TWI464483B - Liquid crystal display device with input function - Google Patents

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TWI464483B
TWI464483B TW099100560A TW99100560A TWI464483B TW I464483 B TWI464483 B TW I464483B TW 099100560 A TW099100560 A TW 099100560A TW 99100560 A TW99100560 A TW 99100560A TW I464483 B TWI464483 B TW I464483B
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Jun Tanaka
Shinji Sekiguchi
Norio Mamba
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Japan Display Inc
Panasonic Liquid Crystal Displ
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Description

具輸入功能之液晶顯示裝置 相關申請案之相互參照
本專利申請案主張2009年2月24日申請之日本專利申請案JP2009-40700為優先權案，藉由參照該案將其內容結合入本申請案。
本發明係關於具有輸入功能之液晶顯示裝置，特別是關於內藏實裝靜電電容結合方式之觸摸感應器功能之液晶顯示裝置。
靜電電容結合方式觸摸感應器，是具有藉由與顯示裝置組合，以手指觸摸對應於顯示裝置的顯示區域之觸摸感應器畫面，捕捉手指尖與位置檢測電極之間的靜電電容的變化而檢測出位置，並對顯示裝置輸入位置座標等的功能之機器。
近年來被搭載於行動電話或超小型個人電腦等之可攜機器，作為與顯示裝置組合之輸入裝置來使用。
靜電電容結合方式之觸摸感應器，於對應顯示裝置顯示區域的觸摸感應器基板上之觸摸感應器畫面，形成檢測出被觸摸的位置之圖案化的透明電極，於觸摸感應器畫面周邊被形成取出來自透明電極的位置檢測訊號之配線，具備將位置檢測訊號輸出至外部之檢測電路之用的配線電路等。
作為貼合靜電電容結合方式之觸摸感應器裝置與液晶顯示裝置之具觸摸感應器的液晶顯示裝置之例，例如日本專利JP2006-023904A係屬已知。
作為靜電電容結合方式之觸摸感應器功能內藏於液晶顯示裝置之例，已知有關於橫電場驅動方式之液晶顯示裝置之JP2008-185785A，與關於TN方式或垂直配向方式之液晶顯示裝置之JP2008-32756A。
近年來，移動機器之薄型化競爭很激烈，特別是行動電話，使液晶面板的玻璃基板或背光機器變薄，進行機器的薄型化。
然而，在貼合靜電電容結合方式之觸摸感應器裝置與液晶顯示裝置之附有觸摸感應器的液晶顯示裝置，貼合了觸摸感應器之基板與液晶顯示裝置之基板，所以全體變厚。
此外，為了改善此情形，把發揮觸摸感應器功能的電路形成於液晶顯示裝置側之基板內藏功能，而減低觸摸感應器的基板份的厚度之液晶顯示裝置，已經記載於JP2008-185785A、JP2008-32756A。
液晶顯示裝置之驅動方式，一般分為以下3種方式。
一種是對一對液晶挾持基板，於單側之基板存在有液晶驅動用的畫素電極與共通電極之橫電場驅動方式。此外，其他還有對一對液晶挾持基板，於一方之基板之液晶挾持面形成液晶驅動用之畫素電極，而於另一方之基板之液晶挾持面形成共通電極為特徵之扭轉向列(Twisted Nematic,TN)方式、垂直配向方式。
