JPH09250593A - 空気除振装置 - Google Patents
空気除振装置Info
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- JPH09250593A JPH09250593A JP5930696A JP5930696A JPH09250593A JP H09250593 A JPH09250593 A JP H09250593A JP 5930696 A JP5930696 A JP 5930696A JP 5930696 A JP5930696 A JP 5930696A JP H09250593 A JPH09250593 A JP H09250593A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】除振台を短時間で上昇させる空気除振装置を提
供すること。 【構成】所定部材の振動を除去する除振台１１を、空気
ばね１５，１６を加圧することにより上昇させるととも
に、空気ばね１５，１６を減圧することにより下降させ
る空気除振装置において、空気ばね１５，１６の加圧に
要する空気を供給する供給手段（５）と、この供給手段
（５）により供給される空気を蓄積する蓄積手段（３）
と、この蓄積手段（３）から空気ばね１５，１６へ供給
される空気を、空気ばね１５，１６を加圧する場合流通
するとともに、空気ばね１５，１６を減圧する場合遮断
するよう調節する調節手段（２）と、調節手段（２）に
より遮断されている場合、蓄積手段（３）に蓄積される
空気の圧力を保持する保持手段（５、４）と、を具備。
供すること。 【構成】所定部材の振動を除去する除振台１１を、空気
ばね１５，１６を加圧することにより上昇させるととも
に、空気ばね１５，１６を減圧することにより下降させ
る空気除振装置において、空気ばね１５，１６の加圧に
要する空気を供給する供給手段（５）と、この供給手段
（５）により供給される空気を蓄積する蓄積手段（３）
と、この蓄積手段（３）から空気ばね１５，１６へ供給
される空気を、空気ばね１５，１６を加圧する場合流通
するとともに、空気ばね１５，１６を減圧する場合遮断
するよう調節する調節手段（２）と、調節手段（２）に
より遮断されている場合、蓄積手段（３）に蓄積される
空気の圧力を保持する保持手段（５、４）と、を具備。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡のステージ
等の振動を除去する空気除振装置に関する。
等の振動を除去する空気除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤ製造ラインにおいて検査用に用い
られる顕微鏡では、一般に高倍率による観察が行なわれ
ている。そして、この種の顕微鏡では周辺装置等の影響
による振動を除去するため、除振装置により除振を行な
う必要がある。
られる顕微鏡では、一般に高倍率による観察が行なわれ
ている。そして、この種の顕微鏡では周辺装置等の影響
による振動を除去するため、除振装置により除振を行な
う必要がある。
【０００３】またＬＣＤ基板は、通常カセットに収納さ
れ各装置間を搬送される。そして、顕微鏡とカセットと
の間でのＬＣＤ基板の搬送には、通常搬送用のロボット
アームが用いられる。この顕微鏡とカセットとの間での
ＬＣＤ基板の受け渡しを確実に行なうためには、その受
け渡し動作をミリ単位の精度に抑える必要がある。しか
し、その受け渡しの際に除振台の作用により顕微鏡が揺
れると、これが前述した精度の確保にとって障害にな
る。そのため、ＬＣＤ基板の受け渡しの際に強制的に除
振台を下降させ、かつ顕微鏡を固定することで、受け渡
し精度を確保している。
れ各装置間を搬送される。そして、顕微鏡とカセットと
の間でのＬＣＤ基板の搬送には、通常搬送用のロボット
アームが用いられる。この顕微鏡とカセットとの間での
ＬＣＤ基板の受け渡しを確実に行なうためには、その受
け渡し動作をミリ単位の精度に抑える必要がある。しか
し、その受け渡しの際に除振台の作用により顕微鏡が揺
れると、これが前述した精度の確保にとって障害にな
る。そのため、ＬＣＤ基板の受け渡しの際に強制的に除
振台を下降させ、かつ顕微鏡を固定することで、受け渡
し精度を確保している。
【０００４】図３の（ａ）は、従来の空気除振装置の構
成を示す図である。なお、この空気除振装置はＬＣＤ基
板検査用顕微鏡に適用されている。図３の（ａ）に示す
ＬＣＤ基板検査用顕微鏡１における１１はステージを保
持する除振台である。また、１５，１６は空気ばねであ
り、これら空気ばね１５，１６は三方弁８を介して補助
タンク３に接続されている。さらに補助タンク３は、弁
９およびレギュレータ４を介してコンプレッサ５に接続
されている。
成を示す図である。なお、この空気除振装置はＬＣＤ基
板検査用顕微鏡に適用されている。図３の（ａ）に示す
