TWI424174B - 具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法 - Google Patents

具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法 Download PDF

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Description

具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法
本發明係關於一種具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法,尤指一種適用於測試影像感應器之旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法。
目前影像感應晶片檢測技術,需於測試中以光源照射影像感應晶片,同時偵測影像感應晶片之反應訊號來判斷影像感應晶片是否正常。
由於3C產品於影像功能方面之需求日益漸增,故影像感應晶片需求量也相對大量增加,目前影像感應晶片之檢測乃透過分類設備(handler)外接光源模組進行測試,因需外接光源模組,故測試設備需再調整與安裝實為不便。有別於上述,若使用內建光源模組之分類設備(handler)測試影像感應晶片,雖可免除測試設備調整安裝,但客戶如需測試不同光源條件,或是影像感應晶片需對環境光源進行 打光測試,則晶片要依序傳送至不同的測試工站進行測試。對同一晶片而言,更替不同的工站將會造成測試變異性增加,且運送晶片至不同工站也相對耗費生產效能。因此,目前的影像感應晶片光源測試設備已無法滿足日益漸增的影像晶片需求量,以及客戶不同的測試條件。
發明人緣因於此,本於積極發明之精神,亟思一種可以解決上述問題之具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法,幾經研究實驗終至完成本發明。
本發明之目的係在提供一種具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備與方法,俾能於一測試站即可完成影像感應器之對空測試,以及特定光源測試,且可依客戶需求,彈性增加不同光源測試條件。
為達成上述目的,本發明之測試機係用以測試一影像感應器,包括:一承載台、一測試基座、一驅動單元、一支撐座以及一光源筒。
其中測試基座固設於承載台上,而驅動單元則固設於承載台上包括有一直立軸桿。另外,支撐座固設於直立軸桿上,且位於測試基座之上方。光源筒則固設於支撐座上。其中,驅動單元可驅動直立軸桿上、下滑移及左、右旋轉,進而帶動光源筒上、下滑移及左、右旋轉。
上述驅動單元可為一氣壓缸,亦可為馬達、油 壓缸、氣壓缸、或其他等效裝置。本發明之旋轉光源機構之測試機可更包括有一定位塊套設於直立軸桿上,且位於驅動單元與支撐座之間,且支撐座可具有一定位槽,而定位塊對應於定位槽可具有一定位柱。
上述光源筒可更包括有一轉盤及固設於轉盤上之複數光源模組,且複數光源模組可環狀且可等間距排列,俾使影像感應器於同一測試工站可測試不同條件之光源。
上述承載台之二側可分別具有一握把以方便提攜承載台,俾使拆卸或安裝容易進行。
本發明測試機之動態測試設備,用以測試一影像感應器,包括:一具旋轉光源機構之測試機、一旋轉載盤、一進料盤以及一進料裝置。
本發明之動態測試設備之具旋轉光源機構之測試機,固設於一基座上,其結構如前述之具旋轉光源機構之測試機完全相同,故不再贅述。另外,上述旋轉載盤設置於基座上並位於測試基座之下方,可包括有複數承載底座。而進料盤可固設於基座上,其具有一螺旋導軌,進料盤係以振動方式導引複數待測感應器沿螺旋導軌前進至一進料管。再者,進料裝置可設置於旋轉載盤與進料盤之間,用以將進料管之複數待測感應器移送至旋轉載盤。
另外,本發明動態測試設備之進料裝置可更包括有一機器手臂及一吸取頭,藉由吸取頭吸取待測感應器,而機器手臂可將複數待測感應器運送至旋轉載盤之複數承 載底座上之一測試座。
再者,上述旋轉載盤下方且對應於測試基座,可固設有一氣壓缸或其他等效裝置,用以頂升設有測試座之承載底座。另外,上述複數承載底座可呈環狀且可等間距設置於旋轉載盤上。
