TWI444243B - Rotary cutting edge detachment device - Google Patents
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Description
本發明係有關於旋轉切削刃脫裝裝置,尤其係有關於對切斷半導體晶圓等的切削加工裝置安裝或拆下作為旋轉切削刃之旋轉切削刃的旋轉切削刃脫裝裝置。
在用以切斷半導體晶圓等之被加工物的既定位置,並將半導體晶圓分割成最小單位的旋轉切削刃脫裝裝置,安裝旋轉切削刃(旋轉切削刃)。旋轉切削刃利用旋轉切削刃脫裝用之螺帽及凸緣,安裝於切削加工裝置之主軸的前端安裝部位。旋轉切削刃消耗或損壞時,需要更換旋轉切削刃。又,在變更被加工物之種類、或變更被加工物之加工內容的情況,亦需要適當地更換旋轉切削刃。
作為將旋轉切削刃安裝於主軸之前端安裝部位的手法,例如,已知使2片凸緣之間夾持旋轉切削刃,在該狀態利用螺帽將凸緣安裝於主軸前端安裝部位的手法。
又,在專利文獻(特開2005-191096號公報),提議作成對主軸的前端安裝部位同時脫裝螺帽與凸緣的旋轉切削刃脫裝裝置。在該旋轉切削刃脫裝裝置,藉由在握持安裝於主軸之前端安裝部位之凸緣的狀態使螺帽旋轉,同時脫裝凸緣與螺帽。
若依據上述的旋轉切削刃脫裝裝置,至少可一面握持位於螺帽側的凸緣一面使螺帽旋轉。因此,在從主軸的前端安裝部位拆下螺帽後,成為保持螺帽與該螺帽側之凸緣的狀態,而可防止螺帽與凸緣脫落。
又,在該旋轉切削刃脫裝裝置,因為拆下螺帽時亦可同時拆下凸緣,所以根據與該拆下順序相反的順序,可將所保持之螺帽與凸緣安裝於主軸的前端安裝部位。
依此方式,在上述的旋轉切削刃脫裝裝置,藉由同時保持螺帽與凸緣,而可防止螺帽等脫落,又,可對主軸的前端安裝部位同時脫裝螺帽與凸緣。
可是,在上述的旋轉切削刃脫裝裝置,在對主軸的前端安裝部位僅脫裝螺帽的情況,或僅脫裝凸緣的情況,反而,具有欠缺操作性、作業效率變差的問題。
例如,在對主軸的前端安裝部位,一面確認凸緣的安裝狀態一面安裝該凸緣時,有未使旋轉切削刃脫裝裝置保持螺帽可比較高效率且圓滑地進行操作的情況。又,一面進行凸緣的安裝操作,一面同時進行螺帽的安裝操作時,因為需要更慎重地進行兩者的安裝操作,所以對該作業要求熟練性。
本發明係為了解決該問題點而開發的,其目的在於在對主軸的前端安裝部位脫裝螺帽與凸緣時,提供一種在其操作性優異的旋轉切削刃脫裝裝置。
本發明之旋轉切削刃脫裝裝置係用以對將被加工物進行切削加工的切削加工裝置安裝或拆下切削用之旋轉切削刃的旋轉切削刃脫裝裝置,該旋轉切削刃脫裝裝置係包含:凸緣握持部,係進行用以將旋轉切削刃安裝於切削加工裝置的旋轉切削刃安裝部位之凸緣的脫裝;及螺帽旋轉支撐部,係進行用以將旋轉切削刃安裝於旋轉切削刃安裝部位之螺帽的脫裝。
凸緣握持部係具有:滑套狀的凸緣握持部本體;凸緣握持手段,係在凸緣握持部本體之圓周方向所設置;及操作構件,係設置於凸緣握持部本體的外周面,並操作凸緣握持手段。
凸緣握持手段係具有:第1卡合爪,係以軸支一端側的第1軸支點為中心,並可在遠離凸緣握持部本體之第1軸心的第1方向、與接近第1軸心的第2方向轉動;及第1彈性構件,係將第1卡合爪朝向第1方向偏壓。
凸緣握持手段係具有如下的功能,其使操作構件朝向凸緣握持部本體的軸向滑動,並使第1卡合爪在抵抗第1彈性構件的彈力下使其朝向第2方向轉動,藉此,使第1卡合爪與形成於旋轉切削刃安裝部位的第1周槽卡合,反之,利用第1彈性構件的彈力使第1卡合爪朝向第1方向轉動,藉此,使第1卡合爪從第1周槽分離。
螺帽旋轉支撐部係具有:螺帽旋轉支撐部本體;凸緣握持部脫裝構件,係設置於螺帽旋轉支撐部,並用以將凸緣握持部安裝於螺帽旋轉支撐部或拆下;及設置於螺帽旋轉支撐部本體的螺帽旋轉構件。
凸緣握持部脫裝構件係具有:第2卡合爪,係以軸支一端側的第2軸支點為中心,並可在遠離螺帽旋轉支撐部本體之第2軸心的第3方向、與接近第2軸心的第4方向轉動;及第2彈性構件,係將第2卡合爪朝向第3方向偏壓。
凸緣握持部脫裝構件係具有如下的功能,其利用第2彈性構件的彈力使第2卡合爪朝向第3方向轉動,並使第2卡合爪與在凸緣握持部本體之內周面所形成的第2周槽卡合,藉此,將凸緣握持部安裝於螺帽旋轉支撐部,反之,使第2卡合爪在抵抗第2彈性構件的彈力下使其朝向第4方向轉動,使第2卡合爪從第2周槽分離,藉此,從螺帽旋轉支撐部拆下凸緣握持部。
