TWI445115B - Substrate transfer device and cable wiring structure - Google Patents

Substrate transfer device and cable wiring structure Download PDF

Info

Publication number
TWI445115B
TWI445115B TW097110778A TW97110778A TWI445115B TW I445115 B TWI445115 B TW I445115B TW 097110778 A TW097110778 A TW 097110778A TW 97110778 A TW97110778 A TW 97110778A TW I445115 B TWI445115 B TW I445115B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
cable
rotating member
disposed
rotating
flat cable
Prior art date
Application number
TW097110778A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200908187A (en
Inventor
Hidehito Sueki
Yoshihisa Oono
Hideki Nakayama
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Publication of TW200908187A publication Critical patent/TW200908187A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI445115B publication Critical patent/TWI445115B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02G—INSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G11/00—Arrangements of electric cables or lines between relatively-movable parts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electric Cable Arrangement Between Relatively Moving Parts (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

基板搬送裝置及纜線配線構造
本發明係有關配設數條纜線的纜線配設構造與基板搬送裝置，係用於對載置用於搬送半導體晶圓或FPD(Flat Panel Display，平板顯示器)基板等之搬送臂的旋轉台的伴隨旋轉之機構供應電力或訊號等。
在例如以半導體製造工程對半導體晶圓或FPD基板等實施蝕刻或成膜等之特定處理的半導體製造裝置上，設有具備將基板搬送至裝置內各處之搬送臂之基板搬送裝置。搬送臂係安裝在例如旋轉台上俾變更臂的伸縮方向。在該基板搬送裝置中，由於搬送臂的驅動機構係載置於旋轉台上，必須在旋轉台配設用於對該驅動機構供應電力或訊號之多條線條體，例如電線或纜線等。
要在該旋轉台等之旋轉構件上配設多條纜線時，先前作法係在該旋轉構件與外殼內之底部之間，直接分散配置多條纜線，以該等纜線彼此不致互相磨擦的程度擴大纜線的配設空間。
[專利文獻1]特開2000－69655號公報發明內容
但是，近年來，隨著半導體裝置的多功能化，此種基 板搬送裝置也被要求小型化，用於配設纜線之空間也被要求儘量小型化。另方面隨著設置於旋轉台上之搬送臂等的多功能化，非配設的纜線數也增加，而且供應電力等也增加以致纜線直徑也有增大的傾向。
若將該項纜線裝入比先前更狹窄的空間，並與先前一樣將纜線直接分散配設，則纜線的配設空間越狹窄，在旋轉台旋轉而纜線搖動時，纜線彼此容易互相磨擦或糾纏。這將對纜線本身施加負載，而有導致纜線之損傷或斷線等之虞。另外，在旋轉台旋轉而纜線搖動時，許多纜線會互相散亂糾纏搖動而很不容易預測整體的形態或動向的軌跡。
此時，雖然可以想法利用纜線槽(Cable duct)或纜線支架(Cab1e bearer)等彙集成一條，惟若以該種纜線槽或纜線支架彙集，則纜線數變得越多，或單元纜線的直徑越大時，纜線槽或纜線支架也會變得越大，因此在狹小空間中無法裝入纜線槽或纜線支架。設若可以裝入，在旋轉台旋轉時，許多纜線彼此在纜線槽或電線支架內會互相磨擦以致有對纜線施加負載之虞。