其中，在從前的橫電場驅動方式之液晶顯示裝置，成為一定電位的遮蔽電極層或導體層被形成於液晶驅動用之畫素電極與共通電極之對向基板面。
一般而言，在橫電場驅動方式，於畫素電極與共通電極之對向基板面存在有成為一定電位的導體時，畫素電極與共通電極之電場不被正常地施加，影響到根據電場之液晶分子排列的動向，因為發生液晶配向的紊亂，而成為所謂顯示斑的原因使顯示性能劣化。關於對向基板面會存在的高電阻值的材料，JP1997-5763A、JP1998-73810A、JP1998-82998A、JP1998-170958A等有所記載，於對向基板面使用電阻性高的材料。
因此，從前的橫電場驅動方式之液晶顯示器，於電場驅動方式由於在畫素電極與共通電極之對向基板面存在成為一定電位的遮蔽電極層或導體層，而有作為液晶顯示裝置之性能顯著劣化的問題。
此外，對觸摸感應器電極被形成的基板之背面，被形成遮蔽電極層或導體層、彩色濾光片層。因此，有必要在先形成觸摸感應器電極之後，形成遮蔽電極層或導體層、彩色濾光片層，或者是採取其相反的步驟，在形成一方之面側時有必要保護背面側，會有步驟變得繁雜的問題。
另一方面，在從前的TN方式或垂直配向方式之液晶顯示裝置，液晶驅動用的電極被形成於液晶挾持兩面，藉由該電極間的電場驅動液晶。此時，成為靜電電容結合方式之觸摸感應器電極與液晶驅動用的電極中介著彩色濾光片層而被絕緣的構造。作為觸摸感應器功能，係以手指接觸液晶面板畫面藉由觸摸感應器電極捕捉被結合於手指的靜電電容的變化而檢測出位置反映於畫面顯示。
但是，受到接近的液晶驅動的電場影響，不能高感度的檢測出被結合於手指的靜電電容之變化，會有不能實現作為觸摸感應器的正常功能的問題。此外，相反的受到流過接近的觸摸感應器電極的電流訊號影響，被施加至接近的液晶驅動電極的電場紊亂，液晶分子排列的動向受到影響，會有因液晶配向的紊亂而在顯示性能上產生問題之問題。
本發明之目的在於提供維持作為觸摸感應器的功能、性能，可使機器實現生產性良好之組入靜電電容結合方式觸摸感應器功能的液晶顯示裝置。
為了達成前述目的，本發明之組入靜電電容結合方式觸摸感應器功能的液晶顯示裝置具有以下的特徵。
本發明之液晶顯示裝置，於挾持液晶之一對透明基板之一方基板上，具有被配置為矩陣狀的薄膜電晶體所構成之開關元件及開關元件之配線部、被導電連接於薄膜電晶體的透光性之畫素電極，及與畫素電極中介著絕緣膜被配置之共通電極，於挾持液晶的最表面具有液晶配向膜，於對向之另一方之基板，於挾持液晶之面具有液晶配向膜，在該基板之與液晶相反之側具有靜電電容結合方式之觸摸感應器功能的電極。
此時，在本液晶顯示裝置，藉由畫素電極與共通電極之間的橫電場使液晶對電極水平地進行配向驅動而呈現影像顯示功能。
此外，在本發明之液晶顯示裝置，藉由在挾持液晶的一對透明基板之內，於具有薄膜電晶體之基板側具有彩色濾光片，而實現彩色顯示。此外，於具有薄膜電晶體之基板相對向的另一方基板，於挾持液晶的面上具有液晶配向膜，於該基板背面側，具有藉由被設置由透明電極所構成的XY位置座標電極的靜電電容結合方式檢測出被觸摸的位置之觸摸感應器電路。
此時，在具有觸摸感應器電路的基板，只於單側存在液晶配向膜，不存在對驅動液晶的橫電場造成影響的導電層，可以得到沒有因電場而使液晶分子排列的動向變得紊亂之顯示性能。
於單側形成液晶配向膜與胞間隙間隔件(胞間隙間隔件在薄膜電晶體電路基板側也可發揮同樣的功能)的話，可以實現作為液晶顯示裝置之基本性能，也使製造步驟變得簡單。
