JP2013015544A - 加振装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】被加振物に所定方向の静荷重を加えながら加振可能なコンパクトな加振装置を提供する。
【解決手段】ベースに固定された固定部と、固定部に対して所定方向に往復移動可能な可動部と、可動部に動荷重を加えて所定方向に駆動する駆動手段と、固定部に取り付けられ、可動部との間で被加振物を挟み込む反力板と、可動部を介して被加振物に所定の圧縮静荷重を加える空気ばねと、被加振物に所定の圧縮静荷重が加わるように空気ばねのエア圧を制御するエア圧制御手段を備える。
【選択図】図3

Description

本発明は、被加振物に静荷重を加えながら加振する加振装置に関する。
従来、特許文献1に記載のもののような、テーブル及びその上に固定された被検体を所定方向(例えば上下方向)に加振する動電型振動試験装置が広く利用されている。動電型振動試験装置は、テーブルが固定される可動部に取り付けられた可動コイルを直流磁界中に配置したものである。可動コイルに電流を流すと、可動コイルにはコイル軸方向に働くローレンツ力が加わる。このローレンツ力によって、可動部を可動コイルの軸方向に移動させることができる(ボイスコイルモータ)。ローレンツ力の大きさは可動コイルに加える電流の大きさに比例するため、可動コイルに変動電流を供給することによって、ローレンツ力の大きさを周期的に変動させ、テーブルを交流電流の周波数で振動させることができる。動電型振動試験装置は、上記のように、可動コイルに供給する変動電流の周期によってテーブルの振動周波数が決まるものであり、可動コイルに高周波の電流を加えることによって、特に数百〜数千ヘルツ以上の高周波数での振動試験を行うことができる。
特開2004−219196号公報
上記構成の動電型振動試験装置においては、可動部、テーブル及び被検体を浮上させるための静荷重(すなわち、可動部及び被検体の重量とつりあう静荷重)に、可動部を振動するための変動荷重を合成した荷重に対応するローレンツ力を生成する必要がある。このようなローレンツ力を生成するためには、静荷重に対応した直流成分と、変動荷重に対応した交流成分とを合成した電流を可動コイルに加える必要がある。
前述のように、動電型振動試験装置は、高周波での振動試験に適している。高周波での振動試験を必要とされる被検体としては、エンジンマウントやエンジン用の防振ゴムなどがある。このような被検体は、エンジンの荷重が加わった状態で使用されるため、一定の静荷重を加えた状態で振動試験を行うことが望ましい。動電型振動試験装置にて被検体に静荷重を加えるには、例えば、テーブル上の被検体を上から押さえつけて静荷重を加える構成などが考えられる。
このように、被検体に大きな静荷重を加えながら振動試験を行う場合、可動部、テーブル及び被検体の重量に加えて上記静荷重をもローレンツ力で支える必要がある。このため、大きな静荷重を被検体に加えながら振動試験を行う場合は、可動コイルに流す電流の直流成分を大きくする必要がある。このような構成を実現するためには、複雑且つ大型の電源回路を必要とし、また、可動コイルもまた大電流に耐えられるように大型化する必要がある。すなわち、動電型振動試験装置において被検体に静荷重を加えながら加振を行おうとすると、被検体の寸法や振動の振幅に比べて振動試験装置の寸法・重量や消費電力が極めて大きくなる。このため、動電型振動試験装置によって被検体に静荷重を加えながら振動試験を行うことは非現実的であり、事実上不可能であった。
本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、被加振物に静荷重を加えながら加振可能なコンパクトな加振装置を提供することを目的とする。
本発明の一実施形態による加振装置は、ベースに固定された固定部と、固定部に対して所定方向に往復移動可能な可動部と、可動部に動荷重を加えて所定方向に駆動する駆動手段と、固定部に取り付けられ、可動部との間で被加振物を挟み込む反力板と、可動部を介して被加振物に所定の圧縮静荷重を加える空気ばねと、被加振物に所定の圧縮静荷重が加わるように空気ばねのエア圧を制御するエア圧制御手段と、を備える。