此外，在專利文獻1中，記載有將形成於環形的多條單元纜線依次徑向排列，並將該等互相接合而成之扁形環狀形態之集成纜線彎曲成略呈U字形俾在平面看來呈彎曲於上下方向之纜線裝置。在該纜線裝置中，旋轉彎曲部時，藉由將彎曲部朝上下方向膨脹來吸收彎曲部之相對旋轉，以防止纜線的糾纏。在該構造中，由於將彎曲部彎曲 成U字形，對於單元纜線的直徑比較小而容易彎曲時有效。但是，如上所述，單元纜線的直徑越大，不僅本身不易彎曲成U字形，縱使可以彎曲成U字形，施加於各單元纜線的彎曲部的負載極大，所以設成該種形態並不適當。
因此，本發明為鑑及上述而完成者，其目的在提供一種纜線的配設構造與基板搬送裝置，其係在旋轉構造配設纜線時，可以邊抑止對構成纜線之各線條體所旋加之負載，邊防止纜線隨旋轉構件之旋轉而搖動時之互相磨擦與糾纏，藉以節省纜線之配設空間。
為解決上述課題，本發明之一形態提供一種纜線配線構造，其特徵為具備：具有纜線配設空間的外殼；在上述外殼配設可以相對旋轉俾可窺視該纜線配設空間之旋轉構件；以及將排列成帶狀之多條線條體互相接合成一體而成，上述各線條體配設於上述旋轉構件俾排列於垂直方向，並收容於上述纜線配設空間之扁平纜線；上述扁平纜線之一端係裝設於由上述旋轉構件之旋轉中心偏離的位置，另一端則固定於上述外殼，俾捲徑由該處朝上述纜線配線空間慢慢擴大成螺旋狀。另外，在上述旋轉構件中，不僅包含例如旋轉台似地以單元旋轉的旋轉構件，而且包含與固定於旋轉構件本身之旋轉構件本身一起旋轉之旋轉體，旋轉板等。
為解決上述課題，本發明之另一形態提供一種纜線配線構造，其係可在相對旋轉的旋轉構件上配設纜線；其特徵為：上述纜線為將排列成帶狀之多條線條體互相接合成一體之扁平纜線；上述扁平纜線之一端係裝設於由上述旋轉構件之垂直的旋轉中偏離之位置，並配設成捲徑由該處慢慢朝垂直方向擴大之螺旋狀。
利用本發明，扁平纜線會依照旋轉構件之旋轉描繪螺旋狀的捲徑變化一般的軌跡(例如扭擺式運動)。如此一來，即可以簡單預測依照旋轉構件之旋轉而變化的扁平纜線的形態或軌跡，而且可以防止扁平纜線隨著旋轉構件之旋轉而搖動時之磨擦或糾纏。另外，又將扁平狀纜線設成多條線條體互相接合成一體，因此可以防止各線條體之磨擦或糾纏。此外，藉將扁平電纜的形態設成捲徑慢慢由旋轉構件朝向纜線配設空間擴大之螺旋狀，則即使構成扁平纜線之線條體之直徑較大，也可以降低施加於各線條體之負載。又配設係在垂直方向呈螺旋狀，因此可以更節省水平方向之纜線配設空間。再者，藉將扁平纜線之一端裝設於由旋轉構件之旋轉中心偏離之位置，可以更有效利用水平方向之纜線配設空間。
另外，上述旋轉構件宜由起點角度至終點角度旋轉於正逆方向；上述扁平纜線長度至少由上述旋轉構件之起始角度至終點角度為止宜依照其旋轉角度設成上述扁平狀纜線之捲徑變化之長度。如此一來，扁平纜線之形態或軌跡會依旋轉構件所使用之旋轉角度之範圍加以限制，因此， 扁平纜線之長度可以與其配合調整至必要的最小限度。
此外，上述扁平纜線的捲徑縮成最小時之上述旋轉構件之旋轉角度的上述扁平纜線之一端宜由上述扁平纜線之另一端偏離於水平方向。如此一來，可以在扁平纜線的捲徑具有某種程度的寬度。藉此，可以使纜線配設空間的高度方向降低。
再者，扁平纜線的捲徑變得最小時之上述旋轉構件之旋轉角度的上述扁平纜線之一端由上述旋轉構件之中心看來，宜偏離於上述扁平纜線之另一端之同側。如此一來，當旋轉構件旋轉而扁平纜線鬆散時，可以使其不至於擴大至水平方向之反對側，因此，也可以更縮小纜線配設空間的水平方向。
另外，構成扁平纜線的多條線條體宜全部具有相同的撓曲率。如此一來，當扁平纜線之捲徑搖動而改變時，可以使各線條體不受任何負載。另外，構成上述扁平纜線的多條線條體宜具有相同直徑。藉此，可以防止扁平纜線搖動時，僅對特定的線條體(例如小徑纜線)施加負載。
此外，構成上述扁平纜線的多條線條體中包含一集束多條的單元纜線的多芯纜線。藉此，可以減少構成扁平纜線的線條體之總數。
為解決上述課題，本發明的另一形態提供一基板搬送機構，其特徵為具備：設成可以在外殼上面相對旋轉之旋轉台；用於搬送載置於上述旋轉台上之基板的搬送臂；配置於上述外殼內之上方而與上述旋轉台一起旋轉於垂直軸 周圍的旋轉板；以及扁平纜線，將排列成帶狀之多條線條體互相接合成一體，並在上述旋轉板與上述外殼底面之間的空間配設俾使上述各線條體排列成垂直方向；上述扁平纜線之一端裝設於偏離上述旋轉板的旋轉中心之位置，另一端則裝設於上述外殼，俾捲徑由該處向下慢慢朝向下方擴大成螺旋狀。
利用本發明，在對與旋轉台一起旋轉之旋轉板上配設時，可以邊抑制對構成纜線的各線條體施加之負載，邊防止纜線隨著旋轉台(旋轉板)之旋轉而搖動時之磨擦或糾纏，進一步節省纜線配設空間。如此一來，可以將基板搬送裝置整體更小型化。
利用本發明，要在旋轉構件配設纜線時，邊抑制對構成纜線的各線條體所施加的負載，並配設成容易預測其形態或軌跡，即可防止纜線隨著旋轉構件之旋轉而搖動時之磨擦或糾纏，並且更加節省纜線之配設空間。
 [實施發明之最佳形態]
以下參照附圖詳細說明本發明之較佳實施形態。另外，在本說明書與圖式中，對於具有實質上相同之功能構造的構造元件附以相同符號而省略其贅述。
(基板搬送裝置) 首先，參照圖式說明適用本發明於搬送基板之基板搬送裝置時之實施形態。圖1為表示基板搬送裝置的構造之剖面圖。基板搬送裝置100具備：箱形外殼110，設成可在該外殼110上面旋轉自如的圓板狀旋轉台120，以及設置於旋轉台120上成伸縮自如於水平方向的搬送臂130。在本實施形態中，要以對該旋轉機構供應電力或訊號等之纜線200配設於外殼110內之狹窄空間之纜線配設構造為例加以說明。