ＬＣＤ基板検査用顕微鏡１における１１はステージを保
持する除振台である。また、１５，１６は空気ばねであ
り、これら空気ばね１５，１６は三方弁８を介して補助
タンク３に接続されている。さらに補助タンク３は、弁
９およびレギュレータ４を介してコンプレッサ５に接続
されている。
【０００５】図３の（ｂ）および（ｃ）は、除振台１１
が可動するとき（ＯＮ）としないとき（ＯＦＦ）の各弁
の状態を示す図であり、（ｂ）は三方弁８の状態を示す
図、（ｃ）は弁９の状態を示す図である。
が可動するとき（ＯＮ）としないとき（ＯＦＦ）の各弁
の状態を示す図であり、（ｂ）は三方弁８の状態を示す
図、（ｃ）は弁９の状態を示す図である。
【０００６】除振台１１が可動するとき、弁９が開けら
れ、三方弁８の第１ポート（空気ばね１５，１６側）８
１−第２ポート（補助タンク３側）８２間が開けられる
とともに、第１ポート８１−第３ポート（開放側）８３
間が閉じられる。これにより、コンプレッサ５からの圧
縮空気が補助タンク３等を介して空気ばね１５，１６を
加圧し、除振台１１の揺れを防ぐことができる。
れ、三方弁８の第１ポート（空気ばね１５，１６側）８
１−第２ポート（補助タンク３側）８２間が開けられる
とともに、第１ポート８１−第３ポート（開放側）８３
間が閉じられる。これにより、コンプレッサ５からの圧
縮空気が補助タンク３等を介して空気ばね１５，１６を
加圧し、除振台１１の揺れを防ぐことができる。
【０００７】一方、除振台１１が可動しないときは、弁
９が閉じられ、三方弁８の第１ポート８１−第２ポート
８２間が閉じられるとともに、第１ポート８１−第３ポ
ート８３間が開けられる。これにより、補助タンク３か
ら空気ばね１５，１６への空気の流れが遮断されるとと
もに、空気ばね１５，１６から補助タンク３へ流れてい
た空気は三方弁８の第３ポート８３から排気される。よ
って、空気ばね１５，１６が減圧され、除振台１１が下
降する。
９が閉じられ、三方弁８の第１ポート８１−第２ポート
８２間が閉じられるとともに、第１ポート８１−第３ポ
ート８３間が開けられる。これにより、補助タンク３か
ら空気ばね１５，１６への空気の流れが遮断されるとと
もに、空気ばね１５，１６から補助タンク３へ流れてい
た空気は三方弁８の第３ポート８３から排気される。よ
って、空気ばね１５，１６が減圧され、除振台１１が下
降する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の空気除振装置で
は、ＬＣＤ基板の受け渡しの際前述したように空気ばね
１５，１６を減圧し、除振台１１を下降させる。その
後、受け取ったＬＣＤ基板の検査を行なうため再び空気
ばね１５，１６を加圧し、除振台１１を上昇させるが、
その際上昇に係る所要時間は短い程望ましい。しかしな
がら従来の空気除振装置では、除振台１１が下降した後
長時間経つと、補助タンク３内の空気の圧力が自然リー
クにより低下する。このため、除振台１１を上昇させる
際に補助タンク３内の空気の加圧に時間を要してしま
い、除振台１１を速やかに上昇させることができない、
という問題がある。本発明の目的は、除振台を短時間で
上昇させることができる空気除振装置を提供することに
ある。
は、ＬＣＤ基板の受け渡しの際前述したように空気ばね
１５，１６を減圧し、除振台１１を下降させる。その
後、受け取ったＬＣＤ基板の検査を行なうため再び空気
ばね１５，１６を加圧し、除振台１１を上昇させるが、
その際上昇に係る所要時間は短い程望ましい。しかしな
がら従来の空気除振装置では、除振台１１が下降した後
長時間経つと、補助タンク３内の空気の圧力が自然リー
クにより低下する。このため、除振台１１を上昇させる
際に補助タンク３内の空気の加圧に時間を要してしま
い、除振台１１を速やかに上昇させることができない、
という問題がある。本発明の目的は、除振台を短時間で
上昇させることができる空気除振装置を提供することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の空気除振装置は以下の如く構
成されている。 （１）本発明の空気除振装置は、所定部材の振動を除去
する除振台を、空気ばねを加圧することにより上昇させ
るとともに、前記空気ばねを減圧することにより下降さ
せる空気除振装置において、前記空気ばねの加圧に要す
る空気を供給する供給手段と、この供給手段により供給
される空気を蓄積する蓄積手段と、この蓄積手段から前
記空気ばねへ供給される空気を、前記空気ばねを加圧す
る場合流通するとともに、前記空気ばねを減圧する場合
遮断するよう調節する調節手段と、この調節手段により
遮断されている場合、前記蓄積手段に蓄積される空気の
圧力を保持する保持手段と、から構成されている。 （２）本発明の空気除振装置は上記（１）に記載の装置
であって、かつ前記保持手段は、前記蓄積手段に蓄積さ
れる空気の圧力を前記供給手段から供給される空気によ
