JP2008245390A - 基板搬送装置及びケーブル配線構造 - Google Patents

Abstract

【課題】 回転部材にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，回転部材の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブルの配線スペースをより省スペース化できる。
【解決手段】 ケーブルを収容するケーシング１１０と，ケーシング内の上方に鉛直軸回りに相対的に回転可能に配設された回転板１２６と，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，各線条体が鉛直方向に配列するように回転板に配線されるフラット状のケーブル２００とを備え，ケーブル２００は，その一端を回転板の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端をケーシングに取付けた。
【選択図】 図１

Description

本発明は，半導体ウエハやＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等を搬送する搬送アームを搭載する回転テーブルのように回転を伴う機構に電力や信号などを供給する複数本のケーブルを配線するケーブル配線構造及び基板搬送装置に関する。

例えば半導体製造プロセスで半導体ウエハやＦＰＤ基板などの基板に対してエッチングや成膜などの所定の処理を施す半導体製造装置では，装置内の各所に基板を搬送するために搬送アームを備える基板搬送装置が設けられている。搬送アームはアームの伸縮方向を変えられるように例えば回転テーブル上に取付けられている。このような基板搬送装置では，搬送アームの駆動機構は回転テーブルに搭載されるので，この駆動機構に電力や信号を供給するための複数本の線条体例えば電線やケーブルなどを回転テーブルに配線することが要求される。

このような回転テーブルなどの回転部材に例えば複数本のケーブルを配線する場合，従来は，このような回転部材とケーシング内の底部との間に複数本のケーブルをそのままばらばらに配線し，これらのケーブル同士が擦れ合ったりしない程度に，ケーブルの配線スペースを大きくとるようにしていた。

特開２０００−６９６５５号公報

ところで，近年では，半導体製造装置の多機能化に伴い，このような基板搬送装置においても小型ユニット化が要求され，ケーブルの配線するためのスペースもできる限り省スペース化することが要求されている。一方，回転テーブル上に設けられる搬送アームなどの多機能化に伴って，配線しなければならないケーブルの数も増え，さらに供給する電力なども増加してケーブルの径も大きくなる傾向にある。

このようなケーブルを従来以上に狭いスペースに入れるのに，従来と同様にケーブルをそのままばらばらに配線すると，ケーブルの配線スペースが狭いほど，回転テーブルが回転してケーブルが動いたときに，ケーブル同士が擦れあったり，絡み合ったりし易くなる。これでは，ケーブル自体に負荷がかかり，ケーブルの損傷，断線等を招く虞がある。また，回転テーブルが回転してケーブルが動いたときに，多数のケーブルがばらばらに絡まり合って動くため，全体の形態や動きの軌跡を予測するのは非常に困難である。

この場合，これら多数のケーブルをケーブルダクトやケーブルベアなどで１本にまとめることも考えられるが，このようなケーブルダクトやケーブルベアでまとめると，ケーブルの数が多くなるほど，また単体のケーブルの径が太いほど，ケーブルダクトやケーブルベアも太くなるため，狭小スペースにはケーブルダクトやケーブルベア自体を入れることができない。もし仮に入れることができたとしても，回転テーブルが回転したときに，ケーブルダクトやケーブルベア内で多数のケーブル同士が擦れ合ってケーブルに負荷がかかる虞もある。

なお，特許文献１には，環状に形成された複数本の単体ケーブルを順次径方向に列設し，これらを相互に接合してなる平形環状形態の集成ケーブルを，平面視において上下方向に折曲げるように略Ｕ字状に屈曲させたケーブル装置が記載されている。このケーブル装置では，屈曲部を回転したときに，屈曲部が上下方向に膨らむことにより，屈曲部の相対回転を吸収するようにして，ケーブルの絡まりを防ぐようになっている。このようなものにおいては，屈曲部のＵ字形状に折曲げるため，単体ケーブルの径が比較的小さくて屈曲させ易い場合には有効である。しかしながら，上述したように単体ケーブルの径が大きいほど，Ｕ字状に屈曲させること自体が困難になるだけでなく，たとえＵ字状に屈曲させることができたとしても，各単体ケーブルの屈曲部にかかる負荷は極めて大きくなるので，このような形態にするのは適当ではない。

そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，回転部材にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，回転部材の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブルの配線スペースをより省スペース化できるケーブルの配線構造及び基板搬送装置を提供することにある。

