TWI405285B - 具備為了同時調節旋轉及升降運動的單一驅動部的旋轉裝置 - Google Patents

Description

具備為了同時調節旋轉及升降運動的單一驅動部的旋轉裝置

本發明係關於一種具備為了同時調節旋轉及升降運動的單一驅動部的旋轉裝置，特別地，關於透過一個驅動部調節支撐多個檢查對象物之檢查臺的旋轉及並進(即，升降)運動的旋轉裝置。

由於種種原因，在發光二極體(LED)產品或半導體之製造過程中產生不良產品。

如果在製造過程中無法立即去除這些不良產品，其將經過不必要之後續工序，最終可導致材料費、工序費等的損失。

為了減少此種損失，要求一種在發光二極體產品或半導體的製造工序上，將發光二極體晶片或半導體晶片等作為檢查對象物，即，被檢查體而實施測試，並根據其測試結果按適當的等級分類被檢查體之裝置。

作為此種裝置的一實例，推出了發光二極體晶片測試裝置，其在經過包裝工序之前測量發光二極體晶片之光特性，並基於測量之數據按等級分類發光二極體晶片。

「第1圖」係為習知技術之一發光二極體晶片測試裝置之概略圖。請參閱「第1圖」，可以得知，圖示習知技術之發光二極體晶片測試裝置1由一檢查臺10、一接觸單元20、以及一測量單元30構成。

檢查臺10包含有一安裝部件11，以支撐如發光二極體晶片之對象物L；以及一支撐框架12，用以支撐安裝部件11，並以旋轉軸A為中心向半徑方向延伸。在支撐框架12的下側連接如馬達之驅動部13，同時，具備複數個支撐框架12及安裝部件11。

根據檢查臺10透過驅動部13之驅動而旋轉，放置被檢查體的安裝部件11按順序放置於測試位置。

接觸單元20例如由探針卡構成，並具備如探針銷之接觸銷21。如果接觸銷21例如與安裝部件11上的發光二極體晶片接觸而向發光二極體晶片供電，則發光二極體晶片發光而實施測試。接觸單元20能夠上下方向可移動地連接於固定之框架22。

測量單元30為如同積分球接收自發光二極體晶片發射的光線而測量光特性之裝置。測量單元30中設置如光檢測機或分光計量器之測量器31。

可以透過「第2圖」獲知此種現有的發光二極體晶片測試裝置之工作過程。

在「第2圖」中，上側圖表為表示檢查臺之旋轉驅動時序的圖表。在該圖表上x軸表示時間軸，y軸表示角速度。

並且，在「第2圖」之中，下側圖表為表示接觸單元20之驅動時序的圖表。在該圖表上x軸表示時間軸，y軸表示垂直方向並進運動速度。

在此，y軸之陽(+)方向，即上側方向表示接觸單元20對框架22具有上行運動，y軸之陰(-)方向，即下側方向表示接觸單元20對框架22具有下行運動。

如同透過「第2圖」之圖表確認，首先，測量單元30上行移動而遮斷與經過測試的被檢查體L之連接I區間。

然後，檢查臺10旋轉移動而使要進行測試之對象物L位於測量單元30的下側(II區間)。

其後，測量單元30向下側移動而使得被測試的對象物L與接觸銷21相連接(III區間)。此時，由於接觸銷21為具有彈性之細微探針或者悬臂形態之部件，因此有可能因接觸銷21與對象物L之接觸而發生振動。

因此，在接觸銷21接觸到對象物L之後，需要預定的穩定化時間(IV區間)。

之後，透過接觸銷21向對象物L施加電流而測量其特性(V區間)。

上述IV、V區間中不發生檢查臺10或接觸單元20的旋轉/並進運動。

如此，在現有的發光二極體晶片測試裝置中檢查臺與接觸單元的運動區間按順序進行，因此無法大幅縮減工序時間。

並且，接觸銷與對象物接觸之後需要穩定化時間，這也成為縮減工序時間之障礙。

並且，習知技術之發光二極體晶片測試裝置中需要為按順序驅動檢查臺與接觸單元之各個控制動作，為了單獨驅動相關構成還需要不同之驅動部，因此增加成本。

因此，鑒於上述問題，本發明之目的在於提供一種旋轉裝置，其具備單一驅動部，單一驅動部在測量發光二極體晶片或半導體晶片等被檢查體時，為了能夠縮短工序時間的同時減少配件而節約費用，而同時調節旋轉及升降運動。

