JP2009144790A

JP2009144790A - 空気ばね式防振台

Info

Publication number: JP2009144790A
Application number: JP2007321515A
Authority: JP
Inventors: Soichi Yasuda; 安田壮一
Original assignee: HERZ CO Ltd
Current assignee: HERZ CO Ltd
Priority date: 2007-12-13
Filing date: 2007-12-13
Publication date: 2009-07-02

Abstract

【課題】地震対応型の空気ばね式防振台を提供する。
【解決手段】機器搭載用ベンチ１、当該機器搭載用ベンチ１を支持するとともに、圧力が高められた気体を充填するため内部にタンクが設けられている脚部２、当該機器搭載用ベンチ１と当該脚部２の間に挟着され、内部で当該脚部２の前記タンクと連通している空気ばね３、及び脚部２の前記タンクに気体配管５を用いて接続されている圧力が高められた気体を供給する気体供給源からなる防振台において、一定値以上の振動が与えられると、脚部２の前記タンク内部及び前記空気ばね３内部の気体を外部に排出する気体排出装置を設ける構成としたことにより、地震等によって与えられた振動によってベンチ１が大きく動くことを防止することができ、ベンチ１に搭載されている機器の損傷の増大を防止することができる。
【選択図】図１

Description

この発明は、床からの振動や機器搭載用のベンチ(以下、単に「ベンチ」という。)に搭載した機器による重量分布等によって、振動したベンチを速やかに停止させる空気ばね式防振台のうち、地震対応型の空気ばね式防振台に関するものである。

従来、空気ばね式防振台は、空気ばねによってベンチを水平に支持し、空気ばね内部の気体の圧力を制御して、ベンチの高さを調整している。こういった空気ばね式防振台の地震対策としては、架台の底部を、アンカーボルト等を用いて、床に固定し、地震等の振動があってもむやみに架台が動かないようにした構成がある。
第３００５３６８号登録実用新案公報

しかしながら、特許文献１に示すように防振台を床に固定する構成になっていても、機器等を搭載するベンチは、空気ばねによって支持される構成になっている。従って地震等の一定値以上の大きな振動を与えられた際に、地震等によって与えられた振動に空気ばねが共振することで、振動の振幅が増幅する。その結果、ベンチはあらゆる方向に対して大きく動き、ベンチ上に搭載してある機器等の破損する確率が高くなってしまうという問題点を有している。

そこでこの発明では、上述の課題を解決するため、空気ばね式の防振台に、地震等の一定値以上の振動が与えられると、空気ばね内部及び脚部のタンク内部の圧力が高められた気体を瞬時に排出する気体排出装置を設ける構成とした。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、機器搭載用ベンチ、当該機器搭載用ベンチを支持するとともに、圧力が高められた気体を充填するため内部にタンクが設けられている脚部、当該機器搭載用ベンチと当該脚部の間に挟着され、内部で当該脚部の前記タンクと連通している空気ばね、及び脚部の前記タンクに気体配管を用いて接続され、圧力が高められた気体を供給する気体供給源からなる防振台において、
一定値以上の振動が与えられると、脚部の前記タンク内部及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を外部に排出する気体排出装置を設けた、空気ばね式防振台とした。なお、この明細書では一定値以上の大きな振動とは、一定値以上の振幅や震度の振動を意味する。

また、請求項２の発明は、前記気体排出装置は、脚部の前記タンク及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を排出する排出バルブと、当該排出バルブの開閉に用いるバルブレバーと、当該バルブレバーと紐状物を用いて接続されている錘と、当該錘を常時支持する載置台とから成り、一定値以上の振動が与えられると、前記錘が当該載置台から落下し、前記バルブレバーを動作させる構成となっている、空気ばね式防振台とした。

また、請求項３の発明は、前記気体排出装置は、脚部の前記タンク及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を排出する排出バルブと、当該排出バルブの開閉に用いるバルブレバーと、前記機器搭載用ベンチが所定の高さ以上浮き上げるのを防止する、前記脚部に設けられたストッパーと、前記ベンチに設けられ、当該ストッパーに係止自在なストッパー杆とから成り、一定値以上の振動が与えられると、当該ストッパー杆が前記バルブレバーに接触し、当該バルブレバーを動作させる構成となっている、空気ばね式防振台とした。