進而，使具有觸摸感應器電路的基板的厚度為0.4mm以上1.2mm以下的話，成為充分厚的絕緣物，觸摸感應器電路也因基板自身成為厚的絕緣物而與驅動液晶的橫電場隔絕，可以高感度地檢測出在觸摸感應器電極與手指之間結合的靜電電容的變化。
在本發明，可以實現維持作為觸摸感應器的功能、性能，可使機器實現生產性良好之組入靜電電容結合方式觸摸感應器功能的液晶顯示裝置。
 [供實施發明之最佳型態]
以下，使用圖1至7說明本發明之實施型態。
[實施例1]
以如下之條件製作圖1之剖面圖所示之實施例1之液晶顯示裝置。
本實施例之液晶顯示裝置，以對向的透明基板之第1基板101與第2基板116挾持液晶層113，於第1基板101上設有把薄膜電晶體電路作為開關元件之顯示電路。
於第1基板101上，形成由所要的圖案形狀所構成的導電體之閘極電極102，於此上面形成由氮化矽膜所構成的絕緣層103。其次，形成薄膜電晶體105，形成接續於此之源極電極104及汲極電極106。其次，使用顏料彩色濾光片材料，形成彩色濾光片層107。此時，於彩色濾光片層形成貫通至源極配線的接續開口111。接著，形成透明共通電極108。接著，於此上面，形成由氮化矽膜所構成的絕緣層109。此時，於絕緣層109形成貫通至源極配線的接續開口111。接著，形成圖案化為所要的形狀之透明畫素電極110。此時，由接續開口111，畫素電極110被接續於源極電極104。接著，形成以聚亞醯胺材料為主成分的液晶用之配向膜112。
於第2基板116上，形成靜電電容觸摸感應器電路層117。於其背面(挾持液晶之側)，形成供規定液晶層113的厚度之用的胞間隙間隔件114。接著，形成以聚亞醯胺材料為主成分的液晶用之配向膜115。
以第1基板101與第2基板116挾持液晶層113後，將偏光板薄膜貼附於兩外側，形成外裝偏光板118,119。
藉由以上形成的液晶挾持胞(cell)與成為光源的背光單元(未顯示)組合，而完成液晶顯示裝置。
以下，具體說明製作步驟。
作為第1基板101，使用在可見光區域透明性良好的厚度約略為0.4mm之無鹼玻璃，於其上成膜成為閘極電極的電極材料，藉由使用光阻劑之光微影技術形成圖案，形成閘極電極102。在本構成例，作為閘極電極102以濺鍍法依序層積鋁與鉬，形成為厚度約100nm。
其次，以覆蓋閘極電極102的方式於基板全面，藉由電漿CVD(化學氣相成長)法，成膜出厚度約300nm的氮化矽膜作為絕緣層103。進而，於閘極電極上，中介著氮化矽絕緣膜以光微影技術形成薄膜電晶體105。薄膜電晶體105，在本構成例，係使用非晶矽膜或者多晶矽膜形成為厚度約略為300nm。
接著，於薄膜電晶體圖案之一部分以重複的方式形成源極電極104與汲極電極106。這些，係藉由濺鍍法依序層積成膜出厚度約300nm的鉬、鋁、鉬。接著，使用習知的光微影技術，形成光阻圖案，以所得到的光阻圖案作為遮罩，藉由蝕刻使電極形成圖案，除去光阻劑，形成所要的源極電極與汲極電極之圖案。
接著，以旋轉或者狹縫方式塗布含有彩色濾光片顏料的鹼性顯影型之感光性彩色濾光片材料，使用加熱板或烤爐在90℃下加熱，使用特定之光遮罩藉由光微影技術曝光，以鹼性顯影液形成圖案，形成接續開口111。接著，使用烤爐在230℃下加熱30分鐘使其硬化而形成厚度約1.5μm的彩色濾光片層107。於彩色顯示有必要組合紅色、綠色、藍色3色之畫素，所以形成3色之彩色濾光片。
接著，使用廣為人知的真空中之濺鍍法形成厚度70nm的銦錫氧化物膜。其次，使用週知之光微影技術，塗布光阻劑，藉由曝光、顯影而形成所要的圖案。其次，以得到的光阻圖案作為遮罩，藉由蝕刻透明電極形成圖案，除去光阻劑，得到所要的透明共通電極108之圖案。
作為透明電極，除了可以使用導電度高達某種程度，具有可使可見光透過的功能之銦錫氧化物(ITO)膜以外，還可以適用銦鋅氧化物膜、氧化鋅等氧化物透明電極。電極的厚度，可由導電度與透明性之相關性來任意設定。氧化物透明電極膜，在蝕刻時使用酸性系液即可。