根據本發明之思想，提供之一種旋轉裝置包含有，一檢查臺，其包含有一自旋轉中心向外側延伸之支撐框架，以及一在支撐框架之末端安裝被檢查體的安裝部件；一驅動部，其接收電氣訊號而產生旋轉力；以及一轉動部件，其連接至此檢查臺的旋轉中心之下部，並自驅動部接收旋轉力而轉換成檢查臺的斷續性之旋轉及升降運動。

包含一杆，其連接形成於支撐框架與轉動部件之間，並與轉動部件的運動聯動而實現支撐框架的旋轉及升降運動。

優選地，此種杆為能夠沿軸方向流動空氣的中空軸部件。

並且，較佳地，支撐框架自檢查臺的旋轉中心以輻射狀分枝形成多個，相互隔離一定中心角而以相同的長度延伸形成。

另外，較佳地更包含一耦合部件，其連接形成於驅動部與轉動部件之間，控制自驅動部傳輸的旋轉力之大小及方向而傳輸至轉動部件。

在此，轉動部件可以利用滾輪齒輪凸輪(rollergearcam)機構或者槽轮齒輪(genevagear)機構中的任意一個。

另外，轉動部件在支撐框架的個數為n時，進行驅動使檢查臺旋轉360°/n，並具有相當於設定時間之暫停時間。

檢查臺根據轉動部件的驅動，可以具有對轉動部件分離或者接近的方向升降驅動的運動，旋轉驅動的運動及具有一定時間的暫停時間的運動中的任意一個以上之運動模式。

根據優選實施例，此檢查臺能夠具有連續地實現，對轉動部件分離或者接近的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第一運動；以及與第一運動的相反方向進行升降驅動的同時，與第一運動相同的方向進行旋轉驅動的第二運動之運動模式。

並且，檢查臺能夠具有連續地實現，對轉動部件分離或者接近的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第一運動；與第一運動相同的方向僅進行旋轉驅動的第二運動；以及與第一運動相反的方向進行升降驅動的同時，與第一運動相同的方向進行旋轉驅動的第三運動之運動模式。

並且，檢查臺能夠具有連續地實現，對轉動部件分離或者接近的方向僅進行升降驅動的第一運動；與第一運動相同的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第二運動；與第一運動相反的方向進行升降驅動的同時，與第一運動相同的方向進行旋轉驅動的第三運動；以及與第一運動相反的方向僅進行升降驅動的第四運動之運動模式。

並且，此檢查臺能夠具有連續地實現，對轉動部件向分離或者接近的方向僅進行升降驅動的第一運動；與第一運動相同的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第二運動；與第一運動相同的方向僅進行旋轉驅動第三運動；與第一運動相反的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第四運動；以及與第一運動相反的方向僅進行升降驅動的第五運動之運動模式。

作為本發明的優選實施方式，被檢查體可以利用半導體晶片或者發光二極體(LED)晶片。

根據本發明的具備為了同時調節旋轉及升降運動的單一驅動部的旋轉裝置，在測量發光二極體晶片或半導體晶片等的被檢查體的不良時，配置單一之驅動部，其能夠同時調節配置被檢查體的檢查臺的旋轉及升降運動，從而具有縮短工序時間的同時能夠節約費用的技術效果。

將請參閱附圖及稍後描述之詳細實施例，可以明確本發明之優點、特徵，及其實現的方法。

以下，將參閱附圖詳細說明本發明之實施例。

「第3圖」係為概括地表示具備本發明一實施例的旋轉裝置的發光二極體晶片測試裝置之側視圖。

如圖所示，發光二極體晶片測試裝置包含有一旋轉裝置100、一接觸單元200及一測量單元300，旋轉裝置100包含有一檢查臺110、一轉動部件120、以及一驅動部(耦合軸130)。