また、請求項４の発明は、圧力が高められた気体を供給する前記気体供給源と脚部の前記タンクとを接続する気体配管に、圧力が高められた気体の供給を遮断する遮断バルブを設け、また当該遮断バルブの開閉に用いる第２バルブレバーと、当該第２バルブレバーと紐状物を用いて接続されている第２錘と、当該第２錘を常時支持する第２載置台とから成り、一定値以上の振動が与えられると、前記第２錘が当該第２載置台から落下し、前記第２バルブレバーを動作させる構成となっている、請求項１〜３に記載の空気ばね式防振台とした。

また、請求項５の発明は、前記気体排出装置が、機器搭載用ベンチを支持する前記各脚部に設けられている、請求項１〜４に記載の空気ばね式防振台とした。

また、請求項６の発明は、前記気体排出装置が、機器搭載用ベンチを支持する前記脚部のうちの一部の脚部に取り付けられている、請求項１〜４に記載の空気ばね式防振台とした。

請求項１〜６の発明によれば、地震等の一定値以上の振動が与えられると、脚部に設けられたタンク内部及び空気ばね内部の圧力が高められた気体を瞬時に排出する構成とすることで、地震等によって与えられた振動によってベンチが大きく動くことを防止することができ、ベンチに搭載されている機器の損傷の増大を防止することができる。

また、特に請求項２の発明よれば、バルブレバーの先端に錘を結びつけておき、地震等の一定値以上の振動が与えられると、載置台から錘が落下し、錘の重さでバルブレバーを動作させ、排出バルブが開く構成としたため、振動を感知し、排出バルブを開かせる装置を簡単な構成で達成することができる。また振動を感知してバルブを開かせる装置を地球の引力を用いた物理的な構成で達成しているため、余計な電力等を必要とせず経済的であり、かつ信頼性の高いものである。

また、特に請求項３の発明によれば、ストッパー杆を用いてバルブレバーを動作させ、排出バルブを開く構成としたため、振動を感知し、排出バルブを開かせる装置を簡単な構成で達成することができる。また、ストッパー杆は通常、防振台には備えられているものであり、従来の防振台に簡単な改良を加えることで、振動を感知して排出バルブを開かせる装置を構成することができる。

また、特に請求項４の発明によれば、脚部に設けられたタンク内部及び空気ばね内部の圧力が高められた気体を瞬時に排出するだけでなく、併せて気体供給源からの圧力が高められた気体の供給を遮断する構成としたため、タンク内部及び空気ばね内部の圧力が高められた気体の排出をより迅速に、より効果的に行うことができる。

機器搭載用ベンチ、当該機器搭載用ベンチを支持するとともに、圧力が高められた気体を充填するため内部にタンクが設けられている脚部、当該機器搭載用ベンチと当該脚部の間に挟着され、内部で当該脚部の前記タンクと連通している空気ばね、及び脚部の前記タンクに気体配管を用いて接続され、圧力が高められた気体を供給する気体供給源からなる防振台において、一定値以上の振動が与えられると、脚部の前記タンク内部及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を外部に排出する気体排出装置を設けた構成としたことにより、地震等によって与えられた振動によってベンチが大きく動くことを防止することができ、ベンチに搭載されている機器の損傷の増大を防止することができる。

以下、この発明の実施例１を図１〜２に基づいて説明する。図１は、本実施例の空気ばね式防振台Ａの構成を示した正面図である。また、図２は、空気ばね式防振台Ａの気体排出装置の一部を示した正面図である。図１に示すように空気ばね式防振台Ａは、例えば半導体露光装置といった超微細加工機や高分解能測定評価機器等の機器を搭載するベンチ１を、４つの脚部２を用いてベンチ１の四隅から支持する構成になっており、ベンチ１及び脚部２の間には、空気ばね３が挟着されている。ベンチ１と脚部２は、アルミ、スチール、鋳鉄、石、あるいは磁性体、非磁性体といった搭載する機器の使用目的に応じた種々の材料で製造される。図２に示すように、空気ばね３は、前記脚部２内に設けられている気体タンク４と、内部で連通するように構成されており、空気ばね３及び気体タンク４の内部には、空気や窒素ガス等の圧力が高められた気体が充填される。空気ばね３及び気体タンク４には、気体配管５を介して排出バルブ６が接続されている。排出バルブ６を開くと、空気ばね３及び気体タンク４内部の圧力が高められた気体が排出される。