外殼110上面呈開口的箱體狀，外殼110內上部安裝有用於使旋轉台120在中心軸(垂直軸)周圍旋轉或轉動的載台驅動用馬達112。例如在載台驅動用馬達112設有凸緣部113，該凸緣部113係以螺桿等連結構件安裝於外殼110的上部內面。載台驅動用馬達112之旋轉軸(驅動軸)114由外殼110上面之開口部突出，並透過凸緣部115裝設於旋轉台120下面。
搬送臂130被構成例如圖1所示由3軸水平多關節機器人(Scala Robot)所構成之臂(manipulator)。具體地說搬送臂130將可在水平面內旋轉之2支連桿(link)(第1連桿132，第2連桿134)與終端受動器(End effector)136串連而成。更詳細地說，配置於最下方之第1連桿132之基端部透過旋轉軸(肩軸)142安裝成可在水平面內旋轉於旋轉台120。
在第1連桿132之前端部透過旋轉軸(肩軸)144在 配置於其上方之第2連桿134之基端部安裝成可在水平面內旋轉。在第2連桿134之前端部透過旋轉軸(肘軸)146將構成為可載置與保持基板G之鑷子(pinset)136之基端部裝設成可以在水平面內旋轉。
在第1，第2連桿132，134內部，內裝傳動機構，用於由裝設於旋轉台120之未圖示之臂伸縮驅動用馬達所產生之驅動力傳達至各連桿部或手部(例如皮帶輪，皮帶，減速器等)。在圖1所示例子中，構造上，各連桿132，134與絡端受動器136帶動進行旋轉運動，俾使終端受動器136以第1連桿132之基端部之旋轉軸(肩軸)為基點，前進移動於其長度方向。
利用上述搬送臂130可以藉由驅動臂伸縮驅動用馬達使臂伸縮於水平方向，以進行基板G之交接。另外，搬送臂130的構造並非侷限於圖1所示者。例如，搬送臂130也可以為具有可以線性驅動來伸縮的臂的線性滑動型的搬送臂。
在此種搬送臂130中，因與旋轉台120一體旋轉，因此，可以將臂伸縮於企望的方向。此時，旋轉台120可以不旋轉一圈以上，利用正旋轉或逆旋轉至企望之角度。藉此，可以將纜線200之長度抑制於最小限度。
在該旋轉台120下面裝設有用於穿通配設於旋轉台120內的上述臂伸縮驅動用馬達等之內部機器之配設的配管122。該配管122係插入貫穿載台驅動用馬達112，旋轉軸114而形成之通孔124，並配置成配管122之下端由 載台驅動用馬達112之下方突出而延伸至外殼110內。配管122下端設有圓板形之旋轉板126。旋轉板126係配置成可由外殼110內上方窺視外殼110內之配設空間116。
在旋轉板126下方透過例如L形構件152裝設有用於連接配管122內之配設的上部連接器150。因此，該等配管122，旋轉板126，上部連接器150係與旋轉台120一體旋轉。另一方面，在外殼110內底面透過例如L形構件162設有下部連接器160。該等上部連接器150與下部連接器160構成為例如收容有多個端子於連接器套中的多極連接器。
上部連接器150係用於互相電連接載置於旋轉台120之臂伸縮驅動用馬達等之內部機器之配設與纜線200之用者。另外，下部連接器160係用於互相電連接設置於外殼110外之電源裝置等之外部機器之配設與纜線200之用者。此外，內部機器之配設係透過例如上述配管122連接到旋轉台120內之內部機器，而外部機器之配設則由例如設置於外殼110底部之孔118延伸至外殼110之外而連接到外部機器。
上部連接器150與下部連接器160係以纜線200連接。該纜線200係用於供應上述之臂伸縮驅動用馬達之訊號或電力者，其構成細節容後敍述。此外，在下部連接器160裝設有未圖示之配設，該配設由例如外殼110的孔118延伸至外部。然後，該等配線被連接到例如外部的電源裝置，控制裝置等。
在此種構造的基板搬送裝置100中，非將纜線200配設於比外殼110內之旋轉板126更下側之空間116內不可。此種纜線的配設空間除了要求比先前更高的節省空間之外，非隨著設置於旋轉台上的搬送臂等之多功能化配設不可之纜線數目會增加，同時須供應電力等也增加以至於纜線直徑也增大。
此外，連接纜線200之一端的上部連接器150除了旋轉於垂直軸周圍之外，還固定於連接纜線200之另一端之下部連接器160係固定於外殼110，因此，纜線200本身也隨著上部連接器150之旋轉而搖動並變化其形態。從而，必須預測纜線200之軌跡來配設纜線200俾使不管變成何種形態皆可進入狹窄空間116內。
可是，如本實施形態的基板搬送裝置100所使用的纜線200用於對旋轉機構供應電力或訊號的纜線係由電力纜線或訊號纜線等不同直徑的許多纜線所構成，因此，若將該等纜線原封不動散亂配設時，則當上部連接器150旋轉而纜線搖動時，纜線彼此會磨擦或糾纏。如此一來，纜線本身會有負載，會招致纜線之損傷或斷線等。另外，當上部連接器150旋轉而纜線搖動時，許多纜線會散亂而糾纏在一起來，因此，要預測整體形態或動向之軌跡非常困難。
此時，可以想法將該等許多纜線以纜線管或纜線支架等集束成一條，惟如用此種纜線管或纜線支架集束，則纜線數目越多或各纜線之直徑越粗，整體上非選擇相當粗的 纜線管或纜線支架不可，如本實施形態那樣狹窄的空間116是無法放入纜線管或纜線支架本身。設若可以放入，則在上部連接器150旋轉時，纜線管或纜線支架內有許多纜線彼此磨擦而有對纜線附加負載之虞。
