JP2007138256A - 蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着通孔5が形成されたパターン形成領域4を備える蒸着マスク1を前記基板30の片側に搭載し、少なくとも前記蒸着マスク1の端部が支持してあって、前記基板30の蒸着マスク1が搭載される側とは反対側に押さえ治具50を介しておもり20を置く。これにより、蒸着マスク1と基板30との密着度が向上され、精度の良い蒸着ができる。
【選択図】図3
Description
本発明に係る蒸着方法の第1実施形態について以下図面を参照して説明する。図1に示す蒸着マスク1は、ニッケルやニッケル−コバルト等のニッケル合金、その他の電着金属を素材として、電鋳方法により形成されたマスク本体2から成る。このマスク本体2は、例えば36×48mmのパターン形成領域4を複数、本実施形態では3つ備える。パターン形成領域4には、多数独立の蒸着通孔5からなる発光層形成用の蒸着パターン6が形成されている。
次に、本発明に係る蒸着方法の第2実施形態について説明する。なお、前記実施形態と同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
2 マスク本体
3 枠体
4 パターン形成領域
4a パターン形成領域の外周縁
5 蒸着通孔
6 蒸着パターン
9 電着金属層
10 母型
14 一次パターンレジスト
14a レジスト体
15 一次電着層
16 フォトレジスト層
16a 露光されたフォトレジスト層
16b 未露光のフォトレジスト層
17 パターンフィルム
18 二次パターンレジスト
18a レジスト体
20 おもり
30 基板
50 押さえ治具
70 磁石
Claims (5)
- 蒸着装置内の上方に配置した基板30に蒸着材を蒸着するために、蒸着通孔5が形成されたパターン形成領域4を備える蒸着マスク1を前記基板30の片側に搭載し、少なくとも前記蒸着マスク1の端部が支持してあって、前記基板30の蒸着マスク1が搭載される側とは反対側に押さえ治具50を介しておもり20を置くことを特徴とする蒸着方法。
- 前記蒸着通孔5上方を避けて前記押さえ治具50を配することを特徴とする請求項1に記載の蒸着方法。
- 前記パターン形成領域4が整列形成された蒸着マスク1であって、前記押さえ治具50を前記各パターン形成領域4を囲むように格子状に形成することを特徴とする請求項2に記載の蒸着方法。
- 前記蒸着マスク1のパターン形成領域4を囲むように枠体3が形成されることを特徴とする請求項2ないし3に記載の蒸着方法。
- 前記枠体3はインバー材から成ることを特徴とする請求項4に記載の蒸着方法。
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