若依據本發明的旋轉切削刃脫裝裝置,藉由在凸緣握持部與螺帽旋轉支撐部一體化之狀態使用,而可同時保持螺帽與凸緣,可防止螺帽與凸緣脫落,而且可對主軸的前端安裝部位同時脫裝螺帽與凸緣。
又,藉由使凸緣握持部與螺帽旋轉支撐部分離後個別地使用,而可對主軸的前端安裝部位個別地脫裝螺帽與凸緣。
因此,可適應對主軸的前端安裝部位之螺帽與凸緣之多樣的脫裝作業(操作)。
作為該凸緣握持手段,在凸緣握持部本體的圓周方向等間隔地配置3個凸緣握持手段較佳。
又,將止滑手段設置於螺帽旋轉支撐部及操作構件的外周面較佳。在此情況,可高效率且確實地進行利用凸緣握持部握持旋轉切削刃的作業及利用螺帽旋轉支撐部使螺帽旋轉的作業,而可提高作業的安全性。
進而,將用以限制操作構件之滑動的止動器設置於凸緣握持部較佳。
進而,該止動器係與第1卡合爪一體地形成較佳。
以下,參照第1圖至第5圖,說明本發明之第1實施例的旋轉切削刃脫裝裝置。
(第1實施例)
第1圖表示第1實施例的旋轉切削刃脫裝裝置。
該旋轉切削刃脫裝裝置係用以脫裝置的旋轉切削刃,而該切削加工裝置係用以切斷半導體晶圓等之被加工物的既定位置,並將半導體晶圓分割成最小單位(晶片)。更具體而言,旋轉切削刃脫裝裝置係在脫裝切削加工裝置之旋轉切削刃、用以夾持該旋轉切削刃之凸緣及用以固定旋轉切削刃等之螺帽的情況所使用。
旋轉切削刃脫裝裝置具有:用以脫裝凸緣的凸緣握持部1、及用以脫裝螺帽的螺帽旋轉支撐部2。
凸緣握持部1係對螺帽旋轉支撐部2安裝成可拆裝。
凸緣握持部1具有滑套狀的凸緣握持部本體10、至少3個凸緣握持手段11、及操作該凸緣握持手段11的操作構件12。3個凸緣握持手段11係在凸緣握持部本體10的圓周方向等間隔地設置。
此外,在該旋轉切削刃脫裝裝置,因為採用具有所需之最低限的凸緣握持功能之簡略的構造,所以表示設置3個凸緣握持手段的情況,但是亦可作成對應於凸緣的構造、重量、其他的要求事項,在凸緣握持部本體10的圓周方向等間隔地設置4個或4個以上的凸緣握持手段。
如第2圖(a)或第2圖(b)所示,3個凸緣握持手段11的各個具有一端側由凸緣握持部本體10所軸支11a的卡合爪11b。卡合爪11b以被軸支(11a)的部分為支點,安裝成可沿著凸緣握持部1之徑向轉動。即,卡合爪11b安裝成可在遠離凸緣握持部1之軸心的方向、及接近軸心的方向轉動。又,卡合爪11b利用彈簧等之彈性構件11c的彈力,朝向與凸緣握持部10之軸心相反側(遠離軸心的方向)被偏壓。
操作構件12以可朝向凸緣握持部本體10之軸向(朝向紙面為左右方向)滑動的方式嵌入凸緣握持部本體10的外周部。
如第2圖(a)所示,利用使操作構件12朝向凸緣握持部本體10的軸向(朝向紙面為右方向)滑動,並使3個卡合爪11b在抵抗彈性構件11c的彈力下朝向凸緣握持部本體10之軸心側(接近軸心的方向)轉動的操作(閉合操作),將卡合爪11b設成閉合之狀態。利用這種使3個卡合爪11b朝向接近凸緣握持部本體10之軸心之方向轉動的操作,可使各卡合爪11b與在凸緣D之外周面所形成的周槽D1卡合。
另一方面,如第2圖(b)所示,利用使操作構件12朝向凸緣握持部本體10之軸向(朝向紙面為左方向)滑動,並利用彈性構件11c的彈力使3個卡合爪11b朝向與凸緣握持部本體10之軸心相反側(遠離軸心的方向)轉動的(張開操作)操作,設成卡合爪11b張開之狀態。利用這種使3個卡合爪11b朝向遠離凸緣握持部本體10之軸心的方向轉動的操作,可使各卡合爪11b離開與凸緣D之周槽D1卡合的狀態。
螺帽旋轉支撐部2具有:滑套狀的螺帽旋轉支撐部本體20;凸緣握持部脫裝構件21,係用以將凸緣握持部1安裝於螺帽旋轉支撐部本體20或拆下;及螺帽旋轉構件22,係用以使螺帽旋轉。
如第2圖(a)或第2圖(b)所示,凸緣握持部脫裝構件21具有一端側(朝向紙面為右側)由螺帽旋轉支撐部2所軸支21a的卡合爪21b。卡合爪21b以被軸支21a的部分為支點,安裝成可沿著螺帽旋轉支撐部本體20之徑向轉動。即,卡合爪21b安裝成可在遠離螺帽旋轉支撐部本體20之軸心的方向、及接近軸心的方向轉動。又,卡合爪21b利用彈簧等之彈性構件21c的彈力,朝向與螺帽旋轉支撐部本體20之軸心相反側(遠離軸心的方向)被偏壓。