上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，ケーブル配線スペースを有するケーシングと，前記ケーシングにそのケーブル配線スペースを覗くように，相対的に回転可能に配設された回転部材と，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，前記各線条体が鉛直方向に配列するように前記回転部材に配線され，前記ケーブル配線スペースに収容されるフラット状ケーブルとを備え，前記フラット状ケーブルは，その一端を前記回転部材の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから前記ケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端を前記ケーシングに取付けたことを特徴とするケーブル配線構造が提供される。なお，上記回転部材には，例えば回転テーブルのように単体で回転する回転部材本体のみならず，回転部材本体に取り付けられて回転部材本体とともに回転する回転体，回転板なども含まれる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，相対的に回転可能な回転部材にケーブルを配線するケーブル配線構造であって，前記ケーブルは，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化したフラット状ケーブルであり，前記フラット状ケーブルは，その一端を前記回転部材の鉛直な回転中心からずれた位置に取付けて，そこから鉛直方向に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状に配線したことを特徴とするケーブル配線構造が提供される。

このような本発明によれば，フラット状ケーブルは回転部材の回転に応じて螺旋状の巻径が変るような軌跡を描く（例えば捻れ振り子運動）。これにより，回転部材の回転に応じて変化するフラット状ケーブルの形態や軌跡を予測し易くなり，回転部材の回転に伴ってフラット状ケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止することができる。また，複数本の線条体を相互に接合して一体化したフラット状ケーブルにするので，各線条体の擦れ合いや絡み合いを防止することができる。また，フラット状ケーブルの形態を回転部材からケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状にすることにより，フラット状ケーブルを構成する線条体の径が大きくても，各線条体にかかる負荷を少なくすることができる。また，鉛直方向に螺旋状になるように配線するので，水平方向のケーブル配線スペースをより省スペース化することができる。さらに，フラット状ケーブルの一端を回転部材の回転中心からずれた位置に取付けることにより，水平方向のケーブル配線スペースを効率よく使用することができる。

また，上記回転部材はその始点角度から終点角度まで正逆方向に回転し，前記フラット状ケーブルの長さは，少なくとも前記回転部材の始点角度から終点角度までその回転角度に応じて前記フラット状ケーブルの巻径が変る長さにすることが好ましい。これにより，回転部材で使用される回転角度の範囲に応じてフラット状ケーブルの形態や軌跡が限定されるので，それに合わせてフラット状ケーブルの長さを必要最小限に調整することができる。

また，上記フラット状ケーブルの巻径が最も小さくなるときの前記回転部材の回転角度における前記フラット状ケーブルの一端は，前記フラット状ケーブルの他端から水平方向にずれていることが好ましい。これにより，フラット状ケーブルの巻径にある程度の広がりを持たせることができる。これにより，ケーブル配線スペースの高さ方向をより低くすることができる。

また，フラット状ケーブルの巻径が最も小さくなるときの前記回転部材の回転角度における前記フラット状ケーブルの一端は，前記回転部材の中心から見て前記フラット状ケーブルの他端と同じ側にずれていることが好ましい。これにより，回転部材が回転してフラット状ケーブルがほどけていくときに，水平方向の反対側へ大きく広がらないようにすることができるので，ケーブル配線スペースの水平方向についてもより狭くすることができる。

また，上記フラット状ケーブルを構成する複数本の線条体は，すべて同様の屈曲率を有することが好ましい。これにより，フラット状ケーブルの巻径が変るように動く際に，各線条体に負荷がかからないようにすることができる。また，上記フラット状ケーブルを構成する複数本の線条体は，すべて同径であることが好ましい。これにより，フラット状ケーブルが動く際に特定の線条体（例えば小径ケーブル）だけに負荷がかかることを防止することができる。

また，上記フラット状ケーブルを構成する複数本の線条体には，複数本の単体ケーブルを集束した多芯ケーブルが含まれる。これにより，フラット状ケーブルを構成する線条体の総数を減らすことができる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，ケーシングの上面に相対的に回転可能に設けられた回転テーブルと，前記回転テーブル上に搭載された基板を搬送するための搬送アームと，前記ケーシング内の上方に配設され，前記回転ケーブルとともに鉛直軸回りに回転する回転板と，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，前記各線条体が鉛直方向に配列するように前記回転板と前記ケーシングの底面との間のスペースに配線されるフラット状ケーブルとを備え，前記フラット状ケーブルは，その一端を前記回転板の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端を前記ケーシングに取付けたことを特徴とする基板搬送機構が提供される。

このような本発明によれば，回転テーブルともに回転する回転板にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，回転テーブル（回転板）の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブル配線スペースをより省スペース化できる。これにより，基板搬送装置全体をより小型化することができる。

