JP5608168B2 - 構成部品を超音波検査するための方法及び装置 - Google Patents

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Description

本発明は、平坦な構成部品の表面(X−Z平面)からX−Z平面を横切って突出し、好ましくは縦桁としてZ方向に移動するバンド形状の構成部品部分(component section)を局部水浸法によって超音波検査するための方法であって、検査する構成部品部分を横切ってX方向に、移動可能な位置に柔軟に取り付けられ、予めばね付勢されて動力駆動される、構成部品部分にぴったりフィットするテストヘッドを有するテストヘッドアセンブリが、自動作動ハンドリング装置によって構成部品部分に沿って移動する方法、並びに、縦の補剛桁として、平坦な構成部品の表面(X−Z方向)からX−Z平面を横切って突出し、Y方向に延び、Z方向に走るベルト形状の構成部品部分を局部水浸法によって超音波検査するための方法を実施するための装置であって、ポータルロボットなどの自動駆動ハンドリング装置によって保持装置を介して接続可能であり、構成部品部分に沿って移動することができるテストヘッドを有するテストヘッドアセンブリを備える装置に関する。
米国特許第2007/0044563A号に記載されている前述のタイプの装置並びに方法。この装置は、1つ又は複数の線形超音波センサを記録するように設計されたセンサホルダを備える。この装置は、検査する平坦な構成部品上のローラ上にあり、検査するバンド形状の構成部品部分に沿ってオペレータによってガイドされる。超音波センサは、検査する表面に平行に、又は本質的に平行に配置することができ、それによって検査する表面までの距離を調整ねじによって調整することができる。
米国特許第7,464,596B号には、プロファイル、例えばUプロファイルを超音波検査するための装置が記載されている。この装置は、2つのセンサホルダを備え、そのうちの少なくとも1つのセンサホルダが、検査するプロファイルの振動を平衡することができるように、ガイドレールに沿って、移動可能な位置に取り付けられる。
T又はダブルTプロファイルなどの積層構造を検査するための超音波センサは、米国特許第US4,848,159B号から知られる。この装置は、具体的には、積層構造の半径領域及び周囲領域におけるエラーを検出するように設計される。センサは、検査する部分に関連する調整された動きを保証するようなやり方で取り付けられた多くのスライダを備える。
ホルダは、多数の超音波変換器を備える。
超音波によって複雑な表面輪郭を有する構成部品を検査するための方法及び装置が、ドイツ特許第103 49 948B号に記載されている。このプロセスでは、テストヘッドは、多軸マニピュレータによって、検査する構成部品の表面に平行に、離れて、空間曲線に沿って移動する。それによって、マニピュレータの軸駆動装置が、予め決められた支持点に沿って同期して移動し、トリガ駆動装置が、表面輪郭を再現する予め決められた表面線に従って、軸駆動装置と共に、及び動作中の全ての軸駆動装置と共に制御されて、同期して移動する。国際特許第03/065788A号は、音響顕微鏡検査のための方法及び装置に関する。このシステムは、コントローラ、及び検査対象物上に取外し可能に取り付けられた「ジグ」を備える。「ジグ」は、音響変換器の位置を制御するコントローラに接続された音響変換器を備える。「ジグ」は、対象物のスキャン部分の輪郭を補償するために、コントローラが音響変換器を対象物の上方に移動し、スキャン中に対象物の位置を調整することができるようにするやり方で調整される。
飛行機構造構成部品を超音波検査するための必要条件は特に高い。大きな領域の外壁を検査する必要があるだけでなく、好ましくは、構成部品の内側領域に取り付けられている、いわゆる縦の補剛桁(縦桁:stringer)も超音波検査を受けなければならない。縦の補剛桁は、別の構造要素に組み込む前に別個に検査することができる場合もある。