り加圧するよう構成されている。 （３）本発明の空気除振装置は上記（１）に記載の装置
であって、かつ前記保持手段は、前記調節手段により流
通されている場合前記除振台の可動に要する圧力を有す
る空気を前記蓄積手段へ供給し、前記調節手段により遮
断されている場合前記除振台の上昇に要する圧力を有す
る空気を前記蓄積手段へ供給するよう構成されている。
達成するために、本発明の空気除振装置は以下の如く構
成されている。 （１）本発明の空気除振装置は、所定部材の振動を除去
する除振台を、空気ばねを加圧することにより上昇させ
るとともに、前記空気ばねを減圧することにより下降さ
せる空気除振装置において、前記空気ばねの加圧に要す
る空気を供給する供給手段と、この供給手段により供給
される空気を蓄積する蓄積手段と、この蓄積手段から前
記空気ばねへ供給される空気を、前記空気ばねを加圧す
る場合流通するとともに、前記空気ばねを減圧する場合
遮断するよう調節する調節手段と、この調節手段により
遮断されている場合、前記蓄積手段に蓄積される空気の
圧力を保持する保持手段と、から構成されている。 （２）本発明の空気除振装置は上記（１）に記載の装置
であって、かつ前記保持手段は、前記蓄積手段に蓄積さ
れる空気の圧力を前記供給手段から供給される空気によ
り加圧するよう構成されている。 （３）本発明の空気除振装置は上記（１）に記載の装置
であって、かつ前記保持手段は、前記調節手段により流
通されている場合前記除振台の可動に要する圧力を有す
る空気を前記蓄積手段へ供給し、前記調節手段により遮
断されている場合前記除振台の上昇に要する圧力を有す
る空気を前記蓄積手段へ供給するよう構成されている。
【００１０】上記手段を講じた結果、それぞれ次のよう
な作用が生じる。 （１）本発明の空気除振装置は、前記空気ばねの加圧に
要する空気を前記蓄積手段で蓄積し、前記蓄積手段から
前記空気ばねへ供給される空気を、前記空気ばねを加圧
する場合流通するとともに、前記空気ばねを減圧する場
合遮断するよう調節し、遮断されている場合、前記蓄積
手段に蓄積される空気の圧力を保持するので、前記空気
ばねを減圧した場合においても、前記蓄積手段にて常時
前記空気ばねの加圧に要する空気、すなわち前記除振台
の上昇に要する圧力を有する空気が保持される。よっ
て、前記蓄積手段の空気が減圧することがなく、前記空
気ばねを短時間で再加圧し前記除振台を上昇させること
ができる。これにより、前記除振台を速やかに可動させ
ることが可能になり、前記除振台を設けた顕微鏡等の装
置を効率的に使用することができ、その使用に係る作業
時間の短縮を図れる。 （２）本発明の空気除振装置は、前記蓄積手段に蓄積さ
れる空気の圧力を前記供給手段から供給される空気によ
り加圧するので、余分な機構を備えることなく簡易な構
成により、前記蓄積手段にて常時前記空気ばねの加圧に
要する空気、すなわち前記除振台の上昇に要する圧力を
有する空気を保持することができる。 （３）本発明の空気除振装置は、前記保持手段は、前記
調節手段により流通されている場合前記除振台の可動に
要する圧力を有する空気を、遮断されている場合前記除
振台の上昇に要する圧力を有する空気を前記蓄積手段へ
供給するので、前記空気ばねを加圧する場合その加圧に
要する圧力を有する空気を供給できるとともに、前記空
気ばねを減圧した場合においても、前記蓄積手段にて常
時前記除振台の速やかな上昇に要する圧力に調節された
空気を保持することができる。よって、前記蓄積手段の
空気が減圧することがなく、前記空気ばねを短時間で再
加圧し前記除振台を上昇させることができる。これによ
り、前記除振台が速やかに可動させることが可能にな
る。
な作用が生じる。 （１）本発明の空気除振装置は、前記空気ばねの加圧に
要する空気を前記蓄積手段で蓄積し、前記蓄積手段から
前記空気ばねへ供給される空気を、前記空気ばねを加圧
する場合流通するとともに、前記空気ばねを減圧する場
合遮断するよう調節し、遮断されている場合、前記蓄積
手段に蓄積される空気の圧力を保持するので、前記空気
ばねを減圧した場合においても、前記蓄積手段にて常時
前記空気ばねの加圧に要する空気、すなわち前記除振台
の上昇に要する圧力を有する空気が保持される。よっ
て、前記蓄積手段の空気が減圧することがなく、前記空
気ばねを短時間で再加圧し前記除振台を上昇させること
ができる。これにより、前記除振台を速やかに可動させ
ることが可能になり、前記除振台を設けた顕微鏡等の装
置を効率的に使用することができ、その使用に係る作業
時間の短縮を図れる。 （２）本発明の空気除振装置は、前記蓄積手段に蓄積さ
れる空気の圧力を前記供給手段から供給される空気によ
り加圧するので、余分な機構を備えることなく簡易な構
成により、前記蓄積手段にて常時前記空気ばねの加圧に
要する空気、すなわち前記除振台の上昇に要する圧力を
有する空気を保持することができる。 （３）本発明の空気除振装置は、前記保持手段は、前記
