TWI447533B - Exposure mask - Google Patents

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TWI447533B TW098100641A TW98100641A TWI447533B TW I447533 B TWI447533 B TW I447533B TW 098100641 A TW098100641 A TW 098100641A TW 98100641 A TW98100641 A TW 98100641A TW I447533 B TWI447533 B TW I447533B
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    • G02F2201/46—Fixing elements

Description

曝光用光罩
本發明是關於對膜狀光罩周緣施加力讓該光罩彈性變形，使繪製在該光罩上包括複數位置對準標記的圖案尺寸及/或形狀改變，藉此在上述光罩和基板對準位置後將上述圖案轉印在上述基板上的曝光方法所使用的光罩。
上述的曝光方法，是揭示在日本專利第3402681號。接著，根據第5圖及第6圖說明其原理。如圖示，光罩101的周圍，設有對光罩101周緣部賦予拉力的複數致動器102做為力賦予手段。致動器102是以包圍著光罩101安裝在底座構件103。致動器102的活動端部104形成有鉤105。
另一方面，光罩101的周緣部形成有複數的孔(長孔)106。孔106可容納致動器102的鉤105且與該鉤105卡合構成為連結部可將力賦予手段即致動器102的拉力傳達至光罩101。
光罩101其平面性維持用的透明玻璃板107是由底座構件103支撐著。
基板108是配置在與光罩101相向的位置。基板108是支撐在基板支撐構件109上，其與光罩101之間的間隙量是成為可變。
光罩101的與基板108相反的側配置有CCD攝影機110。CCD攝影機110，其位置是可改變，能夠同時讀取繪製在光罩101上的位置對準標記111(第5圖)和繪製在基板108上的位置對準標記116(第8圖)。另，光罩101上的位置對準標記111間的間距是形成比基板108上的位置對準標記116間的間距還若干小。
第5圖中以二點虛線B包圍的光罩101區域是可辨識該區域中為包括位置對準標記11的圖案繪製處的圖案顯示區域112。此外，包圍著圖案顯示區域112周圍的光罩101區域是可辨識為將光罩101連結於力賦予手段即致動器102成為力傳達用區域的力傳達區域113。
在進行光罩101和基板108的位置對準時，首先，以CCD攝影機110讀取繪製在雙方的位置對準標記成重疊的狀態，根據位置偏差量的數據移動光罩101或基板108，使各位置對準標記的位置偏差量平均。
其次，啟動致動器102對光罩101賦予拉力，藉此改變包括位置對準標記111的圖案尺寸及/或形狀，使光罩101的位置對準標記111和基板108的位置對準標記116以高精度成為彼此重疊。
如上述當光罩101和基板108的位置對準結束後，就使曝光用的光114(第6圖)通過光罩101照射至基板108，將繪製在光罩101其圖案顯示區域112內的圖案轉印在基板108上。藉此，使圖案以尺寸精度高及位置對準精度高的狀態轉印在基板108上。
[專利文獻1]日本專利第3402681號
上述的曝光方法使用至今的先前光罩，勢必要比這以前所使用的光罩還大。其原因是圖案繪製處的圖案顯示區域112的周圍需要設有力傳達區域113。曝光時若只是要單純地支撐光罩的外周緣，則圖案顯示區域12的周圍只要設有寬度窄的「支撐用區域」即可。但是，若需要連結力賦予手段，則不僅需要形成有連結用的孔，為了不讓各致動器拉力造成的光罩局部性歪曲直接影響到圖案，力傳達區域113的寬度必須形成相當大。其結果，就不得不將昂貴材料構成的光罩形成為較大。
先前的光罩101的尺寸和這以前的光罩的尺寸以第7圖進行比較的結果，相對於二點虛線B所包圍的圖案顯示區域112的面積，先前的光罩101的面積約為2.6倍，但二點虛線C所示的這以前的光罩的面積是圖案顯示區域112的約1.6倍。這是因為圖案顯示區域112周圍的區域，就先前的光罩101而言是不得不需要較大的力傳達區域113，但相對於此這以前的光罩卻只要小的支撐用區域115即可。
第8圖，是表示配置成與光罩相向的基板108和形成在其上面的位置對準標記116的平面圖。光罩和基板108位置對準後，利用曝光使繪製在光罩上的圖案轉印在基板108上。與基板108相比，光罩101具有約2.5倍以上的尺寸，但其一半以上是以昂貴光罩材料製成的非必要性力傳達區域113。
光罩尺寸大造成的問題，並不限於光罩製作費用的增加而已。由於大的光罩是無法以現狀的光罩描繪裝置對應，為了獲得能夠對應大光罩的描繪裝置是需要新的設備投資。
於是，本發明的課題是分開製成含有圖案顯示區域的中央部份和含有力傳達區域的部份，然後透過接合形成光罩，藉此就能夠達到降低材料實及避免新的設備投資。
為了解決上述課題，根據本發明時，可提供一種對膜狀光罩周緣施加力讓該光罩彈性變形，使繪製在該光罩上包括複數位置對準標記的圖案尺寸及/或形狀改變，藉此在上述光罩和基板對準位置後將上述圖案轉印在上述基板上的曝光方法所使用的光罩，該光罩，構成為具備：繪製有上述圖案的中央部份；及與該中央部份個別形成，全體配置成包圍著上述中央部份外周緣部並且成為接合在該中央部份外周緣部的力傳達部份，具有和可使上述中央部份彈性變形的力賦予手段連結用之連結部的力傳達部份。
上述力傳達部份也可由針對上述中央部份的各邊個別製成的複數帶狀構件所構成，藉由將該帶狀構件分別接合上述中央部份的各邊以形成光罩。
或者，又可將上述力傳達部份以單一的框緣狀構件製成，藉由將該框緣狀構件接合上述中央部份以形成光罩。