本發明之使用具旋轉光源機構之測試機之測試方法,包括:步驟A:提供一具旋轉光源機構之測試機,其包括有一承載台、一固設於承載台上之測試基座、一驅動單元、一支撐座、及一光源筒,驅動單元固設於承載台上並具有一直立軸桿,支撐座固設於直立軸桿上,光源筒固設於支撐座上。步驟B:置放一影像感應器於測試基座上。步驟C:驅動單元控制光源筒下移,對影像感應器執行打光測試。步驟D:驅動單元控制光源筒上移並旋轉一角度以避開影像感應器之打光範圍。步驟E:對影像感應器執行環境測試。
本發明之測試方法步驟A之驅動單元可為一氣壓缸亦可為馬達、油壓缸、氣壓缸、或其他等效裝置。另外,步驟A之測試機可更包括有一定位塊套設於直立軸桿上,且可位於驅動單元與支撐座之間。而支撐座可具有一定位槽,且定位塊對應於定位槽可具有一定位柱。再者,步驟A之光源筒可包括有一轉盤及固設於轉盤上之複數光源模組,且複數光源模組可環狀且可等間距排列。
1‧‧‧測試機
11‧‧‧承載台
111‧‧‧握把
12‧‧‧測試基座
121‧‧‧導柱
122‧‧‧擋板
13‧‧‧驅動單元
131‧‧‧直立軸桿
14‧‧‧支撐座
141‧‧‧定位槽
15‧‧‧光源筒
151‧‧‧導孔
16‧‧‧定位塊
17‧‧‧定位柱
2‧‧‧測試座
21‧‧‧感應器
3‧‧‧測試機
31‧‧‧轉盤
311‧‧‧光源模組
4‧‧‧旋轉載盤
41‧‧‧承載底座
42‧‧‧氣壓缸
5‧‧‧進料盤
51‧‧‧螺旋導軌
52‧‧‧進料管
6‧‧‧進料裝置
61‧‧‧機器手臂
62‧‧‧吸取頭
7‧‧‧分料裝置
71‧‧‧機械手臂
72‧‧‧吸取頭
73‧‧‧分料桶
8‧‧‧基座
R‧‧‧旋轉中心軸
圖1係本發明測試機第一較佳實施例之爆炸圖。
圖2係本發明測試機第一較佳實施例之立體圖。
圖3係本發明測試機第一較佳實施例之光源筒下壓打光立體圖。
圖4係本發明測試機第一較佳實施例之光源筒上升立體圖。
圖5係本發明測試機第一較佳實施例之光源筒旋轉90度立體圖。
圖6係本發明測試機第二較佳實施例之一旋轉盤包括複數光源模組之立體圖。
圖7係本發明之測試設備一較佳實施例之立體圖。
圖8係本發明之測試設備一較佳實施例之進料裝置局部立體圖。
圖9係本發明之測試設備一較佳實施例之測試機與旋轉載盤立體圖。
圖10係本發明之測試設備一較佳實施例之旋轉載盤承載底座未上頂之局部立體圖。
圖11係本發明之測試設備一較佳實施例之旋轉載盤承載底座上頂與光源筒下壓打光局部立體圖。
圖12係本發明之測試設備一較佳實施例之光源筒上升局部立體圖。
圖13係本發明之測試設備一較佳實施例之光源筒旋轉90度局部立體圖。
圖14係本發明之測試設備一較佳實施例之分料裝置局部立體圖。
圖15係本發明測試機一較佳實施例測試機之測試方法流程圖。
請參考圖1以及圖2,係本發明測試機第一較佳實施例之爆炸圖以及立體圖。圖中所示,一種具旋轉光源機構之測試機係用以測試一影像感應器,包括:一承載台11、一測試基座12、一驅動單元13、一支撐座14、一光源筒15、一定位塊16以及一定位柱17。
其中測試基座12固設於承載台11上,而驅動單元13亦固設於承載台11上且包括有一直立軸桿131。另外,支撐座14固設於直立軸桿131上,且位於測試基座12之上方。光源筒15則固設於支撐座14上。其中,在本實施例中驅動單元13為一氣壓缸,可驅動直立軸桿131上、下滑移及左、右旋轉,進而帶動光源筒15上、下滑移及左、右旋轉。
本實施例之定位塊16套設於直立軸桿131上,且位於驅動單元13與支撐座14之間,且支撐座14具有一定位槽141,而定位塊16對應於定位槽141設置有定位柱17。上述之承載台11之二側分別具有一握把111以方便提攜承載台11,俾使拆卸或安裝容易進行。
如圖3、圖4以及圖5所示,係本發明測試機 第一較佳實施例之光源筒下壓打光、光源筒上升以及光源筒旋轉90度之立體圖。圖中顯示,驅動單元13控制光源筒15下移,對一影像感應器21執行打光測試,測試完畢後,驅動單元13控制光源筒15上移並旋轉90度以避開影像感應器21之打光範圍,同時對影像感應器21執行對空環境測試。
本實施例說明藉由具旋轉光源機構之測試機1,可於一測試工站即可完成影像感應器21之對空測試,以及特定光源測試,無須將影像感應器21移送至另外測試設備,俾能節省影像感應器21之測試時間,且不會產生因替換測試設備而導致測試變異性增加。
如圖6所示,係本發明測試機第二較佳實施例之一轉盤包括複數光源模組之立體圖。本實施例之測試機3與第一實施例具旋轉光源機構之測試機之結構大致相同,惟新增一具複數光源模組311之轉盤31取代第一實施例僅具單一光源筒15之支撐座14。如圖所示,本實施例共具有四組設定不同測試條件之光源源模組311,分別設置於一轉盤31上,且四組光源模組311環狀且等間距排列。