如第2圖(a)或第2圖(b)所示,被偏壓的卡合爪21b藉由與在凸緣握持部本體10之內周面所形成的周槽10a卡合,而成為凸緣握持部1安裝於螺帽旋轉支撐部2之狀態。
此外,此時,雖然是凸緣握持部1安裝於螺帽旋轉支撐部2之狀態,但是卡合爪21b與周槽10a位於可朝向周槽10a之圓周方向相對地轉動的狀態。
如第3圖(a)所示,利用使卡合爪21b在抵抗彈性構件21c的彈力下朝向螺帽旋轉支撐部本體20之軸心側(接近軸心的方向)轉動的操作,而可解除卡合爪21b與凸緣握持部本體之周槽10a卡合的狀態。在該狀態,藉由使凸緣握持部1與螺帽旋轉支撐部2朝向軸向相對地滑動,而可使凸緣握持部1與螺帽旋轉支撐部2簡單地分離。
在與切削加工裝置之主軸B的前端安裝部位相對向之螺帽旋轉支撐部本體20的端面(在圖上,右側的端面),形成用以嵌入在前端安裝部位所安裝之螺帽E之整體的凹部21d。
在該凹部21d內,形成在設置於後述之螺帽E的卡合孔所插穿的2個螺帽旋轉構件22。
此外,在該旋轉切削刃脫裝裝置,雖然螺帽旋轉構件22以必要最低限之簡單構造為目的,表示在凹部21d內之圓周方向等間隔地配置2個的情況,但是亦可因應於在螺帽E所形成之卡合孔的構造、卡合孔的個數、其他的要求事項,改變其形狀或個數等後配置。
又,在該旋轉切削刃脫裝裝置,雖然表示將螺帽旋轉構件22固定於凹部21d的情況,但是亦可變更成可應付螺帽E之厚度或卡合孔的形狀等。例如,亦可作成併用預先利用彈簧等之彈性構件的彈力使螺帽旋轉構件朝向軸向突出,並調整使該突出之螺帽旋轉構件朝向軸向進退的彈性伸縮手段(未圖示)。
又,如第4圖(b)所示,在該旋轉切削刃脫裝裝置,貫穿孔24設置於螺帽旋轉支撐部本體20的軸心部。貫穿孔24形成為可插穿後述的扭力 扳手等之防止主軸旋轉之工具3的大小。
在主軸B,形成防止主軸旋轉用之工具3所卡合的卡合槽B1。又,如第6圖所示,在螺帽E,形成螺帽旋轉構件22所插穿的卡合孔E1。
此外,作為切削加工裝置,在設置未進行切削加工作業時用以使主軸B的旋轉自動或手動地停止之鎖住機構等(未圖示)之切削加工裝置的情況,不必使用在螺帽E的脫裝操作時防止主軸旋轉的工具3。在這種情況,在旋轉切削刃脫裝裝置,未必要設置用以使工具3貫穿的貫穿孔24。
其次,參照第1圖~第7圖,說明使旋轉切削刃脫裝用之螺帽和凸緣對切削加工裝置之主軸B的前端安裝部位脫裝的步驟。
在同時拆下在主軸B的前端安裝部位所安裝之旋轉切削刃脫裝用之螺帽E與凸緣D的情況,只要如以下所示即可。
首先,如第5圖(a)所示,使操作構件12朝向凸緣握持部本體10之軸(軸心)方向(朝向紙面為左方向)滑動,並利用各彈性構件11c的彈力使凸緣握持手段11的卡合爪11b朝向外方向(遠離軸心的方向)轉動,藉此,設成各卡合爪11b張開之狀態(卡合爪11b的張開操作)。
接著,在各卡合爪11b張開之狀態,使旋轉切削刃脫裝裝置的端面(朝向紙面為右側的端面)如第5圖(b)所示與主軸B的前端安裝部位接合,並使各卡合爪11b與在凸緣D之外周面所形成的周槽D1卡合,而且使主軸之前端安裝部位所安裝的螺帽E整體與在該旋轉切削刃脫裝裝置之螺帽旋轉支撐部本體20側之端面(朝向紙面為右側的端面)所設置的凹部21d內嵌合。
在使螺帽E整體與凹部21d嵌合的情況,一面使螺帽旋轉支撐部本體20朝向圓周方向轉動,一面如第6圖所示使設置於凹部21d內的2個螺帽旋轉構件22插入在螺帽E所設置之卡合孔E1即可。
又,在使螺帽旋轉構件22插入卡合孔E1後,如第5圖(b)及第6圖所示,使操作構件12朝向凸緣握持部本體10之軸(軸心)方向(朝向紙面為右方向)滑動,並利用各彈性構件11c的彈力使凸緣握持手段11的卡合爪11b朝向內方向(接近軸心的方向)轉動,藉此,設成各卡合爪11b閉合之狀態(卡合爪11b的閉合操作)。因此,與凸緣D之外周面的周槽D1卡合的各卡合爪11b與其周槽內確實卡合,而可利用各卡合爪11b確實地握持凸緣D。
接著,藉由使螺帽旋轉支撐部本體20轉動並鬆開螺帽E,而可從主軸B的前端安裝部位拆下螺帽E。
此時,凸緣握持部脫裝構件21的卡合爪21b與凸緣握持部本體10的周槽10a卡合。因此,螺帽旋轉支撐部本體20(螺帽旋轉支撐部2)與凸緣握持部本體10(凸緣握持部1)成一體朝向軸向同時移動,但是因為各卡合爪21b可能在周槽10a內朝向圓周方向轉動,所以可使螺帽旋轉支撐部本體20與凸緣握持部本體10朝向圓周方向相對地轉動。