或者，又可將上述力傳達部份由針對上述中央部份彼此鄰接的2個邊製成的一對L字形構件所形成，藉由將該一對L字形構件接合上述中央部份以形成光罩。
上述中央部份及上述力傳達部是以彼此緣端面成對面的狀態，利用膠帶黏貼在該對面部的至少單面側就能夠讓彼此接合。
上述連結部，可構成複數孔以做為形成在力賦予手段即致動器之活動端部的鉤其勾掛用。
上述力傳達部份，可用具有上述中央部份構成用材料同等楊氏模量的材料構成。
根據本發明的光罩時，繪有圖案的中央部份，和對中央部份的周圍傳達力讓中央部份彈性變形的力傳達部份，因是個別製成，所以力傳達部份不需用昂貴的光罩材料製作，能夠以更便宜的材料構成。因此，使用昂貴材料的部份減少，能夠降低光罩全體的製作費。
此外，在光罩描繪圖案時，只要將與力傳達部份為分離狀態的中央部份配置描繪裝置即可。中央部份因是形成為現狀描繪裝置能夠對應的尺寸大小，所以不需要新設備的投資。
又加上，當力傳達部份以具有上述中央部份構成用材料同等楊氏模量的材料構成時，力傳達部份就可和中央部份同等伸展，即使是2個不同構件的接合構造，全體也不會扭曲歪斜。
[發明之最佳實施形態]
第1圖是本發明一實施形態的光罩1平面圖。光罩1，具備：已描繪有包括複數位置對準標記2之圖案的中央部份3；及全體配置成包圍著中央部份3外圍緣部的力傳達部份4。力傳達部份4是與中央部份3個別製成。
中央部份3，可區分成以二點虛線D包圍的區域即該區域中描繪有圖案的圖案顯示區域5，和包圍該區域周圍的安裝用區域6。中央部份3是以先前光罩形成用材料相同或同等的材料構成。
該實施形態中，力傳達部份4，如第2圖所示，由針對中央部份3的各邊個別製成的4個帶狀構件4a～4d所構成。各帶狀構件4a～4d是分別接合在中央部份3的各邊。
於接合時，將中央部份3的安裝用區域6的外圍緣端面和與其相向的各帶狀構件4a～4d的緣端面成對面狀態，沿著雙方的緣端面貼上膠帶7(參照第1圖)。膠帶7是可只貼在緣端面對面部的單側面，也可貼在兩面。雙方的緣端面可彼此接觸，也可彼此接近。此外，也可以膠帶7取代，或者也可使用膠帶7的同時用黏合劑塗抹在中央部份3的安裝用區域6的外圍緣端面及與其相向的各帶狀構件4a～4d的緣端面間。也可以利用其他適合的機械式接合手段，為了提高接合尺寸精度，最好是使用固定工具。
各帶狀構件4a～4d，設有複數的孔(長孔)8以做為形成在力賦予手段即致動器之活動端部的鉤(未圖示)其勾掛用。該等孔8是構成和可使中央部份3其面內彈性變形的力賦予手段連結用的連結部。
其他的連結部的形態，例如可在各帶狀構件4a～4d形成有凹凸形狀部(未圖示)等，構成可與力賦予手段的活動端部彼此卡合形成力的傳達。
力傳達部份4沒有描繪圖案。因此，力傳達部份4不必使用和中央部份3相同的昂貴材料構成，能夠採用更便宜的材料。具體而言，中央部份3是以通過的光罩材料即PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯)塗敷有感光材的材料製成，力傳達部份4是以感光材未塗敷狀態的PET製成。因兩者的楊氏模量實質上相同，施加張力時為相同的伸展。因此，即使是不同構件的接合構造，拉伸時還是不會產生扭曲歪斜。另，力傳達部份4所使用的PET材，不僅可不用塗敷感光材，也可不需要如中央部份3所使用的PET材要求「完美無瑕」，因此能夠採用較便宜的材料。
第3圖是本發明另一實施形態的光罩11平面圖。光罩11，具備：已描繪有包括複數位置對準標記2之圖案的中央部份3；及全體配置成包圍著中央部份3外圍緣部的力傳達部份14。力傳達部份14是與中央部份3個別製成。
於該實施形態中，力傳達部份14如第4圖所示是以單一的框緣狀構件製成。力傳達部份14內圍緣部的尺寸及形狀的訂定是根據力傳達部份14和中央部份3配合時，力傳達部份14的內圍緣部所形成的空間內可剛好嵌入中央部份3的外圍緣部。
如第3圖所示，框緣狀的力傳達部份14的空間內為嵌入有中央部份3的狀態後，用膠帶7讓力傳達部份14及中央部份3的雙方彼此接合。針對接合及力傳達部份14構成用的材料，如第1圖及第2圖實施形態的相關說明，可選擇各種不同的手段。
又加上，另外的實施形態(未圖示)中，力傳達部份是由上述中央部份彼此鄰接的2個邊製成的一對L字形構件所形成。一對L字形構件是透過彼此組合形成可包圍著中央部份外圍緣部的尺寸及形狀。針對力傳達部份和中央部份的接合及力傳達部份構成用的材料是和其他的實施形態的狀況相同。
1‧‧‧光罩
2‧‧‧光罩的位置對準標記
3‧‧‧中央部份
4‧‧‧力傳達部份
5‧‧‧圖案顯示區域
6‧‧‧安裝用區域
7‧‧‧膠帶
8‧‧‧孔(連結部)
11‧‧‧光罩
14‧‧‧力傳達部份
101‧‧‧光罩
102‧‧‧致動器(力賦予手段)
103‧‧‧底座構件
104‧‧‧活動端部
105‧‧‧鉤
106‧‧‧孔
107‧‧‧玻璃板
108‧‧‧基板
109‧‧‧基板支撐構件
110‧‧‧CCD攝影機
111‧‧‧位置對準標記
112‧‧‧圖案顯示區域
113‧‧‧力傳達區域
114‧‧‧光
115‧‧‧支撐用區域
116‧‧‧基板的位置對準標記
第1圖為本發明一實施形態的光罩平面圖。
第2圖為表示第1圖光罩構成要素接合前的狀態分解平面圖。
第3圖為本發明另一實明形態的光罩平面圖。
第4圖為表示第3圖光罩形成前的力傳達部份分解平面圖。
第5圖為表示先前的光罩和力賦予手段的組合平面圖。
第6圖為第5圖光罩及力賦予手段和基板同時圖示的縱剖面圖，相當於第5圖VI-VI線剖面圖。
第7圖為先前的光罩和這以前的光罩尺寸比較用的平面圖。
第8圖為基板和繪製在其上面的位置對準標記同時圖示的平面圖。
1．．．光罩
2．．．光罩的位置對準標記
3．．．中央部份
4．．．力傳達部份
4a、4c、4b、4d．．．帶狀構件
5．．．圖案顯示區域
6．．．安裝用區域
7．．．膠帶
8．．．孔(連結部)
D．．．虛線