航空機製造にファイバ複合材料を導入することによって、大きな表面の構成部品を、直接、統合された縦の補剛桁(縦桁)の助けを借りて、製造することも可能であるが、その結果、大きな表面の構成部品は最終状態で、すなわち統合ユニットとして検査しなければならない。
超音波検査にとっての特別な課題は、縦の補剛桁(縦桁)と構造要素の補剛された表面との間の移行領域である。この移行は、「足」と呼ばれ、この移行領域は多くの場合アクセスするのが難しいので、超音波検査に特有の課題を提起する。
この移行領域並びに縦桁自体を十分に検査することを保証するために、5mより長い範囲において縦桁の縦の延長部分によって1mm未満の範囲で移行領域及び/又は縦桁のプロファイルの輪郭変化及び勾配変化を正確に追跡制御することが必要である。
上記の必要条件に基づいて、自動検査は難しい幾何学的及び空間的特徴のために非常に高価で複雑な、非常に精密なテストヘッドホルダ及びガイドを必要とするので、構成部品のこのタイプの超音波検査はこれまで手動検査によって行われていた。
米国特許第2006/243051A1号
この状況から進んで、本発明は、簡単な実施形態で且つ高速で実施することができるように設計されるべき前述のタイプの方法及び装置に基づく。
問題は、本発明によって、とりわけ、テストヘッドアセンブリがテストヘッドを受けるテストヘッドホルダ並びにカウンタホルダを有し、その結果、テストヘッドホルダ及びカウンタホルダが、その第1の閉位置から第2の開位置への移動を作動要素によって制御され、その結果、テストヘッドアセンブリが、ハンドリング装置によって、検査する構成部品部分の上方に配置され、テストヘッドホルダ並びにカウンタホルダが、閉位置に対する確認要素によって制御され、この閉位置ではテストヘッドホルダ及びカウンタホルダが構成部品部分の側面で力を受ける位置にあり、次いで、テストヘッドアセンブリが、構成部品及び/又は構成部品部分のコースを記載した予めセットされたデータセットに従って、そのコースに沿って、検査する構成部品部分へ縦方向に完全に自動的に移動され、構成部品部分及び/又は平坦な構成部品の輪郭変化が、少なくともX及びY方向に縦に浮動することによって移動することができ、好ましくはZ方向に走る軸を中心に回転して移動することができる、取り付けられたテストヘッドアセンブリによって平衡されるようなやり方で解決される。
本発明によるこの方法は、ハンドリング機械によって移動されるテストヘッドホルダ及び/又はテストヘッドが、構成部品及び/又は構成部品部分に関して複数のレベルの自由度で移動可能な位置にサスペンドされる状況を実現する。このようにして、テストヘッドは構成部品又は構成部品部分の最少のコース変更又は輪郭変化をフォローすればよく、ハンドリング機械は対応する補正動作を行う必要がない。
装置の時間のかかるセットアップが排除され、手動検査に比べて非常に速い再現可能な自動検査が実現される。
制御が軽減されるので、検査は全体としてより速く行うことができる。テストヘッドホルダ及びカウンタホルダとしてのテストヘッドアセンブリを実装することによって、ブラケットのような構成が実現され、その構成によってテストヘッドが、検査する構成部品の側面に常に接触している。
好ましい手順によれば、テストヘッドホルダとカウンタホルダとの間に形成され、構成部品部分のほうに向けられた中間空間が、テストヘッドホルダから流れてくる水で完全にあふれる。
他の好ましい手順は、テストヘッドホルダとカウンタホルダとの間に形成され、構成部品部分のほうに向けられた中間空間が、テストヘッドホルダから流れてくる水で完全にあふれることを特徴とする。
この手順によって、局部水浸法(local immersion technique)が実施される。検査する構成部品の高さの変化を補償するために、テストヘッドアセンブリは、重力平衡装置によってガイドされる。テストヘッドによって取得された測定値は、好ましくは、振幅−実行時間局所曲線法(ALOK法)及び/又は標準クリアランス評価によって記録され、評価される。一方ではテストヘッドアセンブリの、他方では重力平衡装置によるサスペンションの特別の実施のおかげで、検査速度は、縦方向に、100mm/秒から500mm/秒までの範囲、好ましくは200mm/秒で可能である。