調節手段により流通されている場合前記除振台の可動に
要する圧力を有する空気を、遮断されている場合前記除
振台の上昇に要する圧力を有する空気を前記蓄積手段へ
供給するので、前記空気ばねを加圧する場合その加圧に
要する圧力を有する空気を供給できるとともに、前記空
気ばねを減圧した場合においても、前記蓄積手段にて常
時前記除振台の速やかな上昇に要する圧力に調節された
空気を保持することができる。よって、前記蓄積手段の
空気が減圧することがなく、前記空気ばねを短時間で再
加圧し前記除振台を上昇させることができる。これによ
り、前記除振台が速やかに可動させることが可能にな
る。
【００１１】
（第１の実施の形態）図１の（ａ）は、本発明の第１の
実施の形態に係る空気除振装置の構成を示す図である。
この空気除振装置はＬＣＤ基板検査用顕微鏡に適用され
ており、ＬＣＤ基板検査用顕微鏡１内には顕微鏡１と当
該空気除振装置との動作を制御するシステムコンピュー
タが内蔵されている。なお、図１の（ａ）において図３
の（ａ）と同一な部分には同一符号を付してある。
実施の形態に係る空気除振装置の構成を示す図である。
この空気除振装置はＬＣＤ基板検査用顕微鏡に適用され
ており、ＬＣＤ基板検査用顕微鏡１内には顕微鏡１と当
該空気除振装置との動作を制御するシステムコンピュー
タが内蔵されている。なお、図１の（ａ）において図３
の（ａ）と同一な部分には同一符号を付してある。
【００１２】顕微鏡１において、１０１は接眼レンズ、
１０２は鏡筒、１０３はフレーム、１０４はＸステー
ジ、１０５はＹステージであり、１１はフレーム１０３
およびステージを保持する除振台である。除振台１１の
側面下部には、除振台１１が下降する際にその下降範囲
を規制するための規制部材１２，１３が設けられてい
る。除振台１１が下降する際、これら規制部材１２，１
３が固定台１４に当付くことで、除振台１１のそれ以上
の下降が抑止され、かつ顕微鏡１が固定台１４に固定さ
れる。また、１５，１６は空気ばねであり、これら空気
ばね１５，１６は固定台１４に固着されているととも
に、それぞれ支持部１７，１８を介して除振台１１と連
結している。
１０２は鏡筒、１０３はフレーム、１０４はＸステー
ジ、１０５はＹステージであり、１１はフレーム１０３
およびステージを保持する除振台である。除振台１１の
側面下部には、除振台１１が下降する際にその下降範囲
を規制するための規制部材１２，１３が設けられてい
る。除振台１１が下降する際、これら規制部材１２，１
３が固定台１４に当付くことで、除振台１１のそれ以上
の下降が抑止され、かつ顕微鏡１が固定台１４に固定さ
れる。また、１５，１６は空気ばねであり、これら空気
ばね１５，１６は固定台１４に固着されているととも
に、それぞれ支持部１７，１８を介して除振台１１と連
結している。
【００１３】空気ばね１５，１６は、三方弁２を介して
補助タンク３に接続されており、補助タンク３はレギュ
レータ４を介してコンプレッサ５に接続されている。な
お、三方弁２の第１ポート２１が空気ばね１５，１６
に、第２ポート２２が補助タンク３に各々接続され、第
３ポート２３は開放されている。
補助タンク３に接続されており、補助タンク３はレギュ
レータ４を介してコンプレッサ５に接続されている。な
お、三方弁２の第１ポート２１が空気ばね１５，１６
に、第２ポート２２が補助タンク３に各々接続され、第
３ポート２３は開放されている。
【００１４】図１の（ｂ）は、除振台１１が可動すると
き（ＯＮ）としないとき（ＯＦＦ）の、三方弁２の状態
を示す図である。以下、図１の（ａ）および（ｂ）を基
に当該空気除振装置の動作手順を説明する。
き（ＯＮ）としないとき（ＯＦＦ）の、三方弁２の状態
を示す図である。以下、図１の（ａ）および（ｂ）を基
に当該空気除振装置の動作手順を説明する。
【００１５】除振台１１が可動するとき、すなわち空気
ばね１５，１６の加圧時は、前記システムコンピュータ
からの指令により、三方弁２の第１ポート（空気ばね１
５，１６側）２１−第２ポート（補助タンク３側）２２
間が開けられるとともに、第１ポート２１−第３ポート
（開放側）２３間が閉じられる。
ばね１５，１６の加圧時は、前記システムコンピュータ
からの指令により、三方弁２の第１ポート（空気ばね１
５，１６側）２１−第２ポート（補助タンク３側）２２
間が開けられるとともに、第１ポート２１−第３ポート
（開放側）２３間が閉じられる。
【００１６】そして、前記システムコンピューターから
の指令により、コンプレッサ５からの圧縮空気がレギュ
レータ４で除振に最適な圧力に調整された後、補助タン
ク３および三方弁２を伝わり、空気ばね１５，１６を加
圧する。これにより除振台１１が可動され、ステージの
除振が成され揺れを防ぐことができる。
の指令により、コンプレッサ５からの圧縮空気がレギュ
レータ４で除振に最適な圧力に調整された後、補助タン