空気ばね３及び気体タンク４内部の圧力の制御について、更に具体的に図３を用いて説明する。図３は空気ばね３及び脚部２の気体タンク４に充填する気体の流れを示すため、空気ばね式防振台Ａの気体の流通の回路構成を示した概念図である。なお図３では、ベンチ１を四隅から水平に支持する４つの脚部２のうち２つを示している。気体供給源は、気体配管５を介して気体タンク４及び空気ばね３に接続されている。気体供給源が、気体タンク４及び空気ばね３に圧力が高められた気体を供給すると、空気ばね３が膨らみ、ベンチ１が所定の高さまで浮上する。気体供給源としては、例えばエアーコンプレッサーによって圧縮された空気やボンベに充填された窒素ガス等の圧力が高められた気体を用いる。気体供給源から気体タンク４までの気体配管５の通路上の適宜の箇所にレギュレータ７と、オートレベルセンサー８と、スピードコントローラー９を設け、空気ばね３及び脚部２の気体タンク４内部の圧力や気体の量を調整し、ベンチ１の高さが常に一定になるようにする。レギュレータ７は、圧力調整リング(図示省略)によって、気体供給源から供給された気体の圧力を適宜減圧する。オートレベルセンサー８は、ベンチ１を水平に維持するために、搭載機器の荷重分布によって生じた傾きを感知し、適宜排気口(図示省略)から排気を行い、ベンチ１を水平に維持する。スピードコントローラー９は、気体配管５内の気体の流速や流量を調整する。

次に、地震等の一定値以上の振動が与えられた場合に作動する、空気ばね式防振台Ａに設けられた気体排出装置について説明する。図２に示すように、各脚部２の適宜の位置に排出バルブ６が設けられている。また脚部２の適宜の位置にバルブレバー１０が設けられており、バルブレバー１０を上下に動かすことによって、排出バルブ６の開閉を行うことができる。バルブレバー１０を、図２に示すように上に動かすと排出バルブ６が閉じ、図４に示すようにバルブレバー１０を下に動かすと排出バルブ６が開く構成になっている。またバルブレバー１０の先端には、紐１１の一端が取り付けられ、当該紐１１の他端は、錘１２に取り付けられている。また通常、錘１２は前記紐１１をたるませて載置台１３に載置されている。

更に、図１及び図３に示すように、気体供給源からレギュレータ７までの気体配管５の通路上の適宜の箇所に、遮断バルブ１４が設けられている。遮断バルブ１４を閉じると、気体供給源からの圧力が高められた気体の供給が遮断される。遮断バルブ１４付近には、遮断バルブ１４の開閉を操作する第２バルブレバー１５が設けられており、上に動かすと遮断バルブ１４が開き、第２バルブレバー１５を下に動かすと遮断バルブ１４が閉じる構成になっている。また第２バルブレバー１５の先端には、第２紐１６の一端が取り付けられ、当該第２紐１６の他端は、第２錘１７に取り付けられている。また通常、第２錘１７は前記紐１６をたるませて第２載置台１８に載置されている。

紐１１及び第２紐１６は、例えば金属製のチェーンやワイヤー、丈夫な紐等であり、要するに経年劣化に耐えるものであれば足りる。錘１２及び第２錘１７は、例えば球状であり、鉄、銅といった比重の高い材料を用いることが望ましい。載置台１３は、錘１２を載置し、所定の揺れが与えられた際には、錘１２を落下させる。載置台１３の具体的な構成は、図５及び図６を用いて説明する。図５及び図６は、図１に示されている載置台１３のうち、正面左側の載置台１３を拡大して示したもので、図５は平面図、図６は縦断面正面図である。載置台１３は、載置板部１３aと載置部材１３ｂから構成されている。載置板部１３aは平面略半円形状を呈している。しかし、載置板部１３aの形状に限定はない。載置板部１３aを平面尖頭形状に構成すれば、その上に載置された錘１２が落下しやすいという利点がある。載置板部１３a上の中央部には、上面に湾曲凹部を有する載置部材１３ｂが設けられ、その上面に球状の錘１２を載置させている。なお、本実施例では載置板部１３a上に載置部材１３ｂを設ける構成をあげたが、載置板部１３aをそのまま若干窪ませ、そこに錘１２を載置してもよい。要するに載置台１３は、その上に載置する錘１２が多少の揺れや振動によって落下したりはしないが、地震等の一定値以上の振動が与えられた場合には、落下するように構成されていればよい。どのぐらいの振動で気体排出装置が作動するかを調節するには、載置部材１３ｂの外径や載置部材１３ｂの上面に設けられた湾曲凹部の深さを変更すればよい。例えば、載置部材１３ｂの外径を大きくし、載置部材１３ｂの湾曲凹部の深さを深くすれば、錘１２を乗せた場合に安定して支持され、与えられた振動が小さい場合には、錘１２は載置台１３から落下しない。一方、載置部材１３ｂの外径を小さくし、載置部材１３ｂの湾曲凹部の深さを浅くすれば、錘１２を乗せた場合に不安定に支持され、わずかな振動が与えられた場合でも、錘１２は載置台１３から落下することになる。なおここでは、載置台１３を例にとって説明したが、第２載置台１８も載置台１３と同様の構成である。