本発明によれば，回転部材にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，その形態や軌跡を予測し易いように配線することで，回転部材の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブルの配線スペースをより省スペース化できる。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（基板搬送装置）
先ず，本発明を基板を搬送する基板搬送装置に適用した場合の実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は基板搬送装置の構成を示す断面図である。基板搬送装置１００は，箱状のケーシング１１０と，このケーシング１１０の上面に回転自在に設けられた円板状の回転テーブル１２０と，回転テーブル１２０上に設けられた水平方向に伸縮自在な搬送アーム１３０を備える。本実施形態では，この回転機構に電力や信号等を供給するためのケーブル２００をケーシング１１０内の狭いスペースに配線するケーブル配線構造を例に挙げる。

ケーシング１１０は上面が開口している箱体状をなしており，ケーシング１１０内の上部には回転テーブル１２０を中心軸（垂直軸）回りに回転または旋回させるためのテーブル駆動用モータ１１２が取り付けられている。例えばテーブル駆動用モータ１１２にはフランジ部１１３が設けられており，このフランジ部１１３がボルトなど締結部材でケーシング１１０の上部内面に取り付けられる。テーブル駆動用モータ１１２の回転軸（駆動軸）１１４は，ケーシング１１０の上面の開口部から突出して，回転テーブル１２０の下面にフランジ部１１５を介して取り付けられている。

搬送アーム１３０は，例えば図１に示すような３軸水平多関節ロボット（スカラーロボット）からなるアーム（マニピュレータ）として構成される。具体的には搬送アーム１３０は，水平面内で回転可能な２本のリンク（第１リンク１３２，第２リンク１３４）とエンドエフェクタ１３６を直列に接続してなる。より詳細には，最も下方に配置される第１リンク１３２の基端部が回転軸（ショルダ軸）１４２を介して回転テーブル１２０に水平面内で回転可能に取り付けられている。

第１リンク１３２の先端部には，その上方に配置される第２リンク１３４の基端部が回転軸（エルボ軸）１４４を介して水平面内で回転可能に取り付けられている。第２リンク１３４の先端部には，基板Ｇを載せて保持可能なピンセットとして構成されたエンドエフェクタ１３６の基端部が回転軸（リスト軸）１４６を介して水平面内で回転可能に取り付けられている。

第１，第２リンク１３２，１３４の内部には，回転テーブル１２０に取り付けられた図示しないアーム伸縮駆動用モータより発生される駆動力を各リンク部またはハンド部に伝達する伝動機構（たとえばプーリ，ベルト，減速機等）が内蔵されている。図１に示す例では，第１リンク１３２の基端部の回転軸（ショルダ軸）１４２を原点として，エンドエフェクタ１３６がその長手方向に直進移動するように，各リンク１３２，１３４，及びエンドエフェクタ１３６が連動して回転運動を行うように構成されている。

上記搬送アーム１３０によれば，アーム伸縮駆動用モータを駆動させることによって水平方向にアームを伸縮させて，基板Ｇの受け渡しを行うことができる。なお，搬送アーム１３０の構成は図１に示すものに限られるものではない。例えば搬送アーム１３０は，リニア駆動で伸縮できるアームを備えたリニアスライド型の搬送アームであってもよい。

このような搬送アーム１３０においては，回転テーブル１２０と一体となって回転するので，所望の方向にアームを伸縮させることができる。この場合，回転テーブル１２０は，１回転以上させずに，正回転又は逆回転により所望の角度まで回転させる。これにより，ケーブル２００の長さを最小限に抑えることができる。

この回転テーブル１２０の下面には，回転テーブル１２０内に配設される上記アーム伸縮駆動用モータなどの内部機器の配線を通すための配管１２２が取り付けられている。この配管１２２はテーブル駆動用モータ１１２，回転軸１１４に貫通して形成された通し孔１２４に挿入され，配管１２２の下端がテーブル駆動用モータ１１２の下方から突出してケーシング１１０内に延出するように配置される。配管１２２の下端には，円板状の回転板１２６が取り付けられている。回転板１２６は，ケーシング１１０内の上方にケーシング１１０内の配線スペース１１６を覗くように配置される。

回転板１２６の下方には，配管１２２内の配線を接続する上部コネクタ１５０が例えばＬ字部材１５２を介して取り付けられている。従って，これら配管１２２，回転板１２６，上部コネクタ１５０は，回転テーブル１２０と一体になって回転する。一方，ケーシング１１０内の底面には，下部コネクタ１６０が例えばＬ字部材１６２を介して取り付けられている。これら上部コネクタ１５０と下部コネクタ１６０は，例えばコネクタハウジングに複数の端子が収容された多極コネクタとして構成される。