さらに、本発明は、縦の補剛桁(stiffening girder)(縦桁)として、Y方向に延び、Z方向に走る平坦な構成部品の表面(X−Z方向)から突出するバンド形状の構成部品部分を局部水浸法によって超音波検査するための装置であって、ポータルロボットなどのハンドリング機械によって保持装置を介して接続可能であり、構成部品部分に沿って移動することができるテストヘッドを有するテストヘッドアセンブリを備える装置に関する。
そのような装置は、テストヘッドアセンブリが、縦方向に浮動し、Z方向に走る軸を中心に回転運動を行うことにより、Y方向に移動する保持装置によって保持装置においてサスペンドされること、テストヘッドアセンブリが、テストヘッドを受けるテストヘッドホルダ並びにカウンタホルダを有し、テストヘッドホルダ及びカウンタホルダが、構成部品部分を横切ってX方向に走るガイドレールに沿って浮動可能に取り付けられ、構成部品部分の側面において力を受ける位置にあること、及び、テストヘッドホルダ及びカウンタホルダが確認要素によって相互に接続され、第1の閉位置及び第2の開位置から制御されることが可能であることを特徴とする。好ましくは、テストヘッドアセンブリ及び/又はガイドレールは、Z方向に走る軸を中心に回転運動をすることを可能にするように取り付けるべきである。
テストヘッドが、常に、検査する構成部品部分の側面上にあることを保証するために、テストヘッドアセンブリが、テストヘッドを受ける1つのテストヘッドホルダ並びにカウンタホルダを有すること、テストヘッドホルダ並びにカウンタホルダが、移動している又は浮動している状態で構成部品部分を横切ってX方向に走るガイドレールに沿ってサスペンドされ、構成部品部分の1つの側面上に予めばね付勢された位置にあることが、保証される。ガイドレールは、Z方向に走る軸を中心に回転運動をすることができるように取り付けられる。
さらに、テストヘッドアセンブリは、好ましくは浮動位置において、重力平衡装置として構築された保持装置の上方でY方向に高く移動するのをサスペンドすることができる。
空気圧シリンダなどの作動要素が、カウンタホルダ及びテストヘッドホルダを制御するために提供される。
テストヘッドホルダが、予めばね付勢されたやり方で、検査する構成部品の側面上にあるように、テストヘッドホルダ及びカウンタホルダは、引張ばねなどのばね要素によって相互に結合される。
テストヘッドホルダ及びカウンタホルダの端部位置は、近接スイッチなどの端部スイッチによって記録される。
この装置の他の好ましい実装形態は、テストヘッドホルダ及びカウンタホルダがそれぞれ、構成部品部分の側面に密着したスライド板を有し、テストヘッドホルダのスライド板が、Y方向に延びる、上面に穴を有するスリットのような開口部を有し、スリットのような開口部の高さ寸法(Y方向)は、構成部品部分の高さより大きいこと、及び、カウンタホルダのスライド板がY方向に走る溝を有することを特徴とする。
ここで、スライド板又はスライド要素は、プラスチック製である。
検査する構成部品に沿ったテストヘッドアセンブリの移動を簡単にするために、テストヘッドホルダは、その底面に、検査する構成部品を支持及びガイドするために、ローラなどの支持及びガイド要素を有する。
好ましくは、テストヘッドホルダは、スライド板によって覆われた水室を構築するフライス溝を有する立方形のベースボディ、好ましくは金属製のベースボディを有し、スライド板の反対側の壁の1つにおいて、テストヘッドを受けるための凹部が構築され、ベースボディの側壁に、水室につながる取入れ口が取り付けられる。
本発明のさらなる詳細、利点、及び特徴は、特許請求の範囲、利用可能な特徴から―個々に、及び/又は組み合わせて―と、利用可能な好ましい実施形態の図の以下の説明からとの両方から得ることができる。
構成部品を超音波検査するための装置の図である。 テストヘッドアセンブリの左からの斜視図である。 図2によるテストヘッドアセンブリの右側からの斜視図である。 テストヘッドアセンブリの正面図である。 テストヘッドアセンブリの側面図である。 テストヘッドアセンブリの背面図である。 テストヘッドアセンブリの上面図である。 テストヘッドの横断面図である。