地震等の一定値以上の振動が与えられると、図４に示すように載置台１３から錘１２が落下し、錘１２の落下によってバルブレバー１０が下に動き、排出バルブ６が開いて、空気ばね３や気体タンク４内に充填されていた圧力が高められた気体が数秒で排出される。空気ばね３は、内部の気体が排出されたため萎み、空気ばね３によって浮上していたベンチ１が脚部２の上に落下する。この結果、ベンチ１は脚部２に直接支持されることになり、地震等による一定値以上の振動によって、ベンチ１が大きく動くことはなくなる。なお、空気ばね３や気体タンク４内に充填されている気体を排出する速度は、ベンチ１が脚部２へ落下することによって、ベンチ１上に搭載されている機器が損傷しないような適宜の速度であることが望ましい。

また、一定値以上の振動が与えられると、第２載置台１８から第２錘１７が落下し、第２錘１７の落下によって第２バルブレバー１５が下に動き、遮断バルブ１４が閉じる。このように気体を供給している気体供給源からの圧力が高められた気体の供給を遮断することにより、空気ばね３や気体タンク４内に充填されていた気体の排出を一層迅速に、一層効果的に行うことが可能となる。

地震等の揺れがおさまった後、空気ばね式防振台Ａを通常の状態に復帰させる場合には、錘１２を載置台１３の上に戻す。そしてバルブレバー１０を上に動かして、排出バルブ６を閉じる。また、第２錘１７を第２載置台１８の上に戻し、第２バルブレバー１５を上に動かして、遮断バルブ１４を開く。その上で、気体供給源より圧力が高められた気体の供給を開始し、空気ばね３や気体タンク４に充填させ、ベンチ１を所定の高さまで浮上させる。

次にこの発明の実施例２について説明する。本実施例は、上述した実施例１の空気ばね式防振台と、気体排出装置について異なる構成を示したものであり、その他の構成及び効果は実施例１と同様である。

図７に示すように、空気ばね式防振台Ｂの各脚部２付近には、ベンチ１が所定の高さ以上浮上するのを防止するため、ストッパー杆１９と、その一端をストッパーとして用いる空気ばね支持板２０が設けられている。ストッパー杆１９は円柱形の中央部材１９aの上端と下端にフランジ１９ｂを夫々設けた構成になっており、ストッパー杆１９の中央部材１９aは、脚部２に固定された空気ばね支持板２０の一側に設けられた孔(図示省略)に遊貫され、上端側のフランジ１９ｂは、ベンチ１の下面に取り付けられている。従ってベンチ１が浮き上がると、ストッパー杆１９も浮き上がることになるが、ストッパー杆１９のフランジ１９ｂの外径は、空気ばね支持板２０に設けられた孔の内径より大きいため、ストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂは、空気ばね支持板２０に設けられた孔にぶつかり、ストッパー杆１９はそれ以上、上がらない。そのため、ストッパー杆１９と空気ばね支持板２０から成るストッパーは、ベンチ１が所定の高さ以上浮き上がるのを防止する役割を果たす。

本実施例の空気ばね式防振台Ｂでは、このストッパー杆１９を気体排出装置に用いる。具体的に説明すると、ストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂの延長線上に、バルブレバー１０の先端がくるように、バルブレバー１０を配置する。この場合、どのぐらいの振動で気体排出装置が作動するかを調節するには、ストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂとバルブレバー１０の先端との距離を調節すればよい。例えば、ストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂとバルブレバー１０との距離が接近していれば、ストッパー杆１９がわずかに上下しただけで、下端側のフランジ１９ｂがバルブレバー１０の先端にぶつかって、気体排出装置が作動することになる。一方、ストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂとバルブレバー１０との距離が離れていれば、ストッパー杆１９が少し上下しただけでは、下端側のフランジ１９ｂがバルブレバー１０の先端にぶつかることはなく、気体排出装置が作動することはない。