このように、本発明の一実施形態においては、空気ばねにて可動部に所定方向の荷重を加えることによって、可動部と反力板との間で被加振物に圧縮静荷重を加えることができる。従って、本発明の一実施形態によれば、駆動手段を大型化することなく、被加振物に静荷重を加えながら加振可能な加振装置が実現する。また、空気ばね内のエア圧を制御することにより、被加振物に加える静荷重の大きさを調整することができる。
また、上記の加振装置において、エア圧制御手段が、加振物に加わる荷重を計測する荷重計測手段と、荷重計測手段の計測結果に基づいて空気ばねのエア圧をフィードバック制御する制御手段と、を備えた構成としてもよい。
この構成によれば、所望の大きさの静荷重を正確に被加振物に加えることができる。
また、上記の加振装置において、エア圧制御手段が、空気ばねに圧力が制御されたエアを供給するエア供給手段を備え、制御手段が、荷重計測手段の計測結果に基づいて、エア供給手段が供給するエア圧をフィードバック制御する構成としてもよい。
また、上記の加振装置において、エア圧制御手段が空気ばねに接続されたエアタンクを備え、圧力が制御されたエアがエアタンクを介して空気ばねに供給される構成としてもよい。
この構成によれば、大容量のエアタンクを空気ばねに接続しているため、空気ばねの容積が多少変化したとしても、その変化量は空気ばねとエアタンクを合わせた容積に対しては微小なものである。従って、駆動部で可動部を振動させたとしても、空気ばねの内圧はほとんど変化せず、一定の静荷重を被加振物に加え続けることが可能である。
また、上記の加振装置において、エア圧制御手段が、エアを供給するエア源と、制御手段の制御に基づいてエア源が供給するエアの圧力を調整するレギュレータ手段と、を備え、レギュレータ手段が、入力ポートがエア源側に接続されている電空レギュレータと、入力ポートがエア源側に接続され且つ出力ポートがエアタンクに接続されている精密レギュレータとを備え、電空レギュレータの出力ポートのエア圧によって精密レギュレータの出力ポートのエア圧が制御されるように構成されていてもよい。
電空レギュレータは、出力ポートのエア圧をコンピュータ等の電子機器から容易に制御可能であり、一方、精密レギュレータは、入力ポートから出力ポートに大流量のエアが流れる場合であってもパイロットポートに入力されるエア圧に基づいて出力ポートのエア圧を精密に制御可能である。従って、本発明の一実施形態のようにこのエア圧を大流量であってもエア圧力を精密に制御できる精密レギュレータの出力ポートの圧力とすることによって、エアタンク及び空気ばね内のエア圧を精密に制御することができる。
また、上記の加振装置において、電空レギュレータ及び精密レギュレータの入力ポートとエア源との間に、電空レギュレータ及び精密レギュレータの入力ポートに入力されるエアの圧力を略一定に保つための前段レギュレータを備えた構成としてもよい。
また、上記の加振装置において、所定方向が鉛直方向であり、空気ばねが、可動部の下方に配置され、可動部及び加振物の重量を支持する構成としてもよい。
また、上記の加振装置において、可動部の移動方向を所定方向のみに規制するためのリニアガイドを更に備える構成としてもよい。
また、上記の加振装置において、リニアガイドが、可動部と固定部の一方に固定されたレールと、他方に固定されると共にレールと係合しレールに沿って移動可能なランナーブロックとを備える構成としてもよい。
また、上記の加振装置において、リニアガイドが、レール及びランナーブロックを複数組有し、レールとランナーブロックの組は、可動部の中心を中心とする円周上に、略等間隔に配置されている構成としてもよい。
本発明の一実施形態に係る加振装置は、被加振物に圧縮静荷重を加える空気ばねを備えるため、駆動手段を大型化せずに被加振物に圧縮静荷重を加えることが可能になる。