檢查臺110包含有一安裝部件111，用以支撐被檢查體L；一支撐框架112，其以旋轉軸A為中心以輻射狀向外側延伸，一杆113，連接於檢查臺110之下部中心。

安裝部件111可與支撐框架112形成為一體或者單獨形成。

另外，上述安裝部件111之內側形成為防止透過空氣吸入方式而設置的被檢查體L之脫離貫通孔(圖未示)。

並且，安裝部件111的材質及形狀不特意限制。

但是，被檢查體L為垂直型發光二極體晶片(Vertical LED chip)時，由於要向垂直型發光二極體晶片底部供給電流，因此上述安裝部件111的材質優選為具有導電性之材質。

另外，被檢查體L為水準形發光二極體晶片(Lateral LED chip)時，為了減少光損失，上述安裝部件111的材質可以由反射率高之材質構成。

此時，作為發光二極體晶片的測量波段200nm~1000nm中，最好利用反射率較高之材質。

並且，在安裝部件111上經常安裝及解除多個被檢查體L，因此，最好利用耐磨性好，硬度高之材質。

支撐框架112可以由懸臂(cantilever)形態形成，但並非局限於此種形態。

另外，支撐框架112為複數個，例如4個或者8個，也可以之外的個數實施。

但是，支撐框架112形成為多個時，在各末端部上形成之安裝部件111可以同時調節成其他之作業模式。

作為一實例，任意一個安裝部件111處於測試被檢查體L的位置時，另一個安裝部件111可處於為測試被檢查體L而裝載之位置。並且再一個安裝部件111可處於卸載完成測試的被檢查體L之位置。

透過這些檢查工序模式之調節，可以加快工序速度，提高作業效率。

杆113處於支撐框架112之下側。並且杆113與轉動部件120的工作聯動而進行旋轉及升降運動。

杆113可形成為中空軸。

中空軸形態的杆113具有沿軸方向能夠向內部流動空氣的結構，由此，連接安裝部件111的貫通孔(圖未示)之吸氣管(圖未示)能夠通過上述杆113的中空連通至外部之排氣泵。

轉動部件120為連接驅動部160及檢查臺110之構成元件。

透過「第4圖」能夠大致確認此種轉動部件120之工作結構。如圖所示，轉動部件120透過耦合軸130而自驅動部160輸入動力，並透過杆113向檢查臺110輸出動力。

為此，轉動部件120之內部可以結合齒輪、凸輪、滾輪等機械元件。

由此，驅動部160之旋轉力實現轉換成檢查臺110的斷續性的旋轉及升降運動。

這裡，斷續性之旋轉及升降運動係指，在預定的時間區間內單一或者重疊地發生的，根據用戶設定的旋轉或者升降運動，同樣意味著根據用戶設定不發生任何運動之暫停時間的連續運動。