ク３および三方弁２を伝わり、空気ばね１５，１６を加
圧する。これにより除振台１１が可動され、ステージの
除振が成され揺れを防ぐことができる。
【００１７】一方、防振台１１が可動しないとき、すな
わち空気ばね１５，１６の減圧時は、前記システムコン
ピュータからの指令により、三方弁２の第１ポート２１
−第２ポート２２間が閉じられるとともに、第１ポート
２１−第３ポート２３間が開けられる。
わち空気ばね１５，１６の減圧時は、前記システムコン
ピュータからの指令により、三方弁２の第１ポート２１
−第２ポート２２間が閉じられるとともに、第１ポート
２１−第３ポート２３間が開けられる。
【００１８】これにより、三方弁２において補助タンク
３から空気ばね１５，１６への空気の流れが遮断される
とともに、空気ばね１５，１６から補助タンク３へ流れ
ていた空気は三方弁２の第３ポート２３から排気され
る。この一連の動作により、空気ばね１５，１６は減圧
され防振台１１が下降するとともに、補助タンク３内の
空気はコンプレッサ５からレギュレータ４を介して供給
される空気により加圧された状態のまま蓄積され、その
圧力を保持することになる。
３から空気ばね１５，１６への空気の流れが遮断される
とともに、空気ばね１５，１６から補助タンク３へ流れ
ていた空気は三方弁２の第３ポート２３から排気され
る。この一連の動作により、空気ばね１５，１６は減圧
され防振台１１が下降するとともに、補助タンク３内の
空気はコンプレッサ５からレギュレータ４を介して供給
される空気により加圧された状態のまま蓄積され、その
圧力を保持することになる。
【００１９】続いて、除振台１１を再び可動するとき、
すなわち空気ばね１５，１６の再加圧時前には、前記シ
ステムコンピュータよりの指令により、三方弁２が元の
状態に戻る。すなわち、再び三方弁２の第１ポート２１
−第２ポート２２間が開けられるとともに、第１ポート
２１−第３ポート２３間が閉じられる。
すなわち空気ばね１５，１６の再加圧時前には、前記シ
ステムコンピュータよりの指令により、三方弁２が元の
状態に戻る。すなわち、再び三方弁２の第１ポート２１
−第２ポート２２間が開けられるとともに、第１ポート
２１−第３ポート２３間が閉じられる。
【００２０】このとき、補助タンク３内の空気は前述し
たように既に加圧された状態にあるので、空気ばね１
５，１６を短時間で再加圧し除振台１１を上昇させるこ
とができる。よって、除振台１１が速やかに可動され、
ステージの除振効果が得られる。なお、三方弁２の駆動
には、空気、手動、電気等による手段を用いることがで
きる。
たように既に加圧された状態にあるので、空気ばね１
５，１６を短時間で再加圧し除振台１１を上昇させるこ
とができる。よって、除振台１１が速やかに可動され、
ステージの除振効果が得られる。なお、三方弁２の駆動
には、空気、手動、電気等による手段を用いることがで
きる。
【００２１】（第２の実施の形態）図２の（ａ）は、本
発明の第２の実施の形態に係る空気除振装置の構成を示
す図である。なお、図２の（ａ）において図１の（ａ）
と同一な部分には同一符号を付している。
発明の第２の実施の形態に係る空気除振装置の構成を示
す図である。なお、図２の（ａ）において図１の（ａ）
と同一な部分には同一符号を付している。
【００２２】図２の（ａ）に示す空気ばね１５，１６
は、三方弁６を介して補助タンク３に接続されている。
補助タンク３は三方弁７を介して除振用レギュレータ４
１と上昇用レギュレータ４２に接続されており、これら
レギュレータ４１，４２は各々コンプレッサ５に接続さ
れている。なお、三方弁６の第１ポート６１が空気ばね
１５，１６に、第２ポート６２が補助タンク３に各々接
続され、第３ポート６３は開放されている。また、三方
弁７の第１ポート７１が補助タンク３に、第２ポート７
２が除振用レギュレータ４１に、第３ポート７３が上昇
用レギュレータ４２に各々接続されている。
は、三方弁６を介して補助タンク３に接続されている。
補助タンク３は三方弁７を介して除振用レギュレータ４
１と上昇用レギュレータ４２に接続されており、これら
レギュレータ４１，４２は各々コンプレッサ５に接続さ
れている。なお、三方弁６の第１ポート６１が空気ばね
１５，１６に、第２ポート６２が補助タンク３に各々接
続され、第３ポート６３は開放されている。また、三方
弁７の第１ポート７１が補助タンク３に、第２ポート７
２が除振用レギュレータ４１に、第３ポート７３が上昇
用レギュレータ４２に各々接続されている。
【００２３】図２の（ｂ）および（ｃ）は、除振台１１
が可動するとき（ＯＮ）としないとき（ＯＦＦ）の三方
弁の状態を示す図であり、（ｂ）は三方弁６の状態を示
す図、（ｃ）は三方弁７の状態を示す図である。以下、
図２の（ａ）〜（ｃ）を基に当該空気除振装置の動作手
順を説明する。
が可動するとき（ＯＮ）としないとき（ＯＦＦ）の三方
弁の状態を示す図であり、（ｂ）は三方弁６の状態を示