本實施例說明一轉盤31包括複數光源模組311,可使影像感應器21於同一測試工站下,測試不同條件之光源,俾能彈性地替換更多的光源測試條件。
如圖7以及圖8所示,係本發明之測試設備一較佳實施例之立體圖,以及進料裝置局部立體圖。如圖所示,本實施例之具旋轉光源機構之測試機動態測試設備, 用以測試一影像感應器,包括:一具旋轉光源機構之測試機1、一旋轉載盤4、一進料盤5、一進料裝置6、一分料裝置7、一基座8以及一測試座2。
本實施例之具旋轉光源機構之測試機,固設於一基座8上,其結構與前述之第一較佳實施例之測試機1完全相同,故不再贅述。
圖中所示,進料盤5固設於基座8上,其具有一螺旋導軌51,進料盤5係以振動方式導引複數待測感應器21沿螺旋導軌51前進至一進料管52。再者,進料裝置6設置於旋轉載盤4與進料盤5之間,用以將進料管52之複數待測感應器21移送至旋轉載盤4。本實施例動態測試設備之進料裝置6包括有一機器手臂61及一吸取頭62,藉由吸取頭62吸取待測感應器21,而機器手臂61可將複數待測感應器21運送至旋轉載盤4之複數承載底座41之測試座2上。
如圖9所示,係本發明之測試設備一較佳實施例之測試機與旋轉載盤立體圖。圖中所示,旋轉載盤4設置於基座8上並位於測試基座12之下方,包括有複數承載底座41,且複數承載底座41呈環狀且等間距設置於旋轉載盤4上。本實施例之承載底座係為四個,每隔90度環狀排列設置。另外,本實施例之旋轉載盤4下方且對應於測試基座12,固設有一氣壓缸42,用以頂升具測試座2之承載底座41緊貼於測試基座12下方。
如圖10、圖11、圖12以及圖13所示,係本發 明之測試設備一較佳實施例之旋轉載盤承載底座未上頂、承載底座已上頂且光源筒下壓打光、光源筒上升,以及光源筒90度旋轉局部立體圖。圖中顯示,一承載底座41上設有測試座2,而影像感應器21則置於測試座2內,藉由氣壓缸42將設有測試座2之承載底座41上頂至緊貼對應測試基座12,此時光源筒15下壓進行打光,測試完畢後,光源筒15升起並旋轉90度,開始對影像感應器21進行對空環境打光測試。
承上,本發明具旋轉光源機構之測試機及使用該測試機之動態測試設備,其測試基座12上端設有導柱121,光源筒15之一側設有導孔151(請參圖1),可確保光源筒15下壓連接基座12之位置精準度。再者,測試基座12下端設有擋板122可使測試座2順利上升引導測試座2至連接基座12,亦可確保測試座2上頂緊貼對應測試基座12,增加兩者位置連接之精準度,防止測試漏光之狀況,增加測試之可靠度。
此外,當測試座2及光源筒15分別上升及下壓,連接到測試基座12,其測試基座12可減少測試座2及光源筒15之間作動衝擊力,以確保光源筒15之懸臂狀結構不會發生傾斜。
如圖14所示,係本發明之測試設備一較佳實施例之分料裝置局部立體圖。本實施例之分料裝置7,係由一機械手臂71、一吸取頭72以及分料桶73所構成。影像感應器21由具旋轉光源機構之測試機1測試完畢後,承載 底座41下降回復至未舉升位置,經由旋轉載盤41以旋轉中心線R旋轉90度至待吸取位置,藉由機械手臂71移至測畢感應器21上方,並往下由吸取頭72吸取測畢之感應器21,並依其測試結果分別放置分料桶73之各分類槽內。
本實施例說明,藉由測試設備可使測試機1之測試具全自動化之流程,俾使影像感應器21之測試效率更為提升。
如圖15所示,係本發明測試機一較佳實施例測試機之測試方法流程圖,並請一併參閱圖1~5。本實施例之使用具旋轉光源機構之測試機之測試方法,包括:步驟A:提供一具旋轉光源機構之測試機1,其包括有一承載台11、一固設於承載台11上之測試基座12、一驅動單元13、一支撐座14、及一光源筒15,驅動單元13固設於承載台11上並具有一直立軸桿131,支撐座14固設於直立軸桿131上,光源筒15固設於支撐座14上。步驟B:置放一影像感應器21於測試基座12上。步驟C:驅動單元13控制光源筒15下移,對影像感應器21執行打光測試。步驟D:驅動單元13控制光源筒15上移並旋轉一角度以避開影像感應器21之打光範圍。步驟E:對影像感應器21執行環境測試。
本實施例之測試方法步驟A之驅動單元13為一氣壓缸。另外,步驟A之測試機1包括有一定位塊16套設於直立軸桿131上,且位於驅動單元13與支撐座14之間。而支撐座14具有一定位槽141,且定位塊16對應於定位槽141具有一定位柱17。