上部コネクタ１５０は，回転テーブル１２０に搭載されたアーム伸縮駆動用モータなどの内部機器の配線とケーブル２００とを電気的に相互接続するためのものである。また，下部コネクタ１６０はケーシング１１０の外に設けられる電源装置などの外部機器の配線とケーブル２００とを電気的に相互接続するためのものである。なお，内部機器の配線は例えば上記配管１２２を介して回転テーブル１２０内の内部機器に接続しており，外部機器の配線は例えばケーシング１１０の底部に設けられる孔１１８からケーシング１１０の外に延出して外部機器に接続している。

上部コネクタ１５０と下部コネクタ１６０とはケーブル２００で接続される。このケーブル２００は，上述したアーム伸縮駆動用モータの信号や電力を供給するためのものであり，その構成の詳細については後述する。なお，下部コネクタ１６０には，図示しない配線が取り付けられ，その配線は例えばケーシング１１０の孔１１８から外部に延出する。そして，これら配線は，例えば外部の電源装置，制御装置などに接続される。

このような構成の基板搬送装置１００では，ケーブル２００をケーシング１１０内の回転板１２６よりも下側のスペース１１６内に配線しなければならない。このようなケーブルの配線スペースは，従来以上に省スペース化が要求されている一方で，回転テーブル上に設けられる搬送アームなどの多機能化に伴って配線しなければならないケーブルの数が増えるとともに，供給する電力なども増加してケーブルの径も大きくなっている。

また，ケーブル２００の一端を接続する上部コネクタ１５０は鉛直軸周りに回転するとともに，ケーブル２００の他端を接続する下部コネクタ１６０はケーシング１１０に固定されているので，上部コネクタ１５０の回転に伴ってケーブル２００自体も動いてその形態が変わることになる。従って，ケーブル２００の軌跡を予測して，どのような形態になっても狭いスペース１１６内に入るようにケーブル２００を配線しなければならない。

ところが，本実施形態にかかる基板搬送装置１００で使用するケーブル２００のように，回転機構に電力や信号を供給するようなケーブルは，電力ケーブルや信号ケーブルなど径の異なる多数のケーブルからなるので，もしこれらのケーブルをそのままばらばらに配線すると，上部コネクタ１５０が回転してケーブルが動いたときに，ケーブル同士が擦れあったり，絡み合ったりしてしまう。これでは，ケーブル自体に負荷がかかり，ケーブルの損傷，断線等を招く虞がある。また，上部コネクタ１５０が回転してケーブルが動いたときに，多数のケーブルがばらばらに絡まり合って動くため，全体の形態や動きの軌跡を予測するのは非常に困難である。

この場合，これら多数のケーブルをケーブルダクトやケーブルベアなどで１本にまとめることも考えられるが，このようなケーブルダクトやケーブルベアでまとめると，ケーブルの数が多くなるほど，また各ケーブルの径が太いほど，全体的にかなり太いケーブルダクトやケーブルベアを選択しなければならず，本実施形態のような狭いスペース１１６には，ケーブルダクトやケーブルベア自体を入れることができない。もし仮に入れることができたとしても，上部コネクタ１５０が回転したときに，ケーブルダクトやケーブルベア内で多数のケーブル同士が擦れ合ってケーブルに負荷がかかる虞もある。

そこで，本実施形態では，ケーブル２００を帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化したフラット状ケーブルとし，フラット状のケーブル２００を鉛直方向に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように配線する。これにより，ケーブル２００を構成する複数の線条体同士が擦れ合ったり，絡まり合ったりすることはなく，ケーブル２００を構成する線条体の径が大きくても，各線条体にかかる負荷を少なくすることができる。

しかも，上部コネクタ１５０が回転板１２６とともに正回転，逆回転することによって，スパイラル状のケーブル２００の動きは，巻かれたり，ほどけたりという巻径が変るだけの単調な動き（例えば捻れ振り子運動，ツイスト運動）になるため，全体の形態やその動きの軌跡が極めて予測し易くなる。このため，ケーブル２００が擦れ合ったり，ケーシング１１０の内面に接触したりしないように，ケーブル２００の巻数，長さ，両端部の位置などを決めやすくなるため，狭いスペース内を効率よく使ってケーブル２００を配線することができる。