図1は、図1に示すように、直交デカルト座標系の中で、平坦な構成部品14のX−Z平面(X−Z方向)にある表面からY方向に延びる縦桁などの構成部品部分12を超音波検査するための装置を示す。本出願では、X軸、Y軸、及びZ軸に関する図1におけるデータを考慮する。検査は、局部水浸法を使用することにより行う。装置10は、縦桁12に沿ってポータルロボット(図示せず)などのハンドリング機械を有する重力平衡装置としての保持装置18によって移動することができるテストヘッドアセンブリ16を備える。テストヘッドアセンブリ16を図2から8に詳細に示す。テストヘッドアセンブリ16は、スライド位置に取り付け、それぞれX方向に、すなわち縦桁12の縦の延長部分を横切ってガイドレールに沿ってガイド要素24、26によって移動することができるテストヘッドホルダ20並びにカウンタホルダ22を備える。空気圧シリンダ30などの作動要素は、作動棒32によってテストヘッドホルダ20に結合されたカウンタホルダ22上に固定される。空気圧シリンダ30によって、テストヘッドホルダ20並びにカウンタホルダ22は、第1の閉位置から第2の開位置に操向することができる。テストヘッドホルダ20並びにカウンタホルダ22はそれぞれ、相互に及び縦桁12の側面34、36に平行に、又は本質的に平行に移動することができるスライド板形状のスライド要素38、40を有する。第2の開位置では、スライド板38、40は、側面34、36からある一定の距離に配置される。この位置では、テストヘッドアセンブリ16は、検査する構成部品部分12の上方に配置することができる。
空気圧シリンダ30を制御することにより、テストヘッドアセンブリ16は、第2の開位置から第1の閉位置に操向することができ、この第1の閉位置では、スライド板38、40が縦桁12の側面34、36に予めばね付勢されている。この目的のために、テストヘッドホルダ20及びカウンタホルダ22は、引張ばねとしてのばね要素42によって相互に結合される。テストヘッドホルダ20及びカウンタホルダ22はガイドレール28に沿ってシフト位置に配置され、ガイドレール28は、スイベル44によって重力平衡装置18の接続ブロック46と接続される。スイベル44は、テストヘッドアセンブリ16が縦桁12の縦方向(Z方向)に走る軸を中心に回転運動のスイングをすることができるようにする。重力平衡装置18によって、テストヘッドアセンブリのY方向の浮動サスペンドが実行される。前述の特徴によって、テストヘッドアセンブリ16が複数のレベルの自由度で移動することができるようにする利点が達成され、縦桁12の側面34、36に取り付けられた予めばね付勢されたホルダ20、22によって、縦桁12の輪郭変化に対する適応が行われ、ガイドレール28に沿ったホルダ20、22の浮動サスペンドによって、X方向の、すなわち縦桁12の縦の延長部分を横切る縦桁12のコース変化が平衡され、縦桁12の傾きの変化を回転ベアリング要素44によって平衡することができる。テストヘッドホルダ20は、好ましくは、送る要素及び受ける要素を有する位相アレイテストヘッドとしてのテストヘッド50を受けるための金属製ベースボディ48、並びにスライド板38を備える。ベースボディ48は、本質的に、水室を形成する中空の空間52を有する立方体形状で構築される。室52は、Z方向に走る水出口開口部としてのスリットのような開口部54を備えるスライド板38によってベースボディ48の1つの開いている面で覆われる。スリットのような開口部は、構成部品14のX−Z平面で走る表面に対して開き、そこにスリットのような開口部56を有する。これによって、縦桁12と、「足」と呼ばれる平坦な構成部品14との間の移行部分を位相アレイテストヘッド50によって検査することができるようになる。スライド板38と向かい合って配置されている壁58では、ベースボディ48は、テストヘッド50が取り付けられ、水室50の中のスライド板38まで延びるスリットのような開口部60を有する。本質的に右角の下で前壁58及びスライド板38まで走る側壁62、64には、水室52の中につながる水入口接続66、68が取り付けられる。