藉由本實施例之測試方法,俾能於一測試站即可完成影像感應器21之對空測試,以及特定光源測試,可節省影像感應器21之測試時間,且不會產生因替換測試設備而導致測試變異性增加。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已,本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準,而非僅限於上述實施例。
1‧‧‧測試機
11‧‧‧承載台
111‧‧‧握把
12‧‧‧測試基座
121‧‧‧導柱
122‧‧‧擋板
13‧‧‧驅動單元
131‧‧‧直立軸桿
14‧‧‧支撐座
141‧‧‧定位槽
15‧‧‧光源筒
151‧‧‧導孔
16‧‧‧定位塊
17‧‧‧定位柱

Claims (19)

  1. 一種具旋轉光源機構之測試機,用以測試一影像感應器,包括:一承載台;一測試基座,固設於該承載台上;一驅動單元,固設於該承載台上,包括有一直立軸桿;一支撐座,固設於該直立軸桿上,位於該測試基座之上方;以及一光源筒,固設於該支撐座上;其中,該驅動單元可驅動該直立軸桿上、下滑移及左、右旋轉,進而帶動該光源筒上、下滑移及左、右旋轉。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之測試機,其中,該驅動單元係為一氣壓缸。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之測試機,其更包括有一定位塊,套設於該直立軸桿上,位於該驅動單元與該支撐座之間,該支撐座具有一定位槽,且該定位塊對應於該定位槽具有一定位柱。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之測試機,其中,該光源筒包括有一轉盤及固設於該轉盤上之複數光源模組。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之測試機,其中,該複數光源模組係環狀且等間距排列。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之測試機,其中,該測試基座設有複數個導柱及複數個擋板,而該光源筒之一側設有複數個導孔。
  7. 一種具旋轉光源機構之測試設備,用以測試一影像感應器,包括:一具旋轉光源機構之測試機,固設於一基座上,包括有一承載台、一固設於該承載台上之測試基座、一驅動單元、一支撐座、及一光源筒,該驅動單元固設於該承載台上並具有一直立軸桿,該支撐座固設於該直立軸桿上,該光源筒固設於該支撐座上,該驅動單元可驅動該直立軸桿上、下滑移及左、右旋轉,進而帶動該光源筒上、下滑移及左、右旋轉;一旋轉載盤,設置於該基座上並位於該測試基座之下方,包括有複數承載底座;一進料盤,固設於該基座上,具有一螺旋導軌;以及一進料裝置,設置於該旋轉載盤與該進料盤之間,用以將該進料盤之複數待測影像感應器移送至該旋轉載盤。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之測試設備,其中,該旋轉載盤下方且對應於該測試基座固設有一氣壓缸,用以頂升該承載底座。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之測試設備,其中,該複數承載底座係呈環狀且等間距設置該旋轉載盤上。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之測試設備,其中,該驅動單元係為一氣壓缸。
  11. 如申請專利範圍第7項所述之測試設備,其更包括有一定位塊,套設於該直立軸桿上,位於該驅動單元與該支撐座之間,該支撐座具有一定位槽,且該定位塊對應於該定位槽具有一定位柱。
  12. 如申請專利範圍第7項所述之測試設備,其中,該光源筒包括有一轉盤及固設於該轉盤上之複數光源模組。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之測試設備,其中,該複數光源模組係環狀且等間距排列。
  14. 如申請專利範圍第7項所述之測試設備,其中,該測試基座設有複數個導柱及複數個擋板,而該光源筒之一側設有複數個導孔。
  15. 一種使用具旋轉光源機構之測試機之測試方法,包括:步驟A:提供一具旋轉光源機構之測試機,其包括有一承載台、一固設於該承載台上之測試基座、一驅動單元、一支撐座、及一光源筒,該驅動單元固設於該承載台上並具有一直立軸桿,該支撐座固設於該直立軸桿上,該光源筒固設於該支撐座上;步驟B:置放一影像感應器於該測試基座上;步驟C:該驅動單元控制該光源筒下移,對該影像感應器執行打光測試;步驟D:該驅動單元控制該光源筒上移並旋轉一角度以避開該影像感應器之打光範圍;以及步驟E:對該影像感應器執行環境測試。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之測試方法,其中,該步驟A之該驅動單元係為一氣壓缸。