（ケーブルの構成例及び配線）
このような本実施形態にかかるケーブル２００の構成例及び配線例について図面を参照しながらより詳細に説明する。図２は，図１に示すケーブル２００のＰ−Ｐ′断面図である。先ず，ケーブルの構成例について説明する。本実施形態にかかるケーブル２００は，図２にも示すように複数（ここでは５本）の線条体２１０〜２５０を一列に配列し，これらを接合して一体化したものである。これによって，ケーブル２００をフラット形状にすることができる。

各線条体２１０〜２５０は，搬送アームの各軸のモータやエンドエフェクタなどに電源を供給する複数の電源ケーブル（電源線），エンコーダやセンサ類や各種制御機器とコントローラとの間で制御信号を授受するために複数の信号ケーブル（信号線）などから構成される。その他，各線条体２１０〜２５０は，ケーブルのみならず，電線，液体や気体を供給する中空のチューブなどで構成されるものを含んでいてもよい。

また，各線条体２１０〜２５０は，同径又は異径の複数本の単体ケーブルを一本ずつ又は複数本ずつ束ねて構成される。例えば電源ケーブルのような大径の単体ケーブルと，信号ケーブルのような小径の単体ケーブルがある場合に，大径の単体ケーブルは一本ずつ線条体とし，小径の単体ケーブルを複数本束ねた多芯ケーブルにすることによって，ケーブル２００を構成する線条体の総数を減らすことができる。

例えば線条体２１０，２３０，２５０はそれぞれ，１本の大径の単体ケーブル２１２，２３２，２５２で構成され，線条体２２０は３本の小径の単体ケーブル２２２を束ねた多芯ケーブルで構成され，線条体２４０は２本の小径の単体ケーブル２４２を束ねた多芯ケーブルで構成される。

なお，複数の信号ケーブルを有する多芯ケーブルからなる線条体は，シールド処理が一括して行われる。このように，信号ケーブルがシールド処理されることで，電子機器自体から発生するノイズによる誤動作や，発生したノイズの授受が防止される。また，多芯ケーブルを用いない場合は，個々の信号ケーブルそれぞれにシールドケーブルを用いる必要がある（図示せず）。個々のシールドケーブルとしては，例えば導体からなる芯線と，芯線の周囲を覆う絶縁内皮と，絶縁内皮の周囲に設けられた編組線と，編組線の周囲に設けられた絶縁外皮とから構成される。

これら線条体２１０〜２５０はそれぞれ，少なくとも同程度の屈曲率になるように曲げ強さが調整される。曲げ強さの調整は，例えば線条体２１０〜２５０のシース（例えば絶縁性樹脂で構成された絶縁外被）２１４〜２５４の厚みや材質で調整したり，線条体２２０，２４０内の隙間に充填する編組線２２６，２４６や緩衝材で調整したりすることができる。なお，編組線は，細線を格子状に編んだものであるが，編組線に代えて銅箔等をシールド部材として用いることも可能である。

このように線条体２１０〜２５０がすべて同じ屈曲率になるようにすることによって，ケーブル２００の巻径が変るように動く際に，各線条体２１０〜２５０に負荷がかからないようにすることができる。また，各線条体２１０〜２５０の曲げ強さの偏りをなくすことができるので，ケーブル２００は常に鉛直方向に平行な状態で，巻径だけが変るような動きをさせることができる。これにより，ケーブル２００が傾くことはないので，巻回されたケーブル２００同士で接触することを防止することができる。

また，本実施形態にかかるケーブル２００では，各線条体２１０〜２５０の屈曲率のみならず，径（太さ）も同程度になるように調整している。径（太さ）の調整についても，屈曲率の調整と同様に，シースの厚みや材質，各線条体の隙間に充填する細糸や緩衝材で調整することができる。例えば小径ケーブルと大径ケーブルを一列に配列し，これらを接合してフラット形状にすると，ケーブル２００が動く際に小径ケーブルの方に負荷がかかり易い。従って，本実施形態にかかるケーブル２００のように，各線条体２１０〜２５０がすべて同じ径になるようにすることによって，ケーブル２００が動く際に特定の線条体（例えば小径ケーブル）だけに負荷がかかることを防止することができる。

次に，ケーブル２００の配線例について説明する。ここでは，回転テーブル１２０を始点角度（ここでは０度（ｄｅｇｒｅｅ））から終点角度（ここでは２７０度（ｄｅｇｒｅｅ））までを正回転と逆回転で所望の角度まで回転させることができるように制御する。この場合のケーブル２００の長さは，少なくとも回転テーブル１２０の始点角度から終点角度までその回転角度に応じてケーブル２００の巻径が変る長さにすることが好ましい。これにより，回転テーブル１２０で使用される回転角度の範囲に応じてケーブル２００の形態や軌跡が限定されるので，それに合わせてケーブル２００の長さを必要最小限に調整することができる。