図5による側面図では、テストヘッドホルダ20の底面70には、支持及びガイド要素72をローラ要素として取り付け、これらによってテストヘッドアセンブリ16が構成部品14の表面の上方を移動することができることが分かる。
知られているように、この装置は局部水浸法によって動作する。水は、水入口66、68を通って水室52に流れ込み、次いで、縦桁12の側面34と向かい合うスリットのような開口部54に至る。Y方向のスリットのような開口部54の縦の延長部分は、縦桁12の高さより長く、その結果、超音波の適切な結合を実現するために、スリットのような開口部54から出てくる水が、カウンタホルダ22のスライド板40と側面36との間に形成された中間空間、及びスライド板38と側面34との間に形成された中間空間の両方を満たす。水のより良い分配のために、Y方向に延びる水の分配のための溝74がカウンタホルダ22のスライド板40に提供される。
カウンタホルダ22の他の特徴は、図6に示すように、フィンベース58に向かうように走ることを特徴とする。このようにして、構成部品14に関して傾斜した位置で走る縦桁12の検査も可能になる。Y方向の構成部品12の高さの違いを平衡するために、テストヘッドアセンブリ16及び重力平衡装置18は、検査する縦桁12に沿ってガイドされる。重力平衡装置18は、ポータルロボット(図示せず)などのハンドリング装置としっかり接続することができるベースプレート102を備える。相互に平行に、それらの間に一定の距離をおいて配置されるガイドシリンダ104、106は、ベースプレート102の1つの上面から延びる。ガイド棒108、110は、ガイドシリンダ104、106における軸シフト位置でベアリングサスペンドされる。第1に、ベースプレート102の下に延びるガイド棒110、108の下端部は、接続ブロック112によって相互に接続される。テストヘッドアセンブリ16が固定されているスイベル44は、接続ブロックに取り付けられる。第1に、ベースプレート102の上方に延びるガイド棒110、108の上端部120、122も、接続ブロック124によって相互に接続される。接続要素124は、第1のガイドプーリ126及び第2のガイドプーリ128(図示せず)によって導かれるクローズドベルト130と接続される。さらに、このベルトは、テストヘッド10の移動と反対にガイド棒134、136に沿ってスライドする重力カウンタウェイト132に結合される。ガイド棒134、136の端部は、第1のガイドプーリ126がガイド棒間で回転可能にそこに配置される軸によって相互に接続される。第2のガイドプーリ128は、ベースプレート102に回転可能なように取り付けられる。
さらに、ベースプレート110は、好ましくはガイド棒110、108の間に、空気圧シリンダ138を有し、空気圧シリンダ138のピストンロッド140は、作動位置でテストヘッド10を調節するために、接続ブロック112と接続される。
具体的には、平坦な構成部品14の縦桁12の検査のための方法は、テストヘッドホルダ20及びカウンタホルダ22が第1に構成部品部分12の上方の開位置に配置されることを特徴とする。テストヘッドホルダ20並びにカウンタホルダ22の端部位置をチェックするリミットスイッチに問い合わせることにより安全チェックをした後に、水入口が開き、テストヘッドアセンブリ16が、構成部品部分12の上方でハンドリングマシンによって取り換えられる。
空気圧シリンダを制御することにより、テストヘッドホルダ20及びカウンタホルダ22が閉位置に操向され、その結果、ホルダ20、22は、側面34、36上に予めばね付勢されて取り付けられる。
次に、テストヘッドアセンブリが縦桁12に沿った方向(Z方向)に移動され、測定値が取られ、超音波検査が、好ましくは振幅−実行時間局所曲線法(ALOK法)を使用することにより、及び/又は代替として標準クリアランス評価と組み合わされて、行われる。
10 装置、テストヘッド
12 縦桁、構成部品部分
14 平坦な構成部品
16 テストヘッドアセンブリ
18 保持装置、重力平衡装置
20 テストヘッドホルダ
22 カウンタホルダ
24 ガイド要素
26 ガイド要素
28 ガイドレール
30 作動要素、空気圧シリンダ