本発明の実施の形態による動電型振動試験装置の正面図である。 本発明の実施の形態による動電型振動試験装置の上面図である。 図2のI−I断面図である。 本発明の実施の形態による動電型振動試験装置の内圧制御機構の空圧回路を示したものである。 本発明の実施の形態による動電型振動試験装置において、ランナーブロック及びレールをレールの長軸方向に垂直な一面で切断した断面図である。 図5のII−II断面図である。 本発明の実施の形態の動電型振動試験装置のブロック図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。図1及び図2は、夫々本実施形態による動電型振動試験装置の正面図及び上面図を示したものである。また、図3は、図2のI−I断面図である。
図1に示されるように、本実施形態による動電型振動試験装置1は、ベースBに固定されている固定部10と、固定部に対して鉛直方向に駆動される可動部20とを有する。可動部20の上端には、テーブル31が固定されるようになっている。テーブル31の上には、ワーク保持部材32が固定されており、このワーク保持部材32に、ワーク(被検体)Wが固定されるようになっている。すなわち、ワーク保持部材32にワークWを取り付け、次に可動部20を固定部10に対して往復運動させることによって、ワークWを振動させることができるようになっている。なお、ワーク保持部材32は、テーブル31に対して着脱自在に固定されるようになっており、ワークWの寸法や種類に応じて、適宜適切なワーク保持部材32を選択可能となっている。
固定部10は、ベースBに強固に固定されているフレーム11と、軸14を介してこのフレーム11に軸支されている筒状体12とを有する。図3に示されるように、可動部20の下部は、この筒状体12の内部に収納されている。
筒状体12の上部には、ワークWを上から押さえつけるための反力フレーム13が固定されている。反力フレーム13は、図1及び図2に示されるように、筒状体12にボルトで固定される底板13cと、底板13cの上に溶接され鉛直方向に伸びる一対の側板13aと、この一対の側板13aの上端同士を連絡するように側板13aに溶接されている反力板13bとを有する。図1に示されるように、反力板13aの底面には、スペーサ34が固定されており、このスペーサ34とワーク保持部材32とによってワークWが挟まれるようになっている。また、スペーサ34の下部にはロードセル33が取り付けられており、これによって、ワークWに加わる鉛直方向の圧縮荷重を計測することができるようになっている。スペーサ34は、反力板13bに対して着脱自在に固定されるようになっており、ワークWの寸法や種類に応じて、適宜適切なスペーサ34を選択可能となっている。
次に、可動部20を鉛直方向に駆動するための機構について、以下説明する。図3に示されるように、可動部20は、テーパ円筒形状の可動フレーム22と可動フレーム22の上端に固定されている天板21とを有する。天板21の上には、複数のバー26を介してテーブル31が固定される。
可動フレーム22の下端には、可動コイル保持部材27を介して可動コイル51が取り付けられている。可動コイル51は、可動フレーム22と略同軸に配置されている。
また、固定部10の筒状体12の内部には、筒状体12と同軸に形成された円筒形状の内側磁極15が設けられている。内側磁極15の外径は、可動コイル51の内径よりも小さくなっており、可動コイル51は内側磁極15の外周面と筒状体12の内周面との間に配置される。
筒状体12の内周面には、凹部12aが設けられており、この凹部12aの内部には、固定コイル52が取り付けられている。ここで、筒状体12及び内側磁極15は共に磁性材料から形成されており、固定コイル52に直流電流を流すと、可動コイル51の半径方向に磁界が発生するようになっている。
この状態で可動コイル51に電流を流すと、可動コイル51の軸方向、すなわち鉛直方向にローレンツ力が発生し、可動部20を鉛直方向に駆動することができる。本実施形態による振動試験装置1においては、可動コイル51に交流成分を含む電流を供給し、可動フレーム20を鉛直方向に往復運動させ、テーブル31上のワークWを鉛直方向に沿って振動させる。