又,此時,螺帽E係在螺帽旋轉構件22插入卡合孔E1之狀態被保持於螺帽旋轉支撐部本體20的凹部21d內。
在上述的情況,若是位於主軸B無法轉動之鎖住狀態,使螺帽旋轉支撐部20轉動而逐漸鬆開螺帽E時,螺帽旋轉支撐部本體20與螺帽E就朝向軸向(朝向紙面為左方向)移動。
因此,與螺帽旋轉支撐部本體20一體化之凸緣握持部本體10亦同時朝向同方向移動。結果,利用各卡合爪11b所握持的凸緣D亦可與螺帽E同時從主軸B的前端安裝部位拆下。
又,從從主軸B之前端安裝部位所拆下的凸緣D及螺帽E如第7圖所示,位於被旋轉切削刃脫裝裝置確實保持之狀態。因此,可防止凸緣D或螺帽E從主軸B的前端安裝部位或旋轉切削刃脫裝裝置脫落。
在上述的情況,在主軸B位於未被鎖住而可轉動之狀態的情況,使螺帽旋轉支撐部本體20轉動時,因為經由螺帽E而主軸B一起轉動,所以無法從主軸B的前端安裝部位拆下螺帽E。
這種情況係如第4圖(b)所示,將扭力扳手等之工具3插入螺帽旋轉支撐部本體20的貫穿孔24,並使工具3的前端部與主軸的卡合槽B1卡合,藉此,使主軸的轉動停止即可。在該狀態,藉由使螺帽旋轉支撐部本體20轉動,而可從前端安裝部位拆下螺帽E。
其次,說明將凸緣D與螺帽E個別地安裝於主軸B之前端安裝部位的情況。
例如,說明如更換旋轉切削刃的情況所示,將新的旋轉切削刃安裝於已拆下旋轉切削刃之主軸B的前端安裝部位後,利用凸緣與螺帽使該新的旋轉切削刃固定於前端安裝部位之既定位置的情況。
此外,此時,在螺帽旋轉支撐部2的凹部21d內,保持從主軸B之前端安裝部位所拆下的螺帽E,又,在凸緣握持手段11的各卡合爪11b,保持從前端安裝部位所拆下的凸緣D。
如第7圖所示,在螺帽旋轉支撐部2的凹部21d內保持螺帽E,又,凸緣握持部1的各卡合爪11b握持凸緣D。又,此時,因為凸緣握持部1與螺帽旋轉支撐部2作成一體化,所以在旋轉切削刃脫裝裝置,位於保持凸緣D與螺帽E之狀態。
因此,操作凸緣握持部脫裝構件21,藉由解除各卡合爪21b與凸緣握持部本體之周槽10a卡合的狀態,而如第3圖(a)所示,使凸緣握持部1與螺帽旋轉支撐部2分離。
此外,此時,在所分離的凸緣握持部1握持凸緣D,又在螺帽旋轉支撐部2保持螺帽E。
因為所分離的凸緣握持部1成為比原來之旋轉切削刃脫裝裝置之整體構造更簡單的構造體,所以其使用簡單,且操作性提高。
接著,使所分離的凸緣握持部1與主軸B的前端安裝部位嵌合,而且將凸緣D安裝於前端安裝部位的凸緣安裝位置。然後,使操作構件12朝向軸(軸心)方向(朝向紙面為左方向)滑動,並使各卡合爪11b朝向外方向(遠離軸心的方向)轉動,藉此,各卡合爪11b張開,而解除各卡合爪11b與在凸緣D之外周面所形成之周槽D1卡合的狀態。然後,使凸緣握持部1從前端安裝部位後退。
又,因為所分離的螺帽旋轉支撐部2成為比原來之旋轉切削刃脫裝裝置之整體構造更簡單的構造體,所以其使用簡單,且操作性提高。
使所分離的螺帽旋轉支撐部2與主軸B的前端安裝部位接合,而且將凹部21d內的螺帽E安裝於前端安裝部位的凸緣安裝位置(螺紋部)。然後,藉由使螺帽旋轉支撐部2轉動並鎖緊螺帽E,而可將新的旋轉切削刃(C)固定於前端安裝部位的凸緣安裝位置。然後,使螺帽旋轉支撐部2從前端安裝部位後退。
此外,在上述的情況,在主軸B位於未被鎖住而可轉動的情況,需要利用螺帽旋轉支撐部2使螺帽E轉動時防止主軸B一起轉動。
因此,如第4圖(b)所示,將工具3插入螺帽旋轉支撐部2的貫穿孔24後,使工具3的前端部與主軸B的卡合槽B1卡合,藉此,使主軸停止轉動即可。在該狀態,藉由使螺帽旋轉支撐部2轉動,而可將螺帽E安裝於前端安裝部位。
若依據本實施例,在對切削加工裝置之主軸B的前端安裝部位脫裝旋轉切削刃脫裝用的螺帽E與凸緣D時,可在同時或個別地保持螺帽與凸緣下進行脫裝作業。
因此,可因應於在切削加工裝置的切削加工作業所要求之多樣的脫裝作業,選擇最佳的步驟。
又,因為可同時或個別地保持螺帽與凸緣,所以在切削加工裝置的脫裝作業時,可消除誤使螺帽或凸緣脫落等的問題。
其次,參照第8圖,說明本發明之第2實施例的旋轉切削刃脫裝裝置。
(第2實施例)