す図、（ｃ）は三方弁７の状態を示す図である。以下、
図２の（ａ）〜（ｃ）を基に当該空気除振装置の動作手
順を説明する。
【００２４】除振台１１が可動するとき、すなわち空気
ばね１５，１６の加圧時は、上記システムコンピュータ
からの指令により、三方弁７の第１ポート（補助タンク
３側）７１−第２ポート（除振用レギュレータ４１側）
７２間が開けられるとともに、第１ポート７１−第３ポ
ート（上昇用レギュレータ４２側）７３間が閉じられ
る。また、三方弁６の第１ポート（空気ばね１５，１６
側）６１−第２ポート（補助タンク３側）６２間が開け
られるとともに、第１ポート６１−第３ポート（開放
側）６３間が閉じられる。
ばね１５，１６の加圧時は、上記システムコンピュータ
からの指令により、三方弁７の第１ポート（補助タンク
３側）７１−第２ポート（除振用レギュレータ４１側）
７２間が開けられるとともに、第１ポート７１−第３ポ
ート（上昇用レギュレータ４２側）７３間が閉じられ
る。また、三方弁６の第１ポート（空気ばね１５，１６
側）６１−第２ポート（補助タンク３側）６２間が開け
られるとともに、第１ポート６１−第３ポート（開放
側）６３間が閉じられる。
【００２５】そして、前記システムコンピューターから
の指令により、コンプレッサ５からの圧縮空気が除振用
レギュレータ４１で除振に最適な圧力に調整された後、
三方弁７、補助タンク３および三方弁６を伝わり、空気
ばね１５，１６を加圧する。これにより除振台１１が可
動され、ステージの除振が成されることで揺れを防ぐこ
とができる。
の指令により、コンプレッサ５からの圧縮空気が除振用
レギュレータ４１で除振に最適な圧力に調整された後、
三方弁７、補助タンク３および三方弁６を伝わり、空気
ばね１５，１６を加圧する。これにより除振台１１が可
動され、ステージの除振が成されることで揺れを防ぐこ
とができる。
【００２６】一方、防振台１１が可動しないとき、すな
わち空気ばね１５，１６の減圧時は、前記システムコン
ピュータからの指令により、三方弁７の第１ポート７１
−第２ポート７２間が閉じられるとともに、第１ポート
７１−第３ポート７３間が開けられる。また、三方弁６
の第１ポート６１−第２ポート６２間が閉じられるとと
もに、第１ポート６１−第３ポート６３間が開けられ
る。
わち空気ばね１５，１６の減圧時は、前記システムコン
ピュータからの指令により、三方弁７の第１ポート７１
−第２ポート７２間が閉じられるとともに、第１ポート
７１−第３ポート７３間が開けられる。また、三方弁６
の第１ポート６１−第２ポート６２間が閉じられるとと
もに、第１ポート６１−第３ポート６３間が開けられ
る。
【００２７】これによりコンプレッサ５からの圧縮空気
が、上昇用レギュレータ４２により防振台１１のスムー
ズな上昇を可能とする最適な圧力に調整された後、三方
弁７を介して補助タンク３に伝わる。また三方弁６にお
いて、補助タンク３から空気ばね１５，１６への空気の
流れが遮断される。それとともに、空気ばね１５，１６
から補助タンク３へ流れていた空気は三方弁６の第３ポ
ート６３から排気される。
が、上昇用レギュレータ４２により防振台１１のスムー
ズな上昇を可能とする最適な圧力に調整された後、三方
弁７を介して補助タンク３に伝わる。また三方弁６にお
いて、補助タンク３から空気ばね１５，１６への空気の
流れが遮断される。それとともに、空気ばね１５，１６
から補助タンク３へ流れていた空気は三方弁６の第３ポ
ート６３から排気される。
【００２８】なお、上昇用レギュレータ４２の設定圧力
は除振用レギュレータ４１の設定圧力より低く設定され
ている。これは、除振台１１の上昇時の設定圧力が除振
時と同じであると、上昇する速度が速すぎてしまい、除
振台１１が正規の位置より上がり過ぎてしまう場合があ
るためである。
は除振用レギュレータ４１の設定圧力より低く設定され
ている。これは、除振台１１の上昇時の設定圧力が除振
時と同じであると、上昇する速度が速すぎてしまい、除
振台１１が正規の位置より上がり過ぎてしまう場合があ
るためである。
【００２９】この一連の動作により、空気ばね１５，１
６は減圧され除振台１１が下降するとともに、補助タン
ク３内には、上昇用レギュレータ４２により除振台１１
のスムーズな上昇を可能にする最適な圧力に調整された
空気が蓄積され、その圧力が保持されることになる。
６は減圧され除振台１１が下降するとともに、補助タン
ク３内には、上昇用レギュレータ４２により除振台１１
のスムーズな上昇を可能にする最適な圧力に調整された
空気が蓄積され、その圧力が保持されることになる。
【００３０】続いて、除振台１１を再び可動するとき、
すなわち空気ばね１５，１６の再加圧時前には、前記シ
ステムコンピュータよりの指令により、三方弁６および
７が元の状態に戻る。すなわち、再び三方弁７の第１ポ
ート７１−第２ポート７２間が開けられるとともに、第