本実施形態においては、空気ばね61によって、可動部20及びワークWを下から支えている。空気ばね61は、内側磁極15の中に収納されている。また、空気ばね61の上端から鉛直上方に伸びる連結バー23を介して、空気ばね61と可動フレーム22とが連結されている。図3に示されるように、連結バー23は可動フレーム22の中を通って可動フレーム22の上端に達しており、半径方向に伸びる複数本のはり24を介して、可動フレーム22の内周面と連結バー23とが連結している。
なお、符号25は、連結バー23が倒れないよう支持する軸受である。
本実施形態においては、空気ばね61は、可動部20を下から支えて可動部を所定の高さに維持するために使用される。更に、空気ばね61と反力板13cとの間でワークWが挟み込まれており、空気ばね61の内圧を上昇させることによって、ワークWに鉛直方向の圧縮荷重を加えることができる。この目的のために、本実施形態においては、空気ばね61の内圧、すなわち、空気ばね61がワークに加える荷重を制御することができるようになっている。
空気ばね61の内圧を制御するための機構について、以下説明する。図4は、本実施形態における内圧制御機構60の空圧回路を示したものである。図4に示されるように、空気ばね61はコンプレッサ等のエア源Sからエアを供給されるようになっており、エア源Sと空気ばね61との間には、フィルタレギュレータ62、精密レギュレータ65及びエアタンク66が設けられている。
フィルタレギュレータ62は、エア源Sから供給されるエアから埃や水分等を除去するとともに、その出力ポートから排出されるエアの圧力を調整する。
フィルタレギュレータ62の出力ポートには、空圧スイッチ63、電空レギュレータ64及び精密レギュレータ65が接続されている。電空レギュレータ64は、コントローラ2(後述)からの制御に応じて出力圧を調整可能なレギュレータである。電空レギュレータ64の出力ポートは、精密レギュレータ65のパイロットポートに接続されている。すなわち、電空レギュレータ64の出力ポートは精密レギュレータ65のパイロットポートによってふさがれた状態となっており、この間の管路のエアは流れずに静圧のみを精密レギュレータ65のパイロットポートに加える。
精密レギュレータ65は、パイロットポートに入力されたエアによって内部のバルブを制御することによって、その出力ポートの圧力がパイロットポートの圧力に一致するよう、精密に調整するものである。また、精密レギュレータ65のバルブを比較的小さい圧力で駆動できるようにするために、パイロットポートには、フィルタレギュレータ62の出口圧が背圧として加えられている。精密レギュレータ65の出力ポートは、エアタンク66に接続されている。
精密レギュレータ65は、入力ポートから出力ポートにエアが流れる場合であっても、出力ポートの静圧をパイロットポートの圧力に精密に制御することが可能である。従って、入力ポートから出力ポートにエアが流れない電空レギュレータ64の出力ポートを精密レギュレータ65のパイロットポートに接続することによって、エアタンク66及び空気ばね61の内圧を所望の圧力に精密に制御することができる。そして、空気ばね61に与える内圧を制御することよって、ワークWに所望の圧縮静荷重を与えることができる。そして、この状態で、固定コイル52(図3)に直流電流を流し、且つ可動コイル51に交流電流を流すことによって、静荷重を掛けながらワークWを加振することができる。
ここで、ワークWを振動させると可動部20と連結している空気ばね61の容積も変動する。しかしながら、空気ばね61には、空気ばね61に対して十分に容積の大きいエアタンク66が接続されているため、空気ばね61の容積が多少変動したとしても、空気ばね61の内圧はほとんど変化せず、略一定の静荷重をワークWに対して加え続けることができる。