地震等の一定値以上の振動が与えられると、空気ばね式防振台Ｂにも振動が伝わり、空気ばね３によって浮き上がって支持されているベンチ１も上下に振動する。その結果ストッパー杆１９も上下に震動する。これにより、ストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂがバルブレバー１０の先端にぶつかり、バルブレバー１０を下に動かし、排出バルブ６が開いて、空気ばね３や気体タンク４内に充填されていた圧力が高められた気体が数秒で排出される。このように、ストッパー杆１９を用いることにより、気体排出装置の構成が実施例１の場合より簡単なものとなる。

次にこの発明の実施例３について説明する。実施例１及び２では、空気ばね３等の内部の気体を排出する排出バルブ６を開かせる装置を、脚部２の夫々に設ける構成としたが、錘１２あるいは、ストッパー杆１９等の排出バルブ６を開かせる装置をいずれか一部の脚部２に設ける構成としてもよい。

そこで図８に示すように、空気ばね式防振台Ｃでは、気体供給源から空気等の圧力が高められた気体を、レギュレータ７を経由してマニホールド２２に導入し、当該マニホールド２２から各脚部２に設けられたクイックエキゾースト２１を経由して、気体タンク４及び空気ばね３に前記気体を供給している。気体タンク４の入り口に設けられたクイックエキゾースト２１は、気体タンク４及び空気ばね３に前記気体を供給するほか、前記気体の排出口(図示省略)を有しており、この排出口を開けば、気体タンク４及び空気ばね３内に充填された前記気体が数秒で排出される。つまりクイックエキゾースト２１は、実施例１及び実施例２で述べた排出バルブ６と同様の役割も果たす。

またクイックエキゾースト２１に設けられた圧力が高められた気体の排出口(図示省略)の開閉を操作するバルブレバー２３は、空気ばね式防振台Ｃのベンチ１を支持する４つの脚部２のうち、一つの脚部２にのみ設けられている。このバルブレバー２３を上下に動かすだけで、付近に設けられた排出バルブ６の開閉操作及び各脚部２に設けられたクイックエキゾースト２１の前記気体の排出口の開閉操作を一度に行うことができる。バルブレバー２３を上に動かすと排出バルブ６が閉じる。これと同時に、クイックエキゾースト２１の前記気体の排出口が閉じ、前記気体は前記気体タンク４に流れる。一方、バルブレバー２３を下に動かすと排出バルブ６が開く。また、クイックエキゾースト２１の前記気体の排出口が開く構成になっている。

地震等の一定値以上の振動が与えられると、空気ばね式防振台Ｃにも振動が伝わり、空気ばね３によって浮き上がって支持されているベンチ１も上下に振動し。ストッパー杆１９も上下に振動する。これにより、バルブレバー２３が設けられている脚部２付近に設けられているストッパー杆１９の下端側のフランジ１９ｂがバルブレバー２３の先端にぶつかり、バルブレバー２３を下に動かす。すると排出バルブ６が開くとともに、各脚部２に設けられているクイックエキゾースト２１の前記気体の排出口が一斉に開いて、空気ばね３や気体タンク４内に充填されていた圧力が高められた気体が数秒で排出される。このように本実施例においては、マニホールド２２を用いているため、１つの排出バルブ６から空気ばね３や気体タンク４内に充填されていた前記気体を集中的に排出させることも可能であるが、複数のクイックエキゾースト２１を併用することで、空気ばね３や気体タンク４内に充填されている前記気体の排出を早めることができる。

なお図８では、排出バルブ６及びクイックエキゾースト２１の気体の排出口を開かせる装置としてストッパー杆１９を用いる構成をあげているが、実施例１のように錘１２を用いる構成でも用いることができる。また図８では、クイックエキゾースト２１とマニホールド２２の接続、マニホールド２２と気体供給源の接続に、気体配管５を用いているが空気チューブを用いてもよい。

なお、上述していない本実施例のその他の構成及び効果は実施例２と同様である。

また、上述してきた各実施例で示した構成に、図９に示すように、ベンチ１と空気ばね３の間に、緩衝材料として、例えば硬質ゴム等の弾性体２４を設ける構成を付加してもよい。このような構成にすれば、気体排出装置が作動し、空気ばね３や気体タンク４内に充填されていた圧力が高められた気体が排出され、ベンチ１が脚部２の上に落下した際に、その落下の衝撃を緩和させることができ、ベンチ１の上に搭載された機器に損傷を与えないですむ。