１ポート７１−第３ポート７３間が閉じられる。また、
三方弁６の第１ポート６１−第２ポート６２間が開けら
れるとともに、第１ポート６１−第３ポート６３間が閉
じられる。
すなわち空気ばね１５，１６の再加圧時前には、前記シ
ステムコンピュータよりの指令により、三方弁６および
７が元の状態に戻る。すなわち、再び三方弁７の第１ポ
ート７１−第２ポート７２間が開けられるとともに、第
１ポート７１−第３ポート７３間が閉じられる。また、
三方弁６の第１ポート６１−第２ポート６２間が開けら
れるとともに、第１ポート６１−第３ポート６３間が閉
じられる。
【００３１】このとき、前述した空気ばね１５，１６の
減圧時において、補助タンク３内の空気の圧力は既に除
振台１１のスムーズな上昇を可能にする最適な圧力に調
整され、コンプレッサ５から上昇用レギュレータ４２を
介して供給される空気により、常に加圧された状態にあ
る。このため、長時間放置した場合、すなわち除振台１
１を下降したままの状態が長時間続いた場合でも、補助
タンク３内の空気の圧力が減少することはなく、空気ば
ね１５，１６を短時間で再加圧し除振台１１を上昇させ
ることができる。
減圧時において、補助タンク３内の空気の圧力は既に除
振台１１のスムーズな上昇を可能にする最適な圧力に調
整され、コンプレッサ５から上昇用レギュレータ４２を
介して供給される空気により、常に加圧された状態にあ
る。このため、長時間放置した場合、すなわち除振台１
１を下降したままの状態が長時間続いた場合でも、補助
タンク３内の空気の圧力が減少することはなく、空気ば
ね１５，１６を短時間で再加圧し除振台１１を上昇させ
ることができる。
【００３２】よって、除振台１１を速やかに可動でき、
ステージの除振効果が得られる。なお、三方弁６および
７の駆動には、空気、手動、電気等による手段を用いる
ことができる。なお、本発明は上記各実施の形態のみに
限定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施
できる。
ステージの除振効果が得られる。なお、三方弁６および
７の駆動には、空気、手動、電気等による手段を用いる
ことができる。なお、本発明は上記各実施の形態のみに
限定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施
できる。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、除振台を短時間で上昇
させることができる空気除振装置を提供できる。
させることができる空気除振装置を提供できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る図であり、
（ａ）は空気除振装置の構成を示す図、（ｂ）は三方弁
の状態を示す図。
（ａ）は空気除振装置の構成を示す図、（ｂ）は三方弁
の状態を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る図であり、
（ａ）は空気除振装置の構成を示す図、（ｂ）および
（ｃ）は三方弁の状態を示す図。
（ａ）は空気除振装置の構成を示す図、（ｂ）および
（ｃ）は三方弁の状態を示す図。
【図３】従来例に係る図であり、（ａ）は空気除振装置
の構成を示す図、（ｂ）は三方弁の状態を示す図、
（ｃ）は弁の状態を示す図。
の構成を示す図、（ｂ）は三方弁の状態を示す図、
（ｃ）は弁の状態を示す図。
１…ＬＣＤ基板検査用顕微鏡 １１…除振台（ステージ） １２…下降範囲規制部材 １３…下降範囲規制部材 １４…固定台 １５…空気ばね １６…空気ばね ２…三方弁 ２１…第１ポート ２２…第２ポート ２３…第３ポート ３…補助タンク ４…レギュレータ ４１…除振用レギュレータ ４２…上昇用レギュレータ ５…コンプレッサ ６…三方弁 ６１…第１ポート ６２…第２ポート ６３…第３ポート ７…三方弁 ７１…第１ポート ７２…第２ポート ７３…第３ポート ８…三方弁 ８１…第１ポート ８２…第２ポート ８３…第３ポート ９…弁 １０１…接眼レンズ １０２…鏡筒 １０３…フレーム １０４…Ｘステージ １０５…Ｙステージ
Claims (3)
- 【請求項１】所定部材の振動を除去する除振台を、空気
ばねを加圧することにより上昇させるとともに、前記空
気ばねを減圧することにより下降させる空気除振装置に
おいて、 前記空気ばねの加圧に要する空気を供給する供給手段
と、 この供給手段により供給される空気を蓄積する蓄積手段
と、 この蓄積手段から前記空気ばねへ供給される空気を、前
記空気ばねを加圧する場合流通するとともに、前記空気
ばねを減圧する場合遮断するよう調節する調節手段と、 この調節手段により遮断されている場合、前記蓄積手段
に蓄積される空気の圧力を保持する保持手段と、 を具備したことを特徴とする空気除振装置。 - 【請求項２】前記保持手段は、前記蓄積手段に蓄積され
る空気の圧力を前記供給手段から供給される空気により