このような場合に最適なケーブル２００の配線例を以下に図３〜図５を参照しながら説明する。図３は，回転テーブル１２０が始点角度のときのケーブル２００の形態の外観を示す図であり，図４は，回転テーブル１２０が終点角度のときのケーブル２００の形態の外観を示す図である。

本実施形態では，図３に示すような回転テーブル１２０が始点角度のときのケーブル２００の状態から図４に示すような回転テーブル１２０が終点角度のときのケーブル２００の状態までのケーブル２００の動き（軌跡）がスペース１１６内に入るように配線する。具体的には，図３に示すように，ケーブル２００の一端が接続される上部コネクタ１５０と，ケーブル２００の他端が接続される下部コネクタ１６０とは，鉛直方向に高さＨ_ＡＢだけ離間して配置されるとともに，水平方向に距離Ｄ_ＡＢだけ離間して配置される。これにより，ケーブル２００はその内径側の一端から外形側の他端まで高さ方向にスパイラル状に配置することができる。このとき，ケーブル２００は，各線条体２１０〜２５０が上下に平行に巻回される。

ここで，ケーシング１１０のスペース１１６内に，上述したようにケーブル２００を配線したときのケーブル２００の動き（軌跡）を図５Ａ〜図５Ｄに示す。図５Ａ〜図５Ｄは，始点角度から終点角度までのケーブル２００の動きを示す図であり，それぞれケーブル２００を上方から見た図である。なお，図５Ａ〜図５Ｄにおいては回転テーブル１２０を省略しているが，回転テーブル１２０と回転板１２６は一体で回転するので，以下では回転テーブル１２０の角度は回転板１２６の角度として説明する。また，図５Ａ〜図５Ｄにおいては，下部コネクタ１６０の位置（固定）をＢとし，回転板１２６が始点角度の場合の上部コネクタ１５０の位置（始点）をＡとする。

図５Ａは，回転板１２６が始点角度である０度（ｄｅｇｒｅｅ）のときのケーブル２００の巻回状態を示している。図５Ｂは回転板１２６が始点角度から図中右周りに９０度（ｄｅｇｒｅｅ）回転したときのケーブル２００の巻回状態を示しており，図５Ｃは回転板１２６が始点角度から図中右周りに１８０度（ｄｅｇｒｅｅ）回転したときのケーブル２００の巻回状態を示している。図５Ｄは回転板１２６が始点角度から図中右周りに終点角度である２７０度（ｄｅｇｒｅｅ）回転したときのケーブル２００の巻回状態を示している。

ケーブル２００は，図５Ａに示すように，回転板１２６が始点角度であるときには，最も巻き付いた状態であり，ケーブル２００の巻径が最も小さくなる。この状態から回転板１２６が図５Ｂ，図５Ｃと回転するに連れてケーブル２００がほどけていき，ケーブル２００の巻径も徐々に大きくなる。そして，図５Ｄに示すように，回転板１２６が終点角度であるときには，ケーブル２００は最もほどけた状態であり，ケーブル２００の巻径も最も大きくなる。このように，ケーブル２００の巻回状態が図５Ａ〜図５Ｄまでのどのような状態でも，干渉することなく，スペース１１６内に収めることができる。

このように，高さ方向と水平方向に広がるスペース１１６にスパイラル状に配線するケーブル２００においては，回転テーブル１２０が始点角度にあるときのケーブル２００の一端である上部コネクタ１５０と他端である下部コネクタ１６０は水平方向にずらして配置することが好ましい。本実施形態では，図３に示すように，上部コネクタ１５０と下部コネクタ１６０とを水平方向にＤ_ＡＢだけずらして配置している。

このように，回転テーブル１２０が始点角度にあるときのケーブル２００の一端と他端の水平方向の位置をずらすことにより，ケーブル２００の巻径にある程度の広がりを持たせることができる。これにより，ケーブル２００の配線スペース１１６の高さ方向をより低くすることができる。

例えば回転テーブル１２０が始点角度にあるときのケーブル２００の一端である上部コネクタ１５０の水平方向の位置と他端である下部コネクタ１６０の水平方向の位置をともに，回転テーブル１２０の回転中心に近い位置に配置するほど，巻径が小さくなるので，ケーブル２００が互いに干渉しないようにするためには，鉛直方向のスペースが大きく必要となる。

