JP6416971B2 - 動電型アクチュエータ及び動電型加振装置 - Google Patents
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Description
この構成により、可動部は、複数の可動部支持機構により非駆動方向への移動が規制される為、非駆動方向に振動し難くなる。
これらの構成により、可動部は、直交する2つの非駆動方向で夫々両側から移動が規制される為、非駆動方向に振動し難くなる。
この構成により、可動部が可動部支持機構の一つにより下方から支持されるため、可動部の重量が大きくても可動部の上下方向の振動が効果的に防止される。
この構成により、可動部は、可動部支持機構と軸受により、駆動方向における2点で非駆動方向の移動が規制される為、更に非駆動方向に振動し難くなる。
動電型アクチュエータの駆動時に、固定部は反力によって軸線方向に強く振動する。この構成によれば、固定部が固定部支持機構の緩衝手段を介してベースに固定されるため、固定部の強い軸線方向の振動のベースへの伝達が防止される。このような、動電型アクチュエータを多軸加振機に使用すれば、加振軸間のクロストークや、不要な振動ノイズが低減し、精度の良い加振試験が可能になる。
この構成によれば、可動ブロックが受ける軸線方向の強い反力が、一対の固定部によって軸線の両側から対称的に支持されるため、可動ブロックのピッチングやヨーイングの発生が抑制される。
このように、ノイズ要因となる非駆動方向への振動が少ない動電型アクチュエータを使用する構成により、精度の高い加振が可能な動電型加振装置が提供される。
この場合、第1のスライダは、振動テーブルにおける第1のアクチュエータと対向する面に固定され、第2の方向に延びる第1のレールと、第1のアクチュエータにおける可動部の先端に固定された、第1のレールと係合して第1のレールに沿って移動可能な第1のランナーブロックとを備え、第2のスライダは、振動テーブルにおける第2のアクチュエータと対向する面に固定され、第1の方向に延びる第2のレールと、第2のアクチュエータにおける可動部の先端に固定された、第2のレールと係合して第2のレールに沿って移動可能な第2のランナーブロックとを備えた構成としてもよい。
これらの構成により、2つの動電型アクチュエータが互いに干渉せずに独立して振動テーブルを駆動することができるため、正確な加振が可能な2軸の動電型加振装置が実現する。
この場合、第1のスライダは、振動テーブルにおける第1のアクチュエータと対向する面に固定された、第2の方向に延びる第1の1のレールと、第1の1のレールと係合して第1の1のレールに沿って移動可能な第1の1のランナーブロックと、第1の1のランナーブロックが一面に固定された第1の連結板と、第1のアクチュエータにおける可動部の先端に固定された、第3の方向に延びる第1の2のレールと、第1の連結板の他面に固定された、第1の2のレールと係合して第1の2のレールに沿って移動可能な第1の2のランナーブロックとを備え、第2のスライダは、振動テーブルにおける第2のアクチュエータと対向する面に固定された、第3の方向に延びる第2の1のレールと、第2の1のレールと係合して第2の1のレールに沿って移動可能な第2の1のランナーブロックと第2の1のランナーブロックが一面に固定された第2の連結板と、第2のアクチュエータにおける可動部の先端に固定された、第1の方向に延びる第2の2のレールと、第2の連結板の他面に固定された、第2の2のレールと係合して第2の2のレールに沿って移動可能な第2の2のランナーブロックとを備え、第3のスライダは、振動テーブルにおける第3のアクチュエータと対向する面に固定された、第1の方向に延びる第3の1のレールと、第3の1のレールと係合して第3の1のレールに沿って移動可能な第3の1のランナーブロックと第3の1のランナーブロックが一面に固定された第3の連結板と、第3のアクチュエータにおける可動部の先端に固定された、第2の方向に延びる第3の2のレールと、第3の連結板の他面に固定された、第3の2のレールと係合して第3の2のレールに沿って移動可能な第3の2のランナーブロックとを備えた構成としてもよい。
これらの構成により、3つの動電型アクチュエータが互いに干渉せずに独立して振動テーブルを駆動することができるため、正確な加振が可能な3軸の動電型加振装置が実現する。