在第2實施例,表示在對主軸的前端安裝部位之螺帽與凸緣之多樣的脫裝作業(脫裝操作)時,可更高效率且確實地進行操作構件12的滑動操作與螺帽旋轉支撐部本體20的轉動操作。
此外,在第2實施例的旋轉切削刃脫裝裝置,與第1實施例之旋轉切削刃脫裝裝置相異的點係如下所示,關於除此以外的點,因為與第1實施例之旋轉切削刃脫裝裝置的構成一樣,所以相同的構件係附加相同的符號,不重複其說明。
如第8圖所示,第2實施例之旋轉切削刃脫裝裝置的特徵為:對凸緣握持手段11之操作構件12的外周面施加止滑手段12a,同時對螺帽旋轉支撐部本體20的外周面施加止滑手段20a。作為止滑手段12a、20a,形成凹凸、槽或粗面等。
為了更高效率且確實地進行朝向操作構件12之軸向的滑動作用,作為止滑手段12a,沿著操作構件12的外周面形成於複數條周槽較佳。
又,為了更高效率且確實地進行朝向螺帽旋轉支撐部本體20之圓周方向(轉動方向)的轉動作用,作為止滑手段20a,沿著軸向將複數條槽形成於螺帽旋轉支撐部本體20的外周面較佳。
若依據該第2實施例的旋轉切削刃脫裝裝置,可高效率且確實地進行操作構件12的滑動操作、與螺帽旋轉支撐部本體20的轉動操作。
因此,可對主軸的前端安裝部位正確地進行螺帽與凸緣之多樣的脫裝作業,又,可正確地輔助該多樣的脫裝作業。
其次,參照第9圖,說明本發明之第3實施例的旋轉切削刃脫裝裝置。
(第3實施例)
在該第3實施例,表示在對主軸的前端安裝部位之螺帽與凸緣之多樣的脫裝作業中,尤其在凸緣的脫裝作業時,可預防操作構件12從凸緣握持部本體10脫落等的旋轉切削刃脫裝裝置。
此外,在第3實施例的旋轉切削刃脫裝裝置,與第1實施例或第2實施例之旋轉切削刃脫裝裝置相異的點係如下所示,關於除此以外的點,因為與第1實施例或第2實施例之旋轉切削刃脫裝裝置的構成一樣,所以相同的構件係附加相同的符號,不重複其說明。
如第9圖所示,第3實施例之旋轉切削刃脫裝裝置的特徵為:用以限制操作構件12之滑動的止動器11d設置於凸緣握持部1。
在第9圖所示的旋轉切削刃脫裝裝置,在凸緣握持手段11之卡合爪11b的端部(朝向紙面為右端部),設置限制操作構件12的滑動之突起狀的止動器11d。
該止動器11d係在未採用特殊的止動機構,並形成卡合爪11b時與卡合爪11b一體形成上有利。
另一方面,作成與凸緣握持部本體10之端部(朝向紙面為右端部)的外周面一體形成這種止動器亦無妨。
若依據該第3實施例的旋轉切削刃脫裝裝置,在利用卡合爪11b握持凸緣D時,例如,因作業失誤,而操作構件12從凸緣握持手段11(凸緣握持部本體10)脫落,而各卡合爪11b朝向外方向(遠離軸心的方向)轉動,結果,可預防凸緣D從各卡合爪11b脫落而脫下等。
雖然詳細說明並表示本發明,但是這僅是舉例表示,不可當作限定,顯然可理解發明之範圍係根據附加之申請專利範圍所解釋。
B...主軸
B1...卡合槽
C...旋轉切削刃
D...凸緣
D1...周槽
E...螺帽
E1...卡合孔
1...凸緣握持部
2...螺帽旋轉支撐部
3...工具
10...凸緣握持部本體
10a...周槽
11...凸緣握持手段
11a...軸支
11b...卡合爪
11c...彈性構件
11d...止動器
12...操作構件
12a...止滑手段
20...螺帽旋轉支撐部本體
20a...止滑手段
21...凸緣握持部脫裝構件
21a...軸支
21b...卡合爪
21c...彈性構件
21d...凹部
22...螺帽旋轉構件
24...貫穿孔
第1圖係示意地表示本發明之第1實施例的旋轉切削刃脫裝裝置之整體的立體圖。
第2圖係在該實施例,表示第1圖所示的旋轉切削刃脫裝裝置與切削加工裝置之主軸的位置關係圖,第2圖(a)係與第1圖所示之剖面線Ⅱa-Ⅱa對應之旋轉切削刃脫裝裝置之第1狀態的縱向剖面圖、與表示主軸的側視圖,第2圖(b)係與第1圖所示之剖面線Ⅱa-Ⅱa對應之旋轉切削刃脫裝裝置之第2狀態的縱向剖面圖、與表示主軸的側視圖。
第3圖係在該實施例,用以說明旋轉切削刃脫裝裝置之操作的圖,第3圖(a)係表示使凸緣握持部從螺帽旋轉支撐部分離之狀態的縱向剖面圖,第3圖(b)係凸緣握持部的縱向剖面圖。
第4圖係在該實施例,用以說明旋轉切削刃脫裝裝置之操作的圖,第4圖(a)係螺帽旋轉支撐部的第1縱向剖面圖,第4圖(b)係螺帽旋轉支撐部的第2縱向剖面圖。
