II剖面圖。如第五圖及第六圖所示，在活動塊46以包圍軌條44之方式而形成有凹部，在該凹部形成有延伸於軌條44之軸方向的四條溝46a、46a’。在該溝46a、46a’中收納許多不銹鋼製的滾珠46b。在軌條44中，在與活動塊46之溝46a、46a’相對的位置分別設有溝44a、44a’，滾珠46b夾在溝46a與溝44a，或是溝46a’與溝44a’之間。溝46a、46a’、44a、44a’之剖面形狀係圓弧狀，其曲率半徑與滾珠46b之半徑概略相等。因而，滾珠46b係在幾乎無游隙之狀態下密合於溝46a、46a’、44a、44a’。

在活動塊46之內部，設置與溝46a各自概略平行的四條滾珠避開路徑46c、46c’。如第六圖所示，溝46a與避開路徑46c在各自之兩端藉由U字形路徑46d而連接，並藉由溝46a、溝44a、避開路徑46c及U字形路徑46d而形成用於使滾珠46b循環之循環路徑。亦可藉由溝46a’、溝44a’及避開路徑46c’而形成同樣之循環路徑。

因而，活動塊46相對軌條44移動時，許多滾珠46b係邊在溝46a、46a’、44a、44a’中轉動邊在循環路徑中循環。因而，即使在軌條軸方向以外之方向有施加大荷重，由於可以許多滾珠支撐活動塊，並且藉由滾珠46b轉動，使軌條軸方向之阻力保持小，因此可使活動塊46相對軌條44順利地移動。另外，避開路徑46c及U字形路徑46d之內徑比滾珠46b之直徑稍大。因而，產生於避開路徑46c及U字形路徑46d與滾珠46b之間的摩擦力極小，藉此不致妨礙滾珠46b之循環。

如圖示，夾在溝46a與44a間之二列滾珠46b之列形成接觸角概略為±45°之正面組合型的角接觸球軸承(Angular Contact Ball Bearing)。此時所謂接觸角，係溝46a及44a與滾珠46b接觸之各接觸點的連線相對線性引導器之徑向方向(係從活動塊朝向軌條之方向，且為第五圖中之下方向)所形成的角度。如此形成之角接觸球軸承可支撐反徑向方向(從軌條朝向活動塊之方向，且為第五圖中之上方向)及橫方向(與徑向方向及活動塊之進退方向兩者正交之方向，且為第五圖中之左右方向)的荷重。

同樣地，夾在溝46a’與44a’間之二列滾珠46b之列形成接觸角(溝46a’及44a’與滾珠46b接觸之各接觸點的連線相對線性引導器之反徑向方向所形成的角度)概略為±45°之正面組合型的角接觸球軸承。該角接觸球軸承可支撐徑向方向及橫方向的荷重。

又，分別夾在溝46a與44a之一方(圖中左側)以及溝46a’與44a’之一方(圖中左側)的二列滾珠46b之列，亦是形成正面組合型之角接觸球軸承。同樣地，分別夾在溝46a與44a之另一方(圖中右側)以及溝46a’與44a’之另一方(圖中右側)的二列滾珠46b之列，亦是形成正面組合型之角接觸球軸承。

如此，在本實施形態中，對分別作用於徑向方向、反徑向方向及橫方向之荷重是由具有許多滾珠46b之正面組合型的角接觸球軸承來支撐，因而可充分支撐施加於軌條軸方向以外之方向的大荷重。