また、空圧スイッチ63は、フィルタレギュレータ62の出口圧が所定の設定圧以下であるかどうかを検出するためのスイッチである。フィルタレギュレータ62の出口圧が設定圧以下である場合は、空圧スイッチ63はオンとなり、コントローラ2(後述)に信号を送る。空圧スイッチ63がオンとなるような状況においては、エア源Sの出口圧が低下している、或いは配管にエア漏れが発生するなどの原因によってフィルタレギュレータ62の出口圧が低下し、空気ばね61の内圧を十分に高く保つことができなくなる可能性がある。そのため、ワークWを加振している間に空圧スイッチ63がオンになったことコントローラ2が検出した場合は、コントローラ2はワークWの振動を強制的に停止する。
次いで、本実施形態の動電型振動試験装置1の制御について説明する。図7は、本実施形態の動電型振動試験装置1のブロック図である。図8に示されるように、動電型振動試験装置1は、コントローラ2と、電源3と、アンプ4とを有する。電源3は、固定コイル52に直流電流を供給し、可動コイル51の周囲に直流磁界を発生させる。また、アンプ4は、電源3から電力の供給を受けて交流電流を生成し、これを可動コイル51に供給する。コントローラ2はアンプ4を制御して、所望の振幅及び周波数をもった交流電流をアンプ4から出力させることが可能である。
また、前述のようにワークWの荷重はロードセル33によって計測されており、コントローラ2は、ロードセル33の計測結果に基づいて電空レギュレータ64の出力ポート側の圧力をフィードバック制御する。このフィードバック制御によって、所望の静荷重をワークWに加えることができる。また、コントローラ2は、テーブル31に設けられた加速度センサ35(図3)の検出結果に基づいて、テーブルの変位、速度、加速度振幅をフィードバック制御することが可能である。なお、加速度センサ35の代わりに、変位や速度を計測する他のセンサを用いても良い。
また、前述のように、ワークWが空気ばね61と反力板13cとの間に挟み込まれることによってワークWに静荷重を加えるようになっているため、反力板13cには、ワークWを介して空気ばね61から大荷重を受けても変位又は変形しないことが求められる。そのため、反力フレーム13の強度及び剛性は十分に高くする必要がある。このため、図1に示されるように、反力フレーム13の側板13aと反力板13cとによって形成されるコーナ、及び底板13cと側板13aによって形成されるコーナには、夫々補強用のリブ13d及び13eが溶接されている。
本実施形態においては、上記の如く空気ばね61によって可動部20に比較的大きな荷重が加えられるため、テーブル31が倒れず、且つスムーズに鉛直方向に移動できるよう、テーブル31はリニアガイド機構40によってガイドされている。リニアガイド機構40について以下説明する。
図1〜3に示されるように、リニアガイド機構40は、固定部10の筒状体12の上面に固定されるフレーム部41を有する。フレーム部41は、筒状体12にボルトで固定される底板41bと、側板41aとをL字状に組み合わせて溶接した部材である。また、フレーム部41の剛性及び強度を向上させるため、底板41bと側板41aによって形成されるコーナにはリブ41cが形成される。
また、リニアガイド機構は、側板41aに固定された鉛直方向に伸びるレール44と、ランナーブロック取付部材42を介してテーブル31に固定されたランナーブロック46とを更に有する。ランナーブロック46とレール44とは係合しており、ランナーブロック46と一体となったテーブル31は、レール44に沿ってスムーズに移動可能となる。
なお、本実施形態においては、図2に示されるように、フレーム部41、レール44及びランナーブロック46の組が、鉛直方向を中心とする円周上に、約90度毎に計4組設けられており、この4組によって4方からテーブル31がガイドされるようになっている。