先ず、図1〜図9を参照して、本発明の第1実施形態に係る動電型3軸加振装置1(以下、「加振装置1」と略記する。)について説明する。図1及び図2は、それぞれ加振装置1の正面図及び平面図である。また、図3は、加振装置1の駆動システムの概略構成を示すブロック図である。以下の第1実施形態の説明において、図1における左右方向をX軸方向(右方向をX軸正方向)、紙面に垂直な方向をY軸方向(紙面表側から裏側へ向かう方向をY軸正方向)、上下方向をZ軸方向(上方向をZ軸正方向)とする。尚、Z軸方向は鉛直方向であり、X軸及びY軸方向は水平方向である。
次に、図10〜図12を参照して、本発明の第2の実施形態に係る動電型2軸加振装置1000(以下、「加振装置1000」と略記する。)について説明する。
10 … 制御部
20 … 計測部
30 … 電源部
40 … 入力部
50 … 装置ベース
100、1100 … X軸アクチュエータ
160、1160 … YZスライダ
200、1200 … Y軸アクチュエータ
260、1260 … ZXスライダ
300、1300 … Z軸アクチュエータ
360、1360 … XYスライダ
400 … 振動テーブル
Claims (8)
- 略筒状の固定部と、
前記固定部の軸線方向に往復駆動される可動部と、を備え、
前記可動部は、
その先端側の部分が前記固定部の中空部外に突出し、
その後端側の部分が前記中空部内に収容され、
前記固定部が、
前記可動部の前記先端側の部分を前記軸線方向に移動可能に支持する可動部支持機構と、
前記可動部の前記後端側の部分を前記軸線方向に移動可能に支持する軸受と、
を有し、
前記可動部の前記先端側の部分が、前記軸線方向に延びる円柱状であり、
前記可動部支持機構がリニアガイドを備え、
前記リニアガイドが、
前記可動部の前記先端側の部分の側面に取り付けられた、前記軸線方向に延びるレールと、
前記レール上を転動可能な複数の転動体と、
前記固定部に固定された、前記転動体を介して前記レール上を移動可能なランナーブロックと、を備え、
前記レールの全長が前記可動部の前記先端側の部分に取り付けられた、
動電型アクチュエータ。 - 前記可動部支持機構が、複数の前記リニアガイドを備え、
前記複数のリニアガイドが、前記可動部の軸線の周囲に、周方向に等間隔に配置された、
請求項1に記載の動電型アクチュエータ。 - 2対の前記可動部支持機構を備え、
前記可動部は前記2対の可動部支持機構により直交2方向にて両側から挟み込まれた、
請求項1又は請求項2に記載の動電型アクチュエータ。 - 前記可動部支持機構が、
前記固定部の軸線方向における先端面と前記リニアガイドとを連結する略L字状のガイドフレームを備えた、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータ。 - 前記可動部の前記後端側の部分が、その後端から突出して前記軸線上に延びるロッドを備え、
前記軸受が、前記軸線方向に貫通する開口を有し、該開口に通された前記ロッドを前記軸線方向に移動可能に支持する、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータ。 - 前記固定部の軸線が上下方向を向き、且つ、前記可動部の前記先端側の部分が前記固定部の中空部から上方に向かって突出するように配置され、
前記固定部の中空部内に配置され、前記ロッドを下方から支持する弾性部材を更に備える、
請求項5に記載の動電型アクチュエータ。 - 請求項1から請求項6の何れか一項に記載の動電型アクチュエータと、
前記動電型アクチュエータの可動部に連結された振動テーブルと、
を備えた動電型加振装置。 - 複数の前記動電型アクチュエータと、
前記複数の動電型アクチュエータと前記振動テーブルとをそれぞれ連結する複数のスライダと、
を備え、
前記複数の動電型アクチュエータが、
第1の方向に駆動可能な第1のアクチュエータと、
前記第1の方向と直交する第2の方向に駆動可能な第2のアクチュエータと、を含み、
前記複数のスライダが、
前記第1のアクチュエータと前記振動テーブルとを前記第2の方向にスライド可能に連結する第1のスライダと、
前記第2のアクチュエータと前記振動テーブルとを前記第1の方向にスライド可能に連結する第2のスライダと、を含む、
請求項7に記載の動電型加振装置。
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