第5圖係在該實施例,用以說明旋轉切削刃脫裝裝置之操作的圖,第5圖(a)係表示使旋轉切削刃脫裝裝置嵌合於主軸的前端安裝部位之前之狀態的縱向剖面圖,第5圖(b)係表示使旋轉切削刃脫裝裝置嵌合於主軸之前端安裝部位之狀態的縱向剖面圖。
第6圖係在該實施例,用以說明旋轉切削刃脫裝裝置之操作的圖,係表示凸緣握持部與螺帽旋轉支撐部之卡合形態的縱向剖面圖。
第7圖係在該實施例,用以說明旋轉切削刃脫裝裝置之操作的圖,係表示從主軸的前端安裝部位拆下凸緣與螺帽並保持之狀態的縱向剖面圖。
第8圖係示意地表示本發明之第2實施例的旋轉切削刃脫裝裝置之整體的立體圖。
第9圖係示意地表示本發明之第3實施例的凸緣握持部與螺帽旋轉支撐部之主要部分的縱向剖面圖。
1...凸緣握持部
2...螺帽旋轉支撐部
10...凸緣握持部本體
11...凸緣握持手段
11b...卡合爪
12...操作構件
20...螺帽支撐部本體
22...螺帽旋轉構件
24...貫穿孔
Claims (5)
- 一種旋轉切削刃脫裝裝置,是用以對將被加工物進行切削加工的切削加工裝置安裝或拆下切削用之旋轉切削刃的旋轉切削刃脫裝裝置,該旋轉切削刃脫裝裝置係包含:凸緣握持部,係進行用以將旋轉切削刃安裝於該切削加工裝置的旋轉切削刃安裝部位之凸緣的脫裝;及螺帽旋轉支撐部,係進行用以將旋轉切削刃安裝於該旋轉切削刃安裝部位之螺帽的脫裝;該凸緣握持部係具有:滑套狀的凸緣握持部本體;凸緣握持手段,係在該凸緣握持部本體之圓周方向所設置;及操作構件,係設置於該凸緣握持部本體的外周面,並操作該凸緣握持手段;該凸緣握持手段係具有:第1卡合爪,係以軸支一端側的第1軸支點為中心,並可在遠離該凸緣握持部本體之第1軸心的第1方向、與接近該第1軸心的第2方向轉動;及第1彈性構件,係將該第1卡合爪朝向該第1方向偏壓;該凸緣握持手段係具有如下的功能,其使該操作構件朝向該凸緣握持部本體的軸向滑動,並使該第1卡合爪在抵抗該第1彈性構件的彈力下使其朝向該第2方向轉動,藉此,使該第1卡合爪與形成於該旋轉切削刃安裝部位的第1周槽卡合,反之,利用該第1彈性構件的彈力使該第1卡合爪朝向該第1方向轉動,藉此,使該第1卡合爪從該第1周槽分離;該螺帽旋轉支撐部係具有:螺帽旋轉支撐部本體;凸緣握持部脫裝構件,係設置於該螺帽旋轉支撐部,並用以將該凸緣握持部安裝於該螺帽旋轉支撐部或拆下;及設置於該螺帽旋轉支撐部本體的螺帽旋轉構件;該凸緣握持部脫裝構件係具有:第2卡合爪,係以軸支一端側的第2軸支點為中心,並可在遠離該螺帽旋轉支撐部本體之第2軸心的第3方向、與接近該第2軸心的第4方向轉動;及第2彈性構件,係將該第2卡合爪朝向該第3方向偏壓;該凸緣握持部脫裝構件係具有如下的功能,其利用該第2彈性構件的彈力使該第2卡合爪朝向該第3方向轉動,並使該第2卡合爪與在該凸緣握持部本體之內周面所形成的第2周槽卡合,藉此,將該凸緣握持部安裝於該螺帽旋轉支撐部,反之,使該第2卡合爪在抵抗該第2彈性構件的彈力下使其朝向該第4方向轉動,使第1卡合爪從第2周槽分離,藉此,從該螺帽旋轉支撐部拆下該凸緣握持部。
- 如申請專利範圍第1項之旋轉切削刃脫裝裝置,其中作為該凸緣握持手段,在該凸緣握持部本體的圓周方向等間隔地配置3個凸緣握持手段。
- 如申請專利範圍第1項之旋轉切削刃脫裝裝置,其中將止滑手段設置於該螺帽旋轉支撐部及該操作構件的外周面。
- 如申請專利範圍第1項之旋轉切削刃脫裝裝置,其中將用以限制該操作構件之滑動的止動器設置於該凸緣握持部。
- 如申請專利範圍第4項之旋轉切削刃脫裝裝置,其中該止動器係與該第1卡合爪一體地形成。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010285401A JP5216075B2 (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | ブレード着脱装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201236806A TW201236806A (en) | 2012-09-16 |
TWI444243B true TWI444243B (zh) | 2014-07-11 |