次に、本実施形態によるリニアガイド40のレール44及びランナーブロック46(図2)の構成について、図面を用いて詳細に説明する。図5は、レール44及びランナーブロック46を、レール44の長軸方向に垂直な一面(すなわち水平面)で切断した断面図であり、図6は図5のII−II断面図である。図5及び図6に示されるように、ランナーブロック46にはレール44を囲むように凹部が形成されており、この凹部にはレール44の軸方向に延びる4本の溝46a、46a’が形成されている。この溝46a、46a’には、多数のステンレス鋼製のボール46bが収納されている。レール44には、ランナーブロック46の溝46a、46a’と対向する位置にそれぞれ溝44a、44a’が設けられており、ボール46bが溝46aと溝44a、又は溝46a’と溝44a’との間に挟まれるようになっている。溝46a、46a’、44a、44a’の断面形状は円弧状であり、その曲率半径はボール46bの半径と略等しい。このため、ボール46bは、あそびのほとんど無い状態で溝46a、46a’、44a、44a’に密着する。
ランナーブロック46の内部には、溝46aの夫々と略平行な4本のボール退避路46c、46c’が設けられている。図6に示されるように、溝46aと退避路46cとは、夫々の両端でU字路46dを介して接続されており、溝46a、溝44a、退避路46c及びU字路46dによって、ボール46bを循環させるための循環路が形成される。溝46a’、溝44a’及び退避路46c’によっても、同様の循環路が形成されている。
このため、ランナーブロック46がレール44に対して移動すると、多数のボール46bが溝46a、46a’、44a、44a’を転がりながら循環路を循環する。このため、レール軸方向以外の方向に大荷重が加わっていたとしても、多数のボールでランナーブロックを支持可能であると共にボール46bが転がることによりレール軸方向の抵抗が小さく保たれるので、ランナーブロック46をレール44に対してスムーズに移動させることができる。なお、退避路46c及びU字路46dの内径は、ボール46bの径よりやや大きくなっている。このため、退避路46c及びU字路46dとボール46bとの間に発生する摩擦力はごくわずかであり、それによってボール46bの循環が妨げられることはない。
図示されているように、溝46aと44aに挟まれた二列のボール46bの列は、接触角が略±45°となる正面組合せ型のアンギュラ玉軸受を形成する。この場合の接触角とは、溝46a及び44aがボール46bと接触する接触点同士を結んだ線が、リニアガイドのラジアル方向(ランナーブロックからレールに向かう方向であり、図5における下方向)に対してなす角度である。このように形成されたアンギュラ玉軸受は、逆ラジアル方向(レールからランナーブロックに向かう方向であり、図5における上方向)及び横方向(ラジアル方向及びランナーブロックの進退方向の双方に直交する方向であり、図5における左右方向)の荷重を支持することができる。
同様に、溝46a’と44a’に挟まれた二列のボール46bの列は、接触角(溝46a’及び44a’がボール46bと接触する接触点同士を結んだ線が、リニアガイドの逆ラジアル方向に対してなす角度)が略±45°となる正面組合せ型のアンギュラ玉軸受を形成する。このアンギュラ玉軸受は、ラジアル方向及び横方向の荷重を支持することができる。
また、溝46aと44aの一方(図中左側)と、溝46a’と44a’の一方(図中左側)にそれぞれ挟まれた二列のボール46bの列もまた、正面組み合わせ型のアンギュラ玉軸受を形成する。同様に溝46aと44aの他方(図中右側)と、溝46a’と44a’の他方(図中右側)にそれぞれ挟まれた二列のボール46bの列もまた、正面組合せ型のアンギュラ玉軸受を形成する。
このように、本実施形態においては、ラジアル方向、逆ラジアル方向、横方向のそれぞれに働く荷重に対して、多数のボール46bを有する正面組合せ型のアンギュラ玉軸受が支持することになり、レール軸方向以外の方向に加わる大荷重を十分支持できるようになっている。
以上が本発明の一実施形態の詳細な説明である。以下、上述した本発明の一実施形態を概括する。
本発明の一実施形態による動電型振動試験装置は、試験装置の可動部を固定部に対して下方から支持する空気ばねと、固定部に取り付けられて試験装置のテーブルとの間で被検体を挟み込むようになっている反力板とを有する。好ましくは、空気ばね内のエア圧を制御するエア圧制御手段をさらに有する。また、被検体に加わる荷重を計測する荷重計測手段を動電型振動試験装置が更に有し、エア圧制御手段は荷重計測手段の計測結果に基づいて空気ばね内のエア圧を制御する。