因此，在本實施形態中，將纜線200排列成帶狀之多條線條體互相接合成為一體化之扁平纜線，並扁平纜線200配設成捲徑朝垂直方向慢慢擴大成螺旋狀。如此一來，構成纜線200之多條線條體間絕不會互相磨擦或糾纏，即使構成纜線200之線條體的直徑較大，也可使各線條體所受負載減少。
而且由於上部連接器150隨著旋轉板126正旋轉與逆旋轉，螺旋狀的纜線200的動向只有成為被捲緊或鬆弛的單調動向(例如扭擺式運動，扭轉運動)，因此，整體的形態或其動向的軌跡極容易預測。因此，為不使纜線200互相磨擦，或接觸到外殼110內面，以及容易決定纜線200的捲數，長度，以及兩端部之位置等，可以有效使用狹窄空間內部配設纜線200。
(纜線的構造例與配設) 茲參照圖式更詳細說明此種本實施態的纜線200之構造例與配設例。圖2為圖1所示之纜線200之P－P'剖面圖。首先，說明纜線的構造例。本實施形態之纜線200也如圖2所示，係將多條(在此為5條)之線條體210至250排成一列，並將該等接合成一體者。藉此，可使纜線 200成為扁平狀。
各線條體210至250為對搬送臂之各軸之馬達或終端受動器等供應電源之多個電源纜線(電源線)，在編碼器(Encoder)或感測器類或各種控制機器與控制器之間授受控制訊號，而由多個訊號纜線(訊號線)等所構成。另外，各線條體210至250不但纜線，也可以包含電線，供應液體或氣體的中空軟管等所構成者。
此外，各線條體210至250係將相同直徑或不同直徑之多條單元纜線單條或多條集束而成。例如在具有電源纜線一般的大徑單元纜線與訊號纜線一般的小徑單元纜線時，以大徑的單元纜線一條做為線條體，將小徑的單元纜線做為多條分別集束之多芯纜線，即可減少構成纜線200的線條體的總數。
例如，線條體210，230，250分別為一條大徑的單元纜線212，232，252所構成，線條體220為將3條小徑的單元纜線222集束的多芯纜線所構成，而線條體240為將2條小徑的單元纜線242集束的多芯纜線所構成。
另外，具有多條訊號纜線的多芯纜線所構成的線條體之屏蔽處理(Shielding treatment)係整批進行。如上述，訊號纜線藉由屏蔽處理，即可防止由電子機器本身發生之雜訊(Noise)而導致之誤操作或所發生的雜訊之授受。此外，不用多芯纜線時，每一個訊號纜線必須分別使用屏蔽纜線(未圖示)。每一屏蔽纜線係以例如由導體構成之芯線，覆蓋芯線周圍的絕緣內皮，設置於絕緣內皮周 圍的編織線，以及設置於編織線周圍的絕緣外皮所構成。
該等線條體210至250之抗彎強度至少分別被調整成相同程度之撓曲率。抗彎強度之調整可以例如線條體210至250的包皮(Sheath)(例如以絕緣性樹脂所構成的絕緣外皮)214至254之厚度或材質來調整，或以填充於線條體220，240內之間隙的編織線226，246或緩衝材料來調整。此外，編織線係將細線編織成條格狀者，惟也可以利用銅箔等做為屏蔽材料以取代編織線。
如上述，藉將線條體210至250全部設成具有相同撓曲率，在纜線200的捲徑變動時，可以使各線條體210至250不受到負載。另外，還可以使各線條體210至250的抗彎強度的偏移消失，因此，可以使纜線200經時以平行於垂直方向之狀態而僅變更捲徑的動向。藉此，纜線200絕不會傾斜，所以可以防止被捲回之纜線200間之接觸。
另外，在本實施形態的纜線200中，不僅各線條體210至250之撓曲率，而且直徑(粗度)也調整成相同的程度。對於直徑(粗度)的調整也與撓曲率的調整一樣，可利用包皮的厚度或材質，以及填充於各線條體之間隙的細紗或緩衝材料來調整。例如若將小徑纜線與大徑纜線排成一列，而將該等接合成扁平形狀時，則纜線200搖動時，容易在小徑纜線一方施加負載。因此，如同本實施形態之纜線200，藉將各線條體210至250全部設成相同直徑時，即可防止纜線200搖動時，僅對特定的線條體(例如小徑纜線)施加負載。
其次，說明纜線200的配設例。在此，將旋轉台120控制成可以正旋轉與逆反轉由起點角度(在此為0度(degree)至終點角度(在此為270度)為止旋轉至企望的角度。此時之纜線200之長度宜設成至少由旋轉台120之起點角度至終點角度，依照旋轉角度纜線200之捲徑變化之長度。如此一來，纜線200之形態或軌跡會依照旋轉台120所使用之旋轉角度之範圍被限定，所以可與其配合將纜線200之長度調整至必要之最小限度。
茲參照下面圖3至圖5說明在此情形下，最適當的纜線200之配設例。圖3為表示旋轉台120在起點角度時之纜線200之形態之外觀之圖。圖4為表示旋轉台120在終點角度時之纜線200之形態之外觀之圖。
在本實施形態中，係將如圖3所示之旋轉台120由起點角度時之纜線200之狀態到達圖4所示之旋轉台120在終點角度時之纜線200之狀態為止之纜線200之動向(軌跡)配設於空間116內。具體地說，如圖3所示，連接有纜線200之一端的上部連接器150與連接於纜線200之另一端之下部連接器160配置於垂直方向僅離開高度HAB ，同時於水平方向配置僅離開距離DAB 。藉此，纜線200可以由其內徑側之一端以高度方向配置成螺旋狀至外形側的另一端。此時，纜線200之各線條體210至250係平行捲回於上下方向。
