JP2006144859A - 除振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の除振装置は、除振台3と、除振台3を支持する空気バネ1,2と、空気バネ1,2への給気と排気を行うバルブ20と、除振台3の位置を検出する位置検出手段4と、除振台3の加速度を検出する加速度検出手段5と、位置検出手段4の出力を用いる位置フィードバックループと、および加速度検出手段5の出力を用いる加速度フィードバックループを有している。さらに、空気バネ1,2の圧力変化を検出する圧力変化検出手段13と、圧力変化検出手段13の出力を用いる圧力変化フィードバックループを有している。また、バルブ20は流量制御型バルブである。ここで、流量制御型バルブはスプール型サーボバルブであることが好ましい。また、圧力変化フィードバックループにおいて、圧力変化検出手段13の出力を、I補償器14を通して負帰還させることが好ましい。
【選択図】 図10
Description
S.Wakui:Incline Compensation Control Using an AirSpring Type Active Isolated Apparatus,Precision Engineering,27,170/174(2003) 加藤、川嶋、香川:等温化圧力容器を応用した圧力微分計の提案,SICEシステムインテグレーション部門講演会(SI2003),CD-ROM(2003) 加藤、川嶋、香川:等温化圧力容器を応用した圧力微分計の提案、計測自動制御学会論文集、40-6,642/647(2004) Tomonori Kato, Kenji Kawashima, Michio Yanagisawa, Toshiharu Kagawa: Application of Pressure Differentiator Using Isothermal Chamber to Isolation Table, SICE Annual Conference, CD-ROM (2004)
本発明は、除振台と、前記除振台を支持する空気バネと、前記空気バネへの給気と排気を行うバルブと、前記除振台の位置を検出する位置検出手段と、前記除振台の加速度を検出する加速度検出手段と、前期位置検出手段の出力を用いる位置フィードバックループと、および前記加速度検出手段の出力を用いる加速度フィードバックループを有する除振装置において、前記空気バネの圧力変化を検出する圧力変化検出手段と、前記圧力変化検出手段の出力を用いる圧力変化フィードバックループを有し、前記バルブが流量制御型バルブであるので、新規な除振装置を提供することができる。
除振装置として、ノズルフラッパ型サーボバルブを用いた空気バネ式除振装置、流量制御型バルブを用いた空気バネ式除振装置、および流量制御型バルブと圧力微分計を用いた空気バネ式除振装置について説明する。
空気バネ式除振装置は通常、質量、ばね、ダンパで表現される。運動方程式で表すと、次式(数2)となる。
(4)、(5)式より次式(数6)となる。
(7)式より、入力電圧を単位ステップ関数とすると圧力の時間応答波形は次式(数8)となる。
(8)式からわかるように、ノズルフラッパ型サーボバルブと同じ挙動が実現できる。そこで、圧力微分計の値をフィードバックしてノズルフラッパ型サーボバルブと同等の動作を実現する方法を提案する。提案する方法は、圧力微分計の値に積分ゲインをかけてフィードバックするもので、ブロック線図で示すと図9になる。
図11は、圧力微分計の構成を示すものである。圧力微分計は、容器と、空気バネ内と前記容器内を連絡する導通路と、前記空気バネ内と前記容器内の圧力差を求める差圧計とを有している。
変位センサ:PE−LS5、富士電機社製
加速度センサ:MG−102−20、特許機器社製
ノズルフラッパ型サーボバルブ:P075−221、特許機器社製
スプール型サーボバルブ:MPYE−5−M5−SA、Festo社製
ここで、圧力微分計の出力ゲイン係数Kcは、次式(数11)となる。
Claims (10)
- 除振台と、前記除振台を支持する空気バネと、前記空気バネへの給気と排気を行うバルブと、前記除振台の位置を検出する位置検出手段と、前記除振台の加速度を検出する加速度検出手段と、前期位置検出手段の出力を用いる位置フィードバックループと、および前記加速度検出手段の出力を用いる加速度フィードバックループを有する除振装置において、
前記空気バネの圧力変化を検出する圧力変化検出手段と、前記圧力変化検出手段の出力を用いる圧力変化フィードバックループを有し、
前記バルブが流量制御型バルブである
ことを特徴とする除振装置。 - 流量制御型バルブがスプール型サーボバルブである
ことを特徴とする請求項1記載の除振装置。 - 圧力変化フィードバックループにおいて、圧力変化検出手段の出力を、I補償器を通して負帰還させる
ことを特徴とする請求項1記載の除振装置。 - 圧力変化検出手段が、容器と、空気バネ内と前記容器内を連絡する導通路と、前記空気バネ内と前記容器内の圧力差を求める差圧計とを有する圧力微分計である
ことを特徴とする請求項1記載の除振装置。 - 導通路が、管またはスリットである
ことを特徴とする請求項4記載の除振装置。 - 計測時の導通路内の流れが、層流である
ことを特徴とする請求項4記載の除振装置。 - 容器が、等温化圧力容器である
ことを特徴とする請求項4記載の除振装置。 - 容器は、等温化具材が充填されている
ことを特徴とする請求項4記載の除振装置。 - 等温化具材が金属細線である
ことを特徴とする請求項4記載の除振装置。 - 差圧計がダイヤフラム式差圧計である
ことを特徴とする請求項4記載の除振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004333638A JP2006144859A (ja) | 2004-11-17 | 2004-11-17 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004333638A JP2006144859A (ja) | 2004-11-17 | 2004-11-17 | 除振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006144859A true JP2006144859A (ja) | 2006-06-08 |
JP2006144859A5 JP2006144859A5 (ja) | 2006-07-20 |
Family
ID=36624792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004333638A Pending JP2006144859A (ja) | 2004-11-17 | 2004-11-17 | 除振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006144859A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008044712A1 (fr) | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Tokyo Institute Of Technology | Régulateur de pression et isolateur de vibration |
JP2009144790A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Herz Co Ltd | 空気ばね式防振台 |
JP2012022702A (ja) * | 2011-09-01 | 2012-02-02 | Tokyo Institute Of Technology | 圧力レギュレータ及び除振装置 |
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008044712A1 (fr) | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Tokyo Institute Of Technology | Régulateur de pression et isolateur de vibration |
JP2009110033A (ja) * | 2006-10-11 | 2009-05-21 | Tokyo Institute Of Technology | 圧力レギュレータ及び除振装置 |
CN101523319B (zh) * | 2006-10-11 | 2011-07-20 | 国立大学法人东京工业大学 | 压力调节器及减振装置 |
JP4822464B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2011-11-24 | 国立大学法人東京工業大学 | 圧力レギュレータ及び除振装置 |
US8195336B2 (en) | 2006-10-11 | 2012-06-05 | Tokyo Institute Of Technology | Pressure regulator |
TWI402438B (zh) * | 2006-10-11 | 2013-07-21 | Tokyo Inst Tech | Pressure regulator and shock absorber |
KR101424727B1 (ko) * | 2006-10-11 | 2014-08-01 | 고쿠리츠다이가쿠호진 토쿄고교 다이가꾸 | 압력 레귤레이터 및 제진장치 |
JP2009144790A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Herz Co Ltd | 空気ばね式防振台 |
JP2012022702A (ja) * | 2011-09-01 | 2012-02-02 | Tokyo Institute Of Technology | 圧力レギュレータ及び除振装置 |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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