これに対して，上部コネクタ１５０の水平方向の位置と他端である下部コネクタ１６０の水平方向の位置を離間させることにより，内側から外側にかけて巻径が徐々に大きくなるようにすることができるので，ケーブル２００同士の干渉しない状態を保持しつつ，上部コネクタ１５０と下部コネクタ１６０との高さＨ_ＡＢをより低くすることができる。これにより，ケーブル２００を配線するケーシング１１０内の省スペース化を図ることができる。

また，図３及び図５Ａに示すように，回転テーブル１２０が始点角度にあるときのケーブル２００の一端である上部コネクタ１５０の水平方向の位置を他端である下部コネクタ１６０の配置側に，回転テーブル１２０の回転中心からずらして配置することが好ましい。本実施形態では，図３に示すように，上部コネクタ１５０を回転テーブル１２０の回転中心から下部コネクタ１６０と同じ側にＤ_Ａだけずらして配置している。

これにより，回転テーブル１２０が回転してケーブル２００がほどけていくときに，水平方向の反対側へ大きく広がらないようにすることができるので，ケーブル２００の配線スペース１１６の水平方向についてもより狭くすることができる。

例えば回転テーブル１２０が始点角度にあるときのケーブル２００の一端である上部コネクタ１５０の水平方向の位置が中心に近いほど，回転テーブルが回転してケーブル２００がほどけたときに，ケーブル２００が上部コネクタ１５０の配設側と反対側のスペース（図３では回転テーブル１２０の回転中心よりも右側のスペース）に大きく広がっていってしまうので，却って水平方向のスペースが大きく必要になる。

これに対して，回転テーブル１２０が始点角度にあるときのケーブル２００の一端である上部コネクタ１５０の水平方向の位置を回転テーブル１２０の回転中心からずらして配置することにより，その反対側のスペースへ大きく広がることを抑えることができるので，水平方向のスペースもより狭くすることができる。これによって，ケーブル２００を配線するケーシング１１０内のさらなる省スペース化を図ることができる。

なお，図３ではケーブル２００の一端である上部コネクタ１５０を回転板１２６の底面に取り付けた場合を例に挙げているが，必ずしもこれに限定されるものではない。例えば回転板１２６の側面に上部コネクタ１５０を取り付けてもよい。また，図３ではケーブル２００の他端である下部コネクタ１６０をケーシング１１０の底面に取り付けた場合を例に挙げているが，必ずしもこれに限定されるものではない。例えばケーシング１１０の側面に下部コネクタ１６０を取り付けてもよい。

ところで，上述したケーブル２００の巻き数や長さは，ケーブル２００の端部の位置，ケーブル２００を配線するスペース１１６の大きさに応じて決定することが好ましい。例えば本実施形態におけるケーブル２００の巻き数は，例えば１．５である。これによれば，図５Ａに示すようにケーブル２００が最も巻き付けられる回転テーブル１２０が始点角度から，図５Ｄに示すようにケーブル２００が最もほどかれる終点角度まで回転する際に，図５Ａ〜図５Ｄのどの状態でも，ケーブル２００がスペース１１６内に収まるようにすることができる。なお，ケーブル２００の巻き数は，上記のものに限定されるものではない。

また，本実施形態では，回転テーブル１２０を始点角度を０度（ｄｅｇｒｅｅ）とし，終点角度を２７０度（ｄｅｇｒｅｅ）とした場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではない。回転テーブル１２０の使用に応じて終点角度は，０度（ｄｅｇｒｅｅ）〜３６０度（ｄｅｇｒｅｅ）の範囲内でどの角度にしてもよい。

また，本実施形態では，例えば図３に示すケーブル２００のように，フラット状ケーブルを回転部材の下方のケーブル配線スペース内に配線し，フラット状ケーブルの一端を回転部材の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方のケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端をケーシングに取付けた場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではない。図示はしないが例えば回転部材の上方にケーブル配線スペースを設けてそのスペース内にフラット状ケーブルを配線する場合には，フラット状ケーブルの一端を回転部材の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから上方のケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端をケーシングに取付けるようにしてもよい。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば上述した実施形態では，本発明を基板搬送装置に適用した場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，例えば産業用ロボットの旋回部や工作機械におけるターンテーブルなどの回転部材に複数のケーブルを配線する場合にも適用可能である。