在此，在圖5A至圖5D圖示在外殼110的空間116內配設如上所述之纜線200時之纜線200之動向(軌 跡)。圖5A至圖5D為表示由起點角度至終點角度為止之纜線200之動向之圖，為分別由上方所見纜線200之圖。此外，在圖5A至圖5D中，略去旋轉台120，惟因為旋轉台120與旋轉板126係一體旋轉者，因此在下面將旋轉台120之角度說明成旋轉板126之角度。此外，在圖5A至圖5D中，設下部連接部160之位置(固定)為B，旋轉板126在起點角度時之上部連接器150之位置(起點)為A。
圖5A圖示旋轉板126在起點角度0度時之纜線200之捲回狀態。圖5B圖示旋轉板126由起點角度在圖中右旋90度時之纜線200的捲回狀態，圖5C圖示旋轉板126由起點角度在圖中右旋轉180度時之纜線200之捲回狀態。圖5D圖示旋轉板126由起點角度在圖中右旋轉終點角度270度時之纜線200之捲回狀態。
如圖5A所示，纜線200在旋轉板126為起點角度時，呈繞得最緊之狀態，纜線200的捲徑成為最小。隨著旋轉板126由該狀態旋轉至圖5B，圖5C時，纜線200逐漸鬆弛，纜線200之捲徑也慢慢變大。而如圖5D所示，旋轉板126為終點角度時，纜線200呈最鬆弛狀態，纜線200之捲徑也成為最大。如上所述，纜線200之捲回狀態不管在圖5A至圖5為止何種狀態皆能收容於空間116內而不受干擾。
如上述，在擴充至高度方向與水平方向之空間116配設成螺旋轉之纜線200中，當旋轉台120在起點角度時之 纜線200的一端之上部連接器150與另一端之下部連接器160宜在水平方向錯開配置。在本實施形態中，如圖3所示，上部連接部150與下部連接部160係在水平方向僅錯開DAB 配置。
如上述，藉將旋轉台120在起點角度時之纜線200之一端與另一端之水平方向之位置錯開，可以使纜線200之捲徑具有某種程度之寬度。如此一來，可以將纜線200之配設空間116之高度方法設成更小。
例如，旋轉台120在起點角度時之纜線200之一端之上部連接器150之水平方向之位置，與另一端之下部連接器160之水平方向之位置一起配置於越靠近旋轉台120之旋轉中心之位置，捲徑變得越小，所以為使纜線200不致互相干擾，必須擴大的垂直方向之空間。
相對地，藉由分開上部連接器150的水平方向之位置與另一端的下部連接器160的水平方向之位置，即可使捲徑由內側向外側慢慢變大，因此可邊保持纜線200間互不干擾的狀態，邊使上部連接器150與下部連接器160之高度HAB 變得更低。藉此，可以謀求節省配設纜線200的外殼110內之空間。
另外，如圖3與圖5所示，旋轉台120在起點角度時之纜線200之一端的上部連接器150的水平面位置宜配置於另一端之下部連接器160的配置側而由旋轉台120之旋轉中心錯開。在本實施形態中，如圖3所示，將上部連接器150配置於由旋轉台120之旋轉中心僅錯開DA 至與下 部連接器160同側。
藉此，當旋轉台120旋轉而纜線200逐漸鬆弛時，可以使其不致朝水平方向之反對側擴大，因此，可以使纜線200之配設空間116之水平方向縮小。
例如，當旋轉台120在起點角度時之纜線200之一端之上部連接器150的水平方向之位置越接近中心，旋轉台旋轉而纜線200鬆弛時，纜線200會越朝與上部連接器150的配設側之相反側之空間(在圖3中比旋轉台120之旋轉中心更右側之空間)擴大，反而需要更大的水平方向的空間。
相對地，藉將旋轉台120在起點角度時之纜線200之一端的上部連接器150之水平方向之位置由旋轉台120之旋轉中心錯開配置，即可抑制向其相反側的空間擴大，因此，可以更縮小水平方向之空間。藉此，可以進一步謀求節省用於配設纜線200之外殼110內之空間。
另外，雖然在圖3曾以纜線200之一端之上部連接器150裝設於旋轉板126之底面之情形為例，但是不一定侷限於此。例如，也可以在旋轉板126之側面安裝上部連接器150。另外，在圖3係將纜線200之另一端之下部連接器160裝設於外殼110之底面之情形為例，但是不一定侷限於此。例如也可以在外殼110側面安裝下部連接器160。
可是，上述纜線200之捲數或長度宜依照纜線200之端部之位置，與配設纜線200之空間116之大小來決定。 例如本實施形態中之纜線200之捲數為1.5。藉此，即可如圖5A所示，纜線200捲得最緊的旋轉台120由起點角度旋轉至如圖5D所示纜線200最鬆弛之終點角度為止時，在圖5A至圖5D中之任何狀態中，皆可使纜線200被收容於空間116內。此外，纜線200的捲數並不侷限於上述者。
再者，在本實施形態中，係以旋轉台120做起點角度0度，而設終點角度為270度之情形加以說明，但是不一定侷限於此。配合旋轉台120之使用，終點角度可以設定於0度至360度之範圍內任何角度。
另外，本實施形態中，如圖3所示之纜線200，將扁平纜線配設於旋轉構件下方的纜線空間內，並將扁平纜線之一端裝設於由旋轉構件之旋轉中心偏離之位置，而將其另一端裝設於外殼俾捲徑由該處朝向下方之纜線配設空間慢慢擴大成螺旋狀之情形加以說明，惟並不侷限於此。雖未圖示，惟在例如旋轉構件上方設有纜線配設空間並在該空間內配設扁平纜線時，也可以將扁平纜線之一端安裝於偏離旋轉構件之旋轉中心之位置，並將其另一端安裝於外殼俾捲徑由該處朝向上方之纜線配設空間慢慢地擴大成螺旋狀。