32 作動棒
34 縦桁の側面
36 縦桁の側面
38 スライド要素、スライド板
40 スライド要素、スライド板
42 ばね要素
44 スイベル、回転ベアリング要素
46 接続ブロック
48 金属製ベースボディ
50 テストヘッド、位相アレイテストヘッド
52 中空の空間、室
54 開口部
56 開口部
58 壁、前壁、フィンベース
60 開口部、凹部
62 側壁
64 側壁
66 水入口接続、水入口
68 水入口接続、水入口
70 底面
72 支持及びガイド要素、保護及びガイド要素、ローラ
74 溝
102 ベースプレート
104 ガイドシリンダ
106 ガイドシリンダ
108 ガイド棒
110 ガイド棒
112 接続ブロック
120 上端部
122 上端部
124 接続要素
126 第1のガイドプーリ
128 第2のガイドプーリ
130 クローズドベルト
132 重力カウンタウェイト
134 ガイド棒
136 ガイド棒
138 空気圧シリンダ
140 ピストンロッド
142 リミットスイッチ
144 リミットスイッチ

Claims (17)

  1. Y方向に縦走する保持装置(18)によって浮動して移動するように取り付けられたテストヘッドアセンブリ(16)を備える装置によって、平坦な構成部品(14)の縦桁構成部品部分(12)を局部水浸法によって超音波検査するための方法であって、
    前記テストヘッドアセンブリ(16)は、テストヘッドホルダ(20)及びカウンタホルダ(22)を備え、
    前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)が、縦桁構成部品部分(12)を横切ってX方向に走るガイドレール(28)に沿って浮動可能に取り付けられ、
    前記方法が、
    前記テストヘッドアセンブリ(16)がハンドリング装置によって検査する前記縦桁構成部品部分(12)の上方に配置されるように、前記テストヘッドホルダ(20)及びカウンタホルダ(22)を作動要素(30)によって閉位置から開位置に操向するステップと、
    前記テストヘッドホルダ(20)及びカウンタホルダ(22)を前記作動要素(30)によって開位置から閉位置に操向され、前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)が前記縦桁構成部品部分(12)の側面(34、36)に加えられた力によってフィットするステップと、
    前記テストヘッドアセンブリ(16)が、前記平坦な構成部品(14)および前記縦桁構成部品部分(12)うちの少なくとも1つのコースを記載した予めセットされたデータセットにしたがって、前記縦桁構成部品部分(12)を完全に自動的に縦方向に移動するステップと、
    を含み、
    前記平坦な構成部品(14)および前記縦桁構成部品部分(12)うちの少なくとも1つの輪郭変化が、X及びY方向に移動する前記テストヘッドホルダ(20)及びカウンタホルダ(22)によって平衡される、
    方法。
  2. 前記テストヘッドアセンブリ(16)が、Z方向に走る軸を中心に回転運動をすることができるように取り付けられる、請求項1に記載の方法。
  3. 前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)が、空気圧システムによって前記開位置に操向され、ばねの力によって前記閉位置における操向される、請求項1又は2に記載の方法。
  4. 前記テストヘッドホルダ(20)と前記カウンタホルダ(22)との間の中間空間が、前記テストヘッドホルダ(20)から流れ込む水であふれる、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
  5. 前記テストヘッドアセンブリ(16)が、重力平衡装置(18)によって移動する、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
  6. 前記テストヘッド(50)によって取られた測定値が、振幅−実行時間局所曲線法(ALOK法)及び/又は標準クリアランス評価によって記録され評価される、請求項1から5のいずれかに記載の方法。