本発明は，回転を伴う機構に電力や信号などを供給する複数本のケーブルを配線するケーブル配線構造及び基板搬送装置に適用可能である。

本発明の実施形態にかかる基板搬送装置を示す断面図である。 図１に示すケーブルのＰ−Ｐ′断面図である。 回転テーブルが始点角度のときのケーブルの形態の外観を示す図である。 回転テーブルが終点角度のときのケーブルの形態の外観を示す図である。 回転テーブル（回転板）が始点角度である０度のときのケーブルの巻回状態を上方から見た図である。 回転テーブル（回転板）が始点角度から９０度回転したときのケーブルの巻回状態を上方から見た図である。 回転テーブル（回転板）が始点角度から１８０度回転したときのケーブルの巻回状態を上方から見た図である。 回転テーブル（回転板）が始点角度から２７０度回転したときのケーブルの巻回状態を上方から見た図である。

符号の説明

１００ 基板搬送装置
１１０ ケーシング
１１２ テーブル駆動用モータ
１１３ フランジ部
１１４ 回転軸（駆動軸）
１１５ フランジ部
１１６ スペース（配線スペース）
１１８ 孔
１２０ 回転テーブル
１２２ 配管
１２４ 通し孔
１２６ 回転板
１３０ 搬送アーム
１３２，１３４ リンク
１３６ エンドエフェクタ
１４２ 回転軸（ショルダ軸）
１４４ 回転軸（エルボ軸）
１４６ 回転軸（リスト軸）
１５０ 上部コネクタ
１５２ Ｌ字部材
１６０ 下部コネクタ
１６２ Ｌ字部材
２００ ケーブル
２１０，２２０，２２３０，２４０，２５０ 線条体
２１２，２２２，２３２，２４２，２５２ 単体ケーブル
２１４，２２４，２３４，２４４，２５４ シース
２２６，２４６ 編組線
Ｇ 基板

Claims (9)

1. ケーブル配線スペースを有するケーシングと，
   前記ケーシングにそのケーブル配線スペースを覗くように，相対的に回転可能に配設された回転部材と，
   帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，前記各線条体が鉛直方向に配列するように前記回転部材に配線され，前記ケーブル配線スペースに収容されるフラット状ケーブルとを備え，
   前記フラット状ケーブルは，その一端を前記回転部材の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから前記ケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端を前記ケーシングに取付けたことを特徴とするケーブル配線構造。
2. 前記回転部材はその始点角度から終点角度まで正逆方向に回転し，
   前記フラット状ケーブルの長さは，少なくとも前記回転部材の始点角度から終点角度までその回転角度に応じて前記フラット状ケーブルの巻径が変る長さにしたことを特徴とするケーブル配線構造。
3. 前記フラット状ケーブルの巻径が最も小さくなるときの前記回転部材の回転角度における前記フラット状ケーブルの一端は，前記フラット状ケーブルの他端から水平方向にずれていることを特徴とする請求項２に記載のケーブル配線構造。
4. 前記フラット状ケーブルの巻径が最も小さくなるときの前記回転部材の回転角度における前記フラット状ケーブルの一端は，前記回転部材の中心から見て前記フラット状ケーブルの他端と同じ側にずれていることを特徴とする請求項２に記載のケーブル配線構造。
5. 前記フラット状ケーブルを構成する複数本の線条体は，すべて同様の屈曲率を有することを特徴とする請求項１に記載のケーブル配線構造。
6. 前記フラット状ケーブルを構成する複数本の線条体は，すべて同径であることを特徴とする請求項５に記載のケーブル配線構造。
7. 前記フラット状ケーブルを構成する複数本の線条体には，複数本の単体ケーブルを集束した多芯ケーブルが含まれることを特徴とする請求項１に記載のケーブル配線構造。
8. ケーシングの上面に相対的に回転可能に設けられた回転テーブルと，
   前記回転テーブル上に搭載された基板を搬送するための搬送アームと，
   前記ケーシング内の上方に配設され，前記回転ケーブルとともに鉛直軸回りに回転する回転板と，
   帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，前記各線条体が鉛直方向に配列するように前記回転板と前記ケーシングの底面との間のスペースに配線されるフラット状ケーブルとを備え，
   前記フラット状ケーブルは，その一端を前記回転板の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端を前記ケーシングに取付けたことを特徴とする基板搬送機構。
9. 相対的に回転可能な回転部材にケーブルを配線するケーブル配線構造であって，
   前記ケーブルは，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化したフラット状ケーブルであり，
   前記フラット状ケーブルは，その一端を前記回転部材の鉛直な回転中心からずれた位置に取付けて，そこから鉛直方向に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状に配線したことを特徴とするケーブル配線構造。
   

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