以上，已參照附圖說明了本發明之較佳實施形態，惟本發明不限於有關諸例自不待言。只要是業者，皆可在申請專利範圍所記載的範圍內思及各種變更例或修正例，至為明顯；該等變更例或修正例當然也屬於本發明的技術範
例如，上述之實施形態中，針對適用本發明於基板搬送裝置之情形加以說明，但並不限定於此，例如，也可以適用於例如在產業用機器人之旋轉部或工具機(machine tool)上之轉盤(turntable)等旋轉構件上配設多條纜線。
[產業上之可利用性]
本發明可以適用於對伴隨旋轉的機構配設供應電力或訊號等之多條纜線之纜線配設構造以及基板搬送裝置上。
100‧‧‧基板搬送裝置
110‧‧‧外殼
112‧‧‧載台驅動用 馬達
113‧‧‧凸緣部
114‧‧‧旋轉軸(驅動軸)
115‧‧‧凸 緣部
116‧‧‧空間(配設空間)
118‧‧‧孔
120‧‧‧旋轉 台
122‧‧‧配管
124‧‧‧通孔
126‧‧‧旋轉板
130‧‧‧搬送 臂
132、134‧‧‧連桿
136‧‧‧最終受動器
142‧‧‧旋轉軸 (肩軸)
144‧‧‧旋轉軸(肘軸)
146‧‧‧旋轉軸(耳 軸)
150‧‧‧上部連接器
152‧‧‧L形構件
160‧‧‧下部連 接器
162‧‧‧L形構件
200‧‧‧纜線
210、220、230、 240、250‧‧‧線條體
212、222、232、242、252‧‧‧單元纜 線
214、224、234、244、254‧‧‧包皮
226、246‧‧‧編織 線
G‧‧‧基板
圖1為表示本發明之實施形態之基板搬送裝置之剖面圖。
圖2為圖1所示之纜線之P－P’剖面圖。
圖3為表示旋轉台為起點角度時之纜線的形態外觀圖。
圖4為表示旋轉台為終點角度時之纜線的形態外觀圖。
圖5A為由上方所見旋轉台(旋轉板)在起點角度的0度時之捲回狀態之圖。
圖5B為由上方所見旋轉台(旋轉板)由起點角度旋轉90度時之纜線的捲回狀態之圖。
圖5C為由上方所見旋轉台(旋轉板)由起點角度旋 轉180度時之纜線的捲回狀態之圖。
圖5D為由上方所見旋轉台(旋轉板)由起點角度旋轉270度時之纜線的捲回狀態之圖。
100‧‧‧基板搬送裝置
110‧‧‧外殼
112‧‧‧載台驅動用馬達
113‧‧‧凸緣部
114‧‧‧旋轉軸(驅動軸)
115‧‧‧凸緣部
116‧‧‧空間(配設空間)
118‧‧‧孔
120‧‧‧旋轉台
122‧‧‧配管
124‧‧‧通孔
126‧‧‧旋轉板
130‧‧‧搬送臂
132‧‧‧134：連桿
136‧‧‧最終受動器
142‧‧‧旋轉軸(肩軸)
144‧‧‧旋轉軸(肘軸)
146‧‧‧旋轉軸(耳軸)
150‧‧‧上部連接器
152‧‧‧L形構件
160‧‧‧下部連接器
162‧‧‧L形構件
200‧‧‧纜線
G‧‧‧基板

Claims (9)

  1. 一種纜線配線構造，其特徵為具備：外殼，具有纜線配設空間；旋轉構件，配設在上述外殼成可以相對旋轉俾窺視其纜線配設空間；以及纜線，將配設於上述旋轉構件之多種種類所有的線條體以單條或多條集束做為一條，並分別將抗彎強度調整成相同之撓曲率後，排列成帶狀並接合成一體，使上述纜線配設於上述旋轉構件俾上述各線條體排列於垂直方向，並收容於上述纜線配設空間，其一端裝設於偏離上述旋轉構件的旋轉中心之位置，另一端則裝設於上述外殼俾捲徑由該處向上述纜線配設空間慢慢擴大成螺旋狀。
  2. 如申請專利範圍第1項之纜線配線構造，其特徵為上述旋轉構件由其起點角度至終點角度為止係旋轉於正逆方向；上述扁平纜線之長度係設成至少由上述旋轉構件的起點角度至終點角度止，依據其旋轉角度而變化上述扁平纜線的捲徑之長度。
  3. 如申請專利範圍第2項之纜線配線構造，其中上述扁平纜線之捲徑成為最小時之上述旋轉構件之旋轉角度的上述扁平纜線之一端，係由上述扁平纜線的另一端偏離至水平方向。
  4. 如申請專利範圍第2項之纜線配線構造，其中上述扁平纜線之捲徑成為最小時之上述旋轉構件之旋轉角度的 上述扁平纜線之一端，由上述旋轉構件之中心看來係偏離至上述扁平纜線之另一端的相同側。
  5. 如申請專利範圍第1項之纜線配線構造，其中構成上述扁平纜線之多條線條體皆具有相同的撓曲率。
  6. 如申請專利範圍第5項之纜線配線構造，其中構成上述扁平纜線之多條線條體具有相同直徑。
  7. 如申請專利範圍第1項之纜線配線構造，其中構成上述扁平纜線之多條線條體中，含有集束多條單元纜線的多芯纜線。
  8. 一種基板搬送機構，其特徵為具備：旋轉台，設成可相對旋轉於外殼上面；搬送臂，用於搬送載置於上述旋轉台上之基板；旋轉板，配置於上述外殼內上方，而與上述旋轉台一起旋轉於垂直軸周圍；以及纜線，將配設於上述旋轉構件之多種種類所有的線條體以單條或多條集束做為一條，並分別將抗彎強度調整成相同之撓曲率後，排列成帶狀並接合成一體，使上述纜線配設於上述旋轉構件俾上述各線條體排列於垂直方向，並收容於上述纜線配設空間，其一端係裝設於偏離上述旋轉板之旋轉中心的位置，而其另一端則裝設於上述外殼俾捲徑由該處向上述纜線配設空間慢慢擴大成螺旋狀。