1．．．電動型振動測試裝置

2．．．控制器

3．．．電源

4．．．放大器

10．．．固定部

11．．．框架

12．．．筒狀體

12a．．．凹部

13．．．反作用力框架

13a．．．側板

13b．．．反作用力板

13c．．．底板

13d．．．補強用肋條

13e．．．補強用肋條

14．．．軸

15．．．內側磁極

20．．．可移動部

21．．．頂板

22．．．可移動框架

23．．．連結桿

24．．．樑

25．．．軸承

26．．．桿

27．．．可移動線圈保持構件

31．．．工作台

32．．．工件保持構件

33．．．測力器

34．．．間隔物

35．．．加速度感測器

40．．．線性引導機構

41．．．框架部

41a．．．側板

41b．．．底板

41c．．．肋條

42．．．活動塊安裝構件

44．．．軌條

44a．．．溝

44a’．．．溝

46．．．活動塊

46a．．．溝

46a’．．．溝

46b．．．滾珠

46c．．．滾珠避開路徑

46c’．．．滾珠避開路徑

46d．．．U字形路徑

51．．．可移動線圈

52．．．固定線圈

60．．．內壓控制機構

61．．．空氣彈簧

62．．．過濾器調節器

63．．．氣壓開關

64．．．電動氣體調節器

65．．．精密調節器

66．．．空氣槽

B．．．基座

S．．．空氣源

W．．．工件

第一圖係本發明之實施形態的電動型振動測試裝置之前視圖。

第二圖係本發明之實施形態的電動型振動測試裝置之俯視圖。

第三圖係第二圖之I-I剖面圖。

第四圖係顯示本發明之實施形態的電動型振動測試裝置之內壓控制機構的氣壓迴路。

第五圖係在本發明之實施形態的電動型振動測試裝置中，將活動塊及軌條在垂直於軌條之長軸方向的一個面切斷畫出之剖面圖。

第六圖係第五圖之II-II剖面圖。

第七圖係本發明之實施形態的電動型振動測試裝置之方塊圖。

1．．．電動型振動測試裝置

10．．．固定部

11．．．框架

12．．．筒狀體

12a．．．凹部

13．．．反作用力框架

13a．．．側板

13b．．．反作用力板

13c．．．底板

13e．．．補強用肋條

14．．．軸

15．．．內側磁極

20．．．可移動部

21．．．頂板

22．．．可移動框架

23．．．連結桿

24．．．樑

25．．．軸承

26．．．桿

27．．．可移動線圈保持構件

31．．．工作台

32．．．工件保持構件

33．．．測力器

34．．．間隔物

35．．．加速度感測器

40．．．線性引導機構

41．．．框架部

41a．．．側板

41b．．．底板

41c．．．肋條

42．．．活動塊安裝構件

44．．．軌條

46．．．活動塊

51．．．可移動線圈

52．．．固定線圈

61．．．空氣彈簧

W．．．工件

Claims (7)

1. 一種電動型振動測試裝置，係邊對受檢體施加指定方向之壓縮靜荷重，邊對前述受檢體在前述指定方向施加振動，其特徵為：具有：固定部，其係固定於基座；可移動部，其係可相對前述固定部在前述指定方向往返移動；電動型驅動手段，其係施加動荷重以在前述指定方向驅動前述可移動部；反作用力板，其係安裝於前述固定部，以將前述受檢體夾在與前述可移動部之間；空氣彈簧，其係透過前述可移動部對前述受檢體施加指定之前述壓縮靜荷重；及空氣壓控制手段，其係控制前述空氣彈簧之空氣壓，以使前述指定之壓縮靜荷重施加於前述受檢體；前述空氣壓控制手段具備：空氣槽，其係與前述空氣彈簧連接，並且比該空氣彈簧容積充分大；空氣供給手段，其係將壓力經控制的空氣供給到前述空氣槽；荷重計測手段，其係計測施加於前述受檢體之荷重；及控制手段，其係依據前述荷重計測手段之計測結果，反饋控制前述空氣供給手段所供給的空氣壓。
2. 如申請專利範圍第1項之電動型振動測試裝置，其中 前述指定方向係垂直方向，前述空氣彈簧配置於前述可移動部之下方，支撐前述可移動部及前述受檢體之重量。
3. 如申請專利範圍第1或2項之電動型振動測試裝置，其中前述空氣供給手段具備：空氣源，其係供給空氣；調節手段，其係根據前述控制手段之控制來調整前述空氣源所供給之空氣之壓力；前述調節手段具有：電動氣體調節器，其係將輸入口連接於前述空氣源側；及精密調節器，其係將輸入口連接於前述空氣源側，並且將輸出口連接於前述空氣槽；藉由前述電動氣體調節器之輸出口的空氣壓，而控制前述精密調節器之輸出口的空氣壓。
4. 如申請專利範圍第3項之電動型振動測試裝置，其中前述調節手段在前述電動氣體調節器及前述精密調節器之輸入口與前述空氣源之間，進一步具有前段調節器，其係用於將輸入於該電動氣體調節器及該精密調節器之輸入口的空氣壓力概略保持一定。
5. 如申請專利範圍第1項之電動型振動測試裝置，其中進一步具有：線性引導器，其係用於將前述可移動部之移動方向僅限制於前述指定方向。
6. 如申請專利範圍第5項之電動型振動測試裝置，其中前述線性引導器具有：軌條，其係固定於前述可移動部與固定部之一 方；及活動塊，其係固定於前述可移動部與固定部之另一方，並且與前述軌條卡合，而可沿著該軌條移動。
7. 如申請專利範圍第6項之電動型振動測試裝置，其中前述線性引導器具有複數個由前述軌條及活動塊構成之組，這些由前述軌條與活動塊構成之組概略等間隔地配置於將前述工作台之中心作為中心的圓周上。