Claims (7)

  1. 一種光罩，是對膜狀光罩周緣施加力讓該光罩彈性變形，使繪製在該光罩上包括複數位置對準標記的圖案尺寸及/或形狀改變，藉此在上述光罩和基板對準位置後將上述圖案轉印在上述基板上的曝光所使用的光罩，其特徵為，具備：繪製有包括上述複數位置對準標記之上述圖案的中央部份；及與該中央部份個別形成，全體配置成包圍著上述中央部份外周緣部並且成為接合在該中央部份外周緣部的力傳達部份，具有和可使上述中央部份彈性變形的力賦予手段連結用之連結部的力傳達部份。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載的光罩，其中，上述力傳達部份是由針對上述中央部份的每各邊個別製成的複數帶狀構件所構成，藉此將該帶狀構件分別接合上述中央部份的每各邊以形成光罩。
  3. 如申請專利範圍第1項所記載的光罩，其中，上述力傳達部份是以單一的框緣狀構件製成，將該框緣狀構件接合在上述中央部份。
  4. 如申請專利範圍第1項所記載的光罩，其中，上述力傳達部份是由針對上述中央部份彼此鄰接的各2個邊製成的一對L字形構件所形成，將該一對L字形構件接合於上述中央部份。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項任一項所記載的 光罩，其中，上述中央部份及上述力傳達部是以彼此緣端面成對面的狀態，利用膠帶黏貼在該對面部的至少單面側讓彼此接合。
  6. 如申請專利範圍第1項至第4項任一項所記載的光罩，其中，上述連結部是構成複數孔以形成在做為力賦予手段即致動器之活動端部的鉤勾掛之用。
  7. 一種光罩，是對膜狀光罩周緣施加力讓該光罩彈性變形，使繪製在該光罩上包括複數位置對準標記的圖案尺寸及/或形狀改變，藉此在上述光罩和基板對準位置後將上述圖案轉印在上述基板上的曝光所使用的光罩，其特徵為，具備：繪製有包括上述複數位置對準標記之上述圖案的中央部份；及與該中央部份個別製成，全體配置成包圍著上述中央部份外周緣部並且成為接合在該中央部份外周緣部的力傳達部份，具有和可使上述中央部份彈性變形的力賦予手段連結用之連結部的力傳達部份，上述中央部份及上述力傳達部是以彼此緣端面成對面的狀態，利用膠帶黏貼在該對面部的至少單面側讓彼此接合，上述連結部是構成複數孔以形成在做為力賦予手段即致動器之活動端部的鉤勾掛之用。
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