  7. 前記テストヘッドアセンブリ(16)が、縦方向に、100mm/秒から500mm/秒までの範囲で移動する、請求項1から6のいずれかに記載の方法。
  8. Y方向に縦走する保持装置(18)によって浮動して移動するように取り付けられたテストヘッドアセンブリ(16)を備え、平坦な構成部品(14)の縦桁構成部品部分(12)を局部水浸法によって超音波検査する装置であって、
    保持装置(18)によって自動作動ハンドリング装置に接続可能で、前記自動作動ハンドリング装置によって前記縦桁構成部品部分(12)に沿って移動可能なテストヘッド(50)と、
    前記テストヘッド(50)を受けるテストヘッドホルダ(20)と、
    作動要素(30)によって前記テストヘッドホルダ(20)に結合されたカウンタホルダ(22)と、
    を備え、
    前記作動要素(30)は、前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)を閉位置から開位置に操向し、
    前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)が、前記縦桁構成部品部分(12)を横切ってX方向に走るガイドレール(28)に沿って浮動可能に取り付けられ、前記縦桁構成部品部分(12)のそれぞれの側面(34、36)に、力がかけられてフィットする、
    装置(10)。
  9. 前記テストヘッドアセンブリ(16)及び/又は前記ガイドレール(28)が、前記保持装置(18)上に取り付けられ、Z方向に走る軸を中心に回転する、請求項8に記載の装置。
  10. 前記保持装置(18)が、重力平衡装置(18)を備えることを特徴とする、請求項8又は9に記載の装置。
  11. 前記作動要素(30)が空気圧シリンダである、請求項8から10のいずれかに記載の装置。
  12. 前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)が、ばね要素(28)によって相互に結合される、請求項8から11のいずれかに記載の装置。
  13. リミットスイッチ(142、144)がそれぞれ、近接スイッチとして、前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)に割り当てられる、請求項8から12のいずれかに記載の装置。
  14. 前記テストヘッドホルダ(20)及び前記カウンタホルダ(22)が、前記縦桁構成部品部分(12)の前記側面(34、36)上にフィットするスライド板(38、40)を有し、
    前記テストヘッドホルダ(20)の前記スライド板(38)が、Y方向に延びるスリットのような開口部(54)と上面開口部(56)とを有し、
    前記スリットのような開口部(54)の前記高さの延長部分が、前記縦桁構成部品部分の高さより大きく、
    前記カウンタホルダ(22)の前記スライド板(40)がY方向に走る溝(74)を有する、
    請求項8から13のいずれかに記載の装置。
  15. 前記スライド板がプラスチック製である、請求項8から14のいずれかに記載の装置。
  16. 前記テストヘッドホルダ(20)が、前記検査する構成部品(14)を支持しガイドする保護及びガイド要素(72)を備える、請求項8から15のいずれかに記載の装置。
  17. 前記テストヘッドホルダ(20)が金属製のベースボディ(48)を有し、
    前記ベースボディ(48)が、
    前記スライド板(38)によって覆われた水室(52)を形成するフライス溝と、
    前記水室(52)の中につながる前記ベースボディ(48)の側壁(62、64)に配置された入口(66、68)と、
    を備え、
    前記水室(52)が、前記テストヘッド(50)を受けるように構成された凹部(60)を有する前記スライド板(38)の向かい側に配置された壁を備える、
    請求項8から16のいずれかに記載の装置。
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