このように、本発明の一実施形態においては、空気ばねにて可動部に上向きの荷重を加えることによって、テーブルと反力板との間で被検体に圧縮静荷重を加えることができる。従って、本発明の一実施形態によれば、電源回路や可動コイルを大型化することなく、被検体に静荷重を加えながら振動試験を実施可能な動電型振動試験装置が実現される。また、空気ばね内のエア圧を制御することにより、被検体に加える静荷重の大きさを調整することができる。また、荷重計測手段の計測結果に基づいて空気ばね内のエア圧が調整されるため、所望の大きさの静荷重を正確に被検体に加えることができる。
さらに、本発明の一実施形態による動電型振動試験装置においては、エア圧制御手段が空気ばねと接続されていると共にその容積よりも十分に大きいエアタンクと、エアタンクにエアを供給するエア源と、エア源とエアタンクとの間に設けられたレギュレータ手段と、をさらに有する。
レギュレータ手段は、入力ポートがエア源側に接続されている電空レギュレータと、入力ポートがエア源側に接続され且つ出力ポートがエアタンクに接続されている精密レギュレータとを有し、電空レギュレータの出力ポートのエア圧によって、精密レギュレータの出力ポートのエア圧が制御されるようになっている。
このように、本発明の一実施形態においては、大容量のエアタンクを空気ばねに接続しているため、空気ばねの容積が多少変化したとしても、その変化量は空気ばねとエアタンクを合わせた容積に対しては微小なものである。従って、ボイスコイルモータで可動部を振動させたとしても、空気ばねの内圧はほとんど変化せず、一定の静荷重を被検体に加え続けることが可能である。また、電空レギュレータは、出力ポートのエア圧をコンピュータ等の電子機器から容易に制御可能であり、一方、精密レギュレータは、入力ポートから出力ポートに大流量のエアが流れる場合であってもパイロットポートに入力されるエア圧に基づいて出力ポートのエア圧を精密に制御可能である。従って、本発明の一実施形態のようにこのエア圧を大流量であってもエア圧力を精密に制御できる精密レギュレータの出力ポートの圧力とすることによって、エアタンク及び空気ばね内のエア圧を精密に制御することができる。
また、電空レギュレータ及び精密レギュレータの入力ポートとエア源との間に、電空レギュレータ及び精密レギュレータの入力ポートに入力されるエアの圧力を略一定に保つための前段レギュレータが設けられている構成とすることがより好ましい。
また、リニアガイドが、可動部と固定部の一方に固定されたレールと、他方に固定されると共にレールと係合しレールに沿って移動可能なランナーブロックとを有し、ランナーブロックが、レールを囲む凹部と、凹部においてランナーブロックの移動方向に沿って形成された溝と、ランナーブロックの内部に形成され記溝と閉回路を形成するように溝の移動方向両端と繋がっている退避路と、閉回路を循環するとともに溝に位置するときはレールと当接するようになっている複数のボールとを有する構成とすることが好ましい。このような構成とすると、ランナーブロックをガタツキ無く且つスムーズにレールに沿って移動させることが可能となる。すなわち、テーブルをスムーズに振動させることができる。
また、ランナーブロックには閉回路が4つ形成されており、4つの閉回路のうち2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールがランナーブロックのラジアル方向に対して略±45度の接触角を有し、他の2つの閉回路の溝の夫々に配置されたボールは該ランナーブロックの逆ラジアル方向に対して略±45度の接触角を有する構成とすることが好ましい。このような構成とすると、ランナーブロックはラジアル方向、逆ラジアル方向及び横方向の夫々に対して大荷重に耐えることができ、角ねじからローラを介して上記の方向の大荷重がローラブロックに加わったとしても、ランナーブロックが破損に至ることはなく、また、レールに沿ってスムーズに移動可能である。また、好ましくは、リニアガイドが、レール及びランナーブロックを複数組有し、レールとランナーブロックの組は、テーブルの中心を中心とする円周上に、略等間隔に配置されている。