Family
ID=46401989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW100146112A TWI444243B (zh) | 2010-12-22 | 2011-12-14 | Rotary cutting edge detachment device |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5216075B2 (zh) |
KR (1) | KR101285962B1 (zh) |
CN (1) | CN102554666B (zh) |
TW (1) | TWI444243B (zh) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5723837B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2015-05-27 | Towa株式会社 | ブレード着脱装置 |
JP6189135B2 (ja) * | 2013-08-19 | 2017-08-30 | 株式会社ディスコ | ブレード着脱具及びブレードケース |
JP2015085466A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 株式会社ディスコ | フランジ機構 |
JP6355441B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-07-11 | 株式会社ディスコ | ハブブレード用治具及びハブブレードの取り付け方法 |
CN104227558B (zh) * | 2014-09-30 | 2016-08-24 | 常州强德电机有限公司 | 打磨机及打磨头快拆机构及其使用方法 |
CN105798684A (zh) * | 2014-12-29 | 2016-07-27 | 山东普鲁特机床有限公司 | 铣头自动交换装置 |
JP6312327B2 (ja) * | 2015-04-08 | 2018-04-18 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 支持方法、加工方法、及びこれらの方法を実行する装置 |
TWI627042B (zh) * | 2017-01-19 | 2018-06-21 | All Ring Tech Co Ltd | Wafer cutting device |
JP6560714B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2019-08-14 | Towa株式会社 | ブレード交換機構、切断装置およびブレード交換方法 |
JP7126749B2 (ja) * | 2018-03-19 | 2022-08-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7229093B2 (ja) * | 2019-05-13 | 2023-02-27 | 株式会社ディスコ | ブレード脱着補助装置 |
JP7330914B2 (ja) | 2020-02-13 | 2023-08-22 | 株式会社マキタ | 振動工具 |
CN117283350A (zh) * | 2023-11-10 | 2023-12-26 | 响水县永恒传动件制造有限公司 | 一种轴承座加工铣削装置及其使用方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH511662A (de) * | 1970-07-16 | 1971-08-31 | Fischer Ag Georg | Schnellwechseleinrichtung für Aufspannvorrichtung an Drehmaschinen |
US3842477A (en) * | 1973-08-27 | 1974-10-22 | Gleason Works | Cutter blade changing apparatus |