加圧することを特徴とする請求項１に記載の空気除振装
置。 - 【請求項３】前記保持手段は、前記調節手段により流通
されている場合前記除振台の可動に要する圧力を有する
空気を前記蓄積手段へ供給し、前記調節手段により遮断
されている場合前記除振台の上昇に要する圧力を有する
空気を前記蓄積手段へ供給することを特徴とする請求項
１に記載の空気除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05930696A JP3810120B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 空気除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05930696A JP3810120B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 空気除振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09250593A true JPH09250593A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3810120B2 JP3810120B2 (ja) | 2006-08-16 |
Family
ID=13109566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05930696A Expired - Fee Related JP3810120B2 (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 空気除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3810120B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008106804A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Kuraki Co Ltd | 除振装置 |
| JP2009144790A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Herz Co Ltd | 空気ばね式防振台 |
| WO2009130818A1 (ja) * | 2008-04-24 | 2009-10-29 | 国際計測器株式会社 | 動電型振動試験装置 |
| JP2016186341A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 住友重機械工業株式会社 | 空気バネ用空気圧調整ユニット |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101239167B1 (ko) * | 2011-04-04 | 2013-03-05 | 국방과학연구소 | 에어스프링을 이용한 진동시험용 지지장치 |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP05930696A patent/JP3810120B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008106804A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Kuraki Co Ltd | 除振装置 |
| JP2009144790A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Herz Co Ltd | 空気ばね式防振台 |
| WO2009130818A1 (ja) * | 2008-04-24 | 2009-10-29 | 国際計測器株式会社 | 動電型振動試験装置 |
| JP5124017B2 (ja) * | 2008-04-24 | 2013-01-23 | 国際計測器株式会社 | 動電型振動試験装置 |
| JP2013015544A (ja) * | 2008-04-24 | 2013-01-24 | Kokusai Keisokki Kk | 加振装置 |
| JP2016186341A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 住友重機械工業株式会社 | 空気バネ用空気圧調整ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3810120B2 (ja) | 2006-08-16 |
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