  17. 如申請專利範圍第15項所述之測試方法,其中,該步驟A之該測試機更包括有一定位塊,套設於該直立軸桿上, 位於該驅動單元與該支撐座之間,該支撐座具有一定位槽,且該定位塊對應於該定位槽具有一定位柱。
  18. 如申請專利範圍第15項所述之測試方法,其中,該步驟A之該光源筒包括有一轉盤及固設於該轉盤上之複數光源模組。
  19. 如申請專利範圍第18項所述之測試方法,其中,該複數光源模組係環狀且等間距排列。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105842486B (zh) * 2015-01-14 2018-09-21 京元电子股份有限公司 半导体元件测试连接机构
CN104931472A (zh) * 2015-06-10 2015-09-23 东北电力大学 连续式多波长激发荧光标记免疫试纸条检测仪

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5974662A (en) * 1993-11-16 1999-11-02 Formfactor, Inc. Method of planarizing tips of probe elements of a probe card assembly
TW200813455A (en) * 2006-09-08 2008-03-16 Pixart Imaging Inc Apparatus and method as well as equipment for testing image sensors
TW201205094A (en) * 2010-07-16 2012-02-01 Hon Tech Inc Testing and sorting machine for image sensing IC

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007132975A (ja) * 2005-11-08 2007-05-31 Yokogawa Electric Corp 光源装置
KR100805834B1 (ko) * 2006-01-09 2008-02-21 삼성전자주식회사 수광소자의 테스트 장치 및 그 방법
KR100808019B1 (ko) * 2006-10-20 2008-02-28 삼성전기주식회사 테스트 장치 및 그 제어 방법
CN101644657B (zh) * 2009-09-03 2011-03-23 浙江大学 大口径精密光学元件表面缺陷检测的旋转照明方法及装置
CN202471910U (zh) * 2012-01-19 2012-10-03 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 一种姿态感应传感器芯片的测试台
CN102565677A (zh) * 2012-01-19 2012-07-11 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5974662A (en) * 1993-11-16 1999-11-02 Formfactor, Inc. Method of planarizing tips of probe elements of a probe card assembly
TW200813455A (en) * 2006-09-08 2008-03-16 Pixart Imaging Inc Apparatus and method as well as equipment for testing image sensors
TW201205094A (en) * 2010-07-16 2012-02-01 Hon Tech Inc Testing and sorting machine for image sensing IC

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