1 動電型振動試験装置
10 固定部
13 反力フレーム
20 可動部
51 可動コイル
52 固定コイル
60 内圧制御機構
61 空気ばね

Claims (10)

  1. 被加振物に所定方向の圧縮静荷重を加えながら前記被加振物を前記所定方向に加振する加振装置であって、
    ベースに固定された固定部と、
    前記固定部に対して前記所定方向に往復移動可能な可動部と、
    前記可動部に動荷重を加えて前記所定方向に駆動する駆動手段と、
    前記固定部に取り付けられ、前記可動部との間で前記被加振物を挟み込む反力板と、
    前記可動部を介して前記被加振物に所定の前記圧縮静荷重を加える空気ばねと、
    前記被加振物に前記所定の圧縮静荷重が加わるように前記空気ばねのエア圧を制御するエア圧制御手段と、
    を備えた加振装置。
  2. 前記エア圧制御手段が、
    前記加振物に加わる荷重を計測する荷重計測手段と、
    前記荷重計測手段の計測結果に基づいて前記空気ばねのエア圧をフィードバック制御する制御手段と、を備えた、
    ことを特徴とする請求項1に記載の加振装置。
  3. 前記エア圧制御手段が、前記空気ばねに圧力が制御されたエアを供給するエア供給手段を備え、
    前記制御手段が、前記荷重計測手段の計測結果に基づいて、前記エア供給手段が供給するエア圧をフィードバック制御する、
    ことを特徴とする請求項2に記載の加振装置。
  4. 前記エア圧制御手段が前記空気ばねに接続されたエアタンクを備え、
    前記圧力が制御されたエアが前記エアタンクを介して前記空気ばねに供給される、
    ことを特徴とする請求項3に記載の加振装置。
  5. 前記エア供給手段が、
    前記エアを供給するエア源と、
    前記制御手段の制御に基づいて前記エア源が供給するエアの圧力を調整するレギュレータ手段と、を備え、
    前記レギュレータ手段が、
    入力ポートが前記エア源側に接続されている電空レギュレータと、
    入力ポートが前記エア源側に接続され且つ出力ポートが前記エアタンクに接続されている精密レギュレータと、を備え、
    前記電空レギュレータの出力ポートのエア圧によって前記精密レギュレータの出力ポートのエア圧が制御される、
    ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の加振装置。
  6. 前記レギュレータ手段が前段レギュレータを更に備え、
    前記前段レギュレータは、前記電空レギュレータ及び前記精密レギュレータの入力ポートと前記エア源との間に接続され、該電空レギュレータ及び該精密レギュレータの入力ポートに入力されるエアの圧力を略一定に保つ、
    ことを特徴とする請求項5に記載の加振装置。
  7. 前記所定方向が鉛直方向であり、
    前記空気ばねが、前記可動部の下方に配置され、前記可動部及び前記加振物の重量を支持する、
    ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の加振装置。
  8. 前記可動部の移動方向を前記所定方向のみに規制するためのリニアガイドを更に備える、
    ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の加振装置。
  9. 前記リニアガイドが、前記可動部と固定部の一方に固定されたレールと、前記可動部と固定部の他方に固定されると共に前記レールと係合して該レールに沿って移動可能なランナーブロックと、を備える、
    ことを特徴とする請求項8に記載の加振装置。
  10. 前記リニアガイドが、前記レール及びランナーブロックを複数組有し、
    前記レールとランナーブロックの組は、前記可動部の中心を中心とする円周上に、略等間隔に配置されていることを特徴とする請求項9に記載の加振装置。
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