以上、この発明の好ましい実施例について述べたが、錘やストッパー杆を用いた、排出バルブ等を開かせる装置の数、及び空気ばねや気体タンク内部の気体を排出する排出バルブやクイックエキゾーストの数は限定されるものではなく、この発明の範囲で種々の変更実施が可能である。つまりこの発明の空気ばね式防振台は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、この発明の範囲で種々の変更実施が可能である。

この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａを示す正面図である。この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａの気体排出装置の一部を示した正面図である。この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａの圧力が高められた気体の流通の回路構成を示した概念図である。この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａの排出バルブの作動した状態の気体排出装置の一部を示した正面図である。この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａの載置台の構成を示す平面図である。この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａの載置台の構成を示す縦断面正面図である。この発明の実施例２の空気ばね式防振台Ｂを示す正面図である。この発明の実施例３の空気ばね式防振台Ｃを示す正面図である。この発明の実施例１の空気ばね式防振台Ａにおける気体排出装置の他の例の一部を示した正面図である。

符号の説明

１ベンチ、２脚部、３空気ばね、４気体タンク、５気体配管、６排出バルブ、７レギュレータ、８オートレベルセンサー、９スピードコントローラー、１０バルブレバー、１１紐、１２錘、１３載置台、１３a 載置板部、１３ｂ載置部材、１４遮断バルブ、１５第２バルブレバー、１６第２紐、１７第２錘、１８第２載置台、１９ストッパー杆、１９a 中央部材、１９ｂフランジ、２０空気ばね支持板、２１クイックエキゾースト、２２マニホールド、２３バルブレバー、２４弾性体

Claims

機器搭載用ベンチ、当該機器搭載用ベンチを支持するとともに、圧力が高められた気体を充填するため内部にタンクが設けられている脚部、当該機器搭載用ベンチと当該脚部の間に挟着され、内部で当該脚部の前記タンクと連通している空気ばね、及び脚部の前記タンクに気体配管を用いて接続され、圧力が高められた気体を供給する気体供給源からなる防振台において、
一定値以上の振動が与えられると、脚部の前記タンク内部及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を外部に排出する気体排出装置を設けたことを特徴とする、空気ばね式防振台。
前記気体排出装置は、脚部の前記タンク及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を排出する排出バルブと、当該排出バルブの開閉に用いるバルブレバーと、当該バルブレバーと紐状物を用いて接続されている錘と、当該錘を常時支持する載置台とから成り、一定値以上の振動が与えられると、前記錘が当該載置台から落下し、前記バルブレバーを動作させる構成となっていることを特徴とする、請求項１に記載の空気ばね式防振台。
前記気体排出装置は、脚部の前記タンク及び前記空気ばね内部の圧力が高められた気体を排出する排出バルブと、当該排出バルブの開閉に用いるバルブレバーと、前記機器搭載用ベンチが所定の高さ以上浮き上げるのを防止する、前記脚部に設けられたストッパーと、前記ベンチに設けられ、当該ストッパーに係止自在なストッパー杆とから成り、一定値以上の振動が与えられると、当該ストッパー杆が前記バルブレバーに接触し、当該バルブレバーを動作させる構成となっていることを特徴とする、請求項１に記載の空気ばね式防振台。
圧力が高められた気体を供給する前記気体供給源と脚部の前記タンクとを接続する気体配管に、圧力が高められた気体の供給を遮断する遮断バルブを設け、また当該遮断バルブの開閉に用いる第２バルブレバーと、当該第２バルブレバーと紐状物を用いて接続されている第２錘と、当該第２錘を常時支持する第２載置台とから成り、一定値以上の振動が与えられると、前記第２錘が当該第２載置台から落下し、前記第２バルブレバーを動作させる構成となっていることを特徴とする、請求項１〜３に記載の空気ばね式防振台。
前記気体排出装置が、機器搭載用ベンチを支持する前記各脚部に設けられていることを特徴とする、請求項１〜４に記載の空気ばね式防振台。
前記気体排出装置が、機器搭載用ベンチを支持する前記脚部のうちの一部の脚部に取り付けられていることを特徴とする、請求項１〜５に記載の空気ばね式防振台。