同時，在旋轉或者升降運動區間與暫停時間可以多次反復地進行。

另外，如果支撐框架112的個數為n，則轉動部件120將檢查臺110旋轉360°/n後，獲得相當於用戶設定時間的暫停時間。

例如，如果支撐框架112之個數為8個，請參閱「第10圖」及「第12圖」，作為一次處理將檢查臺110旋轉45°後設置暫停時間。

還有，在此暫停時間內進行對被檢查體L之測量、裝載、卸載等工序。

轉動部件120透過耦合軸130而與耦合部件140相連接。

另外耦合部件140透過驅動軸150連接至驅動部160。

在此，驅動部160作為動力發生裝置，可採用電動馬達等。

耦合部件140形成於驅動部160與轉動部件120之間，透過驅動部160傳輸生成的旋轉力。

即，耦合部件140為控制自驅動部160傳輸的旋轉力之大小及/或者方向傳輸至轉動部件120而具備的動力連接裝置。

並且，驅動部160的驅動速度可以維持一定，也可以根據外部之控制而變化。

例如，根據檢查臺110的運動形態，即旋轉及升降運動而使得根據驅動部160的旋轉速度加快。

與此不同，在檢查臺110的暫停狀態下可以設定為驅動部160之驅動速度變慢。

即，用戶根據在暫停時間內實現的作業工序之種類，任意設定相當於必要之消耗時間的暫停時間。

接觸單元200位於安裝在檢查臺110的被檢查體L之上側。

接觸單元200，例如由探針卡構成，並具備如探針銷的接觸銷210。

如果，被檢查體L為發光二極體晶片時，接觸銷210接觸到發光二極體晶片而向發光二極體晶片供應電流，則發光二極體晶片在發光之同時進行測試。

並且接觸單元200可構成對框架220向上下方向固定之形態。

如「第1圖」所示，習知技術之發光二極體晶片測試裝置中接觸單元20為上下驅動，因此接觸單元20中需要實現上下運動的單獨驅動部。

但是在本發明之中，檢查臺110除旋轉運動以外，還具有上下方向進行並進運動，因此不需要接觸單元200的單獨驅動。由此，縮短工序時間，並排除追加構成而實現節約費用。

測量單元300為如積分球受光自發光二極體晶片發光的光線，而測量光特性之裝置。

在測量單元300可以設置例如光檢測器或者分光計量器等測量器310。

請參閱「第5圖」，對根據本發明的優選實施例之檢查臺的運動模式進行說明

「第5圖」之x軸表示時間軸、y軸表示檢查臺之旋轉角速度。

檢查臺可具備旋轉及升降運動，在此沒有單獨表示升降運動。

根據「第5圖」，根據本發明之實施例的檢查臺可按順序具備旋轉及並進運動I區間，以及暫停時間II區間。

在此，旋轉及並進運動I區間意味著，檢查臺朝向轉動部件分離或接近的方向升降之同時，使得旋轉軸A向中心旋轉之動作。並且在暫停時間Ⅱ區間之內，檢查臺在旋轉及升降中不採取任何運動。