FR2657284B1 (fr) * | 1990-01-23 | 1992-04-30 | Pfalzgraf Sa Epb Emile | Dispositif de montage a queue conique, en particulier au cone 7/24eme, a application cone et face pour attachements, porte-outils et outils. |
JPH0460632U (zh) * | 1990-09-29 | 1992-05-25 | ||
US5294209A (en) * | 1991-07-25 | 1994-03-15 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Tool attaching device |
JP2617876B2 (ja) * | 1994-02-04 | 1997-06-04 | 株式会社ディスコ | ブレードオートチェンジャー |
JP3538835B2 (ja) * | 1999-12-27 | 2004-06-14 | 株式会社東京精密 | ブレード交換装置 |
JP4485751B2 (ja) * | 2003-03-14 | 2010-06-23 | 株式会社ディスコ | ブレード着脱補助装置 |
DE10321869A1 (de) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Robert Bosch Gmbh | Handwerkzeugmaschine |
JP4694122B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2011-06-08 | 株式会社ディスコ | ブレード着脱補助装置 |
JP4559094B2 (ja) | 2004-02-16 | 2010-10-06 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード装着装置,切削装置 |
JP4837973B2 (ja) * | 2005-10-13 | 2011-12-14 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの交換装置 |
JP5265961B2 (ja) * | 2008-05-08 | 2013-08-14 | 株式会社ディスコ | ブレード脱着補助装置 |
JP5275675B2 (ja) | 2008-05-08 | 2013-08-28 | 株式会社ディスコ | ブレード脱着補助装置 |
-
2010
- 2010-12-22 JP JP2010285401A patent/JP5216075B2/ja active Active
-
2011
- 2011-12-12 KR KR1020110132905A patent/KR101285962B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-14 TW TW100146112A patent/TWI444243B/zh active
- 2011-12-22 CN CN201110445508.9A patent/CN102554666B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012130991A (ja) | 2012-07-12 |
KR101285962B1 (ko) | 2013-07-12 |
JP5216075B2 (ja) | 2013-06-19 |
CN102554666A (zh) | 2012-07-11 |
KR20120071325A (ko) | 2012-07-02 |
CN102554666B (zh) | 2014-01-15 |
TW201236806A (en) | 2012-09-16 |
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