接著，於上層形成保護覆蓋這些下層膜之絕緣層109。本構成例的場合，係藉由電漿CVD法形成厚度約略500nm之氮化矽膜。此外，也可以使用氧化氮化矽膜。此時，氮化矽膜或氧化氮化矽膜之形成溫度最好是在室溫以上280℃以下，由於作為顏料彩色濾光片的耐熱性與作為保護膜之氮化矽膜或氧化氮化矽膜之物性膜質相互對立，所以溫度特別以180℃以上230℃以下為佳。
接著，塗布光阻劑材料，使用加熱板或烤爐在90℃下加熱，使用特定之光遮罩藉由光微影技術曝光，以鹼性顯影液形成圖案，形成開口而使光阻劑下層之氮化矽膜露出。接著，把光阻作為遮罩藉由蝕刻除去露出部之氮化矽膜形成開口，形成使下層的源極電極露出之接續開口111。此時，氮化矽膜覆蓋彩色濾光片層，在接續開口111內彩色濾光片層不露出。
接著，使用廣為人知的真空中之濺鍍法形成厚度70nm的銦錫氧化物膜。其次，使用週知之光微影技術，塗布光阻劑，藉由曝光、顯影而形成所要的圖案。其次，以得到的光阻圖案作為遮罩，藉由蝕刻透明電極形成圖案，除去光阻劑，得到所要的透明畫素電極110之圖案。
接著，於液晶顯示裝置之顯示區域的表層形成供使液晶配向之用的液晶配向膜112。液晶配向膜係把聚亞醯胺系材料溶液使用凸版印刷或噴墨塗布成膜方法來成膜，在90℃下加熱，其後在230℃下成為加熱硬化膜後，以拋光手法等拋光處理膜表面，以水洗淨作為配向膜。
作為第2基板116，可以適用在可見光區域透明性良好的無鹼玻璃、蘇打玻璃、或硼酸玻璃等鹼性玻璃，或化學強化玻璃等玻璃基板亦可。此外，亦可使用具有透明性的聚對苯二甲酸乙二酯、聚鄰苯二甲酸酯(PEN)(Polyethylene naphthalate)等聚酯膜，耐熱性與透明性均很高的聚亞醯胺膜亦屬已知，使用具有這樣的透明性之樹脂系基板亦可。
基板的厚度最好是0.4mm以上1.2mm以下。此時，第2基板116，成為液晶顯示裝置與靜電電容觸摸感應器電路層之間之充分厚的絕緣物。
在此作為第2基板116，使用0.8mm厚的無鹼玻璃，形成靜電電容觸摸感應器電路層117。
於靜電電容觸摸感應器電路層117，顯示畫面內係使用透明電極形成電路。作為透明電極，可以使用導電度高達某種程度，具有可使可見光透過的功能之銦錫氧化物(ITO)膜，或銦鋅氧化物膜、氧化鋅等氧化物透明電極。透明電極，例如，使用廣為人知的真空中之濺鍍法形成銦錫氧化物膜。其次，使用週知之光微影技術，塗布光阻劑，藉由曝光、顯影而形成所要的圖案。其次，以得到的光阻圖案作為遮罩，藉由蝕刻透明電極形成圖案，除去光阻劑，得到所要的透明電極圖案。電極的厚度，可由導電度與透明性之相關性來任意設定。
於第2基板116的背面(挾持液晶之側)，形成供規定液晶層113的厚度之用的胞間隙間隔件114。
作為胞間隙間隔件的材料，適用感光性材料。藉由以丙烯酸系樹脂或丙烯酸環氧系樹脂為基底高分子而與感光劑組合，使被照射光的部分顯影溶解除去之正型感光性材料或是未被照射光的部分顯影溶解除去之負型感光性材料係屬已知，可以使用這些。作為顯影液，依存於分別之感光性材料，可以使用鹼性水溶液或有機溶劑。
將這樣的感光性材料溶液以旋轉或者狹縫方式塗布，使用加熱板或烤爐在90℃下加熱，使用特定之光遮罩藉由光微影技術曝光，以顯影液形成圖案。接著，使用烤爐在230℃下加熱30分鐘使其硬化，形成胞間隙間隔件114。
其次，於液晶顯示裝置之顯示區域的表層形成供使液晶配向之用的液晶配向膜115。液晶配向膜115係把聚亞醯胺系材料溶液使用凸版印刷或噴墨塗布成膜方法來成膜，在90℃下加熱，其後在230℃下成為加熱硬化膜後，以拋光手法等拋光處理膜表面，以水洗淨作為配向膜。