目前檢查臺之旋轉運動與接觸單元之升降運動需要按順序連續進行，但在本發明中不需要接觸單元之升降操作。

即，根據本發明，檢查臺本身可以同時進行旋轉及升降運動。因此，不需要如習知技術的接觸單元之穩定化時間，這樣有助於縮短工序時間。

以下，將參閱「第6圖」至「第9圖」，進一步詳細說明檢查臺之多種運動模式。

在「第6圖」至「第9圖」之中，上側之圖表為表示檢查臺之旋轉運動的圖表。

在此，x軸表示時間軸，y軸表示檢查臺之旋轉角速度。

另外，在「第6圖」至「第9圖」之中，下側之圖表為表示檢查臺之升降運動的圖表。

在此，x軸表示時間軸，y軸表示根據檢查臺的升降運動之速度。

此時，在y軸上正(+)方向表示檢查臺具備對轉動部件分離之方向，即具備的運動。而且，y軸的負(-)方向表示檢查臺具備向轉動部件一側接近之方向，即下降之運動。

請參閱「第6圖」，檢查臺之運動模式(I區間)包含有第一旋轉及升降運動區間(1區間)，以及第二旋轉及升降運動區間(2區間)。

在此，第一旋轉及升降運動區間(1區間)意味著，檢查臺朝向接近轉動部件之方向進行升降運動的同時旋轉之區間。

另外，第二旋轉及升降運動區間(2區間)意味著，檢查臺朝向自轉動部件分離的方向進行升降運動的同時旋轉之區間。

在1區間檢查臺向下側移動，解除被檢查體L，例如在前述步驟完成測試的發光二極體晶片與測量單元之間的連接。之後檢查臺進行旋轉。

在2區間檢查臺向上側移動，緊固被檢查體L，例如完成測試的發光二極體晶片與測量單元的連接。

其後，具備暫停時間Ⅱ，此時的檢查臺在旋轉及升降中不採取任何運動。因此，能夠穩定的進行被檢查體之測量。

另外，在此結合附圖，說明接觸單元及測量單元位於檢查臺之上側位置的情況，接觸單元及測量單元還可位於檢查臺之下側位置。

此時，在1區間，檢查臺朝向自轉動部件分離的方向採取升降運動，在2區間，檢查臺朝向接近轉動部件的方向採取升降運動。

以下，將參閱「第7圖」具體說明檢查臺的其他運動模式。

請參閱「第7圖」，檢查臺之運動模式(I區間)包含有：第一旋轉及升降運動區間(1區間)及旋轉區間(2區間)，第二旋轉及升降運動區間(3區間)。

在此，第一旋轉及升降運動區間(1區間)為，檢查臺朝向接近轉動部件的方向採取升降運動之區間。

另外，旋轉區間(2區間)為，檢查臺不採取升降運動而僅採取旋轉運動之區間。

此外，第二旋轉及升降運動區間(3區間)為，檢查臺朝向自轉動部件分離的方向採取升降運動的同時，檢查臺採取旋轉運動之區間。

「第7圖」所示的運動模式與「第6圖」中說明之不相同，透過追加旋轉區間(2區間)，能夠在1區間與3區間迅速地實現檢查臺之升降運動。

由此，能夠更加迅速的進行被檢查體與接觸單元之間的連接緊固及解除。

以下，將參閱「第8圖」，具體說明檢查臺之另一運動模式。

請參閱「第8圖」，檢查臺的運動模式(I區間)包含有：第一升降運動區間(1區間)，第一旋轉及升降運動區間(2區間)，第二旋轉及升降運動區間(3區間)，以及第二升降運動區間(4區間)。

在此，在第一升降運動區間(1區間)，檢查臺不採取旋轉運動而是朝向接近轉動部件的方向僅具備升降運動。

另外，在第一旋轉及升降運動區間(2區間)，檢查臺朝向接近轉動部件的方向採取升降運動之同時具備旋轉運動。

此外，在第二旋轉及升降運動區間(3區間)，檢查臺朝向從轉動部件分離之方向採取升降運動的同時具備旋轉運動。

另外，在第二升降運動區間(4區間)，檢查臺不採取旋轉運動而是朝向從轉動部件分離的方向僅具備升降運動。

「第8圖」中所示的檢查臺之運動模式與「第6圖」及「第7圖」中說明之內容不同，追加具備第一升降運動區間(1區間)及第二升降運動區間(4區間)。

由此，在不採取旋轉運動的狀態下僅具備升降運動，從而能夠更加穩定的進行被檢查體與接觸單元之間的連接或者解除。

以下，請參閱「第9圖」，詳細說明檢查臺之另一運動模式。

請參閱「第9圖」，檢查臺的運動模式(I區間)包含有，第一升降運動區間(1區間)，第一旋轉及升降運動區間(2區間)，旋轉區間(3區間)，第二旋轉及升降運動區間(4區間)，以及第二升降運動區間(5區間)。

在此，在第一升降運動區間(1區間)，檢查臺不採取旋轉運動而是朝向接近轉動部件的方向具備升降運動。

另外，在第一旋轉及升降運動區間(2區間)，檢查臺朝向接近轉動部件的方向採取升降運動的同時具備旋轉運動。

此外，在旋轉區間3區間，檢查臺不採取升降運動而是僅具備旋轉運動。

另外，在第二旋轉及升降運動區間(4區間)，檢查臺朝向從轉動部件分離的方向採取升降運動的同時具備旋轉運動。

此外，在第二升降運動區間(5區間)，檢查臺不採取旋轉運動而是朝向從轉動部件分離之方向僅具備升降運動。

這樣，根據「第9圖」所示之檢查臺的運動模式，能夠更加迅速且穩定的實現被檢查體與接觸單元之間的連接或者解除。

「第10圖」係為表示本發明一實施例的旋轉裝置之剖視圖。「第11圖」係為「第10圖」之旋轉裝置之側視圖。

請參閱「第10圖」至「第11圖」，能夠具體確認本發明一實施例之旋轉裝置的構成。

如圖所示，具備8個安裝部件111及支撐框架112。

此時，如「第12圖」所示，旋轉臺110經過一個旋轉及升降運動區間而旋轉的角度θ為45°。

如果一個安裝部件111位於測試位置，則自測試位置處於-90°位置的安裝部件111將位於裝載位置。在此，-90°意味著對檢查臺的旋轉方向為逆向90°。

另外，在測試位置位於90°位置的安裝部件111將位於卸載位置。

在裝載位置測試的被檢查體放置於檢查臺。並且卸載位置拾取完成測試的被檢查體。

此外，在其他位置，例如在測試位置位於45°、135°、180°、-45°、-135°位置的安裝部件111上也可進行多種作業模式。

此多種作業模式之具體實例包含有，清掃或者清洗安裝部件111之工序；補償放置於安裝部件111上的被檢查體之位置的工序。

並且，還可以包含有，再次拾取未能自安裝部件111卸載的被檢查體之工序，冷卻或者加熱被檢查體之工序，觀察被檢查體之狀態之工序，加工或者處理被檢查體之工序等。

「第13圖」及「第14圖」係為表示本發明一實施例的轉動部件之構成之模式圖。

作為轉動部件120中具備的機械元件的一部份，「第13圖」之中表示為滾輪齒輪凸輪(rollergearcam)機構，「第14圖」中圖示槽輪齒輪(genevagear)機構。