  9. 一種纜線配線構造，係在可以相對旋轉之旋轉構件配設纜線之構造；其特徵為：上述纜線係將配設於上述旋轉構件之多種種類所有的線條體以單條或多條集束做為一條，並分別將抗彎強度調 整成相同之撓曲率後，排列成帶狀並接合成一體，上述扁平纜線被配設成一端係裝設於由上述旋轉構件之垂直旋轉中心偏離之位置，而捲徑由該處朝垂直方向慢慢擴大成螺旋狀。
TW097110778A 2007-03-27 2008-03-26 Substrate transfer device and cable wiring structure TWI445115B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007080639A JP5037191B2 (ja) 2007-03-27 2007-03-27 基板搬送装置及びケーブル配線構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200908187A TW200908187A (en) 2009-02-16
TWI445115B true TWI445115B (zh) 2014-07-11

Family

ID=39916063

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW097110778A TWI445115B (zh) 2007-03-27 2008-03-26 Substrate transfer device and cable wiring structure

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5037191B2 (zh)
KR (1) KR100978409B1 (zh)
CN (1) CN101277006B (zh)
TW (1) TWI445115B (zh)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5628509B2 (ja) * 2009-10-21 2014-11-19 株式会社アイエイアイ 電動プレス装置
JP5149942B2 (ja) * 2010-07-21 2013-02-20 ヤマハ発動機株式会社 ヘッド駆動装置および部品実装装置
US20120108979A1 (en) * 2010-10-27 2012-05-03 Gore Enterprise Holdings, Inc. Imaging catheter with rotatable array
JP5718134B2 (ja) * 2011-04-11 2015-05-13 ヤマハ発動機株式会社 ロボット
LU91826B1 (de) * 2011-06-17 2012-12-18 Ipalco Bv Vorrichtung zum Ab- und Aufwickeln einer oder mehreren Leitungen
CN104995090B (zh) 2013-03-31 2017-05-03 深圳市大疆创新科技有限公司 有效负载安装平台
CN104515633B (zh) * 2013-09-26 2016-09-07 纳米新能源（唐山）有限责任公司 摩擦电压力感应电缆
CN104552289A (zh) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 机器人
CN106044397B (zh) * 2016-07-07 2018-09-21 诺力机械股份有限公司 一种盘线盒
JP7031958B2 (ja) * 2016-12-27 2022-03-08 株式会社ディスコ 伝達線カバーアセンブリ及び加工装置
JP6859756B2 (ja) * 2017-03-03 2021-04-14 オムロン株式会社 制御システム、コントローラ、制御方法、および制御プログラム
CN107766667B (zh) * 2017-10-27 2021-04-13 中国空间技术研究院 一种空间运动电缆走向设计方法
CN107866820A (zh) * 2017-12-26 2018-04-03 哈尔滨思哲睿智能医疗设备有限公司 一种连杆结构机械臂旋转过线结构
JP7081311B2 (ja) * 2018-06-04 2022-06-07 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 画像形成装置
JP7290312B2 (ja) * 2018-07-03 2023-06-13 株式会社アイエイアイ アクチュエータ及びスカラロボット
JP2020088995A (ja) * 2018-11-21 2020-06-04 ゲイツ・ユニッタ・アジア株式会社 回転部材間の配線構造
JP7016326B2 (ja) * 2019-01-09 2022-02-04 上銀科技股▲分▼有限公司 連結モジュール