貼合藉由以上形成的第1基板與第2基板，挾持液晶層113。液晶層的厚度，係以胞間隙間隔件114的高度規定的，此處為0.4μm厚。
接著，於第1基板與第2基板的外面貼合薄膜偏光板，設外裝偏光板118,119。
藉由以上，得到組入靜電電容結合方式觸摸感應器功能的液晶顯示裝置。於本液晶顯示裝置，於挾持液晶之一對透明基板之一方基板上，具有被配置為矩陣狀的薄膜電晶體所構成之開關元件及開關元件之配線部、被導電連接於薄膜電晶體的源極電極的透光性之畫素電極，及中介著畫素電極與絕緣膜被配置之共通電極，於挾持液晶的最表面具有液晶配向膜，於對向之另一方之基板，於挾持液晶之面具有液晶配向膜，在該基板之背面側具有靜電電容結合方式之觸摸感應器功能的電極。
此時，在本液晶顯示裝置，藉由畫素電極與共通電極之間的橫電場使液晶對電極水平地進行配向驅動而呈現影像顯示功能，此外，藉由在具有薄膜電晶體之基板側具有彩色濾光片，實現作為液晶顯示裝置之彩色顯示。於本實施例，將彩色濾光片層107形成於絕緣層103上，但彩色濾光片層107只要是在具有薄膜電晶體105的基板側即可配置於哪裡都可以。例如，於第1基板101上形成彩色濾光片層107，於其上使用氮化矽膜或氧化氮化矽膜形成保護膜後，於其上形成閘極電極102或絕緣層103亦可。
此處，將被形成於第1基板101上的薄膜電晶體電路作為開關元件的顯示電路，如顯示該液晶顯示畫素之1個次畫素的圖2之平面圖所示，係由汲極電極201、閘極電極202、薄膜電晶體203、源極電極204、接續開口205、透明畫素電極206、透明共通電極208所構成。透明畫素電極206，因為藉由與透明共通電極208之間的橫電場使液晶對電極水平地進行配向驅動，所以為具有畫素電極狹縫開口207的狹縫形狀。透明畫素電極206，由於該形狀，亦有被稱為梳齒狀電極的情形。
此外，於第1基板上將薄膜電晶體電路作為開關元件的顯示電路，如圖3之平面圖所示，把紅、綠、藍之原色彩色濾光片作為次畫素組合3原色而作為1個畫素，實現作為液晶顯示裝置之彩色顯示。
於圖3，301為接續開口、302為透明畫素電極、303為畫素電極狹縫開口、304為透明共通電極層、305為彩色濾光片(紅)、306為彩色濾光片(綠)、307為彩色濾光片(藍)。
[實施例2]
於圖4顯示實施例1之組入靜電電容結合方式觸摸感應器功能的顯液晶示裝置之立體圖。用以下之條件製作圖4所示的構成之液晶顯示裝置。
使影像顯示畫面(觸摸感應器畫面)404為外面，貼合形成把薄膜電晶體電路作為開關元件的顯示電路之第1基板401與內藏觸摸感應器電路的第2基板403而挾持液晶層402。於第1基板401與第2基板402之外側被貼合有薄膜偏光板(未圖示)。
於第2基板403，被連接實裝了觸摸感應器位置檢測電路控制用IC405之可撓印刷配線基板406。此可撓印刷配線基板406，因把訊號輸入液晶顯示裝置之目的，被連接於第1基板401。於第1基板401，實裝液晶顯示用控制IC408，連接著可撓印刷配線基板407。藉由把可撓印刷配線基板407例如連接於行動電話的訊號電路，可把顯示影像訊號送往液晶顯示裝置。
此時，剖面a-a’如圖5所示，係由第1基板502、密封供挾持液晶層504之用的顯示畫面周邊之液晶密封部503、第2基板505、觸摸感應器電路層506、及被貼附於分別的基板外側之外裝偏光板501,507所構成。
藉由以上，得到組入靜電電容結合方式觸摸感應器功能的液晶顯示裝置。於本液晶顯示裝置，於挾持液晶之一對透明基板之一方基板上，具有被配置為矩陣狀的薄膜電晶體所構成之開關元件及開關元件之配線部、被導電連接於薄膜電晶體的源極電極的透光性之畫素電極，及中介著畫素電極與絕緣膜被配置之共通電極，於挾持液晶的最表面具有液晶配向膜，於對向之另一方之基板，於挾持液晶之面具有液晶配向膜，在該基板之背面側(與液晶相反之側)具有靜電電容結合方式之觸摸感應器電路層。
[實施例3]
於圖6顯示實施例1之觸摸感應器電路層的基板平面圖。用以下之條件製作圖6所示之觸摸感應器電路層。
於第2基板601單面上，被形成供檢測位置座標之用的觸摸位置座標檢測電路層。此電路層，係於影像顯示畫面(觸摸感應器畫面)602，設有觸摸位置座標檢測透明電極603與604(分別檢測出觸摸位置的X座標、Y座標)、及於影像顯示畫面外取出來自透明電極的訊號之電極電路訊號配線605。電極電路訊號配線605，被接續於觸摸感應器電路接續端子606，對此接續端子接續實施例2記載之可撓印刷配線基板406。
以下，具體說明製作步驟。
作為第2基板601，使用0.8mm厚的無鹼玻璃。
成為座標電極603與604之透明電極，可以使用導電度有某種程度高者，具有可使可見光透過的功能之銦錫氧化物(ITO)膜、銦鋅氧化物膜、氧化鋅等氧化物透明電極。座標電極的厚度，可由導電度與透明性之相關性來任意設定。此外，座標電極的形狀，可以為了由作為檢測電路之靜電電容結合的訊號與雜訊比來良好進行位置訊號檢測的性能，而任意設定。座標電極603與604之各個，於觸控面板裝置，成為對應於X位置座標與Y位置座標之座標電極。座標電極603與604之上下關係沒有必要為固有的XY。
成為座標電極603與604的透明電極，把銦錫氧化物膜使用公知的真空中之濺鍍法，成膜為5nm至50nm之任意厚度之膜。其次，使用週知之光微影技術，塗布光阻劑，藉由曝光、顯影而形成所要的座標電極圖案。其次，以得到的光阻圖案作為遮罩，藉由蝕刻透明電極形成圖案，除去光阻劑，得到由透明電極構成的所要的座標電極圖案603與604。
電極電路訊號配線605與觸摸感應器電路接續端子606，係使用導電性高的金屬配線，例如銀、鋁或者是金屬化合物之鋁/鈀/銅等材質，使用前述之光微影技術形成圖案。
此時，成為座標電極603與604的透明電極，如圖7所示藉由絕緣膜704與706而被絕緣。於圖7，701係第2基板、702係觸摸位置座標檢測電路層、703係觸摸位置座標檢測透明電極、704為絕緣膜、705為觸摸位置座標檢測透明電極706為絕緣膜。作為絕緣膜704與706適用具有透光性之絕緣膜材料。膜厚，可以考慮透光率或絕緣膜材料之介電率而選擇。使絕緣膜為比介電率3～4的場合，膜厚適合設為1～20μm。
作為絕緣膜層的材料，若使用感光性材料的話，適於形成前述之觸摸位置座標檢測電路層702時之開口圖案的形成。藉由以丙烯酸系樹脂或丙烯酸環氧系樹脂、矽氧烷系樹脂為基底高分子而與感光劑組合，使被照射光的部分顯影溶解除去之正型感光性材料或是未被照射光的部分顯影溶解除去之負型感光性材料係屬已知，可以使用這些。作為顯影液，依存於分別之感光性材料，可以使用鹼性水溶液或有機溶劑。
絕緣膜，為了不拉下影像顯示裝置的性能，其透過率有80%以上透光性的必要。於前述之絕緣膜材料，在負型感光性材料，基底高分子與感光劑等的成分只要選擇在可見光區域(400nm～800nm)之光吸收很少者就可以實現透光性。此外，在正型感光性材料選擇基底高分子在可見光區域的光吸收很少者，同時感光劑進行光脫色(photobleaching)處理，可以提高在可見光區域之透光性。
具體而言，觸摸位置座標檢測電路層702可藉由以下步驟形成。
使用濺鍍法把銦錫氧化物膜在第2基板701上形成厚度20nm之膜。其次，使用週知之光微影技術，塗布光阻劑，藉由曝光、顯影而形成下層的銦錫氧化物露出之所要的圖案。其次，把光阻圖案作為遮罩，使用氫溴酸水溶液蝕刻除去露出的銦錫氧化物。其次除去光阻，得到由透明電極所構成的所要的觸摸位置座標檢測透明電極703。
在使用鹼性水溶液可顯影的丙烯酸系負型感光性材料的場合之絕緣膜層形成，採下述步驟。首先，於被形成觸摸位置座標檢測透明電極703的第2基板701上塗布材料溶液。其次以加熱板在90℃加熱5分鐘得到預烘焙膜。其次，透過供形成所要的圖案之用的光罩，對除了作為絕緣膜而開口的處所以外之面照射光使其光硬化。其次使用羥化四甲銨(Tetramethylammonium hydroxide,TMAH)2.38wt%之鹼性水溶液，顯影預烘焙膜，溶解除去未被照光的部分，於絕緣膜形成所要的開口。其次，以加熱板在230℃加熱10分鐘得到2μm厚之絕緣膜704。
其次，使用濺鍍法包含第2基板701上的絕緣膜704在其上形成厚度20nm之銦錫氧化物膜。其次，使用週知之光微影技術，塗布光阻劑，藉由曝光、顯影而形成下層的銦錫氧化物露出之所要的圖案。其次，把光阻圖案作為遮罩，使用氫溴酸水溶液蝕刻除去露出的銦錫氧化物。其次除去光阻，得到由透明電極所構成的所要的觸摸位置座標檢測透明電極705。
其次，於被形成下層的座標電極層之基板上塗布能以鹼性水溶液顯影的丙烯酸系負型感光性材料溶液。其次以加熱板在90℃加熱5分鐘得到預烘焙膜。其次，透過供形成所要的圖案之用的光罩，對除了作為絕緣膜而開口的處所以外之面照射光使其光硬化。其次使用羥化四甲銨(Tetramethylammonium hydroxide,TMAH)2.38wt%之鹼性水溶液，顯影預烘焙膜，溶解除去未被照光的部分，於絕緣膜形成所要的開口。其次，以加熱板在230℃加熱10分鐘得到2μm厚之絕緣膜706。
101．．．第1基板
102．．．閘極電極
103．．．絕緣層
104．．．源極電極
105．．．薄膜電晶體
106．．．汲極電極
107．．．彩色濾光片層
108．．．透明共通電極
109．．．絕緣層
110．．．畫素電極
111．．．接續開口
112．．．液晶配向膜
113．．．液晶層
114．．．胞間隙間隔件
115．．．液晶配向膜
116．．．第2基板
117．．．觸摸感應器電路層
118,119．．．外裝偏光板
201．．．汲極電極
202．．．閘極電極
203．．．薄膜電晶體
204．．．源極電極
205．．．接續開口
206．．．透明畫素電極
207．．．畫素電極狹縫開口
208．．．透明共通電極
301．．．接續開口
302．．．透明畫素電極
303．．．畫素電極狹縫開口
304．．．透明共通電極層
305．．．彩色濾光片(紅)
306．．．彩色濾光片(綠)
307．．．彩色濾光片(藍)
401．．．第1基板
402．．．液晶層
403．．．第2基板(內藏觸摸感應器電路)
404．．．影像顯示畫面(觸摸感應器畫面)
405．．．觸摸位置檢測電路控制用IC
406．．．可撓印刷配線基板
407．．．可撓印刷配線基板
408．．．液晶顯示用控制IC
501．．．外裝偏光板
502．．．第1基板
503．．．液晶密封部
504．．．液晶層
505‧‧‧第2基板
506‧‧‧觸摸感應器電路層
507‧‧‧外裝偏光板
601‧‧‧第2基板
602‧‧‧影像顯示畫面(觸摸感應器畫面)
603‧‧‧觸摸位置座標檢測透明電極(X座標)
604‧‧‧觸摸位置座標檢測透明電極(Y座標)
605‧‧‧電極電路訊號配線
606‧‧‧觸摸感應器電路接續端子
701‧‧‧第2基板
702‧‧‧觸摸位置座標檢測電路層
703‧‧‧觸摸位置座標檢測透明電極
704‧‧‧絕緣膜
705‧‧‧觸摸位置座標檢測透明電極
706‧‧‧絕緣膜
a-a’，b-b’‧‧‧剖面