首先請參閱「第13圖」，圖示的轉動部件120將耦合軸130及杆113分別作為輸入軸及輸出軸。另外中間介入驅動及從動滾輪齒輪凸輪機構121、122而構成。

縱動滾輪齒輪凸輪122具備8個齒輪齒。如果驅動滾輪齒輪凸輪121旋轉1，則縱動滾輪齒輪凸輪122旋轉1/8。

運動區間及暫停時間之長度根據驅動滾輪齒輪凸輪121之齒形設計而決定。由此驅動部160之連續性運動變成檢查臺110的斷續性運動。

以下請參閱「第14圖」，轉動部件120將耦合軸130及杆113分別作為輸入軸及輸出軸，並在中間具備槽輪齒輪機構而構成。

如圖所示，耦合軸130旋轉1時，杆113旋轉1/4。並在中間介入減速齒輪而使得杆113旋轉1/8。

上述滾輪齒輪凸輪機構或槽輪齒輪機構之構成及設計方法為熟知的技術內容，因此省略詳細說明。

另外，在滾輪齒輪凸輪機構或槽輪齒輪機構追加減速齒輪、加速齒輪、凸輪等，而將輸入軸之旋轉運動改變成輸出側的斷續性之旋轉及並進運動的方法也為熟知的技術內容，因此省略詳細說明。

上述對本發明之說明用於舉例說明，本發明所屬領域之技術人員應當理解，可以在不改變本發明之技術思想或必要特徵的情況下，容易改變成其他具體方式。

因此應當理解，上述實施例在所有方面為示例性的，並且並非限制於此。例如，說明為形成為一體或者單一形態之各構成要素可分離而實施，同樣地，說明為分離之各構成要素也可以相結合之形態實施。