US10836052B2 (en) 2019-02-06 2020-11-17 Hiwin Technologies Corp. Connection module using in robot
JP7022091B2 (ja) * 2019-03-11 2022-02-17 ファナック株式会社 ロボット
EP3999285B1 (en) * 2019-07-17 2024-01-24 Abb Schweiz Ag Robot arm link and robot
JP7564692B2 (ja) * 2020-11-24 2024-10-09 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボット

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5316516B2 (zh) * 1972-06-12 1978-06-01
JPS6113530U (ja) * 1984-06-25 1986-01-27 三菱電線工業株式会社 光・電力複合ケ−ブルの巻取装置
JPS6146191U (ja) * 1984-08-29 1986-03-27 ぺんてる株式会社 多関節型ロボツトのア−ム間配線装置
JPS62207114A (ja) * 1986-03-05 1987-09-11 三菱電機株式会社 旋回部におけるケ−ブルの配線構造
JPH06318045A (ja) * 1993-05-07 1994-11-15 Kokusai Electric Co Ltd 回動表示装置
KR200152377Y1 (ko) * 1996-09-30 1999-07-15 김재복 로보트의 이동부위 또는 회전부위용 컬케이블
JP3284936B2 (ja) * 1997-08-25 2002-05-27 住友電装株式会社 移動用ケーブル
JP4635301B2 (ja) * 2000-06-28 2011-02-23 シンフォニアテクノロジー株式会社 産業用ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
KR100978409B1 (ko) 2010-08-26
TW200908187A (en) 2009-02-16
JP2008245390A (ja) 2008-10-09
JP5037191B2 (ja) 2012-09-26
CN101277006B (zh) 2010-11-10
CN101277006A (zh) 2008-10-01
KR20080087739A (ko) 2008-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI445115B (zh) Substrate transfer device and cable wiring structure
US8668428B2 (en) Horizontal articulated robot and substrate transfer system provided with the same
CN110248778B (zh) 多关节焊接机器人
CN101327586B (zh) 工业用机器人
CN100381260C (zh) 工业机器人
JP6237520B2 (ja) ロボット
US20080056859A1 (en) Drive mechanism for industrial robot arm
CN107538477B (zh) 机器人、控制装置及机器人系统
US20070031232A1 (en) Industrial robot
CN106687259B (zh) 线缆管理系统、旋转关节和机器人
US20110163490A1 (en) Positioner
US20160023359A1 (en) Robot joint mechanism and robot
TW201709226A (zh) 纜線
JPWO2010092803A1 (ja) 電子機器配線用ハーネスおよび電子機器
JP2006062046A (ja) 真空用搬送ロボットおよびそのアーム構造体
US20160023358A1 (en) Robot
JP2009226567A (ja) スカラ型ロボット
US8794563B2 (en) Integrated connector assembly for a rotary apparatus
JP2008018475A (ja) 旋回部の配線又は配管機構
JPH08155880A (ja) 産業用ロボットのケーブル類処理装置
JP6539233B2 (ja) 旋回機構及び位置決め装置
JP2635466B2 (ja) 関節運動型ロボットアーム用電気配線
JP2021115671A (ja) 線条材の余長制御装置
JP6260137B2 (ja) 産業用ロボット
JP2006159302A (ja) リンク機構のケーブル配索方法及びリンク機構のケーブル配索構造

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees