KR100978409B1 - 케이블 배선 구조체 및 기판 반송 기구 - Google Patents

케이블 배선 구조체 및 기판 반송 기구 Download PDF

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Abstract

회전 부재에 케이블을 배선할 때에 케이블을 구성하는 각 선조체에 걸리는 부하를 억제하면서, 회전 부재의 회전에 따라 케이블이 움직였을 경우에 있어서 서로 스치거나 얽히는 것을 방지해, 케이블 배선 스페이스를 보다 공간 절약화할 수 있다.
케이블을 수용하는 케이싱(110)과, 케이싱 내의 위쪽에 수직 축 주위로 상대적으로 회전 가능하게 배치된 회전판(126)과, 띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체를 서로 접합하여 일체화해서 이루어지고, 각 선조체가 수직 방향으로 배열되도록 회전판에 배선되는 플랫 형상의 케이블(200)을 구비하고, 케이블(200)은 그것의 한쪽 단부를 회전판의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 그로부터 아래쪽 방향을 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록, 그것의 다른 단부를 케이싱에 부착했다.

Description

케이블 배선 구조체 및 기판 반송 기구{CABLE WIRING STRUCTURE AND SUBSTRATE TRANSFER MECHANISM}
본 발명은 반도체 웨이퍼나 FPD(Flat Panel Display) 기판 등을 반송하는 반송 아암을 탑재하는 회전 테이블과 같이 회전을 동반하는 기구에 전력이나 신호 등을 공급하는 복수개의 케이블을 배선하는 케이블 배선 구조체 및 기판 반송 장치에 관한 것이다.
예컨대 반도체 제조 프로세스에서 반도체 웨이퍼나 FPD 기판 등의 기판에 대하여 에칭이나 성막 등 소정의 처리를 실시하는 반도체 제조 장치에서는, 장치 내의 각 장소에 기판을 반송하기 위해 반송 아암을 구비하는 기판 반송 장치가 마련되어 있다. 반송 아암은 아암의 신축 방향을 바꿀 수 있도록, 예컨대 회전 테이블 위에 부착되어 있다. 이러한 기판 반송 장치에서는 반송 아암의 구동 기구는 회전 테이블에 탑재되기 때문에, 이 구동 기구에 전력이나 신호를 공급하기 위한 복수개의 선조체, 예컨대 전선이나 케이블 등을 회전 테이블에 배선하는 것이 요구된다.
이러한 회전 테이블 등의 회전 부재에, 예컨대 복수개의 케이블을 배선하는 경우, 종래에는 이러한 회전 부재와 케이싱 내의 바닥부 사이에 복수개의 케이블을 그대로 뿔뿔이 배선하여, 이들 케이블끼리 서로 스치지 않을 정도로 케이블 배선 스페이스를 크게 확보하도록 하고 있었다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 공보 제 2000-69655 호
그런데, 최근 반도체 제조 장치의 다기능화에 따라, 이러한 기판 반송 장치에 있어서도 소형 유닛화가 요구되고 있고, 케이블을 배선하기 위한 스페이스도 가능한 한 공간 절약화가 요구되고 있다. 한편, 회전 테이블 위에 마련되는 반송 아암 등의 다기능화에 따라, 배선해야만 하는 케이블의 수도 증가하고, 또한 공급하는 전력 등도 증가하여 케이블의 직경도 커지는 경향이 있다.
이러한 케이블을 종래 이상으로 좁은 스페이스에 넣을 때 종래처럼 케이블을 그대로 뿔뿔이 배선하면, 케이블 배선 스페이스가 좁을수록, 회전 테이블이 회전하여 케이블이 움직였을 때에 케이블끼리 서로 스치거나 얽히기가 쉬워진다. 이래서는, 케이블 자체에 부하가 걸려, 케이블의 손상, 단선 등을 초래할 우려가 있다. 또한, 회전 테이블이 회전하여 케이블이 움직였을 때에 다수의 케이블이 뿔뿔이 서로 얽혀 움직이기 때문에, 전체의 형태나 움직임의 궤적을 예측하는 것은 매우 어렵다.
이 경우, 이들 다수의 케이블을 케이블 덕트나 케이블베어(cableveyor) 등으로 하나로 정리하는 것도 고려되어지지만, 이러한 케이블 덕트나 케이블베어로 정리하면, 케이블의 수가 많아질 수록 또한 단체(單體) 케이블의 직경이 굵을 수록 케이블 덕트나 케이블베어도 굵어지기 때문에, 협소한 스페이스에는 케이블 덕트나 케이블베어 자체를 넣을 수 없다. 설사 넣을 수 있다고 해도, 회전 테이블이 회전했을 때, 케이블 덕트나 케이블베어 내에서 다수의 케이블끼리 서로 스쳐 케이블에 부하가 걸릴 우려도 있다.
또한, 특허문헌 1에는 환상으로 형성된 복수개의 단체 케이블을 순차적으로 직경 방향으로 줄지어 마련하고, 이들을 서로 접합하여 이루어지는 평형(平形) 환상 형태의 집성(集成) 케이블을 평면에서 보아 상하 방향으로 절곡하도록 대략 "U"자 형상으로 굴곡시킨 케이블 장치가 기재되어 있다. 이 케이블 장치에서는 굴곡부를 회전했을 때에, 굴곡부가 상하 방향으로 팽창하는 것에 의해, 굴곡부의 상대 회전을 흡수하도록 하여 케이블의 얽힘을 방지하도록 되어 있다. 이러한 것에 있어서는 굴곡부의 "U"자 형상으로 절곡하기 때문에, 단체 케이블의 직경이 비교적 작아 굴곡시키기 쉬운 경우에는 유용하다. 그러나, 상술한 바와 같이 단체 케이블의 직경이 클수록, "U"자 형상으로 굴곡시키는 것 자체가 어렵게 될 뿐만 아니라, 설사 "U"자 형상으로 굴곡시킬 수 있다고 해도, 각 단체 케이블의 굴곡부에 걸리는 부하는 매우 커지기 때문에, 이러한 형태로 하는 것은 적당하지 않다.
그래서, 본 발명은 이러한 문제에 비추어 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은 회전 부재에 케이블을 배선할 때에, 케이블을 구성하는 각 선조체에 걸리는 부하를 억제하면서, 회전 부재의 회전에 따라 케이블이 움직였을 경우 서로 스치거나 얽히는 것을 방지하고, 케이블 배선 스페이스를 보다 공간 절약화할 수 있는 케이블의 배선 구조체 및 기판 반송 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 한 관점에 의하면, 케이블 배선 스 페이스를 갖는 케이싱과, 상기 케이싱에 그것의 케이블 배선 스페이스를 들여다 볼 수 있도록, 상대적으로 회전 가능하게 배치된 회전 부재와, 띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체를 서로 접합하여 일체화해서 이루어지고, 상기 각 선조체가 수직 방향으로 배열되도록 상기 회전 부재에 배선되어, 상기 케이블 배선 스페이스에 수용되는 플랫 형상 케이블을 구비하고, 상기 플랫 형상 케이블은 그것의 한쪽 단부를 상기 회전 부재의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 상기 케이블 배선 스페이스를 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록, 그것의 다른 단부를 상기 케이싱에 부착한 것을 특징으로 하는 케이블 배선 구조체가 제공된다. 또한, 상기 회전 부재에는 예컨대 회전 테이블과 같이 단체로 회전하는 회전 부재 본체 뿐만 아니라, 회전 부재 본체에 부착되어 회전 부재 본체와 함께 회전하는 회전체, 회전판 등도 포함된다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 다른 관점에 의하면, 상대적으로 회전 가능한 회전 부재에 케이블을 배선하는 케이블 배선 구조체에 있어서, 상기 케이블은 띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체를 서로 접합하여 일체화한 플랫 형상 케이블이고, 상기 플랫 형상 케이블은 그것의 한쪽 단부를 상기 회전 부재의 수직인 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 수직 방향을 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형으로 배선한 것을 특징으로 하는 케이블 배선 구조체가 제공된다.
이러한 본 발명에 의하면, 플랫 형상 케이블은 회전 부재의 회전에 따라 나선형의 권취 직경이 변하는 것 같은 궤적을 그린다(예컨대 비틀림 진자). 이에 따 라, 회전 부재의 회전에 따라 변화하는 플랫 형상 케이블의 형태나 궤적을 예측하기 쉬워져, 회전 부재의 회전에 따라 플랫 형상 케이블이 움직인 경우에 서로 스치거나 얽히는 것을 방지할 수 있다. 또한, 복수개의 선조체를 서로 접합하여 일체화한 플랫 형상 케이블로 하기 때문에, 각 선조체가 서로 스치거나 얽히는 것을 방지할 수 있다. 또한, 플랫 형상 케이블의 형태를 회전 부재로부터 케이블 배선 스페이스를 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형으로 함으로써, 플랫 형상 케이블을 구성하는 선조체의 직경이 크더라도, 각 선조체에 걸리는 부하를 적게 할 수 있다. 또한, 수직 방향으로 나선형이 되도록 배선하기 때문에, 수평 방향의 케이블 배선 스페이스를 보다 공간 절약화 할 수 있다. 또한, 플랫 형상 케이블의 한쪽 단부를 회전 부재의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하는 것에 의해, 수평 방향의 케이블 배선 스페이스를 효율적으로 사용할 수 있다.
또한, 상기 회전 부재는 그 시점 각도부터 종점 각도까지 정역 방향으로 회전하고, 상기 플랫 형상 케이블의 길이는 적어도 상기 회전 부재의 시점 각도부터 종점 각도까지 그 회전 각도에 따라 상기 플랫 형상 케이블의 권취 직경이 변하는 길이로 하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 회전 부재로 사용되는 회전 각도의 범위에 따라 플랫 형상 케이블의 형태나 궤적이 한정되기 때문에, 그것에 맞춰서 플랫 형상 케이블의 길이를 필요 최소한으로 조정할 수 있다.
또한, 상기 플랫 형상 케이블의 권취 직경이 가장 작아진 때의 상기 회전 부재의 회전 각도에 있어서의 상기 플랫 형상 케이블의 한쪽 단부는 상기 플랫 형상 케이블의 다른쪽 단부로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 플랫 형상 케이블의 권취 직경에 어느 정도의 넓어짐을 갖게 할 수 있다. 이에 따라, 케이블 배선 스페이스의 높이 방향을 보다 낮게 할 수 있다.
또한, 플랫 형상 케이블의 권취 직경이 가장 작아진 때의 상기 회전 부재의 회전 각도에 있어서의 상기 플랫 형상 케이블의 한쪽 단부는 상기 회전 부재의 중심에서 보아 상기 플랫 형상 케이블의 다른쪽 단부와 같은 측으로 어긋나 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 회전 부재가 회전하여 플랫 형상 케이블이 풀어질 때에, 수평 방향의 반대측으로 크게 넓어지지 않도록 하는 것이 가능하기 때문에, 케이블 배선 스페이스의 수평 방향에 대해서도 보다 좁게 할 수 있다.
또한, 상기 플랫 형상 케이블을 구성하는 복수개의 선조체는 전부 동일한 굴곡률을 갖는 것이 바람직하다. 이에 따라, 플랫 형상 케이블의 권취 직경이 변하도록 움직일 때에, 각 선조체에 부하가 걸리지 않도록 할 수 있다. 또한, 상기 플랫 형상 케이블을 구성하는 복수개의 선조체는 전부 동일 직경인 것이 바람직하다. 이에 따라, 플랫 형상 케이블이 움직일 때에 특정 선조체(예컨대 소경 케이블)에만 부하가 걸리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 플랫 형상 케이블을 구성하는 복수개의 선조체에는 복수개의 단체 케이블을 집속한 다심 케이블이 포함된다. 이에 따라, 플랫 형상 케이블을 구성하는 선조체의 총 개수를 줄일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 다른 관점에 의하면, 케이싱의 상면에 상대적으로 회전 가능하게 마련된 회전 테이블과, 상기 회전 테이블 위에 탑재된 기판을 반송하기 위한 반송 아암과, 상기 케이싱내의 위쪽에 배치되어, 상기 회전 테이블과 함께 수직 축 주위로 회전하는 회전판과, 띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체를 서로 접합하여 일체화해서 이루어지고, 상기 각 선조체가 수직 방향으로 배열되도록 상기 회전판과 상기 케이싱 바닥면 사이의 스페이스에 배선되는 플랫 형상 케이블을 구비하고, 상기 플랫 형상 케이블은 그것의 한쪽 단부를 상기 회전판의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 아래쪽을 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록, 그것의 다른쪽 단부를 상기 케이싱에 부착한 것을 특징으로 하는 기판 반송 기구가 제공된다.
이러한 본 발명에 의하면, 회전 테이블과 함께 회전하는 회전판에 케이블을 배선할 때에, 케이블을 구성하는 각 선조체에 걸리는 부하를 억제하면서 회전 테이블(회전판)의 회전에 따라 케이블이 움직였을 경우에 서로 스치거나 얽히는 것을 방지하고, 케이블 배선 스페이스를 보다 공간 절약화 할 수 있다. 이에 따라, 기판 반송 장치 전체를 보다 소형화 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 회전 부재에 케이블을 배선할 때에, 케이블을 구성하는 각 선조체에 걸리는 부하를 억제하면서 그 형태나 궤적을 예측하기 쉽도록 배선하는 것에 의해, 회전 부재의 회전에 따라 케이블이 움직인 경우에 서로 스치거나 얽히는 것을 방지하고, 케이블 배선 스페이스를 보다 공간 절약화 할 수 있다.
이하에 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 관해서 상세히 설명한다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 부여함으로써 중복 설명을 생략한다.
(기판 반송 장치)
우선, 본 발명을 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 적용한 경우의 실시예에 관해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 기판 반송 장치의 구성을 나타내는 단면도이다. 기판 반송 장치(100)는 상자형의 케이싱(110)과, 이 케이싱(110)의 윗면에 회전 가능하게 마련된 원판 형상의 회전 테이블(120)과, 회전 테이블(120)상에 마련된 수평 방향으로 신축 가능한 반송 아암(130)을 구비한다. 본 실시예에서는 이 회전 기구에 전력이나 신호 등을 공급하기 위한 케이블(200)을 케이싱(110) 내의 좁은 공간에 배선하는 케이블 배선 구조체를 예로 든다.
케이싱(110)은 윗면이 개구하고 있는 상자형을 이루고 있고, 케이싱(110) 내의 상부에는 회전 테이블(120)을 중심축(수직 축) 주위로 회전 또는 선회시키기 위한 테이블 구동용 모터(112)가 부착되어 있다. 예컨대 테이블 구동용 모터(112)에는 플랜지부(113)가 마련되어 있고, 이 플랜지부(113)가 볼트 등 체결 부재로 케이싱(110)의 상부 내면에 부착되어 있다. 테이블 구동용 모터(112)의 회전축(구동축)(114)은 케이싱(110) 윗면의 개구부로부터 돌출하여 회전 테이블(120) 하면에 플랜지부(115)를 거쳐서 부착되어 있다.
반송 아암(130)은 예컨대 도 1에 나타내는 것 같은 3축 수평 다관절 로봇(스칼라 로봇)으로 이루어지는 아암(머니퓰레이터)으로서 구성된다. 구체적으로는 반 송 아암(130)은 수평면 내에서 회전 가능한 2개의 링크[제 1 링크(132), 제 2 링크(134)]와 엔드 이펙터(end effector)(136)를 직렬로 접속하여 이루어진다. 보다 상세하게는, 가장 아래쪽에 배치되는 제 1 링크(132)의 기단부가 회전축(숄더 축)(142)을 거쳐서 회전 테이블(120)에 수평면 내에서 회전 가능하게 부착되어 있다.
제 1 링크(132)의 선단부에는 그것의 위쪽에 배치되는 제 2 링크(134)의 기단부가 회전축(엘보 축)(144)을 거쳐서 수평면 내에서 회전 가능하게 부착되어 있다. 제 2 링크(134)의 선단부에는 기판(G)을 실어 유지 가능한 핀셋으로서 구성된 엔드 이펙터(136)의 기단부가 회전축(리스트 축)(146)을 거쳐서 수평면 내에서 회전가능하게 부착되어 있다.
제 1, 제 2 링크(132, 134)의 내부에는 회전 테이블(120)에 부착된 도시하지 않는 아암 신축 구동용 모터로부터 발생되는 구동력을 각 링크부 또는 핸드부에 전달하는 전동 기구(예를 들면, 풀리, 벨트, 감속기 등)가 내장되어 있다. 도 1에 나타내는 예에서는 제 1 링크(132) 기단부의 회전축(숄더 축, 142)을 원점으로 해서 엔드 이펙터(136)가 그것의 길이 방향으로 직진 이동하도록, 각 링크(132, 134) 및 엔드 이펙터(136)가 연동하여 회전운동을 행하도록 구성되어 있다.
상기 반송 아암(130)에 의하면, 아암 신축 구동용 모터를 구동시킴으로써 수평 방향으로 아암을 신축시켜, 기판(G)의 교환을 행할 수 있다. 또한, 반송 아암(130)의 구성은 도 1에 나타내는 것에 한정되는 것이 아니다. 예컨대 반송 아암(130)은 리니어 구동으로 신축할 수 있는 아암을 구비한 리니어 슬라이드형 반송 아암이어도 좋다.
이러한 반송 아암(130)에 있어서는 회전 테이블(120)과 일체로 되어 회전하기 때문에, 원하는 방향으로 아암을 신축시킬 수 있다. 이 경우, 회전 테이블(120)은 1회전 이상시키지 않고, 정회전 또는 역회전에 의해 원하는 각도까지 회전시킨다. 이에 따라, 케이블(200)의 길이를 최소한으로 억제할 수 있다.
이 회전 테이블(120) 하면에는 회전 테이블(120) 내에 배치되는 상기 아암 신축 구동용 모터 등의 내부 기기의 배선을 통과시키기 위한 배관(122)이 부착되어 있다. 이 배관(122)은 테이블 구동용 모터(112), 회전축(114)을 관통하여 형성된 통과 구멍(124)에 삽입되고, 배관(122)의 하단이 테이블 구동용 모터(112)의 아래쪽으로부터 돌출하여 케이싱(110) 내로 연장하도록 배치된다. 배관(122)의 하단에는 원판 형상의 회전 부재 또는 회전판(126)이 부착되어 있다. 회전판(126)은 케이싱(110) 내의 위쪽에 케이싱(110) 내의 배선 스페이스(116)를 들여다 볼 수 있도록 배치된다.
회전판(126) 아래쪽에는 배관(122) 내의 배선을 접속하는 상부 커넥터(150)가, 예컨대 "L"자 부재(152)를 거쳐서 부착되어 있다. 따라서, 이들 배관(122), 회전판(126), 상부 커넥터(150)는 회전 테이블(120)과 일체로 되어 회전한다. 한편, 케이싱(110) 내의 바닥 면에는 하부 커넥터(160)가, 예컨대 "L"자 부재(162)를 거쳐서 부착되어 있다. 이들 상부 커넥터(150)와 하부 커넥터(160)는, 예컨대 커넥터 하우징에 복수의 단자가 수용된 다극 커넥터로서 구성된다.
상부 커넥터(150)는 회전 테이블(120)에 탑재된 아암 신축 구동용 모터 등의 내부 기기의 배선과 케이블(200)을 전기적으로 상호 접속하기 위한 것이다. 또한, 하부 커넥터(160)는 케이싱(110) 밖에 마련되는 전원 장치 등의 외부 기기의 배선과 케이블(200)을 전기적으로 상호 접속하기 위한 것이다. 또한, 내부 기기의 배선은, 예컨대 상기 배관(122)을 거쳐서 회전 테이블(120) 내의 내부 기기에 접속되어 있고, 외부 기기의 배선은 예컨대 케이싱(110)의 바닥부에 마련되는 구멍(118)으로부터 케이싱(110) 밖으로 연장하여 외부 기기에 접속하고 있다.
상부 커넥터(150)와 하부 커넥터(160)는 케이블(200)로 접속된다. 이 케이블(200)은 상술한 아암 신축 구동용 모터의 신호나 전력을 공급하기 위한 것이고, 그 구성은 뒤에서 자세히 설명한다. 또한, 하부 커넥터(160)에는 도시하지 않는 배선이 부착되고, 그 배선은 예컨대 케이싱(110)의 구멍(118)으로부터 외부로 연장한다. 그리고, 이들 배선은 예컨대 외부 전원 장치, 제어 장치 등에 접속된다.
이러한 구성의 기판 반송 장치(100)에서는 케이블(200)을 케이싱(110) 내의 회전판(126)보다도 아래 측 스페이스(116)내에 배선해야만 한다. 이러한 케이블 배선 스페이스는 종래 이상으로 공간 절약화가 요구되고 있는 한편, 회전 테이블 위에 마련되는 반송 아암 등의 다기능화에 따라 배선해야만 하는 케이블 수가 증가함과 동시에, 공급하는 전력 등도 증가하여 케이블 직경도 커지고 있다.
또한, 케이블(200)의 한쪽 단부를 접속하는 상부 커넥터(150)는 수직 축 주위로 회전함과 동시에, 케이블(200)의 다른쪽 단부를 접속하는 하부 커넥터(160)는 케이싱(110)에 고정되어 있기 때문에, 상부 커넥터(150)의 회전에 따라 케이블(200) 자체도 움직여 그 형태가 변하게 된다. 따라서, 케이블(200)의 궤적을 예측하여 어떠한 형태가 되어도 좁은 스페이스(116) 내에 들어가도록 케이블(200)을 배선해야만 한다.
그런데, 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(100)에서 사용하는 케이블(200)과 같이, 회전 기구에 전력이나 신호를 공급하는 케이블은 전력 케이블이나 신호 케이블 등 직경이 상이한 다수의 케이블로 이루어지기 때문에, 혹시 이들 케이블을 그대로 뿔뿔이 배선하면, 상부 커넥터(150)가 회전하여 케이블이 움직였을 때에 케이블끼리 스치거나 얽혀버린다. 이래서는 케이블 자체에 부하가 걸려 케이블의 손상, 단선 등을 초래할 우려가 있다. 또한, 상부 커넥터(150)가 회전하여 케이블이 움직였을 때에, 다수의 케이블이 뿔뿔이 얽혀서 움직이기 때문에, 전체의 형태나 움직임의 궤적을 예측하는 것은 매우 곤란하다.
이 경우, 이들 다수의 케이블을 케이블 덕트나 케이블베어 등으로 하나로 정리하는 것도 고려되는데, 이러한 케이블 덕트나 케이블베어로 정리하면, 케이블의 수가 많아질수록, 또한 각 케이블의 직경이 굵을수록, 전체적으로 상당히 두꺼운 케이블 덕트나 케이블베어를 선택해야만 하고, 본 실시예와 같은 좁은 스페이스(116)에는 케이블 덕트나 케이블베어 자체를 넣을 수 없다. 설사, 넣을 수 있다고 해도, 상부 커넥터(150)가 회전했을 때에, 케이블 덕트나 케이블베어 내에서 다수의 케이블끼리 스쳐 케이블에 부하가 걸릴 우려도 있다.
여기서, 본 실시예에서는 케이블(200)을 띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체를 서로 접합하여 일체화한 플랫 형상 케이블로 하고, 플랫 형상의 케이블(200)을 수직 방향을 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록 배선한다. 이에 따라, 케이블(200)을 구성하는 복수의 선조체끼리 서로 스치거나 서로 얽히는 일이 없이, 케이블(200)을 구성하는 선조체의 직경이 크더라도 각 선조체에 걸리는 부하를 적게 할 수 있다.
게다가, 상부 커넥터(150)가 회전판(126)과 동시에 정회전, 역회전함으로써, 스파이럴 형상의 케이블(200)의 움직임은 감기거나 풀어지거나 하는 권취 직경이 변하는 만큼의 단조로운 움직임(예컨대 비틀림 진자 운동, 트위스트 운동)이 되기 때문에, 전체 형태나 그 움직임의 궤적이 매우 예측하기 쉽게 된다. 이 때문에, 케이블(200)이 서로 스치거나 케이싱(110) 내면에 접촉하거나 하지 않도록, 케이블(200)의 권취 수, 길이, 양 단부의 위치 등을 쉽게 정할 수 있게 되기 때문에, 좁은 공간 안을 효율적으로 사용하여 케이블(200)을 배선할 수 있다.
(케이블의 구성 예 및 배선)
이와 같은 본 실시예에 관한 케이블(200)의 구성 예 및 배선 예에 대하여 도면을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 도 2는 도 1에 나타내는 케이블(200)의 P-P' 단면도이다. 우선, 케이블의 구성 예에 대하여 설명한다. 본 실시예에 관한 케이블(200)은 도 2에도 도시하는 바와 같이 복수(여기서는 5개)의 선조체(210, 220, 230, 240, 250)를 일렬로 배열하고, 이들을 접합하여 일체화한 것이다. 이것에 의해서, 케이블(200)을 플랫 형상으로 할 수 있다.
각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)는 반송 아암의 각 축의 모터나 엔드 이펙터 등에 전원을 공급하는 복수의 전원 케이블(전원선), 인코더나 센서류, 각종 제어 기기와 콘트롤러 사이에서 제어 신호를 주고받기 위해서 복수의 신호 케이블(신호선) 등으로 구성되다. 그 외에, 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)는 케이블 뿐만 아니라 전선, 액체나 기체를 공급하는 중공의 튜브 등으로 구성되는 것을 포함해도 좋다.
또한, 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)는 같은 직경 또는 상이한 직경의 복수개의 단체 케이블을 하나씩 또는 복수개씩 묶어 구성된다. 예컨대 전원 케이블과 같은 대경의 단체 케이블과, 신호 케이블과 같은 소경의 단체 케이블이 있는 경우에, 대경의 단체 케이블은 하나씩 선조체로 하고, 소경의 단체 케이블을 복수개씩 묶은 다심 케이블로 함에 따라, 케이블(200)을 구성하는 선조체의 총수를 줄일 수 있다.
예컨대 선조체(210, 230, 250)는 각각 1개의 대경의 단체 케이블(212, 232, 252)로 구성되고, 선조체(220)는 3개의 소경의 단체 케이블(222)을 묶은 다심 케이블로 구성되고, 선조체(240)는 2개의 소경의 단체 케이블(242)을 묶은 다심 케이블로 구성된다.
또한, 복수의 신호 케이블을 갖는 다심 케이블로 이루어지는 선조체는 쉴드 (shield) 처리가 일괄하여 이루어진다. 이와 같이, 신호 케이블이 쉴드 처리됨으로써, 전자 기기 자체로부터 발생하는 노이즈에 의한 오동작이나, 발생한 노이즈의 주고받음이 방지된다. 또한, 다심 케이블을 이용하지 않는 경우는, 하나 하나의 신호 케이블 각각에 쉴드 케이블을 이용할 필요가 있다(도시되지 않음). 각각의 쉴드 케이블로서는, 예컨대 도체로 이루어지는 심선과, 심선의 주위를 피복하는 절연 내피와, 절연 내피의 주위에 마련된 편조선과, 편조선 주위에 마련된 절연 외피로 구성되다.
이들 선조체(210, 220, 230, 240, 250)는 각각 적어도 같은 정도의 굴곡률이 되도록 휨 강도가 조정된다. 휨 강도의 조정은, 예컨대 선조체(210, 220, 230, 240, 250)의 시스(sheath)(예컨대 절연성 수지로 구성된 절연 외피)(214 내지 254)의 두께나 재질로 조정하거나, 선조체(220, 240) 내의 극간에 충전하는 편조선(226, 246)이나 완충재로 조정할 수 있다. 또한, 편조선은 얇은 선을 격자 형상으로 뜬 것이지만, 편조선 대신에 동박 등을 쉴드 부재로서 이용하는 것도 가능하다.
이와 같이 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 전부 같은 굴곡률이 되도록 함으로써, 케이블(200)의 권취 직경이 변하도록 움직일 때에, 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)에 부하가 걸리지 않도록 할 수 있다. 또한, 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)의 휨 강도의 치우침을 없앨 수 있기 때문에, 케이블(200)은 항상 수직 방향으로 평행한 상태에서, 권취 직경만이 변하는 움직임으로 하는 것이 가능하다. 이에 따라, 케이블(200)이 기우는 일이 없기 때문에, 권회된 케이블(200)끼리 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 관한 케이블(200)에서는, 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)의 굴곡률 뿐만 아니라, 직경(굵기)도 같은 정도로 되도록 조정하고 있다. 직경(굵기)의 조정에 관해서도, 굴곡률의 조정과 마찬가지로, 시스의 두께나 재질, 각 선조체의 극간에 충전하는 가는 실이나 완충재로 조정할 수 있다. 예컨대 소경 케이블과 대경 케이블을 일렬로 배열하여, 이들을 접합해 플랫 형상으로 하면, 케이블(200)이 움직일 때에 소경 케이블쪽에 부하가 걸리기 쉽다. 따라서, 본 실시예에 관한 케이블(200)과 같이, 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 전부 같은 직경이 되도록 함으로써, 케이블(200)이 움직일 때에 특정 선조체(예컨대 소경 케이블)에만 부하가 걸리는 것을 방지할 수 있다.
다음으로, 케이블(200) 배선예에 대하여 설명한다. 여기서는, 회전 테이 블(120)을 시점 각도[여기서는 0도(degree)]부터 종점 각도[여기서는 270도(degree)]까지를 정회전과 역회전으로 원하는 각도까지 회전시킬 수 있도록 제어한다. 이 경우 케이블(200)의 길이는 적어도 회전 테이블(120)의 시점 각도로부터 종점 각도까지 그 회전 각도에 따라 케이블(200)의 권취 직경이 변하는 길이로 하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 회전 테이블(120)에서 사용되는 회전 각도의 범위에 따라 케이블(200)의 형태나 궤적이 한정되기 때문에, 그것에 맞춰서 케이블(200)의 길이를 필요 최소한으로 조정할 수 있다.
이러한 경우에 최적의 케이블(200)의 배선예를 이하에 도 3 내지 도 5를 참조하면서 설명한다. 도 3은 회전 테이블(120)이 시점 각도일 때의 케이블(200)의 형태 외관을 도시하는 도면이며, 도 4는 회전 테이블(120)이 종점 각도일 때의 케이블(200) 형태의 외관을 도시하는 도면이다.
본 실시예에서는, 도 3에 나타내는 회전 테이블(120)이 시점 각도일 때의 케이블(200) 상태로부터 도 4에 나타내는 회전 테이블(120)이 종점 각도일 때의 케이블(200)의 상태까지의 케이블(200)의 움직임(궤적)이 스페이스(116) 내에 들어가도록 배선한다. 구체적으로는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 케이블(200)의 한쪽 단부가 접속되는 상부 커넥터(150)와 케이블(200)의 다른쪽 단부가 접속되는 하부 커넥터(160)는 수직 방향으로 높이(HAB)만큼 이간해서 배치됨과 동시에, 수평 방향으로 거리(DAB)만큼 이간해서 배치된다. 이에 따라, 케이블(200)은 그 내경 측의 한쪽 단부로부터 외형 측의 다른쪽 단부까지 높이 방향으로 스파이럴 형상으로 배치할 수 있다. 이 때, 케이블(200)은 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 위, 아래로 평행하게 권회된다.
여기서, 케이싱(110)의 스페이스(116)내에, 상술한 바와 같이, 케이블(200)을 배선했을 때의 케이블(200)의 움직임(궤적)을 도 5a 내지 도 5b에 나타낸다. 도 5a 내지 도 5d는 시점 각도로부터 종점 각도까지의 케이블(200)의 움직임을 도시하는 도면이고, 각각 케이블(200)을 위쪽에서 본 도면이다. 또한, 도 5a 내지 도 5d에서는 회전 테이블(120)을 생략하고 있지만, 회전 테이블(120)과 회전판(126)은 일체로 회전하기 때문에, 이하에서는 회전 테이블(120)의 각도는 회전판(126)의 각도로서 설명한다. 또한, 도 5a 내지 도 5d에서는, 하부 커넥터(160)의 위치(고정)를 B로 하고, 회전판(126)이 시점 각도인 경우 상부 커넥터(150)의 위치(시점)를 A로 한다.
도 5a는 회전판(126)이 시점 각도인 0도(degree)일 때의 케이블(200)의 권회 상태를 나타내고 있다. 도 5b는 회전판(126)이 시점 각도로부터 도면중 오른쪽 주위로 90도(degree) 회전했을 때의 케이블(200)의 권회 상태를 나타내고 있고, 도 5c는 회전판(126)이 시점 각도로부터 도면중 오른쪽 주위로 180도(degree) 회전했을 때의 케이블(200)의 권회 상태를 나타내고 있다. 도 5d는 회전판(126)이 시점 각도로부터 도면중 오른쪽 주위로 종점 각도인 270도(degree) 회전했을 때의 케이블(200)의 권회 상태를 나타내고 있다.
케이블(200)은, 도 5a에 도시하는 바와 같이 회전판(126)이 시점 각도일 때에는 가장 휘감긴 상태이고, 케이블(200)의 권취 직경이 가장 작아진다. 이 상태로부터 회전판(126)이 도 5b 및 도 5c에 도시된 바와 같이 회전함에 따라 케이블(200)이 풀려가고, 케이블(200)의 권취 직경도 서서히 커진다. 그리고, 도 5d에 도시하는 바와 같이, 회전판(126)이 종점 각도일 때에는, 케이블(200)은 가장 풀린 상태이며, 케이블(200)의 권취 직경도 가장 커진다. 이와 같이, 케이블(200)의 권회 상태가 도 5a 내지 도 5d까지 어떠한 상태라도 간섭하는 일이 없이 스페이스(116) 내에 수납될 수 있다.
이와 같이, 높이 방향과 수평 방향으로 넓어지는 스페이스(116)에 스파이럴 형상으로 배선하는 케이블(200)에 있어서는, 회전 테이블(120)이 시점 각도에 있을 때의 케이블(200)의 한쪽 단부인 상부 커넥터(150)와 다른쪽 단부인 하부 커넥터(160)는 수평 방향으로 어긋나게 배치하는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상부 커넥터(150)와 하부 커넥터(160)를 수평 방향으로 DAB만큼 어긋나게 배치하고 있다.
이와 같이, 회전 테이블(120)이 시점 각도에 있을 때의 케이블(200)의 한쪽 단부와 다른쪽 단부의 수평 방향의 위치를 어긋나게 함으로써, 케이블(200)의 권취 직경에 어느 정도의 넓어짐을 갖도록 할 수 있다. 이에 따라, 케이블(200)의 배선 스페이스(116)의 높이 방향을 보다 낮게 할 수 있다.
예컨대 회전 테이블(120)이 시점 각도에 있을 때의 케이블(200)의 한쪽 단부인 상부 커넥터(150)의 수평 방향 위치와 다른쪽 단부인 하부 커넥터(160)의 수평 방향 위치를 함께 회전 테이블(120)의 회전 중심에 가까운 위치에 배치할수록 권취 직경이 작아지기 때문에, 케이블(200)이 서로 간섭하지 않도록 하기 위해서는 수직 방향의 스페이스가 크게 필요해진다.
이에 대하여, 상부 커넥터(150)의 수평 방향의 위치와 다른쪽 단부인 하부 커넥터(160)의 수평 방향 위치를 이간시킴으로써, 내측으로부터 외측에 걸쳐서 권취 직경이 서서히 커지도록 할 수 있기 때문에, 케이블(200)끼리 간섭하지 않는 상태를 유지하면서, 상부 커넥터(150)와 하부 커넥터(160)의 높이(HAB)를 보다 낮게 할 수 있다. 이에 따라, 케이블(200)을 배선하는 케이싱(110) 내의 공간 절약화를 도모할 수 있다.
또한, 도 3 및 도 5a에 도시하는 바와 같이, 회전 테이블(120)이 시점 각도에 있을 때의 케이블(200)의 한쪽 단부인 상부 커넥터(150)의 수평 방향 위치를 다른쪽 단부인 하부 커넥터(160)의 배치 측에, 회전 테이블(120)의 회전 중심으로부터 어긋나게 배치하는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상부 커넥터(150)를 회전 테이블(120)의 회전 중심으로부터 하부 커넥터(160)와 같은 측으로 DA만큼 어긋나게 배치하고 있다.
이에 따라, 회전 테이블(120)이 회전하여 케이블(200)이 풀어져 갈 때에, 수평 방향의 반대측으로 크게 넓어지지 않도록 할 수 있기 때문에, 케이블(200)의 배선 스페이스(116)의 수평 방향에 관해서도 보다 좁게 할 수 있다.
예컨대 회전 테이블(120)이 시점 각도에 있을 때의 케이블(200)의 한쪽 단부인 상부 커넥터(150)의 수평 방향의 위치가 중심에 가까울수록, 회전 테이블이 회 전하여 케이블(200)이 풀어졌을 때에, 케이블(200)이 상부 커넥터(150)의 배치측과 반대측의 스페이스[도 3에서는 회전 테이블(120)의 회전 중심보다도 우측 스페이스]로 크게 넓어지기 때문에, 오히려 수평 방향의 스페이스가 크게 필요하게 된다.
이에 대해, 회전 테이블(120)이 시점 각도에 있을 때의 케이블(200)의 한쪽 단부인 상부 커넥터(150)의 수평 방향의 위치를 회전 테이블(120)의 회전 중심으로부터 어긋나게 배치함으로써, 그 반대측 스페이스로 크게 넓어지는 것을 억제할 수 있기 때문에, 수평 방향의 스페이스를 보다 좁게 할 수 있다. 이에 의해서, 케이블(200)을 배선하는 케이싱(110) 내의 공간 절약화를 더욱 더 도모할 수 있다.
또한, 도 3에서는 케이블(200)의 한쪽 단부인 상부 커넥터(150)를 회전판(126)의 바닥 면에 부착한 경우를 예로 들고 있지만, 반드시 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 회전판(126)의 측면에 상부 커넥터(150)를 부착해도 좋다. 또한, 도 3에서는 케이블(200)의 다른쪽 단부인 하부 커넥터(160)를 케이싱(110)의 바닥 면에 부착한 경우를 예로 들고 있지만, 반드시 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 케이싱(110)의 측면에 하부 커넥터(160)를 부착해도 좋다.
그런데, 상술한 케이블(200)의 권취 수나 길이는 케이블(200)의 단부의 위치, 케이블(200)을 배선하는 스페이스(116)의 크기에 따라 결정하는 것이 바람직하다. 예컨대 본 실시예에 있어서의 케이블(200)의 권취 수는, 예컨대 1.5이다. 이것에 의하면, 도 5a에 도시하는 바와 같이 케이블(200)이 가장 휘감겨지는 회전 테이블(120)이 시점 각도로부터 도 5d에 도시하는 바와 같이 케이블(200)이 가장 많이 풀리는 종점 각도까지 회전할 때에, 도 5a 내지 도 5d 어느 상태에서도, 케이블(200)이 스페이스(116)내에 수납되도록 할 수 있다. 또한, 케이블(200)의 권취 수는 상기의 것에 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 실시예에서는, 회전 테이블(120)를 시점 각도를 0도(degree)로 하고, 종점 각도를 270도(degree)로 한 경우에 대하여 설명했지만, 반드시 이것에 한정되는 것이 아니다. 회전 테이블(120)의 사용에 따라 종점 각도는 0도(degree) 내지 360도(degree)의 범위 내에서 어떤 각도라도 좋다.
또한, 본 실시예에서는, 예컨대 도 3에 나타내는 케이블(200)과 같이, 플랫 형상 케이블을 회전 부재의 아래쪽의 케이블 배선 스페이스 내에 배선하고, 플랫 형상 케이블의 한쪽 단부를 회전 부재의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기서부터 아래쪽의 케이블 배선 스페이스를 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록, 그것의 다른쪽 단부를 케이싱에 부착한 경우에 대하여 설명했지만, 반드시 이것에 한정되는 것이 아니다. 도시는 하지 않지만, 예컨데, 회전 부재의 위쪽에 케이블 배선 스페이스를 마련하여 그것의 공간 내에 플랫 형상 케이블을 배선하는 경우에는, 플랫 형상 케이블의 한쪽 단부를 회전 부재의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 위쪽의 케이블 배선 스페이스를 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록, 그것의 다른쪽 단부를 케이싱에 부착하도록 해도 좋다.
이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다는 것은 말할 필요도 없다. 당업자 라면 특허청구의 범위에 기재된 범주 내에서, 각종의 변경 예 또는 수정 예에 도달 할 수 있는 것은 분명하며, 그것들에 관해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 이해된다.
예컨대 상술한 실시예에서는, 본 발명을 기판 반송 장치에 적용한 경우에 대해서 설명했지만, 반드시 이것에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 산업용 로봇의 선회부나 공작 기계에 있어서의 회전 테이블 등의 회전 부재에 복수의 케이블을 배선하는 경우에도 적용 가능하다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명은 회전을 동반하는 기구에 전력이나 신호 등을 공급하는 복수개의 케이블을 배선하는 케이블 배선 구조체 및 기판 반송 장치에 적용 가능하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 관한 기판 반송 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 케이블의 P-P' 단면도이다.
도 3은 회전 테이블이 시점 각도일 때의 케이블 형태의 외관을 도시하는 도면이다.
도 4는 회전 테이블이 종점 각도일 때의 케이블의 형태의 외관을 도시하는 도면이다.
도 5a는 회전 테이블(회전판)이 시점 각도인 0도일 때의 케이블의 권회 상태를 위쪽에서 본 도면이다.
도 5b는 회전 테이블(회전판)이 시점 각도로부터 90도 회전했을 때의 케이블의 권회 상태를 위쪽에서 본 도면이다.
도 5c는 회전 테이블(회전판)이 시점 각도로부터 180도 회전했을 때의 케이블의 권회 상태를 위쪽에서 본 도면이다.
도 5d는 회전 테이블(회전판)이 시점 각도로부터 270도 회전했을 때의 케이블의 권회 상태를 위쪽에서 본 도면이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 기판 반송 장치 110 : 케이싱
112 : 테이블 구동용 모터 113 : 플랜지부
114 : 회전축(구동축) 115 : 플랜지부
116 : 스페이스(배선 스페이스) 118 : 구멍
120 : 회전 테이블 122 : 배관
124 : 통과 구멍 126 : 회전판
130 : 반송 아암 132, 134 : 링크
136 : 엔드 이펙터 142 : 회전축(숄더 축)
144 : 회전축(엘보 축) 146 : 회전축(리스트 축)
150 : 상부 커넥터 152 : "L"자 부재
160 : 하부 커넥터 162 : "L"자 부재
200 : 케이블
210, 220, 230, 240, 250 : 선조체
212, 222, 232, 242, 252 : 단체 케이블
214, 224, 234, 244, 254 : 시스(sheath)
226, 246 : 편조선 G : 기판

Claims (9)

  1. 케이블 배선 스페이스(116)를 갖는 케이싱(110)과,
    상기 케이싱(110)에 그것의 케이블 배선 스페이스(116)를 들여다 볼 수 있도록, 상대적으로 회전 가능하게 배치된 회전 부재(126)와,
    띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체(210, 220, 230, 240, 250)를 서로 접합하여 일체화해서 이루어지고, 상기 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 서로 수직 방향으로 배열되도록 상기 회전 부재(126)에 배선되어, 상기 케이블 배선 스페이스(116)에 수용되는 플랫 형상 케이블(200)을 구비하고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)은 그것의 한쪽 단부를 상기 회전 부재(126)의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 상기 케이블 배선 스페이스(116)를 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록, 그것의 다른쪽 단부를 상기 케이싱(110)에 부착하고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)의 양쪽 단부에서 상기 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 상기 회전 부재(126)의 회전축에 대해 수직인 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전 부재(126)는 그것의 시점 각도부터 종점 각도까지 정역 방향으로 회전하고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)의 길이는 적어도 상기 회전 부재(126)의 시점 각도부터 종점 각도까지 그것의 회전 각도에 따라 상기 플랫 형상 케이블(200)의 권취 직경이 변하는 길이로 한 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 플랫 형상 케이블(200)의 권취 직경이 가장 작아진 때의 상기 회전 부재(126)의 회전 각도에서의 상기 플랫 형상 케이블(200)의 한쪽 단부는, 상기 플랫 형상 케이블(200)의 다른쪽 단부로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 플랫 형상 케이블(200)의 권취 직경이 가장 작아진 때의 상기 회전 부재(126)의 회전 각도에서의 상기 플랫 형상 케이블(200)의 한쪽 단부는, 상기 회전 부재(126)의 중심에서 보아 상기 플랫 형상 케이블(200)의 다른쪽 단부와 같은 측으로 어긋나 있는 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 플랫 형상 케이블(200)을 구성하는 복수개의 선조체(210, 230, 250)는 상이한 직경의 단체(單體) 케이블(212, 232, 252)을 포함하고, 전부 동일한 굴곡률을 갖는 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 플랫 형상 케이블(200)을 구성하는 복수개의 선조체(210, 220, 230, 240, 250)는 전부 동일 직경인 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 플랫 형상 케이블(200)을 구성하는 복수개의 선조체(220, 240)에는, 상이한 직경의 복수개의 단체 케이블(222, 242)을 집속한 다심 케이블이 포함되는 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
  8. 케이싱(110)의 상면에 상대적으로 회전 가능하게 마련된 회전 테이블(120)과,
    상기 회전 테이블(120) 위에 탑재된 기판(G)을 반송하기 위한 반송 아암(130)과,
    상기 케이싱(110) 안의 위쪽에 배치되어, 상기 회전 테이블(120)과 함께 수직 축 주위로 회전하는 회전판(126)과,
    띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체(210, 220, 230, 240, 250)를 서로 접합하여 일체화해서 이루어지고, 상기 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 서로 수직 방향으로 배열되도록 상기 회전판(126)과 상기 케이싱(110) 바닥면 사이의 스페이스(116)에 배선되는 플랫 형상 케이블(200)을 구비하고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)은 그것의 한쪽 단부를 상기 회전판(126)의 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 아래쪽을 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형이 되도록 다른쪽 단부를 상기 케이싱(110)에 부착하고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)의 양쪽 단부에서 상기 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 상기 회전판(126)의 회전축에 대해 수직인 것을 특징으로 하는
    기판 반송 기구.
  9. 상대적으로 회전 가능한 회전 부재(126)에 케이블(200)을 배선하는 케이블 배선 구조체에 있어서,
    상기 케이블(200)은 띠 형상으로 배열된 복수개의 선조체(210, 220, 230, 240, 250)를 서로 접합하여 일체화한 플랫 형상 케이블(200)이고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)은 그것의 한쪽 단부를 상기 회전 부재(126)의 수직인 회전 중심으로부터 어긋난 위치에 부착하고, 거기로부터 수직 방향을 향해서 서서히 권취 직경이 넓어지는 나선형으로 배선하고,
    상기 플랫 형상 케이블(200)의 양쪽 단부에서 상기 각 선조체(210, 220, 230, 240, 250)가 상기 회전 부재(126)의 회전축에 대해 수직인 것을 특징으로 하는
    케이블 배선 구조체.
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