圖1係供說明相關於本發明之實施例之液晶顯示裝置之剖面圖。
圖2係供說明相關於本發明之實施例之液晶顯示裝置之第1基板上的畫素電路之平面圖。
圖3係供說明相關於本發明之實施例之液晶顯示裝置之第1基板上的彩色濾光片之平面圖。
圖4係供說明相關於本發明之實施例之液晶顯示裝置之立體圖。
圖5係供說明相關於本發明之實施例之液晶顯示裝置之圖4的液晶顯示畫面部a-a’之剖面圖。
圖6係供說明相關於本發明之實施例之觸摸感應器電路之基板平面圖。
圖7係供說明相關於本發明之實施例之觸摸感應器電路之圖6的觸摸感應器電路部b-b’之剖面圖。
101．．．第1基板
102．．．閘極電極
103．．．絕緣層
104．．．源極電極
105．．．薄膜電晶體
106．．．汲極電極
107．．．彩色濾光片層
108．．．透明共通電極
109．．．絕緣層
110．．．畫素電極
111．．．接續開口
112．．．液晶配向膜
113．．．液晶層
114．．．胞間隙間隔件
115．．．液晶配向膜
116．．．第2基板
117．．．觸摸感應器電路層
118,119．．．外裝偏光板

Claims (6)

  1. 一種組入靜電電容結合方式觸摸感應器的液晶顯示裝置，其特徵為：具備挾持液晶之第1透明基板及第2透明基板；在前述第1透明基板上，被設有配置為矩陣狀由薄膜電晶體所構成之開關元件、該開關元件之配線部、被導電連接於該薄膜電晶體之透光性的畫素電極、與該畫素電極中介著絕緣膜而被配置之共通電極、供彩色顯示之用的彩色濾光片層、與於挾持前述液晶之最表面的液晶配向膜；進而於前述彩色濾光片層上，被配置前述畫素電極與共通電極，同時前述畫素電極係與前述共通電極中介著絕緣膜而被設置的；而在前述第2透明基板上，被設有被形成於與前述第1透明基板為相反側之面之前述靜電電容結合方式之觸摸感應器的透明電極、及被形成於與前述透明電極為相反之面的液晶配向膜；藉由設於前述第1透明基板的前述畫素電極與前述共通電極之間的電場，以橫電場方式來驅動前述液晶進行影像顯示。
  2. 如申請專利範圍第1項之組入靜電電容結合方式觸摸感應器的液晶顯示裝置，其中於前述第2透明基板，前述靜電電容結合方式觸摸感 應器之透明電極係由XY位置座標電極所構成，藉由前述XY位置座標電極而藉著靜電電容結合方式檢測出被觸摸的位置，同時通過前述第2透明基板及前述XY位置座標電極顯示影像。
  3. 如申請專利範圍第1項之組入靜電電容方式觸摸感應器的液晶顯示裝置，其中前述第2透明基板上之液晶配向膜，係直接被形成於前述第2透明基板上之前述觸摸感應器的形成透明電極之面的相反面。
  4. 一種組入靜電電容方式觸摸感應器的液晶顯示裝置之製造方法，其特徵為包含：在第1透明基板上，形成由薄膜電晶體構成的開關元件、該開關元件的配線部、供彩色顯示之用的彩色濾光片層、被導電連接於該薄膜電晶體的透光性之畫素電極、與該畫素電極中介著絕緣膜而被配置之共通電極、與液晶配向膜，同時於該彩色濾光片層上，配置該畫素電極及該共通電極之步驟，在前述第2透明基板上，形成靜電電容方式觸摸感應器的透明電極，及被形成於前述透明電極的相反面之液晶配向膜的步驟，及挾持液晶貼合前述第1透明基板與前述第2透明基板的步驟。
  5. 如申請專利範圍第4項之組入靜電電容方式觸摸感應器的液晶顯示裝置之製造方法，其中於前述第2透明 基板上形成前述靜電電容方式觸摸感應器之透明電極之後，形成前述第2透明基板上之液晶配向膜。
  6. 如申請專利範圍第4項之組入靜電電容方式觸摸感應器的液晶顯示裝置之製造方法，其中前述第2透明基板上之液晶配向膜，係直接被形成於前述第2基板。
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