並且，在發明之實施例中，為了理解方便重點說明測量發光二極體晶片之光特性，但本發明的對象不限於此。

本發明的範圍透過專利申請範圍表示，自專利申請範圍之含義及範圍及其均等概念推導出的所有變更或者變形之形態均應當包含於本發明。

1．．．發光二極體晶片測試裝置

10、110．．．檢查臺

11、111．．．安裝部件

12、112．．．支撐框架

13．．．驅動部

20、200．．．接觸單元

21、210．．．接觸銷

22、220．．．框架

30、300．．．測量單元

31、310．．．測量器

100．．．旋轉裝置

113．．．杆

120．．．轉動部件

121．．．驅動滾輪齒輪凸輪機構

122．．．從動滾輪齒輪凸輪機構

123．．．檢查臺

130．．．耦合軸

140．．．耦合部件

150．．．驅動軸

160．．．驅動部

L．．．被檢查體

θ．．．角度

A．．．旋轉軸

第1圖係為習知技術之一發光二極體晶片測試裝置之概略圖；

第2圖係為習知技術之一發光二極體晶片測試裝置之運動模式之時序圖；

第3圖係為概括地表示具備本發明一實施例的旋轉裝置的發光二極體晶片測試裝置之側視圖；

第4圖係為概括地表示本發明一實施例之轉動部件的作業之剖視圖；

第5圖係為說明本發明一實施例之旋轉裝置的運動模式之驅動時序圖；

第6圖係為本發明一實施例之旋轉裝置的運動模式之第一工作實例之驅動時序圖；

第7圖係為本發明一實施例之旋轉裝置的運動模式之第二工作實例之驅動時序圖；

第8圖係為本發明一實施例之旋轉裝置的運動模式之第三工作實例之驅動時序圖；

第9圖係為本發明一實施例之旋轉裝置的運動模式之第四工作實例之驅動時序圖；

第10圖係為本發明一實施例之旋轉裝置之剖視圖；

第11圖係為第10圖之旋轉裝置之側視圖；

第12圖係為本發明一實施例之檢查臺的作業模式之模式圖；以及

第13圖及第14圖係為本發明一實施例之轉動部件的構成之模式圖。

100．．．旋轉裝置

110．．．檢查臺

111．．．安裝部件

112．．．支撐框架

113．．．杆

120．．．轉動部件

130．．．耦合軸

140．．．耦合部件

150．．．驅動軸

160．．．驅動部

200．．．接觸單元

210．．．接觸銷

220．．．框架

300．．．測量單元

310．．．測量器

L．．．被檢查體

A．．．旋轉軸

Claims (15)

1. 一種旋轉裝置，係包含有：一檢查臺，係包含有一自旋轉中心向外側延伸之支撐框架，以及一在該支撐框架之末端安裝被檢查體之安裝部件；一驅動部，係用以接收電氣訊號而產生旋轉力；以及一轉動部件，係連接至該檢查臺的旋轉中心之下部，並自該驅動部接收旋轉力而轉換成該檢查臺的斷續性之旋轉及升降運動。
2. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中包含一杆，係連接形成於該支撐框架與該轉動部件之間，並與該轉動部件的運動聯動而實現該支撐框架之旋轉及升降運動。
3. 如請求項第2項所述之旋轉裝置，其中該杆為能夠沿軸方向流動空氣的中空軸部件。
4. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中該支撐框架自該檢查臺的旋轉中心以輻射狀分枝形成為複數個。
5. 如請求項第4項所述之旋轉裝置，其中該支撐框架自該檢查臺的旋轉中心相互隔離一定中心角，而以相同之長度延伸形成。
6. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中更包含有一耦合部件，係連接形成於該驅動部與該轉動部件之間，控制自該驅動部傳輸的旋轉力之大小及方向而傳輸至該轉動部件。
7. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中該轉動部件在該支撐框架之個數為n時，進行驅動使得該檢查臺旋轉360°/n，並具有相當於設定時間之暫停時間。
8. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中該轉動部件係為一滾輪齒輪凸輪(rollergearcam)機構。
9. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中該轉動部件係為一槽輪齒輪(genevagear)機構。
10. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，其中該檢查臺根據該轉動部件的驅動轉換，可以具有對該轉動部件分離或者接近的方向升降驅動之運動，旋轉驅動的運動以及具有一定時間之暫停時間之運動中的任意一個以上的運動模式。
11. 如請求項第10項所述之旋轉裝置，其中該檢查臺能夠具有連續地實現，對該轉動部件分離或者接近的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第一運動；以及與該第一運動之相反方向進行升降驅動的同時，與該第一運動相同的方向進行旋轉驅動的第二運動之運動模式。
12. 如請求項第10項所述之旋轉裝置，其中該檢查臺能夠具有連續地實現，對該轉動部件分離或者接近的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第一運動；與該第一運動相同的方向僅進行旋轉驅動的第二運動；以及與該第一運動相反的方向進行升降驅動的同時，與該第一運動相同的方向進行旋轉驅動的第三運動之運動模式。
13. 如請求項第10項所述之旋轉裝置，該檢查臺能夠更具有連續地實現，對該轉動部件分離或者接近的方向僅進行升降驅動的第一運動；與該第一運動相同的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第二運動；與該第一運動相反的方向進行升降驅動的同時，與該第一運動相同的方向進行旋轉驅動的第三運動；以及與該第一運動相反的方向僅進行升降驅動的第四運動之運動模式。
14. 如請求項第10項所述之旋轉裝置，其中該檢查臺能夠具有連續地實現，對該轉動部件向分離或者接近的方向僅進行升降驅動的第一運動；與該第一運動相同的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第二運動；與該第一運動相同的方向僅進行旋轉驅動第三運動；與該第一運動相反的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第四運動；以及與該第一運動相反的方向僅進行升降驅動的第五運動之運動模式。
15. 如請求項第1項所述之旋轉裝置，該被檢查體可以利用半導體晶片或者發光二極體(LED)晶片。